TWI663253B - 光電製程用之酯類組成物 - Google Patents
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Abstract
一種光電製程用之酯類組成物，適用於以一絕緣管材輸送，並包含一液態的酯類材料，以及一有機鹽材料。該有機鹽材料溶解於該酯類材料中，且以該光電製程用之酯類組成物為基準，該有機鹽材料的濃度為0.1ppm至100ppm。本發明利用該有機鹽材料溶解於該酯類材料並解離成離子的特性，改善以往酯類材料流動時與該絕緣管材摩擦而產生並累積靜電之問題，且因本發明不會對光電製程帶來不良影響，故還具有適用於光電製程之優點。
Description
本發明是有關於一種光電製程中所使用之組成物，特別是指一種適用於清洗光組之光電製程用之酯類組成物。
在科技業中，對成品往往存在高純度要求，因此光電製程中，對於雜質及環境可能帶來的影響必須嚴加排除。舉例來說，以酯類材料清洗光阻之製程中，需先將酯類材料加以過濾去除雜質，才能用以清洗光阻。此外，在以管材輸送酯類材料時，為了避免可能的金屬元素溶入酯類材料中，一般多以鐵氟龍類管材(PFA tube)輸送酯類材料，然而鐵氟龍類管材為一種導電性不佳之絕緣管材，酯類材料於鐵氟龍類管材中流動而與鐵氟龍類管材摩擦時，容易產生靜電並累積靜電，從而對光電製程帶來不良影響。因此，如何解決酯類材料於鐵氟龍類管材中流動所產生的靜電累積問題，是一值得研究之問題。
本發明的目的，在於提供一種能夠克服先前技術的至少一個缺點的光電製程用之酯類組成物。
該光電製程用之酯類組成物，適用於以一絕緣管材輸送，並包含一液態的酯類材料，以及一有機鹽材料。該有機鹽材料溶解於該酯類材料中，且以該光電製程用之酯類組成物為基準，該有機鹽材料的濃度為0.1ppm至100ppm。舉例來說，該有機鹽材料的濃度能為N ppm，其中，N為1至100的整數。
所述的酯類材料只要適用於光電製程中即可，或者說所述的酯類材料是光電製程中會被使用者，並無需特別限定。舉例來說可為適用於清洗光組之乙酸正丁酯(
n-Butyl Acetate, NBAC)、乙酸異戊酯(Isoamyl Acetate, IAAC)、丙酸異丁酯(Isobutyl Propionate, IBP)、乙酸乙酯(Ethyl Acetate, EAC)、碳酸二甲酯(Dimethyl Carbonate, DMC)，以及前述材料的任意組合等等。
所述的有機鹽材料包括一陽離子單元及一陰離子單元。該陽離子單元能為烷基咪唑陽離子、烷基吡啶陽離子、烷基銨陽離子，或前述的任意組合。舉例來說，該陽離子單元可為1-乙基-3甲基咪唑陽離子(1-Ethyl-3-methylimidazolium, EMIM)、1-丁基-3甲基咪唑陽離子(1-Butyl-3-methylimidazolium, BMIM)、1-己基-3甲基咪唑陽離子(1-Hexyl-3-methylimidazolium, HMIM)，或前述的任意組合。
該陰離子單元可為六氟磷酸陰離子(Hexafluorophosphate, PF6)、雙三氟甲基磺醯亞胺陰離子(bis(trifluoromethanesulfonyl)imide, NTF2)，或前述的任意組合。
較佳地，該有機鹽材料為常溫下呈液態之離子液體，舉例來說為1-乙基-3甲基咪唑雙三氟甲基磺醯亞胺鹽、1-丁基-3甲基咪唑雙三氟甲基磺醯亞胺鹽、1-己基-3甲基咪唑雙三氟甲基磺醯亞胺鹽，以及1-己基-3甲基咪唑六氟磷酸鹽。前述有具有離子液體特性的機鹽材料，具有能較佳地溶解於乙酸正丁酯、乙酸異戊酯、乙酸乙酯、碳酸二甲酯，以及丙酸異丁酯中之優點。
使用能溶解於該酯類材料之有機鹽材料，能避免該有機鹽材料在光電製程的過濾雜質預處理中被濾除。所述的有機鹽材料，能透過可解離成離子的特性，來解決以往酯類材料於絕緣管材中輸送可能產生的靜電累積問題。所述的有機鹽材料之濃度，如低於0.1ppm時，無法避免靜電累積，而如高於100ppm時，則又會於清洗光阻時溶解光阻而影響光電製程。因此，所述的有機鹽材料之濃度，應限定在0.1pmm至100ppm中，以兼顧避免靜電累積之效果，及不影響光電製程之考量。應注意的是，本發明所述之不影響光電製程，是指靜電及額外所添加的有機鹽材料帶來的影響在可容許的程度範圍內，而非完全不產生靜電，或者說非完全無靜電/額外添加有機鹽材料所帶來之影響。
較佳地，該有機鹽材料的濃度為0.1pmm至25pmm，因為如該有機鹽材料的濃度大於25ppm時，降低靜電累積的效果並不能隨著濃度的提高而有效地提高，也就是說使用濃度在25ppm以下的有機鹽材料，有較佳的經濟效益，且可被容忍的光電製程影響更低。更佳地，該有機鹽材料的濃度為1ppm至25ppm，因為從實驗結果來看，使用1ppm的有機鹽材料能有效地降低靜電累積幅度至少一半，而使用25ppm的有機鹽材料相較於使用1ppm的有機鹽材料，還能進一步地將靜電累積幅度再降低約一半。
該光電製程用之酯類組成物的功效在於：含有適量0.1ppm至100ppm之有機鹽材料，利用該有機鹽材料溶解於該酯類材料中解離成離子的特性，能改善以往酯類材料流動時與該絕緣管材摩擦而產生靜電之問題，且因本發明的低濃度有機鹽材料不會對光電製程帶來不良影響，故還具有適用於光電製程之優點。
《實施例1》
本發明光電製程用之酯類組成物的一個實施例1，包含酯類材料：丙酸異丁酯(IBP)，以及有機鹽材料：1-己基-3甲基咪唑六氟磷酸鹽{[HMIM][PF6]}。其中，以該實施例1的體積為基準，該有機鹽材料的濃度25ppm，亦即每一公升之實施例1中，含有25毫克的有機鹽材料。實施例1中所使用之酯類材料的純度控制在99.8wt%以上，水分含量控制在60ppm以下，酸價則控制在7.7ppm以下。
《累積靜電測試》
取一鐵桶與一磅秤，將該鐵桶絕緣地放置於該磅秤上，並將該鐵桶的空桶重歸零扣除。以一能測量靜電電壓之測量儀器連接該鐵桶，並將該鐵桶於空桶(酯類材料累積重量為0公斤)時之靜電電壓記錄於表1中。接著，以一絕緣管材(鐵氟龍管 PFA tube)輸送實施例1，以將實施例1注入該鐵桶中，並在實施例1注入該鐵桶中後開始計時。當實施例1於鐵桶中的累積重量達第2、4、6、8、10公斤時，讀取該測量儀器所測得之靜電電壓並記錄時間。將所測得之該鐵桶的靜電電壓數值，以及經計算後之該實施例1於該絕緣管材中的平均流速(公斤/分鐘)，記錄於表1中。
於累積靜電測試中，實驗時之環境溫度約為21至27度，相對溼度約為59%至64%；所採用的鐵氟龍管是購自於旭化成株式会社(Asahi Chemical)，產品規格為3/8英吋之產品。
《實施例2至12》
實施例2至12與該實施例1類似，不同的地方在於各實施例所使用的有機鹽材料的濃度，以及於累積靜電測試中在該絕緣管材中流動的平均流速有所不同，且實施例12所使用的酯類材料為乙酸異戊酯(IAAC)。同樣將各實施例之累積靜電測試的測試結果記錄於表1中。
《比較例1至13》
比較例1至13與該實施例1類似，不同的地方在於比較例1至13省略添加有機鹽材料，且各比較例所使用的酯類材料及於累積靜電測試中在該絕緣管材中流動的平均流速不同。比較例1至13的累積靜電測試的測試結果記錄於表2及表3中。
《比較例14～18》
比較例14～18與該實施例1類似，不同的地方在於比較例14～18並未使用有機鹽材料，且比較例15～18所使用的酯類材料不同。其中，比較例14～18於累積靜電測試中，是透過使用流量計來控制流速，因此於表3中所記載之流速，為透過流量計所設定並加以控制之流速(5公斤/分鐘)，而非透過累積重量除以累積時間推算之平均流速。累積靜電測試的測試結果與比較例15～18實際使用的酯類材料記錄於表3中。
