TW542976B

TW542976B - System and method for real-time library generation of grating profiles

Info

Publication number: TW542976B
Application number: TW090129477A
Authority: TW
Inventors: Nickhil Jakatdar; Michael Laughery
Original assignee: Timbre Tech Inc
Priority date: 2000-11-28
Filing date: 2001-11-28
Publication date: 2003-07-21
Also published as: JP2002243925A; US6768983B1

Description

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【發明領域】本發明係關於光柵尺寸之測量可變更組態之數據庫的產生 ^ 【相關技術】使用特別關於光栅輪廓之半導體裝置及光纖連線之一微米之寬度構成。隨著特徵米特欲構造之測量也日益困難尺寸是否位於可接受之範圍内造專特.徵結構之側壁成為錐拔切’光柵尺寸或週期性結構的傳統上係將樣品切開並以裝置檢測。此種方法速度緩慢上方所見之量測數據。角度散寬’但其流程需要設定多個相的偵測器，以量測散射光之衍設定，此種方法並不易實作。分光反射儀與分光橢面儀測量反射信號之光譜。近來的其中反射光之光譜係針對光柵量。此流程耗費時間且昂貴，之輪廊數據庫及相關之反射光們需要一種較為簡便且不昂貴光譜資料的方法。傳輪器的特徵構造係以小於構造的尺寸縮小，此類次微。然而，為判斷特徵構造之 ’以及特定的製造流程是否形、垂鼻形、T形頂或底知識是不可或缺的。掃目苗式電子顯微鏡或相似的、昂貴且僅提供自特徵構造射法已用於量測光柵之線對於入射光束而言不同角度射。再次地，導因於所需之係用於照射光線於光柵上並作法基本上使用經驗法則，中特徵構造之已知寬度測即使針對一有限之光柵尺寸之光譜資料亦·然。因此，我之產生輪廓數據庫及相關之此外，如果此類之數據庫係針對大範圍之輪廓而建

542976 五、發明說明（2) 立，對於於即時之環益。然而，對於即時下存取及使用數據庫將有很大的助廓數據庫及光谈資^工作所需之搜尋目的，一個龐大的輪言，用戶可能i需ΐ ΐ效能不盡理想。對於短程之製造而合。因此，我們雷ί大的主數據庫當中的一個小的子集有良好反應之光柵仏:種提供對於用戶長程及短程的需求九拇輪廓數據庫的方法及系統。【發明概要】本.發明係光譜資料之方尺寸之一參數應於不同解像譜資料。一實施例統，其包含一存執行時間數媒體之電腦、數據庫之執行器以提示識別主數據庫擷取此外，本含比較光栅光譜資料的範圍計算之輪廓光 $一種產生可變更組態之光栅輪廓數據庫及法及系統。該方法包含―指定一光栅之複數個組，以及編譯一光柵輪廓之主數據庫，其相度下複數個尺寸之參數組組合與經計算之光執行時間數算之光譜資接至主數據並用以產生腦引動執行所選擇之參間數據庫。譜資料·之方庫中經計算執行時間數設定旗標、據庫之系料、一儲庫及儲存執行時間時間編譯數組、自庫與經計體、一連腦中操作其中該電組、確認生執行時鑑光柵光時間數據資料落於内時為其為一用以產生一輪廓之輪廓之主數據據庫之儲存媒以及一可於電時間編譯器，所選擇之參數輪廓、以及產發明包含一評譜資料與執行 '當光栅光譜譜資料之範圍法，其包之光柵光據庫中經當光柵光

第7頁 542976 五、發明說明（3) 譜資料落於執圍外時為其設光譜資料最相選擇之輪廓事本發明之編譯器之系統發狀況編譯之時間數據庫之一電腦.、以及觸蔡：值組與該測經計算之流況，自動引動庫。本發明同方法，其包含據庫之系統、庫，以回報用行時間數據定旗標、選近於光柵光件。另一實施例。該系統包起始執行時替代執行時一可於電腦組起始觸發程觸發值符執行時間編時包含一提由一用戶及流程、及程戶之酬金。庫中經計算擇執行時間譜資料之輪為一當符合含一主數據間數據庫、間數據庫、中操作並用狀況之比較合該組起始譯器以編譯之輪廓光Ί晋資料之範數據庫中其經計算之廓事件、以及記錄所某一組狀況時引動一庫、一以一組起始觸一用以取代起始執行一執行時間編譯器、以比較經計算之流程器’其中該比較器偵觸發狀況之要求的狀替代執行時間數據供產生光柵輪廓數據庫之服務的一賣方訂約，由賣方提供產生數序之存取權，或產生並傳送數據【較佳實施例之詳細說明】圖1為一架構圖，例示於本發明之一實施例中，光柵特徵構造之關鍵尺寸（C D，c r i t i c a 1 d i m e n s i ο η )。一光柵中之特徵構造由其橫截面觀察具有一光栅頂端CD 2、一光柵底部CD 10、一光柵厚度6以及一底層厚度12。其他尺寸為彎曲點厚度8及彎曲點高度丨4。彎曲點4係為特徵構造

