TWI577989B - 列印式軟性酸鹼値感測器及其製造方法 - Google Patents

列印式軟性酸鹼値感測器及其製造方法 Download PDF

Info

Publication number
TWI577989B
TWI577989B TW105108047A TW105108047A TWI577989B TW I577989 B TWI577989 B TW I577989B TW 105108047 A TW105108047 A TW 105108047A TW 105108047 A TW105108047 A TW 105108047A TW I577989 B TWI577989 B TW I577989B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
silver
layer
solution
silver layer
working electrode
Prior art date
Application number
TW105108047A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201734446A (zh
Inventor
潘嘉琪
郭子立
鄭裕庭
傅宥閔
Original Assignee
華邦電子股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 華邦電子股份有限公司 filed Critical 華邦電子股份有限公司
Priority to TW105108047A priority Critical patent/TWI577989B/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI577989B publication Critical patent/TWI577989B/zh
Publication of TW201734446A publication Critical patent/TW201734446A/zh

Links

Landscapes

  • Measurement Of The Respiration, Hearing Ability, Form, And Blood Characteristics Of Living Organisms (AREA)

Description

列印式軟性酸鹼值感測器及其製造方法
本發明係有關於酸鹼值(PH value)感測技術，特別為有關於形成於軟性基板上的列印式軟性酸鹼值感測器及其製造方法。
酸鹼值為用來表示溶液的氫離子濃度的參數。傳統的酸鹼值感測器最廣為使用的工作電極為玻璃電極，由於玻璃電極具有易破裂、易腐蝕的缺點，目前發展出將酸鹼值感測器的工作電極由玻璃電極改變為金屬與金屬氧化物組成的電極，以克服玻璃電極的缺點。
目前的工作電極與參考電極通常以電鍍或濺鍍的方式製作，並透過高溫燒結的方式得到比較好的導電性與結構性。然而，由於軟性基板(flexible substrate)不能承受太高的溫度，因此傳統的製程無法將工作電極與參考電極製作在軟性基板上來形成軟性酸鹼值感測器。
本發明的一些實施例提供列印式軟性酸鹼值感測器，包括：軟性基板；工作電極，設置於軟性基板上，且工作電極包括：第一銀層，由噴墨印刷製程形成於軟性基板上；第二銀層，由銀鏡反應形成於第一銀層上；及金屬氧化物層，設 置於工作電極的端部之第二銀層上；以及參考電極，設置於軟性基板上，且參考電極包括：第一銀層與第二銀層形成於第一銀層上；及氯化銀層，全面覆蓋第二銀層。
本發明的一些實施例提供列印式軟性酸鹼值感測器的製造方法，包括：提供軟性基板；透過第一噴墨印刷製程在該軟性基板上形成工作電極與參考電極的第一銀層；在第一銀層上進行銀鏡反應，以形成工作電極與參考電極的第二銀層；在工作電極的端部之第二銀層上形成金屬氧化物層；以及在參考電極的第二銀層上形成氯化銀層。
