TW202337058A - 用於製造微型led顯示器的系統及方法 - Google Patents

用於製造微型led顯示器的系統及方法 Download PDF

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浩智 黃
張代化
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美商應用材料股份有限公司
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Abstract

一種用於製造發光二極體(LED)顯示器的工具及方法。工具包括用於將第一顏色轉換前驅物遞送到工件上的第一分配腔室。第一固化站固化工件以在工件上的LED的第一集合上方形成第一顏色轉換層。第一洗滌/乾燥腔室從工件移除第一顏色轉換前驅物的未固化部分並且隨後乾燥工件。第二分配腔室將第二顏色轉換前驅物遞送到工件上。第二固化站固化第二顏色轉換前驅物以在工件上的LED的第二集合上方形成第二顏色轉換層。第二洗滌/乾燥腔室從工件移除第二顏色轉換層的未固化部分。腔室的每一者係獨立可密封的。控制器控制工件運輸系統以在腔室之間順序地移動工件。

Description

用於製造微型LED顯示器的系統及方法
本揭示大體係關於製造微型LED顯示器。
發光二極體(light emitting diode; LED)面板使用LED陣列，其中獨立的LED提供獨立可控制的像素元件。此種LED面板可以用於電腦、觸控式面板裝置、個人數位助理(personal digital assistant; PDA)、蜂巢電話、電視、及類似者。
與OLED相比，使用基於III-V族半導體技術的微型LED的LED面板（亦稱為微型LED）將具有各種優點，例如，較高能量效率、亮度、及壽命，以及顯示器堆疊中較少的材料層，此可以簡化製造。然而，微型LED面板的製造存在挑戰。具有不同顏色發射（例如，紅色、綠色及藍色像素）的微型LED需要經由分離的製程在不同基板上製造。將多種顏色的微型LED裝置整合到單個面板上需要拾取及放置步驟以將微型LED裝置從其原始供體基板傳遞到目的地基板。此經常涉及修改LED結構或製造製程，諸如引入犧牲層以簡化脫模。此外，對放置準確性（例如，小於1 um）的嚴格需求限制處理量、最終良率、或兩者。
繞過拾取及放置步驟的替代途徑係在用單色LED製造的基板上的特定像素位置處選擇性沉積顏色轉換劑（例如，量子點、奈米結構、螢光材料、或有機物質）。單色LED可以產生相對短波長的光，例如，紫色或藍色光，並且顏色轉換劑可以將此短波長的光轉換為較長波長的光，例如，用於紅色或綠色像素的紅色或綠色光。顏色轉換劑的選擇性沉積可以使用高解析度蔽荫遮罩或可控的噴墨或氣溶膠噴射印刷來執行。
在一個態樣中，一種LED顯示器製造工具包括第一分配腔室、第一固化站、第一洗滌/乾燥腔室、第二分配腔室、第二固化站、第二洗滌/乾燥腔室、工件運輸系統、及控制器。第一分配腔室、第一洗滌/乾燥腔室、第二分配腔室及第二洗滌/乾燥腔室的每一者係獨立可密封的。第一分配腔室包括用於固持工件的第一分配支撐件及用於將第一顏色轉換前驅物遞送到工件上的第一噴墨印表機。第一固化站固化工件上的顏色轉換前驅物材料以在工件上的LED的第一集合上方形成第一顏色轉換層。第一洗滌/乾燥腔室包括用於固持工件的第一洗滌支撐件及用於從工件移除第一顏色轉換前驅物的未固化部分的第一洗滌組件。
第二分配腔室包括用於固持工件的第二分配支撐件及用於將與第一顏色轉換前驅物不同的第二顏色轉換前驅物遞送到工件上的第二噴墨印表機。第二固化站固化第二顏色轉換前驅物以在工件上的LED的第二集合上方形成第二顏色轉換層。第二洗滌/乾燥腔室包括用於固持工件的第二洗滌支撐件及用於從工件移除第二顏色轉換層的未固化部分的第二洗滌組件。
控制器導致工件運輸系統順序地穿過第一分配腔室、第一洗滌/乾燥腔室、第二分配腔室及第二洗滌/乾燥腔室移動工件。
在另一態樣中，一種LED顯示器製造工具包括複數個處理腔室及一或多個傳遞腔室。複數個處理腔室包括第一分配腔室、第二分配腔室、一或多個洗滌/乾燥腔室、及用於固化第一顏色轉換前驅物以形成第一顏色轉換層並且固化第二顏色轉換前驅物以形成第二顏色轉換層的共用固化站。
在另一態樣中，一種LED顯示器製造工具包括複數個處理腔室及一或多個傳遞腔室。複數個處理腔室包括共用分配腔室、一或多個洗滌/乾燥腔室、用於固化第一顏色轉換前驅物以形成第一顏色轉換層的第一固化站、及用於固化第二顏色轉換前驅物以形成第二顏色轉換層的第二固化站。
在另一態樣中，描述了一種LED顯示器製造方法。方法包括將工件裝載在第一分配腔室中，將第一顏色轉換層分配到工件上，將工件移動到第一洗滌/乾燥腔室，洗滌具有第一顏色轉換層的工件以移除第一顏色轉換層的未固化部分，將工件移動到第二分配腔室，將第二顏色轉換層分配到工件上，將工件移動到第二洗滌/乾燥腔室，洗滌具有第二顏色轉換層的工件以移除第二顏色轉換層的未固化部分，將工件移動到第三分配腔室，將第三顏色轉換層分配到工件上，將工件移動到第三洗滌/乾燥腔室，及洗滌具有第三顏色轉換層的工件以移除第三顏色轉換層的未固化部分。
實施方式可包括以下特徵的一或多者。
第三噴墨印表機可具有用於將工件對準到第三噴墨印表機的第三基準標記。第一分配腔室及第二分配腔室可經構造為減少第一分配腔室及第二分配腔室內的污染濃度。第一及第二分配腔室的每一者可包括經構造為感測第一工件條件的感測器，例如，光學成像器或發光成像器。第一及第二分配腔室的每一者可包括用於感測第一分配腔室條件（例如，溫度、相對濕度、或氣體成分）的環境感測器。
返工分配腔室可用於返工第三顏色轉換層，利用高效顆粒空氣過濾器過濾進入第一分配腔室、第二分配腔室、及第三分配腔室的空氣以減少大氣的污染濃度。第一分配腔室中的大氣可利用第一排氣管道排氣，第二分配腔室中的大氣可利用第二排氣管道排氣，並且第三分配腔室中的大氣可利用第三排氣管道排氣。第一分配腔室中的大氣的第一污染濃度可利用第一腔室感測器量測，第二分配腔室中的大氣的第二污染濃度可利用第二腔室感測器量測，並且第三分配腔室中的大氣的第三污染濃度可利用第三腔室感測器量測。可將表示第一、第二及第三污染濃度的信號發送到控制器。回應於接收信號，可調整進出第一分配腔室、第二分配腔室、及第三分配腔室的氣流。
第一噴墨印表機可包括用於將工件對準到第一噴墨印表機的第一基準標記，並且第二噴墨印表機可包括於將工件對準到第二噴墨印表機的第二基準標記。經構造為控制第一噴墨印表機的位置的第一支架可在第一分配腔室中設置，並且經構造為控制第二噴墨印表機的位置的第二支架可在第二分配腔室中設置。第一噴墨印表機可包括在線現場可替換單元，該在線現場可替換單元包含第一印刷頭陣列、第一服務站、第一墨水貯槽、及經構造為調整第一噴墨電纜及軟管組件沿著第一支架的位置的第一能量鏈電纜載體，並且第二噴墨印表機可包括第二在線現場可替換單元，該第二在線現場可替換單元包含第二印刷頭陣列、第二服務站、第二墨水貯槽、及經構造為調整第一噴墨電纜及軟管組件沿著第二支架的位置的第二能量鏈電纜載體。第一分配腔室可包括經構造為允許第一支架、第一能量鏈電纜載體、或第一感測器進入第一分配腔室中的第一進入埠，並且第二分配腔室可包括經構造為允許第二支架、第二能量鏈電纜載體、或第二感測器進入第二分配腔室中的第二進入埠。
第一固化站可包括用於啟動第一複數個LED以發射光來固化第一顏色轉換前驅物的電路系統。中央量子點墨水遞送系統可經構造為將量子點墨水遞送到第一噴墨印表機及第二噴墨印表機。第一噴墨印表機或第二噴墨印表機可進一步經構造為分配紫外線鎖定層材料或布拉格(Bragg)反射層材料的一或多者。
每個顏色轉換層可從藉由支架移動的噴墨印表機分配。利用支架移動噴墨印表機可包括將工件對準到噴墨印表機上的第一基準標記。在將每個顏色轉換層分配到工件上之後，顏色轉換層可利用紫外光及氮氣簾幕固化。此可係成像系統，並且控制器可經構造為基於來自感測器的影像偵測印刷缺陷。
修復模組可包括：返工分配腔室，包括用於固持工件的返工分配支撐件及用於將返工顏色轉換前驅物遞送到工件上以返工第一顏色轉換層或第二顏色轉換層的一或多者的返工噴墨印表機；返工固化站，用於固化返工顏色轉換前驅物以在工件上的第四複數個LED上方形成返工顏色轉換層；及返工洗滌/乾燥腔室，包括用於固持工件的返工洗滌支撐件及用於從工件、返工分配腔室、及返工洗滌/乾燥腔室移除返工顏色轉換層的未固化部分的返工洗滌組件。複數個中間腔室的至少一者（例如，複數個中間腔室的每一者）可包括用於從傳遞線移除工件或將工件插入傳遞線的可密封埠。
工具可經構造為用於僅穿過複數個傳遞腔室插入及移除工件。工具可經構造為用於穿過第一傳遞腔室將工件插入工具中並且穿過第二傳遞腔室從工具移除工件。工具可經構造為用於穿過複數個傳遞腔室的每一者將工件插入工具中並且從工具移除工件。第二分配腔室可藉由可密封埠耦接到第二傳遞腔室。控制器可經構造為導致工件運輸系統順序地穿過第一分配腔室、第一傳遞腔室、第一洗滌/乾燥腔室、第一傳遞腔室、第二分配腔室、第二傳遞腔室、及第二洗滌/乾燥腔室來移動工件。處理腔室的至少一者可耦接到多個傳遞腔室。複數個處理腔室可包括用於固化第一顏色轉換前驅物以形成第一顏色轉換層並且固化第二顏色轉換前驅物以形成第二顏色轉換層的共用固化站。複數個處理腔室可包括用於固化第一顏色轉換前驅物以形成第一顏色轉換層的第一固化站及用於固化第二顏色轉換前驅物以形成第二顏色轉換層的第二固化站。每個處理腔室可藉由相應可密封埠耦接到中央傳遞腔室。
第三分配腔室可包括用於固持工件的第三分配支撐件及用於將與第一顏色轉換前驅物及第二顏色轉換前驅物不同的第三顏色轉換前驅物遞送到工件上的第三噴墨印表機。第三固化站可固化第三顏色轉換前驅物以在工件上的第三複數個LED上方形成第三顏色轉換層。第三洗滌/乾燥腔室可包括用於固持工件的第三洗滌支撐件及用於從工件移除第三顏色轉換層的未固化部分的第三洗滌組件。控制器可經構造為導致工件運輸系統順序地穿過第一分配腔室、第一洗滌/乾燥腔室、第二分配腔室、第二洗滌/乾燥腔室、第三分配腔室、及第三洗滌/乾燥腔室來移動工件。
實施方式可以視情況提供（並且不限於）以下優點的一或多者。
可以實現解決微型LED顯示器製造製程的所有關鍵步驟的無縫工作流程。在此上下文中，「無縫」指示對應於顯示器的多種顏色的多個顏色轉換層可以使用多個處理步驟（例如，塗佈、原位固化、及沖洗）在顯示器工件上製造，該等處理步驟均不從工具的受控環境（例如，真空）移除工件。
處理步驟（塗佈、原位固化、及沖洗）可以在全程中對準以降低工作流程的低效。可以實現基於每個處理階段的就緒狀態的處理作業的有效排程。
平台可以係可構造且可重新構造的，此可以允許適應不同平板製造製程。
製造輸出可以藉由無縫工作流程增加以支援大尺寸及高處理量操作。因此，顏色轉換劑可以較高良率及處理量在微型LED的陣列上方選擇性形成。此可允許以商業上可行的方式製造多顏色微型LED顯示器。整合的製造線及/或群集製造平台可以增加基於每個處理階段的就緒狀態的處理作業的排程的有效性，並且增加製造工作產品的目標處理量。
可以增加工作產品品質。例如，原位固化可以自動地確保對準準確性。可以改進多種光發射、光轉換、及功能材料的位置準確性及可重複性。
可以改進工作產品缺陷偵測。例如，微型LED基板及處理環境的原位量測可以改進處理控制以製造較高品質的基板。此外，可以在製造製程中較早偵測到缺陷。
其他態樣、特徵及優點將從描述及附圖、以及從申請專利範圍中顯而易見。
在下文描述各種實施方式。可以預期，一個實施方式的元件及特徵可有利地併入其他實施方式中，而無需進一步敘述。
如上文提及，顏色轉換劑的選擇性沉積可以使用高解析度蔽荫遮罩、可控的噴墨或氣溶膠噴射印刷來執行。此種顏色轉換劑可能需要固化，並且未固化的材料可能需要洗滌掉。目前，此種步驟在不同的獨立式工具中執行，並且不存在用於製造微型LED顯示器的無縫工作流程。因此，在各種工具處可以存在不平衡的處理量，以及每次從工具移除面板時污染的危險。總而言之，需要新技術來在製造微型LED期間精確且成本有效地協調製造製程。
可以解決此等問題的技術提供了工具，其中連接多個腔室以執行用於無縫製造微型LED顯示器的各種製程。微型LED顯示器製造工具可以具有多個獨立可密封腔室（例如，以群集或線佈置的分配腔室、洗滌/乾燥腔室、及固化腔室）、及用於順序地穿過多個腔室移動微型LED顯示器的微型LED顯示器運輸系統。此技術可以克服製造處理量及製造可縮放性的挑戰。 微型Led陣列
