TW528861B - Lightweight infrared camera - Google Patents

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TW528861B TW090132174A TW90132174A TW528861B TW 528861 B TW528861 B TW 528861B TW 090132174 A TW090132174 A TW 090132174A TW 90132174 A TW90132174 A TW 90132174A TW 528861 B TW528861 B TW 528861B
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528861 A7 B7 五、發明説明(q ) 相關專利之交互參照 本專利是在_所申請的美國專利案號_名稱 “LENS FOR INFRARED CAMERA”、及在_所申請的美國 專利案號_名稱“MICROBOLOMETER OPERATING SYSTEM” ο 發明範疇 本發明通常係有關於紅外線(IR)照像機與偵測器。更明確而 言,本發明係有關輕型紅外線(IR)照像機與偵測器。 發明背景 大體上,特別是紅外線照像機與偵測器、與微輻射熱計照 像機是在技藝中熟諳此技者所已知的。例如,可參考美國專 利案號 5, 688, 699、5, 999, 211、5, 420, 419、和 6, 026, 337,其在此 僅列出供參考。紅外線微輻射熱計照像機典型包括紅外線靈 敏度感測偵測器陣列,其每個具有隨溫度改變的一電阻,而 且每個偵測器具有能以數個方法形成的一紅外線吸收體。例 如,可參考美國專利案號5, 939, 971和5, 729, 019,在此僅列出供 參考。 在操作期間,輸入的紅外線輻射線能以接收的紅外線輻射 線量成比例而將每個感測偵測器加熱。該等感測偵測器然後 可被逐一詢問,以決定感測偵測器的電阻,如此可決定接收 的紅外線輻射線量。典型上,支援電子具有照像機,以處理 偵測器輸出信號,提供校準與補償,及提供一結果影像。 因為熱可用來測量輸入紅外線能量,微輻射熱計陣列的環 境溫度改變會明顯影響偵測器信號。為了要對此補償,許多 -4 - 本紙張尺度適用中國國家操準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) 528861
紅外線照像機或偵測器具有一熱電穩定器,以調節陣列的溫 度。在一範例中,熱電穩定器可用來將陣列溫度維持在已知 值。使用熱電穩定器的一限制是他們能拉曳明顯功率,並且 會加入系統明顯重量。 因為製的容許度,所以照像機的每個感測偵測器具有與 在系統的其他偵測器略不同的零點。為了要對這些隨著偵測 器間的不同補償,許多紅外線照像機或偵測器具有一裝置, 用以提供一零輻射線基線值,其可用來解譯或校準該等偵測 器輸出信號。用以提供零輻射線基線的一方法係使用一光閘 或截波器,以週期性阻斷輸入的紅外線能量。當光閘或截波 器激勵時,一零輻射線基線便可讀取及儲存。此方法的一限 制疋光閘或截波器會明顯增加系統的複雜度與重量,對於一 些應用而言,特別可能會是問題。提供一零輻射線基線的另 方法疋將照像機週期性指向例如天空之一固定紅外線來源 。然而,此需要重要的控制電路以週期性改變照像機的方向 ’而再次會增加系統重量。 對於一些應用而言,紅外線照像機的重量是重要的。例如 ,在輕型微型無人飛機(MAV)應用方面,紅外線照像機的重量 會明顯受到媒體的大小、範圍、與其他決定性效率參數的影 響。對於這些及其他應用而言,一輕型紅外線照像機是高度 想要的。 發明概述 本發明可藉由提供一輕型紅外線照像機而克服先前技藝的 許多缺點。此可藉著免除光閘或截波器,免除熱電穩定器, -5- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公爱) 528861 A7 B7 五、發明説明( 使用輕型材料與輕型包裝技術,及/或將一些校準、補償、處 理、與顯示硬體從照像機移到一遠端台而達成。 在本發明的一說明具體實施例中,紅外線照像機包括當作 輻射線感測裝置的一微ϋ射熱計陣列。該微輻射熱計陣列包 括複數個可定址的輻射線感測偵測器,其每個具有因投射在 偵測器的紅外線輻射線強烈而定的一輸出。 若要減少紅外線照像機的重量,測量的紅外線信號能以類 比或數位形式傳送給一遠端台。信猇可依應用而由無線、或 光纖、或電線傳輸。遠端台可接收傳送的信號,並且將信號 格式化成一陣列係對應原始微輻射熱計偵測器陣列。該遠端 台係包括必要的處理硬體,以補償偵測器間的不同及在傳輸 偵測器陣列的環境溫度變化。一溫度感測器亦可在接近微輕 射熱計陣列提供,並且可傳送一溫度信號,如需要,該溫度 信號可傳送給遠端台,以用於信號校準與補償。藉著將校準 、補償、及/或處理硬體從紅外線照像機移到遠端台,明顯重 量的減少便可在紅外線照像機實施。 