TWI625427B - Processing system and method for etching high concentration waste liquid for recycling - Google Patents

Abstract

本發明揭示了一種蝕刻高濃度廢液回收再利用的處理系統和處理方法，包括四階段處理系統，該四階段處理系統包括透過泵依次連接的第一階段處理系統、第二階段處理系統、第三階段處理系統和第四階段處理系統，處理方法包括第一階段矽酸鈉、第二階段氟化鈣、第三階段硝酸鈉和第四階段熱回收，本發明設計合理，能實現廢液中的氟離子和硝酸根離子的徹底資源化回收，對現有環境零負擔。

Description

蝕刻高濃度廢液回收再利用的處理系統及方法

本發明係關於工業廢液處理領域，特別關於一種蝕刻高濃度廢液回收再利用的處理系統及方法。

光電業(玻璃面版蝕刻製程)、玻璃製造業(玻璃蝕刻製程)、晶元半導體業(二氧化矽晶元蝕刻製程)及光伏業(太陽能面版製造)等，在中國，由於其産業技術採用以氫氟酸(10~20％)和硝酸(5~15％)混酸爲蝕刻液的主要成份，乃利用氫氟酸可侵蝕二氧化矽的特性；但由於氫氟酸會和人體組織結構中骨內鈣反應變成氟化鈣(CaF ₂，俗稱螢石)，由於其反應KSP相當小(氟化鈣 KSP=1.7X10 ^{- 10})，故高濃度氫氟酸爲人體接觸後有截肢的風險，故於高科技産業園區流行一句話語，“見水不是水”，其談的就是氫氟酸溶液。而於蝕刻廢水排放時其氟離子濃度依然非常高，且蝕刻液爲了保持其酸度，往往加入了高濃度的硝酸，而於處理時增加了相當的危險及難度，且全世界環保規範均對硝酸根離子排放有管制濃度(總氮的管制)。

目前所用的常規技術中，沒有對加工過程中産生的刻蝕廢液進行系統處理，而是直接將其作爲廢棄物運走，這樣需要不斷地更換刻蝕液，另外還有處理本類廢水的廠商，以單純的酸鹼中和及加藥混凝沉澱來處理，由於以廢水方式處理，於污泥形成沉澱時，氟化鈣的分子相當細微，於其中加入混凝劑(PAC)及高分子助凝劑(Polymer)以增大分子顆粒迅速沉澱，將氟化鈣以污泥方向處理，增加了社會成本和資源浪費，而且這樣處理的的生成物有多種，包括二氧化矽(SiO ₂)、氟化鈣(CaF ₂)、氟化鈉(NaF)及六氟矽酸鈉(Na ₂SiF ₆)，混合産品的多種化，意味著産品純度不高而回收使用的可行性及價值不太可觀，而僅能當危害廢棄物來處理，而氟離子於氟産業是資源而非廢棄物，如此處理方向則爲本末倒置，浪費資源，且對環境造成二次污染。

爲克服上述缺點，本發明的目的在於提供一種將氟離子及硝酸根離子徹底資源化，形成高純度的化合物，返回市場使用且對現有環境零負擔的刻蝕高濃度廢液回收再利用的處理方法及系統。

本發明的目的可以透過以下技術方案實現： 蝕刻高濃度廢液回收再利用的處理系統，包括四階段處理系統，該四階段處理系統包括透過泵依次連接的第一階段處理系統、第二階段處理系統、第三階段處理系統和第四階段處理系統； 該第一階段處理系統包括透過泵依次連接的現有池、調整槽-Ⅰ、反應槽-Ⅰ、産品脫水機-Ⅰ、收集槽-Ⅰ、中和槽-Ⅰ、中和槽-Ⅱ和收集槽-Ⅱ，該收集槽-Ⅰ與該反應槽-Ⅰ連接，該産品脫水機-Ⅰ與乾燥機關聯，該反應槽-Ⅰ與NaOH藥槽連接，該NaOH藥槽與加藥機連接，該NaOH藥槽與NaOH泡藥桶透過加藥機連接，該調整槽-Ⅰ與調整槽-Ⅱ並聯，該收集槽-Ⅰ與收集槽-Ⅱ並聯，該反應槽-Ⅰ與該收集槽-Ⅱ透過産品脫水機-Ⅱ連接，該調整槽-Ⅰ與該反應槽-Ⅰ之間，該調整槽-Ⅰ與該反應槽-Ⅱ之間設有耐酸鹼泵，該反應槽-Ⅰ與該産品脫水機-Ⅰ之間、該反應槽-Ⅰ與該産品脫水機-Ⅱ之間、該收集槽-Ⅰ與該中和槽-Ⅰ之間、該收集槽-Ⅱ與該中和槽-Ⅰ之間設有耐酸鹼氣動隔膜泵； 該第二階段處理系統包括透過泵依次連接的調整槽-Ⅲ、反應槽-Ⅱ、産品脫水機-Ⅲ和收集槽-Ⅳ，該産品脫水機-Ⅲ與該乾燥機關聯，該收集槽-Ⅳ與該調整槽-Ⅲ連接，該反應槽-Ⅱ與反應槽-Ⅲ並聯，該泵爲耐酸鹼氣動隔膜泵； 該第三階段處理系統包括依次連接的調整槽-Ⅳ、MVR設備、降溫槽、結晶槽、産品脫水機-Ⅳ和收集槽-Ⅴ，該收集槽-Ⅴ與該調整槽-Ⅲ連接，該該收集槽-Ⅳ與該結晶槽連接，該産品脫水機-Ⅳ與該乾燥機關聯，該降溫槽與該結晶槽之間、該結晶槽與該産品脫水機-Ⅳ之間、該收集槽-Ⅴ與該結晶槽和該調整槽-Ⅲ之間設有耐酸鹼氣動隔膜泵； 該第四階段處理系統包括MVR設備、循環槽-Ⅰ、循環槽-Ⅱ和放流槽，該MVR設備連接循環槽-Ⅰ、循環槽-Ⅱ和放流槽，該MVR設備與該循環槽-Ⅰ形成內部循環，該MVR設備與該循環槽-Ⅱ形成內部循環，該循環槽-Ⅰ和循環槽-Ⅱ透過耐酸鹼氣動隔膜泵與熱水回用裝置連接，該放流槽透過耐酸鹼氣動隔膜泵與回用裝置和純水用蓄水池連接，該MVR設備與該調整槽-Ⅰ和調整槽-Ⅱ連接，該回用裝置與該NaOH泡藥桶連接，該放流槽與該純水用蓄水池之間、該循環槽-Ⅰ與該熱水回用裝置之間、該循環槽-Ⅱ與該熱水回用裝置之間設有耐酸鹼氣動隔膜泵，該循環槽-Ⅰ與該MVR設備之間、該循環槽-Ⅱ與該MVR設備之間設有水泵； 該耐酸鹼氣動隔膜泵透過五口二位閥與空壓機連接。

