TWI599771B - 葡萄糖感測器、其製造方法及具微流道之葡萄糖感測器封裝結構 - Google Patents

Description

葡萄糖感測器、其製造方法及具微流道之葡萄糖 感測器封裝結構

本發明實施例係有關於一種葡萄糖感測器，特別有關於具有磁珠與石墨烯的葡萄糖感測器、其製造方法及具微流道之葡萄糖感測器封裝結構。

隨著醫學發達，傳染性疾病控制，世人生活型態靜態化，肥胖率高度盛行，全世界罹患糖尿病人口急遽增加，2013年底國際糖尿病聯盟發佈最新數據，全球罹患糖尿病的人數已高達3億8200萬人，國人因糖尿病死亡人數達9438人，國內20歲以上成年人有150萬名糖尿病患，盛行率約占8%，目前國內糖尿病人數僅次中國及印度成為全球第三大國，更居國人十大死因的第四位。糖尿病係一種複雜的慢性疾病，故需搭配飲食控制、規律運動、正確用藥、戒菸及驗血糖以控制病情惡化。因此，有必要研製具操作簡單、成本低廉、感測度高且便於攜帶之葡萄糖感測器。

葡萄糖感測器係以葡萄糖氧化酵素(Glucose Oxidase，GOx)與葡萄糖發生反應進行電子傳遞，葡萄糖氧化酵素中帶有電化學活性中心，藉由電化學反應過程中的氧消耗量或 過氧化氫濃度，得知葡萄糖濃度。1995年Nagata與Karube等人以網版印刷技術製作電流式葡萄糖感測器。2006年Laschi與Mascini等人利用網版印刷備製銠(Rh)金屬作為葡萄糖感測器之工作電極。然而，傳統的葡萄糖感測器的感測度仍有一大瓶頸待突破。

本發明的一些實施例提供葡萄糖感測器，包括：軟性基板；工作電極，設置於軟性基板上，且工作電極包括：第一金屬層，設置於軟性基板上；感測電極層，設置於工作電極的第一端部之第一金屬層上；氧化石墨烯層，設置於感測電極層上；葡萄糖氧化酵素膜，設置於氧化石墨烯層上，其中複數個磁珠埋置於葡萄糖氧化酵素膜中；以及參考電極，設置於軟性基板上，且參考電極包括第二金屬層。

本發明的一些實施例提供葡萄糖感測器的製造方法，包括：提供軟性基板；形成工作電極的第一金屬層與參考電極的第二金屬層於軟性基板上；形成工作電極的感測電極層於工作電極的第一端部之第一金屬層上；形成工作電極的氧化石墨烯層於感測電極層上；以及形成工作電極的葡萄糖氧化酵素膜於氧化石墨烯層上，其中複數個磁珠埋置於葡萄糖氧化酵素膜中。

本發明的一些其他實施例提供具微流道之葡萄糖感測器封裝結構，包括：第一基板，第一基板具有第一開孔和第二開孔，且第一基板內部具有微流道連接第一開孔和第二開孔；以及本發明的一些實施例提供的葡萄糖感測器，設置於微流道中。

