TW202414660A - 光罩裝載系統及方法 - Google Patents

Abstract

本發明揭露一種光罩裝載系統，包含：一第一埠口，允許一光罩傳送盒在一外部環境和一裝載環境之間轉移；一第二埠口允許一光罩儲存盒在該裝載環境和一儲藏環境之間轉移；一第一升降手段，與該第一埠口配合並承載該光罩傳送盒，且於該裝載環境中升降移動，使該光罩傳送盒能於一頂部位置和一底部位置之間升降；一第二升降手段，與該第二埠口配合並承載該光罩儲存盒，且於該裝載環境中升降移動，使該光罩儲存盒能於一頂部位置和一底部位置之間升降。

Description

光罩裝載系統及方法

本發明關於一種光罩儲存盒及光罩固持方法，特別是指一種包含外盒和內盒的光罩儲存盒，以及外盒和內盒相互配合下的光罩固持方法，該光罩儲存盒使用於一種光罩儲藏系統與方法。

目前極紫外光（EUV）微影製程中，光罩需使用雙層盒之習知光罩傳送盒（EUV POD）保護，而習知光罩傳送盒由一內盒（EIP）與一外盒（EOP）組成。欲儲藏光罩時，光罩是置於內盒，內盒則收藏於外盒中，將整個習知光罩傳送盒放置於一氮氣櫃內並充填氮氣，藉此儲放光罩。

此外，習知光罩傳送盒的設計可使收容光罩之內盒於長距離傳送期間可避免因震動與偏移所造成的微粒汙染與光罩損傷。此外，習知光罩傳送盒還可配置成適於載入不同製程設備中接受各種檢測，所以內盒的結構相對於外盒複雜，製造成本也相對較高。若將這種設計目的的光罩傳送盒的內盒長期收藏於氮氣櫃，不符合內盒的使用效益。

併參第一圖及第二圖，習知光罩傳送盒（10）為一種雙層盒結構，包含一內盒（11）和一外盒（12），內盒（11）容置一光罩（R），外盒（12）則收容內盒（11）。內盒（11）包含一基座（20）及一封蓋（30），相互配合以密封收容光罩（R）。外盒（12）包含外基座（40）和外封蓋（50），其中外基座（40）具有針對內盒（11）的支撐手段，外封蓋（50）與外基座（40）結合以界定內盒（11）的容置空間。外封蓋（50）的內側通常可提供有適當的下壓手段，使外封蓋（50）與外基座（40）結合時能夠下壓內盒（11），藉此形成穩定收容。外基座（40）一般還包含栓鎖手段來將外封蓋（50）鎖定於外基座（40）。由於這種光罩傳送盒（10）在廠務中的傳送是由天車系統所執行，所以外封蓋（50）的頂端具有可供天車手臂抓取的把手（52）。因此，習知光罩傳送盒（10）因把手（52）所具有­的高度而不利於堆疊儲藏，且因把手（52）高度會額外占用儲放空間。

此外，在一般的設計中，習知內盒與習知外盒之間具有對應的相互配合機構，使得習知外盒僅能搭配對應的內盒，而無法適應性地搭配不同機構設計的內盒。言下之意，只有特定的外盒和內盒可相容，並達到穩固收容光罩的效果。若使用不相容的外盒和內盒，無法達到期望的穩定性。當儲藏光罩盒的手段考量到製造成本和儲藏效率，現有外盒設計無法滿足這樣的需求。

據此，產業上需要一種可適用於長期儲放的專用光罩儲存盒及其相關方法，以及儲藏專用光罩儲存盒的光罩儲藏系統與方法。還有，本發明發展一種以單一外盒相容至少兩種不同機構設計之內盒的技術，將有助於降低儲藏成本。

已知的光罩傳送盒，其中內盒具有由外盒施予外力以穩固的機制，即下壓銷（Hold Down Pin）。該機制只有在內盒收容於外盒時，才會作用於內盒中的光罩。例如，下壓銷的頂端是暴露於內盒的頂部外側。在沒有使用外盒而只傳送內盒的情況下，光罩在內盒的穩固性不足將容易導致震動與碰撞。

此外，若將光罩長期儲藏於專用的光罩儲櫃系統時，須將光罩從雙層盒結構之光罩傳送盒取出並轉移至專用盒。因此，在光罩收藏於光罩儲櫃系統之前，亦需要發展相容的光罩裝載系統及相關方法。

再者，光罩適用於半導體製程設備的高精密製程，將製造成本高昂的光罩長期收藏於儲藏櫃，必須符合嚴格的環境條件要求。因此，亦需要發展一種針對長期儲藏光罩的光罩儲櫃管路充氣系統及相關方法，以及需要一種適用於調度儲櫃系統的光罩儲櫃管理系統及相關方法。

為使相同的空間內可儲放更多光罩，本發明提供一種儲藏手段來增加光罩的儲放效率。具體而言，本發明提供不同於已知光罩傳送盒的一種專用光罩儲存盒。在本揭露的描述中，「光罩傳送盒」是指習知的光罩盒，「光罩儲存盒」則是指由本發明因應一效率提升儲藏手段所提出的專用光罩盒，以此區分陳明。

若光罩儲存盒僅在光罩裝載系統與光罩儲櫃系統的儲藏櫃架之中傳送，如此使用目的之光罩儲存盒設計，除了仍須具備足夠防止外部微粒入侵的保護機制之外，無須複雜結構與加工，有助於可降低製造成本。

本發明目的在於提供一種光罩裝載系統，包含：一第一埠口，配置成允許一光罩傳送盒在一外部環境和一裝載環境之間轉移；一第二埠口，配置成允許一光罩儲存盒在該裝載環境和一儲藏環境之間轉移；一第一升降手段，配置成與該第一埠口配合並承載該光罩傳送盒，且於該裝載環境中升降移動，使該光罩傳送盒能於一頂部位置和一底部位置之間升降，其中當抵達該底部位置時，該光罩傳送盒的一容置空間被開啟而暴露於該裝載環境；一第二升降手段，配置成與該第二埠口配合並承載該光罩儲存盒，且於該裝載環境中升降移動，使該光罩儲存盒能於一頂部位置和一底部位置之間升降，其中當抵達該底部位置時，該光罩儲存盒的一容置空間被開啟而暴露於該裝載環境；及一光罩夾持機構，配置成位於該裝載環境中操作，使一光罩或承載有該光罩的一基座能夠在該光罩傳送盒被開啟所暴露的容置空間與該光罩儲存盒被開啟所暴露的容置空間之間轉移。

在一具體實施例中，位在該頂部位置之該光罩傳送盒和位在該頂部位置之該光罩儲存盒均為關閉狀態，使該光罩傳送盒的容置空間及該光罩儲存盒的容置空間均未暴露。

在一具體實施例中， 位在該底部位置之該光罩傳送盒和位在該底部位置之該光罩儲存盒均為開啟狀態，使該光罩傳送盒的一外封蓋連同一內封蓋及該光罩儲存盒的一外封蓋連同一內封蓋均被移除。

在一具體實施例中， 被移除的光罩傳送盒的外封蓋和外封蓋以及該光罩儲存盒的外封蓋和內封蓋均停留在該頂部位置與該底部位置之間。

在一具體實施例中， 該光罩夾持機構具有一軌道及一夾持組件，該夾持組件配置成夾持光罩或基座的兩側，且該夾持組件經由該軌道而在該底部位置之間橫向移動。

在一具體實施例中，更包含：一辨識和檢查手段，配置成與該第一升降手段或該第二手段配合，以讀取與該光罩傳送盒、該光罩儲存盒、光罩護膜、光罩或以上任一有關的資訊；一氣體控制手段，配置成控制進氣、過濾及排氣，以維持該裝載環境之潔淨度。 本發明另一目的在於提供提供一第一埠口，以自一外部環境將一光罩傳送盒轉換至一裝載環境，且該光罩傳送盒收容一光罩；提供一第二埠口，以自一儲藏環境將一光罩儲存盒轉換至該裝載環境；

於該裝載環境中提供配合該第一埠口之一第一升降手段，使該光罩傳送盒從一頂部位置下降至一底部位置，並於抵達該底部位置時使該光罩傳送盒呈現開啟以暴露該光罩傳送盒的一容置空間和該光罩；於該裝載環境中提供配合該第二埠口之一第二升降手段，使該光罩儲存盒從一頂部位置下降至一底部位置，並於抵達該底部位置時使該光罩儲存盒呈現開啟狀態以暴露該光罩儲存盒的一容置空間；及經由可操作於該裝載環境中之一光罩夾持機構，將暴露的光罩從開啟狀態的該光罩傳送盒轉移至開啟狀態的該光罩儲存盒所暴露的該容置空間。

在一具體實施例中，更包含：提供一開蓋手段，使該光罩傳送盒的一外封蓋和一內封蓋在抵達該底部位置之前被移除，而該光罩傳送盒的一外基座和一內基座抵達該底部位置。

在一具體實施例中，更包含：提供一開蓋手段，使該光罩儲存盒的一外封蓋和一內封蓋在抵達該底部位置之前被移除，而該光罩儲存盒的一外基座和一內基座抵達該底部位置。

在一具體實施例中，更包含：於光罩轉換後，經由該第一升降手段，將該光罩傳送盒上升至該頂部位置，並經由該第一埠口將該光罩傳送盒轉換至該外部環境。

在一具體實施例中，更包含：於光罩轉換後，經由該第二升降手段，將該光罩儲存盒上升至該頂部位置，並經由該第二埠口將該光罩儲存盒轉換至該儲藏環境。

在一具體實施例中， 更包含：在該裝載環境中提供一辨識和檢查手段，以在該第一升降手段的頂部位置和底部位置之間或該第二手段的頂部位置和底部位置之間，讀取與該光罩傳送盒、該光罩儲存盒、光罩護膜、光罩或以上任一有關的資訊。

在一具體實施例中， 更包含：在該裝載環境中提供一氣體控制手段，以維持該裝載環境之潔淨度。

本發明尚一目的在於提供一種光罩卸除方法，包含：提供一第一埠口，以自一外部環境將一光罩傳送盒轉換至一裝載環境；提供一第二埠口，以自一儲藏環境將一光罩儲存盒轉換至該裝載環境，且該光罩儲存盒收容一光罩；於該裝載環境中提供配合該第一埠口之一第一升降手段，使該光罩傳送盒從一頂部位置下降至一底部位置，並於抵達該底部位置時使該光罩傳送盒呈現開啟以暴露該光罩傳送盒的一容置空間；於該裝載環境中提供配合該第二埠口之一第二升降手段，使該光罩儲存盒從一頂部位置下降至一底部位置，並於抵達該底部位置時使該光罩儲存盒呈現開啟狀態以暴露該光罩儲存盒的一容置空間及該光罩；及經由可操作於該裝載環境中之一光罩夾持機構，將暴露的該光罩從開啟狀態的光罩儲存盒轉移至開啟狀態的該光罩傳送盒所暴露的該容置空間。

在一具體實施例中， 更包含：提供一開蓋手段，使該光罩傳送盒的一外封蓋和一內封蓋在抵達該底部位置之前被移除，而該光罩傳送盒的一外基座和一內基座抵達該底部位置。

在一具體實施例中， 更包含：提供一開蓋手段，使該光罩儲存盒的一外封蓋和一內封蓋在抵達該底部位置之前被移除，而該光罩儲存盒的一外基座和一內基座抵達該底部位置。

在一具體實施例中， 更包含：於光罩轉換後，經由該第一升降手段，將該光罩傳送盒上升至該頂部位置，並經由該第一埠口將該光罩傳送盒轉換至該外部環境。

在一具體實施例中， 更包含：於光罩轉換後，經由該第二升降手段，將該光罩儲存盒上升至該頂部位置，並經由該第二埠口將該光罩儲存盒轉換至該儲藏環境。

在一具體實施例中， 更包含：在該裝載環境中提供一辨識和檢查手段，以在該第一升降手段的頂部位置和底部位置之間或該第二手段的頂部位置和底部位置之間，讀取與該光罩傳送盒、該光罩儲存盒、光罩護膜、光罩或以上任一有關的資訊。

在一具體實施例中， 更包含：在該裝載環境中提供一氣體控制手段，以維持該裝載環境之潔淨度。

底下將參考圖式更完整說明本發明，並且藉由例示顯示特定範例具體實施例。不過，本主張主題可具體實施於許多不同形式，因此所涵蓋或申請主張主題的建構並不受限於本說明書所揭示的任何範例具體實施例；範例具體實施例僅為例示。同樣，本發明在於提供合理寬闊的範疇給所申請或涵蓋之主張主題。

