TWI622931B - 工具模型及方法 - Google Patents

Abstract

自動產生設備或工具的文件與軟體，在相對應的文件與軟體之間的自動同步能預先形成一工具模型表現。工具模型包含該工具的文字表現、圖案表現、符號表現以及程式表現。預設元件、衍生元件以及標準元件可增加至該工具模型。

Description

工具模型及方法

本案係一種工具模型及方法，尤指一種軟體編譯器之工具模型及方法。

編譯器係為一轉譯輸入高階語言的電腦程式。例如，程式編譯器係為將高階語言轉譯成特定電腦之內部語言的一特定程式。高階語言通常有精確的句法或語法，其係定義語言中陳述方式的結構。在高階語言形式中含有程式的文件係稱為一原始碼。程式之編譯形式被稱為一目的碼(object code)。程式編譯器之範例包含FORTRAN編譯器、PASCAL編譯器、以及C、C++以及C#編譯器。

同樣地，數位電路設計者已發展出硬體描述語言(HDL)，其為用以描述數位電路的一標準化語言。HDL能夠讓電路設計者以各種抽象程度設計與文件化一電子系統，例如架構程度或行為程度，以及電晶體程度與電路方塊的低實現程度。HDL設計能夠表現電子電路，並提供IC晶片的布局與功能驗證之測試以及最佳化。例如，待實現在可程式邏輯裝置內的電路設計，例如場可程式邏輯裝置(FPGA)或特定應用積體電路，能夠使用HDL來模型化。

目前，工具或設備並沒有可用的硬體描述語言編譯器。因 此，較理想的是提供一種可產生工具模型表現的工具編譯器，例如，以硬體描述語言表現設備或工具。

在一些實施例中，係提供一種系統與方法，以自動產生設備或工具之文件與軟體，以及相對應的文件與軟體之間的自動同步。此方法能包含產生工具之模型表現，接著執行使用該工具模型的程式作為輸入以產生相對應的文件與軟體。

在一些實施例中，提供一種系統與方法，用於產生工具之工具模型表現。工具模型包含該工具的文字表現、圖案表現、符號表現以及程式表現。例如，該工具模型能夠包含工具之文字描述與圖案描述，例如工具功能之描述，其含有該工具能夠執行的命令。該工具模型能夠包含軟體程式，例如原始碼或目的碼，其可提供與工具相互作用致使該工具能夠執行命令。

在一些實施例中，提供一種系統與方法，其根據相同工具的工具模型輸入而產生更詳細工具模型表現。單人可準備一簡易工具模型表現。簡易工具模型能夠由一軟體程式處理以返回更詳細或更完整的工具模型表現。

在一些實施例中，提供一種系統與方法，其用於產生更詳細工具模型的範本，例如，來自工具模型輸入。此系統與方法能創造含有預設元件、衍生元件、標準元件以及其他元件的文件，以幫助產生更詳細的工具模型。

在一些實施例中，提供一種系統與方法，其根據工具模型輸入而產生工具之文件。該文件可為一使用手册、軟體操作手册、服務手 册、維護手册、修復手册、任何其他類型的文件。工具模型可為一般性工具模型，其具有工具元件之描述，以產生文件。工具模型可為特定的工具模型，其具有工具元件之描述，以產生特定的文件。

在一些實施例中，提供一種系統與方法，其根據工具模型輸入而產生工具之軟體程式。此軟體程式可為一操作軟體、一驅動軟體、一服務軟體、一可靠性測試軟體、一檢驗軟體、或是任何其他軟體程式。工具模型能包含軟體元件，例如允許存取硬體元件的目的碼或原始碼，並結合可能的命令以操作硬體模組。

在一些實施例中，提供一種系統與方法，其從工具模型輸入來產生軟體程式的軟體範本。軟體範本可用以執行工具的功能。軟體範本可包含提示框命令、圖樣元件、輸入/輸出檔案。藉由將工具模型映射至軟體範本，可自動地產生特定於工具的軟體程式。

