TWI512285B - A method for measuring the number of cells and measuring the number of cells with a precision counting function - Google Patents
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Description
本發明是有關於一種生醫感測晶片及感測細胞數量之方法,特別是有關於一種可精密計算細胞數量之生醫感測晶片及感測方法。
癌症篩檢的目的係為了在症狀出現之前發現癌症。目前,篩檢的方式包括醫療成像及血液、尿液之指標分析。雖醫療成像對於癌症檢測具有較高的靈敏度,然而仍無法有效適用於尺寸小於0.1公分(約105個腫瘤細胞)之腫瘤。習知之生物醫學指標如前列腺特異性抗原(prostate-specific antigen,PSA)、癌抗原125(cancerantigen 125,CA-125)、α-甲胎蛋白(alpha-fetoprotein,AFP),人絨毛膜性腺激素(human chorionic gonadotropin,HCG)和DR70已作為臨床檢測之腫瘤標示物。然而,將這些檢測方法用於腫瘤篩檢仍有諸多限制,例如包括腫瘤細胞計數為間接測定、費時的血液樣本分離或由於生理條件(如感染、發炎或月經)而干擾準確性等。
目前,許多生物學家都專注於研究癌細胞。然而,許多腫瘤細胞(及/或癌幹細胞)具有未分化(un-differentiated)特性,而相當難以辨別及區別。因此,對對細胞生物學家而言,細胞之介電特性為最重要的工具之一,且其應用可對細胞數量進行計數。然而,習知之方法為侵入性的且費時的。細胞需要自其生長表面分離、由細胞培養容器中取出以及在計數前進行染色。因此,如何
達成低成本、高質量、低功耗及能夠檢測更少的生物分子便成為生物檢測發展上的一大難題。
有鑑於上述習知技藝之問題,本發明之目的就是在提供一種具精密計數功能之生醫感測晶片及感測細胞數量之方法,以精密檢測細胞之數量。
根據本發明之目的,提出一種具精密計數功能之生醫感測晶片至少包含基板、複數個地線波導層、信號波導層及保護層。其中,複數個地線波導層位於基板上之兩側;信號波導層位於基板上且位於複數個地線波導層之間,其中信號波導層具有凹槽以形成細胞感測區;以及保護層覆蓋部分複數個地線波導層及部分信號波導層以露出凹槽。
前述之複數個地線波導層及信號波導層係由第一金屬層及第二金屬層堆疊所構成。其中,第一金屬層及第二金屬之材料係可例如分別為鎳(Ni)、鉻(Cr)、鈦(Ti)或金(Au)。
前述之基板可例如為玻璃基板。
前述之保護層之材料可例如為SU8光阻。
前述之具精密計數功能之生醫感測晶片之操作頻帶係可例如介於1GHz至40GHz。
此外,本發明更提出一種藉由前述之具精密計數功能之生醫感測晶片進行細胞感測之方法,其中細胞係置於培養媒介中,此細胞感測方法包含
對生醫感測晶片進行測量,以得到細胞散射參數;以及藉由細胞散
射參數得到細胞之數量。
其中,細胞散射參數係滿足下列關係式:
,且其中
為測量已注入細胞及培養媒介之生醫感測晶片所得到之裝載散
射參數;為測量僅注入培養媒介之生醫感測晶片所得到之媒介散
射參數;以及為測量未注入細胞及培養媒介之生醫感測晶片所得
到之卸載散射參數。
前述之細胞感測方法更藉由細胞散射參數得到傳播
常數γ(f)=α(f)+jβ(f)。其中
,且
其中L為信號波導層之長度;ε eff(f)為有效介電常數;f為頻率。
前述之細胞感測方法更藉由有效介電常數ε eff(f)得到特徵阻抗
,且其中K(x)為第一類橢圓積分;;
;;S為信號波導層之寬度;w為
複數個地線波導層之寬度;以及h為基板之厚度。
前述之細胞感測方法更藉由關係式γ(f)×Z0(f)=R(f)+jω.L(f)及γ(f)/Z0(f)=G(f)+jω.C(f)得到細胞之等效電阻R(f)cell及等效電容C(f)cell,其中R(f)為電阻;L(f)為電感;G(f)為電導;C(f)為電容;以及ω為角頻率。
承上所述,依本發明之具精密計數功能之生醫感測晶片及感測細胞數量之方法,其可具有一或多個下述優點:
(1)此具精密計數功能之生醫感測晶片可藉由信號波導層之凹槽所形成之細胞感測區,以精密測量細胞之數量。
(2)此具精密計數功能之生醫感測晶片可涵蓋1GHz至40GHz之頻帶,相較於習知之感測晶片測量特定的共振峰值,此生醫感測晶片不僅具有較高的靈敏度,更具有較寬廣頻帶及連續的頻率響應。
