TWI409568B - 微致動器元件、微致動器及鏡頭模組 - Google Patents

Description

微致動器元件、微致動器及鏡頭模組

本發明涉及一種微致動器元件，尤其涉及一種用於鏡頭模組之微致動器元件。

隨著光學成像技術之發展，鏡頭模組於各種成像裝置如數碼相機、攝像機中得到廣泛應用(請參見Capturing images with digital still cameras,Micro,IEEE Volume：18,issue：6,Nov.－Dec.1998 Page(s)：14－19)。整合有鏡頭模組之行動電話、筆記本等可攜式電子裝置，更是得到眾多消費者青睞。

鏡頭模組之對焦及變焦功能通常是採用致動器來實現之。於電子元件微型化之潮流下，現有致動器也於日益減小尺寸。構成致動器之各元件中，彈片扮演了一個重要之角色。於自動對焦時，彈片提供需要之支撐與位移。彈片之穩定性與高剛性係不可或缺，現有之彈片多以銅或矽製成，這些材料製成之彈片缺乏單一方向上運動之可靠性。特別對於矽彈簧結構，需要使用微機電製程，藉由蝕刻之方式，得到高深寬比之矽彈簧結構，該製程技術難度較大，而且所得之矽彈簧結構仍存於強度不足之問題。

有鑒於此，有必要提供一種具有高彈性、高剛性、穩定性好之微致動器元件，可替代目前使用金屬或矽彈簧結構。

一種微致動器元件，其包括框架、至少二個彈性體與可動部，該至少二個彈性體一端分別與可動部相對兩側相連，另一端分別與該框架相連，從而將該可動部懸掛於該框架，該彈性體為奈米碳管束。

一種微致動器，其包括底座、上述微致動器元件與驅動元件，該微致動器元件固定於底座，該驅動元件包括線圈與磁鐵，該磁鐵固定於微致動器組件之可動部，該綠圈相對於底座固定且與磁鐵相對設置。

一種鏡頭模組，其包括：一底座；一鏡筒，其安裝於該底座；一對焦透鏡組，其收容於該鏡筒；一影像感測器，其設於該對焦透鏡組之像側；一微致動器，與對焦透鏡組連接，用於驅動該對焦透鏡組移動，該微致動器為上述之微致動器。

本發明中之微致動器元件，具有高強度、高韌性之特點，其可提高致動器之穩定性，從而提高鏡頭模組自動對焦之性能。

下面將結合附圖對本發明作進一步之詳細說明。

請參閱圖1及圖2，本發明第一實施例提供微致動器元件100，其包括框架110、至少二個彈性體120與可動部130。該可動部130藉由彈性體120連接到框架110上。

該框架110為一矩形框體，具有四個頂點111，當然框架110也可為其他形狀，如圓形、構圓形、規則多邊形等結構。該框架110之材質為能夠生長奈米碳管之基體，例如，其可為矽、鎳等。

該至少二個彈性體120結構與尺寸相同，本實施例中，彈性體120由框架110之四個頂點111向矩形之中心延伸並與可動部130連接，從而該可動部130相對兩側分別藉由該至少二個彈性體120懸掛於該框架110。本實施例中，彈性體120為由大量奈米碳管形成之奈米碳管束。該奈米碳管既可為多壁奈米碳管也可為單壁奈米碳管。奈米碳管束之直徑10nm以上，其長度為100 μm－2cm。奈米碳管束中複數奈米碳管相互平行地排列。因此彈性體120之延伸方向可由奈米碳管之延伸方向定義，即彈性體120之延伸方向為奈米碳管之長度方向。

該可動部130為一片狀結構，其具有相對之第一面131與第二面132，可動部130設置於框架110之中心並與框架110共面，本實施例中，每個彈性體120之兩端分別與可動部130及框架110之一個頂點111相連。該可動部130之材質為可供奈米碳管可生長之基體，例如矽、鎳等。

彈性體120也可應用以下方式連接於框架110與可動部130之間，例如，其中二個彈性體120一端連接於可動部130，另一端連接於框架110一邊上，且該二個彈性體120相互平行，另二個彈性體120與它們相對可動部130對稱設置。或者每一彈性體120分別連接於框架110之一 邊與可動部130。當然也可用其他方式將彈性體120連接於可動部130與框架110之間。

請參閱圖3，本發明第二實施例提供微致動器元件200包括框架210，二個彈性體220與可動部230。微致動器200之結構與微致動器組件100基本相同，不同之處在於：微致動器元件200具有兩個彈性體220，每一個彈性體220包括第一彈性部222與第二彈性部223，它們分別從框架210之頂點211向可動部230延伸並交叉以形成連接部221，並自連接部221各自延伸出第一連接端224與第二連接端225，第一連接端224及第二連接端225分別連接於可動部230。

