TWI494546B - 法布里-珀羅光纖干涉儀的感測元件的製造方法及其量測系統裝置 - Google Patents

Description

法布里-珀羅光纖干涉儀的感測元件的製造方法及其量測系統裝置

本發明係關於一種感測元件的製造方法及其量測系統裝置，尤指運用法布里-珀羅光纖干涉儀原理，以作為溫度、應力應變或其他量測之技術範籌。

近年來，由於光電技術的蓬勃發展，光電工業已儼然成為本世紀的新寵，世人對通訊的質與量之需求與日俱增，因此光纖在通訊上扮演了極重要的角色，因其具有質量輕、體積小、不易被腐蝕和不受干擾的優點，而且其具有低損耗高效能的傳輸能力，現在已經被廣泛的運用在各個通訊網路領域裡，而利用光纖光柵干涉儀完成之感測器，近十幾年來已成為在感測器領域上重視的理論之一。

由於光纖感測器相較於傳統機電式的感測器，其質輕纖細、易於多工使用、且做為感測器的光纖元件不會受到外界環境因素的影響，因此極具有發展的潛力，由於光纖的發明與應用，使得傳統利用銅導線做為傳輸工具及電子元件做為感測器的方式有了重大的變革。

目前已有許多學者正從事於以光纖光柵為骨幹之感測器研究，如第7圖所示者，而在使用光纖光柵7感測待測物8時，待測物的溫度與應變變化經常是相伴發生的，通常係利用其波長為1550nm的白光LED作為光源，輸入光經過光源模組9內的一個2×2耦合器(如第8圖)形成寬頻光源91後接到光纖光柵7，將光纖光柵7置於待測物體8上，利用光纖光柵7會反射特定波長的特性，將反射回來的波 長做監控，當待測物體8因為溫度或應力產生形變時，會對於光纖光柵7產生拉伸或擠壓的動作，而使光纖光柵7所反射回來的波長產生飄移，將波長的飄移量轉換為變動量，即可得到待測物體8內的溫度或應力的變化。

前述傳統的光纖光柵7，是利用紫外光透過相位光罩曝照在光纖上，形成光纖光柵7，其特性是將在纖芯的入射光之模態耦合至反方向傳輸之纖芯模態，使其對周圍之應力、溫度或彎曲形變等的參數量測上有靈敏之反應，但由於光纖材料為二氧化矽，熱膨脹係數較低，因此在溫度感測變化上較為不靈敏，不但不利於溫度感測而且製作過程昂貴以及過於繁瑣也是其一大缺點。

本發明的最主要目的：在於提供一種較為經濟便宜的光纖感測元件的製造方法及其裝置。

本發明的另一目的：在於提供靈敏度較高的一種光纖感測元件及其裝置。

本發明人有鑑於此，乃憑恃著長期對光纖感測技術之構思與研究，而發明出一種法布里-珀羅光纖干涉儀的感測元件的製造方法，其方法步驟至少包含有：(a)先將一光纖切平成一端面；(b)將一金屬加熱融化後使之內聚成一金屬球；(c)然後將光纖的端面插入於該金屬球中；(d)待該金屬球冷卻後使光纖端面和金屬之間形成一共振腔(Resonator)；其中該光纖係為單模光纖，又其中該金屬係為錫、鋁或銀、金的其中任一種。

而一種法布里-珀羅光纖干涉儀的感測元件，係包含有：一光纖，係將光纖切成一端面；一金屬球，係設於前述光纖的端面且包覆著光纖；及一共振腔(Resonator)，係設於金屬球內部且位於光纖的端面前端；其中該光纖係為單模光纖；又其中，該金屬球係為錫、鋁或銀、金的其中任一種所製成。
　 而一種法布里-珀羅光纖干涉儀的量測系統裝置的製造方法，其方法步驟至少包含有：(e)將前述的感測元件的光纖的另端面接設一光循環器(Circulator)的連接部；(f)又該光循環器的輸入部接設一光源模組；(g)又該光循環器的輸出部接設一光譜分析儀；其中該寬頻光源(Wide Band Light Source)的波長設為1250至1650奈米(nm)。
　 而一種法布里-珀羅光纖干涉儀的量測系統裝置，係包含有：一光纖，係將光纖切成一端面；一金屬球，係設於前述光纖的端面且包覆著光纖；一共振腔(Resonator)，係設於金屬球內部且位於光纖的端面前端；一光循環器(Circulator)，係設有一輸入部、一輸出部及一連結部，其中該連結部與光纖的另端面接合，且該輸入部接設有一光源模組，而輸出部接設有一光譜分析儀；一光源模組，係產生寬頻光源(Wide Band Light Source)且將其傳送至該光循環器的輸入部；及一光譜分析儀，係接收該光纖傳來的光訊號；其中該寬頻光源(Wide Band Light Source)的波長設為1250至1650奈米(nm)。