校準與補償值典型是因微輕射熱計陣列的溫度而定,每個 測輕射熱計陣列溫度與在陣列上的每個個別感測偵測器典型 是不同。遠端台可選取適當校準及補償值以應用。必要的數 量可儲存在遠端台,或藉由使用如同一可變的陣列溫度的演 算法而於每一個別感測偵測器產生。 在情況已知是統計性質的照像機應用中,例如,大體上, 當每個感測偵測器觀看於每隔一感測偵測器是相同的一目標 時’而且通常是MAV與許多其他移動交通工具應用,補償與 • 6 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210X297公釐) 528861 A7 Γ____ Β7 五、發明説明( ) 4 校準值亦可在地面台内藉由使用每個感測偵測器信號的多重 測量值計算。 減少紅外線照像機重量的另一方法是在一整體真空包裝 (IVP)中提供微輕射熱計。一積體真空包裝係包括一紅外線傳 輸遮罩’其包括適合微無射熱計偵測器陣列的一空腔。碎是 一典型的遮罩材料。矽遮罩是接合到微輻射熱計基材,以整 個形成一輕型真空包裝。在一較佳具體實施例中,矽遮罩不 會在微輕射熱計的接合塾上擴充。在此方法配置中,IVP係使 用電線接合、隆起接合、或其他接合機構而直接接合到一主 機板,這些可用來將微輻射熱計的接合墊直接連接到主機板 上的接合塾。主機板典型是陶質。此已知是ΐγρ與主機板的 “混合”。此可免除對一傳統晶片載體的需要,可進一步減少 照像機的重量。 而且注意,在照像機的例如類比/數位轉換器及/或傳輸電 路的支援電子設備能與陶質主機板混合。即是,支援電子設 備的積體電路晶粒可使用電線接合、隆起接合、或類似將支 极电子设備連接到主機板而直接接合到陶質主機板,而不是 包括在傳統包裝中的支援電子設備。此亦可減少照像機的重 量° 紅外線照像機亦可使用一透鏡系統。透鏡系統可用來聚焦 在偵測器的微輻射熱計陣列上的輸入紅外線輻射線。透鏡典 型是一鍺透鏡,而且可以是單一、兩、或三個構成透鏡。透 鏡最好是藉著從例如一鈦輕型材料製成的輕型支撐而從陶質 主機板隔開。兩或單一透鏡的使用可進一步減少紅外線照像 -7- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐) ' --- 528861 A7 B7 五、發明説明( ) 5 機的重量。如果使用兩或單一透鏡,結果影像模糊可從地面 台移除。 圖式之簡單說明 圖1是具有複數個輻射線感測偵測器、一多工器、及一發射 器的無光閘輻射線偵測器裝置圖; 圖2係如圖1所示用以接收傳輸信號值之一接收系統,其包 括用以補償來自一系統的原始接收信號值的一溫度補償器, 該補償器係使用隨著陣列溫度改變的值,而且典型是不同於 每個感測偵測器; 圖3是如圖1所示用以從一系統接收傳輸輻射線信號值的一 接收系統電路圖,包括一補償器,其係使用多重信號值來補 償偵測器間的不同; 圖4是一列紅外線偵測器與取樣電路的電路圖,其係使用在 圖1的輻射線偵測器裝置的一具體實施例; 圖5是一整體真空包裝的去調部分外殼透視圖,其包括一紅 外線透明矽定遮罩,以提供一輻射熱計陣列的真空環境;及 圖6係藉由在一混合電路板上的多重腳柱的一照像機系統透 視圖,其包括如圖5所示從一整體真空包裝陣列隔開的三枚構 成透鏡。 發明之詳細說明 圖1係根據本發明而描述一第一說明紅外線照像機。在此具 體實施例中,紅外線照像機只包含偵測器陣列,用以接收紅 外線能量,測量陣列溫度,及將原始資料傳送給一遠端台。 一說明遠端台是在例如圖2顯示。 -8- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) 528861 A7 B7 五、發明説明(。) 6 圖1的紅外線照像機通常是以20顯示,而且包括輻射線偵測 器22陣列、一欄選擇器24、一列選擇器26、一控制器28、及一 選擇性溫度感測器52。輻射線偵測器陣列22係包括許多輻射 線感測偵測器50,在一較佳具體實施例中,其是紅外線感測 微輻射熱計。在描述具體實施例中,輻射線偵測器50是以一 連串欄48、與列46配置。一控制器28可提供用以控制欄選擇器 24及列選擇器26。控制器28係包括一計數器,其可藉由一連串 巢狀列與攔定址順序而使選擇器24和26階梯排列。在一具體 實施例中,單一輻射線偵測器可藉由單一攔選擇器線40及一 單一列選擇器線42的選擇而於任何時刻讀取時定址及選取。 在另一具體實施例中,在個別偵測器信號連續傳遞給放大器 30之後,一攔的所有偵測器可藉由單一攔的選擇及接受列選 擇器26的所有列信號而於同時讀取時定址或選取。在一具體 實施例中,輻射線偵測器22的陣列、攔多工器或選擇器24、 列多工器或選擇器26、控制器28、與選擇性溫度感測器52是微 輕射熱計裝置的所有部分,而且皆是在相同基材上形成。在 一較佳具體實施例中,35微計大小的微輕射熱計的一 160x120 (160x120)陣列係用來形成微輻射熱計陣列。 