TWI581016B - 彩色濾光片堆疊結構與製造彩色濾光片堆疊結構的方法 - Google Patents

Description

彩色濾光片堆疊結構與製造彩色濾光片堆疊結構的方法

本發明大致上關於一種彩色濾光片堆疊結構與製造一種彩色濾光片堆疊結構的方法。特別是，本發明則針對將遮光區域中的堆疊彩色濾光片組與凹陷主動區域中的主動區域彩色濾光片組分開製作，即可提高彩色濾光片堆疊結構的品質。

影像感測器與彩色濾光片的組合，可以作為用來擷取靜態對比影像或是動態彩色影片的鏡頭。在此鏡頭中，除了接收光的主動區域之外，還有位於主動區域外圍的遮光區域。在遮光區域中，也會用到彩色濾光片。但是在遮光區域中的彩色濾光片並非是最為白光濾鏡使用，而是用來建構遮光用的高聳護牆。

第10圖到第13圖繪示一種習知技術製造鏡頭堆疊彩色濾光片結構的方法。如第10圖所繪示，提供定義有凹陷主動區域11與隆起遮光區域12的基材10。在此基材10的表面上先平均地形成透明平坦層20，而直接覆蓋凹陷主動區域11與隆起遮光區域12。其次，如第11圖所繪示，再形成分別位於凹陷主動區域11與隆起遮光區域12中、透明平坦層20上的彩色濾光片複合結構30。

位於凹陷主動區域11中的彩色濾光片複合結構30，係不同顏色的紅色濾光片31、綠色濾光片32與藍色濾光片33平行並列。而隆起遮光區域12中的彩色濾光片複合結構30，則是安排成紅色濾光片31與藍色濾光片33上下堆疊。相同顏色的彩色濾光片，當然是同時、但分別形成在凹陷主動區域11與隆起遮光區域12中。由於每個顏色的濾光片在定義之後需要經過高溫烘烤的步驟，所以先形成的彩色濾光片會比後形成的彩色濾光片歷經更多次高溫烘烤的步驟。

然後，如第12圖所繪示，還需要形成透明齊平層40來覆蓋凹陷主動區域11與隆起遮光區域12中的彩色濾光片複合結構30，來補平不同顏色的濾光片之間的高低落差。接著，如第13圖所繪示，在先前得到的透明齊平層40上再形成對應於凹陷主動區域11中所有的彩色濾光片的複數個微透鏡50。

需要特別注意的是，透明齊平層的前驅物是一種透光的液態樹脂，所以會使用傳統的旋塗法，將透光的液態樹脂形成在整片基材10的凹陷主動區域11與隆起遮光區域12的複合彩色濾光片結構30上，來補平不同顏色的濾光片之間的高低落差。但是，當透光的液態樹脂在旋塗過程中從圓心甩向圓周時，由於隆起遮光區域12中，由紅色濾光片31與藍色濾光片33上下堆疊所構成遮光用高聳護牆39的阻礙，透光的液態樹脂不但會裹覆高聳護牆39，還會因此形成四散的甩痕，如第14圖之實景照片所繪示。

四散的甩痕不但沒有達成原來建構透明齊平層40的初衷，在目視上還會觀察到甩痕在產品表面顯現不均的材料分布，這會影響產品的良率與可靠度。特別是，很有可能會牽連靜態對比影像或是動態彩色影片的畫質。因此，本領域急需一種製造彩色濾光片堆疊結構的新穎方法，來確保凹陷主動區域中的透明齊平層具有無瑕疵的平坦表面，使得彩色濾光片堆疊結構的品質有了突破性的進步。

有鑑於此，本發明於是提出一種製作彩色濾光片堆疊結構的新穎製程，得以確保凹陷主動區域中透光的液態樹脂不會在旋塗過程中形成四散的甩痕，使得彩色濾光片堆疊結構中的透明齊平層，不會成為干擾成品的靜態對比影像或是動態彩色影片品質的原因，於是本發明的彩色濾光片堆疊結構的品質本身亦有了突破性的進步。