   茲由以上說明得知，本發明相較先前技術，確可達到如下之功效：
   1.本發明的感測元件係以熔化的金屬包覆著光纖的一端面，其製作的過程較一般傳統式光纖光柵更為容易不需昂貴設備，且物料成本更為低廉，可以輕易實施並量產，使該感測元件及其所裝配成的量測裝置之價格十分便宜。
   2.本發明的溫度感測元件及其量測裝置，其用予溫度感測時，其溫度靈敏度最高到2.14 nm/°C，比起傳統的光纖光柵(例如:長週期光纖光柵~0.06nm/°C)高於約40倍。

　 為進一步說明本創作上述目的、所運用技術方法手段及其達成功效，本創作人將舉數個較佳實施例予以詳細說明如后；
　 首先，請參閱第1圖及第2圖所示，係關於一種法布里-珀羅光纖干涉儀的感測元件A的製造方法，係為：(a)先將一光纖1切平成一端面11；(b)將一金屬加熱融化後使之內聚成一金屬球2；(c)然後將光纖1的端面11插入於該金屬球2中；(d)待該金屬球2冷卻後使光纖1端面11和金屬之間形成一共振腔3(Resonator)。其中該光纖係為單模光纖，又其中該金屬係為錫、鋁或銀的其中任一種。
　 請參閱第3圖及第4圖所示，係關於法布里-珀羅光纖干涉儀的量測系統裝置B的製造方法係為：(a)先將一光纖1切平成一端面11；(b)將一金屬加熱融化後使之內聚成一金屬球2；(c)然後將光纖1的端面11插入於該金屬球2中；(d)待該金屬球2冷卻後使光纖1端面11和金屬之間形成一共振腔3(Resonator)；(e)將前述感測元件A(透過步驟(a)至步驟(d)方法製造成)的光纖1的另端面12接設一光循環器4(Circulator)的連接部42；(f)又該光循環器4的輸入部41接設一光源模組5；(g)又該光循環器4的輸出部43接設一光譜分析儀6；其中該光源模組5發射一寬頻光源51(Wide Band Light Source)，其波長設為1250至1650奈米(nm)。
　 請參閱第5圖及第6圖所示，對本發明感測元件A作為溫度感知器以感測其周圍溫度後，由第5圖可看出其溫度靈敏度(Slope)最高可以到達2.14 nm/°C，比起傳統的光纖光柵干涉儀(例如:長週期光纖光柵~0.06nm/°C)高於約40倍左右，如此所形成空氣間隙法布里-珀羅光纖干涉儀，其干涉條紋的消光比強度以及干涉條紋疏密都與空氣間隙(亦即共振腔3)的長度d有關。由第6圖所示，可看出干涉條紋的波長的位移大小與空氣間隙(亦即共振腔3)長度d的變化有關，其關係式為： ，其中 係為干涉條紋(亦即反射光52)的波長變化量，d為空氣間隙(亦即共振腔3)的長度， 是因為感測元件A所處周圍的熱效應所造成的空氣間隙長度d的改變，而 決定了干涉條紋波長的變化，較小的空氣間隙長度d會導致較大的反射光52波長位移量( )。由於錫金屬的熱膨脹係數~2.2×10^-5 °C^-1 ，光纖的熱膨脹係數約~5.5×10^-7 °C^-1 ，兩者相差約為40倍左右，但也可以採用其他金屬如鋁、銀或金等增加溫度量測的範圍。而本發明使用錫金屬是因為它大量用於電子電路板焊接，價格十分便宜、好製作以及熔點低等優點。因此，本發明的感測元件A對溫度的靈敏度有大幅的提升的效應，其製作過程較一般傳統式光纖光柵更為容易不需昂貴設備，且成本更為低廉，應可以輕易實現並量產。
　 因此，本發明運用法布里-珀羅光纖干涉儀的感測元件A及其量測系統裝置B未來能應用在生物醫學方面，由於癌細胞或腫瘤組織的溫度比正常組織高，所以微型溫度感測器可用於診斷不正常的組織，並且可長時間和遠距離監視身體機能衰退的患者，減少醫療照護的疏忽，並創造出智慧性居家醫療照護系統，故溫度感測器是監測生理狀況的重要儀器之一，此時的金屬可以使用金的微米球來做；另本發明不僅可運用於醫療領域，亦可運用於工程、工業領域的溫度量測。
　　綜合上述說明及實驗結果，可以得知本發明之方法、結構裝置及圖式均未曾見於書刊或公開使用，誠符合發明專利申請要件，懇請鈞局明鑑，早日准予專利，至為感禱；
　 需陳明者，以上所述乃是本發明之具體實施立即所運用之技術原理，若依本發明之構想所作之改變，其所產生之功能作用仍未超出說明書及圖式所涵蓋之精神時，均應在本發明之範圍內，合予陳明。

