TW396555B - The device of SMIF pod interior nitrogen infilling - Google Patents
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經濟部中央標隼局貝工消費合作社印聚 A7 B7 五、發明説明（/ ) 發明領域： 本發明係有關於一種保持晶圓盒(SMIF POD)內部充滿 氮氣之塡充裝置，特別適用於晶圓盒(SMIF POD)在完成一 製程之後準備進入下一製程之過程中，爲了避免晶圓盒 (SMIF POD)內部因外界之空氣或水汽進入影響晶圃品質而 設計之氮氣塡充裝置《» 發明背景： 請參閲圖一，目前晶圃12的處理係利用晶園盒(SMIF POD)l將一批晶圓12(約25個)置於其內部，再將晶圓盒 (SMIF POD)l送到預定的地方進行艇。其中晶圓12在處 理過程中，可能因空氣或水汽的進入使晶圓12表面發生氧 化’產生腐蝕或吸水等現象而影響晶圓品質，特別是晶圓 12表面若爲金靥則腐触將更爲嚴重’因此每一階段的晶圓 12處理必須是在特餓態下進行以避触氣和水的作用， 此外，以次大氣屋氣相化學沉積法所沉積之二氧化矽薄膜 (可能含硼或磷），因空氣或水汽的作用使薄膜品質發生質 變。 然而，當每一批晶圓12在完成該階段製程之後在進入 下一階段製程之前，晶圓盒(SMIF POD)l無法避免必須曝 露在恆溫、恆壓狀態之下，爲了防止在特定層次時空氣和 水的進入而造成晶圓12表面的腐蝕或質變，晶圓盒(SMIF P〇D)l內部可灌入氮氣，但是由於晶圓盒(SMIF POD)l之 設計並非絕對密閉，可能會因爲漏氣而無法使其內部之氮 氣i暇Φ於桓屋之下，因此一旦晶圓盒(SMIF P〇D)l內部發 ---2- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) *?τ 線- 五、發明説明（>) 生氮氣外洩之現象則外界之空氣和水汽也將同時進入晶圓 盒(SMIF POD)l 中。 經濟部中央標;f局負工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 g本發明人對於晶圓盒(SMIF POD)l內部之晶圃12 分析所得到的結果顯示，當晶圓盒(SMIF POD)l置於外界 超過一定時間則將會對其內部之晶圓12品質產生影響，例 如硼離棚膨£沉積完5小時後會發生變化，因此習知 技術爲了避免晶圓12表面因爲空氣或水汽的侵入而影響品 質，其主要之解決手段係在一定時間內將晶圔盒(SMIF POD)l內部之晶圓12送入下一步驟之製程中進行處理。然 而，在晶圓12生產的過程中可能碰到的狀況包括人爲的疏 失或機器設備故障等因素，實際上要在一定時間內完成幾 乎是不大可能完全達成，因此，另一個解決方法是將所有 等待下一製程處理之晶圔盒(SMIF POD)l全部送入一另外 設置之持績充滿氮氣之密閉緩衝室內來等待進入下一製 程，該室中持嫌灌入氮氣使空氣或水汽無法進入晶圓盒 (SMIF POD)l中，但是若機器設備需要維修、發生故障時 或年雜修時，則緩衝室之空間可能會不夠，且必須在每 一製程之設備附近都要設置一密閉緩衝室以防止任何突如 其來之狀況，因此緩衝室的設置不僅會佔用很大的廠房空 間造成空間安排上之困擾，且造成管理上之困難。 發明目的： 有隹於此，本發明之目的係針對於上述之缺黏而設計之 氮氣塡充裝置，利用氮氣瓶與晶圓盒(SMIF POD)相連接並 配合控制两和壓力計，使晶圓盒(SMIF POD)內部之氣雜 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）
12~^圓 21〜晶圓盒(SMIF POD) 25-氮臟 271邊制閥 275~ft速接頭 279〜第二端
PC