(3)此具精密計數功能之生醫感測晶片可藉由前述之散射參數關係式可有效地移除培養媒介及基板之微波寄生效應(microwave parasitic effect),以得到更精準的細胞數量。
茲為使 貴審查委員對本發明之技術特徵及所達到之功效有更進一步之瞭解與認識,謹佐以較佳之實施例及配合詳細之說明如後。
10‧‧‧基板
20‧‧‧地線波導層
21‧‧‧第一金屬層
22‧‧‧第二金屬層
30‧‧‧信號波導層
31‧‧‧凹槽
40‧‧‧保護層
50‧‧‧光阻
h‧‧‧基板之厚度
L‧‧‧信號波導層之長度
S‧‧‧信號波導層之寬度
t1‧‧‧第一金屬層之厚度
t2‧‧‧第二金屬層之厚度
tp‧‧‧保護層之厚度
w‧‧‧地線波導層之寬度
Y1‧‧‧基板之等效電路
Y2‧‧‧細胞及培養媒介之等效電路
圖1為本發明之具精密計數功能之生醫感測晶片之較佳實施例之結構示意圖。
圖2為圖1之具精密計數功能之生醫感測晶片之較佳實施例之製程流程前視圖。
圖3為測量本發明之具精密計數功能之生醫感測晶片所得到之散射參數圖。
圖4a為藉由本發明之細胞感測方法所得到之細胞衰減常數圖。
圖4b為藉由本發明之細胞感測方法所得到之細胞介電常數圖。
圖5為本發明之具精密計數功能生醫感測晶片之較佳實施例之等效電路圖。
圖6a為藉由本發明之細胞感測方法所得到之細胞等效電阻圖。
圖6b為藉由本發明之細胞感測方法所得到之細胞等效電容圖。
以下將參照相關圖式,說明依本發明之具精密計數功能之生醫感測晶片及細胞感測方法之實施例,為使便於理解,下述實施例中之相同元件係以相同之符號標示來說明。
請參閱圖1,圖1為本發明之具精密計數功能之生醫感測晶片之較佳實施例之結構示意圖。本發明之具精密計數功能之生醫感測晶片至少包含基板10、複數個地線波導層20、信號波導層30及保護層40。
基板10可例如為玻璃基板。其中玻璃基板之尺寸可例如約為60×60×0.7mm3。
地線波導層20位於基板10上之兩側,且地線波導層20可例如由第一金屬層21及第二金屬層22堆疊所構成。其中,第一金屬層21及第二金屬22之材料係可例如分別為鎳(Ni)、鉻(Cr)、鈦(Ti)或金(Au)。其中,第一金屬層21之材料較佳為鈦,且第一金屬層21之厚度t1可例如約為1.5μm;以及第二金屬層22之材料較佳為金,且第二金屬層22之厚度t2可例如約為0.5μm。
信號波導層30位於基板10上且位於地線波導層20之間。其中信號波導層30具有尺寸可例如約為3000×600μm2之凹槽31所形成之細胞感測區,用以注入細胞及/或培養媒介以供後續測量。信號波導層30可例如同樣由第一金屬層21及第二金屬層22堆疊所構成。其中,第一金屬層21及第二金屬22之材料係可例如分別為鎳(Ni)、鉻(Cr)、鈦(Ti)或金(Au)。其中,第一金屬層21之材料較佳為鈦,且第一金屬層21之厚度t1可例如約為1.5μm;以及第二金屬層22之材料較佳為金,且第二金屬層22之厚度t2可例如約為0.5μm。
保護層40覆蓋部分地線波導層20及部分信號波導層30以露出凹槽31。其中,保護層40之材料可例如為SU8光阻,且保護層40之厚度tp可例如約為55μm,凹槽31之深度可例如約為57μm。
因此,本發明之具精密計數功能之生醫感測晶片不僅可藉由信號波導層30之凹槽31所形成之細胞感測區以精密測量細胞之數量,更可涵蓋1GHz至40GHz之頻帶以提供連續的頻率響應。
儘管前述說明已明確描述本發明之具精密計數功能之生醫感測晶片之較佳實施例之結構示意圖,但為求清楚起見,以下另繪示製程流程圖以詳細說明。惟此製程流程圖僅為例示性,而不限於此。
請參閱圖2,圖2為圖1之具精密計數功能之生醫感測晶片之較佳實施例之製程流程前視圖。步驟(1)首先提供基板10,接著於步驟(2)對基板10進行RCA清洗,以去除基板10表面之各種污染。
接著步驟(3)係於氬氣(argon)環境下利用鈦金屬靶材以射頻磁控濺鍍(RF magnetron sputtering)法,將厚度大約1.5μm之第一金屬層21濺鍍於基板10上。
接著於步驟(4)利用金箔以電子束蒸鍍(E-beam evaporation)法,將厚度大約0.5μm之第二金屬層22蒸鍍於第一金屬層21上。值得一提的是,由於
金具有優異的電特性及生物相容性(biocompatibility),因此適合作為本發明之生醫感測晶片之第二金屬層22之材料。