本說明書內使用的詞彙「在一實施例」並不必要參照相同具體實施例，且本說明書內使用的「在其他（一些/某些）實施例」並不必要參照不同的具體實施例。其目的在於例如主張的主題包括全部或部分範例具體實施例的組合。

以下實施例說明中所述「專用」之用語，是涉及因應本發明所要解決的儲藏問題所提出的技術手段，如專用盒、專用外盒或專用內盒；所述「非專用」之用語則是指非因應儲藏目標所涉及的技術手段，其可為既有的或其他新穎的光罩內盒或外盒。本文所述非專用盒可以既有的光罩盒來理解，如第一圖所示習知雙層盒，但此不意味所述非專用盒僅能為既有的光罩盒。更具體而言，本文非專用盒應理解為非專用於儲藏目的之光罩盒，例如可適用於一般廠務中的傳送目的之光罩盒，特此敘明。

第三圖顯示本發明光罩儲藏系統之方塊圖，本發明提供一種光罩儲藏手段，用以儲藏光罩傳送盒（10）內的光罩。光罩儲藏系統包含一光罩裝載系統（200）及一光罩儲櫃系統（600），其中光罩裝載系統（200）用以將一光罩在光罩傳送盒（10）和專用光罩儲存盒（100）之間轉移，或將一收納光罩之內盒放置於光罩傳送盒（10）或專用光罩儲存盒（100）中 。應瞭解，本文所述光罩傳送盒（10）可以是指習知的光罩傳送盒或者是指與廠中天車系統配合的光罩傳送盒。所述光罩儲存盒（100）為本發明提出有別於習知光罩盒且專用於本發明光罩儲櫃系統（600）的儲存手段。

光罩裝載系統（200）具有與廠務環境連接的第一埠口（202）以及與光罩儲櫃系統（600）連接的第二埠口（204）。第一埠口（202）允許光罩傳送盒（10）在廠務環境和光罩裝載系統（200）提供的裝載環境之間轉移，第二埠口（204）允許光罩儲存盒（100）在裝載環境和光罩儲櫃系統（600）的儲藏環境之間轉移。第一埠口（202）和第二埠口（204）可包含閥門手段以將廠務環境、裝載環境和儲藏環境獨立區隔。第一埠口（202）更可配置成與天車系統相互配合。

光罩儲櫃系統（600）包含可存放複數個光罩儲存盒（100）的一或多個光罩櫥櫃架（未顯示）、負責存放和拿取光罩儲存盒（100）的一光罩儲櫃控制系統（300）、負責每一個光罩櫥櫃架氣體環境的一光罩儲櫃充氣管路系統（400）以及負責所有流程的一光罩儲櫃管理系統（500），其細節將於後續說明。

第四圖例示本發明光罩儲藏系統（600）的具體外部配置，光罩裝載系統（200）緊鄰於光罩儲藏系統（600）的一側，但本發明不以此為限制。光罩裝載系統（200）的第一埠口（202）基本面向上方，以方便與天車系統配合而垂直地裝載或拿取光罩傳送盒（10）。第二埠口（未顯示）位於光罩裝載系統（200）側面且面對光罩儲藏系統（600），而水平地裝載或拿取光罩儲存盒（100）。

光罩裝載系統（200）配置成具有針對光罩傳送盒（10）與光罩儲存盒（100）的識別手段，如用於識別內盒及/或外盒上的RFID或二維條碼，這些資訊可關聯盒體或光罩的身分編號。所述識別手段更可包含透過盒的視窗檢測盒中光罩保護膜（Pellicle）有無破損及讀取二維條碼。

第一埠口（202）和第二埠口（204）分別對應光罩裝載系統（200）中的不同升降手段，意即光罩傳送盒（10）和光罩儲存盒（100）進入裝載環境後是分別由各自的升降手段所把持。所述裝載環境還包含針對光罩的一夾持手段，用於在光罩傳送盒（10）和光罩儲存盒（100）之間轉移光罩。有關升降手段、夾持手段的細節將於後續段落說明。

在光罩裝載系統（200）無法使用的情況中（如維修），光罩儲藏系統（600）可將光罩儲存盒（100）連同所需光罩送到第二埠口（204），光罩儲藏系統（600）提供一手動操作門，供工作人員通過該手動操作門取出光罩儲存盒（100），使光罩可在該光罩儲存盒（100）保護下安全取出。光罩儲藏系統（600）的頂部可配置有風機過濾單元（Fan-Filter Unit, FFU），其負責由外部吸氣供光罩儲藏系統（600）使用。此外，相應的排氣單元也是需要的。

第五A圖顯示本發明光罩儲存盒之分解側視圖，其中本發明光罩儲存盒包含專用內盒與專用外盒。在本發明的較佳實施例中，光罩儲存盒（100）為雙層盒結構且專用於本發明光罩儲櫃系統（600）的儲存櫃架。儘管專用於儲藏，本發明光罩儲存盒（100）與習知光罩傳送盒（10）一樣，依然具備保護光罩之密封手段，即盒體的接觸面具備良好密封及阻擋微塵設計。

專用於本發明光罩儲櫃系統（600）的光罩儲存盒（100）包含一專用外盒（102）與一專用內盒（101）。外盒（102）收納內盒（101­），而內盒（101­）的內部存放光罩（R）。外盒（102）由一外封蓋（150­）與一外基座（160）（亦可稱門）所組成，而內盒（101）由一封蓋（110­）與一基座（130）所組成。

第五A圖與第一圖的習知光罩傳送盒（10）比較之下，本發明光罩儲存盒（100）的外封蓋（150）因無需與天車系統配合，故移除了習知光罩傳送盒（10）的把手(52)，使光罩儲存盒（100）的整體高度低於習知光罩傳送盒（10）的整體高度。此外，第五A圖與第一圖的習知光罩傳送盒（10）比較之下，本發明外基座（160）的內側所提供的定位柱（161）也較短矮，使本發明外封蓋（150）和外基座（160）的高度小於第一圖習知光罩傳送盒（10）的外封蓋（50）和外基座（40）的高度。為了盡可能縮減本發明光罩儲存盒（100）的整體高度，外封蓋（150）兩側所提供的一對把手（151）則不高過外封蓋（150）的頂表面。變短的定位柱（161）使收容專用內盒（101）的空間高度得以降低。因此，本發明光罩儲存盒（100）的整體高度大幅小於習知光罩傳送盒（10）的高度，使得本發明光罩儲櫃系統（600）可收藏相對更多數量的專用光罩儲存盒（100）及光罩。

第五B圖為本發明專用外盒之外封蓋（150）的立體圖，其移除了與天車系統配合的結構設計。外封蓋（150­）具有一平坦頂面（152）及自該平坦頂面（152）向下延伸之環繞側面，把手（151）自環繞側面延伸而出且把手（151）基本上不高過平坦頂面（152），或者只超過平坦頂面（152）的微小高度。

第五C圖為本發明專用外盒之外基座（160）的立體圖，其底部配置包含多個氣閥（162）及定位槽（163），其中氣閥（162）可配合特定的連接埠用於將特定氣體供應至專用外盒（102）中或自專用外盒（102）排出氣體，定位槽（163）用於將專用外盒（102）定位在設備中的某個位置。

第五D圖顯示本發明專用內盒（101）之分解立體圖，包含封蓋（110­）、基座（130­）與一固持機構。封蓋（110­）與基座（130­）結合以界定一收藏空間，固持機構配置以支撐並限制一光罩（R）而收容於該收藏空間。封蓋（110­）的頂部基本上為平坦面且配置有濾膜蓋（112）並形成有多個特定形狀和排列的凹槽（114），本實施例以配置四個特定形狀和排列的凹槽（114）為例說明。

參閱第五E至J圖，相較於第一圖光罩傳送盒（10­）之內盒（11）結構，本發明光罩儲存盒（100­）之內盒（101­）的固持機構與光罩（R­）為倒角接觸。如第五F和五H圖所示，固持機構包含設置於封蓋（110）的內側四個角落的彈性下壓機構（即光罩限制器120），以及設置於基座（130）上側的四個支撐件（134），彈性下壓機構與支撐件（134）的數量與位置配置是配合封蓋（110）頂部的凹槽（114）位置設計。因此，這些光罩限制器（120）和支撐件（134）的位置彼此對應。當封蓋（110）與基座（130）結合以收容光罩（R）時，四個支撐件（134）及其對應的光罩限制器（120­）會接觸並限制光罩（R）的四個隅角（corners）。封蓋（110­）的中央處設置複數個氣體通道，其上側設置濾膜蓋（112）覆蓋於這些氣體通道上方。具體而言，濾膜蓋（112­）安裝於封蓋（110）的頂面中央凹陷處，如第五G圖，使濾膜蓋（112）不凸出於封蓋（110）的頂面。自封蓋（110）側面分別向外延伸的一對把手（111），可在光罩裝載系統（200）的開蓋作業中與特定的機構互動，其細節將於後續段落說明。

此外，封蓋（110）頂部的凹槽（114）位置與光罩限制器（120）的位置彼此對應。因此，當內盒（101）收容於外盒（102）時，封蓋（110）的凹槽（114）可對應嚙合外封蓋（150）內側所設置的下壓機構，使封蓋（110）獲得一下壓力，藉此加強專用內盒（101）的結合以及光罩（R）的固持，其細節將於後續段落進一步說明。

相較於第一圖光罩傳送盒（1­0­）的內盒（11­），本發明光罩儲存盒（100）的內盒（101）更穩固地收納光罩（R­）。藉由外盒（102）的外封蓋（150­）作用一外力於內盒（101­）的封蓋（110）頂面，促使封蓋（110­）內側面所設的彈性下壓機構（即光罩限制器120）穩定壓制光罩（R）的四個隅角。更具體而言，第一圖光罩傳送盒（10）為了在長距離傳送期間穩固光罩，而利用外盒（12）的外封蓋（50）直接作用一外力於內盒（11）的封蓋（30）所設的彈性下壓機構，使該彈性下壓機構作用於光罩的上表面。換言之，第一圖外封蓋（50）並非作用在封蓋（30）上。

相較於第一圖光罩傳送盒（10）的內盒（11）的基座（20），本發明光罩儲存盒（100）的內盒（101）的基座（130­）移除了基座（20）具有的複雜結構，這些被移除的複雜結構可包含基座（20）底面的反射雷雕、部分視窗框以及階差結構，使得本發明基座（130）無須額外的加工作業得以大幅降低成本，且基座（130）底面除了定位槽（132）與視窗（W）的配置之外為平坦表面。基座（130）具有用於偵測光罩（R）上二維條碼與護膜（Pellicle）的視窗（W）。基座（130）的底面與側邊因為連續平坦面，此無階差的設計更便於吹洗和清潔。

此外，基座（130­）上的護膜槽（131）深度較第一圖基座（20­）的護膜槽深度更深，使盒內有更好之氣流置換效率，增加相對溼度(RH%)下降速率，有利於長久保存光罩。基座（130­）形成有環繞溝槽（133）（如第六圖所示），且環繞溝槽（133）內對應光罩（R）的四個隅角的位置提供有四個支撐件（134­）。當封蓋（110）與基座（130）密封地結合後，環繞溝槽（133）的配置有助於捕捉進入盒內的微粒。

第五K圖顯示本發明專用內盒之基座（130）立體圖，第五L圖和第五M圖根據的五K圖中的虛線框分別放大顯示配置於環繞溝槽內的支撐件（134）。

第五N圖單獨顯示提供於本發明封蓋（110）內側之光罩限制器（120）。本發明封蓋（110­）之彈性下壓機構可由第五N圖所示光罩限制器（120）所實現。光罩限制器（120）包含一本體（12­1）與自本體（121）兩側以不同方向延伸出的一對彈性臂（122），每一彈性臂（122­）的一端連接本體（121），另一端則連接一限位部（123）。限位部（123）的一端連接彈性臂（122），另一端則連接一傾斜面（124­）。這兩個傾斜面（124）是從限位部（123）向上傾斜延伸，且遠離限位部（123）的兩個傾斜面（124）的末端連結在一起。具體而言，這兩個傾斜面（124）的末端共同連接至一壓制部（125），但本發明不以此為限制，如壓制部（125）可省略。

光罩限制器（120）的本體（121）提供有一螺孔，使光罩限制器（120）可經由已知的鎖固手段而固定至封蓋（110）內側。連接該對彈性臂（122）的兩傾斜面（124）用於分別觸碰光罩的一隅角的兩側上邊緣。在本實施例中，限位部（123）基本上為水平延伸結構，以配合如第五L及五M圖的支撐件（134），達到限制該對彈性臂（122­）橫向位移之效果，進而限制光罩之隅角的晃動。