100、200‧‧‧列印式軟性酸鹼值感測器
101‧‧‧軟性基板
102‧‧‧第一銀層
103‧‧‧第二銀層
104‧‧‧金屬氧化物層
105‧‧‧氯化銀層
106‧‧‧工作電極
107‧‧‧參考電極
106a、107a‧‧‧第一端部
106b、107b‧‧‧第二端部
106c、107c‧‧‧頸部
108‧‧‧銀原子
109‧‧‧電位儀
110‧‧‧晶片
111‧‧‧導線
300、400‧‧‧酸鹼值感測系統
D1、D2、D3、D4‧‧‧厚度
L1、L2、L3‧‧‧長度
W1、W2、W3‧‧‧寬度
r1、r2‧‧‧距離
CE‧‧‧補償電極端
WE‧‧‧工作電極端
RF1、RE2‧‧‧參考電極端
第1A-1D圖顯示依據本發明的一些實施例之列印式軟性酸鹼值感測器的製造方法之各階段的平面圖。
第2A圖顯示沿第1D圖之剖面線A-A’，列印式軟性酸鹼值感測器的一些實施例的局部剖面示意圖。
第2B圖顯示沿第1D圖之剖面線B-B’，列印式軟性酸鹼值感測器的一些實施例的局部剖面示意圖。
第2C圖顯示第2A圖的第一銀層與第二銀層之銀原子在掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscopy，SEM)中一些實施例的平面示意圖。
第3圖顯示依據本發明的一些其他實施例之列印式軟性酸鹼值感測器的平面圖。
第4圖顯示依據本發明的一些實施例之酸鹼值感測系統的連接示意圖。
第5圖顯示依據本發明的一些其他實施例之酸鹼值感測系統的連接示意圖。
第6圖顯示依據本發明的一些其他實施例之銀電極的電壓-電流量測圖。
第7圖顯示依據本發明的一些實施例之列印式軟性酸鹼值感測器的開路電壓(open circuit potential，OCP)-酸鹼值量測圖。
以下說明本發明實施例之列印式軟性酸鹼值感測器的製作與使用。然而，可了解的是本發明實施例提供許多合適的發明概念而可實施於廣泛的各種特定背景。所揭示的特定實施例僅用於說明以特定方法製作及使用本發明，並非用以侷限本發明的範圍。再者，在本發明實施例之圖式及說明內容中係使用相同的標號來表示相同或相似的部件。
請參照1A-1D圖，其顯示出依據本發明的一些實施例之列印式軟性酸鹼值感測器100(如第1D圖所示)的製造方法之各階段的平面圖。
在第1A圖中，提供軟性基板101，並在軟性基板101上形成工作電極106與參考電極107的第一銀層102。在本實施例中，形成第一銀層102的方法包含噴墨印刷(ink-jet printing)製程，噴墨印刷製程的製程溫度可低於60℃，但並不限定於此，可根據設計需要調整噴墨印刷製程的製程溫度，故可適用於軟性基板101。在一些實施例中，軟性基板101的材質例如聚對苯二甲酸乙二酯(polyethylene terephthalate，PET)、聚醚碸 (polysulfone，PES)、聚萘二甲酸乙二醇酯(polythylene naphtalate，PEN)、聚醯亞胺(polyimide，PI)、聚碳酸酯(polycarbonate，PC)或其他合適的軟性材料(flexible material)。
採用噴墨印刷製程可根據設計需要決定第一銀層102的形狀，且相較於傳統的沉積製程、微影製程(包含前段製作光阻圖案的製程)及蝕刻製程，採用噴墨印刷製程形成第一銀層102可省去沉積、微影及蝕刻製程的步驟並節省材料，進而有效降低製造成本。
