TWI449987B - 液化材料滴落單元及具有其的液化材料滴落設備 - Google Patents

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Description

液化材料滴落單元及具有其的液化材料滴落設備
本發明是有關於一種液化材料滴落單元及具有所述液化材料滴落單元的液化材料滴落設備，且更明確地說，本發明涉及可將預定量的液化材料快速滴落到基板上的液化材料滴落單元，且涉及具有所述液化材料滴落單元的液化材料滴落設備。
一般來說，液晶顯示器是用於通過使用液晶分子(liquid crystal molecules)的光學各向異性(optical anisotropy)及偏光器的偏光特性(polarization property)，並調整從光源入射的光的透過量來顯示圖像。由於可製造輕、薄、高分辨率、大尺寸及低功耗的液晶顯示器裝置，所以如今液晶顯示器的應用範圍正在迅速擴展。
液晶顯示器包含：上部基板，在其上設置黑色矩陣(black matrix)、彩色濾光片(color filter)及共用電極(common electrode)；下部基板，在其上設置薄膜電晶體(thin film transistor)及像素電極(pixel electrode)；及液晶層(liquid crystal layer)，其設置於上部基板與下部基板之間。在因為設置於共用電極與像素電極之間的電場驅動液晶層來控制光透射率時顯示圖像。
液晶滴落是形成液晶顯示器上的液晶層的方法之一。在液晶滴落過程中，將液晶滴到由密封劑(sealant)限制的基板空間上以形成液晶層，且然後當密封劑硬化時接合並組裝所述兩個基板。經配置以滴下例如液晶等液化材料的設備用於通過液晶滴落而在基板上形成液晶層。
典型的液化材料滴落設備包含：注射器(syringe)，其中容納有液晶；噴嘴，其經配置以從注射器接收液晶且將液晶滴到基板上；旋轉馬達(rotary motor)，其經配置以將注射器中容納的液晶排放到噴嘴中；及滾珠絲杠(ball screw)，其與旋轉馬達嚙合且旋轉。當旋轉馬達旋轉時，旋轉力被傳輸到滾珠絲杠。接著，滾珠絲杠(其一端連接到注射器)旋轉且將注射器向上推送，使得注射器的內部變窄，且容納於注射器中的液晶被排放。
然而，典型的液化材料滴落設備的局限性在於，該旋轉馬達的旋轉可能會導致旋轉馬達與滾珠絲杠之間發生反沖(backlash)，並誘發驅動誤差(error)。換句話說，注射器被推動的程度可能不精確。因此，可能無法精確地控制從注射器排放的液晶量，且通過噴嘴滴到基板上的液晶量可能不適當。換句話說，在基板上形成液晶層的過程中缺陷率可能會增加，且在製造液晶顯示器的過程期間，生產效率可能會下降。
此外，在典型的液化材料滴落設備中，該旋轉馬達的旋轉力被轉換成滾珠絲杠的旋轉力以通過噴嘴滴下液晶，且滾珠絲杠的旋轉力以直線形式驅動注射器的一部分。換句話說，由於通過若干級來傳輸旋轉力，所以可能無法精確地控制要排放的液晶量，且液晶滴下速度可能會下降。因此，在基板上形成液晶層的時間週期可能會增加，且在製造液晶顯示器的過程期間，生產效率可能會下降。
本發明提供一種液化材料滴落單元及具有所述液化材料滴落單元的液化材料滴落設備。
本發明還提供一種液化材料滴落單元，其可將預定量的液化材料快速滴落到基板上；且涉及一種具有所述液化材料滴落單元的液化材料滴落設備。
根據示範性實施例，一種液化材料滴落單元包含：容器(container)，其經配置以提供容納液化材料的內部空間；噴射器(ejector)，其經配置以在容器的縱向方向上被線性驅動，以通過與噴射器的位移值相對應地改變內部空間的面積而從容器排放液化材料；及噴嘴組件(nozzle component)，其經配置以接收從容器排放的液化材料，且將液化材料滴落到基板上。
根據另一示範性實施例，一種液化材料滴落設備包含：接收單元，其經配置以接收基板；至少一個液化材料滴落單元，其經配置以將液化材料滴落到基板上；移動單元，其經配置以水平地並垂直地移動接收單元及液化材料滴落單元中的至少一者；及控制單元，其經配置以控制該接收單元、液化材料滴落單元及移動單元的驅動。所述液化材料滴落單元包含：容器，其經配置以提供容納液化材料的內部空間；噴射器，其經配置以在容器的縱向方向上被線性驅動，以通過與噴射器的位移值相對應地改變內部空間的面積而從容器排放液化材料；及噴嘴組件，其經配置以接收從容器排放的液化材料，且將液化材料滴落到基板上。