在另一具體實施例中,偵測器補償信號可直接應用在輻射 線偵測器陣列,如此可部分補償零補償的個別輻射線偵測器 。此非同樣更正是在美國專利案號4, 752,694中揭露。隨著在 本發明描述的特殊讀出電路,類似美國專利案號4, 752, 694的 補償更正電路可使用,或在電子技藝中熟諳此技者所已知的 其他補償更正電路可如美國專利案號5, 811,808而採用。 -9- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210 X 297公釐) 528861 A7 B7 五、發明説明(7 ) 當一特殊偵測器信號傳遞給讀出線44時,該信號係對應投 射在選取輻射線偵測器的輻射線強度,而且可由一放大器30 放大。放大的信號然後提供給一類比-數位轉換器32,然後, 將一輸出信號提供給一發射器34。在描述具體實施例中,發 射器34係耦合到一天線36,用以發射無線信號38。在一具體實 施例中,信號38是無線傳輸的無線電頻率信號,而另一具體 實施例係使用包括紅外線信號的光學無線傳輸。信號38亦可 在電線或光纖上傳輸。 注意,溫度感測器52可藉由一溫度感測器選擇器線56選取 或定址,而且溫度感測器值可由一溫度感測器讀出線54讀出 ,其中該溫度感測器讀出線係耦合到輻射線偵測器讀出線44 。溫度感測器值可在一連申傳輸輻射線偵測器值的開始或結 束上增加當作一額外值。在另一具體實施例中,溫度感測器 52係個別耦合到發射器34,而且溫度感應器值係週期性傳送 給遠端台。 請即參考圖2,一遠端台100係用以從圖1的照像機20接收一 連串傳輸的輻射線偵測器值及陣列溫度信號。遠端台100係包 括藉由輸入線102而耦合到一接收器104的一天線110,而且接 收器104係藉由一輸入線108而耦合到一控制器106。控制器106 可藉由一輸入線112而將複數個原始輻射線偵測器資料值提供 給一原始資料結構、陣列或裝置114。儲存裝置陣列114可以是 能儲存從傳輸系統獲得的複數個輻射線偵測器值的任何裝置 。原始值可藉由一連接線116而提供給一補償器118。在圖2描 述的具體實施例中,例如零或放大常數的一連_常數可儲存 -10- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) 528861 A7 B7 五、發明説明(8 ) 在一資料結構、陣列、或裝置132,並且藉由一連接線130而提 供給補償器118。 在一些具體實施例中,一溫度值可從傳輸系統接收,並且 儲存在溫度儲存位置124,當作一溫度或一原始偵測器輸出值 。溫度儲存位置124可由控制器106供應,而且可從接收輻射線 偵測器值的流取回溫度值,並且藉由輸入線126而提供給溫度 儲存位置124。溫度值可藉由輸入線128而由補償器118取回。 在一具體實施例中,補償器118可採用原始輻射線偵測器信號 值114,該等溫度值是儲存在裝置124,而且該等常數是儲存在 裝置132,並且可校準或補償偵測器間不同及陣列環境溫度的 原始輻射線偵測器信號值。結果可以是藉由輸入線120而儲存 在一補償儲存資料結構、裝置、或陣列122的一連_補償值。 在一具體實施例中,圖1的偵測器陣列22在工廠測試從偵測 器到偵測器測量不同。特別地,在一具體實施例中,零⑼接 收輕射線的一基線上的每個债測器的輸出值是儲存在例如圖2 的固定陣列132之一表格,而且包括許多陣列溫度。在陣列132 儲存的常數可用來調整從圖1的每個偵測器50接收的值,以意 便將接收器104接收的值有效歸零,並且儲存在原始值陣列114 〇 單一溫度補償模型可由補償器118儲存及使用,以根據偵測 器陣列22的電路板溫度而調整在原始陣列114中所有偵測器的 接收值。或者,一分開模型可於每個偵測器提供廣泛的陣列 溫度。在此具體實施例中,圖1的每個偵測器50的溫度係在工 廠或在紅外線照像機20配置之前的某時間上測量。每個偵測 -11 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) 裝
線 528861
器_相關溫度可獨立儲存,例如,藉著在固定儲存陣列i32 中倚存-不同組的溫度絲。或者,選擇性溫度儲存位置i24 不此提供,而且補侦器118執行的補償只可免除偵測器間的 差。 注意,控制器106可藉由識別接收資料流的一特殊位置而取 回溫度資料’如此可隔離在電路板上溫度感測器值。或者, 裝 溫度感測器值可有效藉由一位元或一連攀特殊位元標示,以 便將溫度感測器值當作一溫度值,而不是一接收的輻射線強 度值。 -
