TWI593163B - Mobile wireless antenna device - Google Patents

Description

移動式無線天線裝置

本發明係為一種移動式無線天線裝置，特別是指一種將移動式載具與RFID技術作結合的移動式無線天線裝置。

隨著科技不斷創新及進步，各式各樣的機器設備不斷地被開發出來以因應工業上大量生產之需要。而在各式工業生產線上，移動式載具為最被廣泛應用的物件搬運裝置，各式移動式載具例如為經常應用在半導體工業的機器手臂、天車，或是為應用在各種工業產線中的無人搬運車、軌道車等；在一工業生產線上包括多道製程程序，當要從一道製程程序移動到另一道製程程序時，就必須依靠這些移動式載具來搬運生產線上的各種物件，也因為在每一道程序中皆不能有錯誤發生，因此當移動式載具搬運各種物件到另一道製程程序時，都必須先經過溝通認證手續。

在傳統的溝通認證手續中，是利用天線以及電纜連接至移動式載具上，並利用移動式載具上的天線對各種物件上的標籤做溝通認證或資料傳輸；然而，在傳統的溝通認證作業中，常因為標籤設置在各種物件的底部而導致無法讓天線讀取到，進而導致讀取率偏低且容易受到干擾，再者，傳統的天線發射涵蓋面不易控制，有機會產生嚴重的誤讀、溢讀等現象，讓產線在生產過程中會一直發生錯誤而使生產率下降；此外，利用天線以及電纜設置在移動式載具的傳統方式會造成電纜線太長，且因為移 動式載具的移動而必須時常伸縮，導致電纜線容易損壞；另一方面，現有一些技術是多設置一讀取器在移動式載具上，並利用讀取器與物件上的標籤做認證，然而，因為此種方法必須在每一移動式載具上多增設讀取器，如此會導致成本增加，且每一移動式載具上的讀取器電源問題必須解決。

基於上述理由，如果能在移動式載具上增設無線天線，讓設置在定點處的讀取器藉由該無線天線與一物件上的標籤做溝通認證，乃是待解決的問題。

鑒於上述習知技術之缺點，本發明之主要為提供一種移動式無線天線裝置，係包括：一無線射頻識別(RFID)讀取模組，係連結至一第一天線，且該無線射頻識別模組包括一電源模組；以及一移動式載具，係包括一第二天線以及一第三天線，該第二天線與該第三天線以一同軸纜線連接，且該移動式載具係乘載複數物件，該複數物件包括複數無線射頻識別標籤，該複數無線射頻識別標籤對應該複數物件的複數物件資料；其中，當該移動式載具移動通過該無線射頻識別讀取模組時，該無線射頻識別讀取模組藉由該第一天線發射一第一電波訊號至該移動式載具，該移動式載具藉由該第二天線接收該第一電波訊號，並藉由該同軸纜線將該第一電波訊號傳送至該第三天線，該移動式載具藉由該第三天線發射該第一電波訊號至該複數物件上的該複數無線射頻識別標籤。

較佳地，該第二天線可放置於該移動式載具外側，並接近該第一天線，易於接收該第一天線發射的該第一電波訊號，且經該同軸纜線，將該第一電波訊號再傳送至該第三天線。該移動式載具的該第三天線，可 設置於該移動式載具內側，更接近該複數無線射頻識別標籤，易於讀取。如果該移動式載具是密閉的(有蓋子)，則本發明的裝置更可將標籤隔離其他載具上的複數標籤，可降低溢讀現象發生。

較佳地，該第一天線與該第二天線之間的無線傳輸，該第二天線與該第三天線之間透過同軸纜線的有線傳輸，以及該第三天線與該複數物件上的該複數無線射頻識別標籤之間的無線傳輸，可有效去除載具造成的遮蔽效應，避免因為該移動式載具而影響到電波訊號的傳輸效果。

較佳地，該複數物件上的該複數無線射頻識別標籤接收到該第一電波訊號後，該複數無線射頻識別標籤發射儲存該複數物件資料的一第二電波訊號至該第三天線，該第三天線接收該第二電波訊號，並藉由該同軸纜線將該第二電波訊號傳送至該第二天線，該移動式載具藉由該第二天線將該第二電波訊號發射至該第一天線，該無線射頻識別讀取模組藉由該第一天線接收並讀取該第二電波訊號中的該複數物件資料。