110‧‧‧工具

115‧‧‧轉譯

120‧‧‧工具模型

122‧‧‧軟體程式

124‧‧‧工具編譯器

130‧‧‧預設衍生標準

140‧‧‧文件範本

150‧‧‧軟體範本

180‧‧‧文件

185‧‧‧自動同步

190‧‧‧軟體程式

210‧‧‧工具

220‧‧‧簡易工具模型

225‧‧‧機械與電性功能命令程式

230‧‧‧預設衍生標準

240‧‧‧轉譯

245‧‧‧轉譯

250‧‧‧程式

260‧‧‧較詳細工具模型

270‧‧‧轉譯

275‧‧‧轉譯

310‧‧‧工具模型

320‧‧‧程式

325‧‧‧檔案

330‧‧‧較詳細工具模型

340‧‧‧程式

350‧‧‧工具編譯器

360‧‧‧資料庫範本

370‧‧‧使用手册

372‧‧‧軟體手册

374‧‧‧服務手册

376‧‧‧維護手册

378‧‧‧修復手册

380‧‧‧操作軟體

390‧‧‧測試軟體

400‧‧‧光罩儲存系統

405‧‧‧工具模型

410、420‧‧‧裝載鎖模組

430‧‧‧旋轉模組

440‧‧‧自控機器處理機模組

450‧‧‧儲存模組

460‧‧‧支撐模組

490‧‧‧轉譯

530‧‧‧工具模型

560‧‧‧名稱部

561‧‧‧狀態模型部

562‧‧‧指令部

563‧‧‧狀態部

564‧‧‧設備部

565‧‧‧語言部

566‧‧‧標準部

567‧‧‧模擬部

568‧‧‧副程式部

600‧‧‧光罩儲存器

605、615、625、635、645、655、665‧‧‧工具模型

610、620‧‧‧裝載鎖模組

630‧‧‧旋轉模組

640‧‧‧自控機器處理機模組

650‧‧‧儲存模組

660‧‧‧支撐模組

675‧‧‧工具模型

710、720‧‧‧負載鎖

730‧‧‧旋轉台

740‧‧‧自控機器處理機

750‧‧‧儲存室

760‧‧‧名稱部

761‧‧‧狀態部

762‧‧‧命令部

763‧‧‧狀況部

764‧‧‧設備部

765‧‧‧錯誤部

770‧‧‧支撐模組

780‧‧‧工具模型

810‧‧‧旋轉台

811‧‧‧旋轉馬達

812‧‧‧光罩感測器

813、814、815‧‧‧位置感測器

816‧‧‧基板

860‧‧‧名稱部

861‧‧‧命令部

862‧‧‧錯誤部

863‧‧‧狀態部

864‧‧‧設備部

865‧‧‧狀況部

880‧‧‧工具模型

900、910、920、930‧‧‧操作

1030‧‧‧工具模型

1033‧‧‧工具模型

1036‧‧‧工具模型

1060‧‧‧名稱

1061‧‧‧指令描述

1062‧‧‧設備描述

1063‧‧‧狀態描述

1110‧‧‧旋轉台

1111‧‧‧馬達

1112‧‧‧光罩感測器

1113、1114、1115‧‧‧位置感測器

1160‧‧‧名稱描述

1161‧‧‧指令描述

1162‧‧‧錯誤描述

1163‧‧‧狀態描述

1164‧‧‧設備描述

1165‧‧‧狀況描述

1170‧‧‧轉換

1180‧‧‧工具模型

1210‧‧‧旋轉台

1211‧‧‧旋轉馬達

1212‧‧‧光罩感測器

1213、1214、1215‧‧‧位置感測器

1260‧‧‧名稱描述

1261‧‧‧指令描述

1262‧‧‧錯誤描述

1263‧‧‧狀態描述

1264‧‧‧設備描述

1265‧‧‧狀況(Status)描述

1270‧‧‧轉換

1280、1282‧‧‧工具模型

1310‧‧‧旋轉台

1311‧‧‧馬達

1312‧‧‧光罩感測器

1313、1314、1315‧‧‧位置感測器

1360‧‧‧名稱描述

1363‧‧‧標準要求

1370‧‧‧轉換

1371‧‧‧變數

1372‧‧‧事件報告

1373‧‧‧遠端獨特ID

1374‧‧‧警示

1375‧‧‧狀態模型

1376‧‧‧遠端指令

1380‧‧‧工具模型

1382‧‧‧更詳細工具模型

1410‧‧‧旋轉台

1411‧‧‧馬達

1412‧‧‧光罩感測器

1413、1414、1415‧‧‧位置感測器

1421‧‧‧相關聯狀態模型

1422‧‧‧存取模式狀態模型

1460‧‧‧名稱描述

1463‧‧‧狀態模型

1470‧‧‧轉換

1480‧‧‧工具模型

1482‧‧‧更詳細工具模型

1510、1520、1530、1540、1550‧‧‧操作

1600、1610、1620、1650、1660‧‧‧操作

1710‧‧‧工具模型

1740‧‧‧程式

1760‧‧‧資料庫

1765‧‧‧範本

1770‧‧‧文件

1810‧‧‧圖形範本

1820‧‧‧工具模型

1830‧‧‧文字範本

1840‧‧‧範本引擎

1850‧‧‧圖形檔案

1860‧‧‧文字檔案

1870‧‧‧處理器

1880‧‧‧Word格式

1882‧‧‧Adobe Portable文件格式

1884‧‧‧html格式

1910‧‧‧dot範本

1915‧‧‧docbook範本

1920‧‧‧工具模型

1930‧‧‧範本引擎

1935‧‧‧通用性範本

1940‧‧‧dot圖形檔案

1945‧‧‧docbook文件

1950‧‧‧dot程式

1960‧‧‧XSLT處理器

1970‧‧‧XSL-FO文件

1980‧‧‧XSL-FO處理器

1990‧‧‧微軟Word格式

1992‧‧‧Adobe Portable文件格式

1994‧‧‧html格式

2010、2020、2030‧‧‧操作

2110‧‧‧工具模型

2120‧‧‧軟體範本

2130‧‧‧程式庫

2170‧‧‧程式

2180‧‧‧操作軟體程式

2200‧‧‧軟體範本

2210‧‧‧操作頁面

2211‧‧‧處方頁面

2212‧‧‧狀況(Status)頁面

2220‧‧‧位置支托器

2230‧‧‧指令

2231、2232、2233‧‧‧特定指令

2240‧‧‧處方選擇

2250‧‧‧指令選擇

2270‧‧‧工作

2271‧‧‧系統

2272‧‧‧紀錄

2278‧‧‧警示

2279‧‧‧協助

2310‧‧‧工具模型

2311‧‧‧處方部分

2312‧‧‧狀況(Status)部分

2320‧‧‧光罩儲存器

2321‧‧‧圖樣部分

2330‧‧‧指令

2331‧‧‧裝載光罩

2332‧‧‧取回光罩

2340‧‧‧圖樣描述

2341‧‧‧第一裝載鎖

2342‧‧‧第二裝載鎖

2350‧‧‧旋轉台模組

2360‧‧‧指令

2361、2362、2371、2372‧‧‧描述

2370‧‧‧狀況(Status)描述

2380‧‧‧軟體範本

2410‧‧‧工具模型

2420‧‧‧軟體範本

2430‧‧‧程式庫

2470‧‧‧程式

2480‧‧‧測試診斷軟體

2500‧‧‧軟體範本

2530‧‧‧位置支托器狀況(Status)

2531、2532、2533‧‧‧狀況(Status)

2520~2529‧‧‧模組

2540‧‧‧指令

2541、2542、2543‧‧‧特定指令

2550‧‧‧指令

2560‧‧‧紀錄

2570‧‧‧工作

2571‧‧‧系統

2572‧‧‧紀錄

2578‧‧‧警示

2579‧‧‧協助

2580‧‧‧設備

2581‧‧‧測試程序

2610‧‧‧工具模型

2611‧‧‧光罩儲存器

2612‧‧‧旋轉台模組

2620~2623‧‧‧模組部分

2630~2633‧‧‧狀況部分

2640‧‧‧軟體範本

2641‧‧‧指令部分

2650‧‧‧指令

2651‧‧‧裝載光罩

2652‧‧‧取回光罩

2660‧‧‧狀況(Status)描述

2661‧‧‧光罩裝載中

2662‧‧‧光罩己裝載

2670‧‧‧指令

2671、2672、2691、2692‧‧‧描述

2680‧‧‧一般設備部分

2681‧‧‧測試程序部分

2690‧‧‧狀況描述

2700、2710、2810、2820、2830、2900、2920、2930、2940、2950、2960、3000、3020、3030、3040、3050、3060、3110、3120、3130、3150、3160、3170‧‧‧操作

本發明之上述及其他特徵及優勢將藉由參照附圖詳細說明其例示性實施例而變得更顯而易知，其中： 第1圖繪示根據一些實施例之工具模組化的示意流程圖。

第2圖繪示根據一些實施例之工具模型的示意圖。

第3圖繪示根據一些實施例之工具模組化的示意流程圖。

第4圖繪示根據一些實施例之產生工具模型的示意圖。

第5圖繪示根據一些實施例之一工具模型的示意圖。

第6圖繪示根據一些實施例之將工具轉譯成一多模組工具模型的示意圖。

第7圖繪示根據一些實施例之用於光罩儲存器之模組集成的工具模型 之範例。

第8圖繪示根據一些實施例之用於旋轉台模組的工具模型模組的一範例。

第9A圖至第9B圖繪示根據一些實施例之產生工具模型之流程圖。

第10A圖至第10C圖繪示根據一些實施例之簡易工具模型之各種範例。

第11圖繪示根據一些實施例之從工具模型產生其他描述的示意圖。

第12圖繪示根據一些實施例之從工具模型產生其他描述的示意圖。

第13圖繪示根據一些實施例之從工具模型產生一標準描述的示意圖。

第14圖繪示根據一些實施例之從工具模型產生狀態模型的示意圖。

第15A圖至第15E圖繪示根據一些實施例之產生工具模型之流程圖。

第16A圖至第16B圖繪示根據一些實施例之產生工具模型之流程圖。

第17圖繪示根據一些實施例之從工具模型產生文件的示意圖。

第18圖繪示根據一些實施例之從工具模型產生文件的另一示意圖。

第19圖繪示根據一些實施例之從工具模型產生文件的另一示意圖。

第20圖繪示根據一些實施例之從工具模型產生文件的流程圖。

第21圖繪示根據一些實施例之從工具模型產生一操作軟體的一示意圖。

第22圖繪示根據一些實施例之用於操作軟體的軟體範本的一範例。

第23圖繪示根據一些實施例在一工具模型與一軟體範本之間的映射操作之範例。

第24圖繪示根據一些實施例之從工具模型產生測試軟體或檢驗軟體的一示意圖。

第25圖繪示根據一些實施例之用於測試軟體或檢驗軟體的軟體範本的一範例。

第26圖繪示根據一些實施例在一工具模型與一軟體範本之間的映射操作之範例。

第27圖繪示根據一些實施例之產生軟體範本的流程圖。

第28圖繪示根據一些實施例之將一工具模型映射至一軟體範本的流程圖。

第29A圖至第29B圖繪示根據一些實施例之用於產生軟體範本之流程圖。

第30A圖至第30B圖繪示根據一些實施例之用於產生軟體範本之流程圖。

第31A圖至第31B圖繪示根據一些實施例之用於產生軟體之流程圖。

於此使用，詞彙“與/或”包含一或多個相關條列項目之任何或所有組合。當“至少其一”之敘述前綴於一元件清單前時，係修飾整個清單元件而非修飾清單中之個別元件。

在一些實施例中，提供一種系統與方法，其表現硬體設備，並將此硬體表現轉譯轉譯成多種語言的文件與軟體。

在一些實施例中，提供一種用於工具編譯器的系統與方法，其包含將一設備描述或一工具描述轉譯成使用者定義的工具功能的程式，例如在工具上執行的工具文件或軟體程式。

在一些實施例中，提供一種用於高階語言描述開發的系統與方法，其可藉由一工具編譯器將設備或工具轉譯成使用者定義的功能，例如一工具表現、一工具手册或一工具軟體。

在一些實施例中，提供一種簡化涉入工具轉譯所需的操作 員的系統與方法，其使用資料庫、範本或基於規則的元件以協助提供所需的工具表現，例如，增加複數個預設元件或複數個功能，增加複數個衍生元件或來自複數個可用元件的功能，或增加或修改元件以滿足一規定，例如安全規定或標準規定。

在一些實施例中，系統與方法係提供設備或工具之文件與軟體地自動產生，以及相對應的文件與軟體之間的自動同步。此方法能包含產生工具之模型表現，接著執行使用該工具模型的程式作為輸入以產生相對應的文件與軟體。當工具更新時，例如添加元件、以不同元件取代、或是移除工具之元件，工具模型也更新。程式可在更新工具模型執行，例如，使用更新工具模型作為新輸入，以產生更新文件及/或更新軟體。

在一些實施例中，提供一種工具編譯器，其能接受工具之工具模型表現之輸入以及產生所需輸出，其可為使用者定義的功能，例如用於工具的文件或軟體。工具編譯器可鏈結至一程序庫、一資料庫、一範本或其他程式，以簡化工具模型輸入之需求。例如，工具編譯器可鏈結至格式範本及/或設計範本，以產生具有所需形式與設計的一工具文件或一工具軟體。例如，範本程式能具有工具之提示框命令、文字資訊以及圖樣表現。工具模型之鏈結能以實際數據取代提示框元件，使得軟體特定用於工具。工具編譯器可鏈結至一標準文件或程式，以產生可滿足工具之標準化要求的一工具文件或一工具軟體。工具編譯器可鏈結至一預設文件、一衍生文件、一程式或一範本，以簡化工具模型之產生，以及仍然產生具有所需元件與元件的工具文件或工具軟體。例如，可藉由了解工具之狀態或複數個元件以增加用於工具順序的一狀態模型。

可從單一工具模型產生文件與軟體，如此可確保自動同步。例如，工具模型可更新以形成新版本的工具模型，其可用於產生文件 與軟體之一新版本。此更新可為一軟體更新，其能透過更新工具模型而自動更新相對應的文件。此更新可為一文件更新，其能透過更新工具模型而自動更新相對應的軟體。

第1圖繪示根據一些實施例之工具模組化的示意流程圖。設備或工具110可轉譯115成一工具模型120，其包含一硬體描述語言表現，例如文字表現、一圖形表現、符號表現、或目的碼表現。工具模型120可藉由軟體程式122或工具編譯器124，分別轉譯或轉換成一文件180或一軟體程式190。額外的元件預設衍生標準130可加入工具模型120，例如添加預設元件、從現有元件衍生出的元件、或用以滿足標準規定的複數個元件。此外，複數個文件範本140可利用在文件180的自動產生。軟體範本150亦能利用於軟體程式190之自動產生。

在一些實施例中，文件180可為軟體程式190之手册。因為文件180與軟體190係從相同的工具模型120產生，如此可確保手册與程式之間的自動同步185。在軟體或手册之更新期間，可達成自動同步。