請即參考圖3,當由圖丨的紅外線照像機2〇傳輸時,描述的 另一遠端台200可用來接收傳輸輻射線偵測器信號值。遠端台 200係包括則述的許多相同元件,而且是與圖2的編號相同, 而且不會進一步討論。接收系統2〇〇係包括一控制器2〇6,其可 藉由輸入線108處理接收的信號,將原始偵測器資料值輸出給 原始偵測器儲存裝置114。在此具體實施例中,原始偵測器值 是在逐不同偵測器基礎上儲存,而且藉由輸入線233而提供 每個偵測器的多重信號值。如果目標是類似相同,平均時間 的信號值於所有偵測器5〇應該實質相同。然而,儘管如此, 由於偵測器間的不同,本f接收相同累積騎線的偵測器將 輸出略不同的輻射線信號值,由於偵測器間的不同。這些不 同、或累積值可儲存在時間平均資料結構、或陣列幻2。 在一具體實施例中,時間的平均信號值可用來有效使偵測 口“ ^化在另一具體實施例中,時間平均陣列232係儲存 使偵測器值時間平均所需的正或負數值。在此具體實施例中 -12-
528861 A7 B7 五、發明説明(1〇 ) ,一補償器218可藉由輸入線116而獲得原始資料值,及藉由輸 入線234獲得時間平均值,以產生在補償資料陣列122中所儲存 的一補償陣列值。補償可運用在原始偵測器值,其可如圖2所 述而使用時間平均值、及一接收在電路板溫度測量來減少或 免除偵測器間的不同。此外,一溫度更正模型可如圖2的討論 而由補償器218執行。在一具體實施例中,此如圖2和3所示, 如果一照像機透鏡的使用而產生一已知影像模糊,該等補償 器118和218便可用來將影像模糊移除到一可接受程度。 情即重新參考圖2和3,在一具體實施例中,溫度補償與偵 測器間的補償及影像取模糊可藉由執行在接收偵測器資料上 作業的軟體而經由一般目的電腦執行。在一具體實施例中, 資料接係藉由輸入線108接收,以分成原始資料,或溫度資料 ,並且儲存在可操作一電腦程式的一般目的電腦上的陣列或 其他資料結構。在此具體實施例中,執行程式的一般目的電 腦可從例如陣列的資料儲存取回需要的常數與原始資料。取 回的資料是在程式的一補償部分内補償,並且輸出給包含補 償偵測器值的一資料儲存區域。在此類似方法中,如圖3所示 ,在圖3的陣列232中儲存的時間平均值可在執行一電腦程式 的一般目的電腦内平均。 從圖1-3可看出,大部分處理可在遠端台執行,而不是在紅 外線照像機。特別是,溫度補償、與偵測器間、或像素間補 償、或正常化、與影像去模糊可在例如一地面台的接收端執 行。如此,有時空中傳播的一輕型紅外線照像機具有溫度補 償,而且影像處理下載給地面台。 -13- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) 528861 A7 B7 五、發明説明(n ) 裝 請即參考圖4,其係描述在具讀出的一微輻射熱計陣列的偵 測器300單一列,其係具體實施例具有如圖1所討論輻射線偵 測器的紅外線偵測器。偵測器列302係包括紅外線靈敏度變化 電阻元件304,而且是在305上提供一參考電壓,以便提供通過 307的一可變電流。每個電阻元件304可由一列選擇器電路306 及一欄選擇器線310選取或定址。當對應列與欄選取時,選取 的偵測器元件304可被讀取。
在圖4描述的具體實施例中。一 η型電晶體308是由一列線306 及一欄線310的適當選擇而轉變。列選擇器電路306係包括一傳 輸閘318,其包括一 ρ型電晶體316及一 η型電晶體314。當需要 列讀取時,只有一攔定址線310及一列讀出線306典型可被選取 。電流然後可從電源供應305藉由選取的可變電阻元件304、及 藉由選取的電晶體308而流到選取的列讀出線312、及一共同讀 出線320。在另一具體實施例中,其中一攔的所有偵測器於單 一攔選擇同時讀取時定址或選取,一選擇性積分器321可於列 選擇器内的每個列提供,而且裝置314可用以將個別偵測器信 號連續傳遞給放大器30。 請即參考圖5,其係描述一整體真空包裝(IVP) 500適於在本 發明使用。IVP 500最好包括一紅外線透明矽定遮罩502。矽定 遮罩502最好是微細機械處理,以包括與微輻射熱計偵測器元 件508有關的一空腔。矽定遮罩502係接合到微輻射熱計陣列 508的基材,以提供一微輻射熱計偵測器元件506的真空環境。 該接合典型是在一晶圓上執行。 在一較佳具體實施例中,矽定遮罩502具有介層,所以它不 14- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210X 297公釐) 528861 A7 B7 _ 五、發明説明(< ) 12 能在微輻射熱計的接合墊510上擴充。以此配置,IVP 500可使 用電線接合、隆起接合、或其他接合機構而直接接合到一陶 質主機板528,其可用來將微輻射熱計的接合墊510直接連接到 陶質主機板528的接合墊。如圖6的較佳顯示,此已知是IVP 500與陶質主機板520的“混合,,。此可免除對於一傳統晶片載 體的需要,而可減少照像機的重量。 而且注意,在照像機的例如類比/數位轉換器及/或傳輸電 路的任何支援電子能與陶質主機板528混合。即是,支援電子 的積體電路小方塊530係直接接合到陶質主機板528,而且具有 電線接合、隆起接合或類似,以便將支援電子連接到陶質主 機板528,而不是包括在傳統包裝中的支援電子。此亦可減少 照像機的重量。 圖6係根據本發明的一較佳具體實施例而顯示一紅外線照像 機520透視圖。IVP 500係顯示直接接合到一陶質主機板528。