實驗組1：《實施例13～24》
實施例13～24與該實施例1類似，其中，各實施例所使用的酯類材料為丙酸異丁酯(IBP)，所使用的有機鹽材料則為1-己基-3甲基咪唑六氟磷酸鹽{[HMIM][PF6]}。各實施例實際使用的有機鹽材料的濃度，以及各實施例於累積靜電測試中使用流量計的流速條件及測試結果記載於表4中。進一步針對各實施例進行如下所述的光電製程影響測試，並同樣將測試結果記錄於表4中。
《光電製程影響測試》
將各實施例用來清洗光電製程中已硬化之光阻，如各實施例僅洗去光阻上的物質而不會溶解光阻，則判定為通過光電製程影響測試，並給予評價O；反之，如各實施例於清洗光阻時會溶解光阻，則判定不能通過光電製程影響測試，並給予評價X。
實驗組2：《實施例25～36》
實施例25～36與該實施例1類似，其中，各實施例所使用的酯類材料為丙酸異丁酯(IBP)，所使用的有機鹽材料則為1-己基-3甲基咪唑雙三氟甲基磺醯亞胺鹽{[HMIM][NTF2]}。各實施例實際上所使用的有機鹽材料的濃度、於累積靜電測試中使用流量計的流速條件與測試結果，以及於光電製程影響測試中的測試結果，記載於表5中。
實驗組3：《實施例37～48》
實施例37～48與該實施例1類似，其中，各實施例所使用的酯類材料為乙酸正丁酯(IAAC)，所使用的有機鹽材料則為1-己基-3甲基咪唑六氟磷酸鹽{[HMIM][PF6]}。各實施例實際上所使用的有機鹽材料的濃度、於累積靜電測試中使用流量計的流速條件與測試結果，以及於光電製程影響測試中的測試結果，記載於表6中。
實驗組4：《實施例49～60》
實施例49～60與該實施例1類似，其中，各實施例所使用的酯類材料為乙酸正丁酯(IAAC)，所使用的有機鹽材料則為1-己基-3甲基咪唑雙三氟甲基磺醯亞胺鹽{[HMIM][NTF2]}。各實施例實際上所使用的有機鹽材料的濃度、於累積靜電測試中使用流量計的流速條件與測試結果，以及於光電製程影響測試中的測試結果，記載於表7中。
實驗組5：《實施例61～72》
實施例61～72與該實施例1類似，其中，各實施例所使用的酯類材料為乙酸乙酯(EAC)，所使用的有機鹽材料則為1-己基-3甲基咪唑六氟磷酸鹽{[HMIM][PF6]}。各實施例實際上所使用的有機鹽材料的濃度、於累積靜電測試中使用流量計的流速條件與測試結果，以及於光電製程影響測試中的測試結果，記載於表8中。
實驗組6：《實施例73～84》
實施例73～84與該實施例1類似，其中，各實施例所使用的酯類材料為乙酸乙酯(EAC)，所使用的有機鹽材料則為1-己基-3甲基咪唑雙三氟甲基磺醯亞胺鹽{[HMIM][NTF2]}。各實施例實際上所使用的有機鹽材料的濃度、於累積靜電測試中使用流量計的流速條件與測試結果，以及於光電製程影響測試中的測試結果，記載於表9中。
實驗組7：《實施例85～96》
實施例85～96與該實施例1類似，其中，各實施例所使用的酯類材料為乙酸正丁酯(NBAC)，所使用的有機鹽材料則為1-己基-3甲基咪唑六氟磷酸鹽{[HMIM][PF6]}。各實施例實際上所使用的有機鹽材料的濃度、於累積靜電測試中使用流量計的流速條件與測試結果，以及於光電製程影響測試中的測試結果，記載於表10中。
實驗組8：《實施例97～108》
實施例97～108與該實施例1類似，其中，各實施例所使用的酯類材料為乙酸正丁酯(NBAC)，所使用的有機鹽材料則為1-己基-3甲基咪唑雙三氟甲基磺醯亞胺鹽{[HMIM][NTF2]}。各實施例實際上所使用的有機鹽材料的濃度、於累積靜電測試中使用流量計的流速條件與測試結果，以及於光電製程影響測試中的測試結果，記載於表11中。
實驗組9：《實施例109～120》
實施例109～120與該實施例1類似，其中，各實施例所使用的酯類材料為碳酸二甲酯(DMC)，所使用的有機鹽材料則為1-己基-3甲基咪唑六氟磷酸鹽{[HMIM][PF6]}。各實施例實際上所使用的有機鹽材料的濃度、於累積靜電測試中使用流量計的流速條件與測試結果，以及於光電製程影響測試中的測試結果，記載於表12中。
實驗組10：《實施例121～132》
實施例121～132與該實施例1類似，其中，各實施例所使用的酯類材料為碳酸二甲酯(DMC)，所使用的有機鹽材料則為1-己基-3甲基咪唑雙三氟甲基磺醯亞胺鹽{[HMIM][NTF2]}。各實施例實際上所使用的有機鹽材料的濃度、於累積靜電測試中使用流量計的流速條件與測試結果，以及於光電製程影響測試中的測試結果，記載於表13中。
在進一步開始比較前，要先說明的是，表1至表13中電壓正負值所代表的意義為累積不同電性之靜電荷，因此其電壓之絕對值即代表所累積之靜電電壓。各實例與各比較例間，如實驗條件相近，但實驗結果有所出入時，主要是受到環境溫度與濕度略微不同所帶來的正常影響。
從比較例1至18的累積靜電測試結果可以看出，當酯類材料為IBP、IAAC、NBAC、EAC時，因輸送過程中摩擦累積靜電所產生之靜電電壓，隨著注入鐵桶的液體累積重量的增加(電荷累積總量的增加)與流速的增加(摩擦情況的加劇)，可以提高約莫至6千至2萬8千伏特不等，而當酯類材料為碳酸二甲酯(DMC)時，例如比較例20，其靜電電壓甚至可以提高至約5萬7千伏特。
反觀添加有機鹽材料之實施例1至108，隨著注入鐵桶的液體累積重量的增加，甚至是流速的增加，因累積靜電所產生之靜電電壓，最多不超過3千伏特，為比較例1～18靜電電壓最低值的一半不到，顯見加入適量之0.1ppm至100ppm且可解離之有機鹽材料，能有效改善習知酯類材料於絕緣管材中輸送時所產生之靜電累積問題。再看實施例109～132，當酯類材料為碳酸二甲酯時，添加適量之0.1ppm至100ppm之有機鹽材料，與比較例18相比，能將靜電電壓由約5萬7千伏特降低至約4000伏特，效果更加顯著。
觀察各實驗組中有機鹽材料為1ppm的實施例，例如觀察實驗組1的實施例13～15、實驗組2的實施例25～27……等等，並與比較例14～18比較，可以發現其實添加1ppm的有機鹽材料，便能產生相當不錯的降低靜電累積的效果。
觀察各實驗組中有機鹽材料為1ppm與25ppm的實施例，例如實驗組1的實施例13～18、實驗組2的實施例25～30……等等，可以發現當有機鹽材料的濃度，由1ppm提升到25ppm時，因靜電累積所產生的電壓可再降低約一半以上。
觀察各實驗組中有機鹽材料為25ppm與50ppm的實施例，例如實驗組1的實施例16～21、實驗組2的實施例28～33……等等，可以發現當有機鹽材料的濃度由25ppm提升到50ppm時，降低靜電累積的效果並不能有效地隨著濃度提高而提升。也就是說，考量到經濟效益，有機鹽材料的濃度較佳的使用量應為1ppm至25ppm。
此外，從各實施例來看，本發明透過添加適量的有機鹽材料來避免靜電累積的效果，並不會隨著流速的提高，也就是摩擦情況的加劇而大幅減弱，相當特別且無法預期。
綜上所述，本發明光電製程用之酯類組成物的功效在於：利用該有機鹽材料溶解於該酯類材料中並解離成離子的特性，改善以往酯類材料流動時與絕緣管材摩擦而產生靜電之問題，且因本發明採用0.1ppm～100ppm的該有機鹽材料，不會對光電製程帶來不良影響，故還具有適用於光電製程之優點。
以上所述者，僅為本發明的實施例而已，不能以此限定本發明實施的範圍，凡是依本發明申請專利範圍及專利說明書內容所作的簡單等效變化與修飾，皆仍屬本發明專利涵蓋的範圍內。