第8頁 542976 五、發明說明（4) 之侧壁中傾斜度改變的位置。彎曲點八〜其二Ϊίΐ柵厚度6之比例。某些應用可能包含、寺政構把之尺寸，例如τ形頂、 ::凹狀側壁與凸狀侧壁之大小以及侧壁與底層厚度底之交圖2Α為一架構圖，例示於本發明栅輪廓之主數據庫之編譯動作。參數輪入 A〆，一光入一組包含最小值、最大值、及染拋，哀置1 6係用以輸數。於-選擇性之音柵尺寸的解像度之參二_於.選擇！生之貫施例中，參數組可由盆入，並指定為編譯執行時之一組參數/、 1 ^ 解像度係指參數大小變更為增量。舉例而言，光柵Tf砂關2 更呵或更低的值時的毫微乎Z 而關鍵尺寸可具有一最小值120 度階值係為針對一特定之解/像度1毫被水。解像並使用下列之方程解像度’其光柵尺寸之事件數，解像度階值（D ) = Γ f屏丄7士、 + 1 〈〔最大值—最小值）/解像度）其中D關連於一光柵之尺寸。於上述範例中，弁迦百 61。解像度階值之數目^=鍵尺寸之解像度階值為可於電腦18中=:= 算數據庫之大小。譯主數據庫，並將之儲存^态24使用特定之參數組以編可選擇性地產生於顯示装置：出裝置22。-主數據庫顯示多部飼服器所構成之。電腦18可為〆部電腦或由门服15組。電腦18可與參數輸入裝置

$ 9頁 542976 五、發明說明（5) 1 砰I同設ί，或存於分散式之遠端。輸出裝置22可兔碟機、一數位影音光碟機、一磁碟機、一了為一光端儲存單元。兹帶機、或一遠

主數據庫包含一矩陣，其中橫 A 度下之參數大小的事件的輪廓、結合《變：：：異之解像其它參數、與對應之經計算之光譜資料。光詳：：度下的表光栅反射光經數位化測量的資料。經 "係指代由解決一光栅反射光的精確數學模型及:一二二=資料係數範圍.而取得。此類數學模型之一係於/999年4疋$合之參州大—學柏克萊分校Xinhui Niu之博士▲文「用於深卢吹^ 米平版印刷術之光學度量衡整合系統」中敘述，並=此處列入參考。實際的光譜資料可藉由使用分光光學度量衡裝置獲得。分光光學度量衡裝置的實例包含分光橢面儀及分光反射儀。之解像度下之大小係將每述實例中’數據庫經編譯之主數據庫之大小為該數據庫編譯與即時使用時之一考量所在。舉例而言，表格1所例示之參數組將產生一總共13, 177, 728個輪廓大小之主數據庫，代表於變異 & ^ .列於表格中之參數-解像度的組合。數據庫一解像度之解像度階值相乘計算而得，於上迷夏w 丫 7双傳，干之大小專於（1 6 * 81 * 31 * 4 * 41 * 9 )。以表1之參數組編譯之主數據庫的頭三筆及末三筆輪廓為：第10頁 542976 五、發明說明（6) 光柵頂端光柵底部光柵厚度彎曲點高彎曲點之底層厚度光譜資料 CD CD 度百分比光柵寬度 120 160 220 0.6 140 2.3 Spectrai 120 160 220 0.6 140 2·5 Spectra〗 120 160 220 〇-6 141 ’ 2.3 Spectraa 器組數據數據尺寸例如器可電腦於指數組位於中，媒體於大約每一輪廓1· 5秒之速度，具128個處理器之，需耗時7天的中央處理器時間以產生並編譯表} * 庫。王於本發明之一實施例中，編譯一光柵輪庫之基本步驟的流程圖。一開始時 . 主終端機或個人電腦等輸入裝置輸入胃利用案的方式指定。既存槽案可^ 之祂案或電腦可存取之一遠端檔案傳廷至定之參數組編譯光柵輪廓之主、#器基經過校正’以確保最小值、最指定之參針對應用所建立的範圍内。舉寸之解像肩尺寸必須以毫微米表示。接著二於實施例 13 0。數據庫儲存於儲肩之，施例中