紅 外線照像機520亦包括一鍺三枚構成透鏡元件522,其包括3個 個別鍺透鏡元件524,其係與在陶質主機板528安裝的多重鈦間 隔腳柱526隔開。透鏡系統可在IVP 500中用來在微輻射熱計上 將輸入紅外線輻射線聚焦。輻射線場可在陣列(未在圖顯示) 附近增加,以減少散開的輻射線。陶質主機板最好是多層結 構,而且在每端是大約一吋(Γ)。陶瓷最好可用來進一步減少 照像機520的重量。在一具體實施例中,紅外線照像機520可接 受直流供應電壓,並且將對應資料的12位元數位資料供應給 由在IVP 500的微輻射熱計陣列506提供的發射器。 從圖6的檢查可看出,在描述的具體實施例中,紅外線照像 -15- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐) 528861 A7 B7 五、發明説明(_ ) 13 機520不需要光閘,而且不需要溫度穩定性,而且可使用產生 一影像模糊的一光透鏡。如上述,在電路板上溫度調節會增 加照像機的明顯重量。光閘或截波器、溫度穩定器、高品質 透鏡、與複雜在電路板上的處理可組合,以提供一非常輕型 紅外線照像機、或偵測器。在一具體實施例中,照像機系統 520的重量係小於25公克,或最好是小於10公克。 本發明可提供的輕型紅外線照像機是理想可用於數個應用 。在一應用方面,一輕型微型無人飛機(MAV)可用來下載能力 ,以便在一射頻連結上將一選擇區域的原始紅外線影像傳遞 給地面台。在另一應用方面,一可消耗單一使用的輕型紅外 線照像機能藉著使用由一小斜槽所遲缓的向下漂移發射體而 配置,以便在保證目.標上提供最大時間。在另一應用方面, 本發明可合併到一定遮罩安裝的感測裝置。許多其他應用可 考慮。 此文件所涵蓋的許多本發明優點已在前述揭示。然而,在 許多方面,可了解到此揭示只是說明。變化可更詳細達成, 特別是關於形狀、大小、與零件配置,而不致於超過本發明 的範圍。當然,本發明的範圍是在所附申請專利範圍中定義 〇 圖式元件符號說明 20 照像機 22 輻射線偵測器陣列 24 欄選擇器 -16- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐) 528861 A7 B7 五、發明説明( 26 列選擇器 28 控制器 30 放大器 32 類比變數位轉換器 34 發射器 38 發射無線訊號 50 輻射線偵測器 52 溫度感測器 100 基台 102 天線 104 接收器 106 控制器 114 儲存裝置陣列 118 補償器 124 溫度儲存位置 132 固定陣列 200 遠端基台 206 控制器 218 補償器 232 時間平均陣列 300 偵測器 304 紅外線靈敏可變電阻元件 305 電源供應器 306 列選擇器電路 -17- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐) 528861 A7 B7 發明説明(15 ) 314 裝置 321 積分器 500 整體真空包裝 502 紅外線透明碎頂遮罩 506 微輻射熱測定偵測器元件 508 微輻射熱測定偵測器元件 510 接合墊 520 照像機 522 鍺三牧透鏡 524 鍺透鏡元件 526 多重鈦間隔腳柱 528 陶質主機板 530 積體電路晶粒 -18- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 x 297公釐)

Claims (1)

  1. 種紅外線照像機系統(20),其特徵為: —輕型紅外線照像機,其具有:―聚焦光學系統;複 為射線偵測器元件(22),每個偵測器元件(50)可提供盘 ::射在該偵測器元件(5〇)的輻射線位準有關的一原始輸出 〉及發射器(34),其係耦合到該等複數個輻射線搞 測器:件(22),用以傳輸該等原始偵測器輸出信號;及八 遠*接收口(100),用以接收該傳輸的原始债測器輸出 信號。 2·,專利範圍第旧之紅外線照像機系統(2〇),其中該遠 端接收台(100)之進一步特徵為補償裝置,其包括: 複數個校準值,用以補償該接收的原始偵測器輸出信 號;及 -補償器用以補償當作該等校準值聽的該等接 收的原始偵測器輸出信號。 3_如申請專利|請第2項之紅外線照像機系統⑽,其中該等 複數個輕射線偵測器元件(22)對於—環境溫度具有靈敏度 ,而且該補償裝置可補償環境溫度的靈敏度。 4·如申請專利範圍第2項之紅外線照像機系:㈣,其中該補 償裝置可至少部分補償當作該等接收原始偵測器輸出信號 <多重值之函數的該接收原始偵測器輸出信號。 5·如申請專利範圍第2項之紅外線照像機系統(2〇),其中該補 償裝置係接收-傳輸溫度信號,並且補償當作該傳輸溫度 信號函數的該等接收原始偵測器輸出信號。 