實驗組1
實驗組2
實驗組3
實驗組4
實驗組5
實驗組6
實驗組7
實驗組8
實驗組9
實驗組10
各實施例、比較例的單位： 流速單位：公斤/分鐘(kg/min) 濃度單位：毫克/升(mg/L) 各實施例與各比較例的縮寫說明：
| 表1 | 編號 | 實施例1 | 實施例2 | 實施例3 | 實施例4 | 實施例5 | 實施例6 | |
| 酯類材料 | 種類 | IBP | IBP | IBP | IBP | IBP | IBP | |
| 有機鹽材料 | 陽離子 | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | |
| 陰離子 | PF6 | PF6 | PF6 | PF6 | PF6 | PF6 | ||
| 濃度 | 25 | 25 | 25 | 50 | 50 | 50 | ||
| 測試條件 | 流速 | 2.61 | 3.85 | 4.84 | 2.41 | 2.82 | 3.85 | |
| 累積重量 | 0 | 量測電壓值 | -30 | -70 | -30 | -80 | -80 | -70 |
| 2 | -990 | -940 | -1100 | -360 | -960 | -605 | ||
| 4 | -1020 | -880 | -940 | -348 | -900 | -615 | ||
| 6 | -960 | -820 | -970 | -331 | -960 | -650 | ||
| 8 | -1080 | -800 | -1060 | -329 | -970 | -696 | ||
| (kg) | 10 | (V) | -1020 | -1200 | -1010 | -329 | -970 | -650 |
| 編號 | 實施例7 | 實施例8 | 實施例9 | 實施例10 | 實施例11 | 實施例12 | ||
| 酯類材料 | 種類 | IBP | IBP | IBP | IBP | IBP | IAAC | |
| 有機鹽材料 | 陽離子 | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | |
| 陰離子 | PF6 | PF6 | PF6 | PF6 | PF6 | PF6 | ||
| 濃度 | 50 | 50 | 50 | 50 | 100 | 100 | ||
| 測試條件 | 流速 | 3.95 | 4.29 | 4.92 | 5.17 | 2.19 | 2.01 | |
| 累積重量 | 0 | 量測電壓值 | -90 | -80 | -80 | -90 | 130 | 130 |
| 2 | -509 | -1270 | -250 | -1270 | 130 | 3100 | ||
| 4 | -513 | -1350 | -244 | -1150 | 170 | 3300 | ||
| 6 | -495 | -1260 | -206 | -1170 | 167 | 3300 | ||
| 8 | -473 | -1300 | -219 | -1160 | 165 | 3350 | ||
| (kg) | 10 | (V) | -476 | -1320 | -219 | -1140 | 未測試 | 未測試 |
| 表2 | 編號 | 比較例1 | 比較例2 | 比較例3 | 比較例4 | 比較例5 | 比較例6 | |
| 酯類材料 | 種類 | IBP | IBP | IBP | IAAC | IAAC | IAAC | |
| 有機鹽材料 | 陽離子 | 未使用 | ||||||
| 陰離子 | ||||||||
| 濃度 | ||||||||
| 測試條件 | 流速 | 2.84 | 3.37 | 4.8 | 2.55 | 3.68 | 4.65 | |
| 累積重量 | 0 | 量測電壓值 | -80 | -80 | -80 | -50 | -50 | -50 |
| 2 | 180 | 7500 | 13000 | 8170 | 8290 | 9120 | ||
| 4 | 4600 | 14100 | 無 | 11000 | 13900 | 12400 | ||
| 6 | 7710 | 16700 | 19800 | 13800 | 15300 | 13800 | ||
| 8 | 11200 | 19100 | 21100 | 14100 | 15400 | 14600 | ||
| (kg) | 10 | (V) | 14700 | 19300 | 20200 | 13900 | 15100 | 14300 |
| 編號 | 比較例7 | 比較例8 | 比較例9 | 比較例10 | 比較例11 | 比較例12 | ||
| 酯類材料 | 種類 | IAAC | IAAC | IAAC | NBAC | NBAC | NBAC | |
| 有機鹽材料 | 陽離子 | 未使用 | ||||||
| 陰離子 | ||||||||
| 濃度 | ||||||||
| 測試條件 | 流速 | 1.86 | 3.51 | 4.55 | 2.84 | 4.2 | 4.32 | |
| 累積重量 | 0 | 量測電壓值 | -80 | -120 | -110 | -110 | -90 | -90 |
| 2 | 2400 | 3310 | 3710 | 7210 | 12400 | 13100 | ||
| 4 | 3770 | 6240 | 6920 | 15400 | 24700 | 21200 | ||
| 6 | 4590 | 9140 | 9320 | 19500 | 25000 | 19300 | ||
| 8 | 5570 | 11300 | 10900 | 19800 | 23900 | 18600 | ||
| (kg) | 10 | (V) | 6360 | 11600 | 10200 | 20000 | 22400 | 20300 |
| 表3 | 編號 | 比較例13 | 比較例14 | 比較例15 | 比較例16 | 比較例17 | 比較例18 | |
| 酯類材料 | 種類 | NBAC | IBP | IAAC | NBAC | EAC | DMC | |
| 有機鹽材料 | 陽離子 | 未使用 | ||||||
| 陰離子 | ||||||||
| 濃度 | ||||||||
| 測試條件 | 流速 | 5.77 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | |
| 累積重量 | 0 | 量測電壓值 | -90 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 |
| 2 | 20700 | 7500 | 9120 | 15800 | 13200 | 23000 | ||
| 4 | 26500 | 14100 | 12400 | 18200 | 15800 | 30000 | ||
| 6 | 28500 | 16700 | 13800 | 24200 | 20000 | 36000 | ||
| 8 | 25400 | 19100 | 14600 | 21600 | 21300 | 42000 | ||