為讓本發明之上述和其他目的、特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例，並配合所附圖式，作詳細說明如下。
通過結合附圖來閱讀以下描述，可更詳細地瞭解示範性實施例。
下文中將參照附圖來詳細描述具體實施例。然而，本發明可以不同形式來實施且不應被理解為限於本文中闡述的實施例。實際上，提供這些實施例是為了使得本發明將透徹且完整，且將把本發明的範圍完整地傳達給所屬領域的技術人員。圖中相同元件符號表示相同元件。
圖1是說明根據示範性實施例的液化材料滴落單元的側視圖，圖2(a)和圖2(b)是說明在排放液晶時圖1的單元的操作的視圖，且圖3(a)和圖3(b)是說明在填充液晶時圖1的單元的操作的視圖。圖4是說明根據示範性實施例的液化材料滴落設備的示意圖，且圖5是說明根據另一示範性實施例的液化材料滴落設備的示意圖。
參照圖1到圖5，根據示範性實施例的液化材料滴落單元100包含：容器110，其提供容納液晶L的內部空間Sin ，所述液晶L經配置以在基板10的表面上形成液晶層；噴射器120，其經配置以在容器110的縱向方向或延伸方向(z方向)上被線性驅動，以通過與噴射器120的位移值Δx相對應地改變容器110的內部空間Sin 的面積而從容器110排放液晶L；及噴嘴組件130，其經配置以接收從容器110排放的液晶L，且將液晶L滴落到基板10上。此外，經配置以將從容器110排放的液晶L傳送到噴嘴組件130的材料排放管(material discharge pipe)142設置於容器110與噴嘴組件130之間，且通道開關閥140設置于材料排放管142的路徑上。材料供應器(material supplier)150通過材料供應管(material supply pipe)144而連接到通道開關閥(passage switching valve)140的一側，且可在容器110中填充液晶L。換句話說，滴落到基板10上以便在基板10上形成液晶層的液晶L在流出材料供應器150並穿過材料供應管144及通道開關閥140之後，填充於容器110的內部空間Sin 中。
容器110垂直於地面而設置著，且設置於垂直板20的單獨設置於基板10上方的側表面上。容器110的內部空間Sin 具有可變結構，使得填充於內部空間Sin 中的液晶L可被排放，且出於相同目的，容器110包含容器主體112及推進主體(propelling body)114。容器主體112包含容納液晶L的內部空間Sin ，且容器主體112的上端部分113a及下端部分113b敞開，使得上端部分113a及下端部分113b連接到內部空間Sin 。推進主體114通過容器主體112的敞開的下端部分113b插入，且連接到噴射器120，使得推進主體114鏈接到(linked to)噴射器120的線性驅動，且被線性驅動以擴大或縮小容器主體112的內部空間Sin 。換句話說，可將公開已知的注射器用作容器110。此處，由於容器主體112垂直於地面而設置著，所以容器主體112的兩個敞開的端部被分成上端部分113a及下端部分113b。將敞開的下端部分113b用作藉以插入推進主體114的通道，且將敞開的上端部分113a用作藉以排放液晶L的通道。
容器主體112可由透明玻璃或透明強化塑料形成，使得肉眼就可辨別液晶L的量。在容器主體112中，內部空間Sin 在縱向方向(z方向)上具有圓柱形形狀，且末端部分(即，推進主體114的插入到內部空間Sin 中的上端部分)具有圓柱形形狀，其外徑r2 與容器主體112的內徑r1 相同。在設置於容器主體112中的內部空間Sin 的水平截面的形狀從圓形形狀改變成橢圓形或多邊形形狀的情況下，推進主體114的上端部分的水平截面的形狀可相應地改變為橢圓形或多邊形形狀。此外，雖然未說明，但推進主體114的上端部分的外部圓周表面可塗布或附著著洩漏保護物(leakage protector)，其經配置以防止”液晶L通過推進主體114而洩漏”。同時，由於推進主體114的下端部分直接連接到噴射器120，所以推進主體114的線性驅動的位移值Δx與噴射器120的線性驅動的位移值Δx相同。(稍後更詳細地描述每一線性驅動的位移值Δx。)