較佳地，該第二天線及該第三天線分別設置在該移動式載具的左、右兩側。

較佳地，該第二天線設置在該移動式載具的左側或右側其中之一者，該第三天線設置在該移動式載具的頂部。

較佳地，該複數無線射頻標籤設置於該複數物件的底部，該第三天線設置在該複數物件及該複數無線射頻標籤下方。

較佳地，該移動式載具為一工作台車、一半導體設備傳送裝置台、一軌道車、一天車、一機械手臂及一無人搬運車其中之一者。

較佳地，該同軸纜線連接至該第三天線的整體可用一增強表面波導同軸纜線結構來取代。

較佳地，該第一天線、該第二天線及該第三天線為一嵌入式天線。

較佳地，該第一天線、該第二天線、該第三天線為微帶線天線、雙極天線、槽孔天線、貼片天線及漏波天線之一者或其組合。

較佳地，該第一天線設置在一半導體製程機台或一通行關卡上。

本發明之其它目的、好處與創新特徵將可由以下本發明之詳細範例連同附屬圖式而得知。

1‧‧‧無線射頻識別讀取器

2‧‧‧移動式載具

3‧‧‧物件

4‧‧‧通行關卡

5‧‧‧軌道

11‧‧‧電源模組

13‧‧‧第一天線

21‧‧‧第二天線

23‧‧‧第三天線

25‧‧‧同軸纜線

31‧‧‧無線射頻識別標籤

X‧‧‧方向

當併同各隨附圖式而閱覽時，即可更佳瞭解本發明較佳範例之前揭摘要以及上文詳細說明。為達本發明之說明目的，各圖式中繪有現屬較佳之各範例。然應瞭解本發明並不限於所繪之精確排置方式及設備裝置。

圖1為說明本發明移動式無線天線裝置的第一實施例的結構方塊示意圖；圖2為說明本發明移動式無線天線裝置的第二實施例的結構示意圖；圖3為說明本發明一實施例的移動式載具與複數物件的設置結構示意；圖4為說明本發明移動式無線天線裝置的第三實施例的俯視結構示意 圖；以及圖5為說明本發明移動式無線天線裝置的第四實施例的俯視結構示意圖。

現將詳細參照本發明附圖所示之範例。所有圖式盡可能以相同元件符號來代表相同或類似的部份。請注意該等圖式係以簡化形式繪成，並未依精確比例繪製。

圖1為一方塊示意圖，用以說明本發明的移動式無線天線裝置的第一實施例的結構。請參照圖1，本發明第一實施例的移動式無線天線裝置包括一無線射頻識別(RFID)讀取模組1以及一移動式載具2，無線射頻識別讀取模組1係連結至一第一天線13，且無線射頻識別模組1包括一電源模組11，電源模組11供應電源至無線射頻識別模組1，移動式載具2係包括一第二天線21以及一第三天線23，第二天線21與第三天線23以一同軸纜線25連接，且移動式載具2係乘載複數物件3，複數物件3可被乘載於移動式載具2的任何位置，例如可放置於移動式載具2的內部或上方，複數物件3包括複數無線射頻識別標籤31，複數無線射頻識別標籤31對應複數物件3的複數物件資料；其中，無線射頻識別讀取模組1藉由第一天線13發射一第一電波訊號至移動式載具2，移動式載具2藉由第二天線21無線接收該第一電波訊號，並藉由同軸纜線25將該第一電波訊號有線傳送至第三天線23，接著移動式載具2藉由第三天線23發射該第一電波訊號至複數物件3上的複數無線射頻識別標籤31。複數物件3上的複數無線射頻識別標籤31藉由無線傳輸接收到該第一電波訊號後，複數無線射頻識別標 籤31會發射儲存複數物件資料的一第二電波訊號至第三天線23，第三天線23藉由無線傳輸接收該第二電波訊號，並藉由同軸纜線25將該第二電波訊號有線傳送至第二天線21，移動式載具2藉由第二天線21將該第二電波訊號發射至第一天線13，無線射頻識別讀取模組1藉由第一天線13無線接收並讀取該第二電波訊號中的該複數物件資料，本發明第一實施例藉由上述方式來達成無線射頻識別模組1與移動式載具2的無線資料傳輸，在本發明第一實施例中，第二天線21及第三天線23分別設置在移動式載具2的左、右兩側，且第二天線21可放置於移動式載具2的外側，並接近第一天線13，易於接收第一天線13發射的該第一電波訊號，且經同軸纜線25，將該第一電波訊號再傳送至第三天線23。移動式載具2的第三天線23可設置於移動式載具2的內側，更接近複數無線射頻識別標籤31，如此較易於讀取。如果移動式載具2是密閉的(例如有蓋子)，則本發明的移動式無線天線裝置更可將標籤隔離其他載具上的複數標籤，如此可降低溢讀現象的發生機率；而在其他實施例中，第二天線21及第三天線23可配合乘載的複數物件3分別設置在移動式載具2的任意位置上。