進一步地，該MVR設備與該循環槽-Ⅰ、該MVR設備與該循環槽-Ⅱ、該放流槽與該純水用蓄水池、該放流槽與該回用裝置之間設有不銹鋼電動閥、該收集槽-Ⅰ與該反應槽-Ⅰ和該中和槽-Ⅰ之間、該收集槽-Ⅱ與該反應槽-Ⅰ和該中和槽-Ⅰ之間、該調整槽-Ⅲ與該反應槽-Ⅱ和反應槽-Ⅲ之間、該反應槽-Ⅱ和反應槽-Ⅲ與該産品脫水機-Ⅲ之間、該收集槽-Ⅳ與該調整槽-Ⅳ和該調整槽-Ⅲ之間、該NaOH泡藥桶與該NaOH藥槽之間、該收集槽-Ⅴ與該結晶槽和該調整槽-Ⅲ之間設有PVC耐酸鹼電動閥。

進一步地，該調整槽-Ⅰ、調整槽-Ⅱ、反應槽-Ⅰ、調整槽-Ⅲ、反應槽-Ⅱ、反應槽-Ⅲ、調整槽-Ⅳ、降溫槽、結晶槽和NaOH泡藥桶分別與鼓風機透過氣體管路閥連接。

進一步地，該鼓風機包括鼓風機-Ⅰ和鼓風機-Ⅱ，該鼓風機-Ⅰ和鼓風機-Ⅱ交替工作。

進一步地，該NaOH藥槽包括NaOH藥槽-Ⅰ、NaOH藥槽-Ⅱ、NaOH藥槽-Ⅲ和NaOH藥槽-Ⅳ，該NaOH藥槽-Ⅰ與該中和槽-Ⅰ和中和槽-Ⅱ連接，該NaOH藥槽-Ⅱ、 NaOH藥槽-Ⅲ和 NaOH藥槽-Ⅳ與該反應槽-Ⅰ連接。

進一步地，該NaOH泡藥桶、調整槽-Ⅰ、反應槽-Ⅰ、降溫槽、結晶槽、循環槽-Ⅰ和循環槽-Ⅱ內設有溫度監測器。

進一步地，該現有池、調整槽-Ⅰ、反應槽-Ⅰ、收集槽-Ⅰ、收集槽-Ⅱ、收集槽-Ⅲ、調整槽-Ⅲ、反應槽-Ⅱ、反應槽-Ⅲ、收集槽-Ⅳ、調整槽-Ⅳ、降溫槽、結晶槽、收集槽-Ⅴ、循環槽-Ⅰ、循環槽-Ⅱ和放流槽內分別設有水位計。

進一步地，該乾燥機爲雙錐乾燥機，能够加快物料的乾燥速度，提高乾燥效率，達到均勻乾燥的目的。

進一步地，該調整槽-Ⅰ與該反應槽-Ⅰ之間設有水流量監測裝置。

進一步地，該中和槽-Ⅰ和中和槽-Ⅱ內設有攪拌機和PH計。

進一步地，該産品脫水機-Ⅰ、該産品脫水機-Ⅱ、該産品脫水機-Ⅲ和該産品脫水機-Ⅳ上設有浸油式壓力錶和傳訊式壓力計，該浸油式壓力錶可由操作人員目測壓力值，該傳訊式壓力計所測得的壓力訊號傳送至PLC作爲自動控制的依據。

刻蝕高濃度廢液回收再利用的處理方法，該廢液中主要包含H ₂SiF ₆和HNO ₃，該處理方法包括如下步驟： (1)第一階段-六氟矽酸鈉：刻蝕排放廢水中所含氟離子多已反應生成六氟矽酸的形態，以耐酸鹼氣動隔膜加藥泵方式，控制液鹼加藥量加入反應槽-Ⅰ中，反應成爲六氟矽酸鈉(Na ₂SiF ₆)，加藥的同時，以溫度感應監測加藥泵的起停，反應槽中設有曝氣用的粗氣泡散氣盤，充分均勻攪拌，此時，板框式脫水機工作泵啓動過濾裝置，將沉澱的六氟矽酸鈉脫水，脫水完成的産品進入烘乾機乾燥包裝成成品； (2)第二階段-氟化鈣：將第一階段的過濾完成廢水泵入反應槽-Ⅰ和反應槽-Ⅱ中，加入氫氧化鈣(Ca(OH) ₂)進一步去除氟離子，生成氟化鈣(CaF ₂)沉澱，當其中任一反應槽內的氟化鈣反應完成，反應槽底的電動閥門開啓，此時脫水機工作泵開啓，進行過濾，脫水完成後的氟化鈣(CaF ₂)即進行烘乾包裝； (3)第三階段及第四階段-硝酸鈉(NaNO ₃)：將第二階段的過濾完成廢水導入MVR(機械式蒸汽再壓縮技術)設備內，該MVR設備共有二進、四出： 二進，分別爲“進流廢水”和“蒸汽壓縮機冷却循環水入流”； 四出，分別爲“蒸餾出水”、“蒸汽壓縮機冷却循環水出流”、“高濃度濃縮廢水”和“系統內低溫蒸汽”； 其中，進流廢水經工作泵進入MVR設備後，先加熱至90℃-95℃，以循環泵引入MVR設備頂部，以蒸汽壓縮機循環加壓蒸汽後，使蒸汽加熱至115℃-118℃，該MVR設備中的降膜蒸器底部排出蒸餾出水，該MVR設備底部排水管排出一定量高濃度濃縮廢水，該蒸餾出水在排除MVR設備前，先導入MVR設備內的氣液分離桶，此時，低溫蒸汽排出，“蒸汽壓縮機冷却循環水出流”排出後分爲循環槽-Ⅰ和循環槽-Ⅱ，以工作泵方式回流導入蒸汽壓縮機以降低其操作溫度，回流至一定溫度後供應至工廠淋浴用水，該循環槽-Ⅰ和循環槽-Ⅱ分別輪流交替工作，蒸餾出水以工作泵排出MVR設備，若工廠熱水需求量大於供應量，用自來水補水加入，蒸餾出水以工作泵排出MVR設備至放流槽內； 將高濃度濃縮廢水導入降溫槽內，在低於設定溫度時，泵入結晶槽準備過濾硝酸鈉結晶，此時結晶槽內以高低液位控制工作泵進行過濾脫水，脫水完成後經過乾燥機進行烘乾，乾燥後的得到 硝酸鈉(NaNO ₃)産品，過濾完成水返送至氟化鈣反應之前的調整槽-Ⅲ。

下面結合附圖對本發明的較佳實施例進行詳細闡述，以使本發明的優點和特徵能更易於被本發明所屬技術領域中具有通常知識者理解，因而對本發明的保護範圍做出更爲清楚明確的界定。