本發明首先提出一種彩色濾光片堆疊結構。本發明的彩色濾光片堆疊結構，包含有基材、透明平坦層、主動區域彩色濾光片組、透明齊平層、微透鏡組、可能會殘留之透明光阻層與堆疊彩色濾光片組。基材包含凹陷主動區域、遮光區域與電連接墊。透明平坦層共形地直接覆蓋整片基材，但暴露出電連接墊。主動區域彩色濾光片組，位於凹陷主動區域中與透明平坦層上，並包含凹陷紅色濾光片與凹陷藍色濾光片。透明齊平層覆蓋遮光區域、直接覆蓋主動區域彩色濾光片組，但暴露出電連接墊。微透鏡組位於主動區域彩色濾光片組上，並包含複數個微透鏡。複數個微透鏡又分別對應主動區域彩色濾光片組中所有的彩色濾光片。堆疊彩色濾光片組位於遮光區域中，並直接位於透明齊平層上。堆疊彩色濾光片組包含兩片顏色不同又上下堆疊的濾光片，例如紅色濾光片與藍色濾光片。

在本發明的一實施方式中，主動區域彩色濾光片組更包含凹陷綠色濾光片。

在本發明的另一實施方式中，透明平坦層之開口對齊透明齊平層之開口，而一起暴露出電連接墊。

在本發明的另一實施方式中，彩色濾光片堆疊結構更包含透明光阻層。透明光阻層僅位於遮光區域中，並夾置於堆疊彩色濾光片組與透明齊平層之間。

在本發明的另一實施方式中，雖然堆疊紅色濾光片與堆疊藍色濾光片和凹陷紅色濾光片與凹陷藍色濾光片之使用原材料分別相同，但是其吸收光譜卻分別不同。

在本發明的另一實施方式中，基材中更包含影像感應器。

本發明其次提出一種製造彩色濾光片堆疊結構的方法。首先，提供基材，基材上分佈有凹陷主動區域、遮光區域與電連接墊。其次，形成直接覆蓋整片基材的透明平坦層。然後，形成位於凹陷主動區域中與透明平坦層上的主動區域彩色濾光片組。主動區域彩色濾光片組包含凹陷紅色濾光片、凹陷綠色濾光片與凹陷藍色濾光片。再來，形成覆蓋遮光區域、透明平坦層並直接覆蓋主動區域彩色濾光片組的透明齊平層。接著，形成微透鏡組。微透鏡組位於主動區域彩色濾光片組上，並包含複數個微透鏡。每個微透鏡分別對應主動區域彩色濾光片組中各個的彩色濾光片。之後，形成覆蓋遮光區域、透明齊平層並直接覆蓋微透鏡組的圖案化透明光阻層。繼續，以圖案化透明光阻層作為遮罩，對於透明齊平層與透明平坦層進行蝕刻步驟，進而暴露出下方的電連接墊。在蝕刻步驟後，才形成堆疊彩色濾光片組。堆疊彩色濾光片組僅位於遮光區域中並直接位於透明齊平層上。堆疊彩色濾光片組包含堆疊紅色濾光片與堆疊藍色濾光片。特別是，使用相同的濾光片原材料來分別形成堆疊彩色濾光片組中的與主動區域彩色濾光片組中相同顏色的彩色濾光片。

在本發明的一實施方式中，製造彩色濾光片堆疊結構的方法，更包含：

在形成堆疊彩色濾光片組前移除圖案化透明光阻層，但是在形成堆疊彩色濾光片組後，還會有透明光阻層殘留於遮光區域中，並夾置於堆疊彩色濾光片組與透明齊平層之間。

在本發明的另一實施方式中，製造彩色濾光片堆疊結構的方法，更包含：在形成主動區域彩色濾光片組後，初次烘烤主動區域彩色濾光片組；以及在形成堆疊彩色濾光片組後，初次烘烤堆疊彩色濾光片組並同時再次烘烤主動區域彩色濾光片組，使得在兩次烘烤後，堆疊紅色濾光片與堆疊藍色濾光片之吸收光譜和凹陷紅色濾光片與凹陷藍色濾光片之吸收光譜分別不同。