100‧‧‧葡萄糖感測器

101‧‧‧軟性基板

102‧‧‧工作電極

103‧‧‧參考電極

102a、103a、204a‧‧‧第一端部

102b、103b、204b‧‧‧第二端部

102c、103c、204c‧‧‧頸部

104‧‧‧第一金屬層

105‧‧‧第二金屬層

106‧‧‧感測電極層

107‧‧‧絕緣層

107a‧‧‧第一開口

107b‧‧‧第二開口

108‧‧‧氧化石墨烯層

109‧‧‧葡萄糖氧化酵素膜

110‧‧‧磁珠

200‧‧‧具微流道之葡萄糖感測器封裝結構

201‧‧‧第一基板

202、206‧‧‧第一開孔

203、207‧‧‧第二開孔

204‧‧‧微流道

204c₁‧‧‧第一連接部

204c₂‧‧‧第二連接部

204c₃‧‧‧第三連接部

205‧‧‧第二基板

208、210‧‧‧第三開孔

209‧‧‧第三基板

211‧‧‧螺絲

h₁‧‧‧高度

L₁、L₂、L₃、l₁‧‧‧長度

T₁、T₂、t₁‧‧‧厚度

W₁、W₂、W₃、w₁‧‧‧寬度

第1A-1D圖顯示出依據本發明的一些實施例之葡萄糖感測器的製造方法在各階段的平面圖和透視圖。

第2圖顯示沿第1D圖之線A-A’，葡萄糖感測器的一些實施例的剖面示意圖。

第3圖顯示依據本發明的一些實施例之氧化石墨烯體積與葡萄糖感測器的平均感測度和線性度的關係曲線圖。

第4圖顯示依據本發明的一些實施例之磁珠體積與葡萄糖感測器的平均感測度和線性度的關係曲線圖。

第5圖顯示依據本發明的一些實施例之在葡萄糖溶液中添加各種化學物時，葡萄糖感測器的響應電壓隨時間變化的曲線圖。

第6A圖顯示依據本發明的一些實施例之具微流道之葡萄糖感測器封裝結構的透視圖。

第6B顯示沿第6A圖之線B-B’，具有微流道的第一基板的剖面示意圖。

第7圖顯示依據本發明的一些實施例之微流道流速與具微流道之葡萄糖感測器封裝結構的平均感測度和線性度的關係曲線圖。

以下說明本發明實施例之葡萄糖感測器、其製造方法及具微流道之葡萄糖感測器封裝結構。然而，可輕易了解本發明實施例提供許多合適的發明概念而可實施於廣泛的各種特定背景。所揭示的特定實施例僅用於說明以特定方法製作及使用本發明，並非用以侷限本發明的範圍。再者，在本發明實施例之圖式及說明內容中係使用相同的標號來表示相同或相似的部件。

第1A-1D圖顯示出依據本發明的一些實施例之葡萄糖感測器100的製造方法在各階段的平面圖和透視圖。請參照第1A圖，提供軟性(flexible)基板101，並形成工作電極102的第一金屬層104與參考電極103的第二金屬層105於軟性基板101上。

在一些實施例中，軟性基板101的材質例如聚對苯二甲酸乙二酯(polyethylene terephthalate，PET)、聚醚碸(polysulfone，PES)、聚萘二甲酸乙二醇酯(polythylene naphtalate，PEN)、聚醯亞胺(polyimide，PI)、聚碳酸酯(polycarbonate，PC)或其他合適的軟性材料(flexible material)。在一些實施例中，第一金屬層104和第二金屬層105可包含銀、金、鉑、鈀或其他合適的金屬材料。在本實施例中，第一金屬層104和第二金屬層105的材質為銀。在一些實施例中，第一金屬層104和第二金屬層105透過網版印刷(screen printing)、噴墨印刷(ink-jet printing)或其他合適的製程形成。

如第1A圖所示，工作電極102的第一金屬層104具有第一端部102a、第二端部102b和連接第一端部102a與第二端部102b的頸部102c。參考電極103的第二金屬層105具有第一端部103a、第二端部103b和連接第一端部103a與第二端部103b的頸部103c。在一些實施例中，第一端部102a和第二端部102b的長度小於頸部102c的長度，第一端部102a和第二端部102b的寬度大於頸部102c的寬度，第一端部103a和第二端部103b的長度小於頸部103c的長度，第一端部103a和第二端部103b的寬度大於頸部103c的寬度，但並不限定於此，可根據設計需要調整工作電極102的第一金屬層104與參考電極103的第二金屬層105的第一端部102a和 103a、第二端部102b和103b與頸部102c和103c之長度和寬度。

在本實施例中，軟性基板101上具有六個工作電極102的第一金屬層104和兩個參考電極103的第二金屬層105，但並不限定於此，可根據設計需要調整工作電極102的第一金屬層104與參考電極103的第二金屬層105的數量。透過多個工作電極102和多個參考電極103的配置成陣列，可減少葡萄糖感測器的量測誤差。

接著，請參照第1B圖，形成工作電極102的感測電極層106於工作電極102的第一端部102a之第一金屬層104上。在一些實施例中，感測電極層106包含第三金屬層和金屬氧化層(第三金屬層和金屬氧化層繪示於第2圖)，且金屬氧化層設置於第三金屬層上。