在一些實施例中，提供一種工具模型以及方法以形成工具模型。工具模型可為有關設備或工具之可轉換的表現。該表現可可轉換成另一類型的工具模型，例如相對應的詳細工具模型，或是具有額外的預設元件、衍生元件或構成建立標準之元件的工具模型。

在一些實施例中，多個工具模型可相鏈結以塑造成一大型工具。例如，用於大型工具的工具模型能包含多個工具模型模組，其可進一步分成多個模組子群。複數個模組子群可相鏈結，以提供一種高效率的方法以創建一用於大型工具模型的工具模型。

在一些實施例中，提供一種用於產生工具之工具模型表現的系統與方法。工具模型包含工具的一文字表現、一圖案表現、一符號表 現以及一程式表現。例如，此工具模型可包含工具之文字描述與複數個圖案描述，例如工具功能之描述，其含有此工具能夠執行的命令。此工具之文字描述與圖案描述亦能包含工具之元件描述，例如馬達、感測器、壓力計量器、自控機器處理機等等。此描述可包含文字與圖式。該工具模型能包含一軟體程式，例如原始碼或目的碼，其可提供與工具相互作用致使該工具能夠執行命令。例如，工具模型能包含用於感測器的目的碼，使得在硬體通訊建立之後可藉由軟體程式鏈結以讀取感測器狀態。

在一些實施例中，工具模型能包含工具之完整或部分表現。此外，工具模型之完整度可由工具模型的目的來決定。例如，設計用於產生文件的完整工具模型可具有文字圖案資訊，而不需程式元件。

在一些實施例中，工具模型能包含工具之簡化表現，例如，描述之最簡化而沒有任何多餘部分。例如，工具模型能僅包含工具元件之基本描述，而沒有此工具之不同狀況或功能、工具之安全描述、或工具之標準一致性。

第2圖繪示根據一些實施例之工具模型的示意圖。工具210，其例如半導體處理工具的設備，可轉譯240成一簡易工具模型220。簡易工具模型220能包含機械與電性功能命令程式225。或者，工具210可轉譯245成較詳細工具模型260。可由人員來執行此轉譯，例如，提供工具之描述。此轉換能產生此工具之硬體拷貝或軟體拷貝，例如，含有工具表現的檔案。可由一人員來執行此轉換，如此可產生簡易工具模型220，其可藉由程式250自動轉換，而程式250亦接受預設衍生標準230作為輸入至較詳細工具模型260。一資料庫、一範本或其他檔案或程式可鏈結至程式250以協助此轉換。工具模型220或260可轉換或轉譯270或275成所需的功能，例如用於工具210的一文件或一程式。

第3圖繪示根據一些實施例之工具模組化的示意流程圖。設備或工具可轉譯成一工具模型310。工具模型310可藉由工具編譯器或軟體程式340轉譯或轉換成不同手冊，例如使用手册370、軟體手册372、服務手册374、維護手册376、修復手册378或其他類型之手册。工具模型310可轉譯或轉換成不同軟體程式，例如操作軟體380、測試軟體390、檢驗軟體、驅動軟體或其他類型之軟體。不同檔案325可與程式340結合以提供複數個預設元件、衍生元件、標準元件、或用於工具模型的其他額外元件。此外，資料庫範本360，例如文件格式或複數個設計範本，可用於提供所需格式或設計給文件370至378。軟體格式或複數個設計範本可用於提供所需格式或設計給軟體380或390。

或者，可藉由程式320將工具模型310轉換成較詳細工具模型330。較詳細工具模型330能結合來自資料庫或檔案325的複數個預設元件、複數個衍生元件以及複數個標準元件。工具模型330可藉由軟體程式或工具編譯器350轉譯或轉換成不同手册，例如使用手册370、軟體手册372、服務手册374、維護手册376、修復手册378或其他類型之手册。工具模型330可轉譯轉換成不同軟體程式，例如操作軟體380、測試軟體390、檢驗軟體、驅動軟體或其他類型之軟體。資料庫範本365，例如文件格式或複數個設計範本，可用於提供所需格式或設計給文件370至378。軟體格式或複數個設計範本可用於提供所需格式或設計給軟體380或390。

在一些實施例中，可藉由工具的設計或語法分析來創建一工具模型。可藉由將工具之元件或構件描述成相對應的文字、圖樣、符號、或目的碼表現，以創造工具模型表現。工具之每一元件或構件可描述成硬體元件之術語，例如馬達、感測器等等；或是功能性術語，例如旋轉至位置0、旋轉至位置90等等；或者狀態術語或狀態模型術語，例如位置0、 位置90、從位置0旋轉至位置90等等。

在一些實施例中，此系統與方法可根據使用者選擇之功能來創建一設備之表現來實現。例如，使用者可使用此系統來創建有關該設備的文件。例如，此系統能使用適當的界面、資料庫、及/或範本，將工具模型表現轉譯成一使用手册、一服務手册、一修復手册、一操作軟體以及相對應的軟體操作使用手册、或一驅動/測試/檢驗軟體以及相對應的軟體使用手册。

工具模型表現能使工具容易轉譯或轉換成其他標的物件。例如，複數個標的物件可包含手册，例如工具之文件，或者是軟體，例如執行工具的程式。在一些實施例中，一工具編譯器亦能使個別物件的操作、衍生及/或修改更容易。

在一些實施例中，設備中的每一模組可實現作為一工具模型模組。每一工具模型模組，例如表現方法、屬性、功能、及/或其他藉由工具模型模組與模組表現有關的特性。基於工具模型的表現可用於使工具模型之操作與修改更為容易。此外，其他元件或構件可衍生自工具模型表現中的複數個模組。

第4圖繪示根據一些實施例之工具模型產生的示意圖。光罩儲存系統400能包含不同模組，例如裝載鎖模組410與420、旋轉模組430、自控機器處理機模組440、儲存模組450以及支撐模組460。儲存在容器內的光罩可提供至任一裝載鎖模組410或420，其可被自控機器處理機模組440抬升。光罩可放置在旋轉台模組430上對準並讀取光罩之身分確認。接著，光罩可被再次抬升而放置在儲存模組450。支撐模組460能提供真空支撐、氣體輸出、以及對光罩儲存系統400之操作的電源與軟體控制。光罩儲存系統400可轉譯490成工具模型405，其包含光罩儲存系統400的 描述。

第5圖繪示根據一些實施例之一工具模型的示意圖。一工具模型530包含一名稱部560，其亦能包含此工具之描述。例如，針對光罩儲存器，名稱部560能包含光罩儲存器之名稱、以及光罩儲存器作為光罩之儲存的描述。工具模型530能包含狀態模型部561，其能包含工具之狀態，例如上線狀態、離線狀態、光罩準備待傳輸、光罩在旋轉台上等等。狀態轉換亦能包含，例如從上線狀態轉換為離線狀態，或光罩從在裝載鎖的狀態轉換為光罩在旋轉台的狀態。狀態(State)模型部561能包含複數個圖式以顯示工具的不同狀態以及狀態轉換的鏈結。工具模型530能包含指令部562，其能包含裝載光罩指令、取回光罩指令、旋轉光罩指令、讀取光罩身分指令。工具模型530能包含一狀況部563(Status)。工具模型530能包含一設備部564，其能包含裝載鎖模組、旋轉模組、自控機器模組、儲存模組、以及支撐模組。複數個模組中的個別設備亦能描述。工具模型530能包含語言部565，例如i18n檔案，其能讓工具模型之機器轉譯輸出成不同語言。i18n係指設計軟體應用之流程，致使其不須作工程改變也能應用於各種語言以及各個地區，以及藉由增加區域特定的構件與轉譯文字以針對特定區域或語言而採用國際化軟體的流程。工具模型530能包含標準部566，其能提供規定或標準所需的複數個構件的結合。工具模型530能包一模擬部567，其能產生工具模擬，例如，在沒有某些構件的情況下執行該工具。工具模型530能包含副程式部568，例如用以旋轉馬達或讀取感測器的目的碼，其能讓工具模型轉換成軟體程式。亦能包含其他部分，例如與外部檔案的鏈結，例如，工具模型可讀性的簡化。

在一些實施例中，一工具模型能包含多個部分，例如用於不同模組的工具模型。在一些實施例中，一工具模型能包含多個部分，例 如用於不同模組的工具模型。例如，工具模組可為一馬達、或可為一旋轉台，其包含一可旋轉馬達以及多個感測器用於偵測移動位置。

第6圖繪示根據一些實施例之將工具轉譯成一多模組工具模型的示意圖。光罩儲存器600能包含不同模組，例如裝載鎖模組610與620、旋轉模組630、自控機器處理機模組640、儲存模組650以及支撐模組660。光罩儲存器600可轉譯成一工具模型605，其包含不同的工具模型模組，而每一工具模型模組係對應一工具模組。例如，工具模型605能包含一工具模型675，其為工具600之所有模組之集成表現。工具模型605能包含工具模型615與625，其分別包含負載鎖模組610與620的描述。工具模型605能包含一工具模型635，其包含旋轉台模組630的描述。工具模型605能包含一工具模型645，其包含自控機器處理機模組640的描述。工具模型605能包含一工具模型655，其包含儲存模組650的描述。工具模型605能包含一工具模型665，其包含支撐模組660的描述。