在本發明的另一實施方式中，基材中更包含感應器。

10‧‧‧基材

11‧‧‧凹陷主動區域

12‧‧‧隆起遮光區域

20‧‧‧透明平坦層

30‧‧‧彩色濾光片複合結構

31‧‧‧紅色濾光片

32‧‧‧綠色濾光片

33‧‧‧藍色濾光片

39‧‧‧高聳護牆

40‧‧‧透明齊平層

50‧‧‧微透鏡

100‧‧‧彩色濾光片堆疊結構

110‧‧‧基材

111‧‧‧凹陷主動區域

112‧‧‧遮光區域

115‧‧‧電子元件

116‧‧‧電連接墊

120‧‧‧透明平坦層

121‧‧‧開口

130‧‧‧主動區域彩色濾光片組

131‧‧‧凹陷紅色濾光片

132‧‧‧凹陷綠色濾光片

133‧‧‧凹陷藍色濾光片

139‧‧‧縫隙

140‧‧‧透明齊平層

141‧‧‧接觸洞

142‧‧‧開口

150‧‧‧微透鏡組

151、152、153‧‧‧微透鏡

160‧‧‧透明光阻層

170‧‧‧堆疊彩色濾光片組

171‧‧‧堆疊紅色濾光片

173‧‧‧堆疊藍色濾光片

第1圖至第7圖繪示本發明製造彩色濾光片堆疊結構的一種可行方法的步驟示意圖。

第8圖繪示本發明彩色濾光片堆疊結構的一種實施例。

第8A圖繪示本發明彩色濾光片堆疊結構的另一種實施例。

第9圖為本發明彩色濾光片堆疊結構的實景照片。

第10圖到第13圖繪示一種習知技術製造鏡頭堆疊彩色濾光片結構的方法。

第14圖為習知技術所製造的鏡頭堆疊濾光片結構中有四散甩痕的實景照片。

第15圖繪示對應本發明第8圖與第8A圖的彩色濾光片堆疊結構實施例的上視圖。

本發明一方面提供一種製作彩色濾光片堆疊結構的新穎製程，來確 保凹陷主動區域中的透光液態樹脂不會在旋塗過程中形成四散的甩痕瑕疵，避免彩色濾光片堆疊結構中的透明齊平層，成為干擾成品的靜態對比影像或是動態彩色影片品質的原因。本發明在另一方面，又提供了一種品質上有突破性進步的彩色濾光片堆疊結構。

本發明在第一方面提供一種製造彩色濾光片堆疊結構的方法。第1圖至第7圖繪示本發明製造彩色濾光片堆疊結構的一種可行方法的步驟示意圖。為了簡潔表示起見，其中的各元件不一定依照其正確比例繪示。首先，如第1圖所繪示，提供基材110。基材110可以是一種半導體的材料。同時，基材110上已預先製作有凹陷主動區域111，與相對凹陷主動區域111是隆起的遮光區域112。另外，基材110的內部又預先製作有電子元件115，和電子元件115所需、向外電連接用的電連接墊116。電子元件115可以是主動元件或是被動元件，例如影像感應器。

例如，電子元件115可以是使用時需要搭配彩色濾光片的影像感應器。影像感應器即利用電連接墊116，與外電路(圖未示)電連接，以利電子訊號的傳遞。預先製作凹陷主動區域111的方式，例如可以利用蝕刻方式來移除凹陷主動區域111中部份的基材110，使得遮光區域112較凹陷的主動區域111相對向上隆起。例如，遮光區域112的頂面可以較凹陷主動區域111不平的底面高出約1.6微米(μm)左右。

由於凹陷主動區域111預先經過蝕刻，其表面可能因為蝕刻的緣故有高有低而不夠平整，所以需要先建立一個平坦的基礎層。其次，如第2圖所繪示，形成直接覆蓋整片基材110的透明平坦層120。透明平坦層120直接覆蓋基材110的凹陷主動區域111、遮光區域112和電連接墊116。可以使用透明的液態樹脂作為透明平坦層120的前驅物(圖未示)，並利用旋塗法(spin coating)將此液態樹脂均勻的塗佈在凹陷主動區域111、遮光區域112和電連接墊116上。透明液態樹脂 的材料可以是一種抗反射透明平坦層，例如吸收波長400~700nm間，透光度需大於90%的透明液態樹脂。當液態樹脂均勻地塗佈在基材110上後，就再將透明的液態樹脂熟化，而得到厚度均勻又能填平凹陷主動區域111不平坦表面的透明平坦層120。例如，可以在220℃±3℃的條件下熟化透明的液態樹脂1分鐘至10分鐘左右，得到填平凹陷主動區域111表面的透明平坦層120。透明平坦層120熟化後的厚度可以是0.04微米至0.08微米左右，較佳為0.06微米左右。