步驟(5)接著以AZ5214E光罩定義本發明之生醫感測晶片之結構,並且接著於步驟(6)及(7)以濕蝕刻製程移除部分的第一金屬層21及第二金屬層22。步驟(8)接著以丙酮(acetone)拔除光阻50。
於步驟(9)覆蓋大約55μm厚之保護層40於第二金屬層22上,以得到本發明之具精密計數功能之生醫感測晶片。其中,保護層40之材料可例如為SU8光阻。值得一提的是,由於細胞難以附著在SU8光阻上,因此適合作為本發明之生醫感測晶片之保護層40之材料。
請參閱圖3,圖3為測量本發明之具精密計數功能之生醫感測晶片所得到之散射參數圖。
以肝癌細胞(human hepatoma cells,HepG2)為例,HepG2細胞係於含有10%胎牛血清(fetal bovine serum)之DMEM、100unit/ml之青黴素(penicillin)、100μg/ml之鏈黴素(streptomycin)、0.3%(w/v)之碳酸氫鈉(NaHCO3)、0.1mM之非必需氨基酸(non-essential amino acid)及1mM之丙酮酸鈉(sodium pyruvate)中培養,且於5% CO2之環境下維持37℃。
接著將不同密度(2×101cells/μl、2×102cells/μl、1×103cells/μl及2×103cells/μl)之HepG2細胞及培養媒介注入本發明之生醫感測晶片之細胞感測區中,並且以Agilent N5247向量網路分析儀(vector network analyzer)進行散射參數S21之測量。此外,本發明更測量未注入HepG2細胞及培養媒介,以及僅注入培養媒介之散射參數S21。
由圖3可得知,當HepG2細胞之密度愈高,散射參數S21之數值便會隨之降低。這是由於電磁波穿透HepG2細胞後所造成之微波衰減,且其影響較極化效應(polarization effects)更為顯著。因此,當細胞感測區無細胞、含有
細胞及細胞密度不同時,頻率響應便會產生偏移。根據偏移量之多寡,可進一步計算HepG2細胞之等效RLGC值、衰減常數α(f)及介電常數ε r(f)。其中,HepG2細胞之散射參數係滿足下列關係式:
,且其中為測量已注入HepG2細胞及培養媒介之生醫感測晶片
所得到之裝載散射參數;為測量僅注入培養媒介之生醫感測晶片
所得到之媒介散射參數;以及為測量未注入HepG2細胞及培養
媒介之生醫感測晶片所得到之卸載散射參數。
接著利用關係式(a)可推導出傳播常數γ(f)=α(f)+jβ(f)。其中α(f)為衰減常數以及β(f)為相位常數,且分別為
接著藉由關係式(c)可得到有效介電常數ε eff(f)
進而藉由有效介電常數ε eff(f)得到特徵阻抗Z0(f)
且其中ε r(f)為介電常數;K(x)為第一類橢圓積分;;
;;S為信號波導層之寬度;w為
複數個地線波導層之寬度;以及h為基板之厚度。
請參閱圖4a及4b,圖4a為藉由本發明之細胞感測方法所得到之細胞衰減常數圖。圖4b為藉由本發明之細胞感測方法所得到之細胞介電常數圖。
由於關係式(a)之散射參數關係式已移除培養媒介及基板之微波寄生效應(microwave parasitic effect),因此可得到單純的HepG2細胞之介電特性。由圖4a可得知,頻率為40GHz時,密度為2×101cells/μl、2×102cells/μl、1×103cells/μl及2×103cells/μl之HepG2細胞之衰減常數α(f)係分別為0.12×10-3dB/μm、0.58×10-3dB/μm、0.81×10-3dB/μm及1.26×10-3dB/μm。且由圖4b可得知,頻率介於15GHz至40GHz時,HepG2細胞之介電常數ε r(f)之平均值則分別為11.37、13.58、14.6及16.4。因此,藉由移除培養媒介及基板之微波寄生效應可有效地提高細胞測量時的靈敏度,縱使在細胞密度非常低的情況下,仍然可以準確地計算出細胞的數量。
請參閱圖5、6a及6b,圖5為本發明之具精密計數功能生醫感測晶片之較佳實施例之等效電路圖。圖6a為藉由本發明之細胞感測方法所得到之細胞等效電阻圖。圖6b為藉由本發明之細胞感測方法所得到之細胞等效電容圖。
本發明更可藉由散射參數及關係式(f)及(g)
γ(f)×Z0(f)=R(f)+jω.L(f) (f)
γ(f)/Z0(f)=G(f)+jω.C(f) (g)得到HepG2細胞之等效電阻R(f)cell及等效電容C(f)cell,其中R(f)為電阻;L(f)為電感;G(f)為電導;C(f)為電容;以及ω為角頻率。