第7圖繪示根據一些實施例之用於光罩儲存器之模組集成的工具模型之範例。工具模型780能包含模組集成之名稱部760、狀態部(State)761、命令部762、狀況部(Status)763、設備部764、以及錯誤部765。工具模型780包含不同模組之集成描述，其有用於模組之特定描述的個別工具模型。例如，工具模型780之狀態部761能包含工具700之各種狀態，例如維護狀態、初始化狀態、執行測試周期狀態、以及生產狀態。命令部762能包含用於操作工具的命令，例如裝載一光罩或取回一光罩。狀況部763能包含工具狀況，例如整體狀況、真空狀況、電力狀況、氣壓狀況、維護狀況、錯誤狀況、緊急關閉(EMO)狀況。設備部764能包含複數個負載鎖710與720、旋轉台730、自控機器處理機740、儲存室750以及支撐模組770。錯誤765能包含負載鎖錯誤、旋轉台錯誤、自控機器錯誤、儲存 室錯誤、支撐錯誤、連接錯誤、設備錯誤、初始化錯誤以及未知的錯誤。

第8圖繪示根據一些實施例之用於旋轉台模組的工具模型模組的一範例。旋轉台810能包含一旋轉馬達811，其用於旋轉一基板816。旋轉台810亦能包含一感測器812，其配置以偵測基板816之存在。旋轉台810亦能包含多個感測器813、814與815，其用以判斷不同之旋轉位置。例如，光罩可放置在旋轉台上不允許讀取身分的位置。如此，旋轉馬達811能夠旋轉至不同位置使光罩之身分數據暴露在讀取機器下，例如相機。

用於旋轉台810的工具模型880能包含旋轉模組之名稱部860、狀態部(State)863、命令部861、狀況部(Status)865、設備部864、以及錯誤部862。工具模型880包含旋轉台810之描述，其具有針對旋轉台之個別構件的描述。例如，工具模型880之狀態部863能包含旋轉台810之各種狀態，例如位置0的狀態、位置90的狀態、位置180的狀態、偵測光罩的狀態以及不偵測光罩的狀態。命令部861能包含用於操作旋轉台的命令，例如旋轉光罩至位置0、旋轉光罩至位置90、旋轉光罩至位置180、以及其他命令，例如故障修復或停止旋轉。狀況部865能包含旋轉台810之狀況，例如是否有光罩存在，馬達是否在位置0、位置90或位置180，旋轉台是否發生錯誤之狀況。設備部864能包含馬達811、光罩感測器812、以及位置感測器813至815。錯誤部862能包含馬達錯誤、位置感測器錯誤、光罩偵測器錯誤、連接錯誤、設備錯誤、初始化錯誤以及未知的錯誤。

第9A圖至第9B圖繪示根據一些實施例之產生工具模型之流程圖。在第9A圖中，可從一工具準備一工具模型。工具模型能包含該工具之表現，如此能夠產生有關於該工具的各種功能，例如工具文件或工具軟體。在操作900，從一工具準備一工具模型，其中工具模型包含一文字描述、一影像描述、一符號描述或一程式描述。文字描述能包含描述該工具 的段落，描述該工具之功能、該工具之複數個構件、或該工具之目的或狀態。影像描述能包含圖式、或可使用程式進行操作的軟體檔案，例如可縮放、移動或旋轉的3D檔案。符號描述能包含對外部檔案或元件的鏈結，其能提供額外的資訊或該工具之描述。程式描述能包含目的碼或原始碼，其允許一軟體程式操作該工具，例如，藉由連結該程式來操作。

在第9B圖，含有多個工具模組的一工具模型可從一工具準備。在操作910，可準備個別的工具模型，每一工具模型係對應該工具之一工具模組。個別的工具模型能包含一文字描述、一影像描述、一符號描述或一程式描述。在操作920，係準備整合的工具模型。整合的工具模型能包含一文字描述、一影像描述、一符號描述或一程式描述。整合的工具模型能夠包含模組之間的互動的資訊與描述。在操作930，準備用於該工具的一工具模型，其中此工具模型包含個別工具模型以及整合的工具模型。

在一些實施例中，工具編譯器可提供用以將一設備或工具轉換成該設備之一工具模型表現，或者轉換成該設備之使用者所選功能，例如文件或軟體。工具編譯器可提供為高階語言，並且可進一步軟體編譯成低階語言，例如可執行的組合語言或中間語言。

編譯器程式亦可用於轉換該轉變流程，例如，將工具模型表現轉換成所需的功能，例如工具文件或軟體；或是轉換成相對應的低階語言、可執行的組合語言或中間語言。例如，編譯器能使用編譯器界面以進行工具模型轉變成文件。編譯器界面能夠回覆編譯流程之結果，例如相對應的目的碼、有關於編譯流程之任何錯誤的指示、及/或所產生的組合語言的位置或檔案名稱。

在一些實施例中，工具編譯器可應用於將工具轉換成相對應的工具模型表現，例如，文字、圖案、符號或可執行程式表現。例如， 工具編譯器能利用具有相關聯界面構件的界面讓簡化工具模型或簡易工具模型轉換成所需的該工具之工具模型表現。例如，界面構件能包含個別構件以產生預設物件的表現、從所提供之物件所衍生的物件、以及滿足規定的物件，例如滿足標準或安全性。工具模型表現亦能包含通用性構件，例如i18n檔案，用以轉變成任何特別的語言。

在一些實施例中，所提供的系統與方法係有關於高階語言(HLL)之使用，其與工具硬體描述語言(THDL)相作用而將一工具或一設備模型化。該方法能包含將HLL功能與一工具之工具模型表現相整合。該方法能包含識別出該工具之工具模型表現之屬性，並判斷該屬性之衍生物，例如預設元件、衍生元件或符合規定的構件。

在一些實施例中，係提供系統與方法將一工具轉換成其描述表現，以及將其描述表現轉換成使用者定義功能，例如用於該工具之軟體文件。可使用執行此方法的工具編譯器來將工具模型表現轉換成使用者定義功能。

在一些實施例中，編譯器能讀取或裝載相關的鏈結。此鏈結檔案能促進模組化或增加用以編譯大型工具的方法。鏈結檔案亦能包含其他所需構件或元件。例如，可藉由許多工具模型模組來表示一具有多模組的工具。

在一些實施例中，提供一種根據相同工具的工具模型輸入而產生更詳細工具模型表現的系統與方法。單人可準備一簡易工具模型表現。簡易工具模型能夠由一軟體程式處理以返回更詳細或更完整的工具模型表現。

在一些實施例中，詳細工具模型可從一程式所產生，其能鏈結至一程序庫、一資料庫、一範本或其他構件，以提供來自工具模型輸 入的產生流程。在一些實施例中，詳細工具模型可從一互動式範本或程式所產生，其能根據使用者輸入以提供額外的資訊。

在一些實施例中，簡化的工具模型表現能包含該工具之描述，並可設計成能將所需人員的時間與努力降到最低。例如，該工具之必要元件可輸入至此簡易工具模型。而其他元件或構件可藉由，例如一程序庫、一範本或一程式，而自動產生。

簡易工具模型能包含該工具之實質硬體，例如馬達、感測器、計量器、流量控制器、壓力控制器、真空泵以及加熱器。簡易工具模型能包含工具之硬體模組，例如一旋轉台、一自控機器處理機、一儲存室、以及支撐系統，例如真空組件、氣體輸送組件、電力輸送裝置、以及主機通訊組件。例如，旋轉台可描述成具有一旋轉馬達以及一感測器，感測器用以偵測待旋轉的基板，而多個感測器可偵測旋轉馬達之位置，例如在0度位置、在90度位置或在180度位置。光罩儲存器可描述成具有一負載鎖模組、一旋轉台模組、一自控機器處理機模組、一儲存室模組以及一支撐模組，其用以提供機械支撐、電性支撐、真空支撐以及通訊支撐。

亦可使用其他描述，例如該工具之功能或狀態。例如，旋轉台可描述成具有偵測待旋轉的基板之功能，以及旋轉該基板至0度位置、90度位置與180度位置之功能。或者，旋轉台可描述成具有多個狀態，例如有基板、沒有基板、旋轉至0度位置、旋轉至90度位置、或者旋轉至180度位置。光罩儲存器可描述成具有在儲存室接收待儲存光罩之功能、從該儲存室取回光罩之功能、識別儲存在儲存室內的光罩之功能、計數用以儲存光罩的可用儲存隔室之功能、以及與主機系統通訊之功能。

第10A圖至第10C圖繪示根據一些實施例之簡易工具模型之各種範例。在第10A圖中，工具模型1030包含該工具或工具模組的一名 稱1060以及一指令描述1061。可從工具模型1030產生其他描述以提供較詳細工具模型。在第10B圖中，工具模型1033包含該工具或工具模組的一名稱1060以及一設備描述1062。可從工具模型1033產生其他描述以提供較詳細工具模型。在第10C圖中，工具模型1036包含該工具或工具模組的一名稱1060以及一狀態描述1063。可從工具模型1036產生其他描述以提供較詳細工具模型。

在一些實施例中，可使用工具模型之最簡描述。如果判斷最簡工具模型不足够，可增加額外的描述。可藉由該工具模型之目的來決定該工具模型之最簡描述。例如，用於軟體產生的最簡工具模型能具有用於通訊與操作該工具之各種構件的目的碼，而不需構件之實體描述。

在一些實施例中，簡易工具模型可轉換成更詳細或更完整的工具模型。該轉換能包含預設元件之結合、從所描述之構件衍生出構件、產生用以遵守特定規則或規定的構件。轉換流程亦能包含其他構件，例如主機通訊、設備通訊以及操作程式等等。

在一些實施例中，可從該簡易工具模型產生該工具模型之完整描述。可藉由該工具模型之目的來決定該工具模型之完整描述。例如，設計用於修復文件的完整工具模型可具有構件安裝與測試之資訊，而不需程式構件。此外，可提供額外的描述，例如在輸出工具之軟體文件產生之期間提供額外的描述，其為工具模型架構之目的。