在一些實施例中，感測電極層106的金屬氧化層可包含氧化銦鎵鋅(indium gallium zinc oxide，IGZO)、二氧化釕(ruthenium dioxide，RuO₂)、氧化銅(copper oxide，CuO)、氧化銦錫(Indium-tin oxide,ITO)或其他合適的金屬氧化物，感測電極層105的第三金屬層可包含鋁薄膜、銀薄膜、白金薄膜或其他合適的金屬薄膜。在本實施例中，感測電極層106包含氧化銦鎵鋅層和鋁層，氧化銦鎵鋅層具有低的截止電壓、低次臨界起始電壓、低操作電壓及高載子移動率等優點，而鋁層可增進感測電極層106的導電性。

在一些實施例中，感測電極層106的金屬氧化層和第三金屬層透過沉積製程(例如，物理氣相沈積製程、化學氣相沈積製程或其他合適的製程)、微影製程、蝕刻製程(例如，乾蝕刻製 程、濕蝕刻製程、電漿蝕刻製程、反應性離子蝕刻製程或其他合適的製程)形成。在本實施例中，感測電極層106的金屬氧化層透過濺鍍製程沉積，感測電極層106的第三金屬層透過熱蒸鍍製程沉積。

接著，請參照第1C圖，形成絕緣層107覆蓋軟性基板101、工作電極102和參考電極103，絕緣層107具有第一開口107a暴露出工作電極102的第一端部102a的感測電極層106的一部分，且具有第二開口107b暴露出參考電極103的第一端部103a的第二金屬層105。如第1C圖所示，絕緣層107不覆蓋工作電極102的第二端部102b和參考電極103的第二端部103b，且絕緣層107也不覆蓋第二端部102b和103b左右側和下側的軟性基板101。

在一些實施例中，絕緣層107可包含環氧樹脂(epoxy)、聚醯亞胺樹脂(polyimide)或其他適合的絕緣樹脂。在一些實施例中，絕緣層107透過網版印刷、噴墨印刷或其他合適的製程形成。在一些實施例中，第一開口107a的表面積約為1.77mm²。

接著，請同時參照第1D圖和第2圖，第2圖顯示沿第1D圖之線A-A’，葡萄糖感測器100的一些實施例的剖面示意圖。感測電極層106包含第三金屬層106a和金屬氧化層106b，形成工作電極102的氧化石墨烯(grapheme oxide，GO)層108於第一開口107a中之感測電極層106的金屬氧化層106b上，並形成工作電極102的葡萄糖氧化酵素(Glucose Oxidase，GOx)膜109於氧化石墨烯層108上，且複數個磁珠(magnetic beads，MBs)110埋置於葡萄糖氧化酵素膜109中。在一些實施例中，氧化石墨烯層108突出於絕緣層107的頂表面。

在一些實施例中，氧化石墨烯層108具有厚度T₁，T₁約在163-216nm的範圍內。在一些實施例中，葡萄糖氧化酵素膜109具有厚度T₂，T₂約在234-268nm的範圍內。

在一些實施例中，氧化石墨烯層108的形成方法包含以滴管將氧化石墨烯溶液填入第一開口107a中或其他合適的沉積方法。在一些實施例中，葡萄糖氧化酵素膜109透過鍵結材料(未顯示)與磁珠110結合，鍵結材料包含碳二醯胺(1-ethyl-3-(3-d imethylaminopropyl)Carbodiimide Hydrochloride,EDC)、海藻膠鈣(Calcium Alginate)或其他合適的鍵結材料。在一些實施例中，更包含膠體(未顯示)包覆葡萄糖氧化酵素膜109，膠體作為控制葡萄糖進出的半透膜，膠體包含全氟磺酸樹脂(Nafion)、戊二醛(glutaraldehyde)、聚丙烯醯胺(Polyacrylamide)、纖維三醋酸酯(Cellulose Triacetate)或其他合適的半透膜材料。

透過葡萄糖感測器100具有氧化石墨烯層108設置於感測電極層106上，且具有葡萄糖氧化酵素膜109設置於氧化石墨烯層108上，由於氧化石墨烯層108具有高比表面積與高電子遷移率的特性，高比表面積可增加與葡萄糖氧化酵素膜109的接觸面積，高電子遷移率可增加與第一金屬層104和感測電極層106之間的電子傳輸率，因此可提升葡萄糖感測器的感測度。

透過複數個磁珠110埋置於葡萄糖氧化酵素膜109中，由於磁珠110可作為葡萄糖氧化酵素的載體，利於葡萄糖氧化酵素的保存，且磁珠110可增加葡萄糖氧化酵素膜109的比表面積，使電子傳遞的介面面積變大，進而增加葡萄糖氧化酵素的催化特性，因此可提升葡萄糖感測器的感測度。