| (kg) | 10 | (V) | 27600 | 19300 | 14300 | 25700 | 23100 | 56500 |
| 表4 | 編號 | 實施例13 | 實施例14 | 實施例15 | 實施例16 | 實施例17 | 實施例18 | |
| 酯類材料 | 種類 | IBP | IBP | IBP | IBP | IBP | IBP | |
| 有機鹽材料 | 陽離子 | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | |
| 陰離子 | PF6 | PF6 | PF6 | PF6 | PF6 | PF6 | ||
| 濃度 | 1 | 25 | ||||||
| 測試條件 | 流速 | 2.5 | 4 | 5 | 2.5 | 4 | 5 | |
| 累積重量 | 0 | 量測電壓值 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 |
| 2 | -1300 | -1500 | -1800 | -509 | -940 | -1270 | ||
| 4 | -1323 | -1600 | -2100 | -513 | -880 | -1350 | ||
| 6 | -1350 | -1750 | -2350 | -495 | -820 | -1260 | ||
| 8 | -1352 | -1860 | -2453 | -473 | -800 | -1300 | ||
| (kg) | 10 | (V) | -1350 | -1900 | -2500 | -476 | -810 | -1320 |
| 光電製程影響測試 | O | O | O | O | O | O | ||
| 編號 | 實施例19 | 實施例20 | 實施例21 | 實施例22 | 實施例23 | 實施例24 | ||
| 酯類材料 | 種類 | IBP | IBP | IBP | IBP | IBP | IBP | |
| 有機鹽材料 | 陽離子 | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | |
| 陰離子 | PF6 | PF6 | PF6 | PF6 | PF6 | PF6 | ||
| 濃度 | 50 | 100 | ||||||
| 測試條件 | 流速 | 2.5 | 4 | 5 | 2.5 | 4 | 5 | |
| 累積重量 | 0 | 量測電壓值 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 |
| 2 | -360 | -605 | -1100 | -250 | -509 | -960 | ||
| 4 | -348 | -615 | -940 | -244 | -513 | -900 | ||
| 6 | -331 | -650 | -970 | -206 | -495 | -960 | ||
| 8 | -329 | -696 | -1060 | -219 | -473 | -970 | ||
| (kg) | 10 | (V) | -329 | -650 | -1010 | -219 | -476 | -970 |
| 光電製程影響測試 | O | O | O | O | O | O |
| 表5 | 編號 | 實施例25 | 實施例26 | 實施例27 | 實施例28 | 實施例29 | 實施例30 | |
| 酯類材料 | 種類 | IBP | IBP | IBP | IBP | IBP | IBP | |
| 有機鹽材料 | 陽離子 | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | |
| 陰離子 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | ||
| 濃度 | 1 | 25 | ||||||
| 測試條件 | 流速 | 2.5 | 4 | 5 | 2.5 | 4 | 5 | |
| 累積重量 | 0 | 量測電壓值 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 |
| 2 | -1270 | -1450 | -1700 | -500 | -900 | -1120 | ||
| 4 | -1223 | -1500 | -1900 | -510 | -830 | -1250 | ||
| 6 | -1250 | -1700 | -2150 | -490 | -800 | -1160 | ||
| 8 | -1252 | -1760 | -2150 | -460 | -760 | -1100 | ||
| (kg) | 10 | (V) | -1250 | -1750 | -2150 | -465 | -760 | -1120 |
| 光電製程影響測試 | O | O | O | O | O | O | ||
| 編號 | 實施例31 | 實施例32 | 實施例33 | 實施例34 | 實施例35 | 實施例36 | ||
| 酯類材料 | 種類 | IBP | IBP | IBP | IBP | IBP | IBP | |
| 有機鹽材料 | 陽離子 | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | |
| 陰離子 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | ||
| 濃度 | 50 | 100 | ||||||
| 測試條件 | 流速 | 2.5 | 4 | 5 | 2.5 | 4 | 5 | |
| 累積重量 | 0 | 量測電壓值 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 |
| 2 | -350 | -595 | -1000 | -245 | -500 | -930 | ||
| 4 | -345 | -600 | -890 | -240 | -500 | -900 | ||
| 6 | -325 | -565 | -930 | -200 | -485 | -920 | ||
| 8 | -330 | -565 | -1000 | -215 | -465 | -930 | ||
| (kg) | 10 | (V) | -330 | -565 | -1010 | -215 | -470 | -930 |
| 光電製程影響測試 | O | O | O | O | O | O |
| 表6 | 編號 | 實施例37 | 實施例38 | 實施例39 | 實施例40 | 實施例41 | 實施例42 | |
| 酯類材料 | 種類 | IAAC | IAAC | IAAC | IAAC | IAAC | IAAC | |
| 有機鹽材料 | 陽離子 | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | |
| 陰離子 | PF6 | PF6 | PF6 | PF6 | PF6 | PF6 | ||
| 濃度 | 1 | 25 | ||||||
| 測試條件 | 流速 | 2.5 | 4 | 5 | 2.5 | 4 | 5 | |
