TWI570769B - - Google Patents
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- TWI570769B TWI570769B TW103145593A TW103145593A TWI570769B TW I570769 B TWI570769 B TW I570769B TW 103145593 A TW103145593 A TW 103145593A TW 103145593 A TW103145593 A TW 103145593A TW I570769 B TWI570769 B TW I570769B
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- Taiwan
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201410568232.7A CN105591629B (zh) | 2014-10-22 | 2014-10-22 | 自动频率调谐阻抗匹配的匹配频率的获取方法和装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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| TWI570769B true TWI570769B (ko) | 2017-02-11 |
Family
ID=55930935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW103145593A TW201616547A (zh) | 2014-10-22 | 2014-12-25 | 自動頻率調諧阻抗匹配的匹配頻率的獲取方法和裝置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
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Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| TW201417138A (zh) * | 2012-10-16 | 2014-05-01 | Advanced Micro Fab Equip Inc | 等離子處理裝置的等離子處理方法 |
| US20140197731A1 (en) * | 2013-01-11 | 2014-07-17 | John C. Valcore, JR. | Tuning A Parameter Associated With Plasma Impedance |
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Family Cites Families (1)
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|---|---|---|---|---|
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-
2014
- 2014-10-22 CN CN201410568232.7A patent/CN105591629B/zh active Active
- 2014-12-25 TW TW103145593A patent/TW201616547A/zh unknown
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN105591629A (zh) | 2016-05-18 |
| TW201616547A (zh) | 2016-05-01 |
| CN105591629B (zh) | 2018-01-26 |