(a)、(b)、(c)、(d)、(e)、(f)．．．方法步驟

A．．．感測元件

B．．．量測系統裝置

1．．．光纖

11．．．端面

12．．．另端面

13．．．核心

14．．．包覆層

2．．．金屬球

3．．．共振腔

4．．．光循環器

41．．．輸入部

42．．．連結部

43．．．輸出部

5．．．光源模組

51．．．寬頻光源

52．．．反射光

6．．．光譜分析儀

d．．．長度

△d．．．空氣間隙d的改變

7．．．光纖光柵

8．．．待測物

9．．．光源模組

91．．．寬頻光源

第1圖：係為本發明較佳實施例的感測元件之剖面圖。
第2圖：係為本發明較佳實施例的感測元件之製造方法流程圖。
第3圖：係為本發明較佳實施例的量測系統裝置之架構圖。
第4圖：係為本發明較佳實施例的量測系統裝置之製造方法流程圖。
第5圖：係為本發明較佳實施例的感測元件對其周圍溫度與對反射光波長位移變化圖。
第6圖：係為本發明較佳實施例波長與反射光譜之關係圖。
第7圖:係為既有的光纖光柵感測器之架構圖。
第8圖:係為LED光源輸入2×2耦合器連接既有的光纖光柵感測器之架構圖。

A．．．感測元件

1．．．光纖

11．．．端面

13．．．核心

14．．．包覆層

2．．．金屬球

3．．．共振腔

51．．．寬頻光源

52．．．反射光

d．．．長度

△d．．．空氣間隙d的改變

Claims (8)

1. 一種法布里-珀羅光纖干涉儀的感測元件的製造方法，其方法步驟至少包含有：(a)先將一光纖切平成一端面；(b)將一金屬加熱融化後使之內聚成一金屬球；(c)然後將光纖的端面插入於該金屬球中；(d)待該金屬球冷卻後使光纖端面和金屬之間形成一共振腔(Resonator)；藉由上述方法步驟，因金屬球的熱膨脹係數比光纖的材料的大許多，故在溫度感測運用上比傳統的長週期光纖光柵干涉儀具更高的靈敏度。
2. 依據申請專利範圍第1項所述的法布里-珀羅光纖干涉儀的感測元件的製造方法，其中該光纖係為單模光纖。
3. 依據申請專利範圍第1項所述的法布里-珀羅光纖干涉儀的感測元件的製造方法，其中該金屬係為錫、鋁或銀、金的其中任一種。
4. 一種法布里-珀羅光纖干涉儀的感測元件，係包含有：一光纖，係將光纖切成一端面；一金屬球，係設於前述光纖的端面且包覆著光纖；及一共振腔(Resonator)，係設於金屬球內部且位於光纖的端面前端；藉由上述元件的構成，因金屬球的熱膨脹係數比光纖的材料的大許多，故在溫度感測運用上比傳統的長週期光纖光柵具更高的靈敏度。
5. 依據申請專利範圍第4項所述的法布里-珀羅光纖干涉儀的 感測元件，其中該光纖係為單模光纖。
6. 依據申請專利範圍第4項所述的法布里-珀羅光纖干涉儀的感測元件，其中該金屬球係為錫、鋁、銀或金的其中任一種所製成。
7. 一種法布里-珀羅光纖干涉儀的量測系統裝置，係包含有：一光纖，係將光纖切成一端面；一金屬球，係設於前述光纖的端面且包覆著光纖；一共振腔(Resonator)，係設於金屬球內部且位於光纖的端面前端；一光循環器(Circulator)，係設有一輸入部、一輸出部及一連結部，其中該連結部與光纖的另端面接合，且該輸入部接設有一光源模組，而輸出部接設有一光譜分析儀；一光源模組，係產生寬頻光源(Wide Band Light Source)且將其傳送至該光循環器的輸入部；及一光譜分析儀，係接收該光纖傳來的光訊號；藉由上述方法步驟，因金屬球的熱膨脹係數比光纖的材料的大許多，故在溫度感測或其他溫度感測運用上，比傳統的長週期光纖光柵干涉儀具更高的靈敏度。
8. 依據申請專利範圍第7項所述的法布里-珀羅光纖干涉儀的量測系統裝置，其中該寬頻光源(Wide Band Light Source)的波長設為1250至1650奈米(nm)。