TWI301119B - Substrate transportation apparatus - Google Patents

Description

1301119 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係與氣浮式之玻璃基板傳送裝置有關，特別是指一 種向上托起該基板以及向別推移專動作，均係以非接觸方式進 行之基板傳送裝置者。 【先前技術】

按在當今大尺寸液晶顯示器已廣為市場所接受之情況下 ，全球各大面板供應大廠，無不急於將其基板尺寸朝七代規格 (1870mm X 2200mm)發展。 雖然製造七代玻璃基板之技術，以及以該玻璃基板進行陣 ，製程（army)時，所必經之乾式蝕刻（Dry趾吐丨呢）、乾式剝 離（Dry StHPper)、化學氣相沈積（CVD、pE_CVD)等相關嗖備 成’但是，如何使社財基板在各製程設叙腔 體間轉換位移時，可以減少微塵附著、基板刮傷或破裂 ，則是目前尚待改善之課題。 兩本”技衍中例如美國公開第2005/0011606號專利所揭 :==!爽持並移動基板’其缺點主要咖： 致破列ί/ 大尺寸絲時，級其上造成騎甚或導 持基;::;ΐ:則係藉由高_-氣浮載㈣^ 托起該基板之損；然而’該裝置11具有μ氣向上 基板前進，須借助機械手臂以夾持方式推送該 形。 仍難免會有造成刮傷該基板或使其斷裂之情 5 1301119 【發明内容】 本叙明之目的即在於提供一種基板傳送裝置，其具有以氣 々IL向上牦起並向前推移基板，俾大為減少與其他元件接觸之功 能者。 —本务明之另一目的在於提供一種基板傳送裝置，其具有導 引懸浮狀態之基板依既定方向前進之功能者。 •為達成前述之目的，本發明揭露一種基板傳送裝置，包含 有至J 一載台，具有預定之面積與厚度；複數個浮起單元， 設於賴台之預定部位，並各具有朝向上方之—吹氣口 ；以及 至二第-移載單元’設於該載台之預定部位，並各具有與各 該吹氣Π方向夾預定角度之―第—開口。藉此使其配合一氣源 使用時，可⑽浮起單元向上托起該基板，再㈣第—移載單 兀以吹出氣體之方式推移該基板前進，俾減少該基板受到破壞 之機率並提昇其製程良率。 為使本發明上述結構、特徵與功效能更明顯易懂，兹舉若 干較佳實施例，並配合所關式，做詳細說明如下。 【實施方式】 請參閱第1至3圖，其中揭示本發明之基板傳送 配合-氣源組12與-真空腔13使用，以輸送—基板“ 狀態；該基板傳送裝置10主要係由一載台14，以及設^ 。14上之複數個浮起單元15與複數個第一移載 同b所共 該載台14’具有預定之面積與厚度，並可設為 空M 1Q如A。 〜〒於该真 1301119 各該個浮起單元15，分別呈貫通該載台14上、下端面之 穿孔狀，其鄰接於該載台14上端面之一端，形成朝向上方且 開口方向垂直於地面之一吹氣口 50。 各該第一移載單元16，分別呈貫通該載台14上、下端面 之穿孔狀，其鄰接於該載台14上端面之一端，形成朝向上方 之一第一開口 60，各該第一開口 60之延伸方向與各該吹氣口 50之延伸方向間，共同形成一約為3〇。之夾角。於實際之運用 上，該夾角可設為介於20。至80。之間。 操作時，係將該基板Π置於該載台14上方，並以適當之 管道（圖中未示）連接該氣源組12與各該浮起單元15以及第一 移載單元16。其中經由各該吹氣口 50朝該基板n底部喷出之 向上氣流’可供該基板n克服重力現象，而懸浮於該載台14 上方；而經由各該第-開口 6G朝向斜上方嘴出之氣流，除可 用以輔助向上支持該基板n之外，特別是該氣流其平行於地 面之分力，將可用以推移該基板11朝向該載台14之延伸方向 前進。 藉由上述各構件之配合，使傳送該基板u前進之過程中 ，由於無需利用到任何機械式之夾持裝置，因而可 基板π被刮傷或易於破裂之風險。 -人 本實施例中為穩定維持各該基板n向上浮起之高度，因 此，忒氣源組12係設為包含有一空氣壓縮機2〇，一緩彳^ & 與該空氣屋縮機20連接，-流㈣測器24連接於該緩= 3載台u之間；藉此以控制各該浮起單元15輸出適量墨縮 二氣’俾穩定地支持該基板11向上浮起。 1301119 另外’本實施例中為使各該基板11可以準確地沿一前進 路徑移動或間歇地暫停，因此，進一步設有複數個擋止件17 與複數個導引件18。 各該擋止件17以每兩個一組以及間隔適當距離之方式設 於該基板11之驗路釘方，並具錄其表面設有—層緩衝 材料且可以上、下伸縮之—擋止單元70，且該擋止單元70間 "°上凸伸日^，其上端將延伸至該基板11之前進路徑，俾 限制位於該载台14上之多數個基板U，僅可以間隔適當距離 之方式依序前進。 各該導料18分別依序設於該載台14之左右兩側，並且 絲面林-層緩衝材料之—導引單元80，其可沿垂直於地面 t軸心方向自由轉動，藉此以維持懸浮於該載台14上 >。其雨進路錄序義之各該餘u不致於 能，言=閱二4載圖^係揭露本發明所述該載台14之另一型