該方法亦能包含在工具之工具模型表現之合成期間使用屬性衍生物。衍生物之判斷能包含呼叫與執行自動產生預設元件、衍生元件或標準元件的功能。該屬性可為該工具之一構件、一模組、一狀態模型或一功能，使得判斷該衍生物能提供遵守特定需求的工具模型。

該方法更包含詳細說明在該工具之工具模型表現之編譯期 間存取的程序庫。該程序庫能包含一資料庫、一規則文件、一範本、或有關於該工具或該工具產業的標準。

在一些實施例中，轉換流程能包含產生預設元件。例如，旋轉台之簡易工具模型能包含旋轉一旋轉馬達至位置0的指令。除了用以旋轉馬達的指令之外，轉換流程能產生，例如從控制器到馬達的通訊建立指令或初始化指令。再者，可產生用以感測感測器在位置0之狀態改變的一感測指令以及一停止指令，以完整的旋轉馬達至位置0的指令。亦能夠產生其他預設元件，例如用以紀錄旋轉台之進度與狀態的紀錄指令；用以儲存在旋轉作動期間產生任何警示的一警示紀錄指令；用以處理錯誤的一錯誤再生指令，例如如果為嚴重錯誤時警示操作員，而如果錯誤微小或可修復時忽略此錯誤或重複指令；或一用以修復任何錯誤的故障修復指令。該預設元件可預設且鏈結至該轉換流程。預設元件可從一組規則產生，連結可用構件至各種有關於此可用構件的其他構件。產生預設元件需要額外的資訊，其可由鏈結至該轉換流程的程序庫或資料庫格式所提供。

在一些實施例中，轉換流程能包含產生衍生元件，例如，從現有元件衍生出的複數個額外構件。例如，簡易工具模型能包含工具之實體硬體構件及/或模組。一轉換流程能產生從工具硬體衍生出的複數個其他構件，例如複數個命令、一狀態、複數個狀態、複數個狀態模型或程式碼。例如，旋轉台之簡易工具模型能包含旋轉馬達以及用於偵測馬達位置以及偵測是否有基板的多個感測器。馬達與複數個感測器可為用於衍生複數個指令構件。例如，轉換流程能夠旋轉該旋轉馬達至位置感測器所偵測之位置的命令，以及偵測基板之存在的指令。亦能產生其他衍生元件，例如旋轉台之狀態，例如是否有基板出現，或馬達之位置；旋轉台之狀態，例如狀態0、1、2分別為位置0、位置90或位置180，狀態3與4用於偵 測基板或不偵測基板；不同狀態之間的轉換，以及包含有複數個狀態與狀態轉換的狀態模型；以及用於操作旋轉馬達或讀取感測器的程式碼。

複數個衍生元件可預設且鏈結至該轉換流程。衍生元件可從一組規則產生，連結可用構件至各種有關於此可用構件的其他構件。產生衍生元件需要額外的資訊，其可由鏈結至該轉換流程的程序庫或資料庫格式所提供。

第11圖繪示根據一些實施例之從工具模型產生其他描述的示意圖。在第11圖中，所繪示的旋轉台1110包含一馬達1111、一光罩感測器1112、以及多個位置感測器1113、1114以及1115。旋轉台之工具模型1180能包含名稱描述1160與指令描述1161，其包含複數個旋轉指令、偵測光罩指令、故障清除以及停止指令。指令之先決條件可包含在指令可執行之前工具或旋轉台的需求。另一先決條件可光罩偵測，在旋轉馬達之前需要先進行。工具模型1180可從1170轉換成包含額外描述的更詳細工具模型1182，例如更包含狀態描述1163、設備描述1164、狀況描述1165以及錯誤描述1162。

狀態描述1163(States)能包含旋轉馬達之各種狀態，例如在位置0、在位置90以及在位置180。狀態描述亦能包含是否有偵測到光罩的狀態。這些狀態可為從指令描述1161衍生出。例如，使用旋轉至位置0的指令，則可衍生出且增加在位置0之狀態。使用偵測光罩之指令，可衍生與增加偵測或不偵測光罩之狀態。

設備描述1164能包含旋轉台之各種設備，例如旋轉馬達811、光罩感測器812、在位置0、位置90以及位置180的多個位置感測器813~815。此設備可從指令描述1161衍生出。例如，使用旋轉至位置0的指令，則可衍生出且增加在位置0的馬達之設備以及感測器之設備。使用 偵測光罩之指令，可衍生與增加光罩感測器之設備。

狀況描述1165(Status)能包含旋轉台之各種狀況，例如是否有光罩存在、馬達是否在位置0、馬達是否在位置90或馬達是否在位置180、機台是否發生錯誤。這些狀況可從指令描述1161衍生出。例如，使用旋轉至位置0的指令，則可衍生出且增加馬達是否在位置0之狀況、以及系統是否在錯誤之狀況。使用偵測光罩之指令，可衍生與增加是否有光罩的狀況。

錯誤描述1162能包含各種旋轉台之錯誤，例如馬達是否錯誤、在位置0的感測器是否錯誤、在位置90的感測器是否錯誤、在位置180的感測器是否錯誤、光罩感測器是否錯誤、是否有連接錯誤、是否有設備錯誤、是否有初始化錯誤、以及是否有未知的錯誤。這些錯誤可為從指令描述1161衍生出。例如，使用旋轉至位置0之指令，可衍生與增加馬達是否錯誤之錯誤描述、感測器在位置0是否錯誤之錯誤描述、是否有連接錯誤之錯誤描述、是否有設備錯誤之錯誤描述、是否有初始化錯誤之錯誤描述、是否有未知錯誤之錯誤描述。

第12圖繪示根據一些實施例之從工具模型產生其他描述的示意圖。在第12圖中，繪示的旋轉台1210包含一旋轉馬達1211、一光罩感測器1212、以及多個位置感測器1213、1214以及1215。旋轉台之工具模型1280能包含名稱描述1260與設備描述1264，其包含一旋轉馬達1211、一光罩感測器1212、多個在位置0、位置90與位置180的位置感測器1213~1215。

工具模型1280可從1270轉換成包含額外描述的更詳細工具模型1282，例如更包含狀態描述1263(States)、指令描述1261、狀況描述1265(Status)以及錯誤描述1262。

狀態描述1263(States)能包含旋轉馬達之各種狀態，例如在位置0、在位置90以及在位置180。狀態描述亦能包含是否有偵測到光罩的狀態。這些狀態可為從設備描述1264衍生出。例如，使用在位置0的馬達以及位置感測器，則可衍生出且增加在位置0與狀態。使用光罩感測器，可衍生與增加偵測或不偵測光罩之狀態。

指令描述1261能包含旋轉台之各種指令，例如旋轉指令、偵測光罩指令、清除故障與停止指令。指令之先決條件可包含在指令可執行之前工具或旋轉台的需求。另一先決條件可為光罩之偵測，在旋轉馬達之前需要先進行。這些指令可為從設備描述1264衍生出。例如，使用在位置0的馬達以及位置感測器，則可衍生出且增加旋轉至位置0的指令。使用光罩感測器，可衍生與增加偵測光罩之指令。

狀況描述1265(Status)能包含旋轉台之各種狀況，例如是否有光罩存在、馬達是否在位置0、馬達是否在位置90或馬達是否在位置180、機台是否發生錯誤。這些複數個狀況可為從設備描述1264衍生出。例如，使用在位置0的位置感測器以及馬達，則可衍生出且增加馬達是否在位置0與狀況、以及系統是否在錯誤之狀況。使用光罩感測器，可衍生與增加是否有光罩的狀況之偵測光罩指令。

錯誤描述1262能包含各種旋轉台之錯誤，例如馬達是否錯誤、在位置0的感測器是否錯誤、在位置90的感測器是否錯誤、在位置180的感測器是否錯誤、光罩感測器是否錯誤、是否有連接錯誤、是否有設備錯誤、是否有初始化錯誤、以及是否有未知的錯誤。這些錯誤可為從設備描述1264衍生出。例如，使用馬達以及在位置0的位置感測器，可衍生與增加馬達是否錯誤之錯誤描述、感測器在位置0是否錯誤之錯誤描述、是否有連接錯誤之錯誤描述、是否有設備錯誤之錯誤描述、是否有初始化錯 誤之錯誤描述、是否有未知錯誤之錯誤描述。

在一些實施例中，轉換流程能包含產生標準元件，例如，用於符合規則、規定或標準的複數個額外構件。例如，轉換流程能產生安全警告，例如，針對高溫加熱器或危險化學物品。轉換流程亦能產生用於符合工具之標準化的複數個構件。例如，半導體設備之標準能包含一主機通訊協定，例如，半導體設備用於遠端主機的需求，其由一設施系統管理以存取由設備廠商管理的設備電腦與構件。轉換流程能產生一半導體設備的標準需求，例如警示識別、警示類型、警示訊息以及警示恢復作動以滿足例外管理之標準，例如Semi E41標準；或待報告給主機的數據與事件，指令可由主機執行以滿足SECS/GEM標準(Semi Equipment Communications Standard/Generic Equipment Model,Semi E30標準)。

例如，轉換流程能產生半導體設備的標準元件，例如光罩儲存器、例如數據事件報告例外或狀態模型。

例如，標準轉換流程能夠產生主機通訊指令，例如指令識別符、指令參數，主機事件報告，例如拒絕指令、即將寄送指令、寄送指令等等。標準轉換流程能產生例外管理，例如連接問題、初始化問題、構件問題等等。每一管理具有身分編號、訊息與恢復作動。標準轉換流程能產生狀態模型，其包含工具的複數個狀態與狀態轉換。例如，光罩儲存器設備能具有光罩傳輸狀態模型、存取狀態模型、光罩盒狀態模型等等。