然後，如第3圖所繪示，形成只位於凹陷主動區域111中的主動區域彩色濾光片組130。直接位於透明平坦層120上的主動區域彩色濾光片組130，可以包含多種顏色的複合濾光片組，例如凹陷紅色濾光片131、凹陷綠色濾光片132與凹陷藍色濾光片133。視情況需要，可以再增加其他顏色的濾光片。要形成只位於凹陷主動區域111中各種顏色的濾光片，可以先全面性地在基材110上形成第一顏色光阻層(圖未示)。然後，經過曝光與顯影之步驟，第一顏色光阻層便因為被圖案化而成為第一圖案化顏色層(圖未示)。第一圖案化顏色層可以具有第一顏色，例如紅、綠、藍其中一種顏色。較佳者，對後續固化條件越不敏感的顏色層可以越先建立。

如果不使用曝光與顯影之步驟來形成圖案化顏色層時，也可以使用網印法及/或與噴塗法，來分別形成各圖案化顏色層。之後，就可以進行烘烤步驟，將第一圖案化顏色層固化成所需的第一彩色濾光片，例如凹陷紅色濾光片131、凹陷綠色濾光片132與凹陷藍色濾光片133其中之一者。烘烤步驟，可以是在220℃±3℃下進行20分鐘±1分鐘。如此反覆進行，就可以依序建立主動區域彩色濾光片組130中所有的彩色濾光片。彩色濾光片的高度可以是0.8微米左右。視情況需要，形成主動區域彩色濾光片組130的過程中還可以增加沖洗(washing)，或是刷理(brushing)的步驟。另外，主動區域彩色濾光片組130與遮光區域112間會有縫隙139。

再來，由於位在凹陷主動區域111中各種顏色的濾光片是分次建立的，所以凹陷紅色濾光片131、凹陷綠色濾光片132與凹陷藍色濾光片133的頂面很有可能如圖所繪示不一樣高，而使得主動區域彩色濾光片組130整體來看凹凸不平，所以還需要再引入一個齊平彩色濾光片組的透明層。如第4圖所繪示，於是形成覆蓋遮光區域112、透明平坦層120並直接覆蓋主動區域彩色濾光片組130的透明齊平層140。透明齊平層140也會一併填滿主動區域彩色濾光片組130與遮光區域112間的縫隙139。

可以使用另一種透明的液態樹脂作為透明齊平層140的前驅物(圖未示)，並使用例如旋塗法，將此液態樹脂均勻的塗佈在遮光區域112、透明平坦層120與主動區域彩色濾光片組130上。這種透明液態樹脂的材料可以是吸收波長在400~700nm之間透光度大於98%的透明液態樹脂。當液態樹脂均勻地塗佈在主動區域彩色濾光片組130上後，就會再將此透明的液態樹脂熟化，而得到厚度均勻又能填平主動區域彩色濾光片組130不平坦表面的透明齊平層140。例如，可以在165℃±3℃的條件下來進行透明的液態樹脂297秒至303秒的熟化過程，較佳為300秒左右，而得到填平主動區域彩色濾光片組130表面的透明齊平層140。透明齊平層140熟化後的厚度可以是0.23微米至0.27微米左右，較佳為0.25微米左右。

接著，如第5圖所繪示，在透明齊平層140上又直接形成微透鏡組150。微透鏡組150位於主動區域彩色濾光片組130上，並包含複數個微透鏡。例如，若先前形成有凹陷紅色濾光片131、凹陷綠色濾光片132與凹陷藍色濾光片133時，則形成對應的微透鏡151、152、153，使得每個微透鏡分別對應主動區域彩色濾光片組130中各個的彩色濾光片。彩色濾光片的成份可以是感光劑、樹脂、有機溶劑，並經曝光顯影加熱成球形。

之後，因為此時的電連接墊116已經深埋在多層之下，所以還需要形成電連接墊116用的接觸洞141。如第6圖所繪示，先形成覆蓋遮光區域112、透明 齊平層140並直接覆蓋微透鏡組150的圖案化透明光阻層160。例如，使用曝光搭配顯影的方式，來定義圖案化透明光阻層160上、暴露出電連接墊116位置的圖案。繼續，如第7圖所繪示，以圖案化透明光阻層160作為遮罩，對於透明齊平層140與透明平坦層120進行蝕刻，得到透明平坦層120的開口121對齊透明齊平層140的開口142而形成的接觸洞141，進而暴露出電連接墊116。例如，可以使用氧氣搭配氮氣但不損壞鋁製的電連接墊116的過蝕刻配方，來打開電連接點進行透明齊平層140與透明平坦層120的蝕刻。