首先將裝載散射參數以之形式表示,
其中
接著藉由關係式(f)、(g)及(i),可進一步得到HepG2細胞之等效電阻R(f)cell及等效電容C(f)cell,其分別為:
C(f)cell=Im[Y2] (m)其中
因此,HepG2細胞之電特性可藉由關係式(l)、(m)及(n)而清楚地描述。舉例而言,由圖6a及6b可得知,在頻率為40GHz的情況下,當HepG2細胞之密度由2×101cells/μl增加至2×103cells/μl時,HepG2細胞之等效電阻R(f)cell便會由8.7Ω增加至177.9Ω,而HepG2細胞之等效電容C(f)cell則會由2.53pF增加至2.88pF。換言之,藉由本發明之生醫感測晶片及細胞感測方法可有效地提高HepG2細胞測量時的靈敏度,以得到更精準的HepG2細胞數量,進而有效地預防癌症發生。
以上所述僅為舉例性,而非為限制性者。任何未脫離本發明之精神與範疇,而對其進行之等效修改或變更,均應包含於後附之申請專利範圍中。
10‧‧‧基板
20‧‧‧地線波導層
21‧‧‧第一金屬層
22‧‧‧第二金屬層
30‧‧‧信號波導層
31‧‧‧凹槽
40‧‧‧保護層
h‧‧‧基板之厚度
L‧‧‧信號波導層之長度
S‧‧‧信號波導層之寬度
t1‧‧‧第一金屬層之厚度
t2‧‧‧第二金屬層之厚度
tp‧‧‧保護層之厚度
w‧‧‧地線波導層之寬度
Claims (10)
- 一種具精密計數功能之生醫感測晶片,包含:一基板;複數個地線波導層,位於該基板上之兩側;一信號波導層,位於該基板上且位於該些地線波導層之間,其中該信號波導層具有一凹槽以形成一細胞感測區;以及一保護層,覆蓋部分該些地線波導層及部分該信號波導層以露出該凹槽。
- 如申請專利範圍第1項所述之具精密計數功能之生醫感測晶片,其中該些地線波導層及該信號波導層係由一第一金屬層及一第二金屬層堆疊所構成。
- 如申請專利範圍第2項所述之具精密計數功能之生醫感測晶片,其中該第一金屬層及該第二金屬之材料係分別為鎳(Ni)、鉻(Cr)、鈦(Ti)或金(Au)。
- 如申請專利範圍第1項所述之具精密計數功能之生醫感測晶片,其中該基板為玻璃基板。
- 如申請專利範圍第1項所述之具精密計數功能之生醫感測晶片,其中該保護層之材料為SU8光阻。
- 如申請專利範圍第1項所述之具精密計數功能之生醫感測晶片,其中該具精密計數功能之生醫感測晶片之操作頻帶係介於1GHz至40GHz。
- 一種藉由如申請專利範圍第1項所述之具精密計數功能之生醫感測晶片進行細胞感測之方法,其中該細胞係置於一培養媒介中,該細胞感測方法包含: 對該生醫感測晶片進行測量,以得到一細胞散射參數,其中該 細胞散射參數係滿足下列關係式: ,其中 為測量已注入該細胞及該培養媒介之該生醫感測晶片所得到之 一裝載散射參數;為測量僅注入該培養媒介之該生醫感測晶片所 得到之一媒介散射參數;以及為測量未注入該細胞及該培養媒介 之該生醫感測晶片所得到之一卸載散射參數;以及 藉由該細胞散射參數得到該細胞之數量。
- 如申請專利範圍第7項所述之細胞感測方法,更藉由該細胞散射參 數得到一傳播常數γ(f)=α(f)+jβ(f),其中
- 如申請專利範圍第8項所述之細胞感測方法,更藉由有效介電常數 ε eff(f)得到特徵阻抗,且其中K(x)為第一 類橢圓積分;;; (i=0,1);S為該信號波導層之寬度;w為該些地線波導層之寬度;以及h為該基板之厚度。
- 如申請專利範圍第9項所述之細胞感測方法,更藉由關係式γ(f)×Z0(f)=R(f)+jω.L(f)及γ(f)/Z0(f)=G(f)+jω.C(f)得到該細胞之等效電阻R(f)cell及等效電容C(f)cell,其中R(f)為電阻;L(f)為電感;G(f)為電導;C(f)為電容;以及ω為角頻率。
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TW103110187A TWI512285B (zh) | 2014-03-18 | 2014-03-18 | A method for measuring the number of cells and measuring the number of cells with a precision counting function |
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