圖3 Α為一架構圖，例示於本發

8(8(8( 1X II IX ο ο ο 2 2 2 ο ο ο 5 5 5 2 2 2 0·0·0· 7 8 8 1·*·1X | | 5 3 5

Spectram Spectran2 Spectrana 542976 五、發明說明（7) 輪廓之執行時間數據庫之編譯動作。系 ^ 2A。參數輸入裝置38係用以輸入一參數組，、、、且悲近似於圖 36產生執行時間數據庫32。於選擇性之以自主數據庫可由其他輸入裝置產生，並指定為編譯動作==，參數組組。可於執行時間電腦3 〇中運作之執行期订時之參數參數組以確保遵循應用校正規則，並產生扁"睪器4 0杈正 32，以及選擇性地產生執行時間數據庫 K間：據庫間數據庫32可儲存於例如光碟、數位影音光執行時帶苎遠.端儲存單元等儲存媒體。電腦3〇可與‘數二=f 38共同設置，或存於參數輸入裝置38兮經又广、屬通訊線路存取之分散式的遠端。、&，、、揭路或專 _圖3B為於本發明之一實施例中，編譯一光柵於府夕勒行時間數據庫的基本步驟的流程圖。— ^

時間數據庫的參數組2〇〇。表2 A田& 1夺，私定執行庫之參數組的範例：於一實表施用執行時間數據例如終端機或個人電腦等輸入;U;可：藉由利用時間編譯器可取得之既存檔案的方式指定。既；二:U 藉由執行校正應用而、確認2存之：遠端檔案。參數組據庫中之相同尺寸範圍内最小值及最大值位於主數像度不低於（即較佳=解;f組同時也經校正以確保解度，且該解像度為主數據ft數據庫中所使用之解像 3為-用以編譯執行時二所使用之解像度之倍數。表、曰〗數據庫之參數組於確認解像度時 542976 五、發明說明（8) 息的範例。接著，執行時間數據庫基正二爹数組進行編譯22 0。光譜資:*構圖’ W不使用執行時間數據庫評鑑光柵一實施例…分光光學度量衡裝置5。提供光柵 atuca! (PAs/pr〇filer 執行時門1^/61"6060。輪靡產生器應用飼服器60存取庫58，以比較數據庫之事件與來自於分光光于又置衡裝置5 〇之光譜資料。例外視需要.產生。尤曰貝卄料檔案54或例外顯示56可以呼ΓΛΓΛ發明之一實施例中，使用執行時間數據庫先柵輪廓資料之過程的流程圖。譜資料3 0 〇。所收隼之警祺i6 # 无收集九栅之先声量衡^斗來自於即時運作之分光光學 ί生考^田/或含有此類資料之檔案。光譜資料係由輪廓取光：fi11所接收310。輪廓產生器應用祠服器存行時間數據庫32°，並基於應用準則判斷二否位於執行時間數據庫中經計算之光譜資 ::二。如果光柵光譜資料位於執行時間數據庫中經计鼻之光譜資料範圍外，則將光柵光譜資料設定旗標 3j(^。反之，如果光栅光譜資料位於執行時間數據庫中經計异之光譜資料範圍内，則將光栅光譜資料設定旗標 340 ’並選擇具有最相近於所檢查之光柵光譜資料的經异之光譜資料的輪廓事件35 0。該最接近之數據庫光譜資料可將光柵光譜資料及數據庫中經計算之光譜資料之間的錯誤最少化。現存數個最佳化程序可將錯誤最少化，二如

第13頁 542976 於此處列入參考之敘述於1 9 86年劍橋大學期刊1〇 9節

Flannery、TeulkolskyAVetterUngi「數值方法」的模擬試煉法。產生適切結果之錯誤矩陣為和方差對數錯誤，而最佳化程序將光柵光譜資料及數據庫光譜資料之間的錯誤矩陣減到最少。、舉例而言，導因於流程偏移，此流程將為其光譜資料位於執行時間數據庫之範圍外的光栅設定旗標。相反地， ^ ^執仃時間數據庫之範圍内的光栅可視應用之選擇而定為其設.定旗標。 ^疋〜圖6為一架構圖，例示於本發明之一實施例中，一替 Ϊ間數據庫的自動編譯動作。資料輸入裝置38’用二U ϊ始觸發楷案76之觸發處理器80所處理之資程；i柵底；二某個次數之生產執行期間之後，流尺寸改變之平均值大於0·5時，起始觸發4田案包3指不需要卷处μ 中· 而要替代執行時間數據庫84等資料，其 (D )=(數據庫流程平均值（d + (數據庫尺寸範圍（D ) /2 流程中改變之平均值 )-實際流程平均值（d )) ) 其中數據庫流程平均值據庫最小值（D ) ) ;

