TWD188697S - 水平式加熱模組(三) - Google Patents

水平式加熱模組(三)

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TWD188697S
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heating module
horizontal heating
equipment front
end module
module
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TW106303139F
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Inventor
江岳霖
白欣然
李英峰
黃鈴喬
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香岳實業股份有限公司
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Abstract

【物品用途】;本設計之物品為用於設備前端模組(EFEM,equipment front-end module)的水平式加熱模組,其用以加熱待輸入至該設備前端模組內之氣流。

Description

水平式加熱模組(三)
本設計之物品為用於設備前端模組(EFEM,equipment front-end module)的水平式加熱模組,其用以加熱待輸入至該設備前端模組內之氣流。
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