6. —種輕型紅外線照像機(20),其特徵為: -19- 本紙張尺度通用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐) 528861 A BCD 々、申請專利範圍 一聚焦光學系統; 複數個偵測器元件(50),其具有輸出且該輸出係依照射 在該等偵測器元件(50)的輻射線量之函數而變化; 一選擇器(306),用以選取一特殊偵測器元件(304),並且 輸出對應該選取偵測器元件(304)的一偵測器元件輸出;及 一發射器(34),其係耦合到該選擇器(306),用以傳輸對 應該偵測器元件輸出的一信號(38)。 7. 如申請專利範圍第6項之輕型照像機,其進一步包含: 一溫度感測器(52),其具有一輸出,其中該溫度感測器 (52)輸出的操作係耦合到該發射器(34),而且該發射器(34) 可傳送對應該溫度感測器輸出的至少一信號。 8. 如申請專利範圍第6項之輕型照像機,其中該偵測器元件 (506)是配置在一整體真空包裝(500)内。 9. 如申請專利範圍第6項之輕型照像機,其中該光學系統係 包括由一支撐架(526)所支撐的一透鏡(522),其中該支撐架 (526)係耦合到該透鏡(522),以致於該透鏡(522)是與該等偵 測器隔開。 10. —種輕型照像機(520),其特徵為: 一陶質主機板(528); 一微輻射熱計陣列(22),用以提供一輸出信號,該微輻 射熱計陣列(506)是安裝到該陶質主機板(528);及 一透鏡(522),其是由一支撐架(526)所支撐,該支撐架 (526)是將該等透鏡(522)安裝到與該微輻射熱計陣列(22)隔開 的一已定距離。 -20- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 x 297公釐)
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WO (1) WO2002052233A2 (zh)

Families Citing this family (42)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3707913B2 (ja) * 1997-09-17 2005-10-19 株式会社東芝 情報処理装置および情報処理方法および記録媒体
US6621084B1 (en) * 1998-09-24 2003-09-16 Elgems Ltd. Pixelated photon detector
US7365326B2 (en) * 2000-12-26 2008-04-29 Honeywell International Inc. Camera having distortion correction
JP4401582B2 (ja) * 2001-02-26 2010-01-20 富士通株式会社 赤外線撮像装置
FR2822541B1 (fr) * 2001-03-21 2003-10-03 Commissariat Energie Atomique Procedes et dispositifs de fabrication de detecteurs de rayonnement
GB2384935A (en) * 2002-02-02 2003-08-06 Qinetiq Ltd Edge detecting focal plane detector
US20040179098A1 (en) * 2003-02-25 2004-09-16 Haehn Craig S. Image reversing for infrared camera
US7485860B2 (en) * 2003-03-28 2009-02-03 Bae Systems Information And Electronic Systems Integration Inc. Thermoelectric bridge IR detector
AU2004247033B2 (en) * 2003-05-27 2009-08-27 Cardiowave, Inc. Methods and apparatus for a remote, noninvasive technique to detect core body temperature in a subject via thermal imaging
CN100372267C (zh) * 2004-03-15 2008-02-27 清华大学 一种用于微型飞行器的摄像与图像传输系统
WO2006014163A1 (en) * 2004-07-01 2006-02-09 Bae Systems Information And Electronic Systems Integration Inc. Thermoelectric bridge ir detector
KR100586308B1 (ko) * 2005-04-15 2006-06-08 한국과학기술원 볼로메타의 동작온도 변화에 따른 불균일도를 보상할 수있는 보상회로.