在本實施例中，工作電極106與參考電極107的第一銀層102為啞鈴形狀，其具有第一端部106a和107a、第二端部106b和107b與連接第一端部與第二端部的頸部106c和107c。在一些實施例中，第一端部106a和107a的尺寸小於第二端部106b和107b的尺寸，例如第一端部106a和107a的長度L1和寬度W1約為1mm，第二端度106b和107b的長度L2和寬度W2約為2mm，頸部106c和107c的長度L3約為3mm，頸部106c和107c的寬度W3約為0.5mm，但並不限定於此，可根據設計需要調整工作電極106與參考電極107的第一銀層102的第一端部106a和107a、第二端部106b和107b與頸部106c和107c之長度和寬度。
在第1B圖中，在第一銀層102上進行銀鏡反應(Silver Mirror Reaction)，以形成工作電極106與參考電極107的第二銀層103。在本實施例中，第二銀層103完全覆蓋第一銀層102。
在進行銀鏡反應時，第二銀層103會透過較小的活化能(activation energy)形成在第一銀層102上，因此可透過較 小的活化能控制銀鏡反應僅進行在第一銀層102上而不在軟性基板101的表面上。相較於傳統的沉積製程、微影製程(包含前段製作光阻圖案的製程)及蝕刻製程，採用銀鏡反應形成第二銀層103可省去沉積、微影及蝕刻製程的步驟和節省材料，進而有效降低製造成本。
透過銀鏡反應，銀原子的結構會排列得更為緻密，進一步降低所形成的銀電極之電阻，使工作電極106和參考電極107的第一銀層102與第二銀層103具有較好的導電性與結構性。請參照第6圖，其顯示出依據本發明的一些其他實施例之銀電極的電壓-電流量測圖。在本實施例中，銀電極的長度為2mm，從圖中可得知，在同樣的電流中，相較於在銀鏡反應前的銀電極(例如工作電極106和參考電極107的第一銀層102)，經過銀鏡反應後的銀電極(例如工作電極106和參考電極107的第二銀層103)具有較小的電壓(即電位差)，也就是說，經過銀鏡反應後的銀電極具有較小的電阻，證明銀鏡反應可使工作電極106和參考電極107的第一銀層102與第二銀層103具有較好的導電性。
在一些實施例中，在第一銀層102上進行銀鏡反應的步驟包含將硝酸銀(AgNO3)溶液與氫氧化鈉(NaOH)溶液混合形成第一溶液，即進行銀鏡反應的反應式(1)，接著將氨水(NH3)與第一溶液混合形成第二溶液，即進行銀鏡反應的反應式(2)，接著將工作電極106和參考電極107的第一銀層102浸泡於第二溶液中，然後在第二溶液中加入葡萄糖(C6H12O6)溶液，即進行銀鏡反應的反應式(3)，以在第一銀層102上形成工作電 極106與參考電極107的第二銀層103。
銀鏡反應的反應式：2Ag++2OH- → Ag2O↓+H2O (1)
Ag2O+4NH3+H2O → 2[Ag(NH3)2]++2OH- (2)
C6H12O6+2Ag(NH3)2OH → C5H11O5COONH4+2Ag↓+3NH3+H2O (3)
在本實施例中，硝酸銀溶液的體積莫爾濃度介於0.057M至0.063M之間，氫氧化鈉溶液的體積莫爾濃度介於0.23M至0.27M之間，氨水溶液的體積莫爾濃度介於0.19M至0.21M之間，葡萄糖溶液的體積莫爾濃度介於0.057M至0.063M之間，且硝酸銀溶液、該氫氧化鈉溶液、該氨水溶液與該葡萄糖溶液的體積比介於6：10：80：2.5至6：10：85：3之間。
在一實施例中，銀鏡反應中的硝酸銀溶液的製備步驟包含將1.71*10-4mol-1.89*10-4mol的硝酸銀與水混溶至3ml，氫氧化鈉溶液的製備步驟包含將1.1875*10-3mol-1.3125*10-3mol的氫氧化鈉與水混溶至5ml，氨水的製備步驟包括將7.6*10-3mol-8.4*10-3mol的氨與水混溶至40ml，葡萄糖溶液的製備步驟包含將7.125*10-5mol-7.875*10-5mol的葡萄糖與水混溶至1.25ml。
