TWI564950B - 基板運送方法 - Google Patents

Description

基板運送方法

本發明係有關於一種具有基板運送方法，尤指主要係在製程中利用中板貼上數片耐酸膠帶與耐酸膜黏貼，耐酸膜黏貼玻璃基板，而夾具兩側遠離玻璃基板夾住中板，而下支撐遠離玻璃基板裝設在下方位形成之。

一般玻璃基板G單面蝕刻製程中，在不需要蝕刻面貼上耐酸膜F在進行蝕刻作業如圖1所示，而蝕刻製程中不管是曝佈式或浸泡式蝕刻製程作業，都需要使用玻璃基板G承載框架(cassette)運送，在玻璃基板G承載框架內部需要以夾具L固定玻璃基板1如圖2所示，因夾具L下方裝設有下部支撐點S，蝕刻液L1在流動過程會產生擾流現象如圖3所示，而夾具4與下支撐點5會形成擾流現象，而會形成蝕刻不全產生，如圖4所示在夾具部份會形成類似毛邊蝕刻K1,K2不全在下部支撐點S也會產生半月型蝕刻K3不全的缺失。

本發明主要目的，係要提出一種基板運送方法專利申請，在薄膜電晶體液晶顯示器主要製程原料是薄璃基板，因此，主要在 在薄膜電晶體液晶顯示器產業對玻璃基板精度的要求極嚴，而玻璃基板經過蝕刻製程亦是重要一環節，而本發明的製程方法係利用中板貼上數片耐酸膠帶與耐酸膜黏貼，耐酸膜與玻璃基板黏貼，而夾具兩側遠離玻璃基板夾住中板，而下支撐遠離玻璃基板裝設在下方位，而蝕刻液流經玻璃基板、夾具及下支撐進行蝕刻作業後，玻璃基板與夾具之間會形成毛邊蝕刻而不會在玻璃基板產生，玻璃基板與下支撐之間會產生稱半月型蝕刻而不會在玻璃基板上產生，並形成包括有三層結構：玻璃基板、耐酸膠膜及中板所組成，使本發明改良製程方法可以達到良率提高降低損壞率的目的。

綜上所述，傳統蝕刻製程在平整度、品質上不穩定，會造成良率較差，而本發明的製程方法將玻璃基板蝕刻不平的因素克服，使本發明製法生產的產品為品質穩定度提高。

【習知符號說明】

G‧‧‧玻璃基板

F‧‧‧耐酸膜

K1,K2‧‧‧毛邊蝕刻

K3‧‧‧半月型蝕刻

L‧‧‧夾具

L1‧‧‧蝕刻液

S‧‧‧下支撐體

【本發明符號說明】

1‧‧‧玻璃基板

2‧‧‧耐酸膜

3‧‧‧中板

31,31’‧‧‧缺口

4‧‧‧夾具

5‧‧‧下支撐體

6‧‧‧開孔

L2‧‧‧蝕刻液

L3‧‧‧半月型蝕刻

L4‧‧‧蝕刻液

圖1 係為習知玻璃基板+耐酸膜側示意圖。

圖2 係為習知玻璃基板、夾具及下支撐固定示意圖。

圖3 係為習知玻璃基板、夾具及下支撐固定蝕刻液流過側面示意圖。

圖4 係為習知玻璃基板、夾具及下支撐固定蝕刻液流過平面示意圖。

圖5 係為本發明之玻璃基板+耐酸膜+中板側面示意圖。

圖6 係為本發明之玻璃基板、夾具、中板及下支撐固定示意圖。

圖7 係為本發明之蝕刻液流經玻璃基板、夾具及中板側面圖。

圖8 係為本發明之玻璃基板、夾具、中板及下支撐固定蝕刻液流過平面示意圖。

圖9 係為本發明之中板黏貼耐酸膠帶示意圖。

本發明係為一種基板運送方法，主要係玻璃基板1、耐酸膜2、中板3、夾具4及下支撐體5所組成如圖5及圖6所示，製程的方法步驟係為玻璃基板1需經過蝕刻製程作業是重要一環節，其特徵在於本發明的製程方法步驟係為利用如圖9所示中板3需作數個開孔6再開孔處由背部使用耐酸膠帶與耐酸膜2黏貼住，作為水平或垂直貼合固定，而中板3的左、右處開缺口31,31’係要方便量測蝕刻後玻璃基板1厚度使用，而實例中以上部位作開孔6三個貼合，下方兩個開孔6作貼合，其結合強度才足以承受蝕刻液L2沖刷而不至於脫離。

又，如圖6所示夾具4在中板3的左側缺口31上、下位置與玻璃基板1之間夾住中板3左側，夾具4在中板3的右側缺口31’上、下位置與玻璃基板1之間夾住中板3右側，玻璃基板1與中板3下方位之間裝設下支撐體5，其中中板3面積需大於進行蝕刻的玻璃基板1，使其夾具4與下支撐體5遠離玻璃基板1。

如圖7,8,9所示夾具4兩側遠離玻璃基板1夾住中板3，而下支撐體5遠離玻璃基板1裝設在下方位，而蝕刻液L4流流經過玻璃基板1、夾具4及下支撐體5進行蝕刻作業後，玻璃基板1與夾具4之間會形成毛邊蝕刻L2而不會在玻璃基板1產生，玻璃基板1與下支撐體5之間會產生稱半月型蝕刻L3而不會在玻璃基板1上產生，使本發明改良製程方法可以達到良率提高降低損壞率的目的。

以上所述實施例僅是為充分說明本發明而所舉的較佳的實施例，本發明的保護範圍不限於此。本技術領域的技術人員在本發明基礎上所作的等同替代或變換，均在本發明的保護範圍之內。

1‧‧‧玻璃基板

3‧‧‧中板

31,31’‧‧‧缺口

4‧‧‧夾具

5‧‧‧下支撐體

L2‧‧‧毛邊蝕刻

L3‧‧‧半月型蝕刻

Claims (3)

1. 一種基板運送方法，主要係由玻璃基板、耐酸膜、中板、夾具及下支撐體所組成，其特徵在於製程的方法步驟：1).玻璃基板無蝕刻面黏貼耐酸膜；2).中板作數個開孔，其開孔處由背部使用耐酸膠帶與耐酸膜黏貼住，作為水平或垂直貼合固定，而中板的左、右處開缺口，係要方便量測蝕刻後玻璃基板1厚度使用；以及3).夾具在中板的左側缺口上、下位置與玻璃基板之間夾住中板左側，夾具在中板的右側缺口上、下位置與玻璃基板之間夾住中板右側，玻璃基板與中板下方位之間裝設下支撐體。
2. 如申請專利範圍第1項所述之基板運送方法，其中中板面積需大於進行蝕刻的玻璃基板，夾具與下支撐體遠離玻璃基板。
3. 如申請專利範圍第1項所述之基板運送方法，其中下支撐體遠離玻璃基板裝設在中板下方位。