實際流程平均值（小值（D ) ) /2 ; D =(數據庫最大值（D ) +數 (實際最大值（D) +實際最

542976 五、發明說明（10) 數據庫尺寸範圍最小值（D ))；而D為光柵尺寸。分光光學度量衡料予輪廓產生器應用自起始執行時間數據光學度量衡裝置50之輪廓事件。視實作時立即傳.送自起始執行光尺寸資料予比較候某一段時間或一預觸發狀況。比較器8 2 發檔案76，以及來自批次資料尺寸。如果間編譯器4 〇以產生一產生用以於下一次自觸發檔案78。執行時 36、來自於比較器82 執行時間數據庫84及 < i自動編譯週期成中，輪廓產生器應用置。 (D )=(數據皐最大值（D )-數據庫裝置50收集光柵光譜資料並傳送此資伺服器60。輪廓產生器應用伺服器60 庫58’選擇具有最相近於來自於分光光柵光譜資料之經計算之光譜資料的之選擇，輪廓產生器應用伺服器60可時間數據庫58’所選擇之輪廓事件的器8 2，或累積光柵尺寸資料並直到等先確定數目的生產週期完成或遭遇一處理由觸發處理|§80所產生之起始觸於輪廓產生器應用伺服器6 〇之即時'或遇到觸發狀況，比較器82引動執行時替代執行時間數據庫84。比較器82亦動編譯週期當作起始觸發檔案之替代間編譯器40使用作為輸入之主數據庫之資料及起始參數組88，以產生替代替代參數組89。替代參數組89則於下為起始參數組。於-選擇性之實施例伺服器60及電腦86可為一單一電腦裝

542976 五、發明說明（π) 代執行時間數據庫之自動編譯動作、用戶基於應用一或多個引動自動編譯時必需符合之觸發狀況。這個觸發狀 :之起始’’且口首先被指定4 〇〇。纟次接收光柵光譜資料，自於起始執行時間數據庫，i具有最相近於光柵 = 3 = ::之光譜資料的輪廓事件410。當應用準則要求元成求值動作時，求取起始觸發狀況值4 20。舉例而吕，應=準則可能於一特定數目之生產執行期 2時間間隔後1求求取起始觸發狀/ 1 /狀況拿來與起始觸發狀況值相比較 / ’如^狀況符合，則產生一替代觸發檔案與一替代執 2間參數組440。替代執行時間數據庫基於替代執行時間參數組而編譯45 0。最後替代觸發檔案設定為起始觸發檔案，而替代參數組則設定為起始參數組46〇。舉例而言’-執行時間數據庫以具有最小值18〇毫微未及最大值2 00耄微米之光柵底部關鍵尺寸編譯；因此，此執行時間數據庫具有一底層關鍵尺寸製程平均值丨9〇毫微米’即（1 8 0 + 2 0 0 )/ 2。針對此應用所輸入的觸發狀況之起始組合為於任何時候當光柵底部關鍵尺寸之製程平均值變動超過0. 5時’編譯替代執行時間數據庫。於生產執行期間超過20 00片晶圓後，由於製程之流程偏移，比較器82偵測到光柵底部關鍵尺寸經計算之實際製程平均值由 1 90毫微米改變為1 83毫微米。如以下之計算所示，光栅底部關鍵尺寸之製程平均值變動〇·7毫微米：製程平均值變動（關鍵尺寸）=Mg) +

第16頁 542976 五、發明說明（12) ( 200 - 1 80 ) /2 ] =0. 7 由於底層關鍵尺寸之製程平均值的觸發狀況之0.5 ’故比較器82將引動執行為.考5於 :用起始參數組88，並產生一具有最小值1?3:二二大值193毫微米之光柵底部關鍵尺寸的替代來數Π 著執行時間編譯器4 0將使用替代參數細及數庫接 ==產生替代執行時間數據庫8“比較；= 產士一具有183毫微米之製程平均值的替者將 ^.另外：们5。〇片晶圓之生產執行期間後案:器再 -人偵測到光柵底部關鍵尺寸之製程平均值的變動，口求取起始觸發狀況值及編譯替代執行時間數據庫的流私。表4為針對由光柵底部關鍵尺寸製程平均值的變動超過〇·5時，所觸發之執行時間數據庫自動編譯所產生之代參數組的範例。 & 、圖8為例示一光柵輪靡數據庫產生器的架構圖。一印求装置92傳送一光栅輪廓數據庫之請求，予可於電腦98 中運作之數據庫產生器94。數據庫產生器94產生數據庫，將數據庫儲存於輸出裝置96，並傳送一回應予請求裝置巧求裝置92及輸出裝置96可設置於與電腦98分離之遠端。請求裝置92及輸出裝置96與電腦98之間的連線可為網路，例如網際網路等。電腦98可為一電腦或伺服器組。請求裝置92及輸出裝置96可設置於同一設備單元内。