參見附圖1所示，本實施例中的蝕刻高濃度廢液回收再利用的處理系統，包括：

一、第一階段－六氟矽酸鈉

1.系統開機前

以自來水將循環槽-Ⅰ(T17)及循環槽-Ⅱ(T18)注滿至高水位，再將放流槽(T19)反復注水至藥桶“D01”直至藥桶“D02” 、藥桶“D03”、“D04”及“D05”泡藥完成。

2.泡藥

開啓管路閥“V20”，關閉閥“V21”，泵“P19”於“ON”狀態下將放流槽(T19)內回收水(REC WATER)(系統第一次運作時，放流槽內無水則以自來水代替至MVR開始運作，輸送至藥桶“D01”內，直到高水位時泵“P19” “OFF”；此時，以人工方式將定量片鹼投入藥桶“D01”內；此時，桶內溫度監測計“TE07”定於60℃(可以人機設計調整)，超過設定溫度時，系統高溫移報動作，停止投藥，直到溫度下降至40℃(可以人機設計調整)時，重新投藥至定量完成(定量指加入水量爲1800KG，片鹼爲1800KG，泡製成50%，比重1.52NaOH溶液)。

將泡好的NaOH溶液以加藥機“C01”注入藥桶“D02” 、“D03”、“D04”及“D05”至高液位，此時，於注藥的同時，分別開啓管路閥“V22” 、“V23”、“V24”及“V25”；注藥完成，管路閥門爲“OFF”狀態。

泡藥同時調整系統鼓風機“A02”或“A03”(二台互爲備品，交替使用。)藥桶上方氣體管路閥“AV10”開啓，泡藥完成手動關閉。

若藥桶“D01”於低液位時，發布“藥桶低液位移報”，以通知操作人員進行泡藥工作，操作人員進行泡藥時，可以手動方式關閉移報開關。

3.進水

將現有池“T00”內廢水以進水泵“P00”導入本系統調整槽-Ⅰ“T01”及調整槽-Ⅱ“T02”內，此時，若調整槽-Ⅰ“T01”內設溫度監測“TE01”低於10℃時，閥“V13”開啓，低溫蒸氣導入，溫度監測“TE01”高於15℃時，閥“V13”關閉，低溫蒸氣停止導入。

此時，調整槽-Ⅰ“T01”內水位計“LE01”監測到高水位，反應槽-Ⅰ“T03”內水位計“LE02”監測到低水位，耐酸鹼泵“P01”或“P02”(二台交替運轉，泵故障跳脫至另一台，啓動移報。)啓動將廢水注入反應槽-Ⅰ“T03”內直到液位計“LE02”高水位到達時，泵停止動作(耐酸鹼泵“P01”及“P02”後水量監測計“FM1”爲流量監測裝置)。

進水的同時，系統鼓風機開啓及氣體管路閥“AV01”及“AV02”開啓，使廢水充份攪拌混合，泵停止動作時，管路閥“AV01”及“AV02”關閉。

4.加藥及攪拌

當耐酸鹼泵“P01”或“P02”停止動作時(反應槽-Ⅰ(“T03”)已達高水位)，系統PLC監控藥桶“D03”、“D04”及“D05”液位“LE19”、“LE20”及“LE21”三液位中至少有二液位位於高水位狀態，此時進入加藥攪拌狀態。

若“LE19”、“LE20”及“LE21”三液位中全位於高水位狀態，啓動加藥機“C04”，操作藥槽“D03”，操作液位“LE19”，藥槽“D03”內液鹼由高液位打至低液位時，更換爲啓動加藥機“C05”，操作藥槽“D04”，操作液位“LE20”；任一藥桶被加藥機打至低液位時，PLC發布“藥桶低液位移報”，以通知操作人員進行泡藥工作。

若僅有二藥桶於高液位，操作對應加藥機，此時發布“藥桶低液位移報”，以通知操作人員進行泡藥工作。

若僅有一藥桶於高液位時，停止加藥，此時發布“藥桶低液位移報”，通知操作人員進行泡藥工作。

藥桶“D02”液位計“LE18”於低水位時，此時發布“藥桶低液位移報”，通知操作人員以手動方式將藥桶“D01”內藥品以加藥機“C01”手動方式將液鹼注入藥桶“D02”內，此時管路閥“V22”開啓，注藥完成，加藥機“C01”及管路閥“V23”關閉。

加藥的同時進行反應槽內溫度監控，若大於50℃(可以人機設計調整)，則停止加藥，若降溫至40℃以下則繼續加藥。

若藥桶“D01”於低液位時，發布“藥桶低液位移報”，以通知操作人員進行泡藥工作，操作人員進行泡藥時，可以手動方式關閉移報開關。

加藥的同時，系統鼓風機運轉，閥“AV03”開啓。

5.過濾

本階段過濾産品脫水機有兩台産品脫水機-Ⅰ“K01”及産品脫水機-Ⅱ“K02”，對應耐酸鹼隔膜泵爲“P03”及“P04”,對應過濾水收集槽爲“T04”及“T05”，對應槽內的液位計爲“LE03”及“LE04”(均爲數字式液位計)，對應過濾完成水輸送泵爲“P05”及“P06”，對應過濾水回流閥爲“V01”及“V03”，對應過濾完成水所進行導流閥爲“V02”及“V04”。

反應槽-Ⅰ(T03)於加藥機停止加藥時，反應槽內持續曝氣攪拌，時間設於30分鐘(可於人機設定調整)，完成後，系統進行過濾，過濾時槽內持續曝氣至過濾工作完成，過濾工作壓力設定於6KG/CM ²。(曝氣時程內，氣體管路閥“AV03”開啓。)

産品脫水機可選擇“手動”、“自動”及“停”，“手動”時，若6KG/CM ²且過濾完成水不再出水持續5分鐘以上，代表産品脫水機過濾時程已完成，此時濾料已滿，停止耐酸鹼氣動隔膜泵，産品脫水機輸送機動作，油壓缸釋壓，開啓板框，産品料自動卸下，由産品脫水機輸送機運至料槽(以人工方式運至乾燥機乾燥)，油壓缸送壓，板框合板，耐酸鹼氣動隔膜泵動作，繼續過濾；脫水機“自動”時，“PP01”(或“PP02”)表壓持續超過6KG/CM ²(可以人機設定調整)以上，相對應收集槽-Ⅰ(T04)內液位計“LE03”或收集槽-Ⅱ“T05”內液位計“LE04”，每10分鐘(可由人機設定)液位差不超過1公分，板框式脫水機自動完成上述“手動”程序；産品脫水機設定於“停”時，停機維護。

過濾系統進行“自動”時，啓動耐酸鹼氣動隔膜泵“P03”，過濾完成水進入收集槽-Ⅰ“T04”，槽內液位計“LE03”控制耐酸鹼氣動隔膜泵“P05”於水位高度50公分時“高打”，水位高度10公分 “低停”，此時於耐酸鹼氣動隔膜泵“P03”初起動時管路閥“V01”開啓5分鐘(可由人機設定調整)，管路閥“V02”關閉，過濾完成水回流至反應槽-Ⅰ“T03”內，5分鐘完成後，過濾完成水導入中和槽-Ⅰ“T06”中進行中和反應，過濾完成時(反應槽-Ⅰ“T03”內液位計“LE02”位於低水位)，此時，耐酸鹼氣動隔膜泵“P03”停止，耐酸鹼氣動隔膜泵“P05” 運作至收集槽-Ⅰ“T04”低水位時停止，管路閥“V01”及“V02”關閉(過濾動作完成)。