第六A圖顯示本發明專用內盒之光罩限制器（120）與對應之支撐件（134）限制並支撐光罩的一隅角。第六B圖局部放大顯示本發明支撐件（134）限制了光罩限制器（120）的橫向位移。

本發明基座（130）的四個支撐件（134）分別設於基座（130）的四個隅角的環繞溝槽（133）內，分別用於支撐光罩（R）的對應隅角。支撐件（134）具有從環繞溝槽（133）中向上凸出的兩個支撐部，各支撐部形成有面向光罩（R）並往光罩（R）向下傾斜的一傾斜面（135）。該對傾斜面（135­）基本上呈正交關係，且分別觸碰並嚙合光罩（R）對應隅角的兩側下邊緣，如第六A圖所示。支撐件（134­）的每一支撐部的頂端還向上延伸出一限位塊（136）。限位塊（136）位於傾斜面（135）的頂端，不與光罩（R）干涉。當光罩（R）放置於支撐件（134）上時，每一支撐件（134）的兩個限位塊（136）分別位於光罩（R）隅角的兩側面。當封蓋（110）與基座（130）結合時，每一支撐件（134）的兩個限位塊（136）分別位於光罩限制器（120）的限位部（123）的外側，以限制連接該對彈性臂（122­）的限位部（123）的橫向位移，如第六A和六B圖所示。因此，當封蓋（110）與基座（130）結合時，光罩限制器（120）的兩個限位部（123）會被限制在每一支撐件（134）的兩個支撐部之間，使該對限位部（123）的橫向位移被限制住而降低光罩限制器（120）的晃動。在其他可能的實施例中，限位塊（136）位於限位部（123）的內側也是可行的。較佳地，如第六B圖所示，限位部（123）和限位塊（136）之間具有一緩衝間隙，避免硬件摩擦產生微粒。

第七A圖顯示本發明專用內盒之立體圖，第七B圖顯示本發明專用內盒根據第七A圖虛線之剖視圖。相較於第一圖光罩傳送盒（10）之內盒（11）結構，本發明內盒（101­）的封蓋（110）與基座（130）之間無特定的結合方向，封蓋（110）頂面為大面積的平坦面且無階梯結構，意即封蓋（110）整體大幅減少凹槽和稜角等結構。基座（130）的底面也減少或移除雷雕標示、視窗、配重塊和階差結構等設計，使本發明內盒（101）之封蓋（110）和基座（130）減少加工的工序而易於製造，有助於提高良率。此外，基座（130）形成有深度較為增加的護膜槽（131），使內盒（101）的收藏空間可獲得較佳的內外氣體置換效率，有助於控制所述收藏空間的相對溼度（RH%）。

此外，本發明內盒（101）之固持機構包含由所述光罩限制器（120）的一對彈性臂（122）配合光罩邊緣的倒角，以及，以支撐件（134）的一對限位塊（136）限制光罩限制器（120）的該對限位部（123），藉此固持光罩。支撐件（134）與光罩限制器（120）經由其傾斜面（135­）接觸光罩，此避免光罩上下表面產生印痕，且有助於維持光罩的水平狀態以及導正光罩。封蓋（110）與基座（130）之間的接觸面可經由已知手段形成密封接觸。在本實施例中，基座（130）的接觸面低於基座（130）的最高表面，且基座（130）的接觸面與最高表面由環繞溝槽（133）隔開，此有助於防止微粒進入護膜區域。

第八A圖顯示本發明專用外盒（102）之外封蓋（150）仰視圖，可見有四個下壓機構。第八B圖顯示下壓機構的細節及其作用於專用內盒之封蓋（110），外封蓋（150）省略未示。第九A圖顯示第五A圖光罩儲存盒（100）結合時之剖視圖。第九B圖顯示第九A圖虛線所指區域的局部放大圖。

當本發明專用外盒（102）內側配置這些下壓機構並容置專用內盒（101）時，外封蓋（150）提供一下壓外力作用於收容於該專用外盒（102）的專用內盒（101）。併參第五B和五C圖，本發明專用外盒（102）包含外封蓋（150­）與外基座（160­）。根據本發明進一步提供的下壓機構，外封蓋（150）與外基座（160）可用於收容不同結構之內盒，意即第二圖的內盒（11）或第五D圖的內盒（101）。在本實施例中，所述不同結構之內盒是以本發明專用內盒（101）與光罩傳送盒（10）的內盒（11）進行說明，兩者在封蓋（110、30）的頂面具有不同的配置，但本發明不以此兩種內盒為限制。

提供於外封蓋（150）內側朝下表面的每一個下壓機構，其位置大致上與不同結構的內盒（101、11）固持光罩的四個隅角的位置對應。每一個下壓機構包含一第一下壓機構與一第二下壓機構，其中所述第一下壓機構配置成僅能提供下壓力給光罩傳送盒（10）的內盒（11）的封蓋（30），但不能作用在本發明專用內盒（101）的封蓋（110）上。反之，所述第二下壓機構配置成僅能提供下壓力給本發明專用內盒（101）的封蓋（110），不能作用在光罩傳送盒（10）的內盒（11）的封蓋（30）上。此外，本發明未限制第一下壓機構和第二下壓機構是分開的元件或是一體成形的單一元件。

參閱第八A圖，本發明下壓機構配置於外封蓋（150）的朝下表面，大致上對應光罩的隅角處。在本實施例中，所述第一下壓機構為一馬蹄形下壓肋（153），所述第二下壓機構為一下壓柱（154），兩者可為彈性材質。具體而言，馬蹄形下壓肋（153）為蜿蜒的U型延伸結構，下壓柱（154）位於馬蹄形下壓肋（153）的內側，或下壓柱（154）為馬蹄形下壓肋（153）所圍繞。本實施例的下壓柱（154）為Y型結構，但本發明不以此為限制。

參閱第八B圖，為了第一下壓機構和封蓋（110）的凹槽（114）可相配合，馬蹄形下壓肋（153）為特定的尺寸和形狀。當本發明光罩儲存盒(100)的專用外盒（102）收納專用內盒（101）時，專用外盒（102）的外封蓋（150）內側面所配置的馬蹄形下壓肋（153）正好分別進入封蓋（110）對應的凹槽（114）內，且馬蹄形下壓肋（153）的下表面接觸凹槽（114）的底面，使外封蓋（150）的重量可經由馬蹄形下壓肋（153）作用於封蓋（110），但下壓柱（154）因其尺寸而未能接觸凹槽（114）的底面。如第九A和九B圖所示，當外封蓋（150）結合外基座（160）容置專用內盒（101）時，因馬蹄形下壓肋（153）的垂直尺寸大於下壓柱（154）的垂直尺寸，馬蹄形下壓肋（153）的下端能進入凹槽（114）並抵持凹槽（114）的底面，而下壓柱（154）則懸空於凹槽（114）中。換言之，當專用外盒（102）容置專用內盒（101）時，下壓柱（154）不與封蓋（110）產生作用。此外，凹槽（114）的側壁可限制馬蹄形下壓肋（153）的橫向位移，防止專用內盒（101）於專用外盒（102）中橫向晃動。

第十A圖顯示光罩傳送內盒（11）之立體圖。第十B圖顯示下壓機構作用於光罩傳送盒（10­）之內盒（11）的封蓋（30）的對應機構，外封蓋（150）省略未示。第十C圖放大顯示下壓機構與光罩傳送盒（10­）之內盒（11）的對應機構。

在內盒（11）的封蓋（30）上，大致上對應光罩隅角的位置，提供有對應的彈性下壓機構。彈性下壓機構包含一下壓銷（32）以及固定該下壓銷（32）的帽蓋（34）。具體而言，下壓銷（32）的頂端暴露於封蓋（30）的頂部，下壓銷（32）的下端則向下延伸至封蓋（30）內側而暴露於內盒（11）的收藏空間。當內盒（11）收容一光罩且下壓銷（32）的頂端被施予一下壓力時，則下壓銷（32）會被迫下降，使下壓銷（32）的下端抵持在光罩的上表面，以固持光罩。

當本發明光罩儲存盒（100）的專用外盒（102）收納第十A圖的內盒（11）時，專用外盒（102）的外封蓋（150）內側面所提供的下壓機構能作用於內盒（11）的彈性下壓機構。具體而言，如第十B圖所示，因馬蹄形下壓肋（153）和下壓柱（154）的垂直尺寸不同，下壓機構的下壓柱（154）的底端能抵持在下壓銷（32）的暴露頂端，藉此外封蓋（150）的重量經由下壓柱（154）而下壓於下壓銷（32）的暴露頂面，馬蹄形下壓肋（153）則圍繞在帽蓋（34）的周圍不與封蓋（30）作用。如第十C圖所示，馬蹄形下壓肋（153）的內壁可限制帽蓋（34）的橫向位移，進而避免內盒（11）在專用外盒（102）中的橫向晃動。

本實施例下壓柱（154）的Y型結，其目的在於使下壓柱（154）和帽蓋（34）能產生結構干涉，避免下壓柱（154）過度下壓下壓銷（32），導致光罩不當受力。較佳地，馬蹄形下壓肋（153）與帽蓋（34）之間具有適當緩衝間隙，可避免硬件摩擦產生微粒。

第十一A圖顯示以本發明光罩儲存盒的專用外盒（102）容置專用內盒（101）之剖視圖。第十一B圖顯示以本發明光罩儲存盒的專用外盒（102）容置非專用內盒（11）之剖視圖。言下之意，本發明提供的專用外盒（102），因含有由兩種結構組成的下壓機構，故除了可容置因應儲藏目的所提出的專用內盒（101），亦可容置已在本領域廣泛使用的既有內盒（11）。而且，對於這兩種不同配置和使用目的之內盒（11、101）來說，這樣的下壓機構均可有效達成穩定容置的效果。

第十二圖為本發明專用內盒（101）之封蓋（110）與非專用的內盒（11）之封蓋（30）之視圖重疊。凹槽（114）的體積大於彈性下壓機構的帽蓋（34），且彈性下壓機構的下壓銷（32）的頂部高度高於凹槽（114）的底面，如圖中顯示的垂直落差（H），俾使專用內盒（101）或非專用內盒（11）收容於專用外盒（102）時，馬蹄形下壓肋（153）恰可抵壓凹槽（114）的底面，或者外封蓋（150）的下壓柱（154）的底面恰可抵壓下壓銷（32）的頂端。換言之，為了配合專用內盒和非專用內盒，本發明外封蓋（150）內側提供的第一下壓機構（如馬蹄形下壓肋153）和第二下壓機構（如下壓柱154）的垂直尺寸基本上也具有如同所述垂直落差（H）的高度差異。

第十三圖為本發明光罩裝載系統（200）的外觀立體圖。第十四圖為本發明光罩裝載系統（200）的配置示意圖。

本發明光罩裝載系統（200）具有一第一埠口（202），支援E84規範，允許光罩傳送盒（10）的載入或卸除，以及一第二埠口（204），連接至如第四圖光罩儲櫃系統（600）的一連接通道，以允許光罩儲存盒（100）的載入或卸除。具體而言，廠務的天車系統可與第一埠口（202）配合而將光罩傳送盒（10）載入至光罩裝載系統（200）或自光罩裝載系統（200）取出光罩傳送盒（10）；第二埠口（204）可與光罩儲櫃系統（600）中的機械手臂配合而將光罩儲存盒（100）在光罩儲櫃系統（600）的環境和光罩裝載系統（200）的環境之間轉移。在本實施例中，第二埠口（204）位於光罩裝載系統（200）的背面，故未見於第十三圖中。

光罩裝載系統（200）配置成具有針對光罩傳送盒（10）與光罩儲存盒（100）的辨識和檢查手段，像是與盒體或光罩有關的RFID讀取手段、二維條碼讀取手段、光罩護膜（Pellicle）檢查手段。