第1圖示出了包括在背板16上設置的獨立微型LED 14（參見第2A圖及第2B圖）的陣列12的微型LED顯示器10。微型LED 14已經與背板電路系統18整合，使得可以獨立地定址每個微型LED 14。例如，背板電路系統18可以包括具有針對每個微型LED的薄膜電晶體及儲存電容器（未示出）的薄膜電晶體(thin-film transistor; TFT)主動矩陣陣列、列位址及行位址線18a，列及行驅動器18b等，用於驅動微型LED 14。由於可能需要較高電流/電壓（UV劑量）來固化顏色轉換層材料，使用TFT主動矩陣陣列可以避免對TFT電路系統施加電應力。或者，微型LED 14可以藉由背板電路系統18中的被動矩陣驅動。背板16可以使用習知的互補金屬氧化物半導體製造製程來製造。
第2A圖及第2B圖示出了具有獨立微型LED 14的微型LED陣列12的一部分。所有微型LED 14製造成具有相同結構以便產生相同的波長範圍（此可以被稱為「單色」微型LED）。例如，微型LED 14可以產生紫外(ultraviolet; UV)（例如，近紫外）範圍中的光。例如，微型LED 14可以產生在365至405 nm的範圍中的光。作為另一實例，微型LED 14可以產生在紫色或藍色範圍中的光。微型LED可以產生具有20至60 nm的光譜頻寬的光。
第2B圖示出了可以提供單個像素的微型LED陣列的一部分。假設微型LED顯示器係三色顯示器，每個像素包括三個子像素，每種顏色一個子像素，例如，一個子像素各自用於藍色、綠色及紅色通道。因此，像素可以包括三個微型LED 14a、14b、及14c。例如，第一微型LED 14a可以對應於藍色子像素，第二微型LED 14b可以對應於綠色子像素，並且第三微型LED 14c可以對應於紅色子像素。然而，下文論述的技術可應用於使用較大數量顏色（例如，四種或多種顏色）的微型LED顯示器。在此情況下，每個像素可以包括四個或多個微型LED，其中每個微型LED對應於相應顏色。此外，下文論述的技術可應用於使用單種顏色或者兩種或三種顏色的微型LED顯示器。
大體上，單色微型LED 14可以產生在具有一峰的波長範圍中的光，其中波長不大於意欲用於顯示器的最高頻率顏色（例如，紫光或藍光）的波長。顏色轉換層40a、40b、40c可以將此短波長的光轉換為較長波長的光，例如，用於紅色或綠色子像素的紅光或綠光。若微型LED產生UV光，則顏色轉換劑可以用於將UV光轉換為用於藍色子像素的藍光。若微型LED產生藍光，則在用於藍色像素的微影LED上方不需要顏色轉換劑。
垂直隔離壁20在相鄰的微型LED之間形成。隔離壁提供了光學隔離以幫助局部化聚合並且減少在下文論述的原位聚合期間的光學串擾。此外，其可以在點亮操作期間幫助防止顏色滲出或污染。隔離壁20可以係光阻劑或金屬，並且可以藉由習知的微影製程沉積。如第2A圖所示，壁20可以形成矩形陣列，其中獨立凹陷22中的每個微型LED 14藉由壁20界定。其他陣列幾何形狀（例如，六邊形或偏移矩形陣列）亦係可能的。用於背板整合及隔離壁形成的可能製程在下文更詳細論述。壁的高度H足以阻擋來自一個微型LED的光到達相鄰的微型LED。 製造製程
第3A圖至第3H圖示出了在製造製程中在顯示器10的微型LED陣列上方選擇性形成顏色轉換劑(CCA)層的方法。最初，如第3A圖所示，第一光可固化流體30在已經與背板電路系統（參見第2C圖）整合的微型LED 14的陣列上方沉積。第一光可固化流體30可以具有大於隔離壁20的高度H的深度D。或者，第一光可固化流體30可以具有等於或小於隔離壁的高度H的深度D。小於隔離壁的高度H的深度D可以係有利的，因為某些聚合物基質可以引起波導效應，此可以降低選擇性固化微型LED 14的陣列的有效性。
返回到第3A圖，第一光可固化流體30可以在微型LED陣列上方的顯示器上藉由旋塗、浸漬、噴塗、噴墨、或絲網印刷製程沉積。噴墨製程可以更有效地消耗第一光可固化流體30。儘管示出為覆蓋整個像素，第一光可固化流體30可以僅放置或主要放置在對應於第一顏色的子像素中。
接下來，如第3B圖所示，背板16的電路系統用於選擇性啟動微型LED 14a的第一集合。此微型LED 14a的第一集合對應於第一顏色的子像素。特定而言，微型LED 14a的第一集合對應於將藉由第一光可固化流體30中的顏色轉換成分產生的光顏色的子像素。例如，假設第一光可固化流體30中的顏色轉換成分將來自微型LED 14的光轉換為藍光，則僅開啟對應於藍色子像素的彼等微型LED 14a。因為微型LED陣列已經與背板電路系統18整合，電力可以供應給微型LED顯示器10並且控制信號可以由微處理器應用以選擇性開啟微型LED 14a。此情況描述了微型LED 14a經由先前論述的TFT電路系統的選擇性點亮。或者，選擇性點亮微型LED 14a可以藉由分離的電路進行，該電路可以包括短路桿。此可以使得能夠施加較高電流/電壓（UV劑量）以固化顏色轉換材料，同時避免對TFT電路系統加電應力。
參見第3B圖及第3C圖，啟動微型LED 14a的第一集合產生照明A（參見第3B圖），此導致原位固化第一光可固化流體30以在每個啟動的微型LED 14a上方形成第一凝固的顏色轉換層40a（參見第3C圖）。簡而言之，固化第一光可固化流體30以形成顏色轉換層40a，但僅在所選的微型LED 14a上。
第3C圖示出了固化不延伸穿過裝置上的流體的整個厚度的第一光可固化流體30的一部分。在其中精確地控制固化劑量或其中固化減少導致自限制製程的紫外光的傳輸的情況中，此舉可係可能的。然而，在一些實施方式中，可以固化在微型LED 14a之上的第一光可固化流體30的整個厚度。
在一些情況下，第一光可固化流體30可以具有大於隔離壁20的高度H的深度D。或者，第一光可固化流體30可以具有等於或小於隔離壁的高度H的深度D，此可以導致完全固化在微型LED 14a之上的整個顏色轉換層材料。例如，用於轉換為藍光的顏色轉換層40a可以在每個微型LED 14a上形成。
在一些實施方式中，固化係自限制製程。例如，來自微型LED 14a的照明（例如，UV照明）可以具有到光可固化流體30中的有限穿透深度。因此，儘管第3B圖示出了照明A到達第一光可固化流體30的表面，此係不必要的。在一些實施方式中，來自所選微型LED 14a的照明未到達其他微型LED 14b及14c。在此情況下，隔離壁20可能不是必要的。
然而，若在微型LED 14之間的間隔足夠小，則隔離壁20可以肯定地阻擋來自所選微型LED 14a的照明A到達其他微型LED上方的區域，該區域將在來自彼等其他微型LED的照明的穿透深度內。隔離壁20亦可以包括在內，例如，僅僅作為防止照明到達其他微型LED上方的區域的保證。
可以針對第一光可固化流體30的適當光子劑量來選擇用於微型LED 14a的第一集合的驅動電流及驅動時間。用於固化第一光可固化流體30的每個子像素的功率不一定與微型LED顯示器10的顯示器模式下的每個子像素的電力相同。例如，用於固化模式的每個子像素的電力可以高於用於顯示器模式的每個子像素的電力。
參見第3D圖，當固化完成並且形成第一凝固的顏色轉換層40a時，殘留的未固化的第一光可固化流體30從顯示器10移除。此使其他微型LED 14b及14c暴露出用於接下來的沉積步驟。在一些實施方式中，未固化的第一光可固化流體30僅僅利用溶劑（例如，水、乙醇、甲苯、甲乙酮、異丙醇、或其組合）從顯示器沖洗。若第一光可固化流體30包括負光阻劑，則沖洗流體可以包括用於光阻劑的光阻劑顯影劑。
參見第3E圖，重複上文關於第3A圖至第3D圖描述的處理但利用未圖示的第二光可固化流體，類似於先前描述的第一光可固化流體及啟動微型LED 14b的第二集合。在沖洗之後，在微型LED 14b的第二集合的每一者上方形成第二顏色轉換層40b。
第二光可固化流體類似於第一光可固化流體30，但包括顏色轉換劑以將來自微型LED 14的較短波長的光轉換為不同的第二顏色的較長波長的光。例如，第二顏色可以係綠色。
微型LED 14b的第二集合對應於第二顏色的子像素。特定而言，微型LED 14b的第二集合對應於將藉由第二光可固化流體中的顏色轉換成分產生的光顏色的子像素。例如，假設第一光可固化流體30中的顏色轉換成分將來自微型LED 14的光轉換為綠光，則僅開啟對應於綠色子像素的彼等微型LED 14b。
參見第3F圖，視情況再次重複上文關於第3A圖至第3D圖描述的處理，但利用未圖示的第三光可固化流體，類似於第一光可固化流體及第二光可固化流體及啟動微型LED 14c的第三集合。在沖洗之後，第三顏色轉換層40c在微型LED 14c的第三集合的每一者上方形成。
第三光可固化流體類似於第一光可固化流體30，但包括顏色轉換劑以將來自微型LED 14的較短波長的光轉換為不同的第三顏色的較長波長的光。例如，第三顏色可以係紅色。
微型LED 14b的第三集合對應於第三顏色的子像素。特定而言，微型LED 14b的第三集合對應於將藉由第三光可固化流體中的顏色轉換成分產生的光顏色的子像素。例如，假設第三光可固化流體中的顏色轉換成分將來自微型LED 14的光轉換為紅光，則僅開啟對應於紅色子像素的彼等微型LED 14b。
在第3A圖至第3F圖中示出的此具體實例中，針對每種顏色子像素沉積顏色轉換層40a、40b、40c。例如，當微型LED產生紫外光時，需要此操作。
然而，微型LED 14可以產生藍光而非UV光。在此情況下，可以跳過藉由含有藍色顏色轉換劑的光可固化流體塗佈顯示器10，並且可以使用綠色及紅色子像素的光可固化流體執行製程。留下不具有顏色轉換層的微型LED的一個集合，例如，如第3E圖所示。未執行第3F圖所示的製程。例如，第一光可固化流體30可以包括綠色CCA且微型LED的第一集合14a可以對應於綠色子像素，並且第二光可固化流體可以包括紅色CCA且微型LED的第二集合14b可以對應於紅色子像素。在一些實施方式中，微型LED 14a及微型LED 14b係紫外微型LED，並且微型LED 14c係藍色微型LED。
在又一實施方式中，即使微型LED的第三集合14c不使用顏色轉換，例如，微型LED 14c係藍色微型LED，結構可以在微型LED 14c上方形成，該結構類似於在微型LED的第一集合14a及第二集合14a上方的結構。特定而言，可以分配第三光可固化流體，並且開啟僅對應於第三顏色（例如，紅色子像素）的彼等微型LED 14b以固化第三光可固化流體。然而，第三光可固化流體不包括顏色轉換劑，使得所得層用作「虛設」層而非顏色轉換層。
假設光可固化流體30（例如，第一光可固化流體、第二光可固化流體、及第三光可固化）包括溶劑，一些溶劑可在顏色轉換層40a、40b、40c中俘獲。參見第3G圖，此溶劑可以蒸發，例如，藉由將微型LED陣列暴露於熱，諸如藉由IR燈。從顏色轉換層40a、40b、及40c蒸發溶劑可以導致層收縮，使得最終層較薄。
移除溶劑並且收縮顏色轉換層40a、40b、及40c可以減少在量子點之間的間隔，使得所得顏色轉換層40a可以在吸收率及反射率中表現不同。另一方面，包括溶劑允許光可固化流體的其他成分的化學調配物的更大撓性，例如，在顏色轉換劑或可交聯成分中。此外，包括溶劑可以提供用於重複沉積製程使得多個層可以在微型LED 14a、微型LED 14b、及微型LED 14c上形成同時增加總量子點負載的技術。因此，吸收率可以增加，並且光學密度及光致發光可以增加。
視情況，如第3H圖所示，UV阻擋層50可以在所有微型LED 14的頂部上沉積。UV阻擋層50可以阻擋未由顏色轉換層40a、40b、及40c吸收的UV光。UV阻擋層50可以係布拉格反射器，或者可以僅僅係選擇性吸收UV光的材料。布拉格反射器可以朝向微型LED 14向後反射UV光，因此增加能量效率，但允許可見波長通過。 製造工具
用於製造微型LED顯示器的在第3A圖至第3H圖中較早描述且圖示的方法可以在無縫工作流程製造製程中順序地執行。製造製程在工具中順序且無縫地執行，該工具的各種佈置在第4圖至第13圖中圖示。
參見第4圖，LED顯示器製造工具400順序地處理微型LED顯示器10以沉積顏色轉換層。LED顯示器製造工具400以串列方式順序地穿過處理腔室傳遞微型LED顯示器10。LED顯示器製造工具400可以包括用於控制各個部件、及/或模組（例如，處理腔室及工件運輸系統）的操作的控制器426。