若葡萄糖溶液的比例超過上述銀鏡反應配方的比例，進行銀鏡反應時會有大量的銀被還原出來，使得除了在第一銀層102上形成第二銀層103之外，會有大量的銀直接形成在軟性基板101上，不利於形成工作電極106和參考電極107的圖案。此外，若氨水溶液的比例小於上述銀鏡反應配方的比例，進行銀鏡反應時則無法生成足夠的氨銀錯合物，導致銀鏡反應 的反應物濃度降低，不利於形成工作電極106和參考電極107的第二銀層103。因此上述銀鏡反應的配方比例能夠有效製作工作電極106和參考電極107。
在第1C圖中，在工作電極106的第一端部106a之第二銀層103上形成金屬氧化物層104。在本實施例中，可採用噴墨印刷製程形成金屬氧化物層104，噴墨印刷製程的製程溫度可低於60℃，但並不限定於此，可根據設計需要調整噴墨印刷製程的製程溫度，以適用於軟性基板101。
採用噴墨印刷製程可根據設計需要決定金屬氧化物層104的形狀，且相較於傳統的沉積製程、微影製程(包含前段製作光阻圖案的製程)及蝕刻製程，形成金屬氧化物層104的噴墨印刷製程可省去沉積、微影及蝕刻製程的步驟和節省材料，進而有效降低製造成本。
在第1D圖中，在參考電極107的第二銀層103上形成氯化銀層105全面覆蓋參考電極107的兩個端部和頸部。在一些實施例中，形成氯化銀層105的步驟包含將參考電極107的第二銀層103浸泡於第一金屬氯化物溶液中。在一些實施例中，第一金屬氯化物溶液例如為氯化鐵(FeCl3)溶液，氯化鐵溶液的體積莫爾濃度介於9.5*10-2M至1.05*10-1M之間，參考電極107的第二銀層103浸泡於氯化鐵溶液的時間介於15s至30s之間。
在一些實施例中，在形成參考電極107的氯化銀層105之後，將氯化銀層105浸泡於第二金屬氯化物溶液中，以穩定和飽和參考電極107的標準電位。在一些實施例中，第二金屬氯化物溶液包含氯化鉀(KCl)溶液，氯化鉀溶液的體積莫爾 濃度介於2.85M至3.15M之間(請補充相關數據)，氯化銀層105浸泡於氯化鉀溶液的時間介於171s至189s之間。
透過銀鏡反應可使第一銀層102與第二銀層103具有較好的結構緻密性，並且在參考電極107的第二銀層103上形成氯化銀層105的步驟中，使得第一銀層102與第二銀層103不會在氯化反應中剝離。
請參照第1D圖，其顯示出依據本發明的一些實施例之列印式軟性酸鹼值感測器100的平面圖。列印式軟性酸鹼值感測器100包含工作電極106與參考電極107設置於軟性基板101上，工作電極106與參考電極107彼此隔開。
請參照第2A圖，其顯示出沿第1D圖之剖面線A-A’，列印式軟性酸鹼值感測器100的一些實施例的剖面示意圖，剖面線A-A’係沿著工作電極106與參考電極107的第一端部106a和107a的中心線。列印式軟性酸鹼值感測器100的工作電極106包含第一銀層102形成於軟性基板101上，第二銀層103形成於第一銀層102上。在本實施例中，第一銀層102由噴墨印刷(ink-jet printing)製程形成，且第二銀層103由銀鏡反應形成。在一些實施例中，第一銀層102的厚度D1約在1.2μm至1.5μm之間，第二銀層103的厚度D2約在5nm至10nm之間。此外，第2B圖則顯示出沿第1D圖之剖面線B-B’，列印式軟性酸鹼值感測器100的一些實施例的剖面示意圖，剖面線B-B’係沿著工作電極106與參考電極107的第二端部106b和107b的中心線。
傳統由高溫燒結製成的銀電極之銀原子在掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscopy，SEM)中的平面圖不 同於本發明實施例中透過銀鏡反應形成的第二銀層103之銀原子108在掃描電子顯微鏡中的平面圖(如第2C圖所示)。經過傳統高溫燒結的製程後，多個銀原子會相互溶在一起，也就是說，在同一水平面上的兩個銀原子互相重疊，使得燒結後的兩個銀原子中心之間的距離小於一個銀原子的直徑，且經過越高溫的燒結，在同一水平面上的兩個銀原子互相重疊的比例越大，使得燒結後的兩個銀原子中心之間的距離變得更小。