第一埠口（202）和第二埠口（204）分別對應一第一升降手段和一第二升降手段。在本實施例中，第一升降手段（A）主要控制一升降台來承載光罩傳送盒（10），第二升降手段（B）主要控制另一升降台來承載光罩儲存盒（100）。第一升降手段（A）致使升降台可停留在不同的垂直高度，由高至低分別為A0、A1及A2。同樣地，第二升降手段（B）致使升降台可停留在不同的垂直高度，由高至低分別為B0、B1及B2。如第十四圖所示，位於高度A0和B0的光罩傳送盒（10）與光罩儲存盒（100）均為未打開的狀態，位於高度A1和B1的光罩傳送盒（10）與光罩儲存盒（100）則均為打開的狀態（圖中未顯示），而位於高度A2和B2的光罩傳送盒（10）與光罩儲存盒（100）均已被打開且其中一者可暴露光罩。更具體而言，當光罩傳送盒（10）與光罩儲存盒（100）位於高度A1和B1，一開蓋手段介入而使外封蓋及內封蓋自外基座和內基座分離。更具體而言，當光罩傳送盒（10）與光罩儲存盒（100）位於高度A2和B2，只剩下各自的外基座和內基座還在升降台上，內外封蓋因被擋住而沒有下降至A2和B2的高度，而此時光罩可位於一光罩轉移環境（206）。

光罩轉移環境（206）的條件可和高度A0、A1、B0及B1不相同，確保光罩的轉移風險較低。光罩轉移環境（206）包含一光罩夾持機構，其配置成將光罩自基座上拿起或將光罩放置在基座上，使光罩可在光罩傳送盒（10）的基座與光罩儲存盒（100）的基座之間轉移。

此外，光罩儲櫃系統（600）中的機械手臂可經由第二埠口（204）拿取光罩裝載系統（200）中的光罩儲存盒（100）。若光罩裝載系統（200）因故障而無法運作而其內部仍有光罩儲存盒（100）時，光罩儲櫃系統（600）的機械手臂可將光罩儲存盒（100）暫時取出，藉此確保光罩儲櫃系統（600）的專用盒不會因維修光罩裝載系統（200）而受到汙染。

為了確保光罩裝載系統（200）中的環境也有一定的潔淨度，如第十三圖所示，機櫃的上方設置有風機過濾機組（Fan-Filter Unit， FFU），負責進氣、過濾及排氣。

第十五圖及第十六圖是根據第十四圖實施例的光罩載入及卸除流程圖。

在步驟1500A，經由第一埠口（202）載入光罩傳送盒（10），光罩傳送盒（10）包含收容有一光罩之內盒與收容該內盒的外盒，其中該光罩因未被使用或使用完畢而需要被儲藏。所述內盒和外盒可分別對應第一圖的內盒（11）和外盒（12）。

在步驟1500B，從光罩儲櫃系統（600）載入光罩儲存盒（100），光罩儲存盒（100）包含空的專用內盒與收容專用內盒的專用外盒。光罩儲櫃系統（600）已存放有多個光罩儲存盒（100）。該步驟所載入的是空的專用盒。所述專用內盒和專用外盒可對應第五A圖的專用內盒（101）和專用外盒（102）。

在步驟1502，光罩裝載系統（200）分別檢測光罩傳送盒（10）與光罩儲存盒（100）；執行光罩傳送盒（10）的內盒和外盒開蓋動作；執行光罩儲存盒（100）的專用外盒和專用內盒開蓋動作；及下降光罩傳送盒（10）的外基座與光罩儲存盒（100）的外基座至光罩轉移環境（206）。具體而言，此步驟可涵蓋第十四圖第一升降手段A和第二升降手段B的位置A0至A2以及B0至B2。

在步驟1504，從光罩傳送盒（10）的基座上拿取光罩，並將光罩轉移至光罩儲存盒（100）之基座上。此步驟的轉移是由一光罩夾持機構實現，而且光罩是在具有高潔淨度的光罩轉移環境（206）中進行移動，以降低光罩汙染風險。

在步驟1506，將光罩傳送盒（10）和光罩儲存盒（100）恢復至關閉狀態。此時，光罩傳送盒（10）為空盒，而光罩儲存盒（100）載有待儲藏的光罩。

在步驟1508，將載有光罩的光罩儲存盒（100）傳送至光罩櫥櫃系統（600）所指定的一存放架上。較佳地，所述存放架的指定是根據存放架與第十四圖的第二埠口（204）之間的機械手臂最短移動路徑。

在步驟1510，執行一填氣手段，將非反應氣體填入光罩儲存盒（100）中，完成光罩的儲藏。具體而言，所述存放架具有連接致光罩儲存盒（100）的專用管路和連接器，可對光罩櫥櫃系統（600）的專用外盒填充氮氣。換言之，儲藏的專用內盒是存放在一特定氣體環境中。

在步驟1600A，從第一埠口（202）載入光罩傳送盒（10），光罩傳送盒（10）包含空的內盒與收容該內盒之外盒。所述內盒和外盒可對應第一圖的內盒（11）和外盒（12）。

在步驟1600B，從光罩儲櫃系統（600）載入光罩儲存盒（100）至光罩裝載系統（200），光罩儲存盒（100）包含收容一光罩的專用內盒與收容該內盒的專用外盒。所述專用內盒和專用外盒可對應第五A圖的專用內盒（101）和專用外盒（102）。此步驟中的光罩是已先存放在從光罩儲櫃系統（600）中並將被取出為各種應用。

在步驟1602，光罩裝載系統（200）分別檢測光罩傳送盒（10）與光罩儲存盒（100）；將光罩傳送盒（10）的內盒和外盒打開；將光罩儲存盒（100）的內盒和外盒打開；下降光罩傳送盒（10）與光罩儲存盒（100）的外基座至光罩轉移環境（206）。

在步驟1604，從光罩儲存盒（100）的基座上拿取光罩，並將光罩放置於光罩傳送盒（10）的基座上。類似的，光罩裝載系統（200）以光罩夾持機構將光罩從光罩儲存盒（100）的基座上轉移至光罩傳送盒（10）的基座上，且光罩是在光罩轉移環境（206）中移動。

在步驟1606，將光罩傳送盒（10）和光罩儲存盒（100）恢復至關閉狀態。此時，光罩傳送盒（10）載有光罩，而光罩儲存盒（100）為空盒。

在步驟1608，將載有光罩的光罩傳送盒（10）從第一埠口（202）移出光罩裝載系統（200）。具體而言，第一埠口（202）可和天車系統配合，使光罩傳送盒（10）被取出。空的光罩儲存盒（100）則被送回光罩儲櫃系統（600）的適當區域等待下一次被利用。

第十七圖顯示本發明一光罩轉移具體流程圖，以下配合第十四圖進行說明，其中左半部為第一升降手段（A）所執行，右半部為第二升降手段（B）所執行，其餘為共同執行。

步驟1700A，從第一埠口（202）載入光罩傳送盒（10）至光罩裝載系統（200）的第一升降手段（A），光罩傳送盒（10）包含內盒與收容該內盒之外盒。具體而言，第一升降手段（A）的升降台停在高度A0以接收並承載光罩傳送盒（10）。

步驟1700B，從光罩儲藏系統（600）經一連接通道載入光罩儲存盒（100）至光罩裝載系統（200）的第二升降手段（B），光罩儲存盒（100）包含專用內盒與收容該內盒之專用外盒。具體而言，第二升降手段（B）的升降台停在高度B0以接收並承載光罩儲存盒（100）。

在步驟1702A，抓持光罩傳送盒（10）的外盒的封蓋，使第一升降手段（A）的升降台從A0下降至A1時，外盒的封蓋與外盒基座順勢分離。當升降台位於A1時，外盒的封蓋已被移除，僅剩外盒的基座和內盒位於升降台上。

在步驟1702B，抓持光罩儲存盒（100）的外盒的封蓋，使第二升降手段（B）的升降台從B0下降至B1時，外盒的封蓋與外盒基座順勢分離。當升降台位於B1時，外盒的封蓋已被移除，僅剩外盒的基座和內盒位於升降台上。

在步驟1704A，抓持光罩傳送盒（10）的內盒的封蓋，使第一升降手段（A）的升降台從A1降至A2時，內盒的封蓋與基座順勢分離。當升降台位於A2時，內盒的封蓋已被移除，僅剩外盒的基座和內盒的基座。在升降台從A0下降至A2的期間，光罩裝載系統（200）可適時讀取內盒的二維條碼、光罩的二維條碼及/或檢測護膜狀態。

在步驟1704B，抓持光罩儲存盒（100）的內盒的封蓋，使第二升降手段（B）的升降台從B1降至B2時，內盒的封蓋與基座順勢分離。當升降台位於B2時，內盒的封蓋已被移除，僅剩外盒的基座和內盒的基座。在升降台從B0下降至B2的期間，光罩裝載系統（200）可適時讀取內盒的二維條碼、光罩的二維條碼及/或檢測護膜狀態。

在步驟1706，以光罩裝載系統（200）的光罩夾持機構將一光罩在光罩傳送盒（10）的內盒的基座和光罩儲存盒（100）的內盒的基座之間轉移。光罩夾持機構的具體實施例可參閱第十九A至十九C圖及其說明。

在步驟1708A，將第一升降手段（A）的升降台從高度A2升至A1，使光罩傳送盒（10）的內盒的封蓋順勢結合內盒的基座。

在步驟1708B，將第二升降手段（B）的升降台從高度B2升至B1，使光罩儲存盒（100）的內盒的封蓋順勢結合內盒的基座。

在步驟1710A，將第一升降手段（A）的升降台從高度A1升至A0，使光罩傳送盒（10）的外盒的封蓋順勢結合外盒的基座。

在步驟1710B，將第二升降手段（B）的升降台從高度B1升至B0，使光罩儲存盒（100）的外盒的封蓋順勢結合外盒的基座。

在步驟1712A，經由第一埠口（202）移出光罩傳送盒（10）。第一升降手段（A）的升降台高於A0並使光罩傳送盒（10）暴露在光罩裝載系統（200）的第一埠口（202），等待天車系統的後續動作。

在步驟1712B，經由光罩儲藏系統（600）的連接通道將光罩儲存盒（100）載入至光罩儲藏系統（600）。光罩儲藏系統（600）的機械手臂可進入光罩裝載系統（200）並從第二升降手段（B）拿取光罩儲存盒（100）。

在上述實施例中，第一升降手段（A）和第二升降手段（B）可各自針對光罩傳送盒（10）和光罩儲存盒（100）執行專用客製化的操作，像是第一升降手段（A）可配置成針對光罩儲存盒（100）的外盒執行鎖定和解鎖。

第十八圖顯示本發明光罩裝載系統的一具體實施例，具有如第十四圖所示第一升降手段（A）和第二升降手段（B）。可以看到，第一升降手段（A）具有一外盒封蓋支撐面（1800A），其基本上僅接觸光罩傳送盒（10）的外盒的封蓋，意即外盒封蓋支撐面（1800A）的中央基本上具有允許外盒的基座落下的一鏤空。至於光罩傳送盒（10）的外盒的基座則由升降台（1802A）承載。因此，當光罩傳送盒（10）的外盒未鎖定時，升降台（1802A）的下降可順勢將外盒的封蓋和基座分離，使外盒的基座連同內盒一起下降，達到開盒目的。關盒也是類似的，當升降台（1802A）上升至與外盒封蓋支撐面（1800A）大致上齊平的高度時，光罩傳送盒（10）的外盒的封蓋則順勢與基座結合。

第二升降手段（B）可以具有類似的配置，來實現對光罩儲存盒（100）的操作。儘管第十八圖僅顯示光罩傳送盒（10）的外盒開啟，光罩傳送盒（10）的內盒的開啟可由其他機構的介入而開啟。光罩儲存盒（100）亦可由相同的機制進行開啟和關閉。此外，光罩裝載系統（200）中可提供適當的辨識裝置或感測單元，以在光罩傳送盒（10）和光罩儲存盒（100）被打開時適時識別盒上的相關資訊，像是RFID和二維條碼。

第十九A、十九B及十九C圖顯示用於光罩裝載系統中的光罩夾持機構（1900）的具體實施例。光罩夾持機構（1900）配置於如第十四圖所示光罩轉移環境（206）中，且具有一軌道（1902）及一夾持組件（1904）。軌道（1902）固定於光罩裝載系統（200）的內側，如第二十圖所示，夾持組件（1904）受到控制而能在軌道（1902）上進行橫向移動。夾持組件（1904）具有一對夾持臂（1906）及一對接觸板（1908）。該對接觸板（1908）可受驅動而相互靠近，並藉由其契合部（1910）與光罩（R）的周圍結合，實現夾住光罩（R）的目的。光罩夾持機構（1900）不具備垂直移動的能力，故必須下降升降台才能使光罩（R）離開基座。