LED顯示器製造工具400包括第一分配腔室402。例如，如第2C圖所示，工件可以係具有背板16的部分製造的顯示器10，在該背板上設置微型LED 14及隔離壁20。第一分配腔室402與稍後描述的其他腔室獨立可密封。
參見第4圖及第15圖，第一分配腔室402包括用於在顯示器10上分配第一光可固化流體30的第一分配站433a。第一分配站433a可以包括用於將第一顏色轉換前驅物遞送到顯示器10上的第一分配器430a，該第一顏色轉換前驅物係具有較早描述的顏色轉換成分的第一光可固化流體30，尤其如第3A圖所示。第一分配站433a亦包括用於在遞送第一顏色轉換前驅物期間固持顯示器10的第一分配支撐件428a。第17A圖直觀地描繪了在第一分配腔室402中發生以遞送並且固化顯示器10上的第一顏色轉換前驅物的第3A圖至第3C圖所示的製程。
在一些實施方式中，第一分配器430a係將噴射光可固化流體的液滴222的第一噴墨印表機。或者，第一分配器430a可以係絲網印表機、旋轉塗佈器、或狹槽塗佈器。第一分配器430a可以耦接到支架432a以隨著印表機在第一分配腔室402內移動而控制第一噴墨印表機的位置。或者，分配器可以係固定的並且顯示器10可以安裝在可移動支撐件上，同時分配光可固化流體。
第一噴墨印表機可以具有第一印刷頭陣列、第一服務站、及第一墨水貯槽（未圖示）。第一印刷頭陣列包括一或多個印刷頭，每個印刷頭具有一或多行噴嘴以將第一光可固化流體30導引至顯示器10上。第一服務站允許在第一噴墨印表機上執行預防或校正維護動作。第一墨水貯槽耦接到印刷頭陣列以將墨水提供到印刷頭陣列。電力、控制信號及墨水可以穿過軟管及電纜提供到印刷頭陣列，當印刷頭陣列沿著第一分配腔室內的第一支架432a移動時，該等軟管及電纜係可移動的。
第一分配支撐件428a可以係例如來自板的基座、邊緣支撐件、或升舉銷。在一些實施方式中，第一分配支撐件428a藉由機器人提供，該機器人係工件運輸系統的一部分。
第一分配支撐件428a可以係可移動平台。顯示器10可以經由第一噴墨印表機（未圖示）上的基準標記與印刷頭陣列的噴嘴（未圖示）對準以允許高精確印刷（噴墨）顏色轉換劑。此外，後印刷品質控制檢查（諸如藉由高解析度成像系統進行的檢查）可以偵測印刷缺陷，使得在移動到其他模組上用於進一步處理之前可以在第一分配腔室402中發生返工。
在一些實施方式中，LED顯示器製造工具400包括噴墨修復模組（未圖示）。噴墨修復模組可以包括紅綠藍印刷頭、紫外固化模組、及洗滌/乾燥模組。噴墨修復模組可以耦接到第三分配腔室416（亦即，在製造製程終止時）以允許當在顯示器10上存在稀疏的微型LED子像素（未圖示）時修復顯示器10。
第15圖圖示了在LED顯示器製造工具400的第一分配腔室402內含有的示例噴墨印表機1500系統的詳細示意性橫截面。系統1500可以包括遮罩210及印刷頭220、或附接到致動器230的印刷頭陣列，使得印刷頭220可以沿著軸在方向232上移動。在一些實施方式中，第一分配支撐件428a（具有顯示器10）可以移動，同時印刷頭220保持固定分配液滴222。遮罩210在微型LED顯示器10之上支撐並且以0.1-2 mm的距離203與顯示器10上的壁20垂直地分離。或者，遮罩210可以移動為與微型LED顯示器接觸。遮罩210可以具有與將用顏色轉換材料填充的子像素壁50相同大小的孔徑213，並且視情況具有相同形狀。例如，孔徑213可以係8-10微米寬。在一些實施方式中，在遮罩210中的孔徑213（亦即，特徵孔洞）的大小可以遠大於每個子像素壁50的凹陷226的大小（寬度），亦即，特徵孔洞的大小可以係10-200微米。孔徑的大小小於在子像素之間的節距。
印刷頭220位於遮罩210之上，例如，隔開0.25-2 mm的距離205。將印刷頭220控制為將調配物的液滴222選擇性沉積到對應子像素阱50中。在一些實施方式中，噴射液滴222，並且來自噴射力的剪切動量將液滴222朝向顯示器10推動。液滴可以在五公尺每秒至十五公尺每秒之間的噴注速率來推動。
隨著裝置解析度增加，子像素阱50的大小收縮，並且亦需要減小液滴體積或重量以避免阱50的溢流及/或簡單容納在阱50內。因此，液滴222受空氣阻力或空氣流的影響更大。理想地，將從印刷頭220分配的液滴222遞送到對應子像素阱50中。然而，偏離期望路徑並且將撞擊對應於其他顏色的阱的液滴224可以由遮罩210阻擋。理想地，液滴將不會溢出對應的子像素阱50，如第2A圖所示。
LED顯示器製造工具400具有實質上類似於第一分配腔室402的第二分配腔室404。第二分配腔室404包括第二分配站，該第二分配站具有用於固持顯示器10的第二支撐件428b及用於將與第一顏色轉換前驅物（第一光可固化流體30）不同的第二顏色轉換前驅物（第二光可固化流體）遞送到顯示器10上的第二分配器430b。第二分配器430b可以耦接到第二支架432b以隨著第二分配器430b在第二分配腔室404內移動而控制第二分配器430b（第二噴墨印表機）的位置。第17C圖直觀地描繪了在第二分配腔室404中發生以遞送及固化顯示器10上的第二顏色轉換前驅物的第3E圖所示的製程。
LED顯示器製造工具400可以具有實質上類似於第一分配腔室402及第二分配腔室404的第三分配腔室406。第三分配腔室406包括第三分配站，該第三分配站具有用於固持顯示器10的第三分配支撐件428c及用於將與第一顏色轉換前驅物（第一光可固化流體30）及第二顏色轉換前驅物（第二光可固化流體）不同的第三顏色轉換前驅物（第三光可固化流體）遞送到顯示器10上的第三分配器430b。第三分配器430c可以耦接到第三支架432c以隨著第三分配器430c在第三分配腔室406內移動而控制第三分配器430c（第三噴墨印表機）的位置。第17E圖直觀地描繪了在第三分配腔室406中發生以遞送及固化顯示器10上的第三顏色轉換前驅物的第3F圖所示的製程。
第一分配腔室402亦包括用於固化顯示器10上的第一光可固化流體30以在顯示器10上的LED的第一集合上方形成第一顏色轉換層的第一固化站434a，如較早描述並且在第3B圖至第3C圖中圖示。
第一固化站434a可以包括與第一分配支撐件428a分離的在第一分配腔室402中定位的第一固化支撐件456。第一固化支撐件456在固化製程期間固持顯示器10。
第一固化站434a可以包括操作地耦接到控制器426的電路系統478（第16圖所示）。第一固化站電路系統478可以啟動LED的第一集合以發射光來固化第一光可固化流體30。儘管示出為支撐件456的部分，電路系統478可以在從頂表面降低到顯示器10的接觸邊緣的分離主體上。
替代地或此外，第一固化站可以在固化製程期間供應惰性氣體以屏蔽顯示器10。例如，惰性氣體可以係氮(N 2)氣體簾幕。氮氣可以提供惰性環境以允許更完全或完全紫外固化第一光可固化流體30。在一些情況下，在使用自限制固化並且固化層的高度小於D的情況下，可能不需要氮氣簾幕。
LED顯示器製造工具400具有實質上類似於第一固化站的第二分配腔室404中的第二固化站434b，用於固化第二顏色轉換前驅物來在顯示器10上的LED的第二集合上方形成第二顏色轉換層。同樣，第三分配腔室406具有實質上類似於第一固化站434a及第二固化站434b的第三固化站434c，用於固化第三顏色轉換前驅物以在顯示器10上的LED的第三集合上方形成第三顏色轉換層。
第一分配腔室402可以包括用於監控工件的一或多個條件的第一檢查感測器438a。參見第16圖，在一些實施方式中，第一檢查感測器438a係在具有分離支撐件457a的分離監控站435a處，用於在檢查感測器438a掃描工件時固持工件。在一些實施方式中，第一檢查感測器438a與其他監控站的一或多者整合。
第一檢查感測器438a將表示第一工件的條件的信號發射到控制器426。第一檢查感測器438a可以包括多個感測器。例如，第一檢查感測器438a可以包括高速高解析度光學成像器（用於基板對準、材料沉積缺陷偵測及校正）或發光成像器（用於控制UV固化、材料處理、缺陷偵測、裝置效能映射、及查找表映射）。同樣，第二分配腔室404可以包括第二檢查感測器438b並且第三分配腔室406可以包括實質上類似於先前描述的第一檢查感測器438a的第三檢查感測器438c。
第一分配腔室402可以包括用於監控第一分配腔室402內部的一或多個環境條件的第一環境感測器436a。第一環境感測器436a將表示第一分配腔室402的條件的信號發送到控制器426。例如，一或多個環境感測器可以監控溫度、相對濕度、氣體成分等，並且將此資料提供到可以控制處理腔室中的部件的控制演算法。此舉可以提供改進的製程穩定性控制。
同樣，第二分配腔室404可以包括第二環境感測器436b並且第三分配腔室406可以包括實質上類似於先前描述的第一環境感測器436a的第三環境感測器436c。
LED顯示器製造工具400可以包括外部耦接到第一分配腔室402的第一裝載閘腔室408。第一裝載閘腔室408處置將工件裝載到製造工具400中。第一裝載閘腔室408可以包括用於固持工件的支撐件。閥484a可以將第一裝載閘腔室408與外部環境（例如，清潔室）分離。另一閥484b（例如，狹縫閥）可以將第一裝載閘腔室408與第一分配腔室402分離。使用者或機器人將工件放置到裝載閘極腔室408中，隨後關閉外部閥484a。隨後空氣從第一裝載閘腔室408抽空（或藉由純氣體替換，例如，惰性氣體、或清潔空氣）。當內部閥484b打開時，機器人449a到達第一裝載閘腔室408中並且取出工件。
如第4圖所示，第二裝載閘腔室410耦接到第三洗滌/乾燥腔室416以處置從製造工具400卸載完成的微型LED顯示器10。閥488a可以將第三洗滌/乾燥腔室416與外部環境（例如，清潔室）分離。另一閥488b（例如，狹縫閥）可以將第一裝載閘腔室410與第三洗滌/乾燥腔室416分離。
第一分配腔室402可以經構造為監控及控制第一分配腔室402內的污染濃度。出於多種原因，污染可以發生或進入第一分配腔室內。例如，污染可以來自正常空氣污染物、外來物體、或來自顏色轉換前驅物的濺射或蒸汽。
減少第一分配腔室402中的污染濃度的一種構件可以係粒子污染控制模組。粒子污染控制模組可以包括高效顆粒空氣過濾器470（第16圖所示）及顆粒計數器。高效顆粒空氣過濾器470流體耦接到第一分配腔室402。高效顆粒空氣過濾器470減少來自穿過空氣入口（未圖示）進入第一分配腔室402的空氣的污染濃度，其中空氣來自周圍大氣。
粒子污染控制模組可以裝備有耦接到第一分配腔室的顆粒計數器以取樣第一分配腔室中的空氣的污染濃度。顆粒計數器監控空氣中的污染物並且將表示空氣中的污染水平的信號發送到粒子污染控制模組。粒子污染模組可以操作地耦接到控制器426。
參見第16圖，第一分配腔室402可以包括流體耦接到第一分配腔室402的第一排氣管道472。第一排氣管道472控制從第一分配腔室402到大氣的氣流。第一排氣管道472可以包括第一排氣流動感測器474，該第一排氣流動感測器經定位為監控第一排氣流動條件並且將表示第一排氣流動條件的信號發送到層流排氣模組。替代地或此外，第一排氣流動感測器可以將表示第一排氣流動的信號發送到粒子污染控制模組或控制器426。排氣管道472可以具有用於將空氣穿過排氣管道從第一分配腔室402移動到大氣的泵476。
第二分配腔室404可以裝備有實質上類似於第一粒子污染控制模組的第二粒子污染控制模組。第三分配腔室406可以裝備有實質上類似於第一粒子污染控制模組及第二粒子污染控制模組的第三粒子污染控制模組。
層流排氣模組可以接收表示第一排氣流動條件的信號，接收表示第二排氣流動條件的信號，並且控制基於第一排氣流動條件從第一分配腔室402到大氣的氣流、基於第二排氣流動條件從第二分配腔室402的氣流、及基於第三排氣流動條件從第三分配腔室406的氣流。層流排氣模組可以在噴墨印刷頭附近定位以允許穩定噴墨流動動力學。
參見第16圖，第一分配腔室402可以包括用於允許第一分配器430a（其亦可以係較早描述的印刷頭220）或第一檢查感測器438a進入第一分配腔室402的第一進入埠478。與第一分配腔室402一樣，第二分配腔室404可以包括實質上類似於第一進入埠的第二進入埠。此外，第三分配腔室406可以包括實質上類似於第一進入埠及第二進入埠的第三進入埠。