框架210相對之兩側上分別設置有第一開口212，每個第一開口212位於一個相應之彈性體220之第一彈性部222與第二彈性部223之間並與連接部221相對。可動部230上相對兩側分別設置有第二開口231，每個第二開口231分別與相應之連接部221及第一開口212相對。由於可動部230可於框架210之平面內彈性運動，當可動部230之位移較大時，可動部230與框架210相互貼近，連接部221處之彈性體220之連接部221可收容於第一開口212與第二開口231中。

以上實施例中之微致動器元件100、200中之彈性體120、220既可直接生長，也可先製備彈性體120、220後再進行組裝。以微致動器元件100為例，其可採用如下方法製造：提供基底，即框架110與可動部130；將催化劑分別 沉積於框架110與可動部130相對表面上，催化劑可是鐵、鈷或鎳等；於500攝氏度至750攝氏度下以化學氣相沉積法於框架110與可動部130之間生長奈米碳管陣列。優選地，奈米碳管之延伸方向與彈性體120之延伸方向相同，於此條件下，彈性體具有強之剛性與韌性。以上實施例中彈性體120之延伸方向不同，故首先將奈米碳管沿著其中一種彈性體120延伸方向生長，即框架110之一條對角線之方向生長之奈米碳管，然後藉由蝕刻之方式，去除多餘之部分，形成需要之彈性體120之形狀。於框架110之第二條對角線之方向生長奈米碳管，再蝕刻形成需要之彈性體120形狀，最終得到以上實施例一中之微致動器組件100。當然，也可先製備奈米碳管陣列，然後從奈米碳管陣列中拉取奈米碳管束，然後採用加熱或鐳射之方法將奈米碳管束兩端分別融接於框架110與可動部130上，從而得到微致動器組件100。

請參閱圖4，以下以第一實施例之微致動器元件100為例，說明一種微致動器300，其包括底座310、微致動器元件100與驅動元件330，該驅動元件330包括線圈331與磁鐵332。

該底座310具有一平面311，框架110與線圈座333固定於平面311。框架110與平面311相互垂直。線圈331繞設於綠圈座333，磁鐵332固定於可動部130。設置332磁鐵之方向，使其磁場與底座310平行。線圈331之繞向與平面311平行，當線圈331通以電流時，產生垂直於底座 310之洛侖茲力。

當有電流通過線圈331時，線圈331與磁鐵332於洛侖茲力之驅動下之間產生一相對運動。藉由線圈之電流之大小變化會引起磁鐵332產生之磁通量之變化，進而會引起線圈331與磁鐵332之間之電磁力之變化。通常，線圈331與磁鐵332之相對位移量與通過線圈331之電流之大小成正比，即，電流越大，相對位移量也越大。改變通過線圈331之電流之方向發生變化，那麼，發生位移之方向也會發生變化。由於磁鐵332固定於可動部130，因此磁鐵332產生位移帶動可動部130垂直於底座之運動。可動部130與彈性體120相連，當可動部130發生位移時，彈性體120會產生與可動部130運動方向相反之彈力，因此，可藉由改變電流之大小，控制產生之洛侖茲力與彈性體120彈性回復力之平衡，使得可動部固定於某一位置。

請參閱圖5，下面以微致動器元件300，說明一種鏡頭模組400，其包括對焦透鏡組410、固持件420、鏡筒430、影像感測器440、致動器300及底座460。對焦透鏡組410、固持件420均容納於鏡筒430內，影像感測器440固定於底座460內。被拍攝物體藉由對焦透鏡組410，成像於影像感測器440上。

該對焦透鏡組410包括第一透鏡412，第二透鏡414及第三透鏡416；第一透鏡412、第二透鏡414與第三透鏡416可全為塑膠透鏡；也可部分為塑膠透鏡，部分為玻璃透鏡。優選之，該三個透鏡均為非球面透鏡，每個透鏡之相 對之透鏡表面均設置有抗反射層(Anti－reflective coating)411。該對焦透鏡組410中透鏡之數目不限於本實施例中之三個，其可為兩個，四個或更多。每兩個透鏡之間設置有間隔體413，其可防止相鄰兩個透鏡之間因接觸或碰撞而導致元件損傷。

該固持件420為圓筒形狀，第一透鏡412，第二透鏡414及第三透鏡416收容於固持件420內，並經由固持件420固持於一起。固持件420可藉由點膠之方式將透鏡固定。

該鏡筒430位於對焦透鏡組410物側一端可設置一孔431，位於對焦透鏡組410像側一端之外圓周表面設置有外螺紋。該固持件420及對焦透鏡組410收容於鏡筒430內。優選之，該鏡筒430還收容有位於對焦透鏡組410像側之濾光片432，如紅外截止濾波片。

底座460上設置有一個開口461，該開口461設置有內螺紋。該內螺紋與設置於鏡筒430外螺紋相配合。該鏡筒430一端可藉由其外螺紋與該內螺紋配合而旋入至底座460之開口461內。

該影像感測器440設於對焦透鏡組410之像側以用於接收被攝物體經由對焦透鏡組410之光學成像，並將該光學成像轉換成相應之電子影像訊號作為輸出訊號。該影像感測器440可選用電荷耦合器件(CCD)感測器或互補金屬氧化物半導體(CMOS)感測器。

