TW202338370A - 環境控制設備的監測裝置 - Google Patents
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Abstract
本發明揭露一種應用於環境控制設備的監測裝置。應用於環境控制設備的監測裝置包括耦接該環境控制設備的一接點的電阻感測器，取樣電阻感測器以產生偵測結果的信號取樣器，以及耦接該電阻感測器及該信號取樣器，用以供電給該電阻感測器及該信號取樣器的電源供應器，其中，該環境控制設備是用來對一待監測環境或另一設備提供環境控制功能。
Description
本發明與環境控制設備的監測裝置有關，特別是關於一種應用於半導體產線機台的環境控制設備的監測裝置。
現今的各種高科技設備，例如半導體產線所使用的各種機台，極為昂貴也非常精細，而且配置完成後需要長時間持續運作，若能在其周邊配置環境控制設備，除了可確保這些機台能在最適當的環境參數(例如原廠建議的溫度或濕度)下運作，維持其產品的良率之外，也能藉此延長這些高科技機台的使用壽命，並降低成本。
本發明提出一種應用於環境控制設備的監測裝置，藉由監測環境控制設備的運作是否開始出現異狀，從而提前進行對應修復而確保該環境控制設備要所控制的待監測環境或另一設備能維持在穩定參數下工作。
根據本發明，一種應用於一環境控制設備的監測裝置包括：一電阻感測器，耦接該環境控制設備的一接點；一信號取樣器，取樣該電阻感測器以產生一偵測結果；以及一電源供應器，耦接該電阻感測器及該信號取樣器，用以供電給該電阻感測器及該信號取樣器；該環境控制設備是用來對另一設備提供環境控制功能。
10:待監測環境
102:環境控制設備
104:監測裝置
106:機台
1042:電源供應器
1044:電阻感測器
1046:信號取樣器
1048:通訊裝置
第一圖為本發明一實施例之應用環境示意圖；
第二圖為本發明一實施例的功能方塊圖。
第一圖為本發明一實施例之應用環境示意圖，待監測環境10可以是各種有精密機台106在運作的環境，例如半導體產品的產線，機台106可以是各種半導體機台，環境控制設備102用來控制待監測環境10的溫度或溼度等參數，或對機台106提供水冷或氣冷等溫度控制功能，環境控制設備102可以耦連或不耦接機台106。監測裝置104連接環境控制設備102以監測環境控制設備102的運作狀況，一旦發現環境控制設備102的運作出現狀況，便能及早反應進行維修，從而確保機台106及待監測環境10能維持在最適當環境中運作。
第二圖為本發明提出之監測裝置一實施例的功能方塊圖，監測裝置包含電源供應器1042、電阻感測器1044、信號取樣器1046及通訊裝置1048。電源供應器供電給電阻感測器1044、信號取樣器1046及通訊裝置1048，電阻感測器1044連接到環境控制設備102任一處可測得電阻變化的接點，信號取樣器1046取樣電阻感測器1044收到的阻值變化來收集數據，進行紀錄及分析以產生偵測結果。通訊裝置1048具有有線或無線的通訊能力，在本實施例中，偵測結果會經由通訊裝置1048傳輸給其他顯示裝置，例如以WIFI或藍牙技術將偵測結果傳送給控管人員的手機/平板等顯示設備，當偵測結果出現異狀，例如電阻值出現逐漸增加的趨勢，或超過一預設值，即表示環境控制設備出現異常，監測裝置可透過顯示裝置或預設音效來提醒維修人員。
參照第一圖，本發明提出之監測裝置104藉由偵測環境控
制設備102的電阻變化趨勢，得以在待監測環境10或機台106真正發生溫度異常等問題之前便提醒維修人員進行相應處理，從而盡可能降低產線停止運作的風險。
電阻感測器1044可使用各種已知的電性感測方式對該接點做電性變化的偵測，包括電阻值變化或電流值變化之偵測，為熟習本發明所屬技術領域者當知，因此不在此贅述。信號取樣器1046可內建各種運算軟體，藉由預先設定好的計算參數分析取樣得到的電性變化，從而產生該偵測結果，也可定時儲存偵測結果來做長期性的趨勢分析。
在其他實施例中，通訊裝置1048可替換為顯示裝置，以即時顯示監測結果供現場人員評估，在一較佳實施例中，監測裝置同時包含通訊裝置1048及內建的顯示裝置。
上述內容僅為說明本發明的較佳實施例，凡依本發明權利要求範圍所做的均等變化與修飾，皆應屬本發明的涵蓋範圍，而不以前述實施例內容為限。
1042:電源供應器
1044:電阻感測器
1046:信號取樣器
1048:通訊裝置
Claims (4)
- 應用於一環境控制設備的監測裝置，該監測裝置包括：一電阻感測器，耦接該環境控制設備的一接點；一信號取樣器，取樣該電阻感測器以產生一偵測結果；以及一電源供應器，耦接該電阻感測器及該信號取樣器，用以供電給該電阻感測器及該信號取樣器；其中，該環境控制設備是用來對一待監測環境或另一設備提供環境控制功能。
- 如請求項1之監測裝置，更包括一通訊裝置，耦接該信號取樣器，將該偵測結果以有線或無線方式傳輸給一顯示設備。
- 如請求項1之監測裝置，更包括一內建顯示設備，耦接該信號取樣器以顯示該偵測結果。
- 如請求項1之監測裝置，更包括：一通訊裝置，耦接該信號取樣器以接收該偵測結果；以及一內建顯示設備，耦接該信號取樣器以顯示該偵測結果；其中，該通訊裝置將該偵測結果，將該偵測結果以有線或無線方式傳輸給另一顯示設備。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW111110192A TW202338370A (zh) | 2022-03-18 | 2022-03-18 | 環境控制設備的監測裝置 |
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| TW111110192A TW202338370A (zh) | 2022-03-18 | 2022-03-18 | 環境控制設備的監測裝置 |
Publications (1)
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|---|---|
| TW202338370A true TW202338370A (zh) | 2023-10-01 |
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ID=89856179
Family Applications (1)
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| TW111110192A TW202338370A (zh) | 2022-03-18 | 2022-03-18 | 環境控制設備的監測裝置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| TW (1) | TW202338370A (zh) |
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2022
- 2022-03-18 TW TW111110192A patent/TW202338370A/zh unknown
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