根據本發明的一些實施例，請參照第2C圖，其顯示出第2A圖和第2B圖的第一銀層102與第二銀層103的銀原子在掃描電子顯微鏡中一些實施例的平面示意圖。由銀鏡反應形成的第二銀層103在同一水平面上的任兩個相鄰銀原子108不互相重疊。在一些實施例中，銀鏡反應形成的任兩個相鄰銀原子108中心之間的距離r1大致等於一個銀原子108的直徑。在一些其他實施例中，銀鏡反應形成的任兩個相鄰銀原子108中心之間的距離r2可大於一個銀原子108的直徑。
如第1D圖所示，在本實施例中，金屬氧化物層104設置於工作電極106的第一端部106a之第二銀層103上，而不設置於工作電極106之第二銀層103的其他部分上(如第2B圖所示，工作電極106的第二端部106b之第二銀層103上不具有金屬氧化物層104)。在一些實施例中，金屬氧化物層104包含氧化鎢(WO3。在一些實施例中，如第2A圖所示，金屬氧化物層104的厚度D3約在0.4μm至0.5μm之間。在一些其他實施例中，金屬氧化物層104全面覆蓋於工作電極106的兩個端部和頸部之第二銀層103上。
如第2A圖所示，列印式軟性酸鹼值感測器100的參考電極107包含相同於工作電極106的第一銀層102，第一銀層102以噴墨印刷製程形成於軟性基板101上，且參考電極107包含相同於工作電極106的第二銀層103，第二銀層103由銀鏡反應形成於第一銀層102上。
在本實施例中，在參考電極107的第二銀層103上形成的氯化銀層105全面覆蓋參考電極107的兩個端部和頸部。在一些實施例中，如第2A圖和第2B圖所示，氯化銀層105的厚度D4約在0.2μm至0.3μm之間。
在一些實施例中，參考電極107的第一銀層102、第二銀層103與氯化銀層105具有相同的平面形狀和尺寸。此外，工作電極106的第一銀層102與第二銀層103也具有相同的平面形狀和尺寸。另外，工作電極106的金屬氧化物層104則形成在工作電極106的第一端部106a上。
請參照第3圖，其顯示出依據本發明的一些其他實施例之列印式軟性酸鹼值感測器200的平面圖，其中相同於第1D圖中的部件係使用相同的標號並省略其說明。
第3圖中的列印式軟性酸鹼值感測器200之結構類似於第1D圖中的列印式軟性酸鹼值感測器100之結構，差異處在於列印式軟性酸鹼值感測器200包含複數個工作電極106設置於軟性基板101上。在一些實施例中，列印式軟性酸鹼值感測器200包含複數個工作電極106與一個參考電極107，但並不限定於此，可根據設計需要調整參考電極107的數目。
請參照第4圖，其顯示出依據本發明的一些實施例 之酸鹼值感測系統300的連接示意圖，其中相同於第1D圖中的部件係使用相同的標號並省略其說明。
第4圖的酸鹼值感測系統300中的列印式軟性酸鹼值感測器100之結構可採用類似於第1D圖中的列印式軟性酸鹼值感測器100之結構，此外，酸鹼值感測系統300更包含電位儀109，電位儀109的工作電極端WE和參考電極端RE1並聯連接至列印式軟性酸鹼值感測器100的工作電極106來測量工作電極106的電位，電位儀109的補償電極端CE和參考電極端RE2並聯連接至列印式軟性酸鹼值感測器100的參考電極107來測量參考電極107的電位。透過測量得出的工作電極106和參考電極107的電位差，電位儀109可將此電位差轉換為酸鹼值(PH value)。
請參照第5圖，其顯示出依據本發明的一些其他實施例之酸鹼值感測系統400的連接示意圖，其中相同於第1D圖中的部件係使用相同的標號並省略其說明。