另一方面，在本發明第一實施例中，第二天線21是透過一同軸纜線25連接至第三天線23，而在本發明其他實施例中，同軸纜線25連接至第三天線23的整體可用一增強表面波導同軸纜線結構(未示出)來取代，換言之，第二天線21可直接連接至該增強表面波導同軸纜線結構，並透過該增強表面波導同軸纜線結構來與複數物件3上的複數無線射頻識別標籤31做溝通，應了解的是，該增強表面波導同軸纜線結構本身即具有天線功能，該增強表面波導同軸纜線結構的詳細結構及功效可參照同申請人 申請的台灣專利(TW I450198 B)，在此不再贅述；再者，在本發明第一實施例中，第一天線13、第二天線21及第三天線23可為一嵌入式天線；而在其他實施例中，第一天線13、第二天線21、第三天線23可為微帶線天線、雙極天線、槽孔天線、貼片天線及漏波天線之一者或其組合；再者，在本發明第一實施例中，移動式載具2為一工作台車、一半導體設備傳送裝置台、一軌道車、一天車、一機械手臂及一無人搬運車其中之一者。

圖2為一方塊示意圖，用以說明本發明的移動式無線天線裝置的第二實施例的結構。請參照圖2，本發明第二實施例的移動式無線天線裝置包括一無線射頻識別讀取模組1以及一移動式載具2，無線射頻識別讀取模組1係連結至一第一天線13，第一天線13設置於一通行關卡4上，且無線射頻識別模組1包括一電源模組11，電源模組11供應電源至無線射頻識別模組1，移動式載具2係包括一第二天線21以及一第三天線23，在本發明第二實施例中，第二天線21及第三天線23分別設置在移動式載具2的左側及右側，第二天線21與第三天線23以一同軸纜線25連接，且第二天線21可放置於移動式載具2的外側，並接近第一天線13，易於接收第一天線13發射的該第一電波訊號，且經同軸纜線25，將該第一電波訊號再傳送至第三天線23，而移動式載具2的第三天線23可設置於移動式載具2的內側，更接近複數無線射頻識別標籤31，如此較易於讀取。如果移動式載具2是密閉的(例如有蓋子)，則本發明的移動式無線天線裝置更可將標籤隔離其他載具上的複數標籤，如此可降低溢讀現象的發生機率，且移動式載具2係乘載複數物件3，複數物件3可被乘載於移動式載具2的任何位置，例如可放置於移動式載具2的內部或上方，複數物件3包括複數無線射頻 識別標籤31，複數無線射頻識別標籤31對應複數物件3的複數物件資料；其中，當移動式載具2朝方向X移動並通過設置有第一天線13的通行關卡4時，無線射頻識別讀取模組1藉由第一天線13發射一第一電波訊號至移動式載具2，移動式載具2藉由第二天線21無線接收該第一電波訊號，並藉由同軸纜線25將該第一電波訊號有線傳送至第三天線23，接著移動式載具2藉由第三天線23發射該第一電波訊號至複數物件3上的複數無線射頻識別標籤31。複數無線射頻識別標籤31藉由無線傳輸接收到該第一電波訊號後，複數無線射頻識別標籤31發射儲存複數物件資料的一第二電波訊號至第三天線23，第三天線23藉由無線傳輸接收該第二電波訊號，並藉由同軸纜線25將該第二電波訊號有線傳送至第二天線21，移動式載具2藉由第二天線21將該第二電波訊號發射至第一天線13，無線射頻識別讀取模組1藉由第一天線13無線接收並讀取該第二電波訊號中的該複數物件資料，本發明第二實施例藉由上述方式來達成無線射頻識別模組1與移動式載具2的無線資料傳輸。