542976 五、發明說明（13) 圖9為一流程圖，例示於本發曰一光栅輪廓數據庫產生器產生一主月之一實施例中，利用間數據庫及一替代執行時間數據數據庫、一起始執行時型之光柵數據庫的請求5 00。接著。…首先輪入產生某一類據庫的類型5 1 0。若該請求為針對」疋該請求所輸入之數數據庫520 ;若該請求為針對一執=主數據庫，則編譯主執行時間數據庫53 0 ;否則，若該間數據庫，則編譯時間數據庫，則編譯替代執行時X門^ %為針對一替代執行功編譯.之憒況下，經編譯之數據‘係。於所有成一#對網路處理而產生之檔案5 5 〇，ρ :子於一儲存媒體或庫予用戶端或由用戶端下載1、、傳送所儲存之數據圖1 0為於本發明之一實施何中，數據庫之服務的商業方法的流程圖。二二產生，柵輪廓由賣方提供一與光柵輪廓數據庫相關戶及買方訂約 Ϊ欠路服務、套裝服務或產品服咖, 具人，針對網路服務而言，由賣方為.該用

==網際網路之網路提供數據庫產生服務62 0?V 予，賣方提供套裝之軟體、程序及/或硬體針對產品服務而言’賣方取得用戶所欲之，據庫類型的資訊’並提供所產生之數據庫產物予用戶。用戶可為一具有許多代理商、委託商或授權商的組以。於所有情況下，賣方可藉由所提供之服務獲得酬金〇 5 0 〇

第18頁 542976 五、發明說明（14) 顯干圖1二顯二Γ/Λ輪廊數據庫之資料庫元件，而圖iib 顯不一光柵輪廓數據庫之顯示元件。本發明具有許多優點。主數據康冰圍、解像度與形狀之光栅輪廓與相關光譜資料生，而不需耗時費力的觀察測量。執齡播么允許特定製造窗口所需之特定幾何據庫之產生的生產。執行時間齡μ潘从本，圖案與形狀之光拇輪廊 =可速搜尋。，量的改，，並取得即時“以之前述本發明之實施例係供作範例及敘述之用。而非意欲將本發明限制於所敘述之明確形式。特別是吾人可預^ 於此處所敘述之本發明的功能性實作可以硬體、軟體、勃體及/或其他可資利用之功能性元件或基礎元件等效實作。又依照上述解說可能存在其他變化及實施例，因此本發明之範圍係受限於下列之申請專利範圍，而非此處之詳細說明。 -

IHI 第19頁 542976 五、發明說明（15) 表1 編譯主數據庫用之參數組參數最小值，毫微米（nm) 大值，毫微米（nm) 涵度毫微米（nm) 光柵頂端關鍵尺寸 120 180 1 光柵底部關鍵尺寸 160 200 0.5 光柵厚度 220 250 1 彎曲點高度百分比 0.6 0.9 0.1 彎曲點之光柵寬度 140 180 1 底層厚度 2.3 2.5 0.2 表2 編譯執行時間數據庫用之參數組參數最小值，毫微米（nm) 最大值，毫微米（nm) 解像度毫微米（nm) 光柵頂端關鍵尺寸 140 160 1 光柵底部關鍵尺寸 180 200 0.5 光柵厚度 230 240 1 彎曲點高度百分比1 0.8 0.9 0.1 彎曲點之光栅寬度 150 170 1 底層厚度 2.3 2.5 ΝΑ 11111 第20頁 542976 五、發明說明（16) 表3 顯示校正錯誤之編譯執行時間數據庫用之參數組

參數最小值，毫微米（nm) 最大值，毫微米（nm) 解像度毫微米（nm) 光栅頂端關鍵尺寸 140 160. 1 光栅底部關鍵尺寸 180 200 超過0. 25解像度光栅厚度 230 240 1 彎曲點高度百分比 0.8 0.9 0/25解像度並非正確的倍數彎曲點之光柵寬度 150 170 1 底層厚度 2.3 2.5 NA 表4 由光柵底部關鍵尺寸之製程平均值的改變超過觸發狀況所觸發之執行時間數據庫自動編譯用之替代參數組參數最小值，毫微米（nm) 最大值，毫微米（nm) 解像度毫微米（nm) 光柵頂端關鍵尺寸 140 160 1 光栅底部關鍵尺寸 173 193 0.5 光栅厚度 230 240 1 彎曲點高度百分比 0.8 0.9 0.1 彎曲點之光柵寬度 150 170 1 底層厚度 2.3 2.5 ΝΑ 画 i 第21頁 ❿ 542976 圖式簡單說明圖1為一架構圖，例示於本發特徵構造之尺寸。之一實施例中，光挪圖2 A為一架構圖，例示於本發柵輪廓之主數據庫之編譯動作。之—實施例中，〜走編譯一光栅輪靡之圖2B為於本發明之一實施例中，、主數據庫的基本步驟的流程圖。圖3 A為一架構圖，例示於栅輪廓之執杆眭„叙祕* 發月之一貫施例中，一夫 1心轨仃時間數據庫之編譯動作。 —圖3 B為於本發明之一實施執行時間翁播；tI 土 ’ 一編譯一光柵輸廓之丁间数據庫的基本步驟的流程圖。圖4為_架構圖，例示於本執行時門奴# 士货月之一實施例中，使用子間數據庫以評鑑光柵光譜資料。圖5為於本發明之一實施例中，士 a #嫉庫以評槐1 使用執行時間數攥 f t光柵光譜資料之過程的流程圖。罔6為一架構圖’例不於本發明 ^ 德代執杆睡《月之一實施例中，〆替