LED顯示器製造工具400具有第一洗滌/乾燥腔室412，該第一洗滌/乾燥腔室包括用於固持顯示器10的第一洗滌支撐件（未圖示）及第一洗滌組件（未圖示）。第一洗滌組件將洗滌流體噴射到工件上以從顯示器10移除第一光可固化流體30的未固化部分，如第3D圖所示並且在上文描述。第一洗滌/乾燥腔室412亦乾燥工件。第一洗滌/乾燥腔室412與本文描述的其他腔室獨立可密封。在一些情況下，在第一顏色轉換層從顯示器10移除之後，第一洗滌/乾燥腔室412可以乾燥顯示器10。此外，第一洗滌/乾燥腔室412可以包括實質上類似於較早描述的第一環境感測器436a的第四環境感測器436d，用於監控第一洗滌/乾燥腔室412的條件。第17B圖直觀地描繪了在第一洗滌/乾燥腔室412中發生以移除殘留的未固化第一光可固化流體的第3D圖所示的製程。
LED顯示器製造工具400亦具有第二洗滌/乾燥腔室414，該第二洗滌/乾燥腔室包括用於固持顯示器10的第二洗滌支撐件（未圖示）及第二洗滌組件（未圖示）。第二洗滌組件將洗滌流體噴射到工件上以從顯示器10移除第二光可固化流體的未固化部分，如第3D圖所示並且在上文描述。第二洗滌/乾燥腔室414亦乾燥工件。第二洗滌/乾燥腔室414與本文描述的其他腔室獨立可密封。此外，第二洗滌/乾燥腔室414可以包括實質上類似於較早描述的環境感測器的第八環境感測器436e，用於監控第二洗滌/乾燥腔室414的條件。第17D圖直觀地描繪了在第二洗滌/乾燥腔室414中發生以移除殘留的未固化第二光可固化流體的第3D圖所示的製程。
第一隔離部件418a將第一分配腔室402連結到第一洗滌/乾燥腔室412。第一隔離部件418a分離各個腔室以防止交叉污染。第一隔離部件418a可以係埠，例如，狹縫閥。或者，第一隔離部件418a可以係在任一側面上具有支撐件及狹縫閥的固持腔室，該狹縫閥將固持腔室連接到相鄰處理腔室。顯示器10在箭頭422的方向上移動到下一順序腔室。在一些實施方式中，第一隔離部件418a可以包括用於監控顯示器10的狀態及/或閥的狀態（亦即，打開或關閉）的感測器。
在一些實施方式中，用於固持被拒絕的顯示器10的丟棄箱（未圖示）包括在LED顯示器製造工具400中。丟棄箱可以耦接到腔室的任一者。例如，丟棄箱可以藉由第一隔離部件418a耦接到第一洗滌/乾燥腔室。或者，被拒絕的顯示器10可以穿過各個腔室傳到耦接到第二裝載閘腔室410的丟棄箱。
第二隔離部件418b將洗滌/乾燥腔室412連結到第二分配腔室404。第二機器人440b將顯示器10從第一洗滌/乾燥腔室412移動到第二分配腔室404。顯示器10藉由第二機器人440b在第二分配腔室404內移動。顯示器10可以藉由第二機器人440b在第二分配支撐件428b上定位。顯示器10可以隨後在第二分配腔室404周圍移動。
第三隔離部件418c將第二分配腔室404連結到第二洗滌/乾燥腔室414。第三機器人440c將顯示器10從第二分配腔室404移動到第二洗滌/乾燥腔室414。顯示器10可以在第二分配支撐件428b中定位並且藉由第三機器人440c在第二分配腔室404中移動。
第四隔離部件418d將第二洗滌/乾燥腔室414連結到第三分配腔室406。第四機器人440d將顯示器10從第二洗滌/乾燥腔室414移動到第三分配腔室406。顯示器10可以在第三分配支撐件428c中定位並且藉由第五機器人440e在第三分配腔室406中移動。
第五隔離部件418e將第三分配腔室406連結到第三洗滌/乾燥腔室416。第五機器人440e將顯示器10從第三分配腔室406移動到第三洗滌/乾燥腔室416。第六機器人440f在第三洗滌/乾燥腔室416中移動顯示器10。第六機器人440f將工件移動到第二裝載閘腔室410，在箭頭424的方向上離開第二裝載台。
控制器426操作地耦接到先前描述的腔室及部件的每一者以導致工件運輸系統串列地穿過第一分配腔室402、第一洗滌/乾燥腔室412、第二分配腔室404、第二洗滌/乾燥腔室414、第三分配腔室406、及第三洗滌/乾燥腔室416順序地移動顯示器10。
在一些實施方式中，支撐件可以在腔室內的不同站之間可移動。在此情況下，機器人仍可在每個腔室中存在，例如，用於在腔室之間移動工件。然而，不需要機器人在特定腔室內的不同站的支撐件之間移動工件。
在一些實施方式中，將多個站的功能（例如，分配及固化）整合到單個站中。在此情況下，相同支撐件可以用於不同處理步驟，並且用於不同步驟的多個支撐件並非必需。
在一些實施方式中，支撐件的一或多者（例如，第一分配支撐件428a）可以在腔室之間可移動以便在腔室之間運輸工件。在此情況下，機器人仍可在每個腔室中存在，例如，用於在腔室內的不同站的支撐件之間移動工件。
在一些實施方式中，支撐件可以在不同腔室之間並且在腔室內的不同站之間可移動。在此情況下，可能不需要機器人。額外腔室及/或子群集可以包括在內以處置額外材料處理、及修復需求。
如第5圖所示，LED顯示器製造工具500可以順序地處理微型LED顯示器10以沉積顏色轉換層，但經構造為允許在每個分配腔室及洗滌/乾燥腔室處裝載/卸載顯示器。此類型的佈置可以促進移除有缺陷的顯示器10。有缺陷的顯示器10可以從製造製程永久移除或者可以返回到先前腔室或站用於返工。LED顯示器製造工具500順序地穿過處理腔室傳遞微型LED顯示器10，並且具有返回或移除的選擇。LED顯示器製造工具500可以包括用於控制各個部件（例如，處理腔室及工件運輸系統）的操作的控制器526。LED顯示器製造工具500的各個腔室及站大體類似於較早描述的腔室及站。在一些實施方式中，第一隔離部件518a可以包括用於監控顯示器10的狀態及/或閥的狀態（亦即，打開或關閉）的感測器。
在一些實施方式中，用於固持被拒絕的顯示器10的丟棄箱（未圖示）包括在LED顯示器製造工具500中。丟棄箱可以耦接到腔室的任一者。例如，丟棄箱可以藉由第一隔離部件518a耦接到第一洗滌/乾燥腔室512。或者，被拒絕的顯示器10可以穿過各個腔室傳到耦接到第二裝載閘腔室510的丟棄箱。
LED顯示器製造工具500包括實質上類似於較早論述的第一分配腔室的第一分配腔室502。第一分配腔室502耦接到第一裝載/卸載閘腔室508a，該第一裝載/卸載閘腔室外部耦接到第一分配腔室502。第一機器人540a處置將顯示器10裝載到第一分配腔室502中並且從第一分配腔室502卸載顯示器10。
第一分配腔室502亦包括用於固化顯示器10上的第一光可固化流體30以在顯示器10上的LED的第一集合上方形成第一顏色轉換層的第一固化站434a，如較早描述並且在第3B圖至第3C圖中圖示。第一分配腔室502可以包括實質上類似於較早描述的感測器的第一檢查感測器438a及第一環境感測器436a。
LED顯示器製造工具500具有實質上類似於第一分配腔室502的第二分配腔室504。第二分配腔室504可以包括實質上類似於較早描述的感測器的第二檢查感測器438b及第二環境感測器436b。
第二分配腔室504耦接到第二裝載/卸載閘腔室508b，該第二裝載/卸載閘腔室外部耦接到第二分配腔室502。第二裝載/卸載閘腔室508b允許將顯示器10裝載到第二分配腔室504中並且從第二分配腔室504卸載顯示器10。
第二固化站434b位於第二分配腔室504中以固化第二顏色轉換前驅物，用於在顯示器10上的LED的第二集合上方形成第二顏色轉換層，該第二固化站實質上類似於第一固化站。同樣，第三分配腔室506具有實質上類似於第一固化站434a及第二固化站434b的第三固化站434c，用於固化第三顏色轉換前驅物以在顯示器10上的LED的第三集合上方形成第三顏色轉換層。
LED顯示器製造工具500具有實質上類似於第一分配腔室502及第二分配腔室504的第三分配腔室506。第三分配腔室506可以包括實質上類似於較早描述的感測器的第三檢查感測器438c及第三環境感測器436c。第三分配腔室506耦接到第二裝載/卸載閘腔室508c，該第二裝載/卸載閘腔室外部耦接到第三分配腔室506。第五機器人540e搬運顯示器10進出第三分配腔室506。
LED顯示器製造工具500具有實質上類似於較早描述的洗滌/乾燥腔室412的第一洗滌/乾燥腔室512。第一洗滌/乾燥腔室512可以包括實質上類似於較早描述的感測器的第四環境感測器436d。第一洗滌/乾燥腔室512耦接到第四裝載/卸載閘腔室508d，該第四裝載/卸載閘腔室外部耦接到第一洗滌/乾燥腔室512。第二機器人540b裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第一洗滌/乾燥腔室512及第四裝載/卸載閘腔室508d。
LED顯示器製造工具500亦具有實質上類似於較早描述的洗滌/乾燥腔室412的第二洗滌/乾燥腔室514。第二洗滌/乾燥腔室514可以包括實質上類似於較早描述的感測器的第五環境感測器436e。
第二洗滌/乾燥腔室514耦接到第五裝載/卸載閘腔室508e，該第五裝載/卸載閘腔室外部耦接到第二洗滌/乾燥腔室514。第三機器人540c裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第二洗滌/乾燥腔室514。
類似地，LED顯示器製造工具500具有實質上類似於較早描述的第一洗滌/乾燥腔室412的第三洗滌/乾燥腔室516。第三洗滌/乾燥腔室516可以包括實質上類似於較早描述的感測器的第六環境感測器436f。
第三洗滌/乾燥腔室516耦接到第六裝載/卸載閘腔室508f，該第六裝載/卸載閘腔室外部耦接到第三洗滌/乾燥腔室516。第六機器人540f裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第三洗滌/乾燥腔室516。
LED顯示器製造工具500具有經構造為順序地穿過各個腔室傳遞工件的工件（顯示器10）運輸系統。工件運輸系統可以藉由例如位於第一分配腔室402中的第一機器人540a提供。類似機器人可以在每個腔室中。例如，第一洗滌/乾燥腔室412可以具有第二機器人540b，第二分配腔室404可以具有第三機器人540c，第二洗滌/乾燥腔室514可以具有第四機器人540d，第三分配腔室506可以具有第五機器人540e，並且第三洗滌/乾燥腔室516可以具有第六機器人540f。
例如，藉由操作人員或機器人540a將顯示器10放置在第一裝載/卸載閘腔室508a中，如由箭頭520a所示。第一裝載/卸載閘腔室508a可以藉由閥（例如，狹縫閥）耦接到第一分配腔室502，可以穿過該閥傳遞工件。
藉由第一機器人540a將工件從第一裝載/卸載閘腔室508a移動到第一分配腔室502中。例如，機器人540a可以穿過開口狹縫閥到達以從第一裝載/卸載閘腔室508a取回工件。第一分配腔室執行工件內含有的工作製程。工件在由箭頭522所示的方向上穿過第一隔離部件518a從第一分配腔室502移動到第一洗滌/乾燥腔室512。或者，工件可以藉由第一機器人540a穿過第一裝載/卸載閘腔室508a卸載，如由箭頭520b所示。
第一隔離部件518a將第一分配腔室502連結到第一洗滌/乾燥腔室512。第一機器人540a將顯示器10從第一分配腔室502移動到第一洗滌/乾燥腔室512。第一隔離部件518a實質上類似於較早描述的隔離部件。先前從第一分配腔室502移除的工件可以藉由第二機器人540b放置到第一洗滌/乾燥腔室512中。第二機器人540b可以將工件傳遞到第一洗滌/乾燥腔室512中，如由箭頭544a所示。工件可以在箭頭544b的方向上藉由第二機器人540b穿過第四裝載/卸載閘腔室從第一洗滌/乾燥腔室512卸載。
第二機器人540b在第一洗滌/乾燥腔室512內移動工件。第一洗滌/乾燥腔室512沖洗工件。第四機器人540b隨後在箭頭522的方向上將工件從第一洗滌/乾燥腔室512移動到第二隔離部件518b中。
第二隔離部件518b將第一洗滌/乾燥腔室512連結到第二分配腔室504。如由箭頭546a所示，藉由第三機器人540c將顯示器10移動到第二分配腔室504中。第二分配腔室504執行顯示器10內含有的工作製程。若需要，工件在箭頭546b的方向上藉由第三機器人540c從第二分配腔室504移動到第二裝載/卸載閘腔室508b。工件可以在箭頭546a的方向上穿過第二裝載/卸載閘腔室508b放置到第二分配腔室504中。第三機器人540c將工件移動到第三隔離部件518c，如由522所示。
