TWD188697S - 水平式加熱模組(三) - Google Patents
水平式加熱模組(三)Info
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Abstract
【物品用途】;本設計之物品為用於設備前端模組(EFEM,equipment front-end module)的水平式加熱模組,其用以加熱待輸入至該設備前端模組內之氣流。
Description
本設計之物品為用於設備前端模組(EFEM,equipment front-end module)的水平式加熱模組,其用以加熱待輸入至該設備前端模組內之氣流。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW106303139F TWD188697S (zh) | 2017-06-09 | 2017-06-09 | 水平式加熱模組(三) |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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TW106303139F TWD188697S (zh) | 2017-06-09 | 2017-06-09 | 水平式加熱模組(三) |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TWD188697S true TWD188697S (zh) | 2018-02-21 |
Family
ID=89070463
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW106303139F TWD188697S (zh) | 2017-06-09 | 2017-06-09 | 水平式加熱模組(三) |
Country Status (1)
Country | Link |
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TW (1) | TWD188697S (zh) |
-
2017
- 2017-06-09 TW TW106303139F patent/TWD188697S/zh unknown
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