| 累積重量 | 0 | 量測電壓值 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 |
| 2 | -1500 | -1950 | -1900 | -505 | -930 | -1250 | ||
| 4 | -1390 | -1650 | -2200 | -508 | -870 | -1330 | ||
| 6 | -1430 | -1750 | -2455 | -490 | -811 | -1250 | ||
| 8 | -1450 | -1755 | -2553 | -460 | -795 | -1290 | ||
| (kg) | 10 | (V) | -1450 | -1750 | -2600 | -466 | -800 | -1300 |
| 光電製程影響測試 | O | O | O | O | O | O | ||
| 編號 | 實施例43 | 實施例44 | 實施例45 | 實施例46 | 實施例47 | 實施例48 | ||
| 酯類材料 | 種類 | IAAC | IAAC | IAAC | IAAC | IAAC | IAAC | |
| 有機鹽材料 | 陽離子 | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | |
| 陰離子 | PF6 | PF6 | PF6 | PF6 | PF6 | PF6 | ||
| 濃度 | 50 | 100 | ||||||
| 測試條件 | 流速 | 2.5 | 4 | 5 | 2.5 | 4 | 5 | |
| 累積重量 | 0 | 量測電壓值 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 |
| 2 | -350 | -600 | -1050 | -240 | -500 | -945 | ||
| 4 | -345 | -610 | -930 | -244 | -508 | -945 | ||
| 6 | -325 | -640 | -1000 | -206 | -490 | -950 | ||
| 8 | -324 | -640 | -1010 | -219 | -471 | -950 | ||
| (kg) | 10 | (V) | -325 | -645 | -1010 | -219 | -469 | -950 |
| 光電製程影響測試 | O | O | O | O | O | O |
| 表7 | 編號 | 實施例49 | 實施例50 | 實施例51 | 實施例52 | 實施例53 | 實施例54 | |
| 酯類材料 | 種類 | IAAC | IAAC | IAAC | IAAC | IAAC | IAAC | |
| 有機鹽材料 | 陽離子 | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | |
| 陰離子 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | ||
| 濃度 | 1 | 25 | ||||||
| 測試條件 | 流速 | 2.5 | 4 | 5 | 2.5 | 4 | 5 | |
| 累積重量 | 0 | 量測電壓值 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 |
| 2 | -1400 | -1950 | -1500 | -500 | -890 | -1150 | ||
| 4 | -1300 | -1650 | -2200 | -490 | -850 | -1100 | ||
| 6 | -1330 | -1750 | -2130 | -490 | -790 | -1050 | ||
| 8 | -1330 | -1755 | -2400 | -450 | -755 | -1050 | ||
| (kg) | 10 | (V) | -1350 | -1750 | -2400 | -445 | -750 | -1050 |
| 光電製程影響測試 | O | O | O | O | O | O | ||
| 編號 | 實施例55 | 實施例56 | 實施例57 | 實施例58 | 實施例59 | 實施例60 | ||
| 酯類材料 | 種類 | IAAC | IAAC | IAAC | IAAC | IAAC | IAAC | |
| 有機鹽材料 | 陽離子 | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | |
| 陰離子 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | ||
| 濃度 | 50 | 100 | ||||||
| 測試條件 | 流速 | 2.5 | 4 | 5 | 2.5 | 4 | 5 | |
| 累積重量 | 0 | 量測電壓值 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 |
| 2 | -340 | -550 | -950 | -230 | -510 | -945 | ||
| 4 | -330 | -510 | -830 | -240 | -440 | -850 | ||
| 6 | -325 | -490 | -900 | -190 | -450 | -880 | ||
| 8 | -320 | -490 | -910 | -195 | -450 | -880 | ||
| (kg) | 10 | (V) | -320 | -495 | -900 | -190 | -450 | -875 |
| 光電製程影響測試 | O | O | O | O | O | O |
| 表8 | 編號 | 實施例61 | 實施例62 | 實施例63 | 實施例64 | 實施例65 | 實施例66 | |
| 酯類材料 | 種類 | EAC | EAC | EAC | EAC | EAC | EAC | |
| 有機鹽材料 | 陽離子 | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | |
| 陰離子 | PF6 | PF6 | PF6 | PF6 | PF6 | PF6 | ||
| 濃度 | 1 | 25 | ||||||
| 測試條件 | 流速 | 2.5 | 4 | 5 | 2.5 | 4 | 5 | |
| 累積重量 | 0 | 量測電壓值 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 |
| 2 | -1650 | -2100 | -3000 | -520 | -850 | -1350 | ||
| 4 | -1390 | -1700 | -2500 | -508 | -900 | -1400 | ||
| 6 | -1460 | -1850 | -2655 | -520 | -915 | -1350 | ||
| 8 | -1480 | 1950 | -2753 | -525 | -950 | -1400 | ||
| (kg) | 10 | (V) | -1500 | -1950 | -2753 | -530 | -1000 | -1400 |
| 光電製程影響測試 | O | O | O | O | O | O | ||