第三隔離部件518c將第二分配腔室504連結到第二洗滌/乾燥腔室514。第四機器人540d將顯示器10從第二分配腔室504移動到第二洗滌/乾燥腔室514中，如由箭頭522所示。第三機器人540c亦可以將顯示器10從第二分配腔室504移動到第二洗滌/乾燥腔室514中，如由箭頭522所示。更通常，在特定腔室中的機器人可以用於將顯示器10移動到相鄰腔室或從相鄰腔室移動。第二洗滌/乾燥腔室514對工件執行沖洗工作製程。若需要，工件在箭頭548b的方向上藉由第四機器人540d從第二洗滌/乾燥腔室514移動到第五裝載/卸載閘腔室508e。工件可以在箭頭548a的方向上穿過第五裝載/卸載閘腔室508e放置到洗滌/乾燥腔室514中。第四機器人540d在箭頭522的方向上將工件從第二洗滌/乾燥腔室514移動到第四隔離部件518d中。
第四隔離部件518d將第二洗滌/乾燥腔室514連結到第三分配腔室506。藉由第五機器人540e將顯示器10移動到第三分配腔室506中。隨後工件藉由第五機器人540e在第三分配腔室506內移動。第三分配腔室506執行顯示器10內含有的工作製程。若需要，工件在箭頭550b的方向上藉由第五機器人540e從第三分配腔室506移動到第三裝載/卸載閘腔室508c。工件可以在箭頭550a的方向上穿過第三裝載/卸載閘腔室508c放置到第三分配腔室506中。藉由第五機器人540e將工件從第三分配腔室506移動到第五隔離部件518e，如由箭頭522所示。
第五隔離部件518e將第三分配腔室506連結到第三洗滌/乾燥腔室516。第六機器人540f將顯示器10從第三分配腔室506移動到第三洗滌/乾燥腔室516中。第三洗滌/乾燥腔室516對工件執行沖洗工作製程。第六機器人在箭頭552b的方向上利用機器人540f或藉由操作人員將工件從第三洗滌/乾燥腔室516移動到第六裝載/卸載閘腔室508f。若需要，工件可以在箭頭552a的方向上穿過第六裝載/卸載閘腔室508f放置到洗滌/乾燥腔室516中。
控制器526操作地耦接到先前描述的腔室及部件的每一者以導致工件運輸系統穿過第一分配腔室502、第一洗滌/乾燥腔室512、第二分配腔室504、第二洗滌/乾燥腔室514、第三分配腔室506、及第三洗滌/乾燥腔室516順序地移動顯示器10。額外腔室及/或子群集可以包括在內以處置額外材料處理、及修復需求。
如第6圖所示，類似於LED顯示器製造工具400，LED顯示器製造工具600順序地處理微型LED顯示器10以沉積顏色轉換層，其中分離、獨立密封的固化站在每個分配腔室/洗滌/乾燥腔室對之間定位。
LED顯示器製造工具600以串列方式順序地穿過處理腔室傳遞微型LED顯示器10。LED顯示器製造工具600可以包括用於控制各個部件（例如，處理腔室及工件運輸系統）的操作的控制器626。此佈置可以允許分離控制用於製程的不同步驟的處理環境，例如，在固化期間的惰性環境（N2氣體，例如）及用於印刷、洗滌、及乾燥的清潔空氣環境。
LED顯示器製造工具600包括實質上類似於較早論述的第一分配腔室的第一分配腔室602。然而，第一分配腔室602不需要包括固化站。
LED顯示器製造工具600具有實質上類似於第一分配腔室602的第二分配腔室604。然而，第二分配腔室604不需要包括固化站。
LED顯示器製造工具600可以具有實質上類似於第一分配腔室602及第二分配腔室604的第三分配腔室606。然而，第三分配腔室606不需要包括固化站。
LED顯示器製造工具600亦包括用於固化顯示器10上的第一光可固化流體30以在顯示器10上的LED的第一集合上方形成第一顏色轉換層的第一固化腔室654a，如較早描述並且在第3B圖至第3C圖中圖示。第一固化腔室654a與其他腔室及站獨立可密封。第一固化腔室654a可以包括類似於第一分配支撐件428a的在第一固化腔室654a中定位的第一固化支撐件656a。第一固化支撐件656a在固化製程期間固持顯示器10。第一固化腔室654a具有實質上類似於較早論述的環境感測器436a的第一環境感測器636a。第一固化腔室654a亦具有實質上類似於較早論述的檢查感測器438a的第一檢查感測器638a。第一固化腔室654a可以包括實質上類似於較早論述的機器人的機器人640g。第一固化腔室654a可以包括操作地耦接到控制器626的電路系統。第一固化腔室電路系統可以啟動LED的第一集合以發射光來固化第一光可固化流體30。另外，第一固化腔室654a類似於較早描述的第一固化站。
LED顯示器製造工具600亦包括用於固化顯示器10上的第二光可固化流體以在顯示器10上的LED的第二集合上方形成第二顏色轉換層的第二固化腔室654b，如較早描述並且在第3B圖至第3C圖中圖示。第二固化腔室654b與其他腔室及站獨立可密封。第二固化腔室654b具有實質上類似於較早論述的環境感測器436a的第二環境感測器636b。第二固化腔室654b亦具有實質上類似於較早論述的檢查感測器438a的第二檢查感測器638b。第二固化腔室654b可以包括實質上類似於較早描述的第一固化支撐件的第二固化支撐件656b。第二固化腔室654b具有實質上類似於較早論述的腔室感測器的第十一感測器638b。第二固化腔室654b可以包括實質上類似於較早論述的機器人的機器人640h。另外，第二固化腔室654b類似於較早描述的第一固化站。
LED顯示器製造工具600亦包括用於固化顯示器10上的第三光可固化流體以在顯示器10上的LED的第三集合上方形成第三顏色轉換層的第三固化腔室654c，如較早描述並且在第3B圖至第3C圖中圖示。第三固化腔室654c與其他腔室及站獨立可密封。第三固化腔室654c具有實質上類似於較早論述的環境感測器436a的第三環境感測器636c。第三固化腔室654c亦具有實質上類似於較早論述的檢查感測器438a的第三檢查感測器638c。第三固化腔室654c可以包括實質上類似於較早描述的固化支撐件的第三固化支撐件656c。第三固化腔室654c具有實質上類似於較早論述的腔室感測器的第十二感測器638c。第三固化腔室654c可以包括實質上類似於較早論述的機器人的機器人640i。另外，第三固化腔室654c類似於較早描述的第一固化站。
第一分配腔室602可以包括外部耦接到第一分配腔室602的第一裝載閘腔室608。第一裝載閘腔室608將顯示器10裝載並且處置到第一分配腔室602中。如第6圖所示，第二裝載閘腔室610外部耦接到第三洗滌/乾燥腔室616，第九機器人640f穿過該第三洗滌/乾燥腔室從LED顯示器製造工具600卸載並且處置完成的微型LED顯示器10。
LED顯示器製造工具600具有第一洗滌/乾燥腔室612，該第一洗滌/乾燥腔室包括用於固持顯示器10的第一洗滌支撐件（未圖示）及第一洗滌組件（未圖示）。第一洗滌/乾燥腔室612可以具有控制顯示器10的位置的第二機器人640b及第一洗滌支撐件。第一洗滌組件從顯示器10移除第一光可固化流體30的未固化部分，如第3D圖所示並且在上文描述。
LED顯示器製造工具600亦具有第二洗滌/乾燥腔室614，該第二洗滌/乾燥腔室包括用於固持顯示器10的第二洗滌支撐件（未圖示）及第二洗滌組件（未圖示）。第二洗滌/乾燥腔室614可以具有控制器顯示器10的位置的第四機器人640d及第二洗滌支撐件。第二洗滌組件從顯示器10移除第二光可固化流體的未固化部分，如第3D圖所示並且在上文描述。第二洗滌/乾燥腔室614與本文描述的其他腔室獨立可密封。
類似地，LED顯示器製造工具600具有第三洗滌/乾燥腔室616，該第三洗滌/乾燥腔室包括用於固持顯示器10的第三洗滌支撐件（未圖示）及第三洗滌組件（未圖示）。第三洗滌/乾燥腔室616可以具有控制顯示器10的位置的第四機器人640f及第三洗滌支撐件。第三洗滌組件從顯示器10移除第三光可固化流體的未固化部分，如第3D圖所示並且在上文描述。第三洗滌/乾燥腔室616與本文描述的其他腔室獨立可密封。
LED顯示器製造工具600具有經構造為順序地穿過各個腔室傳遞工件的工件（顯示器10）運輸系統。工件運輸系統可以例如藉由位於第一分配腔室602中的第一機器人640a提供。類似機器人可以在每個腔室中。例如，第一洗滌/乾燥腔室612可以具有第二機器人640b，第二分配腔室604可以具有第三機器人640c，第二洗滌/乾燥腔室可以具有第四機器人640d，第三分配腔室606可以具有第五機器人640e，並且第三洗滌/乾燥腔室606可以具有第六機器人640f。
例如，藉由操作人員或機器人640a將顯示器10放置在第一裝載閘腔室608中，如由箭頭620所示。第一裝載閘腔室608可以藉由閥（例如，狹縫閥）耦接到第一分配腔室602，可以穿過該閥傳遞工件。
藉由第一機器人640a將工件從第一裝載閘腔室608移動到第一分配腔室602中。第一分配腔室602處理工件。第一機器人640a將工件移動到實質上類似於先前論述的隔離部件的第一隔離部件618a。第一隔離部件618a將第一分配腔室602連結到第一固化腔室654a。第一機器人640a穿過第一隔離部件618a將顯示器10從第一分配腔室602移動到第一固化腔室654a。顯示器10在箭頭622的方向上移動到下一順序腔室。
實質上類似於先前論述的隔離部件的第六隔離部件618f將第一固化腔室654a連結到第一洗滌/乾燥腔室612。第七機器人640g將工件穿過第六隔離部件618f從第一固化腔室654a移動到第一洗滌/乾燥腔室612。
第二隔離部件618b將第一洗滌/乾燥腔室612連結到第二分配腔室604。第七機器人640g或第二機器人640b將顯示器10穿過第二隔離部件618b從第一洗滌/乾燥腔室612移動到第二分配腔室604。對第二分配腔室604中的工件執行工作製程。
第三隔離部件618c將第二分配腔室604連結到第二固化腔室654b。第三機器人640c將顯示器10從第二分配腔室604穿過第三隔離部件618c移動到第二固化腔室654b。
第七隔離部件618g將第二固化腔室654b連結到第二洗滌/乾燥腔室614。第八機器人640h或第四機器人640d將顯示器10從第二固化腔室654a穿過第六隔離部件618g移動到第二洗滌/乾燥腔室614。
第四隔離部件618d將第二洗滌/乾燥腔室614連結到第三分配腔室606。第四機器人640d或第五機器人640e將顯示器10從第二洗滌/乾燥腔室614穿過第四隔離部件618d移動到第三分配腔室606。顯示器10可以藉由第五機器人640e在第三分配支撐件628c上的第三分配腔室606內移動。
第五隔離部件618e將第三分配腔室606連結到第三固化腔室654c。第九機器人640i或第五機器人640e將顯示器10從第三分配腔室606穿過第五隔離部件618e移動到第三固化腔室654c。
第七隔離部件618h將第三固化腔室654b連結到第三洗滌/乾燥腔室616。第六機器人640f或第九機器人640i將顯示器10從第三固化腔室654c穿過第七隔離部件618h移動到第三洗滌/乾燥腔室616。
機器人640f將顯示器10移動到第二裝載閘腔室610。顯示器10在第三洗滌/乾燥腔室616內移動到第二裝載台610，隨後在箭頭624的方向上離開第二裝載台610。
控制器626操作地耦接到先前描述的腔室及部件的每一者以導致工件運輸系統串列地穿過第一分配腔室602、第一固化腔室654a、第一洗滌/乾燥腔室612、第二分配腔室604、第二固化腔室654b、第二洗滌/乾燥腔室614、第三分配腔室606、第三固化站654c、及第三洗滌/乾燥腔室616順序地移動顯示器10。
如第7圖所示，LED顯示器製造工具700順序地處理微型LED顯示器10。類似於LED顯示器製造工具500，顯示器製造工具700經構造為允許在每個分配腔室及洗滌/乾燥腔室處裝載/卸載顯示器。然而，顯示器製造工具700具有分離、獨立密封的分配腔室、固化腔室、及洗滌/乾燥腔室。具有與分配腔室分離且隔離的固化腔室可以減少缺陷風險。
LED顯示器製造工具700可以包括用於控制各個部件（例如，處理腔室及工件運輸系統）的操作的控制器726。LED顯示器製造工具700的各個腔室及站實質上類似於較早描述的腔室及站。
LED顯示器製造工具700包括實質上類似於較早論述的第一分配腔室的第一分配腔室702，但具有用於控制顯示器10的位置的第一機器人740a。第一分配腔室702耦接到第一裝載/卸載閘腔室708a。第一機器人740a裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第一分配腔室702。
LED顯示器製造工具700具有實質上類似於第一分配腔室702的第二分配腔室704，具有用於控制顯示器10的位置的第三機器人740c。第二分配腔室704耦接到第二裝載/卸載閘腔室708b，若需要，第三機器人740c可以穿過該第二裝載/卸載閘腔室插入或移除工件。