代轨订時間數據庫的自動編譯動作。只T 圖7為一流程圖，例示於本發明夕 _ 竑代執行唸叫a & + ^ %明之一實施例中，〆替寻間數據庫之自動編言睪動作。圖8為一架構圖，例示於本柵輪廓數據庫產生器。發月之-貫施例中之4 一光發日^ _ “射，刺用輪廓數據庫產生器產生一主數數蘇犀及〜替代執行時間數據庫。早轨灯f 圖u為於本發明之一實施例中，一提供一產生光柵輪 542976 圖式簡單說明廓數據庫之服務之商業方法的流程圖。圖11A顯示於本發明之一實施例中，一光柵輪廓數據庫之資料庫元件。圖11 B顯示於本發明之一實施例中，一光柵輪廓數據庫之顯示元件。【圖式符號說明】 2 光柵頂端關鍵尺寸

4 青曲點 6〜光柵厚度 8 彎曲點厚度 10 光栅底部關鍵尺寸 12 底層厚度 14 彎曲點高度 16 參數輸入裝置 18 電腦 20 顯示裝置 22 輸出裝置

24 編譯器 30 執行時間電腦 32 執行時間數據庫 - 34 執行時間數據庫之顯示 36 主數據庫 38 參數輸入裝置

第23頁 542976 圖式簡單說明 38, 資料輸入裝置 40 執行時間編譯器 50 分光光學度量衡裝置 52 電腦 54 例外檔案 56 例外顯示 58 執行時間數據庫 58, 起始執行時間數據庫 60 輪廓產生器應用伺服器 76 - 起始觸發檔案 78 替代觸發檔案 80 觸發處理器 82 比較器 84 替代執行時間數據庫 88 起始參數組 89 替代參數組 92 請求裝置 94 數據庫產生器 96 輸出裝置 98 電腦

第24頁

Claims

542976 六、申請專利範圍！ l 一種光柵輪廓之主數據庫的產生方法，包含：指定一組參數，其包含/光柵之複數個尺寸I以及編譯一輪廓之主數據庫’該f輪廓包含代表於所指定之該組參數中光柵尺寸之組合的資料，與相對應之經計算之光譜資料。 2·如申請專利範圍第1項所述之光柵輪廓之主數據庫的吝生方法，其中包.含該光柵之該等尺寸之該組參數包含一最小值、一最犬值與該光柵之該等尺寸之一尺寸之一解像度。 3.如申請專利範圍第2項所述之光柵輪廓之主數據庫的產生方法，其中該光柵之該等尺寸包含/光柵頂端關鍵尺寸、一光底部關鍵尺寸、一光柵厚度與一底層厚度。冊 4 ·如申請專利範圍第3項所述之光柵輪廓之主數據庫的產生方法，其中該光柵之該等尺寸更包含一彎曲點高度百分比與—料曲點之光柵寬度。 ^ % 5 ·如申請專利範圍第1項所述之光柵輪廓之主數據庫的生方法，更包含將該光柵輪廓之主數據庫儲存於一儲存媒體。

第25頁 542976 六、申請專利範圍 6. 如申請專利範圍第5項所述之光柵輪廓之主數據庫的產生方法，其中用於該光柵輪廓之主數據庫之該儲存媒體包含一光碟、一磁帶、一磁片與一可供網路使用之檔案。 7. 如申請專利範圍第6項所述之光柵輪廓之主數據庫的產生方法，其中

可.供網路使用之該光柵輪廓之主數據庫係傳送予用戶或δ用戶下載。 8. —種光柵輪廓之主數據庫的產生系統，包含·· 一儲存媒體，其儲存該光柵輪廓之主數據庫之；一電腦，其連結至該儲存媒體；以及一可於該電腦中運作之編譯器，其係用以產生該光柵輪廓之主數據庫，

其中該電腦引動該編譯器以產生該主數據庫，該編譯器提示光柵尺寸之一組參數之規格，該編譯器確認所指定之該組參數，該編譯器基於經確認之該組參數與相對應之經計算之光譜資料產生該光柵輪廓之主數據庫，且該編譯器儲存該光柵輪廓之主數據庫於該儲存媒體-。 9.如申請專利範圍第8項所述之光柵輪廓之主數據庫的產生系統，其中