過濾系統進行“自動”時，若調整槽-Ⅰ“T01”內液位計“LE01”位於高水位時，除已正於啓動産品脫水機-Ⅰ“K01”及相關設備，另起動産品脫水機-Ⅱ“K02”及相關設備，即啓動耐酸鹼氣動隔膜泵“P04”，過濾完成水進入收集槽-Ⅱ“T05”，槽內所設液位計“LE04”控制耐酸鹼氣動隔膜泵“P06”於水位高度50公分時“高打”，水位高度10公分 “低停”，此時於耐酸鹼氣動隔膜泵“P04”初起動時管路閥“V03”開啓5分鐘(可由人機設定調整)，管路閥“V04”關閉，過濾完成水回流至反應槽-Ⅰ“T03”內，5分鐘完成後，過濾完成水導入中和槽-Ⅰ“T06”中進行中和反應。過濾完成時(反應槽-Ⅰ“T03”內液位計“LE02”位於低水位)，此時，耐酸鹼氣動隔膜泵“P03”及“P04”停止，耐酸鹼氣動隔膜泵“P05”及“P06” 運作至收集槽-Ⅱ“T05”低水位時停止，管路閥“V03”及“V04”關閉(過濾動作完成)。

爲確保過濾完成水進入中和槽-Ⅰ“T06”爲澄清廢水，耐酸鹼氣動隔膜泵“P03”或“P04”起動初始5分鐘(可由人機設定調整)必需回流至反應槽-Ⅰ“T03”。

過濾系統運作時，系統鼓風機持續開啓，氣體管路閥門“AV03”開啓，反，關閉，過濾系統進行“手動”時，各設備及管路閥手動開啓測試。

6.中和

本階段分二次中和反應，系統設備包括中和槽-Ⅰ“T06”、槽內附屬設備攪拌機“M01”、酸鹼加藥控制器及傳感器“PH01”、加藥機“C02”、中和槽-Ⅰ“T07”、槽內附屬設備攪拌機“M02”、酸鹼加藥控制器及傳感器“PH02”、加藥機“C03”、收集槽-Ⅲ“T08”及耐酸鹼氣動隔膜泵“P07”。

廢水經由管路閥“V02”及或“V04”導流入中和槽-Ⅰ“T06”，即管路閥“V02”及或“V04”開啓時，攪拌機“M01”及“M02”開始運作，此時酸鹼加藥控制器及傳感器“PH01”偵測水槽“T06”內PH值低於5.5時(可於酸鹼加藥控制器上調整設定)，啓動加藥機“C02”動作加藥，高於5.5停止加藥；酸鹼加藥控制器及傳感器“PH02”偵測水槽“T07”內PH值低於6.5時(可於酸鹼加藥控制器上調整設定)，啓動加藥機“C02”動作加藥，高於6.5停止加藥；本部份廢水以溢流方式由T06流經T07至T08，於收集槽-Ⅲ“T08”設置耐酸鹼氣動隔膜泵“P07”，抽取廢水至調整槽-Ⅲ“T09”，其由液位計“LE05”控制高打低停。

二、第二階段－氟化鈣

1.進水、加藥及攪拌

承上一階段，廢水由耐酸鹼氣動隔膜泵“P07”，自動抽取至調整槽-Ⅲ“T09”，於槽內液位計“LE06”高水位時啓動耐酸鹼泵“P08”，此時，於若反應槽-Ⅱ“T10”內液位計“LE07”監測爲低水位，管路閥“V05”開啓而管路閥“V06”、“V07”及“V08”關閉，至液位計“LE07”監測爲高水位(滿水)時，耐酸鹼泵“P08”停止，管路閥“V05”關閉。

於調整槽-Ⅲ“T09”內液位計“LE06”高水位時啓動耐酸鹼泵“P08”，此時，於若反應槽-Ⅱ“T10”內液位計“LE07”監測爲高水位或耐酸鹼氣動隔膜泵“P09”正於運作，此時，管路閥“V06”開啓而管路閥“V05”關閉，至液位計“LE08”監測爲高水位(滿水)時，耐酸鹼泵“P08”停止，管路閥“V06”關閉。

若調整槽-Ⅲ“T09”內液位計“LE06”超高液位，反應槽-Ⅱ“T10”內液位計“LE07”高液位(或耐酸鹼氣動隔泵“P09”運轉中)，且，反應槽-Ⅲ“T11”內液位計“LE08”高液位(或耐酸鹼氣動隔泵“P10”運轉中)，此時，耐酸鹼氣動隔泵“P03”及或“P04”停止運轉，系統PLC發布“滿水移報”。

反應槽-Ⅱ“T10”及或反應槽-Ⅲ“T11”滿水時，反應回PLC系統發送“滿水加藥移報”，且於控制面版上設置“TT10”及“TT11”押扣式按鈕，待操作人員將氫氧化鈣手動分別加入反應槽-Ⅱ“T10”及或反應槽-Ⅲ“T11”時，回到操作面版將押扣按鈕分別按下，確認人工加藥完成，並完成通知PLC動作。

耐酸鹼泵“P08”動作時，氣體管路閥“AV04”開啓，系統鼓風機開啓。

系統被通知人工加藥完成時，即TT10及或TT11押扣式按鈕分別或同時被按下時。

對應槽上方氣體管路閥“AV05”及或“AV06”於投藥時開啓，系統鼓風機開啓，反應槽持續以氣體攪拌30分鐘。

於進水、加藥及攪拌過程中，二反應槽所對應管路閥“V07”及“V08”各自關閉。

2.過濾

本階段過濾産品脫水機有一台“K03”，對應反應槽-Ⅱ“T10”及反應槽-Ⅲ“T11”，對應管路閥爲“V07”及“V08”，所對應過濾工作泵爲耐酸鹼隔膜泵“P09”及“P10”，對應過濾水槽爲收集槽-Ⅳ“T12”，對應槽內液位計爲“LE09”(數字式液位計)，對應過濾完成水輸送泵爲“P11”，對應過濾水回流閥爲“V10”，對應過濾完成水所進行導流閥爲“V09”。

反應槽-Ⅱ“T10”及或反應槽-Ⅲ“T11”於人工加藥完成後，反應槽內持續曝氣攪拌，時間設於30分鐘(可於人機接口調整)，完成後，系統進行過濾，過濾工作壓力設定6KG/CM ²。反應槽-Ⅱ“T10”過濾時，管路閥“V07”開啓，耐酸鹼氣動隔膜泵“P09”動作；反應槽-Ⅲ“T11”過濾時，管路閥“V08”開啓，耐酸鹼氣動隔膜泵“P10”動作；二反應槽可同時進行過濾動作。