第3圖顯示依據本發明的一些實施例之氧化石墨烯體積與葡萄糖感測器的平均感測度和線性度的關係曲線圖，其中在第一開口107a的表面積1.77mm²露出之感測電極層106的金屬氧化層106b上添加氧化石墨烯以形成氧化石墨烯層108的體積分別約為2.5μL、5.0μL、7.5μL、10.0μL和12.0μL。如第3圖所示，當氧化石墨烯的添加體積約為5.0μL時，葡萄糖感測器具有最高的平均感測度，其約為7.772mV/mM，且此時的線性度約為0.992。由於線性度趨近於1，因此顯示葡萄糖感測器具有準確的感測性能。

第4圖顯示依據本發明的一些實施例之磁珠體積與葡萄糖感測器100的平均感測度和線性度的關係曲線圖，其中在氧化石墨烯層108上埋置於葡萄糖氧化酵素膜109中的磁珠110體積分別約為2.5μL、5.0μL、7.5μL、10.0μL和12.0μL。如第4圖所示，當磁珠110的添加體積約為7.5μL時，葡萄糖感測器100具有最高的平均感測度，其約為12.008mV/mM，且此時的線性度約為0.986。由於線性度趨近於1，因此顯示葡萄糖感測器具有準確的感測性能。

在一些實施例中，感測電極層106的金屬氧化層106b、氧化石墨烯層108和磁珠110的平均表面粗糙度分別為8.43nm、45.70nm和190nm。由此可見，氧化石墨烯層108和磁珠110可以增加葡萄糖感測器100的表面粗糙度，因此葡萄糖感測器100可具有較大的表面面積吸附葡糖糖氧化酵素，進而增加與感測的葡糖糖的接觸面積，故可提升葡萄糖感測器的感測度。

第5圖顯示依據本發明的一些實施例之在葡萄糖溶 液中添加各種化學物時，葡萄糖感測器100的響應電壓隨時間變化的曲線圖。如第5圖所示，當葡萄糖感測器100浸置於5mM的葡萄糖(glucose)溶液時，產生一響應電壓。接著，分別於5mM的葡萄糖溶液中先後加入半胱胺酸鹽酸鹽(L-cysteine Monohydrochloride，L-Cy)、多巴胺(dopamine，DA)、穀胱甘胺酸(L-glutathione，GSH)、尿素(urea)、尿酸(Uric Acid，UA)、抗壞血酸(Ascorbic Acid，AA)，最後再加入6mM的葡萄糖溶液。由結果可得知，當加入6mM的葡萄糖溶液時，響應電壓驟降，可驗證葡萄糖感測器100對葡萄糖溶液濃度變化具有高敏感度和專一性。

第6A圖顯示依據本發明的一些實施例之具微流道之葡萄糖感測器封裝結構200的透視圖。如第6A圖所示，提供第一基板201，第一基板201具有第一開孔202和第二開孔203，且第一基板201內部具有微流道204連接第一開孔202和第二開孔203。葡萄糖感測器100設置於微流道204中。在本實施例中，微流道204呈U形，但並不限定於此，可根據設計需要調整微流道204的形狀。在一些實施例中，U形微流道204的兩側高度為h₁，底部的厚度為t₁。在一些實施例中，h₁約在的範圍內20.1mm-21.0mm，t₁約在287.2-291.2μm的範圍內。

在一些實施例中，第一基板201的材質例如聚二甲基矽氧烷(polydimethylsiloxane，PDMS)、熔融矽(fused-silica)、聚甲基丙烯酸甲酯(poly(methylmethacrylate)，PMMA)或其他合適的透明材料。在一些實施例中，透過網版印刷製程製作具有微流道204的第一基板201的母模，並使用翻模法形成具有微流道204的第 一基板201。在一些實施例中，母模可包含固化快、無汙染、黏滯係數高的環氧樹脂或其他合適的樹脂材料。

在一些實施例中，具微流道之葡萄糖感測器封裝結構200更包含第二基板205和第三基板209，分別設置於第一基板201的上表面和下表面上。第二基板205具有第一開孔206和第二開孔207分別對應第一基板201的第一開孔202和第二開孔203，且第二基板205在每一角落具有第三開孔208，第三基板209在每一角落具有第三開孔210。如第6A圖所示，複數個螺絲211從第二基板205的第三開孔208延伸至第三基板209的第三開孔，以將第一基板201與第二基板205和第三基板209緊密結合，使第二基板205和第三基板209可保護具有微流道204的第一基板201。