第26頁 542976 六、申請專利範圍該電腦為一組伺服器。 1 0 ·如申請專利範圍第8項所述之光栅輪廓之主數據庫的產生系統，更包含：一輸入裝置，其連結炱該電腦，用以輪入用於該光柵輪廓之主數據庫之光栅尺寸的該組參數。 11 ·如申請專利範圍第8項所述之光柵輪廓之主數據庫的產生系統，，其中用光碟、於儲存該光柵輪廓之主數據庫之該儲存一磁帶、一磁片與一可供網路使用之、-匕1 2 3 4 5 案。 1 2 ·如申請產生系統，用戶下載。專利範圍第11項所述之光柵輪廊^ 其中可供網路使用之該檔幸:扁主數據庫的 >、W #送予用戶或由 1 3·如申請專利範圍第1 2項所述之光柵產生系統，其中該光柵輪廓之檔案包人"9卩、之主數據庫的庫與一執行時間編譯器。 3 一光柵輪廓之資料

第27頁 1 4· 一種光柵輪廓之執行時間數據庠 2 一光柵輪廓之主數據庫；、產生系統，包含： 3 一儲存媒體，其用以儲存該執 4 一電腦，其連結至該主數據座=時間數據庫之； 5 紙佩厚與該 542976 六、申請專利範圍 ^-- 一可於該電腦中運作之執行時間編譯器，楚生一光栅輪廓之執行時間數據庫， ^用以產其中该電腦引動該執行時間編譯器以產生該執行時間數據庫，該編譯器提示一組選出之參數之規袼，該編澤器確認所指定之該組選出之參數，該編譯器自該光栅輪廓之主數據庫擷取輪廓，該編譯器產生該光栅輪廓之執^時間數據庫，且該編譯器儲存該執行時間數據庫於該儲存媒體。 Μ ,、 15· _如申請專利範圍第14項所述之光栅輪廓之執行時間數據庫的產生系統，其中該組選出之參數包含—指定之最小值、一指定之最大值與一指定之光柵尺寸之解像度值。 1 6·如申請專利範圍第1 5項所述之光柵輪廓之執行時間數據庫的產生系統，其中確認該組選出之參數包含檢查光柵尺寸之該指定之最小值與該指定之最大值是否位於該主數據庫中相對應之尺寸之最小值與最^值之間，以及該指定之光柵尺寸之解像度值是否等於或局於針對該主數據庫中相對應之尺寸之該主數據庫之解像度值’且針對該尺寸之該指定之解像度值是否為針對該主數據庠中相對應之尺寸之該主數據庫之解像度值的倍數。一 17•如申請專利範圍第14項所述之光>拇輪廓之執行時間數據庫的產生系統，更包含/連結至為電腦之輸入裝置，其

542976 六、申請專利範^ -- 系用以指定用於該執行時間數據庫之該組選出之參數。 1 $ ·如申請專利範圍第1 4項所述之光柵輪廓之執行時間數 f庫的產生系統，其中用以儲存該光柵輪廓之執行時間數庫之該儲存媒體包含一光碟、一磁帶、一磁片與一可網路使用之檔案。 T供 1 j ·如申請專利範圍第1 4項所述之光柵輪廓之執行時間| 康，的產生系統，其中該執行時間數據庫包含一光柵之資料庫與一包含光柵之每/尺寸之製程平均的檔案:邪 2〇· —種儲存光柵輪廓之資料庫格式，包含：一光柵頂端關鍵尺寸；光栅底部關鍵尺寸；一光柵厚度；以及經計算之光譜資料。 21·如申請專利範圍第2〇項所述之儲存光柵輪廓之資格式，其中該光柵頂端關鍵尺寸、該光柵底部關鍵、尺斗庫該光栅厚度係以毫微米表系。寸與 22· —種光柵輪廓之顯示格式’包含一光栅頂端關鍵尺寸；一光栅底部關鍵尺寸；

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一光柵厚度；以及經計算之光譜資料。 23. —種光柵光譜資料的評鑑方法，包含：經計算之比較一光柵光譜資料與一執行時.間數據庫中光柵光譜資料的範圍；將該光栅光譜資料設定旗標為位於該執行時間數據庫中經計算之光譜資料的範圍内，或將該光柵光譜資料設定旗標為.位於該執4亍時間數據庫中經計算之光譜資料的範圍外Γ以及選擇該執行時間數據庫中其經計算之光譜資料最相近於該光栅光譜資料之一輪廓事件。 2 4 ·如申請專利範圍第Μ項所述之光拇光禮資料的評鑑方法，更包含記錄所選定之該執行時間數據庫中、其經計算之光譜資料最相近於該光柵光譜資料之該輪廓事件。 25· —種光柵輪靡資料的評鑑系統，包含：一八光光學度I衡裝置’其用以產生光拇光譜資料；柵輪廓之執行時間數據庫；以及 A 一輪鄭產生器應用伺服器，連結至該分-光光學度量衡裝置與^執行時間數據庫’其係用以比較光拇光譜資料與該執間數據庫中經計算之光譜資料之事件，以及選擇該執行時間數據庫中其經計算之光譜資料最相近於光樹光