LED顯示器製造工具700可以具有實質上類似於第一分配腔室702及第二分配腔室704的第三分配腔室706，具有用於控制顯示器10的位置的第五機器人740e。第三分配腔室706耦接到第三裝載/卸載閘腔室708c。第五機器人740e穿過第三裝載/卸載閘腔室708c裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第三分配腔室706。
LED顯示器製造工具700亦包括實質上類似於較早描述的固化腔室的第一固化腔室754a，但具有第七機器人740g。第一固化腔室754a耦接到第七裝載/卸載閘腔室708g。第七機器人740g穿過第七裝載/卸載閘腔室708g裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第一固化腔室754a。
LED顯示器製造工具700亦包括具有實質上類似於較早論述的機器人的第八機器人740h的第二固化腔室754b。另外，第二固化腔室754b類似於較早描述的第一固化站。第二固化腔室754b耦接到第八裝載/卸載閘腔室708h。第八機器人740h穿過第八裝載/卸載閘腔室708h裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第二固化腔室754b。
LED顯示器製造工具700亦包括具有實質上類似於較早論述的機器人的第九機器人740i的第三固化腔室754c。第三固化腔室754c耦接到第九裝載/卸載閘腔室708i。第九機器人740i穿過第九裝載/卸載閘腔室708i裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第三固化腔室754c。
LED顯示器製造工具700具有實質上類似於較早描述的第一洗滌/乾燥腔室412的第一洗滌/乾燥腔室712，但具有第二機器人740b。第一洗滌/乾燥腔室712耦接到第四裝載/卸載閘腔室708d。第二機器人740b穿過第四裝載/卸載閘腔室708d裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第一洗滌/乾燥腔室712。
LED顯示器製造工具700亦具有實質上類似於較早描述的第一洗滌/乾燥腔室412的第二洗滌/乾燥腔室714，但具有第四機器人740d。第二洗滌/乾燥腔室714耦接到第五裝載/卸載閘腔室708e。第四機器人740d穿過第五裝載/卸載閘腔室708e裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第二洗滌/乾燥腔室714。
類似地，LED顯示器製造工具700具有實質上類似於較早描述的第一洗滌/乾燥腔室412的第三洗滌/乾燥腔室716，但具有第六機器人740f。第三洗滌/乾燥腔室614耦接到第六裝載/卸載閘腔室708f。第六機器人740f穿過第六裝載/卸載閘腔室708f裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第三洗滌/乾燥腔室716。
第一分配腔室702可以包括實質上類似於先前論述的第一檢查感測器438a的用於監控工件的一或多個條件的第一檢查感測器438a。第一檢查感測器438a將表示第一工件的條件的信號發送到控制器726。第一檢查感測器438a可以包括多個感測器。例如，第一檢查感測器438a可以包括高速高解析度光學成像器（用於基板對準、材料沉積缺陷偵測及校正）或發光成像器（用於控制UV固化、材料處理、缺陷偵測、裝置效能映射、及查找表映射）。同樣，第二分配腔室704可以包括第二檢查感測器438b並且第三分配腔室706可以包括實質上類似於先前描述的第一感測器438a的第三檢查感測器438c。
第一分配腔室702可以包括實質上類似於較早論述的第一環境感測器的用於監控第一分配腔室702內部的一或多個環境條件的第一環境感測器438a。第一環境感測器438a將表示第一分配腔室702的條件的信號發送到控制器726。例如，一或多個感測器可以監控溫度、相對濕度、氣體成分等，並且將此資料提供到可以控制處理腔室中的部件的控制演算法。此舉可以提供改進的製程穩定性控制。
同樣，第二分配腔室704可以包括第二環境感測器438b。第三分配腔室706可以包括實質上類似於先前描述的第一環境感測器438a的第三環境感測器438c。此外，第一洗滌/乾燥腔室712可以包括實質上類似於較早描述的感測器的用於監控第一洗滌/乾燥腔室712的條件的第四環境感測器436d。此外，第二洗滌/乾燥腔室714可以包括實質上類似於較早描述的感測器的用於監控第二洗滌/乾燥腔室714的條件的第五環境感測器436e。第三洗滌/乾燥腔室416可以包括實質上類似於較早描述的感測器的用於監控第三洗滌/乾燥腔室416的條件的第六環境感測器43f。
LED顯示器製造工具700具有經構造為順序地穿過各個腔室傳遞工件的工件（顯示器10）運輸系統。工件運輸系統可以例如藉由位於第一分配腔室402中的第一機器人740a提供。類似機器人可以在每個腔室中。例如，第一洗滌/乾燥腔室412可以具有第二機器人740b，第二分配腔室404可以具有第三機器人740c，第二洗滌/乾燥腔室可以具有第四機器人740d，第三分配腔室406可以具有第五機器人740e，並且第三洗滌/乾燥腔室406可以具有第六機器人740f。
例如，藉由操作人員或機器人740a將顯示器10放置在第一裝載/卸載閘腔室708a中，如由箭頭720a所示。第一裝載/卸載閘腔室708a藉由先前描述的閥耦接到第一分配腔室702。
在箭頭720a的方向上藉由第一分配支撐件428a上的第一機器人740a將工件從第一裝載/卸載閘腔室708a移動到第一分配腔室702中。例如，機器人740a可以穿過開口狹縫閥到達以從第一裝載/卸載閘腔室708a取回工件。第一分配腔室執行工件內含有的工作製程。工件從第一分配腔室702移動到第一隔離部件718a。若需要，工件在箭頭720b的方向上藉由第一機器人740a從第一分配腔室702移動到第一裝載/卸載閘腔室708a。
第一隔離部件718a將第一分配腔室702連結到第一固化腔室754a。第一機器人740a或第七機器人740g將顯示器10從第一分配腔室702穿過第一隔離部件718a移動到第一固化腔室754a。第一隔離部件718a實質上類似於較早描述的隔離部件。第七機器人740g將工件從第一隔離部件718a移動到第七裝載/卸載閘腔室708g中。
第七機器人740g將工件從第七裝載/卸載閘腔室708g移動到第一固化腔室754a中。第一固化腔室754a固化工件。若需要，工件在箭頭558b的方向上藉由第七機器人740g從第一固化腔室754a移動到第七裝載/卸載閘腔室708g。工件可以在箭頭758a的方向上穿過第七裝載/卸載閘腔室708g放置到第一固化腔室754a中。第七機器人740g在箭頭722的方向上將工件從第一固化腔室754a移動到第六隔離部件718f中。
第六隔離部件718f將第一固化腔室754a連結到第一洗滌/乾燥腔室712。第七機器人740g或第二機器人740b將顯示器10從第一固化腔室754a穿過第一隔離部件718f移動到第一洗滌/乾燥腔室712。第六隔離部件718f實質上類似於較早描述的隔離部件。顯示器10在箭頭722的方向上移動到下一順序腔室。
第二機器人740b將工件從第六隔離部件718f移動到第一洗滌/乾燥腔室712中。第一洗滌/乾燥腔室712沖洗並且乾燥工件。若需要，工件在箭頭744b的方向上藉由第二機器人740b從第一洗滌/乾燥腔室712移動到第四裝載/卸載閘腔室708d。工件可以在箭頭744a的方向上穿過第四裝載/卸載閘腔室708d放置到第一洗滌/乾燥腔室712中。第二機器人740b將工件從第一洗滌/乾燥腔室712移動到第二隔離部件718b。
第二隔離部件718b將第一洗滌/乾燥腔室712連結到第二分配腔室704。顯示器10可以藉由第二機器人740b或第三機器人740c從第二隔離部件718b移動到第二分配腔室704中。如由箭頭746a所示，藉由第三機器人740c將顯示器10移動到第二分配腔室704中。隨後，工件藉由第三機器人740c在第二分配腔室704內移動。第二分配腔室704執行顯示器10內含有的工作製程。若需要，工件在箭頭546b的方向上藉由第三機器人740c從第二分配腔室704移動到第二裝載/卸載閘腔室708b。工件可以在箭頭546a的方向上穿過第二裝載/卸載閘腔室708b放置到第二分配腔室704中。工件從第二分配腔室704移動到第三隔離部件718c第三機器人740c。第三機器人740c穿過第三隔離部件718c移動工件。
第三隔離部件718c將第二分配腔室704連結到第二固化腔室754b。第三機器人740c或第八機器人740h將顯示器10從第二分配腔室704穿過第三隔離部件718c移動到第二固化腔室754b並且到第二固化腔室754b中。第二固化腔室754b固化工件。若需要，工件在箭頭760b的方向上藉由第八機器人740h從第二固化腔室754b移動到第八裝載/卸載閘腔室708h。工件可以在箭頭760a的方向上穿過第八裝載/卸載閘腔室708h放置到第二固化室754b中。第八機器人740h穿過第七隔離部件718g從第二固化腔室754b移動工件。
第七隔離部件718g將第二固化腔室754h連結到第二洗滌/乾燥腔室714。藉由第四機器人740d將顯示器10移動到第二洗滌/乾燥腔室714中。第二洗滌/乾燥腔室714洗滌顯示器10。若需要，工件在箭頭550b的方向上藉由第四機器人740d從第二洗滌/乾燥腔室714移動到第五裝載/卸載閘腔室708e。工件可以在箭頭550a的方向上穿過第五裝載/卸載閘腔室708e放置到第二洗滌/乾燥腔室714中。工件藉由第四機器人740d從第二洗滌/乾燥腔室714移動到第四隔離部件718d。
第四隔離部件718d將第二洗滌/乾燥腔室714連結到第三分配腔室706。顯示器10可以藉由第四機器人740d或第五機器人740e從第四隔離部件718d移動到第三分配腔室706中。如由箭頭750a所示，藉由第五機器人740e將顯示器10移動到第三分配腔室706中。隨後工件藉由第五機器人740e在第三分配腔室706內移動。第三分配腔室706執行顯示器10上的工作製程。若需要，工件在箭頭750b的方向上藉由第五機器人540e從第三分配腔室706移動到第三裝載/卸載閘腔室708c。工件可以在箭頭750a的方向上穿過第三裝載/卸載閘腔室708c放置到第三分配腔室706中。藉由第五機器人740e將工件從第三分配腔室706移動到第五隔離部件718e。
第五隔離部件718e將第三分配腔室706連結到第三固化腔室754c。第九機器人740i將顯示器10從第三分配腔室706穿過第五隔離部件718e移動到第三固化腔室754c並且到第三固化腔室754c中。第三固化腔室754c固化工件。若需要，工件在箭頭762b的方向上藉由第九機器人740i從第三固化腔室754c移動到第九裝載/卸載閘腔室708i。工件可以在箭頭765a的方向上穿過第九裝載/卸載閘腔室708i放置到第三固化室754c中。第九機器人740i將工件從第三固化腔室754c移動到第八隔離部件718h。
第八隔離部件718h將第三固化腔室754c連結到第三洗滌/乾燥腔室716。藉由第六機器人740f將顯示器10移動到第三洗滌/乾燥腔室716中。第三洗滌/乾燥腔室716洗滌顯示器10。若需要，工件可以在箭頭754a的方向上穿過第六裝載/卸載閘腔室708f放置到第三洗滌/乾燥腔室716中。工件藉由第六機器人740f從第三洗滌/乾燥腔室716移動到第六裝載/卸載閘腔室708f。第六機器人740f在箭頭752a的方向上利用機器人740f或藉由操作人員穿過第六裝載/卸載閘腔室708f從第三洗滌/乾燥腔室716移動工件。
控制器726操作地耦接到先前描述的腔室及部件的每一者以導致工件運輸系統穿過第一分配腔室702、第一洗滌/乾燥腔室712、第二分配腔室704、第二洗滌/乾燥腔室714、第三分配腔室706、及第三洗滌/乾燥腔室716順序地移動顯示器10。額外腔室及/或子群集可以包括在內以處置額外材料處理、及修復需求。
如第8圖所示，LED顯示器製造工具800處理微型LED顯示器10，其中處理腔室以群集的序列佈置。每個分配腔室藉由裝載/卸載腔室與其相應洗滌/乾燥腔室及後續分配腔室群集。LED顯示器製造工具800可以包括用於控制各個部件（例如，處理腔室及工件運輸系統）的操作的控制器826。