心八中揭㈣載台14可供該緩衝室2 設 並與各該浮起單元15 ^’ 14也可供一加献器(圖中夫干二戰:疋16連接；同理，該載台 …、圖中未不）直接設置於1 该基板11之過程中，同時對苴加埶 一 迗 々 熱便於進行各項製程。 弟5圖所揭本發明之另—實施例， 各該第-移鮮元16之-第如側邊依序設有 62彻氣源組12連接，並二：’該第-管狀元件 該基板丨1驗路叙方式設於 ^平行於地面且垂直於 載單元16為貫通' Ό 14之一端，各該第一移 為貝通知—讀科犯内、外壁之穿孔，其上^ 8 1301119 各λ，開D 6Q之方向係設為朝上、朝前延伸。 ㈣係揭不本發明之再—實施例，其除保留前述第5圖 /η、更進—步設有複數個第二移載單元19，各該第二 ί 為依序設於—第二管狀元件92周邊之穿孔，並各 1二 11前進路徑夾適當該之-第二開口 90,而且 二二”開°6Q與第二開口9G係以上下對稱之方式分別設 之下方與上方，因而將分職該基板11之前進方 Hi為一宜角，於本實施例中，各該爽角係以介於―60。至+60 tt本發明以前述之較佳實施例揭露如上，然其並非用以 眼定本毛明的實施範圍，任何孰習 明之精神和申請軸7“5_技#者’在不脫離本發 明專利範圍所涵^ ’因"此本:Γ乍的均等變化及修飾，皆為本發 所附之申請專利；圍所界專嶋 1301119 【圖式簡單說明】 第1圖係本發明較佳實施例（一）使用狀態之配置圖。 第2圖係本發明較佳實施例（一）之立體示意圖。 第3圖係本發明較佳實施例（一）之剖視圖。 第4圖係本發明較佳實施例（二）之剖視圖。 第5圖係本發明較佳實施例（三）之剖視圖。 第6圖係本發明較佳實施例（四）之剖視圖。 【主要元件符號說明】 基板傳送裝置 10 第一移載單元 16 基板 11 第一開口 60 氣源組 12 第一管狀元件 62 空氣壓縮機 20 擋止件 17 缓衝室 22 擋止單元 70 流量偵測器 24 導引件 18 真空腔 13 導引單元 80 載台 14 第二移載單元 19 浮起單元 15 第二開口 90 吹氣口 50 第二管狀元件 92 10

Claims (1)