US7851758B1 (en) 2005-09-29 2010-12-14 Flir Systems, Inc. Portable multi-function inspection systems and methods
US7655909B2 (en) * 2006-01-26 2010-02-02 L-3 Communications Corporation Infrared detector elements and methods of forming same
US8153980B1 (en) 2006-11-30 2012-04-10 L-3 Communications Corp. Color correction for radiation detectors
KR20080064031A (ko) * 2007-01-03 2008-07-08 삼성전자주식회사 온도센서를 구비한 이미지 센서 및 그것의 구동 방법
WO2009020885A1 (en) 2007-08-03 2009-02-12 Flir Systems, Inc. Wireless remote detector systems and methods
US8170731B2 (en) * 2008-05-05 2012-05-01 Honeywell International Inc. System and method for detecting reflection with a mobile sensor platform
US8378290B1 (en) * 2008-09-02 2013-02-19 Flir Systems, Inc. Sensor calibration systems and methods for infrared cameras
US8049163B1 (en) 2008-09-02 2011-11-01 Flir Systems, Inc. Calibration systems and methods for infrared cameras
WO2011114624A1 (ja) * 2010-03-17 2011-09-22 本田技研工業株式会社 車両の周辺監視装置
US9723229B2 (en) * 2010-08-27 2017-08-01 Milwaukee Electric Tool Corporation Thermal detection systems, methods, and devices
CN203705055U (zh) 2011-03-15 2014-07-09 米沃奇电动工具公司 热像仪
US10079982B2 (en) 2011-06-10 2018-09-18 Flir Systems, Inc. Determination of an absolute radiometric value using blocked infrared sensors
EP2764685A1 (en) * 2011-10-07 2014-08-13 Flir Systems, Inc. Determination of an absolute radiometric value using blocked infrared sensors
US10794769B2 (en) 2012-08-02 2020-10-06 Milwaukee Electric Tool Corporation Thermal detection systems, methods, and devices
WO2014118768A1 (en) * 2013-01-29 2014-08-07 Opgal Optronic Industries Ltd. Universal serial bus (usb) thermal imaging camera kit
CN104038706B (zh) * 2013-03-07 2017-05-31 北京理工大学 一种太赫兹被动式彩色焦平面照相机
CN104052936B (zh) * 2013-03-13 2017-05-10 北京理工大学 一种便携式太赫兹半主动式彩色照相机
CN104048761B (zh) * 2013-03-13 2017-05-10 北京理工大学 一种太赫兹半主动式彩色焦平面照相机
US20140267756A1 (en) * 2013-03-14 2014-09-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microbolometer supported by glass substrate
CN103162843B (zh) * 2013-03-21 2017-04-12 北京红源光电技术公司 一种基于VOx探测器的无快门红外热像仪及其使用方法
US9683895B2 (en) * 2014-12-29 2017-06-20 Bosch Automotive Service Solutions Inc. Non-contact infrared temperature sensor with wireless functionality
CN106500847B (zh) * 2016-09-26 2019-03-12 东南大学 一种二维阻性传感阵列的快速测量电路
EP3415882B1 (en) * 2017-06-15 2022-03-02 Airbus Defence and Space SAS Imaging spectrophotometer and satellite comprising the same
US11432375B2 (en) 2017-10-31 2022-08-30 Adasky, Ltd. Protective window for resistive heating
US10666880B2 (en) 2017-10-31 2020-05-26 Adasky, Ltd. Infrared camera assembly for a vehicle
US10175112B1 (en) 2017-12-14 2019-01-08 Adasky, Ltd Compact infrared camera for automotive safety and driving systems
US10587826B2 (en) * 2017-12-21 2020-03-10 Bae Systems Information And Electronic Systems Integration Inc. Event-driven seeker
CN110132428B (zh) * 2019-06-13 2020-05-22 无锡物联网创新中心有限公司 Mems传感器热学参数测试电路及测试方法
US11706380B2 (en) 2020-09-17 2023-07-18 Adasky, Ltd. Radiometric camera with black body elements for screening infectious disease carriers and method for calibrating a thermal camera having internal black body elements
KR102450595B1 (ko) 2020-10-26 2022-10-07 삼성전기주식회사 적외선 이미지 센서 및 적외선 카메라 모듈

Family Cites Families (42)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3962537A (en) 1975-02-27 1976-06-08 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Gun launched reconnaissance system
JPS54146682A (en) 1978-05-08 1979-11-16 Murata Manufacturing Co Infrared ray detector
US4298887A (en) 1980-06-09 1981-11-03 Rockwell International Corporation Non-uniformity correction in a multielement detector array
US4720738A (en) 1982-09-08 1988-01-19 Texas Instruments Incorporated Focal plane array structure including a signal processing system