另一方面，在本發明第二實施例中，第二天線21是透過一同軸纜線25連接至第三天線23，而在本發明其他實施例中，同軸纜線25連接至第三天線23的整體可用一增強表面波導同軸纜線結構(未示出)來取代，換言之，第二天線21可直接連接至該增強表面波導同軸纜線結構，並透過該增強表面波導同軸纜線結構來與複數物件3上的複數無線射頻識別標籤31做溝通，應了解的是，該增強表面波導同軸纜線結構本身即具有天線功能；再者，在本發明第二實施例中，第一天線13、第二天線21及第三天線23可為一嵌入式天線；而在其他實施例中，第一天線13、第二天線 21、第三天線23可為微帶線天線、雙極天線、槽孔天線、貼片天線及漏波天線之一者或其組合；再者，在本發明第二實施例中，移動式載具2為一工作台車、一半導體設備傳送裝置台、一軌道車、一天車、一機械手臂及一無人搬運車其中之一者。此外，在本發明第二實施例中是將第一天線13設置於一通行關卡4上，而在本發明其他實施例中，可將第一天線13設置於一半導體製程機台上，以讓移動式載具2在將複數物件3搬運至一半導體製程機台時可先與無線射頻識別模組1作資料傳輸及溝通認證。

圖3為一方塊示意圖，用以說明本發明一實施例的移動式載具與複數物件的設置結構。請參照圖3，在本發明一實施例中，移動式載具2包括第二天線21以及第三天線23，第二天線21設置在移動式載具2的左側或右側其中之一者，第三天線23設置在移動式載具2的頂部，第二天線21與第三天線23以一同軸纜線25連接，且第二天線21可放置於移動式載具2的外側，而移動式載具2的第三天線23可設置於移動式載具2的頂側，更接近複數無線射頻識別標籤31，如此較易於讀取。如果移動式載具2是密閉的(例如有蓋子)，則本發明的移動式無線天線裝置更可將標籤隔離其他載具上的複數標籤，如此可降低溢讀現象的發生機率，且移動式載具2係乘載複數物件3，複數物件3包括複數無線射頻識別標籤31，複數無線射頻識別標籤31對應複數物件3的複數物件資料，複數無線射頻標籤31設置於複數物件3的底部，第三天線23設置在複數物件3及複數無線射頻標籤31下方，且第三天線23的面積可涵蓋所有的複數物件3。另一方面，應了解的是，本發明一實施例中的移動式載具2可應用於本發明的任何實施例中，且在本發明一實施例中，移動式載具2為一工作台車、一半導體 設備傳送裝置台、一軌道車、一天車、一機械手臂及一無人搬運車其中之一者。再者，在本發明一實施例中，第二天線21是透過一同軸纜線25連接至第三天線23，而在本發明其他實施例中，同軸纜線25連接至第三天線23的整體可用一增強表面波導同軸纜線結構(未示出)來取代，換言之，第二天線21可直接連接至該增強表面波導同軸纜線結構，並透過該增強表面波導同軸纜線結構來與複數物件3上的複數無線射頻識別標籤31做溝通，應了解的是，該增強表面波導同軸纜線結構本身即具有天線功能。

圖4為一方塊示意圖，用以說明本發明的移動式無線天線裝置的第三實施例的俯視結構。請參照圖4，本發明第三實施例的移動式無線天線裝置包括一無線射頻識別讀取模組1以及一移動式載具2，無線射頻識別讀取模組1係連結至一第一天線13，第一天線13設置於一軌道5的中間位置，移動式載具2係透過軌道5進行移動，且無線射頻識別模組1包括一電源模組11，電源模組11供應電源至無線射頻識別模組1，移動式載具2係包括一第二天線21以及一第三天線23，在本發明第三實施例中，第二天線21設置在移動式載具2的左側或右側其中之一者，第三天線23設置在移動式載具2的頂部，第二天線21與第三天線23以一同軸纜線25連接，且移動式載具2係乘載複數物件3，複數物件3包括複數無線射頻識別標籤31，複數無線射頻識別標籤31對應複數物件3的複數物件資料；其中，當移動式載具2在軌道5上移動並通過第一天線13時，無線射頻識別讀取模組1藉由第一天線13發射一第一電波訊號至移動式載具2，移動式載具2藉由第二天線21無線接收該第一電波訊號，並藉由同軸纜線25將該第一電波訊號有線傳送至第三天線23，接著移動式載具2藉由第三天線23發射 該第一電波訊號至複數物件3上的複數無線射頻識別標籤31。複數無線射頻識別標籤31藉由無線傳輸接收到該第一電波訊號後，複數無線射頻識別標籤31發射儲存複數物件資料的一第二電波訊號至第三天線23，第三天線23藉由無線傳輸接收該第二電波訊號，並藉由同軸纜線25將該第二電波訊號有線傳送至第二天線21，移動式載具2藉由第二天線21將該第二電波訊號發射至第一天線13，無線射頻識別讀取模組1藉由第一天線13無線接收並讀取該第二電波訊號中的該複數物件資料，本發明第三實施例藉由上述方式來達成無線射頻識別模組1與移動式載具2的無線資料傳輸。