1301119 十、申請專利範圍： 1· 一種基板傳送裝置，包含有： 至少一載台，具有預定之面積與厚度； 、 複數個浮起單元，設於該載台之預定部位，並各具有朝 向上方之一吹氣口；以及 * 複數個第一移載單元，設於該載台之預定部位，並各具 有與各該吹氣口方向夾預定角度之一第一開口。 • 2·依據巾請專利範圍第1項所述之基板傳送裝置，其中各該第 私載單元為分別貫通該載台上、下端面之穿孔。 3·取據申請專利範圍第1項所述之基板傳送裝置，其中各該浮 起單元為分別貫通該載台上、下端面之穿孔。 4·依據申請專利範圍第1項所述之基板傳送裝置，其中各該第 一開口與吹氣口間之夾角，係介於20。至80。之間。 5·依據申請專利範圍第1項所述之基板傳送裝置，其中該載台 鲁 之預疋部位設有至少一加熱器。 6·依據申請專利範圍第1項所述之基板傳送裝置，其中各該載 台與第一移載單元係共同設於一真空腔之中。 7·依據申請專利範圍第6項所述之基板傳送骏置，其進一步包 含有至少一擋止件，設於該基板行進路徑之預定部位，並具 有可在第一、第二位置間伸縮之一擋止單元。 8·依據申請專利範圍第6項所述之基板傳送裝置，其進一步包 含複數個導引件，設於該基板行進路徑之兩侧，且分別具有 11 1301119 可任意迴轉之一導引單元。 9·依據申請專利範圍第丨項所述之基板傳送裝置，其中爷載么 下端設有與各該吹氣口下端相連通之一緩衝室。 10·—種基板傳送裝置，包含有： 至少一載台，具有預定之面積與厚度； 複數個浮起單元，設於該載台之預定部位，並各具有 朝向上方之一吹氣口；以及 複數個第一移載單元，與該載台相隔預定距離，並各 具有與各該吹氣口方向夾預定角度之一第一開口。 11·依據申请專利範圍第1Q項所述之基板傳送裝置，其中各节 浮起單元為分別貫通該載台上、下端面之穿孔。 12. 依據申請專利範圍第iq項所述之基板傳送裝置，其中各， 苐一開口與吹氣口間之夾角，係介於2〇。至8〇。之間。 13. 依據申請專利範圍第1〇項所述之基板傳送裝置，其中該載 台之預定部位設有至少一加熱器。 14·依據申請專利範圍第1〇項所述之基板傳送裝置，其中各兮 載台與第一移載單元係共同設於一真空腔之中。 15·依據申請專利範圍第⑺項所述之基板傳送裝置，其進一步 包含有至少一擋止件，設於該基板行進路徑之預定部位， 並具有可在第一、第二位置間伸縮之一擋止單元。 16·依據申請專利範圍第1〇項所述之基板傳送裝置，其進一步 12 1301119 包含複數個導引件，設於該基板行進路徑之兩側，且分別 具有可任意迴轉之一導引單元。 π·依據申請專利範圍第10項所述之基板傳送裝置，其中該載 台下端設有與各該吹氣口下端相連通之一緩衝室。 18·依據申請專利範圍第1〇項所述之基板傳送裝置，進一步包 含有至少一第二移載單元，與該載台相隔預定距離且位於 該第一移載單元上方，其具有與各該吹氣口方向夾預定角 度之一第二開口，並可供一基板由各該第一、第二移載單 70之間沿一預定之行進路徑移動。 认依據申請專利範圍第18項所述之基板傳送震置，其中各該 第一開口方向與第二開口方向，係設為上、下對稱於該基 板之移動方向。 20·依據申料利朗第18顿述之基板傳送裝置，其中各該 第開口與第二開口方向與該基板移動方向之間界定有一 介於±60。間之夾角。 21.依據申請專利範UJ第18额述之基板傳送裝置，其進一步 包含有-第一管狀元件，各該第一移載單位為分別貫通其 内、外緣之穿孔。 22·依據巾請專利範圍第18項所述之基板傳送裝置，其進一步 匕3有一第二管狀元件，各該第二移載單位為分別貫通其 内、外緣之穿孔。 13 1301119 23.依據申請專利範圍第18項所述之基板傳送裝置，其中各該 載台與第一、第二移載單元係共同設於一真空腔之中。

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