容器主體112的內徑r1 可經調整，使得液晶L的排放量依據推進主體114的線性驅動的位移值Δx而不同。舉例來說，當容器主體112的內徑r1 分別改變為約4.8mm、6.0mm及7.28mm時，雖然位移值Δx未改變，但液晶L的排放量可增加到約1.0cc、1.8cc及2.5cc。
經配置以排放容器110中容納的液晶L且將液晶L供應給噴嘴組件130的噴射器120設置於垂直板20的側表面上，且在容器110的縱向方向(z方向)上被向上及向下線性驅動，以便調整該推進主體114插入到容器110中的程度。換句話說，在噴射器120被向上線性驅動且該推進主體114較大程度地插入的情況下，容器主體112的內部空間Sin 減小，且容納於內部空間Sin 中的液晶L通過容器主體112的敞開的上端部分113a而排放。在此情況下，由於排放的液晶L與容器主體112的內部空間Sin 的減小量成比例，所以通過細微地調整噴射器120的位移值Δx，可精確地調整液晶L的排放量。
在當前實施例中，噴射器120包含：線性運動(linear motion，LM)導引件122，其與容器110的縱向方向(z方向)平行地設置於容器110的一側上；至少一個線性伺服馬達(linear servo motor)124，其設置於經配置以被線性驅動的LM導引件122上；線性編碼器(linear encoder)126，其在LM導引件122的設置方向(z方向)上設置於LM導引件122的一側上，且經配置以測量線性伺服馬達124的線性驅動的位移值Δx；及驅動動力供應器(driving power supplier)128，其經配置以將驅動動力供應給線性伺服馬達124。在當前實施例中，由於未使用被旋轉驅動的旋轉馬達及滾珠絲杠，所以不會導致反沖，且可防止線性伺服馬達124的驅動誤差。換句話說，推進主體114是與LM導引件122上的線性伺服馬達124的線性驅動的位移值Δx成比例地被線性驅動。因此，通過增加液晶L的排放速度，可增加晶體顯示器L滴落到基板10上的速度。(此處，液晶L的滴落速度是指每單位時間液晶L滴下的次數。)
線性編碼器126是經配置以測量線性伺服馬達124的線性驅動距離的感測器媒介(sensor medium)。在當前實施例中，當推進主體114通過容器主體112的敞開的下端部分113b插入時，線性編碼器126辨識該推進主體114的位置，以作為用於測量線性伺服馬達124的位移值Δx的參考位置x0 。(此處，可調整該參考位置x0 。)當線性伺服馬達124接收到驅動動力且被向上(在z方向上)線性驅動時，線性編碼器126辨識線性伺服馬達124在線性驅動之後的位置，以作為測量到的位置x1 。此外，計算測量到的位置x1 與參考位置x0 之間的距離(∣x1 -x0 ∣)，以作為線性伺服馬達124的線性驅動的位移值Δx。在當前實施例中，線性編碼器126可通過約0.1 μm來測量該位移值Δx。舉例來說，在使用具有約4.8mm的內徑r1 的容器110且線性伺服馬達124的位移值Δx由於線性驅動而變成約30 μm的情況下，從容器110排放約0.5mg的液晶L。
如上所述，通過依據線性伺服馬達124的位移值Δx來改變液晶L的排放量，可通過以下方式將預定量的液晶L滴落到基板10上：在液晶層形成於基板10上之前，基於線性編碼器126所辨識的位移值Δx來測量約十次到一百次液晶L的排放重量，且當液晶L的排放量的誤差裕量(margin)在約±0.2%以內時開始一種過程。當液晶L的排放重量超過誤差裕量時，對線性伺服馬達124及線性編碼器126進行校正以用於重新調整。
兩個或兩個以上線性伺服馬達(包含線性伺服馬達124及線性伺服馬達124')可設置於LM導引件122上，且由安裝板30集成(integrated)而形成。通過使用所述兩個或兩個以上線性伺服馬達，即使當兩個或兩個以上線性伺服馬達中的一者(例如，線性伺服馬達124)出現故障時，也可由兩個或兩個以上線性伺服馬達中的其餘線性伺服馬達中的一者(例如，線性伺服馬達124')排放預定量的液晶L。
線性伺服馬達124及推進主體114通過連接框架(connecting frame)40而彼此直接連接，且推進主體114與線性伺服馬達124的線性驅動的位移值Δx成比例地在容器主體112中被線性驅動。換句話說，通過控制線性伺服馬達124，可精確地控制該推進主體114的線性驅動的位置。