標準元件可預設且鏈結至轉換流程。標準元件可從一組規則產生，例如，從有關於該工具的標準文件轉換。產生標準元件需要額外的資訊，其可由鏈結至該轉換流程的程序庫或資料庫格式所提供。

第13圖繪示根據一些實施例之從工具模型產生一標準描述的示意圖。在第13圖中，繪示的旋轉台1310包含一馬達1311、一光罩感 測器1312、以及多個位置感測器1313、1314以及1315。旋轉台之工具模型1380能包含名稱描述1360與其他描述。

工具模型1380可從1370轉換成包含額外描述的更詳細工具模型1382，以滿足標準要求1363，例如半導體設備之半導體標準。標準描述能包含遠端獨特ID 1373、變數1371、事件報告1372、警示1374、狀態模型1375以及複數個遠端指令1376。標準描述可從半導體設備之半導體標準衍生出，例如主機通訊之標準E30、例外管理之標準E41、以及光罩管理之標準E109。

遠端獨特ID 1373可從一計數器產生，以提供特定事件的獨特識別。可變描述能包含被主機調查的數據，以知道工具之狀態與狀態。該變數能包含能識別指令的一指令識別符、能夠識別工具的一設備識別符、提供至指令的複數個指令參數、能識別出不執行指令之理由的指令拒絕理由。可增加其他變數。

事件報告1372能包含指令拒絕之事件，其報告指令已經被拒絕；一即將寄送指令之事件，其報告指令即將寄送；一寄送指令之事件，其報告指令已經寄送。報告可包含其他事件。

警示1374能包含一可程式化邏輯控制器(PLC)警示，其提醒PLC控制器有錯誤；一初始化警示，其提醒有偵測到光罩在儲存器中所以儲存器不能初始化。可包含其他警示。

狀態模型1375能包含一相關聯狀態模型，其定義主機檢視從盒子到光罩裝載埠；一存取模式狀態模型，其定義設備存取模式之主機檢視；一存取狀態模型，其定義光罩盒之主機檢視。其他狀態模型可包含，例如光罩傳輸狀態模型、光罩ID狀態模型、盒槽地圖狀態模型。

遠端指令1376能包含主機系統能提供工具的指令。遠端指 令能包含定位光罩之指令，以及相關聯的參數，例如光罩ID。其他指令可包含，例如定位盒子。

第14圖繪示根據一些實施例之從工具模型產生狀態模型的示意圖。在第14圖中，繪示的旋轉台1410包含一馬達1411、一光罩感測器1412、以及多個位置感測器1413、1414以及1415。旋轉台之工具模型1480能包含名稱描述1460與其他描述。

工具模型1480可從1470轉換成一更詳細工具模型1482，其能包含額外的描述以滿足標準要求。標準描述能包含狀態模型1463。

狀態模型1463能包含相關聯狀態模型1421，其定義盒子(pod)至光罩裝載埠之主機檢視。相關聯狀態模型能包含一不相關聯狀態，其描述該負載埠没有盒子相關聯出現。相關聯狀態模型能包含一相關聯狀態，其描述盒子ID已與光罩裝載埠相關聯。因此，負載埠不可用於新的裝載埠相關聯。相關聯狀態模型能包含複數個狀態之間的不同轉換，例如一轉換#1，其定義系統重新設定轉換；一轉換#2，其從非相關聯狀態轉換成相關聯狀態，定義盒子ID已與光罩裝載埠相關聯；一轉換#3，從相關聯狀態轉換成非相關聯狀態，其定義相關聯已經取消。

狀態模型1463能包含存取模式狀態模型1422，其定義設備存取模式之主機檢視，與主機和設備相互作用以切換該存取模式。存取模式狀態模型能包含一手動狀態，其描述僅允許手動盒子傳輸；一自動狀態，其描述允許自動盒子傳輸。存取模式狀態模型能包含複數個狀態之間的轉換，例如一轉換#1，其定義系統重新設定轉換；一轉換#2，其從手動狀態轉換成自動狀態，定義已經執行一改變存取服務至自動；一轉換#3，從自動狀態轉換成手動狀態，其定義已經執行改變存取服務至手動。

第15A圖至第15E圖繪示根據一些實施例之產生工具模型 之流程圖。在第15A圖中，在操作1510提供一人員製造一含有工具模型的檔案，其中工具模型包含該工具之文字、圖形、符號或程式描述。

在第15B圖中，在操作1520提供一人員填寫一範本以製造含有工具模型的檔案，其中工具模型包含該工具之文字、圖形、符號或程式描述。

在第15C圖中，在操作1530提供一人員填寫一範本以製造含有工具模型的檔案，其中工具模型包含該工具之文字、圖形、符號或程式描述，其中該範本係與數據之自動產生以及根據輸入提示互動。

在第15D圖中，在操作1540提供一程式執行，其使用一簡易工具模型作為輸入以製造含有更詳細工具模型的檔案，其中工具模型包含該工具之文字、圖形、符號或程式描述。

在第15E圖中，在操作1550提供一程式執行，其使用一簡易工具模型作為輸入以製造含有更詳細工具模型的檔案，其中工具模型包含該工具之文字、圖形、符號或程式描述，其中該其中該程式係與輸入提示互動。

第16A圖至第16B圖繪示根據一些實施例之產生工具模型之流程圖。在第16A圖，操作1600係準備一簡易工具模型。操作1610將簡易工具模型鏈結至資料庫，其中資料庫包含預設元件、從簡易工具模型衍生出的複數個構件、或用於簡易工具模型之標準。操作1620係從簡易工具模型與資料庫產生一較詳細工具模型。

在第16B圖，在操作1650將一標準轉換成程式規則，或形成程式規則以產生預設衍生元件。在操作1660使用該程式規則產生程式，將簡易工具模型轉換成詳細工具模型。

在一些實施例中，此系統與方法係提供一種用於更詳細工 具模型之產生的範本，例如，來自工具模型輸入。能夠創造含有預設元件、衍生元件、標準元件以及其他元件的複數個檔案，以幫助產生更詳細的工具模型。例如，用於產生預設元件、衍生元件、標準元件以及其他構件的複數個規則可組成一程序庫或一範本。

在一些實施例中，可藉由程式將鏈結範本以產生詳細工具模型。例如，SECS/GEM範本能包含用於產生主機通訊的規則，以及特定指令以及協定。例外管理範本能包含用於產生有關指令與資訊之警示的規則，例如警示ID、警示類型、警示訊息或警示恢復作動。用於光罩管理的標準可用於有關設備的光罩，以及能包含用於產生光罩活動之狀態、狀態轉換以及狀態模型的規則。其他範本可用於安全規定、用於產生預設元件、或用於產生衍生元件。

在一些實施例中，可藉由互動式對話將範本鏈結以產生詳細工具模型。例如，在使用者進入一工具構件之後，該互動式對話能產生複數個可能主機通訊指令、可能警示條件、以及可能狀態模型。可自動接收所產生的構件，或使用者能夠適當構件以包含在詳細工具模型中。此外，互動式對話能夠提示使用者額外的資訊，例如，完整的預設元件、衍生元件或標準元件之產生。例如，對話能夠詢問是否有處理例外管理標準，或是否應該包含主機通訊。

在一些實施例中，係提供系統與方法將一工具模型轉換成使用者定義功能，例如工具文件或工具軟體程式。該方法能夠將一設備或工具轉譯成使用者定義功能，例如工具文件或工具軟體程式。

在一些實施例中，係提供將一工具模型表現，其為工具之硬體描述，轉換成使用者定義功能，例如一詳細工具模型、工具之文件、或用於工具之軟體。

在一些實施例中，提供工具編譯器將硬體描述工具模型表現轉換或轉譯成使用者定義功能。在一些實施例中，該方法能夠包含使用一工具編譯器將工具之至少一部分，其藉由工具模型表示，轉換成使用者定義功能。工具編譯器能夠執行該方法。為此發明之目的，工具之一“部分”係指一構件、一模組、或一工具之複數個元件之集合。

在一些實施例中，該方法可藉由一工具編譯器或一電腦程式執行，以程式化的執行該方法之複數個步驟。此外，該編譯器能夠接受使用者定義約束，其係執行本發明的方法。在此約束，以及通過對編譯器約束之流程中能包含添加預設元件、添加從可用構件衍生的構件、或添加滿足工具規定所需的構件。

在一些實施例中，提供一種根據工具模型輸入而產生工具之文件的系統與方法。該文件可為一使用手册、軟體操作手册、服務手册、維護手册、修復手册、任何其他類型的文件。工具模型可為一般性工具模型，其具有工具元件之描述，以產生文件。工具模型可為特定的工具模型，其具有工具元件之描述，以產生特定的文件。例如，具有指令描述的一工具模型可用於手動產生軟體操作。具有實體硬體構件之詳細描述的工具模型可用於產生修復手册。具有系統或構件可靠性之描述的工具模型可用於產生維護手册。

在一些實施例中，工具模型能包含足够的描述讓文件產生。例如，用以產生符合半導體標準的使用手册、具有SECS/GEM構件的工具模型、例外管理構件、以及狀態模型構件可用於產生該文件。