第二十圖顯示光罩夾持機構（1900）與升降台（2000）的配合的側視圖。承載外盒(12)的外基座（40）、內盒(11)的基座（20）及光罩（省略未顯示）的升降台（2000）下降至光罩夾持機構（1900）的下方，如第二十圖中的右圖。接著，夾持組件（1904）水平移動至升降台（2000）承載的光罩（R）上方。升降台（2000）上升至光罩可被夾取的高度，如第二十圖中的左圖。夾持組件（1904）夾住光罩後，升降台（2000）下降。夾持組件（1904）水平移動至另一升降台（未顯示）的上方。同樣地，另一升降台上升至內盒的基座可承接光罩的高度。夾持組件（1904）釋放光罩完成轉移的動作。在光罩夾持機構（1900）不需運作的期間，夾持組件（1904）可移動至兩個升降手段之間，避免動作干擾。第二十圖中虛線顯示夾持組件（1904）在移動的過程中是維持在相同的高度。

第二十一圖例示光罩裝載系統的異常處理流程，尤其是如第十四圖第一升降手段（A）或第二升降手段（B）的升降台的光罩傳送盒（10）裝載異常處理流程。

在光罩傳送盒（10）裝載異常而停機的情況中，光罩裝載系統（200）可顯示異常狀態並偵測一初始化按鍵是否啟動。當初始化按鍵啟動後，致使光罩裝載系統（200）全機初始化。升降台將光罩傳送盒（10）歸位至高度A0。

在光罩儲存盒（100）裝載異常而停機的情況中，光罩裝載系統（200）可顯示異常狀態並偵測一初始化按鍵是否啟動。當初始化按鍵啟動後，致使光罩裝載系統（200）全機初始化。升降台將該光罩儲存盒（100）歸位至高度B0。

在第一升降手段（A）和第二升降手段（B）的升降台位於高度A2、B2發生轉換異常而停機的情況中，光罩裝載系統（200）可顯示異常狀態並偵測一初始化按鍵是否啟動。當該初始化按鍵啟動後，致使光罩裝載系統（200）全機初始化。光罩夾持機構（1900）將光罩置於光罩傳送盒（10）之內盒或光罩儲存盒（100）之內盒。第一升降手段（A）和第二升降手段（B）的升降台分別歸位至高度A0及B0。

第二十二圖例示光罩裝載系統（200）的另一異常處理流程，其更包含護膜狀態的檢查。光罩裝載系統（200）還可偵測是否有一鍵退片是否啟動，而執行各種動作，以將光罩歸位至光罩傳送盒（10）或光罩儲存盒（100），或將光罩儲存盒（100）歸位至指定的存放架。

第二十三圖例示所述光罩夾持機構異常處理流程，其視光罩來自光罩傳送盒（10）的內盒或來自光罩儲存盒（100）的內盒，光罩夾持機構（1900）可將光罩歸位至光罩傳送盒（10）的內盒或來自光罩儲存盒（100）的內盒，接著再將光罩傳送盒（10）或光罩儲存盒（100）歸位至初始化流程指定的位置。

第二十四圖本發明光罩裝載系統及光罩儲藏系統方塊示意圖。光罩櫥櫃系統（600）包含一或多個儲放櫃（602）。儲放櫃（602）包含垂直堆疊的多個存放架（604）。儲放櫃（602）可大致上區分為上層區與下層區。儲放櫃（602）的每一存放架（604）上可放置一專用光罩儲存盒（100），專用光罩儲存盒（100）由一專用外盒與一專用內盒組成，其中專用外盒適於收容並穩固專用內盒，專用內盒適於收容並穩固一光罩。所述專用內盒和專用外盒可對應第五A圖所示的專用內盒（101）和專用外盒（102）。

儲放櫃（602）的部分存放架（604）可規劃成一緩衝區（606，Buffer Zone），緩衝區（606）用以存放已清潔的光罩儲存盒（100）或使用過的光罩儲存盒（100）。已清潔過的光罩儲存盒（100）為空盒，等待被提供至光罩裝載系統（200）中接收待收藏的光罩。使用過的光罩儲存盒（100）是指從光罩裝載系統（200）退回的空盒，其由於在光罩轉換的過程中度暴露在較低潔淨度的環境，故有污染的風險。

光罩櫥櫃系統（600）包含一管理手段（608），其主要配置成管理儲放櫃（602）所存放的光罩資訊，以及監測儲放櫃（602）內環境溫度和溼度。例如，採用氧氣檢測單元檢測櫃體內環境氧氣濃度。較佳地，儲放櫃（602）內環境符合Class 10潔淨度，且充氣氣體符合Class 1潔淨度。光罩櫥櫃系統（600）還包含一控制手段（610），控制一機械手臂（609）將光罩儲存盒傳送至指定的一般存放區或緩衝區（606）的存放架（604）。光罩櫥櫃系統（600）還包含一流量控制手段（612），負責儲放櫃（602）的各種流量控制，特別是連接至各存放架（604）的非反應氣體。例如，採用流量控制器（Mass Flow Controller）控制一或多個氮氣主管路的流量。流量控制手段（612）還包含控制光罩櫥櫃系統（600）頂部配置的風機過濾機組（Fan-Filter Unit、FFU）以及光罩櫥櫃系統（600）底部配置的抽氣模組。

光罩櫥櫃系統（600）還包含一清洗裝置（614），鄰近緩衝區（606）以提供乾淨的光罩儲存盒（100）給儲放櫃（602），以及從儲放櫃（602）接收使用過的光罩儲存盒（100）。

第二十五圖為本發明光罩儲藏系統（600）的俯視圖，其顯示光罩儲藏系統內部的具體配置。儲放櫃（602）主要沿著光罩儲藏系統（600）的內側壁面放置，機械手臂（609）位於光罩儲藏系統（600）的中央，且可存取這些儲放櫃（602）的每一個存放架（604）。

第二十六A圖顯示本發明存放架（604）的具體實施例立體圖。第二十六B圖顯示存放架（604）的底部配置。

每一存放架（604）為具有一前端（2600）與一後端（2602）之平板架體。架體具有朝上的一承載面及朝下的一底面。架體的前端（2600）形成有一缺口，該缺口提供機械手臂（609）動作所需空間，使機械手臂（609）可順利將光罩儲存盒（100）放置在存放架（604）上或從存放架（604）取下光罩儲存盒（100）。架體的後端（2602）配置有氮氣充氣管路（2604），其上游端連接至一氮氣源，下游端連接至平板架體的一對噴嘴（2606），同時供應氮氣。

每一存放架（604）的承載面上提供有三個動態耦合定位柱（2608，Kinematic Coupling Pin）用於支撐光罩儲存盒（100）的底部，其中兩個定位柱（2608）靠近前端（2600）且位於缺口的兩側，另一個定位柱（2608）位於架體的後端（2602），使存放架（604）主要藉由這三個定位柱（2608）支撐並定位光罩儲存盒（100）。具體而言，這三個定位柱（2608）分別對應如第五C圖所示外基座的定位槽（163）或第五I圖所示基座（130）的定位槽(132)，視存放架（604）支撐的是專用盒的外盒或內盒而定。

存放架（604）的承載面還提供有一止擋部（2610），用於限制光罩儲存盒（100）。較佳地，止擋部（2610）上可標示有可供機械手臂（609）辨識的資訊。所述資訊亦可標示在存放架（604）的前端（2600）。如圖所示，架體的兩側還形成有用於限制光罩儲存盒（100）的側壁。存放架（604）的架體兩側經由一對連接臂（2612）而固定至一壁面或一框架的垂直分支上，以建立多個存放架（604）的垂直堆疊。所述定位柱（2608）、止擋部（2610）及側壁可為PEEK塑料材質，減少摩擦產生的微粒。

第二十七A圖顯示所述存放架（604）具有光罩儲存盒（100）。第二十七B圖顯示所述存放架（604）具有光罩儲存盒（100）時的底部視圖。第二十七C圖顯示所述存放架（604）具有光罩儲存盒（100）時的另一視圖。

如同第五A圖所示，光罩儲存盒（100）包含的專用內盒（101）和專用外盒（102），其中專用外盒（102）具有一外封蓋（150）與一外基座（160）。外基座（160）的底部配置有栓鎖機構（2700），用於將外封蓋（150）與外基座（160）互鎖或解鎖。當光罩儲存盒（100）載入如第十四圖所示光罩裝載系統（200）的升降台時，第二升降手段（B）中所提供的操作機構能與外基座（160）的栓鎖機構（2700）配合而外盒（102）上鎖或解鎖。

當光罩儲存盒（100）放在指定的存放架（604）時，存放架（604）的定位柱（2608）配合光罩儲存盒（100）底部的對應定位槽（163），而將光罩儲存盒（100）定位於存放架（604）上。具體而言，存放架（604）的定位柱（2608）是位於對應定位槽（163）的一外端，即遠離栓鎖機構（2700）的一端，而每個定位槽（163）靠近栓鎖機構（2700）的內端則經由缺口而暴露，俾使機械手臂（609）向光罩儲存盒（100）的底部靠近時，機械手臂（609）的定位柱(2804)可齧合對應定位槽（163）的近端。

第二十八A圖顯示所述存放架（604）與機械手臂（609）的具體實施例的俯視圖，其中機械手臂（609）位於光罩儲存盒（100）的下方，存放架（604）上的光罩儲存盒（100）底部的定位槽（163）以虛線表示。第二十八B圖顯示機械手臂（609）進入存放架（604）下方而提取光罩儲存盒（100）的側視圖。第二十八C圖顯示機械手臂（609）將光罩儲存盒（100）從存放架（604）取下的側視圖。

機械手臂（609）具有一前端（2800）及一後端（2802），前端（2800）基本上為箭頭形狀的平板，其朝上的承載面具有三個定位柱（2804），且這三個定位柱（2804）洽好對應光罩儲存盒（100）底部的定位槽（163）的內端，而存放架（604）的定位柱（2608）則對應齧合定位槽（163）的外端。換言之，本發明光罩儲存盒（100）底部的定位槽（163）至少是從存放架（604）的平板架體的範圍延伸至缺口的範圍，但本發明不以此為限制。後端（2802）連接至傳動機構，因此機械手臂（609）可至少橫向和縱向移動。

如第二十八A及二十八B圖所示，當機械手臂（609）靠近光罩儲存盒（100）時，機械手臂（609）的前端（2800）首先伸入目標存放架（604）的缺口下方，且機械手臂（609）的定位柱（2804）對準光罩儲存盒（100）底部的對應的定位槽（163）。

機械手臂（609）上升使定位柱（2804）與光罩儲存盒（100）底部的定位槽（163）齧合。機械手臂（609）繼續上升以將光罩儲存盒（100）抬離存放架（604），且抬升高度至少超過存放架的前端（2600）高度，以允許機械手臂（609）退出存放架（604），如第二十八C圖所示。

在確定機械手臂（609）可存取每一光罩儲存盒（100）之作業所最小需空的情況下，上下存放架（604）之間的高度可達最小化，以爭取最大的儲藏效率。

第二十九圖顯示所述存放架（604）的上游供氣管路（2900）及其流量控制手段。供氣管路（2900）的下游連接至如第二十六A圖的充氣管路（2604）。因此，氮氣可經由存放架（604）的噴嘴（2606）以及如第五C圖所示光罩儲存盒（100）的對應兩個氣閥（162）供應至盒內。至於光罩儲存盒（100）的另外兩個未連接之氣閥（162）則將盒內氣體排出，故位於存放架（604）上的光罩儲存盒（100）的光罩容置空間具有對流氣體。各供氣管路（2900）上游的流量控制手段可包含球閥（2901）、流量顯示器（2902）、限流閥（2903）、過濾器（2904）、溫濕度計（2905）、機械式壓力錶（2906）、電子式壓力錶（2907）、調壓閥（2908）以及具有壓力計（2910）和氣閥（2911）的主管路（2909），但本發明不以此為限制。

第三十圖顯示連接至所述存放架（604）的上游供氣管路的兩個具體實施例。在有流量控制器（3000）的配置中，提供於存放架（604）上的一或多個感應器可根據存放架（604）上有無光罩儲存盒（100）而傳送偵測訊號至流量控制器（3000），使流量控制器（3000）據以控制進入存放架（604）的氣體流量。例如，當存放架（604）具有專用盒時，供應氮氣；當存放架（604）沒有專用盒時，關閉氮氣供應。在有針閥（3002）的配置中，可手動調整供應至存放架（604）的氣體流量，甚至可維持在持續供氣的狀態。無論使用何種氣體，過濾器（3001）確保氣體中的雜質降低。

第三十一圖例示光罩櫥櫃系統（600）的機械手臂（609）異常處理流程，包含檢查護膜狀態，以及依護膜狀態選擇性令光罩傳送盒（非專用盒）或光罩儲存盒（專用盒）執行特定動作而歸位至指定位置。

