TWI406118B - 動態設定控制規則之機台授權系統 - Google Patents

Description

動態設定控制規則之機台授權系統

本發明係有關於一種具內控程式控制裝置，特別係有關於一種適用於半導體工業的動態設定控制規則之機台授權系統。

半導體製程與設備是相當複雜與精密，隨著製程技術的進步，產品品質不僅取決於製程程式，機台狀況的好壞與否也是其中關鍵的一環。機台授權(machine authorization)便是以人為方式管控機台的生產能力，以改善產線，並以特定的管控條件(control rule)設定達成特定機台生產特定產品的目的。然習知機台的配方檔案係針對機台之製造流程與製造條件而設定固定的控制規則給予單一產品生產使用，故缺乏彈性，無法針對產品特性加入或修改新的控制規則。

如第1圖所示，習知機台的配方檔案係針對第一機台A50與第一機台B50而設定有配方檔案一13A；針對第二機台A60與第二機台B60而設定有配方檔案二13B。該配方檔案一13A或配方檔案二13B僅使用一種固定規則、配方名稱來控制機台授權。配方檔案具有量多且複雜化的設定流程，而且須花費許多時間去管理。然而，一般半導體代工廠(semiconductor foundry)所生產的產品型號種類相當多樣化，例如各式記憶體晶片、通訊晶片或繪圖晶片等，加上所面對的客戶群的要求亦廣泛又繁雜，使得生產機台在生產線上進行作業時必須要常常切換，以符合各種不同的產品型號，一旦當不同生產機台導入生產線時，則必須要發展新的配方檔案以提供給機台使用，故以往固定規則的配方檔案已不敷使用。

本發明之主要目的係在於提供一種動態設定控制規則之機台授權系統，定義出主要的控制條件並儲存為規則基本元素的形式，以利使用者依據各產品特性設定機台專屬的控制規則。

本發明之次一目的係在於提供一種動態設定控制規則之機台授權系統，使用動態新增控管條件的方式來協助產線，在管理上針對各產品特性設定專屬的控制規則，並指定給欲控管的機台，達到高彈性與管理簡單之功效。

本發明的目的及解決其技術問題是採用以下技術方案來實現的。本發明揭示一種動態設定控制規則之機台授權系統，包含一配方管理系統、一網路圖形用戶界面、一第一機台控制界面以及一第二機台控制界面。該配方管理系統係包含一可傳送配方檔案之應用伺服器與一儲放有多種控制條件之資料庫，其中該些控制條件係包含裝置特性、客戶端要求、封裝型態與端子腳數，並儲存為規則基本元素的形式。該網路圖形用戶界面用以遠距離動態設定一第一模組化控制規則與一第二模組化控制規則並存放於該資料庫，其中該第一模組化控制規則與該第二模組化控制規則係為兩種或兩種以上規則基本元素的不同組合，並且該應用伺服器依據該第一模組化控制規則與該第二模組化控制規則選取對應之配方檔案。當符合第一模組化控制規則時由該應用伺服器授權該第一機台控制界面控制複數個第一機台並下傳對應之配方檔案。當符合第二模組化控制規則時由該應用伺服器授權該第二機台控制界面控制複數個第二機台並下傳對應之配方檔案。

本發明的目的及解決其技術問題還可採用以下技術措施進一步實現。

在前述的動態設定控制規則之機台授權系統中，該資料庫更可儲存有機台資訊、配方檔案資訊、符合的機台控制條件與配方檔案之歷史資訊。

在前述的動態設定控制規則之機台授權系統中，該配方檔案係可為機台指令之編程，其參數對應到內部工作流程。

在前述的動態設定控制規則之機台授權系統中，該第一機台控制界面與第二機台控制界面至對應第一機台與第二機台之間的連接模式係可為半導體機台通訊標準。

由以上技術方案可以看出，本發明之動態設定控制規則之機台授權系統，具有以下優點與功效：

一、可藉由網路圖形用戶界面與使控制規則模組化作為其中之一技術手段，定義出主要的控制條件並儲存為規則基本元素的形式，以利使用者依據各產品特性設定機台專屬的控制規則。