在一些實施例中，工具模型能包含條款以產生所需描述讓文件產生。例如，在判斷沒有包含標準元件之後，以產生符合半導體標準的一使用手册以及一工具模型，能夠存取複數個標準範本以在繼續文件產 生之前，聚集SECS/GEM構件，例外管理構件，以及狀態模型構件。

第17圖繪示根據一些實施例之從工具模型產生文件的示意圖。工具模型1710可藉由工具編譯器或軟體程式1740轉譯或轉換成產生文件1770，例如使用手册、軟體手册、服務手册、維護手册、修復手册或其他類型之手册。不同資料庫1760可組合成程式1740以提供複數個預設元件、衍生元件、標準元件、或用於工具模型的其他額外元件。此外，範本1765，例如文件格式或複數個設計範本，可用於提供所需格式或設計給文件1770。

第18圖繪示根據一些實施例之從工具模型產生文件的另一示意圖。一工具模型1820、圖形範本1810以及文字範本1830可提供至範本引擎1840，其可為一軟體程式，以產生分開的文字檔案1860以及圖形檔案1850。文字檔案1860與圖形檔案1850可提供至處理器1870以產生文件，例如，微軟Word格式1880、Adobe Portable文件格式(pdf)1882、或超文本置標語言(html)格式1884。

在一些實施例中，文件產生流程能包含連結至一格式範本以提供具有所需格式的文件。例如，格式範本能包含關於文件紙上外觀的指令、例如字型、字體尺寸、段落間隔、標題框格式等等。格式範本能包含設計範本以提供文件設計。格式範本能包含繪圖範本以處理文件中的複數個圖式。格式範本能包含通用性範本，例如i18n檔案，以提供文件至各種語言。格式範本能包含其他範本，例如特定範本或客製範本以服務特定的客戶。

在一些實施例中，文件產生流程能包含創建一文字範本，例如一docbook範本，以及一影像範本，例如dot範本。工具模型、docbook以及dot範本可輸入至範本引擎，以產生docbook文件，其在docbook格式 中含有該工具模型之文字資訊，以及產生dot文件，其更可處理以產生含有該工具模型之影像資訊的dot檔案。Docbook文件與dot檔案可與可選擇的stylesheet範本輸入至一處理器，以形成最後文件。

第19圖繪示根據一些實施例之從工具模型產生文件的另一示意圖。一工具模型1920、用於圖形之dot範本1910以及用於文字之docbook範本1915可提供至範本引擎1930，其可為一軟體程式，以產生分開的docbook文件1945以及dot圖形檔案1940。通用性範本1935，例如i18n檔案，可提供至範本引擎1930以產生具有不同語言的docbook與dot檔案。dot圖形檔案1940可藉由dot程式1950處理，然後和docbook文件1945一起提供至一XSLT處理器1960。XSLT處理器1960能夠產生一XSL-FO文件1970，其可提供至XSL-FO處理器1980以產生文件，例如，微軟Word格式1990、Adobe Portable文件格式(pdf)1992、或超文本置標語言(html)格式1994。

第20圖繪示根據一些實施例之從工具模型產生文件的流程圖。在操作2010，接收一工具模型。在操作2020，接收一文件範本。操作2030將工具模型映射至文件範本以產生該工具之文件，其中文件包含一使用手册、一軟體手册、一服務手册以及一修復手册中的至少一個。

在一些實施例中，提供一種根據工具模型輸入而產生工具之軟體程式的系統與方法。此軟體程式可為一操作軟體、一驅動軟體、一服務軟體、一可靠性測試軟體、一檢驗軟體、或是任何其他軟體程式。工具模型能夠包含軟體元件，例如允許存取硬體元件的目的碼或原始碼，使得可能可以用命令操作硬體模組。

在一些實施例中，該工具模型能有鏈結至一目的碼或一原始碼檔案，其能包含用於該指令的執行軟體、該工具之構件或模組。例如， 一工具模型能有一馬達構件，以及與含有指令以驅動馬達、停止馬達、或設定馬達參數之檔案的鏈結。該工具模型能有一感測器，以及與含有從感測器讀取之指令的檔案的鏈結。該工具模型能有一自控機器處理機，以及與含有執行自控機器之指令的檔案的鏈結，例如旋轉自控機器、伸出或收縮機器手臂、或設定自控機器的參數，例如設定自控機器之速度或加速度。

在一些實施例中，軟體產生流程能包含連結至一格式範本以提供具有所需功能的軟體程式。例如，格式範本能包含關於程式在監視器螢幕上的圖樣頁面、例如字型、字體尺寸、段落間隔、框類型等等。格式範本能包含繪圖範本以處理螢幕圖式。該格式範本能包含提示框命令以提供該軟體程式執行的作動。格式範本能包含通用性範本，例如i18n檔案，以提供各種語言的外觀、指令或訊息。格式範本能包含其他範本，例如特定範本或客製範本以服務特定的客戶。

在一些實施例中，軟體產生流程能包含以來自該工具模型的指令取代軟體範本之提示框命令。軟體範本可用該工具模型的指令客製化，如此可用於特定工具模型之目的。

在一些實施例中，提供一種根據工具模型輸入而產生工具之操作軟體程式的系統與方法。操作軟體程式可用於操作工具，收集數據以及報告主機系統。例如，用於光罩儲存器之操作軟體可用於將光罩從一負載鎖傳輸至儲存室、從儲存室取出光罩至該負載鎖，以提供儲存室中的光罩存貨清單，以計數空的，即可用的空間，或用於儲存額外的光罩。操作軟體能包含主機通訊，例如，其遵守半導體設備之SECS/GEM標準，以讓設備之主機電腦與該工具通訊，例如，以取回該工具之狀態、以發出遠端指令給該工具、或接收工具之狀態，其有關於工具之指令或其他態樣。

在一些實施例中，工具模型可映射到軟體範本，例如，藉 由以工具模型之相對應的元件取代軟體範本之提示框命令、圖樣元件、輸入輸出檔案。操作軟體可產生具有該軟體範本之格式，以及來自該工具模型之指令與命令。

第21圖繪示根據一些實施例之從工具模型產生一操作軟體的一示意圖。一工具模型2110、軟體範本2120以及程式庫2130可提供至一工具編譯器或一軟體程式2170，以產生一操作軟體程式2180。軟體範本2120能提供操作軟體程式2180之一框架，該範本之特定圖樣與指令係藉由工具模型之數據替換。程式庫2130能提供軟體程式生產的額外資訊，例如預設元件、衍生元件、標準元件或其他額外構件。

第22圖繪示根據一些實施例之用於操作軟體的軟體範本的一範例。軟體範本2200能包含操作軟體之框架、提示框命令以及資訊。例如，範本能包含公司與工具姓名之位置支托器資訊，其可為藉由工具模型之特定數據來替換。該範本能包含位置支托器指令，例如指令2230、特定指令2231、2232、2233之集合，其可為藉由工具模型之特定數據來替換。該範本能包含位置支托器2220，其可為藉由工具模型之特定數據來替換。範本能包含一操作軟體框架，例如具有操作頁面2210、處方頁面2211、狀況(Status)頁面2212、以及在工具之複數個態樣之間切換的多個按鍵，例如複數個態樣可為工作2270、系統2271、紀錄2272、警示2278以及協助2279。該範本能包含進入或選擇數據的技術領域，例如處方選擇2240或指令選擇2250。

第23圖繪示根據一些實施例在一工具模型與一軟體範本之間的映射操作之範例。代表光罩儲存器2320的工具模型2310可用於操作軟體範本2380的產生特定數據與資訊。工具模型2310能包含指令2330之工具描述，例如裝載光罩2331與取回光罩2332，以及圖樣描述2340，例 如第一裝載鎖2341以及第二裝載鎖2342。工具模型2310能包含用於該工具之模組的工具描述，例如一旋轉台模組2350，其能包含指令描述2360，例如旋轉至位置0的描述2361以及旋轉至位置90的描述2362，以及狀態(Status)描述2370，例如光罩在位置0之描述2371以及光罩在位置90的描述2372。

指令2330與2360能映射至軟體範本2380之指令部分2331，以工具模型中的特定指令的範本取代該範本之提示框命令。同樣地，圖樣描述2340能映射至軟體範本2380之圖樣部分2321，以該工具模型中的特定圖樣的範本取代該範本之提示框命令。該範本之其他一般部分可保持不動，例如操作部分2310、處方部分2311以及狀況(Status)部分2312。

在一些實施例中，提供一種根據工具模型輸入而產生工具之測試軟體程式的系統與方法。在該工具之架構完整之前，測試軟體程式可用於測試該工具以及其模組與構件。例如，當該模組建造完成，光罩儲存器之一測試軟體可用於測試個別模組，例如負載鎖模組、旋轉台、自控機器模組、儲存模組、或支撐模組。再者，測試軟體能夠測試所建造模組之間的連接。構件、模組與系統可靠性可藉由重複一測試程序或順序以進行評價。此外，可提供用於客製化順序的條款，讓顧客設計與測試任何特别順序。

在一些實施例中，工具模型可映射到軟體範本，例如，藉由以工具模型之相對應的元件取代軟體範本之提示框命令、圖樣元件、輸入輸出檔案。測試軟體可產生具有該軟體範本之格式，以及來自該工具模型之指令與命令。

第24圖繪示根據一些實施例之從工具模型產生測試軟體或檢驗軟體的一示意圖。一工具模型2410、一軟體範本2420以及一程式庫 2430可提供至一工具編譯器或一軟體程式2470，以產生一測試診斷軟體2480。軟體範本2420能提供用於測試診斷軟體2480之一框架，該範本之特定圖樣與指令係藉由工具模型之數據替換。程式庫2430能提供軟體程式生產的額外資訊，例如預設元件、衍生元件、標準元件或其他額外構件。