産品脫水機可選擇“手動”、“自動”及“停”，“手動”時，若6KG/CM ²且過濾完成水不再出水持續5分鐘以上，代表産品脫水機過濾時程已完成，此時濾料已滿，停止耐酸鹼氣動隔膜泵“P09”及或“P10”，産品脫水機輸送機動作，油壓缸釋壓，開啓板框，産品料自動卸下，由産品脫水機輸送機運至料槽，油壓缸送壓，板框合板，耐酸鹼氣動隔膜泵“P09”及或“P10”動作，繼續過濾；脫水機“自動”時，“PP03”表壓持續超過6KG/CM ²以上，相對應收集槽-Ⅳ“T12”內液位計“LE09”，每10分鐘(可由人機設定)液位差不超過1公分，板框式脫水機自動完成上述“手動”程序；産品脫水機設定“停止”時，停機維護。

過濾系統進行“自動”時，啓動耐酸鹼氣動隔膜泵“P09”及或“P10”，對應管路閥“V07”及“V08”亦爲對應開啓，過濾完成水進入收集槽-Ⅳ“T12”，槽內所設液位計“LE09”控制耐酸鹼氣動隔膜泵“P11”於水位高度50公分時“高打”，水位高度10公分 “低停”，此時産品脫水機剛完成卸料動作時，耐酸鹼氣動隔膜泵“P11”初起動時管路閥“V10”開啓5分鐘(可由人機設定調)，管路閥“V09”關閉，過濾完成水回流至調整槽-Ⅲ“T09”內，5分鐘完成後，過濾完成水導入調整槽-Ⅳ“T13”，過濾完成時(反應槽-Ⅱ“T10”內液位計“LE07”位於低水位；及或，反應槽-Ⅲ“T11”內液位計“LE08”位於低水位)，此時，對應耐酸鹼氣動隔膜泵“P09”及或“P10”停止，耐酸鹼氣動隔膜泵“P11” 運作廢水至調整槽-Ⅳ“T13”低水位時停止，對應管路閥“V07”及或“V08”關閉；管路閥“V09”及或“V10”關閉，過濾動作完成。

爲確保過濾完成水進入調整槽-Ⅳ“T13”爲澄清廢水，産品脫水機在剛完成卸料動作時，耐酸鹼氣動隔膜泵“P11”起動初始5分鐘(可由人機設定調整)必需回流至調整槽-Ⅲ“T09”。

過濾系統運作時，系統鼓風機持續開啓，氣體管路閥門“AV05”及或“AV06”開啓，反之，關閉。

若調整槽-Ⅳ“T13”液位計“LE10”於超過超高水位，耐酸鹼氣動隔膜泵“P09”及“P10”停止動作，管路閥“V07”及“V08”關閉，PLC“滿水移報”。

過濾系統進行“手動”時，各設備及管路閥手動開啓測試。

三、第三階段-硝酸鈉

1.進水、降溫及結晶

於調整槽-Ⅳ“T13”內設液位計“LE10”高水位時，MVR蒸發機內自設吸入泵將廢水導入MVR內，高濃度濃縮廢水於MVR設備內先和進流廢水以板式熱交換器進行熱交換，提高進流廢水溫度，隨後進入降溫槽“T14”，MVR動作時，系統鼓風機開啓，氣體管路閥“AV07”、“AV08”及“AV09”開啓，降溫槽“T14”內設“TE03”及“LE11”，廢水於溫度低於50℃(可於人機操作調整)，液位計超過高水位時，耐酸鹼氣動隔膜泵“P12”自動將廢水導入結晶槽“T15”內，耐酸鹼氣動隔膜泵“P12”於水溫計“TE03”高於50℃及或液位計“LE11”低水位及或液位計“LE12”高水位時停止運轉，MVR及耐酸鹼氣動隔膜泵“P12”停止時，氣體管路閥“AV08”關閉。

降溫槽“T14”於超高液位時，系統關閉MVR，PLC“滿水移報”。

MVR“手動”或“自動”時，循環泵-Ⅰ“T17”及或循環泵-Ⅱ“T18”必需至少有一槽爲高水位，於“自動”時，循環工作泵及相關閥自動開啓，形成內循環水流以降低蒸縮機操作溫度，若二槽均爲低水位，PLC“缺水移報”。

廢水進入結晶槽“T15”再次降溫結晶，於槽內設“TE03”及“LE11”，廢水溫度低於35℃(可於人機操作調整)，液位計超過高水位時，耐酸鹼氣動隔膜泵“P13”自動將廢水導入産品脫水機“K04”，耐酸鹼氣動隔膜泵“P12”於水溫計“TE04”高於45℃(可於人機操作調整)及或液位計“LE11”於低水位時，停止運轉。

MVR及耐酸鹼氣動隔膜泵“P13”停止時，氣體管路閥“AV09”關閉。

2.過濾

本階段所設計過濾産品脫水機有一台“K04”，對應結晶槽“T15”，所對應過濾工作泵爲耐酸鹼隔膜泵“P13”，對應過濾水槽爲收集槽-Ⅴ“T16”，對應槽內液位計爲“LE13”(數字式液位計)，對應過濾完成水輸送泵爲“P14”，對應過濾水回流閥爲“V11”，對應過濾完成水所進行導流閥爲“V12”。

結晶槽“T15”溫度低於35℃，高液位時，耐酸鹼氣動隔膜泵“P13”開始過濾，結晶槽內持續曝氣攪拌，耐酸鹼氣動隔膜泵“P12”停止動作，系統進行過濾，過濾工作壓力設定爲6KG/CM ²。

産品脫水機可選擇“手動”、“自動”及“停”，“手動”時，過濾完成水不再出水持續5分鐘以上，代表産品脫水機過濾已完成，此時濾料已滿，停止耐酸鹼氣動隔膜泵“P13”，産品脫水機輸送機動作，油壓缸釋壓，開啓板框，産品料自動卸下，由産品脫水機輸送機運至料槽，油壓缸送壓，板框合板，耐酸鹼氣動隔膜泵“P13”動作，繼續過濾；脫水機“自動”時，“PP03”表壓持續超過6KG/CM ²以上，相對應收集槽-Ⅴ“T16”內液位計“LE13”，每10分鐘(可由人機設定)液位差不超過1公分，板框式脫水機自動完成上述“手動”程序；産品脫水機設定“停止”時，停機維護。