LED顯示器製造工具800包括實質上類似於較早論述的分配腔室的第一分配腔室802。第一分配腔室402與稍後描述的其他腔室獨立可密封。第一分配腔室802亦包括用於固化顯示器10以在顯示器10上的LED的第一集合上方形成第一顏色轉換層的第一固化站834a，如較早描述並且在第3B圖至第3C圖中圖示。第一固化站834a實質上類似於較早描述的固化站。第一分配腔室802包括用於在第一分配腔室802內移動工件的第一機器人840a。
LED顯示器製造工具800包括實質上類似於較早論述的分配腔室的第二分配腔室804。第二分配腔室804與稍後描述的其他腔室獨立可密封。第二分配腔室804亦包括用於固化顯示器10以在顯示器10上的LED的第一集合上方形成第二顏色轉換層的第二固化站834b，如較早描述並且在第3B圖至第3C圖中圖示。在一些實例中，第二分配支撐件828b可以進入並且離開第二固化站834b以移動顯示器10。第二固化站834b實質上類似於較早描述的固化站。第二分配腔室804包括用於在第二分配腔室804內移動工件的第二機器人840c。
LED顯示器製造工具800包括實質上類似於較早論述的分配腔室的第三分配腔室806。第三分配腔室806與稍後描述的其他腔室獨立可密封。第三分配腔室806亦包括用於固化顯示器10以在顯示器10上的LED的第一集合上方形成第三顏色轉換層的第三固化站834c，如較早描述並且在第3B圖至第3C圖中圖示。第三固化站834c實質上類似於較早描述的固化站。第三分配腔室806包括用於在第三分配腔室804內移動工件的第五機器人840e。
LED顯示器製造工具800包括第一洗滌/乾燥腔室812。第一洗滌/乾燥腔室包括用於移動工件進出並且在第一洗滌/乾燥腔室812內移動工件的第二機器人840b。第一洗滌/乾燥腔室實質上類似於較早描述的洗滌/乾燥腔室。第一洗滌/乾燥腔室812與本文描述的其他腔室獨立可密封。LED顯示器製造工具800亦具有第二洗滌/乾燥腔室814，該第二洗滌/乾燥腔室包括用於移動工件進出並且在第二洗滌/乾燥腔室814內移動工件的第四機器人840d。第二洗滌/乾燥腔室實質上類似於較早描述的洗滌/乾燥腔室。第二洗滌/乾燥腔室814與本文描述的其他腔室獨立可密封。
類似地，LED顯示器製造工具800具有第三洗滌/乾燥腔室816，該第三洗滌/乾燥腔室包括用於移動工件進出並且在第三洗滌/乾燥腔室816內移動工件的第六機器人840f。第三洗滌/乾燥腔室實質上類似於較早描述的洗滌/乾燥腔室。第三洗滌/乾燥腔室816與本文描述的其他腔室獨立可密封。
第一分配腔室802可以包括實質上類似於先前論述的第一檢查感測器438a的用於監控工件的一或多個條件的第一檢查感測器438a。第一檢查感測器438a將表示第一工件的條件的信號發送到控制器826。第一檢查感測器438a可以包括多個感測器。例如，第一檢查感測器438a可以包括高速高解析度光學成像器（用於基板對準、材料沉積缺陷偵測及校正）或發光成像器（用於控制UV固化、材料處理、缺陷偵測、裝置效能映射、及查找表映射）。同樣，第二分配腔室804可以包括第二檢查感測器438b並且第三分配腔室806可以包括實質上類似於先前描述的第一感測器438a的第三檢查感測器438c。
第一分配腔室802可以包括用於監控第一分配腔室802內部的一或多個環境條件的第一環境感測器436a。第一環境感測器436a將表示第一分配腔室802的條件的信號發送到控制器826。例如，一或多個感測器可以監控溫度、相對濕度、氣體成分等，並且將此資料提供到可以控制處理腔室中的部件的控制演算法。此舉可以提供改進的製程穩定性控制。
同樣，第二分配腔室804可以包括第二環境感測器436b。第三分配腔室806可以包括實質上類似於先前描述的第一環境感測器436a的第三環境感測器436c。此外，第一洗滌/乾燥腔室812可以包括實質上類似於較早描述的感測器的用於監控第一洗滌/乾燥腔室812的條件的第四環境感測器436d。第二洗滌/乾燥腔室814可以包括實質上類似於較早描述的感測器的用於監控第二洗滌/乾燥腔室814的條件的第五環境感測器436e。第三洗滌/乾燥腔室816可以包括實質上類似於較早描述的感測器的用於監控第三洗滌/乾燥腔室816的條件的第六環境感測器436f。
第一裝載/卸載閘腔室808a外部耦接並且位於第一分配腔室802、第一洗滌/乾燥腔室812、及第二分配腔室804之間。第七機器人840g將顯示器10裝載及處置到第一裝載閘腔室808a中，並且隨後在第一分配腔室802、第一洗滌/乾燥腔室812、及第二分配腔室804之間。若需要，工件在箭頭820b的方向上藉由第七機器人840g從第一裝載/卸載閘腔室808a移動。工件可以在箭頭820a的方向上放置到第一裝載/卸載閘腔室808a中。
第二裝載/卸載閘腔室808b外部耦接並且位於第二分配腔室804、第二洗滌/乾燥腔室814、及第三分配腔室806之間。第八機器人840h將顯示器10裝載及處置到第二裝載閘腔室808b中，並且隨後在第二分配腔室804、第二洗滌/乾燥腔室814、及第三分配腔室806之間。若需要，工件在箭頭846b的方向上藉由第八機器人840h從第二裝載/卸載閘腔室808b移動。工件可以在箭頭846a的方向上放置到第二裝載/卸載閘腔室808b中。
第三裝載/卸載閘腔室808c外部耦接並且位於第三分配腔室806與第三洗滌/乾燥腔室816之間。第九機器人840i將顯示器10裝載及處置到第三裝載閘腔室808c中，並且隨後到第三分配腔室806及第三洗滌/乾燥腔室816中。若需要，工件在箭頭850b的方向上藉由第九機器人840i從第三裝載/卸載閘腔室808c移動。工件可以在箭頭850a的方向上放置到第三裝載/卸載閘腔室808b中。
第一裝載/卸載閘腔室808a可以包括實質上類似於先前論述的第一檢查感測器438a的用於監控工件的一或多個條件的第七檢查感測器838g。第七檢查感測器838g將表示第一工件的條件的信號發送到控制器826。第七檢查感測器838g可以包括多個感測器。例如，第七檢查感測器838g可以包括高速高解析度光學成像器（用於基板對準、材料沉積缺陷偵測及校正）或發光成像器（用於控制UV固化、材料處理、缺陷偵測、裝置效能映射、及查找表映射）。同樣，第二裝載/卸載閘腔室808b可以包括第八檢查感測器838h並且第三裝載/卸載閘腔室808c可以包括實質上類似於先前描述的第一檢查感測器438a的第九檢查感測器838i。
第一裝載/卸載閘腔室808a可以包括用於監控第一裝載/卸載閘腔室808a內部的一或多個環境條件的第七環境感測器836g。第七環境感測器838g將表示第一裝載/卸載閘腔室808a的條件的信號發送到控制器826。例如，一或多個感測器可以監控溫度、相對濕度、氣體成分等，並且將此資料提供到可以控制處理腔室中的部件的控制演算法。此舉可以提供改進的製程穩定性控制。
LED顯示器製造工具800具有經構造為穿過各個腔室順序地傳遞工件的工件（顯示器10）運輸系統。工件運輸系統可以例如藉由位於第一分配腔室802中的第一機器人840a、及在後續腔室中的類似機器人提供。例如，藉由操作人員或機器人840g將顯示器10放置在第一裝載/卸載閘腔室808a中，如由箭頭820a所示。第一裝載/卸載閘腔室808a可以藉由閥818a（例如，狹縫閥）耦接到第一分配腔室802、第一洗滌/乾燥腔室812、及第二分配腔室804，可以穿過該閥傳遞工件。
藉由第一機器人840a或第七機器人840g將工件從第一裝載/卸載閘腔室808a移動到第一分配腔室802中。例如，第一機器人840a可以穿過開口狹縫閥818b到達以從第一裝載/卸載閘腔室808a取回工件。或者，第七機器人840g可以穿過開口狹縫閥818b到達以將工件放置在第一分配腔室802中。第一分配腔室執行工件上的各個工作製程。隨後，第一機器人840a或第七機器人840g將工件傳遞回到第一裝載/卸載閘腔室808a中。第七機器人840g將工件傳遞到第一洗滌/乾燥腔室812，該第一洗滌/乾燥腔室耦接到第一裝載/卸載閘腔室808a。第一洗滌/乾燥腔室812洗滌並且乾燥工件。在任何腔室處，相應機器人可以將工件定位在相應感測器的偵測範圍內以感測工件的條件。第一洗滌/乾燥腔室812第二機器人840b將工件傳遞回到第一裝載/卸載閘腔室808a。第七機器人840g可以隨後將工件傳遞到第二分配腔室804或傳遞出第一裝載/卸載閘腔室808a。所描述的此操作可以被稱為群集操作。在此情況下，其係在均藉由第一裝載/卸載閘腔室808a耦接的第一分配腔室802、第一洗滌/乾燥腔室812、及第二分配腔室804中的一系列群集操作。此亦可以被稱為第一群集。
第七機器人840g或第三機器人840c將顯示器10從第一裝載/卸載閘腔室808a移動到第二分配腔室804。顯示器10在箭頭822的方向上移動到下一順序腔室。第三機器人840c或第八機器人840h在箭頭822的方向上將工件從第二分配腔室804a移動到第二裝載/卸載閘腔室808b中。
藉由第三機器人840c或第八機器人840h將工件從第二裝載/卸載閘腔室808b移動到第二分配腔室804中。例如，第三機器人840c可以穿過開口狹縫閥到達以從第二裝載/卸載閘腔室808b取回工件。或者，第八機器人840h可以穿過開口狹縫閥到達以將工件放置在第二分配腔室804中。第二分配腔室執行工件上的各個工作製程。隨後，第三機器人840c或第八機器人840h將工件傳遞回到第二裝載/卸載閘腔室808b中。第八機器人840h將工件傳遞到第二洗滌/乾燥腔室814，該第二洗滌/乾燥腔室耦接到第二裝載/卸載閘腔室808b。第二洗滌/乾燥腔室814洗滌工件。在任何腔室處，相應機器人可以將工件定位在相應感測器的偵測範圍內以感測工件的條件。第二洗滌/乾燥腔室814第四機器人840d將工件傳遞回到第二裝載/卸載閘腔室808b。第八機器人840h可以隨後在箭頭846b的方向上將工件傳遞到第三分配腔室806或傳遞出第二裝載/卸載閘腔室808b。所描述的此操作可以被稱為如先前描述的第二群集。在此情況下，其係在均藉由第二裝載/卸載閘腔室808b耦接的第二分配腔室804、第二洗滌/乾燥腔室814、及第三分配腔室806中的一系列群集操作。
第三分配腔室806連結到第三裝載/卸載閘腔室808c。第九機器人840i將顯示器10從第三分配腔室806移動到第三裝載/卸載閘腔室808c。顯示器10在方向箭頭822上藉由第九機器人840i移動到第三裝載/卸載閘腔室808c中。顯示器10藉由第九機器人840i在第二裝載/卸載腔室808b內移動。
工件從第三裝載/卸載閘腔室808c移動到第三分配腔室806中，例如，第五機器人840e可以穿過開口狹縫閥到達以從第三裝載/卸載閘腔室808c取回工件。或者，第五機器人840i可以穿過開口狹縫閥到達以將工件放置在第三分配腔室806中。第三分配腔室806執行工件上的各個工作製程。隨後，第五機器人840e或第九機器人840i將工件傳遞回到第三裝載/卸載閘腔室808c中。第九機器人840i將工件傳遞到第三洗滌/乾燥腔室816，該第三洗滌/乾燥腔室耦接到第三裝載/卸載閘腔室808c。第三洗滌/乾燥腔室816洗滌工件。在任何腔室處，相應機器人可以將工件定位在相應感測器的偵測範圍內以感測工件的條件。第三洗滌/乾燥腔室816第六機器人840f將工件傳遞回到第三裝載/卸載閘腔室808c。第九機器人840i可以隨後在箭頭850b的方向上將工件傳遞出第三裝載/卸載閘腔室808c。所描述的此操作可以被稱為如先前描述的第三群集。在此情況下，其係在均藉由第三裝載/卸載閘腔室808c耦接的第三分配腔室806及第三洗滌/乾燥腔室816中的一系列群集操作。
控制器826操作地耦接到先前描述的腔室及部件的每一者以導致工件運輸系統以群集方式順序地穿過第一分配腔室802、第一洗滌/乾燥腔室812、第二分配腔室804、第二洗滌/乾燥腔室814、第三分配腔室806、及第三洗滌/乾燥腔室816順序地移動顯示器10，當在兩個處理腔室之間投送時若必要，則穿過裝載閘腔室傳遞。