在蝕刻步驟後，如第8圖所繪示，才會形成位於隆起的遮光區域112中的堆疊彩色濾光片組170。可以參考前述形成主動區域彩色濾光片組130的方式，來形成堆疊彩色濾光片組170，例如曝光、顯影與烘烤堆疊彩色濾光片組170。不一樣的是，堆疊彩色濾光片組170中的彩色濾光片是彼此對準，上下堆疊的。堆疊彩色濾光片組170位於遮光區域中112並直接位於透明齊平層上140。

堆疊彩色濾光片組170例如可以包含堆疊紅色濾光片171與堆疊藍色濾光片173。特別是，較佳使用主動區域彩色濾光片組130中相同顏色之濾光片材料，來形成堆疊彩色濾光片170組中相同顏色之彩色濾光片。由於在形成堆疊彩色濾光片組170後，又會進行烘烤堆疊彩色濾光片組170步驟，所以主動區域彩色濾光片組130也會再次經歷烘烤。換句話說，主動區域彩色濾光片組130會比堆疊彩色濾光片組170歷經更多烘烤的過程。這樣一來，會使得主動區域彩色濾光片組130在歷經前後多次烘烤後，其中凹陷紅色濾光片131與凹陷藍色濾光片133之吸收光譜，比起只歷經較少次烘烤過程的堆疊紅色濾光片171與堆疊藍色濾光片173之吸收光譜不同。

在本發明的一實施方式中，在前述蝕刻步驟完成後，可以先移除圖案化透明光阻層160，例如使用習知的方法來移除圖案化透明光阻層160。但是，由於製程偏差，圖案化透明光阻層160不見得能徹底移除，或是因為光阻層是透 明的也不一定要移除，所以可能會有透明光阻層160在形成堆疊彩色濾光片組170後殘留於遮光區域112中，如第8A圖所繪示。或是說，可能會有透明光阻層160夾置於堆疊彩色濾光片組170與透明齊平層140之間，此為本發明方法的特徵之一。

在經過上述的步驟後，即得到一種彩色濾光片堆疊結構100。如第8圖或第8A圖所繪示，本發明的彩色濾光片堆疊結構100，包含有基材110、透明平坦層120、主動區域彩色濾光片組130、透明齊平層140、微透鏡組150、可能會殘留之透明光阻層160與堆疊彩色濾光片組170。基材110可以是一種半導體的材料，例如矽。同時，基材110上定義有凹陷主動區域111，與相對隆起的遮光區域112。另外，基材110內還有電子元件115，以及與電子元件115電連接的電連接墊116。電子元件115可以是主動元件或是被動元件，例如影像感應器。

透明平坦層120，可以是一種熟化過的樹脂，例如可以是一種抗反射透明平坦層，例如吸收波長400~700nm間，透光度需大於90%的透明液態樹脂，共形地直接覆蓋整片基材110。因此，透明平坦層120可以是厚度均勻地分佈在基材110上，特別能填平凹陷主動區域111中基材110可能不平坦的表面。雖然厚度均勻的透明平坦層120會填平凹陷主動區域111中的不平坦表面，但透明平坦層120另定義有特定的開口121，來暴露出電子元件115的電連接墊116。透明平坦層120的厚度可以是0.04微米至0.08微米左右，較佳為0.06微米左右。

主動區域彩色濾光片組130，係位於凹陷主動區域111中並直接接觸透明平坦層120。主動區域彩色濾光片組130包含複數片平行並列的彩色濾光片，例如凹陷紅色濾光片131與凹陷藍色濾光片133。在本發明的一實施方式中，視情況需要，可以再增加其他顏色的濾光片，例如主動區域彩色濾光片組130更包含凹陷綠色濾光片132或是其他顏色的彩色濾光片。彩色濾光片的高度可以是0.8微 米左右。