第5圖的酸鹼值感測系統400中的列印式軟性酸鹼值感測器100之結構可採用類似於第1D圖中的列印式軟性酸鹼值感測器100之結構，此外，酸鹼值感測系統400由複數個列印式軟性酸鹼值感測器100所組成，並包含晶片110設置於軟性基板101上，晶片110透過導線111連接複數個列印式軟性酸鹼值感測器100的工作電極106與參考電極107，並將測量到的電位差轉換為酸鹼值(PH value)並傳輸到電腦，形成物聯網的概念。在一些實施例中，晶片110可包含互補式金屬氧化物半導體(Complementary Metal Oxide Semiconductor，CMOS)、P型 金屬氧化物半導體(P-type Metal Oxide Semiconductor，PMOS)、N型金屬氧化物半導體(N-type Metal Oxide Semiconductor，NMOS)，但並不限定於此。
在一些其他實施例中，複數個列印式軟性酸鹼值感測器100可透過覆晶封裝(flip-chip)常用的材料例如CuSn或CuAgSn與晶片110整合成為無線感測標籤模組(wireless sensor tag module)。
請參照第7圖，其顯示出依據本發明的一些實施例之列印式軟性酸鹼值感測器100的開路電壓(open circuit potential，OCP)-酸鹼值量測圖，由第7圖的曲線斜率顯示出當列印式軟性酸鹼值感測器100測量出的酸鹼值改變量為1時開路電壓的改變量為54.7mV，這表示列印式軟性酸鹼值感測器100的感測靈敏度可達到54.7mV/PH。
根據本發明的一些實施例，不同於傳統高溫燒結製成的銀電極，由銀鏡反應形成的第二銀層具有在同一水平面上的任兩個相鄰銀原子不互相重疊的特性。
再者，透過噴墨印刷製程來形成第一銀層與金屬氧化物層，可根據設計需要決定第一銀層與金屬氧化物層的形狀，且相較於傳統的沉積製程、微影製程(包含前段製作光阻圖案的製程)及蝕刻製程，形成第二銀層與金屬氧化物層的製程可省去沉積、微影及蝕刻製程的步驟和節省材料，進而有效降低酸鹼值感測器的製造成本。
再者，由於第一銀層和第二銀層的材質相同，在進行銀鏡反應時，第二銀層會透過較小的活化能形成在第一銀 層上，因此可透過較小的活化能來控制銀鏡反應僅進行在第一銀層上而不在軟性基板表面上發生，相較於傳統的沉積製程、微影製程(包含前段製作光阻圖案的製程)及蝕刻製程，形成第二銀層的製程可省去沉積、微影及蝕刻製程的步驟和節省材料，進而有效降低酸鹼值感測器的製造成本，且透過銀鏡反應，參考電極和工作電極的銀原子的結構會排列得更為緻密，進一步降低銀電極的電阻，使參考電極和工作電極的第一銀層與第二銀層具有較好的導電性與結構緻密性。
此外，根據本發明的一些實施例，銀鏡反應的配方比例可避免大量的銀被還原出來並直接形成在軟性基板上，因此本發明的銀鏡反應的配方比例能夠有效降低酸鹼值感測器的製造成本，並有利於形成工作電極和參考電極的圖案。
另外，相較於傳統電鍍、濺鍍與高溫燒結形成酸鹼值感測器的工作電極與參考電極，根據本發明的一些實施例，工作電極透過噴墨印刷製程和銀鏡反應形成，參考電極透過噴墨印刷製程、銀鏡反應和氯化反應形成，可大幅降低酸鹼值感測器的製程溫度，使酸鹼值感測器的工作電極與參考電極可以製作在不耐高溫的軟性基板上，形成列印式軟性酸鹼值感測器。
本發明實施例之列印式軟性酸鹼值感測器及其製造方法可應用於食品(例如長時間運輸的冷凍食品)、環境(例如河川酸鹼值檢測)、生醫(例如藥物篩選、人工皮膚監測、臨床診斷)等領域。
雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然其並非 用以限定本發明，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可更動與組合上述各種實施例。
100‧‧‧列印式軟性酸鹼值感測器
101‧‧‧軟性基板
102‧‧‧第一銀層
103‧‧‧第二銀層
104‧‧‧金屬氧化物層
105‧‧‧氯化銀層
106‧‧‧工作電極
107‧‧‧參考電極
106a、107a‧‧‧第一端部
106b、107b‧‧‧第二端部
106c、107c‧‧‧頸部
L1、L2、L3‧‧‧長度
W1、W2、W3‧‧‧寬度