第30頁 542976 申請專利範圍譜資料之輪廓事件，廓產ίΐϊ分光光學度量衡裝置傳遞光栅光譜資料予該輪行時間數i用伺服器該輪廓產生器應用伺服器存取該‘ 中經計算之朵％咨祖沾r圖I Γ 執仃時間數據庫炉之先5曰資枓的範圍外，為光柵光譜資料雙定斑 :光光柵光譜資料位於該執行時間數據料經計算 :貝料的範圍内，為光柵光譜資料設定旗標，以時間數據庫中其經計算之光譜資料最 j 拇士谱·資料之該輪廓事件。 '，，亥光 •種光栅輪廓之.替代執行時間數據庫的自動編笔士法，包含：切蛳#方指定一組引發編譯一光柵輪廓之替代執行時間數之觸發狀況；以及每當符合該組觸發狀況時，編譯該新的光柵輪廒夕娃代執行時間數據庫。邪之逢 27·如申請專利範圍第託項所述之光柵輪廓之替代執行時間數據庫的自動編譯方法，其中該組觸發狀況包含一或多個參數〜尺寸之製程平均超過相對應之預先決定之數量或百分比。 - -28·如申請專利範圍第26項所述之光栅輪廓之替代執行時間數據庫的自動編譯方法，其中該組觸發狀況係於經過一

542976 六、申請專利範圍才曰疋長度夺間或製造一預先決定之教量之光柵後評鑑 29· —種光栅輪靡之替代執行時間數據庫的自動編譯系一光柵輪廓之主數據庫；路认皮^廟之起始執行時間數據庫’其係隨著一組引 Ρ 庫之編譯之一組起始觸發狀況而編譯； …一光柵輪廓之替代執行時間數據庫，其係於編譯後替代該光.柵輪廓之起始執行時間數據庫；

一執行時間編譯器，其係用以編譯該光柵輪廓之替代執行時間數據庫；連結至该主數據庫與該起始執行時間數據庫之電腦；以及一可於該電腦中運作之比較器，其係用以計算實際製程值，並比較經計算之該實際製程值與該組起始觸發狀況，其中該比較器偵測經計算之該實際製程值符合該組起始觸發狀況之條件的狀況，引動該執行時間編譯器以編譯該光柵輪廓之替代執行時間數據庫。 3 0 ·如申請專利範圍第2 9項所述之光栅輪廓之替代執行時間數據庫的自動編譯系統，其中該組起始觸發狀況係於經過一指定長度之時間或製造一預先決定之數量之光柵後評

第32頁 542976 542976

六、申請專利範圍 31 · —種光柵輪廓之數據庫的產生系統，包人· 一組參數，其係用以指定一輪廓數據^ 3 · 定光柵尺寸之範圍與解像度；之類t以及指一電腦；以及 -可於該電腦中運作之數據庫產生用複數個輪廓數據庫，輪廓包含代表於所指—、^用M編譯光柵尺寸之組合的資料與相對應之經計算 ^ j =參數中其冲譚數據庫產生器於該組參數所指=光f資料，類迤為一主數據庫時，產生該輪廓之主^ =之该數據庫之參數所指定之該數據庫之類型為一執杆主庫’而於該組生該輪廓之執行時間數據庫。、s數據庫時，產 32. —種提供用以產生一光栅輪廓之數庫服潞法，包含·· *早灸服務的方由一用戶與一賣方訂約，該用戶針對及程序以產生一光柵輪廊之數據庫，机程廓之數據庫予用戶支付酬勞予該賣方1 ά、傳送該光柵輪 :戶之酬勞，…提供產生該光挪輪自輪廓之數據庫予該用戶；次產生並傳送該光栅由該賣方提供產生該光柵輪廓之數攄及程序的存取料制戶；以及 _庫之糸統、流程由該用戶或該用戶之受讓人、受益人或被授權人使用

ΙΗ 第33頁 542976 六、申請專利範圍產生該光柵輪廓之數據庫之系統、流程及程序。 3 3 · —種用以儲存使一電腦系統執行產生一光栅輪廓之數據庫之複數個步驟之電腦可讀取之程式的電腦儲存媒體，該等步驟包含：

指定一組一類型之光柵輪廓之數據庫的參數；以及編譯相對應於所指定之該組參數之該類型之光柵輪廓之數據庫，其中該輪廓包含代表於所指定之該組參數中光柵尺寸.之組合的資料，與相對應之經計算之光譜資料。

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