第三十二圖顯示本發明光罩裝載裝置（200’）及光罩儲藏系統（600’）的另一實施例示意圖。本實施例的儲放櫃（602）的每一存放架（604）僅供應如同第五A圖所示的專用光罩儲存盒（100）的專用外盒（102），未提供光罩儲存盒（100）的專用內盒（101），但專用外盒（102）可收容從光罩裝載系統（200’）所得到的內盒，也就是如第一圖所示非專用的光罩傳送盒（10）的內盒（11）。因此，本實施例的光罩裝載系統（200’）目的是轉移收容有光罩的內盒。除此之外，其餘配置大致上與第二十四圖的實施例相同，相關說明不再贅述。有關光罩裝載系統（200’）和光罩儲藏系統（600’）的細節將於後續描述。

本實施例光罩儲藏系統（600’）之所以不供應專用內盒，是因為本發明光罩儲存盒（100）的專用外盒（102）具有如同第八A圖所示的下壓機構，可相容非專用內盒。如第八A圖及第十一B圖所示，當儲放櫃（602）的專用外盒（102）容置非專用內盒（11）時，專用外盒（102）的馬蹄形下壓肋（153）圍繞並限制帽蓋（34），下壓柱（154）抵持於內盒(11)的封蓋（30）上的下壓銷（32），藉此可實現非專用內盒（11）及光罩的收藏。此具有的好處是，光罩在轉移的過程中不會暴露在盒外的環境，所以降低微粒汙染的風險。

第三十三圖為根據第三十二圖實施例的光罩載入流程圖，其中左半部為第一升降手段（A）所執行，右半部為第二升降手段（B）所執行。

在步驟3300A，天車系統或手動經由第一埠口（202）載入光罩傳送盒（10）至光罩裝載系統（200’），光罩傳送盒（10）包含收容有光罩的內盒（11）與外盒（12）。載入的光罩傳送盒（10）由第一升降手段（A）的升降台在高度A0接收。

在步驟3300B，經由第二埠口（204）從光罩儲櫃系統（600’）載入專用盒的專用外盒（102）至光罩裝載系統（200’），其中載入的專用外盒（102）是未收容任何內盒的空盒。具體而言，光罩儲櫃系統（600’）的機械手臂（609）將專用外盒（102）放置在第二升降手段（B）的升降台，即高度B0的位置。

在步驟3302，檢測光罩傳送盒（10）與專用外盒（102），例如辨識盒體上或盒體內標示的資訊以及光罩護膜的狀態。分別下降第一升降手段（A）和第二升降手段（B）的升降台至高度A2和B2。下降的過程中，非專用外盒（12）以及專用外盒（102）經由類似的機制而被順勢開啟。在高度A2和B2的第一升降手段（A）的升降台僅承載外基座（40）和內盒（11），第二升降手段（B）的升降台僅承載專用盒的外基座（160），且兩者位於光罩轉移環境（206）。應了解，由於本實施例無需打開內盒（11），所述光罩轉移環境（206）可符合轉移內盒的潔淨度即可。再者，由於本實施例無需打開內盒（11）來轉移光罩，故與第十四圖的實施例相比，第一升降手段（A）和第二升降手段（B）可省略高度A1和B1的相關動作。

在步驟3304，光罩裝載系統（200’）的夾持機構提取內盒（11）並將內盒（11）轉移至專用盒的外基座（160）上。所述夾持機構可類似於第十九A圖的配置，但適用於內盒（11）。所述夾持機構的動作類似於第二十圖的說明。

在步驟3306，完成內盒（11）的轉移後，第一升降手段（A）和第二升降手段（B）的升降台上升至高度A0和B0，使非專用的外盒（12）順勢關閉，而專用的專用外盒（102）順勢關閉並收容內盒（11）。

在步驟3308，將收容內盒（11）的專用外盒（102）存放至儲放櫃（602）的指定存放架（604）上。光罩儲櫃系統（600’）可根據機械手臂（609）可移動的一最短路徑來指定目標存放架（604）。

在步驟3310，存放架（604）對專用外盒（102）填充氮氣。類似地，本實施例的專用外盒（102）和存放架（604）可配置成如第二十七A和二十七B圖的實施例，以實現所述氣體填充。

第三十四圖為根據第三十二圖實施例的光罩載出流程圖，其中左半部為第一升降手段（A）所執行，右半部為第二升降手段（B）所執行。

在步驟3400A，從第一埠口（202）載入非專用的光罩傳送盒（10）的空外盒（12）。載入的外盒（12）中沒有任何內盒，且在高度A0由第一升降手段（A）的升降台承載。

在步驟3400B，從光罩儲櫃系統（600’­）並經由第二埠口（204）載入專用外盒（102），且載入的專用外盒（102）收容了具有光罩的內盒（11）。載入的專用外盒（102）和內盒（11）在高度B0由第二手段（B）的升降台承載。

在步驟3402，類似地，由第一升降手段（A）和第二升降手段（B）檢測非專用盒的外盒（12）與專用外盒（102）和內盒（11）。分別將外盒（12）以及專用外盒（102）開啟，下降外盒（12）的外基座（40）與專用外盒（102）的外基座（160）至高度A2和B2，讓內盒（11）位於光罩轉移環境（206）。

在步驟3404，提取內盒（11）並將內盒（11）轉移至外盒（12）的外基座（40）上。所述轉移是在光罩轉移環境（206）或者是在潔淨度適合內盒轉移的其他環境。

在步驟3406，第一升降手段（A）和第二升降手段（B）的升降台從高度A2和B2上升至高度A0和B0，使非專用的外盒（12）順勢關閉並收容內盒（11），以及使專用外盒（102）順勢關閉。此時，關閉的專用外盒（102）為空盒，非專用的內盒（11）和外盒（12）組成光罩傳送盒（10）。

在步驟3408，第一升降手段（A）將光罩傳送盒（10）從第一埠口（202）移出光罩裝載系統（200’），送往各種處理環境。

第三十五圖為根據第三十二圖實施例的內盒（11）轉移流程圖，其中左半部為第一升降手段（A）執行的動作，右半部為第二升降手段（B）執行的動作。

在步驟3500A和3500B，第一升降手段（A）在高度A0接收載入的非專用光罩傳送盒（10）的外盒（12），第二升降手段（B）在高度B0接收載入的專用光罩儲存盒（100）的專用外盒（102）。非專用外盒（12）和專用外盒（102）的任一者容置了具有光罩的內盒（11），且所述內盒（11）與非專用外盒（12）和專用外盒（102）結構相容。

在步驟3502A和3502B，第一升降手段（A）和第二升降手段（B）分別操作使非專用外盒（12）和專用外盒（102）解鎖。解鎖後，第一升降手段（A）和第二升降手段（B）分別抓持非專用外盒（12）和專用外盒（102）的外封蓋並令升降台從高度A0和B0下降至高度A2和B2，使非專用外盒（12）和專用外盒（102）在下降的過程中順勢被打開。

在步驟3504A和3504B，第一升降手段（A）和第二升降手段（B）分別操作以在所述下降期間辨識非專用外盒（12）、專用外盒（102）、被收容之內盒（11）及/或光罩所標示的資訊，像是二維條碼或光罩護膜狀態。若辨識的結果與預期目標不符，光罩裝載系統（200’）可執行相關的異常處理流程。

在步驟3506，以類似第十九A圖的光罩夾持機構（1900）將內盒（11）在非專用外基座（40）和專用外基座（160）之間轉移。例如，第十九A圖的光罩夾持機構（1900）的夾持臂（1906）和接觸板（1908）可針對內盒（11）的尺寸和結構作適配的修改，以實現內盒（11）的轉移。

在步驟3508A和3508B，第一升降手段（A）和第二升降手段（B）分別操作以將升降台從高度A2和B2上升至高度A0和B0，使非專用外盒（12）和專用外盒（102）順勢關閉，並分別對兩者進行鎖定動作。

在步驟3510A和3510B，空的非專用外盒（12）或具有內盒（11）的光罩傳送盒（10）可經由第一埠口（202）移出光罩裝載系統（200’），而空的專用外盒（102）或容置非專用內盒（11）的專用外盒（102）可經由第二埠口（204）返回光罩儲櫃系統（600’）。

第三十六圖示意轉移所述內盒（11）的流程。在此期間，第一升降手段（A）和第二升降手段（B）的動作是於所述光罩轉移環境（206）或其他符合潔淨度的環境中執行。

如圖所示，升降台均下降至內盒夾持機構（1900’）的下方。夾持機構（1900’）水平移動至內盒（11）上方。在內盒夾持機構（1900’）不升降移動的情況中，第一升降手段（A）的升降台上升至內盒（11）可被夾取的高度。內盒（11）被夾取後，下降升降台以完成分離。內盒（11）被水平移動至第二升降手段（B）的升降台上。第二升降手段（B）的升降台上升承接內盒（11），同時光罩夾持機構（1900’）釋放，以實現內盒（11）的轉移。

第三十七圖顯示本發明光罩裝載裝置（200）及光罩儲藏系統（600”）的再一實施例示意圖，其中光罩儲藏系統（600”）與前述實施例的配置大致上相同，惟主要差異在於儲放櫃（602）提供的是多個存放室（604’）。每一存放室（604’）可收藏一專用雙層盒，如第五A圖所示光罩儲存盒（100）。可替代地，每一存放室（604’）可收藏一種單層盒（3700），這種單層盒（3700）主要由一封蓋和一基座組成，用於容置從光罩傳送盒（10）中取得的光罩。

第三十八A圖顯示存放室（604’）的具體實施例。第三十八B圖顯示存放室（604’）內側的朝上承載面之配置。第三十八C圖顯示存放室（604’）中具有單層盒（3700）。第三十八D圖顯示存放室（604’）的承載面機構支撐單層盒（3700）底部。

這些存放室（604’）可經由類似的手段固定制儲放櫃（602）的支架上以建立垂直堆疊的形式。每一存放室（604’）基本上為具有一開口的盒體，提供足以容納單層盒（3700）的一存放空間。開口允許機械手臂（609）存取單層盒（3700）。存放室（604’）的背面提供有兩個連接器（3800），可上游連接至一氮氣源，藉此可將氮氣可填充至存放室（604’）中。存放室（604’）的內側的朝上承載面提供有三個動態耦合定位柱（3802）及兩個輔助導正柱（3804），用以定位並支撐單層盒（3700）。在另一實施例中，存放室（604’）的開口可提供有一閘門，以避免單層盒（3700）掉落及保持存放室（604’）中的氮氣條件。

第三十九A圖為根據第三十七圖的光罩載入流程。第三十九B圖為根據第三十七圖的光罩載出流程。

在步驟3900A，從第一埠口（202）載入一雙層盒至光罩裝載系統（200）的第一升降手段（A）的升降台上，如所述光罩傳送盒（10），其包含收容一光罩之內盒與收容該內盒之外盒。

在步驟3900B，經由第二埠口（204）從光罩儲櫃系統（600”）載入一個空的單層盒（3700）至第二升降手段（B）的升降台上。

在步驟3902，將光罩傳送盒（10）的內盒所容置的光罩取出，並轉移至空的單層盒中。類似於第二十四圖的實施例，第一升降手段（A）的升降台從高度A0下降至A2的過程順勢開啟外盒和內盒而暴露光罩，第二升降手段（B）的升降台從高度B0下降至B2的過程順勢開啟單層盒（3700）而暴露內基座。接著，光罩夾持機構將光罩從光罩傳送盒（10）的內盒基座上轉移至單層盒（3700）的基座上。最後，第二升降手段（B）的升降台從高度B2上升至B0，以將光罩順勢收容於單層盒（3700）中。

在步驟3904，將收容光罩的單層盒（3700）從光罩裝載系統（200）傳送至光罩儲櫃系統（600”）並根據儲放櫃（602）指定的存放室（604’）移動。較佳地，所述指定存放室（604’）是由機械手臂（609）的一最短移動路徑所決定。

在步驟3906，由機械手臂（609）開啟存放室（604’）的閘門，將單層盒（3700）置入存放室（604’）；關閉閘門後填充氮氣至存放室（604’），完成光罩保存。在無閘門的實施例中，機械手臂（609）無須開啟閘門。所述閘門可由連續的氮氣填充而取代。