Claims (10)

  1. 一種列印式軟性酸鹼值感測器，包括：一軟性基板；一工作電極，設置於該軟性基板上，且該工作電極包括：一第一銀層，由一噴墨印刷製程形成於該軟性基板上；一第二銀層，由一銀鏡反應形成於該第一銀層上；及一金屬氧化物層，設置於該工作電極的一端部之該第二銀層上，其中該金屬氧化物層包含氧化鎢(WO3)；以及一參考電極，設置於該軟性基板上，且該參考電極包括：該第一銀層與該第二銀層形成於該第一銀層上；及一氯化銀層，全面覆蓋該第二銀層。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之列印式軟性酸鹼值感測器，其中該第二銀層在同一水平面上的任兩個銀原子不互相重疊。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之列印式軟性酸鹼值感測器，其中該工作電極和該參考電極各自具有由兩個端部和連接該兩個端部的一頸部構成的圖案。
  4. 如申請專利範圍第3項所述之列印式軟性酸鹼值感測器，其中該工作電極和該參考電極的該兩個端部的尺寸不同，且該工作電極的該金屬氧化物層設置於尺寸較小的該端部。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之列印式軟性酸鹼值感測器，其中該軟性基板包含聚對苯二甲酸乙二酯、聚醚碸、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚醯亞胺或聚碳酸酯。
  6. 一種列印式軟性酸鹼值感測器的製造方法，包括： 提供一軟性基板；透過一第一噴墨印刷製程在該軟性基板上形成一工作電極與一參考電極的一第一銀層；在該第一銀層上進行一銀鏡反應，以形成該工作電極與該參考電極的一第二銀層；在該工作電極的一端部之該第二銀層上形成一金屬氧化物層，其中該金屬氧化物層包含氧化鎢(WO3)；以及在該參考電極的該第二銀層上形成一氯化銀層。
  7. 如申請專利範圍第6項所述之列印式軟性酸鹼值感測器的製造方法，其中該金屬氧化物層以一第二噴墨印刷製程形成。
  8. 如申請專利範圍第6項所述之列印式軟性酸鹼值感測器的製造方法，其中在該第一銀層上進行該銀鏡反應的步驟包括：將一硝酸銀溶液與一氫氧化鈉溶液混合形成一第一溶液；將一氨水與該第一溶液混合形成一第二溶液；將該第一銀層浸泡於該第二溶液中；以及在該第二溶液中加入一葡萄糖溶液。
  9. 如申請專利範圍第8項所述之列印式軟性酸鹼值感測器的製造方法，其中該硝酸銀溶液的體積莫爾濃度介於0.057M至0.063M之間，該氫氧化鈉溶液的體積莫爾濃度介於0.23M至0.27M之間，該氨水溶液的體積莫爾濃度介於0.19M至0.21M之間，該葡萄糖溶液的體積莫爾濃度介於0.057M至0.063M之間，且該硝酸銀溶液、該氫氧化鈉溶液、該氨水 溶液與該葡萄糖溶液的體積比介於6：10：80：2.5至6：10：85：3之間。
  10. 如申請專利範圍第6項所述之列印式軟性酸鹼值感測器的製造方法，其中形成該氯化銀層的步驟包括將該參考電極的該第一和第二銀層浸泡於一第一金屬氯化物溶液中，該第一金屬氯化物溶液包含氯化鐵溶液或次氯酸鈉溶液；以及在形成該氯化銀層之後，將該氯化銀層浸泡於一第二金屬氯化物溶液中，該第二金屬氯化物溶液包含氯化鉀溶液。
TW105108047A 2016-03-16 2016-03-16 列印式軟性酸鹼値感測器及其製造方法 TWI577989B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW105108047A TWI577989B (zh) 2016-03-16 2016-03-16 列印式軟性酸鹼値感測器及其製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW105108047A TWI577989B (zh) 2016-03-16 2016-03-16 列印式軟性酸鹼値感測器及其製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TWI577989B true TWI577989B (zh) 2017-04-11
TW201734446A TW201734446A (zh) 2017-10-01