在垂直板20的側表面上，經配置以供應驅動動力來驅動線性伺服馬達124的驅動動力供應器128設置於LM導引件122的一側上。在當前實施例中，使用線性磁力作為用以驅動線性伺服馬達124的驅動動力。此處，線性磁力意味著在設置於LM導引件122上的線性伺服馬達124被向上及向下(在z方向上)線性驅動時無論線性伺服馬達124的位置如何改變，均在LM導引件122的縱向方向(z方向)上施加相同的磁力。
如上所述，當容納於容器110中的液晶L因噴射器120的驅動而排放時，液晶L通過連接到容器110的敞開的上端部分113a的材料排放管142而供應給噴嘴組件130。噴嘴組件130與垂直板20的下端部分耦合，且包含經配置以將所供應的液晶L向下滴落到單獨設置基板10上的噴嘴132。噴嘴132具有錐形(tapered)形狀，其中噴嘴132的內徑從上部向下部減小。可方便地更換與垂直板20耦合的噴嘴132，且可調整噴嘴的內徑。
通道開關閥140設置于材料排放管142的路徑上。下文將參照包含液化材料滴落單元100的液化材料滴落設備1000而更詳細地描述通道開關閥140。
下文中，將參照附圖詳細描述包含根據上述實施例的液化材料滴落單元的液化材料滴落設備。此處，將省略與上述液化材料滴落單元重複的描述。
參照圖1到圖5，根據示範性實施例的液化材料滴落設備1000包含：接收單元200，其經配置以接收基板10；至少一個液化材料滴落單元100，其經配置以將液晶L滴落到基板10上；移動單元300，其經配置以在水平方向(x方向或y方向)及在垂直方向(z方向)上移動該接收單元200及液化材料滴落單元100中的至少一者；及控制單元400，其經配置以用鏈接(link)方式控制該接收單元200、液化材料滴落單元100及移動單元300的驅動。具體來說，所述液化材料滴落單元100包含：容器110，其經配置以提供容納液晶L的內部空間Sin ；噴射器120，其經配置以在容器110的縱向方向(z方向)上被線性驅動，以通過與噴射器120的位移值Δx相對應地改變容器110的內部空間Sin 的面積而從容器110排放液晶L；及噴嘴組件130，其經配置以接收從容器110排放的液晶L，且將液晶L滴落到基板10上。
接收單元200包含台(stage)210，其經配置以在上表面上接收基板10。台210可具有對應於基板10的形狀的形狀。換句話說，在基板10具有當前實施例中所描述的四邊形形狀的情況下，台210的上表面具有四邊形形狀。雖然本文中未說明，但台210可具有例如靜電夾盤(electrostatic chuck)或真空固定裝置等接收媒介，其經配置以穩定地接收基板10。在使用真空固定裝置作為接收媒介的情況下，可在台210的上部部分中形成連接到真空泵(vacuum pump)的多個孔。
上面設置著液化材料滴落單元100的容器110、噴射器120及噴嘴組件130的垂直板20連接到基板10上方的移動單元300。移動單元300(其驅動受控制單元400的控制)可通過以下方式來調整液化材料滴落單元100的噴嘴組件130與基板10之間的距離：在通過例如馬達及軌道等媒介來固定的接收單元200上方在垂直方向(z方向)上移動液化材料滴落單元100；且可通過在水平方向(x方向或y方向)上移動液化材料滴落單元100而在基板10的前表面上形成液晶層。此外，在液化材料滴落單元100的位置固定的情況下，移動單元300可通過在垂直方向(z方向)上移動經配置以接收基板10的接收單元200來調整噴嘴組件130與基板10之間的距離，且可通過在水平方向(x方向y或方向)上移動該接收單元200而在基板10的前表面上形成液晶層。此外，該移動單元300可通過在水平方向(x方向或y方向)及垂直方向(z方向)上同時移動該接收單元200及液化材料滴落單元100而將液晶L順暢地滴落到基板10上。雖然本文中未描述，但該移動單元300可包含距離測量感測器，其經配置以通過光輻射來測量基板10與噴嘴組件130之間的距離，且由該距離測量感測器測量的距離被傳輸到控制單元400。
同時，可在液化材料滴落設備1000中使用多個液化材料滴落單元100，且所述多個液化材料滴落單元可經佈置，使得多個液化材料滴落單元100在基板10的寬度方向(N方向，y方向)或廣度方向(M方向，x方向)上在基板10上方移動。(參看圖5。)換句話說，在基板10具有大面積的情況下，可使用圖5中所述的多個液化材料滴落單元100，以便可在較短時期中形成液晶層。