過濾系統進行“自動”時，啓動耐酸鹼氣動隔膜泵“P13”，過濾完成水進入收集槽-Ⅴ“T16”，槽內所設液位計“LE13”控制耐酸鹼氣動隔膜泵“P14”於水位高度50公分時“高打”，水位高度10公分 “低停”，此時在産品脫水機在剛完成卸料動作時，耐酸鹼氣動隔膜泵“P14”初起動時管路閥“V11”開啓5分鐘(可由人機設定調整)，管路閥“V12”關閉，過濾完成水回流至結晶槽“T15”內，5分鐘完成後，管路閥“V11”及“V12”對應切換，過濾完成水導入調整槽-Ⅲ“T09”，過濾完成時(結晶槽“T10”內液位計“LE12”位於低水位)，此時，對應耐酸鹼氣動隔膜泵“P13”停止，耐酸鹼氣動隔膜泵“P14” 運作廢水至調整槽-Ⅲ“T09”低水位時停止，對應管路閥“V11”及“V12”關閉，過濾動作完成。

過濾動作持續時，耐酸鹼氣動隔膜泵“P13”持續工作，此時若調整槽-Ⅲ“T09”在超高水位時，耐酸鹼氣動隔膜泵“P13”停止工作，PLC“滿水移報”。

爲確保過濾完成水進入調整槽-Ⅲ“T09”爲澄清廢水，産品脫水機在剛完成卸料動作時，耐酸鹼氣動隔膜泵“P14”起動初始5分鐘(可由人機設定調整)必需回流至結晶槽“T15”。

過濾系統運作時，系統鼓風機持續開啓，氣體管路閥門“AV09”開啓，反之，關閉。系統MVR及耐酸鹼氣動隔膜泵“P13”起動時，氣體管路閥門“AV09”開啓，反之，關閉。

過濾系統進行“手動”時，各設備及管路閥手動開啓測試。

四、第四階段

MVR設備總共二進及四出，如下：

二進，分別爲“進流廢水”及“蒸氣壓縮機冷却循環水入流”。

其中，“蒸氣壓縮機循環水入流”以自來水(CITY WATER)補水。

四出，均爲熱系統，分別爲“蒸餾出水”、 “蒸氣壓縮機冷却循環水出流” 、“高濃度濃縮廢水”及“系統內低溫蒸氣” 。

1.低溫蒸氣

由管路閥“V13”、“V14”及“V15”控制流向，調整槽-Ⅰ“T01”廢水水溫溫度計“LE01”低於10℃(可由人機設定調整)時，“V13”開啓；反，高於15℃(可由人機設定調整)時，關閉。

循環水槽-Ⅰ“T17”及循環水槽-Ⅱ“T18”所對循環水泵“P15”及“P17”，其中一槽體及泵工作時，對應管路閥“V14”或“V15”開啓，另一關閉。(此爲加速加溫循環水槽內循環水溫度，以利回收速度。)

2.蒸氣壓縮機冷却循環水出流

循環水槽-Ⅰ“T17”及循環水槽-Ⅱ“T18”所對應循環水泵“P15”及“P17”，其中一槽體及泵工作時，對應管路閥“V16”或“V17”開啓，另一關閉；形成一內循環封閉系統。對應槽內溫度計“TE05”及“TE06”，若溫度超過50℃(可由人機設定調整)，由對應耐酸鹼氣動隔膜泵“P16”及“P18”以自動方式由對應槽內液位計“LE14”及“LE15”控制高打及低停；二槽及其系統，交替操作循環動作(如“P16”動作排水，“P17”接手循環降溫工作，對應管路閥“V16”開啓，形成內循環。)。

3.蒸餾出水

蒸餾出水於排出MVR設備前先以板式熱交換器(位於MVR設備內)與進流廢水進行交換(提高進流廢水溫度，目的爲節能)即行排出MVR，排水進入放流槽“T19”，其所對應耐酸鹼氣動隔膜泵“P19”，其所對應液位計“LE15”，“自動”時高打低停，管路閥“V22”，進入純水調整槽，系統泡藥時，“手動”打開管路閥“V21”。

五、其它

本系統調整系統鼓風機共二台，“A02”及“A03”一用一備，“自動”時氣體管路閥“AV01”、 “AV02”、 “AV03”、 “AV04”、 “AV05”、 “AV06”、 “AV07”、 “AV08”、 “AV09”及 “AV10”其中任一閥開啓時，鼓風機自動開啓其中一台，啓停自動交替。

産品脫水機共計四台，産品脫水機-Ⅰ“K01”、産品脫水機-Ⅱ“K02”、産品脫水機-Ⅲ“K03”及産品脫水機-Ⅳ“K04”對應過濾工作泵，耐酸鹼氣動隔膜泵“P03”、“P04” 、“P09”、“P10”及“P13”，於“自動”起動時，必先經過濾水回流裝置，以確保各階段産品純度。

以上實施方式只爲說明本發明的技術構思及特點，目的在於讓本發明所屬技術領域中具有通常知識者瞭解本發明的內容並加以實施，並不能以此限制本發明的保護範圍，凡根據本發明精神實質所做的等效變化或修飾，都應涵蓋於本發明的保護範圍內。