ST 五、發明説明（> ) 持在固定之屋力之下，因此可以避免外界之空氣和水汽進 入晶圓盒(SMIF POD)中。 爲譲貴審査委員能對本發明之目的、特徵及功效， 有進一步的瞭解與認同，兹配合圖示詳加說明如后： 圖式之簡單說明： 圖一^一般常見之晶圓盒(SMIF POD)。 圓二係本發明之保持晶圓盒(SMIF POD)內部氮氣塡充裝 〇 圖式中之圖號說明： 1-¾ 圔盒(SMIF POD) 2〜氮·充裝置 2MG手 27,路 273〜壓力計 277〜第一端 詳細說明： 請參閱圖二，本發明之保持晶圓盒(SMIF POD)內部氮 氣塡充裝置2，包括一晶園盒(SMIF POD)21、一氮氣瓶 筇、一管路27、一控制閥271、一壓力計273以及一快速 mm 275 » 爲了避免對於晶圓盒(SMIF POD)21整値外觀結構做 太大之改變，以及避免增加晶圓盒(SMIF POD)21之體積， 本發明利用一《管路27，該管路27更包括第一端277以 及第二端279 ,其中第一端277接於晶圓盒(SMIF POD)21 _A _ - __ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
•1T 線 經濟部中央梂準局員工消t合作社印聚 A? B7 經濟部中央標隼局員工消费合作社印製 五、發明説明（/ ) 內部;第二端279設有快速接頭275並延伸至晶圓盒(SMIF POD)21外部之適當位置，該適當位置可以是挪手23， 其中晶圓盒(SMIF P〇D)21之把手23部分係爲操作員搬運 之處，因此不會影響機器手臂的自動化。將氣氣瓶2S與管 路27之快速接頭275相連接之後即可以維持晶圓盒(SMIF P〇D)21內之氮氣於恆屋狀態(該氣氣屋力大於外界屋力)， 此外，在管路27兩端之間可以設置控制閥271以做爲氮氣 瓶25供應氮氣之流置控制，5^制閥271和管路27之第 一端277之間設有壓力計273以便觀察晶圓盒(SMIF P0D)21內部氮氣之屋力是否大於外界之壓力。 藉由本發明之晶圃盒(SMIF POD)氣氣塡充裝置2應用 於麟晶_盒(SMIF POD)21內部氮賴力之穩定,不僅可 以省去氮氣緩衝室的設置以減少空間之浪费，在生產管理 上之安排亦不需要限制在特定時間內進入下一步驟，因此 在製程之安排上亦較具有彈性，此外，由於本發明之晶圓 盒(SMIF POD)內部氮氣塡充裝置2係配合一般晶圓盒 (SMIF POD)21之規格而設計，將氮氣瓶25置於晶圓盒 (SMIF POD)21之中空把手23內部，因此不會造成晶圔盒 (SMIF POD)21外形上之差異使用上方便，此外氮氣 塡充裝置2亦可以設在其他不器自動化之處非限定 於把手23上，又本發明在控制閥271和管路27之第二端 279之間亦可以設置一屋力計273用以測知氣氣瓶2S剩餘 之氮氣屋力以避免氣氣之供應量不足。 本發明之晶圖盒(SMIF POD)內部氮氣塡充裝置2在應 in mf mB I m ^^^^1 nn nn ...令 Ί (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 396555 a： B7 五、發明説明（5 ) 用於避免晶圖盒(SMIF POD)21內部之晶圓12因空氣或水 汽進入之設計上係屬於前所未見，具新穎性，且解決問題 之手段較習知技術爲佳，具進步性，又本發明對於晶園廠 在產業上之利用性上更有其價値，綜而言之，本發明實已 倶備發明專利之必要條件，爰依法提出專利申請，懇請貴 審查委員惠予審視，並賜准專利爲禱。 ^^1 - - f— I n ml m ~ I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 衩濟部中央標準局員工消f合作社印梵 本紙張尺度適用中關家兩（CNS ) A4規格（21〇x2W廣）
Claims (1)
- 87 1 118 9 3 公告 A8 i 396555 t&mi &、申請專利範圍 1- 一種保持晶豳盒內部氮氣塡充裝盧窗^晶圓盒外部之 適當位置，該保持晶圔盒內部氮氣塡充裝置包括： 一氮氣瓶，該氮氣瓶係位於上述晶圖盒外部之適當位 置； —管路’具有第一端和第二端，其中第一端連接於晶圓 盒內部，第二端與氮氣瓶相^; 該麟晶圓盒內部氮氣塡充裝置係利用氮氣瓶供應氮氣 使晶圖盒內部維持恆屋❶ 2. 如申請專利範圍第1項所述之保持晶圖盒內部氮氣塡充 裝置，其中該晶圓盒更包括一把手，又上述氮氣瓶係固 雛其上。 3. 如申請專利範圍第1項所述之保持晶圓盒內部氮氣塡充 裝置，其中氮氣瓶與管路之第二端係利用一快速接頭連 接。 4. 如申請專利範圍第1項所述之保持晶圓盒內部氮氣塡充 裝置，其中該管路之兩端間設有一控制閥以做爲氮氣瓶 供應氣氣之流量控制。 5. 如申請專利範圍第1項所述之保持晶圓盒內部氮氣塡充 裝置，其中在該管路之第一端和控制閥間設有一屋力計 以倒S察晶圓盒內部氮氣屋力之數値》 6. 