在步驟3908A，載入空的雙層盒（如光罩傳送盒10）或空的單層盒（3700）至光罩裝載系統（200）的第一升降手段（A）的升降台。

在步驟3908B，機械手臂（609）從指定的存放室（604’）取出收容有指定光罩的單層盒（3700）並載入光罩裝載系統（200）的第二升降手段（B）的升降台。

在步驟3910，第一升降手段（A）和第二升降手段（B）分別將光罩傳送盒（10）的內盒基座和單層盒（3700）的光罩下降至光罩轉移環境（206）以將單層盒之光罩轉移至光罩傳送盒（10）中。

在步驟3912，將收容光罩的光罩傳送盒（10）經由第一埠口（204）由天車系統取出並前往目標站。

第四十圖為根據第三十七圖實施例的具體光罩轉移流程，其中左半部為第一升降手段（A）執行的步驟，右半部為第二升降手段（B）執行的步驟。步驟4000A，從第一埠口（202）載入雙層盒（如所述光罩傳送盒10）至第一升降手段（A）的升降台。步驟4000B，從光罩儲藏系統（600”）載入一單層盒（3700）至第二升降手段（B）的升降台。步驟4002A，抓持外盒之封蓋，解鎖外盒，將第一升降手段（A）的升降台從高度A0降至A1。步驟4002B，在高度B0或B1抓持單層盒（3700）之封蓋，將承載單層盒（3700）之基座的升降台從高度B0降至B1。步驟4004A，將承載內盒之基座的升降台從高度A1降至A2。步驟4004B，將承載單層盒（3700）之基座的升降台從位置B1降至B2。步驟4006，光罩夾持機構將光罩在內盒之基座與單層盒（3700）之基座間轉移。步驟4008A，將升降台從高度A2升至A1後，順勢將內盒關閉。步驟4008B，將升降台從位置B2升至B1後，順勢將單層盒（3700）關閉。步驟4010A，將升降台從高度A1升至A0後，順勢將外盒關閉並上鎖。步驟4010B，將升降台從位置B1升至B0。步驟4012A，由天車系統取出雙層盒。步驟4012B，單層盒（3700）返回光罩儲藏系統（600”）。

無論所述存放是最終是以單層盒或雙層盒儲藏光罩，儲藏的環境對於光罩的保存來說是重要的。具有閘門的存放室有助於維持儲藏環境的條件。當然，閘門的操作選擇也受限於櫥櫃系統的內部配置。以下舉例本發明櫥櫃系統的存放室閥門操作機制。

第四十一A圖例示櫥櫃系統的機械手臂（4100、4102）與存放室（4104）的互動流程，放置一盒（P）至存放室（4104）。第四十一B圖例示櫥櫃系統的機械手臂（4100、4102）與存放室（4104）的互動流程，從存放室（4104）取出一盒（P）。所示存放室（4104）具有閘門，而機械手臂的前端（4102）可配置成與存放室（4104）的閘門互動，例如機械手臂的前端（4102）具有特定的機構可伸入閘門的底部缺口並將閘門掀開而暴露存放室（4104）的空間，但本發明不以此為限制。更具體而言，機械手臂可由至少兩個部分組成，一個是抓持機構（4100），另一個是用於閘門之互動機構（4102），兩個機構可獨立操作。如第四十一A圖所示，機械手臂的一部分先將閘門掀開後，另一部分才執行放置盒（P）的動作。放置的部分完成後，閘門才被恢復到關閉的狀態。第四十一B圖的流程則是相反的。

第四十二A圖例示櫥櫃系統的機械手臂與存放室的另一互動實施例，放置一盒至存放室的流程。第四十二B圖例示櫥櫃系統的機械手臂與存放室的另一互動實施例，從存放室取出一盒的流程。本實施例的機械手臂包含兩個獨立的部分，即一抓持部（4200）及一推動部（4202）。抓持部（4200）用於承載或夾持一盒（P），並可存取存放室（4204）的空間。存放室（4204）具有可樞轉的一閘門（4206）。推動部（4202）可相對於抓持部（4200）向前延伸以推動閘門（4206）上的板（4208），使閘門（4206）槓桿的方式被掀開，讓抓持部將盒（P）送入存放室（4204）。完成後，推動部（4208）才後退使閘門（4206）恢復至關閉的狀態。

第四十三圖為本發明光罩儲櫃管路充氣系統的實施例示意圖。至少一主管路（4300）上游連接至一氮氣源（4302）且下流連接至複數個分支管路（4304）。每一個分支管路（4304）連接至儲放櫃（602）中對應的一個存放室（604’）。至少一流量控制器（4306）連接於主管路（4300）。當儲放櫃（602）的一指定存放室（604’）置入一光罩盒時，流量控制器（4306）據以決定特定氣閥的啟閉以將氮氣填充指定的存放室（604’）。例如，流量控制器（4306）可配置成監控主管路（4306）的氣體流量，以及控制每個分支管路（4304）上調節閥（4308）的啟閉，調節閥（4308）可用以調節每一分支管路（4304）的氣體流速。如圖所示，主管路（4300）的上游端可包含微粒過濾器（4310）、壓力計（4312）、壓力感應器（4314）、調壓器（regulator，4316）及球閥（4318），但本發明不以此為限制。

第四十四圖顯示本發明光罩裝載裝置及光罩儲藏系統的尚一實施例示意圖。與前述實施例比較可見，本實施例光罩裝載系統（200”）僅以單一升降手段（A）實現光罩的轉移。類似地，光罩傳送盒（10）從高度A0下降至A1的過程被打開，最終暴露內盒（11）。位在高度A1的內盒（11）允許與機械手臂（609）互動而被夾取，使光罩轉移的路徑更為縮短，降低光罩晃動的風險。

第四十五A圖為根據第四十四圖實施例的光罩載入流程。第四十五B圖為根據第四十四圖實施例的光罩載出流程。步驟4500，載入一雙層盒（如所述光罩傳送盒10）於升降台，雙層盒包含收容一光罩之內盒（11）與一收容內盒（11）之外盒。步驟4502，將雙層盒的內盒（11）暴露於高度A1，即光罩轉移環境。步驟4504，將內盒（11）傳送至儲放櫃（602）指定的一存放室（604’）。步驟4506，開啟指定存放室（604’）的閘門以將內盒（11）置入，關閉閘門後填充氮氣至存放室（604’），完成儲藏。步驟4508，載入一雙層盒的外盒（如第一圖的外盒12）於升降台，外盒包含一封蓋與一基座。步驟4510，升降台下降以將外盒順勢開起，並且將基座置於高度A1。步驟4512，從儲放櫃（602）指定的存放室（604’）取出收容有光罩之內盒（11），並將內盒載出並放置位於高度A1的基座。步驟4514，升降台上升以順勢關閉雙層盒並上鎖。步驟4516，將雙層盒取出。

第四十六A圖為根據第四十四圖實施例的另一光罩載入流程。第四十六B圖為根據第四十四圖實施例的另一光罩載出流程。步驟4600，從一埠口載入一雙層盒至升降台，雙層盒包含一內盒（11）與一收容該內盒之外盒。步驟4602，抓持外盒之封蓋，將承載內盒（11）以及外盒基座的升降台從高度A0降至A1，藉此順勢打開外盒。步驟4604，升降台從高度A0降至A1期間，經由一辨識手段讀取內盒（11）上的二維條碼，並檢測護膜狀態。步驟4606，櫥櫃系統（600”）的機械手臂將外盒基座所承載的內盒（11）取走，使光罩裝載系統（200”）僅存雙層盒的外盒。步驟4608，升降台從高度A1升至A0時順勢關閉雙層盒的外盒，並上鎖。步驟4610，從埠口取出雙層盒的外盒。步驟4612，從埠口載入一雙層盒的外盒至升降台，用以接收光罩櫥櫃系統（600”）中的一內盒（11）。步驟4614，抓持外盒的封蓋，將承載外盒基座的升降台從高度A0降至A1，藉此順勢打開外盒。步驟4616，光罩櫥櫃系統（600”）的機械手臂將指定一內盒（11）放置於升降台的外盒基座上。步驟4618，升降台從高度A1升至A0期間，經由一辨識手段讀取內盒（11）上的二維條碼，並檢測護膜狀態。步驟4620，將升降台從高度A1升至A0後，雙層盒順勢關閉並上鎖。步驟4622，從埠口取出雙層盒。

10:光罩傳送盒 11:內盒 12:外盒 20:基座 30:封蓋 32:下壓銷 34:帽蓋 40:外基座 50:外封蓋 52:把手 100:光罩儲存盒 101:專用內盒 102:專用外盒 110:封蓋 111:把手 112:濾膜蓋 114:凹槽 120:光罩限制器 121:本體 122:彈性臂 123:限位部 124:傾斜面 125:壓制部 130:基座 131:護膜槽 132:定位槽 134:支撐件 135:傾斜面 136:限位塊 150:外封蓋 151:把手 152:平坦頂面 153:馬蹄形下壓肋 154:下壓柱 160:外基座 161:定位柱 162:氣閥 163:定位槽 200:光罩裝載系統 200’ :光罩裝載系統 200” :光罩裝載系統 202:第一埠口 204:第二埠口 206:光罩轉移環境 300:流量控制器 400:光罩儲櫃充氣管路系統 500:光罩儲櫃管理系統 600:光罩儲藏系統 600’:光罩儲藏系統 600”:光罩儲藏系統 602:儲放櫃 604:存放架 604’:存放室 606:緩衝區 608:管理手段 609:機械手臂 610:控制手段 612:流量控制手段 614:清洗裝置 1800A:外盒封蓋支撐面 1802A:升降台 1900:光罩夾持機構 1900’:光罩夾持機構 1902:軌道 1904:夾持組件 1906:夾持臂 1908:接觸板 1910:契合部 2000:升降台 2600:前端 2602:後端 2604:充氣管路 2606:噴嘴 2608:動態耦合定位柱 2610:止擋部 2612:連接臂 2700:栓鎖機構 2800:前端 2802:後端 2804:定位柱 2900:供氣管路 2901:球閥 2902:流量顯示器 2903:限流閥 2904:過濾器 2905:溫濕度計 2906:機械式壓力錶 2907:電子式壓力錶 2908:調壓閥 2909:主管路 2910:壓力計 2911:氣閥 3000:流量控制器 3001:過濾器 3002:針閥 3700:單層盒 3900至3912:步驟 3800:連接器 3802:動態耦合定位柱 3804:導正柱 4000至4012:步驟 4100:機械手臂的抓持機構 4102:機械手臂的前端（互動機構） 4104:存放室 4200:抓持部 4202:推動部 4204:存放室 4206:閘門 4208:板 4300:主管路 4302:氮氣源 4304:分支管路 4306:流量控制器 4308:調節閥 4310:微粒過濾器 4312:壓力計 4314:壓力感應器 4316:調壓器 4318:球閥 R:光罩 W:視窗 H:垂直落差 A:第一升降手段 B:第二升降手段 P:盒 A0至A2:高度 B0至B2:高度 1500至1510:步驟 1600至1608:步驟 1700至1712:步驟 3300至3310:步驟 3400至3408:步驟 3500至3510:步驟 4500至4516:步驟 4600至4622:步驟

