TWD167923S - 電鍍裝置用電氣接點 - Google Patents

電鍍裝置用電氣接點

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TWD167923S
TWD167923S TW103300312D02F TW103300312D02F TWD167923S TW D167923 S TWD167923 S TW D167923S TW 103300312D02 F TW103300312D02 F TW 103300312D02F TW 103300312D02 F TW103300312D02 F TW 103300312D02F TW D167923 S TWD167923 S TW D167923S
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TW103300312D02F
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Inventor
Masaaki Kimura
Mitsutoshi Yahagi
Toshikazu Yajima
Original Assignee
荏原製作所股份有限公司
Ebara Corp
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Abstract

【物品用途】;本設計的物品是電鍍裝置用電氣接點，例如：如「使用狀態參考圖」所示，是一種將前端部抵接於保持在基板電鍍裝置之支撐面的晶圓之周端部來使用的構件，將晶圓浸泡在電鍍液中加以通電，藉此施行電鍍。;【設計說明】;本衍生設計與原設計之外觀差異在於：如各圖所示，其上方的溝槽間距等設計略有所不同，因此本案與原設計案之差異些微，不影響原設計與衍生設計之近似。;左側視圖與右側視圖相對稱，左側視圖省略。;在「部分設計範圍之放大立體圖」及「部分設計範圍之放大俯視圖」中，呈現在輪廓部分的水平、垂直及傾斜狀的細線，皆為用來表現立體表面之形狀的陰影線。
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