二、可藉由網路圖形用戶界面與使控制規則模組化作為其中之一技術手段，使用動態新增控管條件的方式來協助產線，在管理上針對各產品特性設定專屬的控制規則，並指定給欲控管的機台，達到高彈性與管理簡單之功效。

以下將配合所附圖示詳細說明本發明之實施例，然應注意的是，該些圖示均為簡化之示意圖，僅以示意方法來說明本發明之基本架構或實施方法，故僅顯示與本案有關之元件與組合關係，圖中所顯示之元件並非以實際實施之數目、形狀、尺寸做等比例繪製，某些尺寸比例與其他相關尺寸比例或已誇張或是簡化處理，以提供更清楚的描述。實際實施之數目、形狀及尺寸比例為一種選置性之設計，詳細之元件佈局可能更為複雜。

依據本發明之一具體實施例，一種動態設定控制規則之機台授權系統舉例說明於第2圖之架構示意圖。

該機台授權系統100主要包含一配方管理系統110、一網路圖形用戶界面120、一第一機台控制界面130以及一第二機台控制界面140。該配方管理系統(Recipe Management System,RMS)100係包含一可傳送配方檔案113之應用伺服器111與一儲放有多種控制條件之資料庫112。其中，如第4圖所示，該些控制條件係包含裝置特性(device)、客戶端要求(customer)、封裝型態(package tape)與端子腳數(pin count)，並儲存為規則基本元素的形式。請再參閱第2圖所示，該配方管理系統110係統一管控生產程式以及該些控制條件並連接至該資料庫112，經由該些控制條件判斷各種產品是否能在被指定的機台150、160生產，並控制適當的配方檔案113以應用於該些機台150、160。

該網路圖形用戶界面(Web Graphical User Interface,Web GUI)120用以遠距離動態設定一第一模組化控制規則114與一第二模組化控制規則115並存放於該資料庫112，其中，如第4圖所示，該第一模組化控制規則114與該第二模組化控制規則115係為兩種或兩種以上規則基本元素的不同組合，並且，如第2圖所示，該應用伺服器111依據該第一模組化控制規則114與該第二模組化控制規則115選取對應之配方檔案113。在本實施例中，該配方檔案113係可為機台指令之編程，其參數對應到內部工作流程。詳細而言，該應用伺服器111係可負責管理該配方檔案113的相關事件。

詳細而言，如第4圖所示，該第一模組化控制規則114係可依照裝置特性與客戶端要求所組合而成之控制規則。該第二模組化控制規則115係可依照封裝型態與端子腳數所組合而成之控制規則。在本實例中，該機台授權系統可另包含有一第三模組化控制規則，其係為三種規則基本元素的組合，係依照客戶端要求、封裝型態與端子腳數所組合而成之控制規則。其中，該第一模組化控制規則114可適用於第一機台A與第一機台B。該第二模組化控制規則115可適用於第二機台A。該第三模組化控制規則可適用於第一機台B。在本實施例中，該第一機台B可適用於兩種模組化控制規則(即第一模組化控制規則114與第三模組化控制規則)，也就是說在不同時間下，依不同的生產條件，該第一機台B能夠接受兩種模組化控制規則。

一般而言，生產機台必須依照配方檔案113內之控制規則，來進行運轉。如第2圖所示，相關主管人員可以在網路圖形用戶界面120遠距離動態新增或修改該些控制規則，並進行核准。接著，儲存該些控制規則至該資料庫112後再經由工程人員在該第一機台控制界面130與該第二機台控制界面140將更新後的控制規則傳送至第一機台150與第二機台160，藉以重新設定機台中的各種製程參數。然後，第一機台150與第二機台160便可依照新設定的控制規則，來進行運轉。