在本實施例中，需感測的溶液從第二基板205的第一開孔206注入，通過第一基板201的第一開孔202進入微流道204，經由微流道204中的葡萄糖感測器100感測，接著通過第一基板201的第二開孔203，最後從第二基板205的第二開孔207流出。在一些實施例中，第二基板205和第三基板209的材質例如壓克力、玻璃或其他合適的透明材料。

第6B顯示沿第6A圖之線B-B’，具有微流道204的第一基板201的剖面示意圖。如第6B圖所示，第一基板201具有長度l₁和寬度w₁，微流道204包含第一端部204a、第二端部204b和連接第一端部204a和第二端部204b的頸部204c，且頸部204c包含第一連接部204c₁、第二連接部204c₂和連接第一連接部204c₁和第二連接部204c₂的第三連接部204c₃。第一端部204a和第二端部204b具有長度L₁和寬度W₁，第一連接部204c₁和第二連接部204c₂具有長度 L₂，第三連接部204c₃具有長度L₃和寬度W₂。在一些實施例中，l₁、w₁、L₁、W₁、L₂、L₃、W₃分別約為70mm、30mm、5mm、4mm、5mm、30mm和10mm。

接著，請參照第7圖，其顯示依據本發明的一些實施例之微流道204流速與具微流道之葡萄糖感測器封裝結構200的平均感測度和線性度的關係曲線圖，其中將微流道204流速分別設定約為5μL/min、10μL/min、15μL/min、20μL/min、25μL/min和30μL/min。如第7圖所示，當微流道204流速約為20μL/min時，具微流道之葡萄糖感測器封裝結構200具有最高的平均感測度，其約為12.008mV/mM，且此時的線性度約為0.999。由於線性度趨近於1，因此顯示具微流道之葡萄糖感測器封裝結構200具有準確的感測性能。在本實施例中，由於流動的葡萄糖溶液可有效降低葡萄糖溶液的電阻，因此可有效提升葡萄糖感測器的感測度。

根據本發明的一些實施例，透過葡萄糖感測器具有氧化石墨烯層設置於感測電極層上，且具有葡萄糖氧化酵素膜設置於氧化石墨烯層上，由於氧化石墨烯層具有高比表面積與高電子遷移率的特性，高比表面積可增加與葡萄糖氧化酵素膜的接觸面積，高電子遷移率可增加與第一金屬層和感測電極層之間的電子傳輸率，因此可提升葡萄糖感測器的感測度。

再者，透過複數個磁珠埋置於葡萄糖氧化酵素膜中，由於磁珠可作為葡萄糖氧化酵素的載體，利於葡萄糖氧化酵素的保存，且磁珠可增加葡萄糖氧化酵素膜的比表面積，使電子傳遞的介面面積變大，進而增加葡萄糖氧化酵素的催化特性，因此可提升葡萄糖感測器的感測度。

另外，透過葡萄糖感測器具微流道，流動的葡萄糖溶液可有效降低葡萄糖溶液的電阻，因此可有效提升葡萄糖感測器的感測度。

雖然本發明已以具體之較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可更動與組合上述各種實施例。

100‧‧‧葡萄糖感測器

101‧‧‧軟性基板

102‧‧‧工作電極

103‧‧‧參考電極

102a、103a‧‧‧第一端部

102b、103b‧‧‧第二端部

102c、103c‧‧‧頸部

104‧‧‧第一金屬層

105‧‧‧第二金屬層

106‧‧‧感測電極層

107‧‧‧絕緣層

107a‧‧‧第一開口

107b‧‧‧第二開口

108‧‧‧氧化石墨烯層

109‧‧‧葡萄糖氧化酵素膜

110‧‧‧磁珠

Claims (17)