透明齊平層140覆蓋遮光區域112、覆蓋透明平坦層120並直接覆蓋主動區域彩色濾光片組130，但是透明齊平層140另定義有特定的開口142，來暴露出電子元件115的電連接墊116。透明齊平層140的功能是用來填平主動區域彩色濾光片組130整體來看凹凸不平的頂面。例如，凹陷紅色濾光片131、凹陷綠色濾光片132與凹陷藍色濾光片133的頂面彼此很有可能不一樣高。透明齊平層140幫助在彩色濾光片組130的頂面上建立起一個整體平坦的透明層。透明齊平層140也會填滿主動區域彩色濾光片組130與遮光區域112間的縫隙139。

在本發明的另一實施方式中，透明平坦層120的開口121對齊透明齊平層140的開口142一起形成接觸洞141，而暴露出電連接墊116。透明齊平層140可以是另一種熟化過的樹脂，例如可以是吸收波長在400~700nm之間透光度大於98%的透明液態樹脂，厚度可以是0.23微米至0.27微米左右，較佳為0.25微米左右。

微透鏡組150位於主動區域彩色濾光片組130上，並直接接觸透明齊平層140。微透鏡組150包含複數個微透鏡。例如，若有凹陷紅色濾光片131、凹陷綠色濾光片132與凹陷藍色濾光片133時，則有對應的微透鏡151、152、153。每個微透鏡是用來分別專一地對應主動區域彩色濾光片組130中各個的彩色濾光片，來進行影像的分光處理。

堆疊彩色濾光片組170只位於遮光區域112中，並直接蓋在透明齊平層140上。堆疊彩色濾光片組170位於遮光區域中112並直接位於透明齊平層上140。堆疊彩色濾光片組170通常包含兩片顏色不同又上下堆疊的濾光片，例如堆疊紅色濾光片171與堆疊藍色濾光片173。堆疊彩色濾光片組170中的彩色濾光片是彼此對準，上下堆疊的。

特別是，堆疊彩色濾光片組170之濾光片材料，較佳與主動區域彩色濾光片組130中相同顏色之濾光片材料相同。由於堆疊彩色濾光片組170與主動區 域彩色濾光片組130會分別歷經不同的製作步驟，所以即使堆疊彩色濾光片組170之濾光片，與主動區域彩色濾光片組130中相同顏色之濾光片使用相同之原材料，主動區域彩色濾光片組130中凹陷紅色濾光片131與凹陷藍色濾光片133之吸收光譜，比起堆疊彩色濾光片組170中相同顏色的堆疊紅色濾光片171與堆疊藍色濾光片173的吸收光譜仍然可能不同。儘管如此，因為堆疊彩色濾光片組170並不具備真正的濾光功能，只要主動區域彩色濾光片組130中的各彩色濾光片具有正確的吸收光譜即可。也就是說，本發明的堆疊彩色濾光片組170之濾光片，與本發明的主動區域彩色濾光片組130中相同顏色之濾光片吸收光譜不同，並無礙於本發明的產業利用性。

如第9圖之實景照片所繪示，本發明彩色濾光片堆疊結構100中的凹陷主動區域111並不見甩痕的殘留。即使在遮光區域112中有長條狀的痕跡，但是並不會影響到凹陷主動區域111。此為本發明彩色濾光片堆疊結構100固有的特徵之一。

本發明的另一實施方式中，有可能在定義透明平坦層120的開口121對齊透明齊平層140的開口142而形成接觸洞141過程，蝕刻遮罩160在完成蝕刻後未完全去除，或是因為透明光阻層160是透明的而不一定要移除，總而言之是可能會有透明光阻層160殘留於遮光區域112中，如第8A圖所繪示，其直接位於堆疊彩色濾光片組170的下方，或是說，可能會有透明光阻層160夾置於堆疊彩色濾光片組170與透明齊平層140之間，此為本發明彩色濾光片堆疊結構100中可能會有的特徵之一。第15圖繪示對應第8圖與第8A圖的彩色濾光片堆疊結構的上視圖。以上所述僅為本發明之較佳實施例，凡依本發明申請專利範圍所做之均等變化與修飾，皆應屬本發明之涵蓋範圍。

100‧‧‧彩色濾光片堆疊結構

110‧‧‧基材

111‧‧‧凹陷主動區域

112‧‧‧遮光區域

115‧‧‧電子元件

116‧‧‧電連接墊

120‧‧‧透明平坦層

121‧‧‧開口

130‧‧‧主動區域彩色濾光片組

131‧‧‧凹陷紅色濾光片

132‧‧‧凹陷綠色濾光片

133‧‧‧凹陷藍色濾光片

140‧‧‧透明齊平層

141‧‧‧接觸洞

142‧‧‧開口

150‧‧‧微透鏡組

151、152、153‧‧‧微透鏡

170‧‧‧堆疊彩色濾光片組

171‧‧‧堆疊紅色濾光片

173‧‧‧堆疊藍色濾光片

Claims (10)