P01‧‧‧耐酸鹼泵
P02‧‧‧耐酸鹼泵
P03‧‧‧耐酸鹼氣動隔膜泵
P04‧‧‧耐酸鹼氣動隔膜泵
P05‧‧‧耐酸鹼氣動隔膜泵
P06‧‧‧耐酸鹼氣動隔膜泵
P07‧‧‧耐酸鹼氣動隔膜泵
P08‧‧‧耐酸鹼泵
P09‧‧‧耐酸鹼氣動隔膜泵
P10‧‧‧耐酸鹼氣動隔膜泵
P11‧‧‧耐酸鹼氣動隔膜泵
P12‧‧‧耐酸鹼氣動隔膜泵
P13‧‧‧耐酸鹼氣動隔膜泵
P14‧‧‧耐酸鹼氣動隔膜泵
P15‧‧‧水泵
P16‧‧‧耐酸鹼氣動隔膜泵
P17‧‧‧水泵
P18‧‧‧耐酸鹼氣動隔膜泵
P19‧‧‧耐酸鹼氣動隔膜泵
C01‧‧‧加藥機，耐酸鹼氣動隔膜泵
C02‧‧‧加藥機，耐酸鹼氣動隔膜泵
C03‧‧‧加藥機，PVC耐酸鹼電動隔膜泵
C04‧‧‧加藥機，耐酸鹼氣動隔膜泵
C05‧‧‧加藥機，耐酸鹼氣動隔膜泵
C06‧‧‧加藥機，耐酸鹼氣動隔膜泵
T00‧‧‧現有池
T01‧‧‧調整槽-Ⅰ
T02‧‧‧調整槽-Ⅱ
T03‧‧‧反應槽-Ⅰ
T04‧‧‧收集槽-Ⅰ
T05‧‧‧收集槽-Ⅱ
T06‧‧‧中和槽-Ⅰ
T07‧‧‧中和槽-Ⅱ
T08‧‧‧收集槽-Ⅲ
T09‧‧‧調整槽-Ⅲ
T10‧‧‧反應槽-Ⅱ
T11‧‧‧反應槽-Ⅲ
T12‧‧‧收集槽-Ⅳ
T13‧‧‧調整槽-Ⅳ
T14‧‧‧降溫槽
T15‧‧‧結晶槽
T16‧‧‧收集槽-Ⅴ
T17‧‧‧循環槽-Ⅰ
T18‧‧‧循環槽-Ⅱ
M01‧‧‧攪拌機
M02‧‧‧攪拌機
V01‧‧‧PVC耐酸鹼電動閥
V02‧‧‧PVC耐酸鹼電動閥
V03‧‧‧PVC耐酸鹼電動閥
V04‧‧‧PVC耐酸鹼電動閥
V05‧‧‧PVC耐酸鹼電動閥
V06‧‧‧PVC耐酸鹼電動閥
V07‧‧‧PVC耐酸鹼電動閥
V08‧‧‧PVC耐酸鹼電動閥
V09‧‧‧PVC耐酸鹼電動閥
V10‧‧‧PVC耐酸鹼電動閥
V11‧‧‧PVC耐酸鹼電動閥
V12‧‧‧PVC耐酸鹼電動閥
V13‧‧‧SUS304電動閥
V14‧‧‧SUS304電動閥
V15‧‧‧SUS304電動閥
V16‧‧‧SUS304電動閥
V17‧‧‧SUS304電動閥
V18‧‧‧SUS304電動閥
V19‧‧‧SUS304電動閥
V20‧‧‧SUS304電動閥
V21‧‧‧SUS304電動閥
V22‧‧‧PVC耐酸鹼電動閥
V23‧‧‧PVC耐酸鹼電動閥
V24‧‧‧PVC耐酸鹼電動閥
V25‧‧‧PVC耐酸鹼電動閥
AV01‧‧‧SUS氣體管路閥
AV02‧‧‧SUS氣體管路閥
AV03‧‧‧SUS氣體管路閥
AV04‧‧‧SUS氣體管路閥
AV05‧‧‧SUS氣體管路閥
AV06‧‧‧SUS氣體管路閥
AV07‧‧‧SUS氣體管路閥
AV08‧‧‧SUS氣體管路閥
AV09‧‧‧SUS氣體管路閥
AV10‧‧‧SUS氣體管路閥
PP01‧‧‧傳訊式壓力計
PP02‧‧‧傳訊式壓力計
PP03‧‧‧傳訊式壓力計
PP04‧‧‧傳訊式壓力計
K01‧‧‧P.P.板框機
K02‧‧‧P.P.板框機
K03‧‧‧P.P.板框機
K04‧‧‧P.P.板框機
K05‧‧‧雙錐乾燥機
K06‧‧‧MVR
G01‧‧‧PVC浸油式壓力錶
G02‧‧‧PVC浸油式壓力錶
G03‧‧‧PVC浸油式壓力錶
G04‧‧‧PVC浸油式壓力錶
A01‧‧‧空壓機
A02‧‧‧鼓風機
A03‧‧‧鼓風機

［圖1］係為本發明實施例的結構方塊圖。

Claims (12)