US5220189A (en) 1983-07-06 1993-06-15 Honeywell Inc. Micromechanical thermoelectric sensor element
US5220188A (en) 1983-07-06 1993-06-15 Honeywell Inc. Integrated micromechanical sensor element
US5450053A (en) 1985-09-30 1995-09-12 Honeywell Inc. Use of vanadium oxide in microbolometer sensors
US4654622A (en) 1985-09-30 1987-03-31 Honeywell Inc. Monolithic integrated dual mode IR/mm-wave focal plane sensor
US5300915A (en) 1986-07-16 1994-04-05 Honeywell Inc. Thermal sensor
US4752694A (en) 1987-01-12 1988-06-21 Honeywell Inc. Array uniformity correction
US5534111A (en) 1988-02-29 1996-07-09 Honeywell Inc. Thermal isolation microstructure
US5286976A (en) 1988-11-07 1994-02-15 Honeywell Inc. Microstructure design for high IR sensitivity
US5422475A (en) 1989-08-11 1995-06-06 Santa Barabara Research Center Method and apparatus for concentrating optical flux in a focal plane array
KR920022834A (ko) 1991-05-23 1992-12-19 오오가 노리오 카메라 콘트롤 장치
JPH07500913A (ja) 1991-11-04 1995-01-26 ハネウエル・インコーポレーテッド 薄膜ピロ電気画像アレイ
US5260225A (en) 1991-12-20 1993-11-09 Honeywell Inc. Integrated infrared sensitive bolometers
JP2725508B2 (ja) 1991-12-30 1998-03-11 日本電気株式会社 多素子光センサ装置
US5479206A (en) 1992-02-04 1995-12-26 Fuji Photo Film Co., Ltd. Imaging system, electronic camera, computer system for controlling said electronic camera, and methods of controlling same
CA2117476C (en) 1992-06-19 2000-02-22 R. Andrew Wood Infrared camera with thermoelectric temperature stabilization
DE4327656A1 (de) 1993-08-17 1995-02-23 Steinheil Optronik Gmbh Infrarot-Objektiv
US5449910A (en) 1993-11-17 1995-09-12 Honeywell Inc. Infrared radiation imaging array with compound sensors forming each pixel
CA2179052C (en) 1993-12-13 2001-02-13 Robert E. Higashi Integrated silicon vacuum micropackage for infrared devices
EP0698777B1 (en) * 1994-07-22 2002-02-20 Hughes Electronics Corporation Satellite focal plane array imager
US5489776A (en) 1994-08-30 1996-02-06 Hughes Aircraft Company Microbolometer unit cell signal processing circuit
IL115332A0 (en) 1994-09-30 1995-12-31 Honeywell Inc Compact thermal camera
US5604534A (en) 1995-05-24 1997-02-18 Omni Solutions International, Ltd. Direct digital airborne panoramic camera system and method
US6023061A (en) 1995-12-04 2000-02-08 Microcam Corporation Miniature infrared camera
US5729019A (en) 1995-12-29 1998-03-17 Honeywell Inc. Split field-of-view uncooled infrared sensor
US5688699A (en) 1996-01-16 1997-11-18 Raytheon Company Microbolometer
US5811808A (en) 1996-09-12 1998-09-22 Amber Engineering, Inc. Infrared imaging system employing on-focal plane nonuniformity correction
JP3040356B2 (ja) 1997-01-27 2000-05-15 三菱電機株式会社 赤外線固体撮像素子
US6011876A (en) 1997-02-26 2000-01-04 Raytheon Company System and method for converting an incoming image into electronic form
US5903659A (en) 1997-04-17 1999-05-11 Raytheon Company Adaptive non-uniformity compensation algorithm
US6097031A (en) 1997-07-25 2000-08-01 Honeywell Inc. Dual bandwith bolometer
JPH1176156A (ja) * 1997-09-01 1999-03-23 Olympus Optical Co Ltd 撮像装置
US6026337A (en) 1997-09-12 2000-02-15 Lockheed Martin Corporation Microbolometer earth sensor assembly
JP3503467B2 (ja) * 1998-03-20 2004-03-08 ソニー株式会社 カメラ
US6036872A (en) 1998-03-31 2000-03-14 Honeywell Inc. Method for making a wafer-pair having sealed chambers
JPH11285407A (ja) 1998-04-01 1999-10-19 Primary:Kk リュックサック等椅子付き携帯用具
WO2000004354A1 (en) 1998-07-14 2000-01-27 Daewoo Electronics Co., Ltd. Method for manufacturing a three level bolometer
CN1118103C (zh) * 1998-10-21 2003-08-13 李韫言 微细加工热辐射红外传感器
US6046485A (en) 1999-04-01 2000-04-04 Honeywell International Inc. Large area low mass IR pixel having tailored cross section

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