Family

ID=59240913

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW105108047A TWI577989B (zh) 2016-03-16 2016-03-16 列印式軟性酸鹼値感測器及其製造方法

Country Status (1)

Country Link
TW (1) TWI577989B (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI666440B (zh) * 2018-01-16 2019-07-21 超極生技股份有限公司 免校正酸鹼感測試片及其製造方法
TWI711820B (zh) * 2018-09-07 2020-12-01 超極生技股份有限公司 多功能感測試片、系統及方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW201226897A (en) * 2010-12-22 2012-07-01 Univ Nat Cheng Kung PH value sensor of nickel oxide and its fabrication method
CN103517569A (zh) * 2013-09-29 2014-01-15 电子科技大学 一种银导电墨汁及用该墨汁制印制电路的方法
US20140027295A1 (en) * 2008-02-13 2014-01-30 Board Of Regents, The University Of Texas System Amorphous IrOX Film pH Sensor

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20140027295A1 (en) * 2008-02-13 2014-01-30 Board Of Regents, The University Of Texas System Amorphous IrOX Film pH Sensor
TW201226897A (en) * 2010-12-22 2012-07-01 Univ Nat Cheng Kung PH value sensor of nickel oxide and its fabrication method
CN103517569A (zh) * 2013-09-29 2014-01-15 电子科技大学 一种银导电墨汁及用该墨汁制印制电路的方法

Also Published As

Publication number Publication date
TW201734446A (zh) 2017-10-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Antuña-Jiménez et al. Screen-printed electrodes modified with metal nanoparticles for small molecule sensing
US10520469B2 (en) Printed flexible sensors
Anshori et al. Functionalized multi-walled carbon nanotube/silver nanoparticle (f-MWCNT/AgNP) nanocomposites as non-enzymatic electrochemical biosensors for dopamine detection
Ponnaiah et al. A glassy carbon electrode modified with a copper tungstate and polyaniline nanocomposite for voltammetric determination of quercetin
CN108139350A (zh) 固态电极、制造方法及在传感中的使用方法
Mondal et al. Probing the shape-specific electrochemical properties of cobalt oxide nanostructures for their application as selective and sensitive non-enzymatic glucose sensors
Casanova-Cháfer et al. Gas sensing with iridium oxide nanoparticle decorated carbon nanotubes
Zhou et al. Fabrication of a miniature multi-parameter sensor chip for water quality assessment
TWI577989B (zh) 列印式軟性酸鹼値感測器及其製造方法
Rezvani et al. Synthesis, first-principle simulation, and application of three-dimensional ceria nanoparticles/graphene nanocomposite for non-enzymatic hydrogen peroxide detection
Wahl et al. Electroanalysis at ultramicro and nanoscale electrodes: a comparative study
Wardak et al. Ion-selective electrodes with solid contact based on composite materials: a review
Cabral et al. Clean-room lithographical processes for the fabrication of graphene biosensors
Goodnight et al. Non-enzymatic detection of glucose in neutral solution using PBS-treated electrodeposited copper-nickel electrodes
WO2018025647A1 (ja) 半導体装置、ｐＨセンサ、バイオセンサ、及び半導体装置の製造方法
Dhiman et al. Non-enzymatic detection of glucose using a capacitive nanobiosensor based on PVA capped CuO synthesized via co-precipitation route
Carbone NiO-based electronic flexible devices
Yang et al. ZnO film flexible printed circuit board pH sensor measurement and characterization
Lee et al. Simple fabrication method of flexible carbon nanotube electrodes using inkjet and transfer printing methods for dopamine detection
Alagarsamy et al. Hexagonally close-packed three-dimensional nano-flower entrapped on a heteroatom doped carbon sheets: A sensitive electro-catalyst to determine sulfonamide in environmental samples
Wang et al. Ionic pH and glucose sensors fabricated using hydrothermal ZnO nanostructures
Chakraborty et al. Non-enzymatic glucose sensing using hydrothermally grown ZnO nanorods: sensitivity augmentation by carbon doping and carbon functionalization
Shamili et al. All-printed wearable biosensor based on MWCNT-iron oxide nanocomposite ink for physiological level detection of glucose in human sweat
Neethipathi et al. MoS₂ Modified Screen Printed Carbon Electrode Based Flexible Electrochemical Sensor for Detection of Copper Ions in Water
Lenar et al. Application of Metal Oxide Nanoparticles in the Field of Potentiometric Sensors: A Review