另一方面，在本發明第三實施例中，第二天線21是透過一同軸纜線25連接至第三天線23，而在本發明其他實施例中，同軸纜線25連接至第三天線23的整體可用一增強表面波導同軸纜線結構(未示出)來取代，換言之，第二天線21可直接連接至該增強表面波導同軸纜線結構，並透過該增強表面波導同軸纜線結構來與複數物件3上的複數無線射頻識別標籤31做溝通，應了解的是，該增強表面波導同軸纜線結構本身即具有天線功能；再者，在本發明第三實施例中，第一天線13、第二天線21及第三天線23可為一嵌入式天線；而在其他實施例中，第一天線13、第二天線21、第三天線23可為微帶線天線、雙極天線、槽孔天線、貼片天線及漏波天線之一者或其組合，且在本發明第三實施例中，移動式載具2為一工作台車、一半導體設備傳送裝置台、一軌道車、一天車、一機械手臂及一無人搬運車其中之一者，此外，在本發明第三實施例中是將第一天線13設置於軌道5的路徑上，讓移動式載具2在軌道5上移動時可直接透過第一天線13來與無線射頻讀取模組1做溝通認證，以達到工作精簡化及節省時間 的目的。

圖5為一方塊示意圖，用以說明本發明的移動式無線天線裝置的第四實施例的俯視結構。請參照圖5，本發明第四實施例的移動式無線天線裝置基本上與第三實施例相同，差別在於本發明第四實施例移動式無線天線裝置包括複數第三天線23以及複數同軸纜線25，而第二天線21藉由複數同軸纜線25連接至複數第三天線23，複數第三天線23位於複數物件3的下方，如此可更有效讀取複數物件3上的複數無線射頻識別標籤31。

另一方面，在本發明第四實施例中，第二天線21是透過複數同軸纜線25連接至複數第三天線23，而在本發明其他實施例中，複數同軸纜線25連接至複數第三天線23的複數組中的每一組的整體皆可用增強表面波導同軸纜線結構(未示出)來取代，換言之，第二天線21可直接連接至複數增強表面波導同軸纜線結構，並透過該複數增強表面波導同軸纜線結構來與複數物件3上的複數無線射頻識別標籤31做溝通，應了解的是，該增強表面波導同軸纜線結構本身即具有天線功能；再者，第二天線21藉由複數同軸纜線25連接至複數第三天線23的結構同樣可應用於本發明其他實施例中。

由上述內容可知，本發明提供一種移動式無線天線裝置，該移動式無線天線裝置係藉由設置於一移動式載具上的兩組天線來讓一RFID讀取器與一設置在複數物件上的複數RFID標籤作無線資料傳輸，本發明的移動式無線天線裝置只需要應用到一組RFID讀取器，該移動式載具上的兩組天線可依靠該RFID讀取器所發射的電波訊號來動作，且不需要另外在該移動式載具上設置多組電纜線來與天線作連結，因此可省下許多成本，同 時可讓裝置結構精簡化。此外，如果該移動式載具是密閉的(有蓋子)，則本發明的裝置更可將標籤隔離其他載具上的複數標籤，如此可降低溢讀現象發生；再者，本發明透過第一天線與第二天線之間的無線傳輸，該第二天線與第三天線之間透過同軸纜線的有線傳輸，以及該第三天線與該複數物件上的該複數無線射頻識別標籤之間的無線傳輸，可有效去除載具造成的遮蔽效應，避免因為該移動式載具而影響到電波訊號的傳輸效果。