第25圖繪示根據一些實施例之用於測試軟體或檢驗軟體的軟體範本的一範例。軟體範本2500能包含測試軟體或檢驗軟體、提示框命令以及資訊之框架。例如，範本能包含公司與工具姓名之位置支托器資訊，其可為藉由工具模型之特定數據來替換。該範本能包含位置支托器指令，例如指令2540、特定指令2541-2543之集合，其可為藉由工具模型之特定數據來替換。該範本能包含位置支托器狀況2530(Status)，例如狀況(Status)1-3 2531-2533、模組2520-2529，其可為藉由工具模型之特定數據來替換。範本能包含一測試軟體框架或檢驗軟體框架，例如具有操作設備2580、測試程序2581的頁面、以及在工具之複數個態樣之間切換的多個按鍵，例如複數個態樣可為工作2570、系統2571、紀錄2572、警示2578以及協助2579。該範本能包含進入或選擇數據的技術領域，例如指令2550。該範本能包含報告數據的技術領域，例如紀錄2560。該範本能用於選擇一指令、或形成用於測試的一新指令順序。新順序可儲存在未來使用。亦可形成平行順序。

第26圖繪示根據一些實施例在一工具模型與一軟體範本之間的映射操作之範例。代表光罩儲存器2611的工具模型2610可產生用於操作軟體範本2640的特定數據與資訊。工具模型2610能包含指令2650之工具描述，例如裝載光罩2651與取回光罩2652，以及狀況描述2660，例如光罩裝載中狀態2661以及光罩已裝載狀態2662。工具模型2610能包含用於該工具之模組的工具描述，例如一旋轉台模組2612，其能包含指令2670 之描述，例如旋轉至位置0的描述2671以及旋轉至位置90的描述2672，以及狀況描述2690，例如光罩在位置0之描述2691以及光罩在位置90的描述2692。

指令2650與2670能映射至軟體範本之指令部分2641，以工具模型中的特定指令的範本取代該範本之提示框命令。同樣地，狀況(Status)描述2660以及2690能映射至軟體範本2640之狀況部分2630至2633，以該工具模型中的特定狀態的範本取代該範本之提示框狀態報告。亦，模組2611以及2612能映射至軟體範本2640之模組部分2620-2623，以該工具模型中的特定模組的資訊取代該範本之提示框模組。該範本之其他一般部分可保持不變，例如一般設備部分2680以及測試程序部分2681。

第27圖繪示根據一些實施例之產生軟體範本的流程圖。在操作2700定義一軟體程式之功能，例如一操作軟體或一測試軟體。在操作2710產生軟體程式範本以執行該功能，其中該軟體程式包含提示框命令，其中該軟體程式包含指令結構，其中該軟體程式包含一圖案界面，其中該軟體程式包含預設功能。

第28圖繪示根據一些實施例之將一工具模型映射至一軟體範本的流程圖。在操作2810，接收一工具模型。在操作2820，接收一軟體範本。在操作2830，將工具模型映射至軟體範本。

第29A圖至第29B圖繪示根據一些實施例之用於產生軟體範本之流程圖。第29A圖中，在操作2900，產生軟體範本，其中該軟體範本程式係規劃來操作工具，其中該軟體範本程式包含提示框命令。

第29B圖中，在操作2920，產生工具之複數個模組。在操作2930，產生指令及狀況(Status)給每個模組。在操作2940，產生指令及狀況(Status)來執行工具。在操作2950，產生數據收集流程。在操作2960， 產生映射程序以取代指令與狀態。

第30A圖至第30B圖繪示根據一些實施例之用於產生軟體範本之流程圖。第30A圖中，在操作3000，產生一軟體範本，其中該軟體範本程式係規劃來測試一工具之複數個構件，其中該軟體範本程式包含提示框命令。

第30B圖中，在操作3020，產生複數個模組。在操作3030，產生指令及狀況(Status)給每個模組。在操作3040，產生程序來建立使用者定義指令。在操作3050，產生數據收集程序。在操作3060，產生映射程序以取代指令與狀況(Status)。

第31A圖至第31B圖繪示根據一些實施例之用於產生軟體之流程圖。第31A圖中，在操作3110，產生工具之工具模型。在操作3120，根據工具模型自動產生工具之文件。在操作3130，根據工具模型自動產生工具之軟體，其中文件與軟體係自動同步。

第31B圖中，在操作3150，修改工具之工具模型。在操作3160，根據已修改的工具模型自動產生工具之一文件。在操作3170，根據已修改的工具模型自動產生工具之一軟體，其中文件與軟體係自動同步此修改。

在一些實施例中，提供一種從工具模型輸入來產生軟體程式的軟體範本的系統與方法。軟體範本可用以執行工具的功能。軟體範本可包含提示框命令、圖樣元件、輸入/輸出檔案。藉由將工具模型映射至軟體範本，可自動地產生特定於工具的軟體程式。

在一些實施例中，提供一機器可讀取的儲存器，其上儲存具有由機器執行各種在此揭露之步驟及/或實現構件及/或結構造成的複數個程式碼部分的電腦程式。

在一些實施例中，可用硬體、軟體或硬體與軟體之結合來實現方法。此方法可用集中式處理的數據處理系統來實現，例如電腦系統，或者是以不同元件散佈於多個互聯電腦系統的分散式處理來實現。可使用任何種類的電腦系統或其他設備可適用於執行在此所述的方法。硬體與軟體之典型結合可為一通用電腦系統，其具有可控制電腦系統的電腦程式，使得電腦系統能夠執行該方法。該方法亦可嵌入在一電腦程式產品內，其包含可讓方法實現的特性，當其裝載在一電腦系統內，能夠執行該方法。

在本說明書的全文中以任何表述、任何語言或符號使用的用語“電腦程式”、“軟體”、“應用”、變化型及/或其結合，係指一組指令，其旨在造成具有資訊處理能力之系統直接執行一特別的功能。該功能包含轉換成另一語言、程式碼或符號，或是以不同材料形式呈現。例如，一電腦程式能包含一副程式、一功能、一程序、一物件方法、一物件執行、一可執行的應用程式、一小型應用程式(applet)、一服務器端應用程式(servlet)、一原始碼、一目的碼、一分享程序庫/動態裝載程序庫及/或其他指令順序，其設計用於在一數據處理系統，例如電腦，上執行。

在一些實施例中，該方法可使用一數據處理系統來實現，例如一般通用電腦系統。一般通用電腦系統能包含一具有顯示圖案與文字資訊之圖樣螢幕的圖案顯示監視器、一用於輸入文字資訊的鍵盤、一用於輸入圖案數據的滑鼠、以及一電腦處理器。在一些實施例中，電腦處理器能夠包含程式碼以實現該方法。其他裝置，例如光筆(圖中未顯示)，可代替滑鼠。此一般通用電腦可為此技術領域中熟知的許多類型中的其中一個，例如主機電腦、微計算機、工作站或個人電腦。

在較佳實施例之詳細說明中所提出之具體實施例僅用以方便說明本發明之技術內容，而非將本發明狹義地限制於上述實施例，在不 超出本發明之精神及以下申請專利範圍之情況，所做之種種變化實施，皆屬於本發明之範圍。

Claims (10)

1. 一種工具模型，其中一包含詳細工具描述之詳細工具模型，係從一包含基本工具描述之基本工具模型衍生；其中該詳細工具模型至少包含文字、圖樣與程式中的一種；其中該詳細工具模型係可操作來描述一工具；其中該詳細工具模型係作為一輸入，以產生有關於該工具的一文件或一軟體程式。
2. 如申請專利範圍第1項所述之工具模型，其中該基本工具模型包含該工具之一描述，及/或該工具的實質硬體，及/或該工具的硬體模組。
3. 如申請專利範圍第1項所述之工具模型，其中該詳細工具模組係從該基本工具模型及一資料庫產生。
4. 如申請專利範圍第3項所述之工具模型，其中該基本工具模型係連結到該資料庫，其中該資料庫包含預設元件，及/或從該基本工具模型衍生的元件，及/或用於該基本工具模型的標準。
5. 如申請專利範圍第1到4項所述之工具模型，其中該基本工具模型係轉換成該詳細工具模型，其中該轉換程序包含：產生預設元件，及/或產生衍生元件，及/或產生額外描述，及/或產生標準元件。
6. 一種方法，包含：從一包含基本工具描述之基本工具模型，衍生一包含詳細工具描述的詳細工具模型；其中該詳細工具模型至少包含一工具之文字、圖樣及軟體程式描述之一種；根據該詳細工具模型之描述，自動產生用於該工具的一手册，及/或自動根據該詳細工具模型之描述，自動產生用於該工具之一軟體程式；其中該手册之產生係包含使用一個或更多範本；其中該軟體程式之產生係包含使用一個或更多範本。
7. 如申請專利範圍第6項所述之方法，其中該基本工具模型包含該工具之一描述，及/或該工具的實質硬體，及/或該工具的硬體模組。
8. 如申請專利範圍第6項所述之方法，其中該詳細工具模型係從該基本工具模型及一資料庫產生。
9. 如申請專利範圍第8項所述之方法，其中該基本工具模型係連結到該資料庫，其中該資料庫包含預設元件、從該基本工具模型衍生的元件及/或用於該基本工具模型的標準。
10. 如申請專利範圍第6到9項所述之方法，其中該基本工具模型係轉換成該詳細工具模型，其中該轉換程序包含：產生預設元件，及/或產生衍生元件，及/或產生額外描述，及/或產生標準元件。