如申請專利範圔第1項所述之胃晶圓盒內部氮氣塡充 裝置，其中在該管路之第二端和控制閥間設有一屋力計 以便測知氣^Μ餘之氮紐力。 ^ -----„-I訂-------气〆 (請先閱讀背面之注^.項再填寫本頁) 經★部中央揉率局Λ工消费合作社印簟 私紙張尺農適用中國家揉準（CNS ) Α4规格（210X297公釐） 經濟部中央櫺率局負工消费合作社a-装 396555 g D8 六、申請專利範圍 7. 如申請專利範圍第1項所述之保持晶圓盒內部氮氣塡充 裝置，其中該晶圓盒內部所保持之氮氣恆屋係大於外界 之大氣屋力。 8. —職有氮氣塡充裝置之晶圓盒包括： 一晶圓盒； 一管路，具有第一職K第二端，其中第一端連接於晶圓 盒內部，第二端更包括一接頭； 一氮氣瓶，該氣氣瓶係位於上述晶圆盒外部之適當位置 並與城管路第二端之臟接頭相雜； 該設有氣氣塡充裝置之晶圓盒係利用氮氣瓶供應氮氣使 晶圓盒內部維持恆屋。 9. 如申請專利範圍第8項所述之設有氮氣塡充裝置之晶圓 盒，其中該晶圓盒更包括一把手，又上述氣氣瓶係固設 於其上。 10. 如申請專利範圔第8項所述之設有氮氣塡充裝置之晶圓 盒，其中該管路之兩端間設有一控制閥以做爲氮氣瓶供 應氮氣之流置控制。 11. 如申請專利範圍第8項所述之設有氮氣塡充裝置之晶圓 盒，其中在該管路之第一端和控制閥間設有一壓力計以 便観察晶画盒內部氣氣屋力之數値》 12. 如申請專利範圍第8項所述之設有氮氣塡充裝置之晶圓 盒，其中在該管路之第二端和控制閥間設有一屋力計以 便測知氣氣舶Η餘之氮氣屋力値。 13. 如申請專利範圍第8項所述之設有氦氣塡充裝置之晶園 (請先閱讀背面之注意事項再填窝本頁)本紙3L尺度適用中國國家樑準（CNS ) Α4规格（210X297公釐） 396555六、申請專利範圍 A8 B8 C8 D8 盒，其中該晶圓盒內部所保持之氮氣恆壓係大於外界之 大氣屋力。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 練丨· 經濟部中央糠率局貝工消费合作社印氧 本紙張尺度逋用中國國家揲準（CNS ) A4规格（210X297公釐）
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|---|---|---|---|
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ID=21630739
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| TW87111899A TW396555B (en) | 1998-07-21 | 1998-07-21 | The device of SMIF pod interior nitrogen infilling |
Country Status (1)
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|---|---|
| TW (1) | TW396555B (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6919102B2 (en) | 2003-06-20 | 2005-07-19 | Powerchip Semiconductor Corp. | Method of stabilizing material layer |
-
1998
- 1998-07-21 TW TW87111899A patent/TW396555B/zh not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6919102B2 (en) | 2003-06-20 | 2005-07-19 | Powerchip Semiconductor Corp. | Method of stabilizing material layer |
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| MK4A | Expiration of patent term of an invention patent |