在容納於容器110中且在基板10上形成液晶層的液晶L已用完且容器110的內部空間Sin 變空(empty)的情況下，當通過材料供應管144從連接到通道開關閥140的側面的材料供應器150供應液晶L時，可再次用液晶L來填充容器110的內部空間Sin 。在此情況下，通道開關閥140(其驅動受控制單元400的控制)阻斷內部的材料排放管142的路徑，且阻止液晶L洩漏出去到噴嘴組件130。(參看圖3(a)和圖3(b)，當容器110的內部空間Sin 填滿液晶L時，插入到容器主體112中的推進主體114下降。)當從材料供應器150完全供應液晶L時，通道開關閥140(其驅動受控制單元400的控制)阻斷材料供應管144的路徑，且重新打開材料排放管142的路徑。在當前實施例中，可如上所述自動且方便地用液晶L來填充液化材料滴落單元100。因此，即使當用在容器100中一次性填充的量的液晶L可能不會在基板10的前表面上形成液晶層(因為基板10的面積較大)時，也可快速填充液晶L，且當製造液晶顯示器時可提高生產效率。
雖然本文中未描述，但控制單元400可包含例如監視器等顯示裝置，以便通過例如數值等媒介來檢驗液化材料滴落設備1000的操作，且可包含例如鍵盤或小鍵盤(keypad)等輸入裝置，以便輸入命令並手動地控制該控制單元400。
如上所述，根據實施例的液化材料滴落單元及具有所述液化材料滴落單元的液化材料滴落設備可包含噴射器，其經配置以在容納液晶的容器的縱向方向上被線性驅動，以與線性驅動的位移值成比例地改變容器的內部空間，且從容器排放預定量的液晶。因此，由於可精確地控制從容器供應給噴嘴且滴落到基板上的液晶量，所以可防止因液晶滴落得不適當而導致的缺陷，且在製造液晶顯示器時可提高生產效率。此外，可使用噴射器的驅動動力而無需轉換成經配置以擴大或縮小容器的內部空間的驅動動力，原因在於容器的內部空間是直接鏈接到噴射器的線性驅動且由所述線性驅動來改變。因此，可從容器更快速地排放液晶，且可更快速地在基板上形成液晶層，其中液晶通過噴嘴而滴落的速度得以增加。換句話說，在製造液晶顯示器時可提高生產效率。
雖然在所述實施例中使用液晶作為液化材料，但液化材料不限於液晶，且可包含任何可滴下的液化材料。
根據實施例的液化材料滴落單元及具有所述液化材料滴落單元的液化材料滴落設備可包含噴射器，其經配置以在容納液化材料的容器的縱向方向上被線性驅動，以與線性驅動的位移值成比例地改變容器的內部空間，且從容器排放預定量的液化材料。因此，由於可精確地控制從容器供應給噴嘴且滴落到基板上的液化材料量，所以可防止因液化材料滴落得不適當而導致的缺陷，且在製造液晶顯示器時可提高生產效率。
此外，可使用噴射器的驅動動力而無需轉換成用於擴大或縮小容器的內部空間的驅動動力，原因在於容器的內部空間是直接鏈接到噴射器的線性驅動且由所述線性驅動來改變。因此，可從容器更快速地排放液化材料，且可更快速地在基板上形成液晶層，其中液晶通過噴嘴而滴落的速度得以增加。換句話說，在製造液晶顯示器時可提高生產效率。
雖然已參照特定實施例描述了液化材料滴落單元及具有所述液化材料滴落單元的液化材料滴落設備，但其不限於此。因此，所屬領域的技術人員將容易明白，在不偏離由所附申請專利範圍界定的本發明的精神和範圍的情況下，可對其進行各種修改和改變。
雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作些許之更動與潤飾，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
10．．．基板
20．．．垂直板
100．．．液化材料滴落單元
110．．．容器
112．．．容器主體
113a．．．上端部分
113b．．．下端部分
114．．．推進主體
120．．．噴射器
122．．．線性運動(LM)導引件
124、124'．．．線性伺服馬達
126．．．線性編碼器
128．．．驅動動力供應器
130．．．噴嘴組件
132．．．噴嘴
140．．．通道開關閥
142．．．材料排放管
144．．．材料供應管
150．．．材料供應器
200．．．接收單元
210．．．台
300．．．移動單元
400．．．控制單元
1000．．．液化材料滴落設備
L．．．液晶