請參閱第2與3圖所示，當符合第一模組化控制規則114時，由該應用伺服器111授權該第一機台控制界面130控制複數個第一機台150並下傳對應之配方檔案113。當符合第二模組化控制規則115時，由該應用伺服器111授權該第二機台控制界面140控制複數個第二機台160並下傳對應之配方檔案113。

如第3圖所示，模組化控制規則114與115依基本元素組合的不同而可分為符合規則A之配方檔案113A與符合規則B之配方檔案113B，其中第一機台A150與第一機台B150係可適用於該符合規則A之配方檔案113A，另第二機台A160與第二機台B160係可適用於該符合規則B之配方檔案113B。在管理上，本發明可針對不同的產品特性或種類選取適用之控制條件，組合成多種任意變化之模組化控制規則(例如：第一模組化控制規則114、第二模組化控制規則115)，並指定給欲控管的機台。

如第2圖所示，該第一機台控制界面130與該第二機台控制界面140係可透過連接埠，例如：與滑鼠或數據機連接的序列埠(serial port)、區域網路的連接埠(RJ-45)，而與第一機台150、第二機台160進行連線控管，並下傳適當之配方檔案113。

在本實施例中，如第4圖所示，該第一機台控制界面130與第二機台控制界面至對應第一機台150與第二機台之間的連接模式係可為半導體機台通訊標準(Semiconductor Equipment Communication Standard，SECS,SECS)或是通用設備模型(Generic Equipment Model,GEM)，即是將第一機台控制界面130的訊息轉換為具有統一訊息格式的半導體機台通訊標準，再傳遞至第一機台150。此外，該網路圖形用戶界面120係可利用開放式資料庫連接(Open Database Connectivity,ODBC)將設定好之控制規則存放於該資料庫112，而控制規則可透過訊息系統，例如MSMQ(MicroSoft Message Queue)，傳送至該第一機台控制界面130。

具體而言，該資料庫112係可更儲存有機台資訊、配方檔案資訊、符合的機台控制條件與配方檔案之歷史資訊。其中，所有的配方檔案之歷史資訊均須保存於該資料庫112內，藉以做為證據、追蹤和審核(auditing)之用。

如第5圖所示，該網路圖形用戶界面120係可用以動態設定控制規則而存放於該資料庫112內，並由該應用伺服器111授權該第一機台控制界面130，以進行控制第一機台150。

詳細而言，如第6圖所示，該網路圖形用戶界面120之操作步驟係可包含控制條件、控制規則定義以及設定控制條件數值。再請參閱第7圖所示，可依照機台之製造流程與製造條件制定出複數個控制條件並儲存為規則基本元素的形式，以利使用者依據各產品特性設定機台專屬的控制規則。在一實施例中，該些控制條件係可命名為如第7圖中之各參數編號，如Ball_size、Bond force、Bond mode、customer、device、pin count…等等。更具體地，完成命名之控制條件係能夠進一步修改、複製或刪除，以便於人員進行重新設定。較佳地，如第7圖所示，該網路圖形用戶界面係可為視窗化，以提供清晰易懂的操作介面，使得使用者更能輕鬆上手。接著，如第8圖所示，針對控制條件進一步地加以定義使其成為控制規則。每一控制條件係按照一定的規則排列，組合成一組控制規則，用以代表一製程，並且可依產品特性在控制條件中選取適用之控制條件。在一較佳實施例中，使用者可以選擇精靈模式(wizard)用以幫助使用者一步一步定義所有可能的控制規則。最後，如第9圖所示，進一步設定控制條件數值，例如管制上限與管制下限等統計值，而完成一控制規則。

詳細而言，透過控制規則可與第一機台150與第二機台160之間做通訊，來執行命令第一機台150與第二機台160動作之指令，以期望達到自動化生產，而減少人為的疏失，使得所製造出的產品能具有更高的品質。