1. 一種將蝕刻高濃度廢液回收再利用的處理系統，其特徵在於：包括四階段處理系統，該四階段處理系統包括透過泵依次連接的第一階段處理系統、第二階段處理系統、第三階段處理系統和第四階段處理系統； 該第一階段處理系統包括透過泵依次連接的現有池、調整槽-Ⅰ、反應槽-Ⅰ、産品脫水機-Ⅰ、收集槽-Ⅰ、中和槽-Ⅰ、中和槽-Ⅱ和收集槽-Ⅱ，該收集槽-Ⅰ與該反應槽-Ⅰ連接，該産品脫水機-Ⅰ與乾燥機關聯，該反應槽-Ⅰ與NaOH藥槽連接，該NaOH藥槽與加藥機連接，該NaOH藥槽與NaOH泡藥桶透過加藥機連接，該調整槽-Ⅰ與調整槽-Ⅱ並聯，該收集槽-Ⅰ與收集槽-Ⅱ並聯，該反應槽-Ⅰ與該收集槽-Ⅱ透過産品脫水機-Ⅱ連接，該調整槽-Ⅰ與該反應槽-Ⅰ之間設有耐酸鹼泵，該反應槽-Ⅰ與該産品脫水機-Ⅰ之間、該反應槽-Ⅰ與該産品脫水機-Ⅱ之間、該收集槽-Ⅰ與該中和槽-Ⅰ之間、該收集槽-Ⅱ與該中和槽-Ⅰ之間設有耐酸鹼氣動隔膜泵； 該第二階段處理系統包括透過泵依次連接的調整槽-Ⅲ、反應槽-Ⅱ、産品脫水機-Ⅲ和收集槽-Ⅳ，該産品脫水機-Ⅲ與該乾燥機關聯，該收集槽-Ⅳ與該調整槽-Ⅲ連接，該反應槽-Ⅱ與反應槽-Ⅲ並聯，該泵爲耐酸鹼氣動隔膜泵； 該第三階段處理系統包括依次連接的調整槽-Ⅳ、MVR設備、降溫槽、結晶槽、産品脫水機-Ⅳ和收集槽-Ⅴ，該收集槽-Ⅴ與該調整槽-Ⅲ連接，該該收集槽-Ⅳ與該結晶槽連接，該産品脫水機-Ⅳ與該乾燥機關聯，該降溫槽與該結晶槽之間、該結晶槽與該産品脫水機-Ⅳ之間、該收集槽-Ⅴ與該結晶槽和該調整槽-Ⅲ之間設有耐酸鹼氣動隔膜泵； 該第四階段處理系統包括MVR設備、循環槽-Ⅰ、循環槽-Ⅱ和放流槽，該MVR設備連接循環槽-Ⅰ、循環槽-Ⅱ和放流槽，該MVR設備與該循環槽-Ⅰ形成內部循環，該MVR設備與該循環槽-Ⅱ形成內部循環，該循環槽-Ⅰ和循環槽-Ⅱ透過耐酸鹼氣動隔膜泵與熱水回用裝置連接，該放流槽透過耐酸鹼氣動隔膜泵與回用裝置和純水用蓄水池連接，該MVR設備與該調整槽-Ⅰ和調整槽-Ⅱ連接，該回用裝置與該NaOH泡藥桶連接，該放流槽與該純水用蓄水池之間、該循環槽-Ⅰ與該熱水回用裝置之間、該循環槽-Ⅱ與該熱水回用裝置之間設有耐酸鹼氣動隔膜泵，該循環泵-Ⅰ與該MVR設備之間、該循環槽-Ⅱ與該MVR設備之間設有水泵； 該耐酸鹼氣動隔膜泵透過五口二位閥與空壓機連接。
2. 如請求項1所述的蝕刻高濃度廢液回收再利用的處理系統，其中，該MVR設備與該循環槽-Ⅰ、該MVR設備與該循環槽-Ⅱ、該放流槽與該純水用蓄水池、該放流槽與該回用裝置之間設有不銹鋼電動閥，收集槽-Ⅰ與該反應槽-Ⅰ和該中和槽-Ⅰ之間、該收集槽-Ⅱ與該反應槽-Ⅰ和該中和槽-Ⅰ之間、該調整槽-Ⅲ與該反應槽-Ⅱ和反應槽-Ⅲ之間、該反應槽-Ⅱ和反應槽-Ⅲ與該産品脫水機-Ⅲ之間、該收集槽-Ⅳ與該調整槽-Ⅳ之間、該收集槽-Ⅳ與該調整槽-Ⅲ之間、該NaOH泡藥桶與該NaOH藥槽之間、該收集槽-Ⅴ與該結晶槽和該調整槽-Ⅲ之間設有PVC耐酸鹼電動閥。
3. 如請求項1所述的蝕刻高濃度廢液回收再利用的處理系統，其中，該調整槽-Ⅰ、調整槽-Ⅱ、反應槽-Ⅰ、調整槽-Ⅲ、反應槽-Ⅱ、反應槽-Ⅲ、調整槽-Ⅳ、降溫槽、結晶槽和NaOH泡藥桶分別與鼓風機透過氣體管路閥連接。
4. 如請求項3所述的蝕刻高濃度廢液回收再利用的處理系統，其中，該鼓風機包括鼓風機-Ⅰ和鼓風機-Ⅱ，該鼓風機-Ⅰ和鼓風機-Ⅱ交替工作。
5. 如請求項1所述的蝕刻高濃度廢液回收再利用的處理系統，其中，該NaOH藥槽包括NaOH藥槽-Ⅰ、NaOH藥槽-Ⅱ、NaOH藥槽-Ⅲ和NaOH藥槽-Ⅳ，該NaOH藥槽-Ⅰ與該中和槽-Ⅰ和中和槽-Ⅱ連接，該NaOH藥槽-Ⅱ、 NaOH藥槽-Ⅲ和 NaOH藥槽-Ⅳ與該反應槽-Ⅰ連接。
6. 如請求項1所述的蝕刻高濃度廢液回收再利用的處理系統，其中，該NaOH泡藥桶、調整槽-Ⅰ、反應槽-Ⅰ、降溫槽、結晶槽、循環槽-Ⅰ和循環槽-Ⅱ內設有溫度監測器。
7. 如請求項1所述的蝕刻高濃度廢液回收再利用的處理系統，其中，該現有池、調整槽-Ⅰ、反應槽-Ⅰ、收集槽-Ⅰ、收集槽-Ⅱ、收集槽-Ⅲ、調整槽-Ⅲ、反應槽-Ⅱ、反應槽-Ⅲ、收集槽-Ⅳ、調整槽-Ⅳ、降溫槽、結晶槽、收集槽-Ⅴ、循環槽-Ⅰ、循環槽-Ⅱ、放流槽、NaOH泡藥桶、NaOH藥槽-Ⅰ、NaOH藥槽-Ⅱ、NaOH藥槽-Ⅲ和NaOH藥槽-Ⅳ內分別設有水位計。
8. 如請求項1所述的蝕刻高濃度廢液回收再利用的處理系統，其中，該乾燥機爲雙錐乾燥機。
9. 如請求項1所述的蝕刻高濃度廢液回收再利用的處理系統，其中，該調整槽-Ⅰ與該反應槽-Ⅰ之間設有水流量監測裝置。
10. 如請求項1所述的蝕刻高濃度廢液回收再利用的處理系統，其中，該中和槽-Ⅰ和中和槽-Ⅱ內設有攪拌機和PH計。
11. 如請求項1所述的蝕刻高濃度廢液回收再利用的處理系統，其中，該産品脫水機-Ⅰ、該産品脫水機-Ⅱ、該産品脫水機-Ⅲ和該産品脫水機-Ⅳ上設有PVC浸油式壓力錶和傳訊式壓力計。
12. 一種如請求項1所述的蝕刻高濃度廢液回收再利用的處理系統的方法，其特徵在於，該方法係分爲以下幾個步驟循環運行： (1)第一階段-六氟矽酸鈉：刻蝕排放廢水中所含氟離子多已反應生成六氟矽酸的形態，以耐酸鹼氣動隔膜加藥泵方式，控制液鹼加藥量加入反應槽-Ⅰ中，反應成爲六氟矽酸鈉(Na ₂SiF ₆)，加藥的同時，以溫度感應監測加藥泵的起停，反應槽中設有曝氣用的粗氣泡散氣盤，充分均勻攪拌，此時，以定量方式加藥完成後，脫水機工作泵啓動過濾裝置，將沉澱的六氟矽酸鈉脫水，脫水完成的産品進入烘乾機乾燥包裝成成品； (2)第二階段-氟化鈣：將第一階段的過濾完成廢水泵入反應槽-Ⅰ和反應槽-Ⅱ中，加入氫氧化鈣(Ca(OH) ₂)進一步去除氟離子，生成氟化鈣(CaF ₂)沉澱，當其中任一反應槽內的氟化鈣反應完成，反應槽底的電動閥門開啓，此時脫水機工作泵開啓，進行過濾，脫水完成後的氟化鈣(CaF ₂)即進行烘乾包裝； (3)第三階段及第四階段-硝酸鈉(NaNO ₃)：將第二階段的過濾完成廢水導入MVR(機械式蒸汽再壓縮技術)設備內，該MVR設備共有二進、四出： 二進，分別爲“進流廢水”和“蒸汽壓縮機冷却循環水入流”； 四出，分別爲“蒸餾出水”、“蒸汽壓縮機冷却循環水出流”、“高濃度濃縮廢水”和“系統內低溫蒸汽”； 其中，進流廢水經工作泵進入MVR設備後，先加熱至90℃-95℃，以工作泵引入MVR設備頂部，使蒸汽加熱至115℃-118℃，該MVR設備底部排出蒸餾出水，該MVR設備底部排水管排出一定量高濃度濃縮廢水，該蒸餾出水在排除MVR設備前，先導入MVR設備內的氣液分離桶，此時，低溫蒸汽排出，“蒸汽壓縮機冷却循環水出流”排出後分爲循環槽-Ⅰ和循環槽-Ⅱ，以工作泵方式回流導入蒸汽壓縮機以降低其操作溫度，回流至一定溫度後供應至工廠淋浴用水，該循環槽-Ⅰ和循環槽-Ⅱ分別輪流交替工作，蒸餾出水以工作泵排出MVR設備，若工廠熱水需求量大於供應量，用自來水補水加入； 將高濃度濃縮廢水導入降溫槽及結晶槽，在低於設定溫度時，泵入産品脫水機-Ⅳ過濾硝酸鈉結晶，此時結晶槽內以高低液位控制工作泵進行過濾脫水，脫水完成後經過乾燥機進行烘乾，乾燥後的得到 硝酸鈉(NaNO ₃)産品，過濾完成水返送至氟化鈣反應之前的調整槽-Ⅲ。