本實施例中，該致動器300還進一步包括連接臂301，該連接臂301與可動部130之第二表面132相連。致動器 300藉由連接臂301與對焦透鏡組410實現機械連接。連接臂301穿過設置於鏡筒430側壁之凹槽(也可為導向槽)與固持件420相連，沿如圖中箭頭所示方向線性移動，連接臂301可使得固持件420沿鏡筒軸向方向作線性運動，鏡筒430可保持不動。固持件420之線性運動可傳遞給對焦透鏡組410，進而可實現鏡頭模組400之自動對焦。可理解，本實施例中之致動器300中彈性元件為微致動器元件，具有高強度、高韌性之特點，其可提高致動器之穩定性，從而提高鏡頭模組自動對焦之性能。

綜上所述，本發明確已符合發明專利之要件，遂依法提出專利申請。惟，以上所述者僅為本發明之較佳實施方式，自不能以此限制本案之申請專利範圍。舉凡熟悉本案技藝之人士援依本發明之精神所作之等效修飾或變化，皆應涵蓋於以下申請專利範圍內。

微致動器元件‧‧‧100、200

框架‧‧‧110、210

頂點‧‧‧111、211

彈性體‧‧‧120、220

可動部‧‧‧130、230

第一面‧‧‧131

第二面‧‧‧132

第一開口‧‧‧212

連接部‧‧‧221

第一彈性部‧‧‧222

第二彈性部‧‧‧223

第一連接端‧‧‧224

第二連接端‧‧‧225

第二開口‧‧‧231

致動器‧‧‧300

連接臂‧‧‧301

底座‧‧‧310、460

平面‧‧‧311

驅動元件‧‧‧330

線圈‧‧‧331

磁鐵‧‧‧332

線圈座‧‧‧333

鏡頭模組‧‧‧400

對焦透鏡組‧‧‧410

抗反射層‧‧‧411

第一透鏡‧‧‧412

間隔體‧‧‧413

第二透鏡‧‧‧414

第三透鏡‧‧‧416

固持件‧‧‧420

鏡筒‧‧‧430

孔‧‧‧431

濾光片‧‧‧432

影像感測器‧‧‧440

開口‧‧‧461

圖1係本發明第一實施例提供之微致動器元件之示意圖。

圖2係圖1沿II－II方向之剖視圖。

圖3係本發明第二實施例提供之微致動器元件之示意圖。

圖4係本發明第三實施例提供之致動器示意圖。

圖5係本發明第四實施例提供之鏡頭模組之示意圖。

微致動器元件‧‧‧100

框架‧‧‧110

彈性體‧‧‧120

可動部‧‧‧130

頂點‧‧‧111

Claims (10)

1. 一種微致動器元件，其包括框架、至少二個彈性體與可動部，該至少二個彈性體一端分別與可動部相對兩側相連，另一端分別與該框架相連，從而將該可動部懸掛於該框架，其改進在於，該彈性體為奈米碳管束。
2. 如申請專利範圍第1項所述之微致動器元件，其中，該奈米碳管束中之奈米碳管相互平行地排列，彈性體之延伸方向為奈米碳管之長度方向。
3. 如申請專利範圍第1項所述之微致動器元件，其中，該框架與可動部之材質為矽或鎳。
4. 如申請專利範圍第1項所述之微致動器元件，其中，該彈性體數量為四個，該框架呈矩形，該四個彈性體之一端分別連接於該框架之四頂點，另一端連接於該可動部。
5. 如申請專利範圍第4項所述之微致動器元件，其中，其中二個彈性體位於可動部相對兩側，位於可動部同側二個彈性體相互交叉並各自延伸出連接端，該連接端固定於該可動部。
6. 一種微致動器，其包括底座、驅動元件及如申請專利範圍第1項所述之微致動器元件，該微致動器元件固定於底座，該驅動元件包括線圈與磁鐵，該磁鐵固定於微致動器組件之可動部，該線圈相對於底座固定且與磁鐵相對設置。
7. 如申請專利範圍第6項所述之微致動器，其中，該奈米碳管束中之奈米碳管相互平行地排列，彈性體之延伸方向為奈米碳管之長度方向。
8. 如申請專利範圍第6項所述之微致動器，其中，該線圈之繞向與底座平行，磁鐵之磁極方向與底座平行。
9. 如申請專利範圍第6項所述之微致動器，其中，該線圈纏繞於線圈座上，該線圈座固定於底座。
10. 一種鏡頭模組，其包括：一底座；一鏡筒，其安裝於項所述之底座；一對焦透鏡組，其收容於項所述之鏡筒；一影像感測器，其設於項所述之對焦透鏡組之像側；及一微致動器，與對焦透鏡組連接，用於驅動項該對焦透鏡組移動，其中，該微致動器為申請專利範圍第6至9任一項所述之微致動器。