Sin ．．．內部空間
圖1是說明根據示範性實施例的液化材料滴落單元的側視圖。
圖2(a)和圖2(b)是說明在排放液晶時圖1的單元的操作的視圖。
圖3(a)和圖3(b)是說明在填充液晶時圖1的單元的操作的視圖。
圖4是說明根據示範性實施例的液化材料滴落設備的示意圖。
圖5是說明根據另一示範性實施例的液化材料滴落設備的示意圖。
10．．．基板
20．．．垂直板
100．．．液化材料滴落單元
110．．．容器
112．．．容器主體
113a．．．上端部分
113b．．．下端部分
114．．．推進主體
120．．．噴射器
122．．．線性運動(LM)導引件
124、124'．．．線性伺服馬達
126．．．線性編碼器
128．．．驅動動力供應器
130．．．噴嘴組件
132．．．噴嘴
140．．．通道開關閥
142．．．材料排放管
144．．．材料供應管
150．．．材料供應器
L．．．液晶
Sin ．．．內部空間

Claims (7)

  1. 一種液化材料滴落單元，其包括：容器，其經配置以提供容納液化材料的內部空間；噴射器，其經配置以在所述容器的縱向方向上被線性驅動，以通過與所述噴射器的位移值相對應地改變所述內部空間的面積而從所述容器排放所述液化材料；以及噴嘴組件，其經配置以接收從所述容器排放的所述液化材料，且將所述液化材料滴落到基板上，其中所述噴射器包括：LM(線性馬達)導引件，其與所述容器的所述縱向方向平行地設置於所述容器的一側上；至少一個線性伺服馬達，其設置於將在所述容器的所述縱向方向上被線性驅動的所述LM導引件上；線性編碼器，其在所述LM導引件的縱向方向上設置於所述LM導引件的一側上，且經配置以測量所述線性伺服馬達的線性驅動的位移值；以及驅動動力供應器，其經配置以將驅動動力供應給所述線性伺服馬達。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的液化材料滴落單元，其中材料排放管設置於所述容器與所述噴嘴組件之間，且所述材料排放管的路徑包括通道開關閥。
  3. 如申請專利範圍第1項所述的液化材料滴落單元，其中所述驅動力供應器供應線性磁力以作為所述驅動動力。
  4. 如申請專利範圍第1項所述的液化材料滴落單元，其中所述容器包括：容器主體，其經配置以提供容納所述液化材料的所述內部空間，且包括上端部分及下端部分，所述上端部分及下端部分是敞開的，使得所述上端部分及下端部分連接到所述內部空間；以及推進主體，其通過所述容器主體的敞開的所述下端部分而插入，且連接到所述噴射器，使得所述推進主體鏈接到所述噴射器的所述線性驅動，且被線性驅動以用於擴大或縮小所述內部空間。
  5. 一種液化材料滴落設備，其包括：接收單元，其經配置以接收基板；至少一個液化材料滴落單元，其經配置以將液化材料滴落到所述基板上；移動單元，其經配置以水平地並垂直地移動所述接收單元及所述液化材料滴落單元中的至少一者；以及控制單元，其經配置以控制所述接收單元、所述液化材料滴落單元及所述移動單元的驅動，其特徵在於所述液化材料滴落單元包括：容器，其經配置以提供容納所述液化材料的內部空間；噴射器，其經配置以在所述容器的縱向方向上被線性驅動，以通過與所述噴射器的位移值相對應地改變所述內部空間的面積而從所述容器排放所述液化材料；以及噴嘴組件，其經配置以接收從所述容器排放的所述液 化材料，且將所述液化材料滴落到所述基板上，其中所述噴射器包括：LM導引件，其與所述容器的所述縱向方向平行地設置於所述容器的一側上；至少一個線性伺服馬達，其設置於將在所述容器的所述縱向方向上被線性驅動的所述LM導引件上；線性編碼器，其在所述LM導引件的縱向方向上設置於所述LM導引件的一側上，且經配置以測量所述線性伺服馬達的線性驅動的位移值；以及驅動動力供應器，其經配置以將驅動動力供應給所述線性伺服馬達。
  6. 如申請專利範圍第5項所述的液化材料滴落設備，其中包括通道開關閥的材料排放管將所述容器連接到所述噴嘴組件，且材料供應器通過材料供應管而連接到所述通道開關閥的一側。
  7. 如申請專利範圍第5項所述的液化材料滴落設備，其中所述至少一個液化材料滴落單元經佈置以使得所述單元在所述基板的寬度方向或廣度方向上在所述基板上方移動。
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