參照下列圖式與說明，可更進一步理解本發明。非限制性與非窮舉性實例參照下列圖式而描述。在圖式中的構件並非必須為實際尺寸；重點在於說明結構及原理。

第一圖顯示習知光罩儲存盒之分解側視圖。

第二圖顯示習知內盒與光罩之分解立體圖。

第三圖顯示本發明光罩儲藏系統之方塊圖。

第四圖顯示本發明光罩儲藏系統之立體圖。

第五A圖顯示本發明光罩儲存盒之分解側視圖。

第五B圖為本發明專用外盒之外封蓋的立體圖。

第五C圖為本發明專用外盒之外基座的立體圖。

第五D圖顯示本發明專用內盒之分解立體圖。

第五E圖顯示本發明專用內盒之封蓋俯視圖。

第五F圖顯示本發明專用內盒之封蓋仰視圖。

第五G圖顯示本發明專用內盒根據第五E圖虛線之封蓋剖視圖。

第五H圖顯示本發明專用內盒之基座俯視圖。

第五I圖顯示本發明專用內盒之基座仰視圖。

第五J圖顯示本發明專用內盒根據第五H圖虛線之基座剖視圖。

第五K圖顯示本發明專用內盒之基座立體圖。

第五L圖顯示本發明基座之一隅角之立體圖。

第五M圖顯示本發明基座之另一隅角之立體圖。

第五N圖顯示提供於本發明封蓋內側之光罩限制器。

第六A圖顯示本發明專用內盒之光罩限制器與對應之支撐件限制一光罩之一隅角。

第六B圖局部放大顯示本發明支撐件限制了光罩限制器的橫向位移。

第七A圖顯示本發明專用內盒之立體圖。

第七B圖顯示本發明專用內盒根據第七A圖虛線之剖視圖。

第八A圖顯示本發明專用外盒之外封蓋之仰視圖。

第八B圖顯示下壓機構作用於專用內盒之封蓋放大圖。

第九A圖顯示第五A圖光罩儲存盒結合時之剖視圖。

第九B圖顯示第九A圖虛線所指區域的局部放大圖。

第十A圖顯示習知光罩傳送內盒之立體圖。

第十B圖顯示下壓機構作用於習知光罩傳送內盒封蓋之對應機構。

第十C圖放大顯示下壓機構與光罩傳送盒之內盒的對應機構。

第十一A圖顯示以本發明光罩儲存盒的專用外盒容置專用內盒之剖視圖。

第十一B圖顯示以本發明光罩儲存盒的專用外盒容置非專用內盒之剖視圖。

第十二圖為本發明專用內盒之封蓋與光罩傳送盒之內盒封蓋之視圖重疊。

第十三圖為本發明光罩裝載系統的外觀立體圖。

第十四圖為本發明光罩裝載系統的示意圖。

第十五圖顯示本發明光罩儲藏方法之載入流程圖。

第十六圖顯示本發明光罩儲藏方法之載出流程圖。

第十七圖顯示本發明一光罩轉移具體流程圖。

第十八圖顯示本發明光罩裝載系統的一具體實施例。

第十九A圖顯示用於光罩裝載系統中的光罩夾持機構的具體實施例。

第十九B圖顯示所述光罩夾持機構的正視圖。

第十九C圖顯示所述光罩夾持機構的俯視圖。

第二十圖顯示所述光罩夾持機構與升降台的配合。

第二十一圖例示光罩裝載系統的異常處理流程。

第二十二圖例示光罩裝載系統的另一異常處理流程。

第二十三圖例示所述光罩夾持機構異常處理流程。

第二十四圖為本發明光罩裝載系統及光罩儲藏系統方塊示意圖。

第二十五圖為本發明光罩儲藏系統的俯視圖，其顯示光罩儲藏系統內部的具體配置。

第二十六A圖顯示本發明存放架的具體實施例立體圖。

第二十六B圖顯示存放架的底部配置。

第二十七A圖顯示所述存放架具有光罩儲存盒。

第二十七B圖顯示所述存放架具有光罩儲存盒時的底部視圖。

第二十七C圖顯示所述存放架具有光罩儲存盒時的另一視圖。

第二十八A圖顯示所述存放架與機械手臂的具體實施例的俯視圖，其中機械手臂位於光罩儲存盒的下方，存放架上的光罩儲存盒底部的定位槽以虛線表示。

第二十八B圖顯示機械手臂進入存放架下方而提取光罩儲存盒的側視圖。

第二十八C圖顯示機械手臂將光罩儲存盒從存放架取下的側視圖。

第二十九圖顯示所述存放架的上游供氣管路及其流量控制手段。

第三十圖顯示連接至所述存放架的上游供氣管路的兩個具體實施例。

第三十一圖例示光罩櫥櫃系統的機械手臂異常處理流程。

第三十二圖顯示本發明光罩裝載裝置及光罩儲藏系統的另一實施例示意圖。

第三十三圖為根據第三十二圖實施例的光罩載入流程圖。

第三十四圖為根據第三十二圖實施例的光罩載出流程圖。

第三十五圖為根據第三十二圖實施例的具體光罩轉移流程。

第三十六圖示意轉移內盒的流程。

第三十七圖顯示本發明光罩裝載裝置及光罩儲藏系統的再一實施例示意圖。

第三十八A圖顯示存放室的具體實施例。

第三十八B圖顯示存放室內側的朝上承載面之配置。

第三十八C圖顯示存放室中具有單層盒。

第三十八D圖顯示存放室的承載面機構支撐單層盒底部。

第三十九A圖為根據第三十七圖的光罩載入流程。

第三十九B圖為根據第三十七圖的光罩載出流程。

第四十圖為根據第三十七圖實施例的具體光罩轉移流程。

第四十一A圖例示櫥櫃系統的機械手臂與存放室的一互動實施例，放置一盒至存放室的流程。

第四十一B圖例示櫥櫃系統的機械手臂與存放室的一互動實施例，從存放室取出一盒的流程。

第四十二A圖例示櫥櫃系統的機械手臂與存放室的另一互動實施例，放置一盒至存放室的流程。

第四十二B圖例示櫥櫃系統的機械手臂與存放室的另一互動實施例，從存放室取出一盒的流程。

第四十三圖為本發明光罩儲櫃管路充氣系統的實施例示意圖。

第四十四圖顯示本發明光罩裝載裝置及光罩儲藏系統的尚一實施例示意圖。

第四十五A圖為根據第四十四圖實施例的光罩載入流程。

第四十五B圖為根據第四十四圖實施例的光罩載出流程。

第四十六A圖為根據第四十四圖實施例的另一光罩載入流程。

第四十六B圖為根據第四十四圖實施例的另一光罩載出流程。

200:光罩裝載系統

202:第一埠口

Claims (21)

1. 一種光罩裝載系統，包含： 一第一埠口，配置成允許一光罩傳送盒在一外部環境和一裝載環境之間轉移； 一第二埠口，配置成允許一光罩儲存盒在該裝載環境和一儲藏環境之間轉移； 一第一升降手段，配置成與該第一埠口配合並承載該光罩傳送盒，且於該裝載環境中升降移動，使該光罩傳送盒能於一頂部位置和一底部位置之間升降，其中當抵達該底部位置時，該光罩傳送盒的一容置空間被開啟而暴露於該裝載環境； 一第二升降手段，配置成與該第二埠口配合並承載該光罩儲存盒，且於該裝載環境中升降移動，使該光罩儲存盒能於一頂部位置和一底部位置之間升降，其中當抵達該底部位置時，該光罩儲存盒的一容置空間被開啟而暴露於該裝載環境；及 一光罩夾持機構，配置成位於該裝載環境中操作，使一光罩或承載有該光罩的一基座能夠在該光罩傳送盒被開啟所暴露的容置空間與該光罩儲存盒被開啟所暴露的容置空間之間轉移。
2. 如請求項1所述之光罩裝載系統，其中，位在該頂部位置之該光罩傳送盒和位在該頂部位置之該光罩儲存盒均為關閉狀態，使該光罩傳送盒的容置空間及該光罩儲存盒的容置空間均未暴露。
3. 如請求項1所述之光罩裝載系統，其中，位在該底部位置之該光罩傳送盒和位在該底部位置之該光罩儲存盒均為開啟狀態，使該光罩傳送盒的一外封蓋連同一內封蓋及該光罩儲存盒的一外封蓋連同一內封蓋均被移除。
4. 如請求項3所述之光罩裝載系統，其中，被移除的光罩傳送盒的外封蓋和外封蓋以及該光罩儲存盒的外封蓋和內封蓋均停留在該頂部位置與該底部位置之間。
5. 如請求項1所述之光罩裝載系統，其中，該光罩夾持機構具有一軌道及一夾持組件，該夾持組件配置成夾持光罩或基座的兩側，且該夾持組件經由該軌道而在該底部位置之間橫向移動。
6. 如請求項1所述之光罩裝載系統，更包含： 一辨識和檢查手段，配置成與該第一升降手段或該第二手段配合，以讀取與該光罩傳送盒、該光罩儲存盒、光罩護膜、光罩或以上任一有關的資訊。
7. 如請求項1所述之光罩裝載系統，更包含： 一氣體控制手段，配置成控制進氣、過濾及排氣，以維持該裝載環境之潔淨度。
8. 一種光罩載入方法，包含： 提供一第一埠口，以自一外部環境將一光罩傳送盒轉換至一裝載環境，且該光罩傳送盒收容一光罩； 提供一第二埠口，以自一儲藏環境將一光罩儲存盒轉換至該裝載環境； 於該裝載環境中提供配合該第一埠口之一第一升降手段，使該光罩傳送盒從一頂部位置下降至一底部位置，並於抵達該底部位置時使該光罩傳送盒呈現開啟以暴露該光罩傳送盒的一容置空間和該光罩； 於該裝載環境中提供配合該第二埠口之一第二升降手段，使該光罩儲存盒從一頂部位置下降至一底部位置，並於抵達該底部位置時使該光罩儲存盒呈現開啟狀態以暴露該光罩儲存盒的一容置空間；及 經由可操作於該裝載環境中之一光罩夾持機構，將暴露的光罩從開啟狀態的該光罩傳送盒轉移至開啟狀態的該光罩儲存盒所暴露的該容置空間。
9. 如請求項8所述之光罩載入方法，更包含： 提供一開蓋手段，使該光罩傳送盒的一外封蓋和一內封蓋在抵達該底部位置之前被移除，而該光罩傳送盒的一外基座和一內基座抵達該底部位置。
10. 如請求項8所述之光罩載入方法，更包含： 提供一開蓋手段，使該光罩儲存盒的一外封蓋和一內封蓋在抵達該底部位置之前被移除，而該光罩儲存盒的一外基座和一內基座抵達該底部位置。
11. 如請求項8所述之光罩載入方法，更包含： 於光罩轉換後，經由該第一升降手段，將該光罩傳送盒上升至該頂部位置，並經由該第一埠口將該光罩傳送盒轉換至該外部環境。
12. 如請求項8所述之光罩載入方法，更包含： 於光罩轉換後，經由該第二升降手段，將該光罩儲存盒上升至該頂部位置，並經由該第二埠口將該光罩儲存盒轉換至該儲藏環境。
13. 如請求項8所述之光罩載入方法，更包含： 在該裝載環境中提供一辨識和檢查手段，以在該第一升降手段的頂部位置和底部位置之間或該第二手段的頂部位置和底部位置之間，讀取與該光罩傳送盒、該光罩儲存盒、光罩護膜、光罩或以上任一有關的資訊。
14. 如請求項8所述之光罩載入方法，更包含： 在該裝載環境中提供一氣體控制手段，以維持該裝載環境之潔淨度。
15. 一種光罩卸除方法，包含： 提供一第一埠口，以自一外部環境將一光罩傳送盒轉換至一裝載環境； 提供一第二埠口，以自一儲藏環境將一光罩儲存盒轉換至該裝載環境，且該光罩儲存盒收容一光罩； 於該裝載環境中提供配合該第一埠口之一第一升降手段，使該光罩傳送盒從一頂部位置下降至一底部位置，並於抵達該底部位置時使該光罩傳送盒呈現開啟以暴露該光罩傳送盒的一容置空間； 於該裝載環境中提供配合該第二埠口之一第二升降手段，使該光罩儲存盒從一頂部位置下降至一底部位置，並於抵達該底部位置時使該光罩儲存盒呈現開啟狀態以暴露該光罩儲存盒的一容置空間及該光罩；及 經由可操作於該裝載環境中之一光罩夾持機構，將暴露的該光罩從開啟狀態的光罩儲存盒轉移至開啟狀態的該光罩傳送盒所暴露的該容置空間。
16. 如請求項15所述之光罩卸除方法，更包含： 提供一開蓋手段，使該光罩傳送盒的一外封蓋和一內封蓋在抵達該底部位置之前被移除，而該光罩傳送盒的一外基座和一內基座抵達該底部位置。
17. 如請求項15所述之光罩卸除方法，更包含： 提供一開蓋手段，使該光罩儲存盒的一外封蓋和一內封蓋在抵達該底部位置之前被移除，而該光罩儲存盒的一外基座和一內基座抵達該底部位置。
18. 如請求項15所述之光罩卸除方法，更包含： 於光罩轉換後，經由該第一升降手段，將該光罩傳送盒上升至該頂部位置，並經由該第一埠口將該光罩傳送盒轉換至該外部環境。
19. 如請求項15所述之光罩卸除方法，更包含： 於光罩轉換後，經由該第二升降手段，將該光罩儲存盒上升至該頂部位置，並經由該第二埠口將該光罩儲存盒轉換至該儲藏環境。
20. 如請求項15所述之光罩卸除方法，更包含： 在該裝載環境中提供一辨識和檢查手段，以在該第一升降手段的頂部位置和底部位置之間或該第二手段的頂部位置和底部位置之間，讀取與該光罩傳送盒、該光罩儲存盒、光罩護膜、光罩或以上任一有關的資訊。
21. 如請求項15所述之光罩卸除方法，更包含： 在該裝載環境中提供一氣體控制手段，以維持該裝載環境之潔淨度。

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