| 編號 | 實施例67 | 實施例68 | 實施例69 | 實施例70 | 實施例71 | 實施例72 | ||
| 酯類材料 | 種類 | EAC | EAC | EAC | EAC | EAC | EAC | |
| 有機鹽材料 | 陽離子 | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | |
| 陰離子 | PF6 | PF6 | PF6 | PF6 | PF6 | PF6 | ||
| 濃度 | 50 | 100 | ||||||
| 測試條件 | 流速 | 2.5 | 4 | 5 | 2.5 | 4 | 5 | |
| 累積重量 | 0 | 量測電壓值 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 |
| 2 | -300 | -720 | -900 | -250 | -520 | -945 | ||
| 4 | -345 | -725 | -950 | -254 | -558 | -1000 | ||
| 6 | -375 | -750 | -1100 | -200 | -495 | -930 | ||
| 8 | -400 | -800 | -1050 | -230 | -480 | -960 | ||
| (kg) | 10 | (V) | -400 | -810 | -1100 | -230 | -475 | -960 |
| 光電製程影響測試 | O | O | O | O | O | O |
| 表9 | 編號 | 實施例73 | 實施例74 | 實施例75 | 實施例76 | 實施例77 | 實施例78 | |
| 酯類材料 | 種類 | EAC | EAC | EAC | EAC | EAC | EAC | |
| 有機鹽材料 | 陽離子 | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | |
| 陰離子 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | ||
| 濃度 | 1 | 25 | ||||||
| 測試條件 | 流速 | 2.5 | 4 | 5 | 2.5 | 4 | 5 | |
| 累積重量 | 0 | 量測電壓值 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 |
| 2 | -1550 | -2000 | -2800 | -510 | -830 | -1150 | ||
| 4 | -1380 | -1700 | -2300 | -500 | -750 | -1400 | ||
| 6 | -1390 | -1750 | -2450 | -490 | -790 | -1250 | ||
| 8 | -1400 | 1800 | -2530 | -480 | -800 | -1200 | ||
| (kg) | 10 | (V) | -1390 | -1790 | -2500 | -480 | -800 | -1200 |
| 光電製程影響測試 | O | O | O | O | O | O | ||
| 編號 | 實施例79 | 實施例80 | 實施例81 | 實施例82 | 實施例83 | 實施例84 | ||
| 酯類材料 | 種類 | EAC | EAC | EAC | EAC | EAC | EAC | |
| 有機鹽材料 | 陽離子 | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | |
| 陰離子 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | ||
| 濃度 | 50 | 100 | ||||||
| 測試條件 | 流速 | 2.5 | 4 | 5 | 2.5 | 4 | 5 | |
| 累積重量 | 0 | 量測電壓值 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 |
| 2 | -400 | -720 | -1000 | -245 | -500 | -945 | ||
| 4 | -340 | -620 | -900 | -240 | -480 | -900 | ||
| 6 | -350 | -650 | -930 | -210 | -490 | -930 | ||
| 8 | -355 | -680 | -930 | -210 | -470 | -930 | ||
| (kg) | 10 | (V) | -355 | -680 | -930 | -210 | -470 | -940 |
| 光電製程影響測試 | O | O | O | O | O | O |
| 表10 | 編號 | 實施例85 | 實施例86 | 實施例87 | 實施例88 | 實施例89 | 實施例90 | |
| 酯類材料 | 種類 | NBAC | NBAC | NBAC | NBAC | NBAC | NBAC | |
| 有機鹽材料 | 陽離子 | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | |
| 陰離子 | PF6 | PF6 | PF6 | PF6 | PF6 | PF6 | ||
| 濃度 | 1 | 25 | ||||||
| 測試條件 | 流速 | 2.5 | 4 | 5 | 2.5 | 4 | 5 | |
| 累積重量 | 0 | 量測電壓值 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 |
| 2 | -1900 | -2500 | -3200 | -610 | -1100 | -1500 | ||
| 4 | -1725 | -2175 | -2800 | -497 | -890 | -1370 | ||
| 6 | -1850 | -2250 | -2850 | -540 | -950 | -1460 | ||
| 8 | -1830 | -2300 | -2870 | -540 | -1000 | -1470 | ||
| (kg) | 10 | (V) | -1850 | -2310 | -2870 | -540 | -1050 | -1470 |
| 光電製程影響測試 | O | O | O | O | O | O | ||
| 編號 | 實施例91 | 實施例92 | 實施例93 | 實施例94 | 實施例95 | 實施例96 | ||
| 酯類材料 | 種類 | NBAC | NBAC | NBAC | NBAC | NBAC | NBAC | |
| 有機鹽材料 | 陽離子 | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | |
| 陰離子 | PF6 | PF6 | PF6 | PF6 | PF6 | PF6 | ||
| 濃度 | 50 | 100 | ||||||
| 測試條件 | 流速 | 2.5 | 4 | 5 | 2.5 | 4 | 5 | |
| 累積重量 | 0 | 量測電壓值 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 |