因此，本發明使用動態新增控管條件的方式來協助產線，在管理上針對各產品特性設定專屬的控制規則。藉由將各個基本的控制條件存入資料庫，再透過網路圖形用戶界面依據各產品特性設定專屬的控制規則，並指定給欲控管的機台，達到高彈性與管理簡單之功效。

以上所述，僅是本發明的較佳實施例而已，並非對本發明作任何形式上的限制，雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然而並非用以限定本發明，任何熟悉本項技術者，在不脫離本發明之技術範圍內，所作的任何簡單修改、等效性變化與修飾，均仍屬於本發明的技術範圍內。

13A．．．配方檔案一

13B．．．配方檔案二

50．．．第一機台

60．．．第二機台

100．．．機台授權系統

110．．．配方管理系統

111．．．應用伺服器

112．．．資料庫

113．．．配方檔案

113A．．．符合規則A之配方檔案

113B．．．符合規則B之配方檔案

114．．．第一模組化控制規則

115．．．第二模組化控制規則

116．．．控制條件

120．．．網路圖形用戶界面

130．．．第一機台控制界面

140．．．第二機台控制界面

150．．．第一機台

160．．．第二機台

第1圖：為一種習知配方檔案適用於機台之架構示意圖。

第2圖：依據本發明之一具體實施例的一種動態設定控制規則之機台授權系統之架構示意圖。

第3圖：依據本發明之一具體實施例的配方檔案適用於機台之架構示意圖。

第4圖：依據本發明之一具體實施例的機台授權系統之作動示意圖。

第5圖：依據本發明之一具體實施例的機台授權系統之關係示意圖。

第6圖：依據本發明之一具體實施例的網路圖形用戶界面之操作流程示意圖。

第7圖：依據本發明之一具體實施例的網路圖形用戶界面中之控制條件之操作示意圖。

第8圖：依據本發明之一具體實施例的網路圖形用戶界面中之控制規則定義之操作示意圖。

第9圖：依據本發明之一具體實施例的網路圖形用戶界面中之設定控制條件數值之操作示意圖。

100．．．機台授權系統

110．．．配方管理系統

111．．．應用伺服器

112．．．資料庫

113．．．配方檔案

120．．．網路圖形用戶界面

130．．．第一機台控制界面

140．．．第二機台控制界面

150．．．第一機台

160．．．第二機台

Claims (4)

1. 一種動態設定控制規則之機台授權系統，包含：一配方管理系統(Recipe Management System,RMS)，係包含一可傳送配方檔案之應用伺服器與一儲放有多種控制條件之資料庫，其中該些控制條件係包含裝置特性、客戶端要求、封裝型態與端子腳數，並儲存為規則基本元素的形式；一網路圖形用戶界面，用以遠距離動態設定一第一模組化控制規則與一第二模組化控制規則並存放於該資料庫，其中該第一模組化控制規則與該第二模組化控制規則係為兩種或兩種以上規則基本元素的不同組合，並且該應用伺服器依據該第一模組化控制規則與該第二模組化控制規則選取對應之配方檔案；一第一機台控制界面，當符合第一模組化控制規則時由該應用伺服器授權該第一機台控制界面控制複數個第一機台並下傳對應之配方檔案；以及一第二機台控制界面，當符合第二模組化控制規則時由該應用伺服器授權該第二機台控制界面控制複數個第二機台並下傳對應之配方檔案。
2. 根據申請專利範圍第1項之動態設定控制規則之機台授權系統，其中該資料庫更儲存有機台資訊、配方檔案資訊、符合的機台控制條件與配方檔案之歷史資訊。
3. 根據申請專利範圍第1項之動態設定控制規則之機台授權系統，其中該配方檔案係為機台指令之編程，其參數對應到內部工作流程。
4. 根據申請專利範圍第1項之動態設定控制規則之機台授權系統，其中該第一機台控制界面與第二機台控制界面至對應第一機台與第二機台之間的連接模式係為半導體機台通訊標準。