在說明本發明之代表性範例時，本說明書已經提出操作本發明之該方法及/或程序做為一特定順序的步驟。但是，某種程度上該方法或程序並不會依賴此處所提出的特定順序的步驟，該方法或程序不應限於所述之該等特定的步驟順序。如本技藝專業人士將可瞭解，其它的步驟順序亦為可行。因此，在本說明書中所提出之特定順序的步驟不應被視為對於申請專利範圍之限制。此外，關於本發明之方法及/或程序之申請專利範圍不應限於在所提出順序中之步驟的效能，本技藝專業人士可立即瞭解該等順序可以改變，且仍維持在本發明之精神及範圍內。

熟習此項技藝者應即瞭解可對上述各項範例進行變化，而不致悖離其廣義之發明性概念。因此，應瞭解本發明並不限於本揭之特定範例，而係為涵蓋歸屬如後載各請求項所定義之本發明精神及範圍內的修飾。

1‧‧‧無線射頻識別讀取器

2‧‧‧移動式載具

3‧‧‧物件

11‧‧‧電源模組

13‧‧‧第一天線

21‧‧‧第二天線

23‧‧‧第三天線

25‧‧‧同軸纜線

31‧‧‧無線射頻識別標籤

Claims (9)

1. 一種移動式無線天線裝置，係包括：一無線射頻識別讀取模組，係連結至一第一天線，且該無線射頻識別模組包括一電源模組；以及一移動式載具，係包括一第二天線以及一第三天線，該第二天線與該第三天線以一同軸纜線連接，且該移動式載具係乘載複數物件，該複數物件包括複數無線射頻識別標籤，該複數無線射頻識別標籤對應該複數物件的複數物件資料；其中，當該移動式載具移動通過該無線射頻識別讀取模組時，該無線射頻識別讀取模組藉由該第一天線發射一第一電波訊號至該移動式載具，該移動式載具藉由該第二天線接收該第一電波訊號，並藉由該同軸纜線將該第一電波訊號傳送至該第三天線，該移動式載具藉由該第三天線發射該第一電波訊號至該複數物件上的該複數無線射頻識別標籤，其中，該同軸纜線連接至該第三天線的整體可用一增強表面波導同軸纜線結構來取代，以讓該等物件被乘載於該移動式載具的任何位置，其中，該移動式無線天線裝置係應用於半導體製程的溝通認證手續中。
2. 如申請專利範圍第1項所述之移動式無線天線裝置，其中，該複數物件上的該複數無線射頻識別標籤接收到該第一電波訊號後，該複數無線射頻識別標籤發射儲存該複數物件資料的一第二電波訊號至該第三天線，該第三天線接收該第二電波訊號，並藉由該同軸纜線將該第二電波訊號 傳送至該第二天線，該移動式載具藉由該第二天線將該第二電波訊號發射至該第一天線，該無線射頻識別讀取模組藉由該第一天線接收並讀取該第二電波訊號中的該複數物件資料。
3. 如申請專利範圍第1項所述之移動式無線天線裝置，其中，該第二天線及該第三天線分別設置在該移動式載具的左、右兩側。
4. 如申請專利範圍第1項所述之移動式無線天線裝置，其中，該第二天線設置在該移動式載具的左側或右側其中之一者，該第三天線設置在該移動式載具的頂部。
5. 如申請專利範圍第1項所述之移動式無線天線裝置，其中，該複數無線射頻標籤設置於該複數物件的底部，該第三天線設置在該複數物件及該複數無線射頻標籤下方。
6. 如申請專利範圍第1項所述之移動式無線天線裝置，其中，該移動式載具為一工作台車、一半導體設備傳送裝置台、一軌道車、一天車、一機械手臂及一無人搬運車其中之一者。
7. 如申請專利範圍第1項所述之移動式無線天線裝置，其中，該第一天線、該第二天線及該第三天線為一嵌入式天線。
8. 如申請專利範圍第1項所述之移動式無線天線裝置，其中，該第一天線、該第二天線、該第三天線為微帶線天線、雙極天線、槽孔天線、貼片天線及漏波天線之一者或其組合。
9. 如申請專利範圍第1項所述之移動式無線天線裝置，其中，該第一天線設置在一半導體製程機台或一通行關卡上。