1. 一種葡萄糖感測器，包括：一軟性基板；一工作電極，設置於該軟性基板上，且該工作電極包括：一第一金屬層，設置於該軟性基板上；一感測電極層，設置於該工作電極的一第一端部之該第一金屬層上；一氧化石墨烯層，設置於該感測電極層上；一葡萄糖氧化酵素膜，設置於該氧化石墨烯層上，其中複數個磁珠埋置於該葡萄糖氧化酵素膜中；以及一參考電極，設置於該軟性基板上，且該參考電極包括一第二金屬層。
2. 如申請專利範圍第1項所述之葡萄糖感測器，其中該軟性基板包含聚對苯二甲酸乙二酯(PET)，且該第一金屬層和該第二電極層包含銀。
3. 如申請專利範圍第1項所述之葡萄糖感測器，其中該感測電極層包含一金屬氧化層和一第三金屬層，且該金屬氧化層設置於該第三金屬層上。
4. 如申請專利範圍第3項所述之葡萄糖感測器，其中該金屬氧化層包含氧化銦鎵鋅(IGZO)，且該第三金屬層包含鋁。
5. 如申請專利範圍第1項所述之葡萄糖感測器，更包括一絕緣層，覆蓋該軟性基板、該工作電極和該參考電極，其中該 絕緣層具有一第一開口暴露出該工作電極的該第一端部的一部分，且具有一第二開口暴露出該參考電極的一第一端部。
6. 如申請專利範圍第5項所述之葡萄糖感測器，其中該氧化石墨烯層位於該第一開口中，且突出於該絕緣層的頂表面。
7. 如申請專利範圍第1項所述之葡萄糖感測器，其中該絕緣層不覆蓋該工作電極的一第二端部和該參考電極的一第二端部。
8. 如申請專利範圍第1項所述之葡萄糖感測器，其中該葡萄糖氧化酵素膜透過一鍵結材料與該些磁珠結合，該鍵結材料包含碳二醯胺(carbodiimide，CDI)。
9. 如申請專利範圍第1項所述之葡萄糖感測器，更包括一膠體包覆該葡萄糖氧化酵素膜，其中該膠體包含全氟磺酸樹脂(Nafion)。
10. 一種葡萄糖感測器的製造方法，包括：提供一軟性基板；形成一工作電極的一第一金屬層與一參考電極的一第二金屬層於該軟性基板上；形成該工作電極的一感測電極層於該工作電極的一第一端部之該第一金屬層上；形成該工作電極的一氧化石墨烯層於該感測電極層上；以及形成該工作電極的一葡萄糖氧化酵素膜於該氧化石墨烯層 上，其中複數個磁珠埋置於該葡萄糖氧化酵素膜中。
11. 如申請專利範圍第10項所述之葡萄糖感測器的製造方法，在形成該氧化石墨烯層和該葡萄糖氧化酵素膜之前，更包括形成一絕緣層覆蓋該軟性基板、該工作電極和該參考電極，其中該絕緣層具有一第一開口暴露出該工作電極的該第一端部的一部分，且具有一第二開口暴露出該參考電極的一第一端部。
12. 如申請專利範圍第11項所述之葡萄糖感測器的製造方法，其中形成該氧化石墨烯層的步驟包含以滴管將一氧化石墨烯溶液填入該第一開口中。
13. 如申請專利範圍第12項所述之葡萄糖感測器的製造方法，其中該第一開口的表面積為1.77mm²，該氧化石墨烯層的體積為5μL，該些磁珠的體積為7.5μL。
14. 如申請專利範圍第10項所述之葡萄糖感測器的製造方法，其中在形成該工作電極的該葡萄糖氧化酵素膜於該氧化石墨烯層上之前，透過一鍵結材料以共價鍵結法將該些磁珠與該葡萄糖氧化酵素膜結合。
15. 如申請專利範圍第14項所述之葡萄糖感測器的製造方法，更包括提供一膠體包覆該葡萄糖氧化酵素膜。
16. 一種具微流道之葡萄糖感測器封裝結構，包括：一第一基板，該第一基板具有一第一開孔和一第二開孔，且該第一基板內部具有一微流道連接該第一開孔和該第二開 孔；以及一如申請專利範圍第1項所述之葡萄糖感測器，設置於該微流道中。
17. 如申請專利範圍第16項所述之具微流道之葡萄糖感測器封裝結構，更包括：一第二基板和一第三基板，分別設置於該第一基板的上表面和下表面上，其中該第二基板具有一第一開孔和一第二開孔分別對應該第一基板的該第一開孔和該第二開孔，且該第二基板和該第三基板在每一角落具有一第三開孔；複數個螺絲從該第二基板的該第三開孔延伸至該第三基板的該第三開孔。