| 2 | -420 | -850 | -1200 | -260 | -540 | -1000 | ||
| 4 | -350 | -740 | -940 | -250 | -510 | -900 | ||
| 6 | -380 | -780 | -980 | -220 | -500 | -970 | ||
| 8 | -410 | -810 | -1090 | -230 | -490 | -980 | ||
| (kg) | 10 | (V) | -405 | -820 | -1100 | -235 | -490 | -980 |
| 光電製程影響測試 | O | O | O | O | O | O |
| 表11 | 編號 | 實施例97 | 實施例98 | 實施例99 | 實施例100 | 實施例101 | 實施例102 | |
| 酯類材料 | 種類 | NBAC | NBAC | NBAC | NBAC | NBAC | NBAC | |
| 有機鹽材料 | 陽離子 | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | |
| 陰離子 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | ||
| 濃度 | 1 | 25 | ||||||
| 測試條件 | 流速 | 2.5 | 4 | 5 | 2.5 | 4 | 5 | |
| 累積重量 | 0 | 量測電壓值 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 |
| 2 | -1700 | -2350 | -2700 | -550 | -950 | -1420 | ||
| 4 | -1520 | -2000 | -2600 | -480 | -850 | -1270 | ||
| 6 | -1500 | -2000 | -2550 | -510 | -850 | -1250 | ||
| 8 | -1510 | -1950 | -2550 | -515 | -860 | -1250 | ||
| (kg) | 10 | (V) | -1510 | -2000 | -2550 | -505 | -840 | -1250 |
| 光電製程影響測試 | O | O | O | O | O | O | ||
| 編號 | 實施例103 | 實施例104 | 實施例105 | 實施例106 | 實施例107 | 實施例108 | ||
| 酯類材料 | 種類 | NBAC | NBAC | NBAC | NBAC | NBAC | NBAC | |
| 有機鹽材料 | 陽離子 | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | |
| 陰離子 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | ||
| 濃度 | 50 | 100 | ||||||
| 測試條件 | 流速 | 2.5 | 4 | 5 | 2.5 | 4 | 5 | |
| 累積重量 | 0 | 量測電壓值 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 |
| 2 | -410 | -800 | -1100 | -250 | -520 | -950 | ||
| 4 | -370 | -740 | -940 | -240 | -495 | -890 | ||
| 6 | -375 | -730 | -980 | -215 | -490 | -940 | ||
| 8 | -380 | -725 | -950 | -220 | -480 | -950 | ||
| (kg) | 10 | (V) | -380 | -740 | -950 | -230 | -470 | -955 |
| 光電製程影響測試 | O | O | O | O | O | O |
| 表12 | 編號 | 實施例109 | 實施例110 | 實施例111 | 實施例112 | 實施例113 | 實施例114 | |
| 酯類材料 | 種類 | DMC | DMC | DMC | DMC | DMC | DMC | |
| 有機鹽材料 | 陽離子 | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | |
| 陰離子 | PF6 | PF6 | PF6 | PF6 | PF6 | PF6 | ||
| 濃度 | 1 | 25 | ||||||
| 測試條件 | 流速 | 2.5 | 4 | 5 | 2.5 | 4 | 5 | |
| 累積重量 | 0 | 量測電壓值 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 |
| 2 | -2500 | -3000 | -4000 | -750 | -1500 | -1800 | ||
| 4 | -2000 | -2650 | -3500 | -650 | 1350 | -1570 | ||
| 6 | -2150 | -2700 | -3850 | 670 | -1400 | -1620 | ||
| 8 | -2150 | -2710 | -3870 | 680 | -1430 | -1630 | ||
| (kg) | 10 | (V) | -2150 | -2700 | -3870 | 680 | -1430 | -1630 |
| 光電製程影響測試 | O | O | O | O | O | O | ||
| 編號 | 實施例115 | 實施例116 | 實施例117 | 實施例118 | 實施例119 | 實施例120 | ||
| 酯類材料 | 種類 | DMC | DMC | DMC | DMC | DMC | DMC | |
| 有機鹽材料 | 陽離子 | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | |
| 陰離子 | PF6 | PF6 | PF6 | PF6 | PF6 | PF6 | ||
| 濃度 | 50 | 100 | ||||||
| 測試條件 | 流速 | 2.5 | 4 | 5 | 2.5 | 4 | 5 | |
| 累積重量 | 0 | 量測電壓值 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 |
| 2 | -520 | -1000 | -1400 | -300 | -700 | -1100 | ||
| 4 | -370 | -860 | -940 | -255 | -530 | -930 | ||
| 6 | -400 | -900 | -1000 | -230 | -540 | -985 | ||
| 8 | -430 | -930 | -1180 | -230 | -540 | -990 | ||
| (kg) | 10 | (V) | -430 | -930 | -1200 | -235 | -540 | -990 |
| 光電製程影響測試 | O | O | O | O | O | O |
| 表13 | 編號 | 實施例121 | 實施例122 | 實施例123 | 實施例124 | 實施例125 | 實施例126 | |