1. 一種彩色濾光片堆疊結構，包含：     一基材，包含一凹陷主動區域、一遮光區域與一電連接墊；     一透明平坦層，共形地直接覆蓋整片該基材但暴露出該電連接墊；     一主動區域彩色濾光片組，位於該凹陷主動區域中與該透明平坦層上，並包含一凹陷紅色濾光片與一凹陷藍色濾光片；     一透明齊平層，覆蓋該遮光區域、直接覆蓋該主動區域彩色濾光片組但暴露出該電連接墊；     一微透鏡組，位於該主動區域彩色濾光片組上並包含複數個微透鏡，複數個該微透鏡分別對應該主動區域彩色濾光片組中所有的該彩色濾光片；以及     一堆疊彩色濾光片組，位於該遮光區域中並直接位於該透明齊平層上，並包含一堆疊紅色濾光片與一堆疊藍色濾光片。
2. 如請求項1之彩色濾光片堆疊結構，其中該主動區域彩色濾光片組更包含一凹陷綠色濾光片。
3. 如請求項1之彩色濾光片堆疊結構，其中該透明平坦層對齊該透明齊平層，而一起暴露出該電連接墊。
4. 如請求項1之彩色濾光片堆疊結構，更包含：     一透明光阻層，位於該遮光區域中並夾置於該堆疊彩色濾光片組與該透明齊平層之間。
5. 如請求項1之彩色濾光片堆疊結構，其中該堆疊紅色濾光片與該堆疊藍色濾光片之吸收光譜和該凹陷紅色濾光片與該凹陷藍色濾光片之吸收光譜分別不同。
6. 如請求項1之彩色濾光片堆疊結構，其中該基材中更包含一感應器。
7. 一種製造彩色濾光片堆疊結構的方法，包含：     提供一基材，該基材包含一凹陷主動區域、一遮光區域與一電連接墊；     形成一透明平坦層，而直接覆蓋整片該基材；     形成一主動區域彩色濾光片組，位於該凹陷主動區域中與該透明平坦層上，並包含一凹陷紅色濾光片、一凹陷綠色濾光片與一凹陷藍色濾光片；     形成一透明齊平層，覆蓋該遮光區域、該透明平坦層並直接覆蓋該主動區域彩色濾光片組；     形成一微透鏡組，位於該主動區域彩色濾光片組上並包含複數個微透鏡，複數個該微透鏡分別對應該主動區域彩色濾光片組中所有的該彩色濾光片；     形成一圖案化透明光阻層，覆蓋該遮光區域、該透明齊平層並直接覆蓋該微透鏡組；     以該圖案化透明光阻層作為一遮罩，對於該透明齊平層與該透明平坦層進行一蝕刻步驟，而暴露出該電連接墊；以及     在該蝕刻步驟後形成一堆疊彩色濾光片組，位於該遮光區域中並直接位於該透明齊平層上，並包含一堆疊紅色濾光片與一堆疊藍色濾光片，其中使用一相同的濾光片材料來形成該堆疊彩色濾光片組中與該主動區域彩色濾光片組中相同顏色之一彩色濾光片。
8. 如請求項7之製造彩色濾光片堆疊結構的方法，更包含：     在形成該堆疊彩色濾光片組前移除該圖案化透明光阻層，而使得在形成該堆疊彩色濾光片組後，還有透明光阻層位於該遮光區域中並夾置於該堆疊彩色濾光片組與該透明齊平層之間。
9. 如請求項7之製造彩色濾光片堆疊結構的方法，更包含：     在形成該主動區域彩色濾光片組後，初次烘烤該主動區域彩色濾光片組；以及     在形成該堆疊彩色濾光片組後，初次烘烤該堆疊彩色濾光片組並再次烘烤該主動區域彩色濾光片組，使得該堆疊紅色濾光片與該堆疊藍色濾光片之吸收光譜和該凹陷紅色濾光片與該凹陷藍色濾光片之吸收光譜分別不同。
10. 如請求項7之製造彩色濾光片堆疊結構的方法，該基材中更包含一感應器。