| 酯類材料 | 種類 | DMC | DMC | DMC | DMC | DMC | DMC | |
| 有機鹽材料 | 陽離子 | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | |
| 陰離子 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | ||
| 濃度 | 1 | 25 | ||||||
| 測試條件 | 流速 | 2.5 | 4 | 5 | 2.5 | 4 | 5 | |
| 累積重量 | 0 | 量測電壓值 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 |
| 2 | -2100 | -2500 | -3500 | -730 | -1400 | -1600 | ||
| 4 | -1650 | -2400 | -3000 | -620 | 1300 | -1470 | ||
| 6 | -1700 | -2450 | -2950 | 650 | -1350 | -1520 | ||
| 8 | -1730 | 2460 | -2950 | 655 | -1350 | -1530 | ||
| (kg) | 10 | (V) | -1750 | -2400 | -2950 | 650 | -1360 | -1520 |
| 光電製程影響測試 | O | O | O | O | O | O | ||
| 編號 | 實施例127 | 實施例128 | 實施例129 | 實施例130 | 實施例131 | 實施例132 | ||
| 酯類材料 | 種類 | DMC | DMC | DMC | DMC | DMC | DMC | |
| 有機鹽材料 | 陽離子 | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | HMIM | |
| 陰離子 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | NTF2 | ||
| 濃度 | 50 | 100 | ||||||
| 測試條件 | 流速 | 2.5 | 4 | 5 | 2.5 | 4 | 5 | |
| 累積重量 | 0 | 量測電壓值 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 | -80 |
| 2 | -500 | -900 | -1200 | -290 | -600 | -1000 | ||
| 4 | -350 | -820 | -900 | -250 | -520 | -900 | ||
| 6 | -360 | -850 | -950 | -220 | -510 | -950 | ||
| 8 | -390 | -850 | -970 | -220 | -515 | -940 | ||
| (kg) | 10 | (V) | -390 | -850 | -970 | -235 | -520 | -940 |
| 光電製程影響測試 | O | O | O | O | O | O |
| 表14 | |
| HMIM | 1-己基-3甲基咪唑陽離子 1-Hexyl-3-methylimidazolium |
| PF6 | 六氟磷酸陰離子 Hexafluorophosphate |
| NTF2 | 雙三氟甲基磺醯亞胺陰離子 bis(trifluoromethanesulfonyl)imide |
| IBP | 丙酸異丁酯 Isobutyl Propionate |
| IAAC | 乙酸異戊酯 Isoamyl Acetate |
| NBAC | 乙酸正丁酯 n-Butyl Acetate |
| EAC | 乙酸乙酯 Ethyl Acetate |
| DMC | 碳酸二甲酯 Dimethyl Carbonate |
無
無。
Claims (8)
- 一種光電製程用之酯類組成物，適用於以一絕緣管材輸送，並包含：一液態的酯類材料；及一有機鹽材料，溶解於該酯類材料中，且以該光電製程用之酯類組成物為基準，該有機鹽材料的濃度為0.1ppm至100ppm；其中，該有機鹽材料為常溫下呈液態之離子液體。
- 如請求項1所述的光電製程用之酯類組成物，其中，該酯類材料為羧酸烷基酯。
- 如請求項1所述的光電製程用之酯類組成物，其中，該酯類材料為乙酸丁酯、乙酸戊酯、丙酸丁酯、乙酸乙酯、碳酸二甲酯，或前述的任意組合。
- 如請求項2或3所述的光電製程用之酯類組成物，其中，該有機鹽材料包括一陽離子單元及一陰離子單元，該陽離子單元為烷基咪唑陽離子、烷基吡啶陽離子、烷基銨陽離子，或前述的任意組合，該陰離子單元為六氟磷酸陰離子、雙三氟甲基磺醯亞胺陰離子，或前述的任意組合。
- 如請求項4所述的光電製程用之酯類組成物，其中，該陽離子單元為1-乙基-3甲基咪唑陽離子、1-丁基-3甲基咪唑陽離子、1-己基-3甲基咪唑陽離子，或前述的任意組合。
- 如請求項5所述的光電製程用之酯類組成物，其中，該酯類材料為碳酸二甲酯。
- 如請求項1所述的光電製程用之酯類組成物，其中，該有機鹽材料的濃度為0.1ppm至25ppm。
- 如請求項1所述的光電製程用之酯類組成物，其中，該有機鹽材料的濃度為1ppm至25ppm。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| ??106113032 | 2017-04-19 | ||
| TW106113032 | 2017-04-19 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TW201839116A TW201839116A (zh) | 2018-11-01 |
| TWI663253B true TWI663253B (zh) | 2019-06-21 |
Family
ID=65033914
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW107109254A TWI663253B (zh) | 2017-04-19 | 2018-03-19 | 光電製程用之酯類組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| TW (1) | TWI663253B (zh) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW201631399A (zh) * | 2015-02-26 | 2016-09-01 | Fujifilm Corp | 圖案形成方法、電子元件的製造方法及有機溶劑顯影用感光化射線性或感放射線性樹脂組成物 |
-
2018
- 2018-03-19 TW TW107109254A patent/TWI663253B/zh active
Patent Citations (1)
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW201839116A (zh) | 2018-11-01 |
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