如第9圖所示，類似於LED顯示器製造工具800，LED顯示器製造工具900處理微型LED顯示器10來以群集方式順序地沉積顏色轉換層，但具有多個子群集，其中每個子群集經構造為裝載及卸載、分配、固化、及洗滌/乾燥不同顏色的微型LED。每個子群集隨後在單個中央裝載/卸載閘腔室周圍群集。針對每個子群集，每個處理腔室（例如，分配腔室、第一洗滌/乾燥站、及固化腔室）藉由隔離部件918a（例如，閥，諸如狹縫閥，可以穿過該閥傳遞工件）耦接到子群集的裝載閘腔室。子群集的每個裝載閘腔室藉由隔離部件918b（例如，閥，諸如狹縫閥，可以穿過該閥傳遞工件）耦接到工具的中央裝載閘腔室908d。工件可以藉由隔離部件918c（例如，閥，諸如狹縫閥）從外部環境（例如，清潔室）裝載到中央裝載閘腔室908d中及從中央裝載閘腔室908d卸載到外部環境。LED顯示器製造工具900可以包括用於控制各個部件（例如，處理腔室及工件運輸系統）的操作的控制器926。
第一子群集964包括第一分配腔室902、第一洗滌站912、第一固化站954a、及第一裝載/卸載閘腔室908a。LED顯示器製造工具900的第一子群集964包括實質上類似於較早論述的第一分配腔室的具有第一機器人940a的第一分配腔室904。第一分配腔室902耦接到第一裝載/卸載閘腔室908a。第一裝載/卸載閘腔室908a具有用於裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第一分配腔室902的第十機器人940j。
第一分配腔室902可以包括實質上類似於先前論述的第一檢查感測器438a的用於監控工件的一或多個條件的第一檢查感測器438a。第一檢查感測器438a將表示第一工件的條件的信號發送到控制器926。第一檢查感測器438a可以包括多個感測器。例如，第一檢查感測器438a可以包括高速高解析度光學成像器（用於基板對準、材料沉積缺陷偵測及校正）或發光成像器（用於控制UV固化、材料處理、缺陷偵測、裝置效能映射、及查找表映射）。
第一分配腔室902可以包括用於監控第一分配腔室902內部的一或多個環境條件的第一環境感測器436a。第一環境感測器436a將表示第一分配腔室902的條件的信號發送到控制器926。例如，一或多個感測器可以監控溫度、相對濕度、氣體成分等，並且將此資料提供到可以控制處理腔室中的部件的控制演算法。此舉可以提供改進的製程穩定性控制。
LED顯示器製造工具900的第一子群集964亦包括實質上類似於較早描述的第一固化站的第一固化腔室954a及機器人940g。第一固化腔室954a耦接到第一裝載/卸載閘腔室908a。第一固化腔室954a具有實質上類似於較早論述的環境感測器436a的第一環境感測器636a。第一固化腔室654a亦具有實質上類似於較早論述的檢查感測器438a的第一檢查感測器638a。
第一子群集964亦具有實質上類似於較早描述的洗滌/乾燥腔室的第一洗滌/乾燥腔室912。第一洗滌/乾燥腔室912耦接到第一裝載/卸載閘腔室908a。第十機器人940j從第一裝載/卸載閘腔室908a裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第一洗滌/乾燥腔室912。第十機器人940j從第一裝載/卸載閘腔室908a裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第一分配腔室902、第一固化腔室912、及第一洗滌/乾燥腔室912。此外，第一洗滌/乾燥腔室912可以包括實質上類似於較早描述的感測器的用於監控第一洗滌/乾燥腔室912的條件的第四環境感測器436d。第一洗滌/乾燥腔室912可以包括實質上類似於較早描述的第一檢查感測器436a的用於監控工件的一或多個條件的第四檢查感測器438d。
第一裝載/卸載閘腔室908a可以包括實質上類似於先前論述的第一檢查感測器438a的用於監控工件的一或多個條件的第七檢查感測器838g。第七檢查感測器838g將表示第一工件的條件的信號發送到控制器926。第七檢查感測器838g可以包括多個感測器。例如，第七檢查感測器838g可以包括高速高解析度光學成像器（用於基板對準、材料沉積缺陷偵測及校正）或發光成像器（用於控制UV固化、材料處理、缺陷偵測、裝置效能映射、及查找表映射）。
第一裝載/卸載閘腔室808a可以包括用於監控第一裝載/卸載閘腔室808a內部的一或多個環境條件的第七環境感測器836g。第七環境感測器838g將表示第一裝載/卸載閘腔室808a的條件的信號發送到控制器826。例如，一或多個感測器可以監控溫度、相對濕度、氣體成分等，並且將此資料提供到可以控制處理腔室中的部件的控制演算法。此舉可以提供改進的製程穩定性控制。
第二子群集966包括第二分配腔室904、第二洗滌站914、第二固化站954b、及第二裝載/卸載閘腔室908b。
LED顯示器製造工具900的第二子群集966包括實質上類似於較早論述的分配腔室的具有第三機器人940c的第二分配腔室904。第二分配腔室902耦接到第二裝載/卸載閘腔室908b。第三機器人940c從第二裝載/卸載閘腔室908b裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第二分配腔室904。
第二分配腔室904可以包括實質上類似於先前描述的第一感測器438a的第二檢查感測器438b。同樣，第二分配腔室904可以包括實質上類似於先前描述的第一感測器436a的第二環境感測器436b。
LED顯示器製造工具900第二子群集966亦包括實質上類似於較早描述的固化站的第二固化腔室954b及機器人940h。第二固化腔室954b耦接到第二裝載/卸載閘腔室908b。第二固化腔室954b具有實質上類似於較早論述的環境感測器436a的第二環境感測器636b。第二固化腔室654b亦具有實質上類似於較早論述的檢查感測器438a的第二檢查感測器638b。
LED顯示器製造工具900第二子群集966亦具有實質上類似於較早描述的洗滌/乾燥腔室的具有第四機器人940d的第二洗滌/乾燥腔室914。第四機器人940d從第二裝載/卸載閘腔室908b裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第二洗滌/乾燥腔室914。第二洗滌/乾燥腔室914耦接到第二裝載/卸載閘腔室908b。第二洗滌/乾燥腔室914可以包括實質上類似於較早描述的感測器的用於監控第二洗滌/乾燥腔室914的條件的第五環境感測器436e。第二洗滌/乾燥腔室914可以包括實質上類似於較早描述的第一檢查感測器436a的用於監控工件的一或多個條件的第五檢查感測器438e。
第十一機器人940k從第二裝載/卸載閘腔室908b裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第二分配腔室904、第二固化腔室954b、及第二洗滌/乾燥腔室914。第二裝載/卸載閘腔室908b可以包括實質上類似於先前描述的第一檢查感測器438a的第八檢查感測器838h。第二裝載/卸載閘腔室908b可以包括實質上類似於較早描述的環境感測器的用於監控第二裝載/卸載閘腔室908b的條件的第八環境感測器436h。
第三子群集968包括第三分配腔室906、第三洗滌站916、第三固化站954c、及第三裝載/卸載閘腔室908c。第三分配腔室906實質上類似於較早論述的分配腔室。第三分配腔室906包括用於控制顯示器10的位置的第五機器人940e。第三分配腔室906可以包括實質上類似於先前描述的第一感測器438a的第三檢查感測器438c。第三分配腔室906可以包括實質上類似於先前描述的第一環境感測器436a的第三環境感測器436c。第三分配腔室906耦接到第三裝載/卸載閘腔室908c。第五機器人940e從第三裝載/卸載閘腔室908c裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第三分配腔室906。
第三固化腔室954c包括實質上類似於較早描述的固化站的機器人940i。第三固化腔室954c耦接到第三裝載/卸載閘腔室908c。第三固化腔室954c亦可以具有實質上類似於較早論述的環境感測器436a的第三環境感測器636c。第三固化腔室654c亦可以具有實質上類似於較早論述的檢查感測器438a的第三檢查感測器638c。
第三洗滌/乾燥腔室916實質上類似於較早描述的洗滌/乾燥腔室。第三洗滌/乾燥腔室916可以包括實質上類似於較早描述的環境感測器的用於監控第三洗滌/乾燥腔室916的條件的第六環境感測器436f。第三洗滌/乾燥腔室916亦具有實質上類似於較早論述的檢查感測器438a的第六檢查感測器638f。
第三洗滌/乾燥腔室916耦接到第三裝載/卸載閘腔室908c。第六機器人940f從第三裝載/卸載閘腔室908c裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第三洗滌/乾燥腔室916。機器人940m裝載、卸載、及處置第三子群集968內的工件。第三裝載/卸載閘腔室908c可以包括實質上類似於先前描述的第一檢查感測器438a的第九檢查感測器838i。第三裝載/卸載閘腔室908c可以包括實質上類似於較早描述的環境感測器的用於監控第三裝載/卸載閘腔室908c的條件的第九環境感測器436i。
LED顯示器製造工具900包括第四裝載/卸載閘腔室908d。第四裝載/卸載閘腔室908d具有第十四機器人940n，該第十四機器人裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第一裝載/卸載閘腔室908a、第二裝載/卸載閘腔室908b、及第三裝載/卸載閘腔室908c。例如，藉由操作人員或機器人940n將顯示器10放置到第四裝載/卸載閘腔室908d中，如由箭頭920a所示。例如，藉由操作人員或機器人940n將顯示器10從第四裝載閘腔室908d移除，如由箭頭9420b所示。
第四裝載/卸載閘腔室908d可以包括實質上類似於先前描述的第一檢查感測器438a的第一檢查感測器938a。第四裝載/卸載閘腔室908d可以包括實質上類似於較早描述的環境感測器的用於監控第四裝載/卸載閘腔室908d的條件的第一環境感測器936a。
控制器926操作地耦接到先前描述的腔室及部件的每一者以導致工件運輸系統穿過第一分配腔室902、第一洗滌/乾燥腔室912、第二分配腔室904、第二洗滌/乾燥腔室914、第三分配腔室906、及第三洗滌/乾燥腔室916順序地移動顯示器10，若必要則穿過一或多個裝載閘腔室傳遞。
在群集構造的一些實施方式中，顯示器10可以基於製程排程於不同腔室處理（非連續處理）。例如，顯示器10可以在首先在第二子群集966中處理，其次在第三子群集968中處理並且再然後在第一子群集964中處理。額外腔室及/或子群集可以包括在內以處置額外材料處理、及修復需求。
如第10圖所示，LED顯示器製造工具1000佈置有呈群集構造的腔室，並且經構造為處理微型LED顯示器10以順序或非順序地沉積顏色轉換層。LED顯示器製造工具1000類似於LED顯示器製造工具900，但具有單個中央裝載/卸載閘腔室1008而非多個子群集，並且具有通用固化站1054。通用固化腔室可以在分配之後用於固化，而與顏色轉換材料無關。若在固化製程期間在顏色之間存在極少或不存在交叉污染，則可以使用通用固化腔室，或若其他部件不能跟上生產速率，則通用固化腔室可以用作緩衝器。如與每種顏色具有分離的固化腔室相比，此構造的優點係減少的佔據面積及減少的成本。
每個處理腔室（例如，三個分配腔室、三個洗滌/乾燥腔室、及通用固化腔室）藉由隔離部件1018a（例如，閥，諸如狹縫閥，可以穿過該閥傳遞工件）耦接到中央裝載閘腔室1008。可以穿過其傳遞工件的隔離部件1018b（例如，閥，諸如狹縫閥）將中央裝載閘腔室1018與外部環境（例如，清潔室）分離。LED顯示器製造工具1000可以包括用於控制各個部件（例如，處理腔室及工件運輸系統）的操作的控制器1026。
LED顯示器製造工具1000包括實質上類似於較早論述的第一分配腔室的具有第一機器人1040a的第一分配腔室1004。第一分配腔室1002耦接到中央裝載/卸載閘腔室1008。第一機器人1040a裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第一分配腔室1002通用裝載/卸載閘腔室1008。
第一分配腔室1002可以包括實質上類似於先前論述的第一檢查感測器438a的用於監控工件的一或多個條件的第一檢查感測器438a。第一檢查感測器438a將表示第一工件的條件的信號發送到控制器1026。第一檢查感測器438a可以包括多個感測器。例如，第一檢查感測器438a可以包括高速高解析度光學成像器（用於基板對準、材料沉積缺陷偵測及校正）或發光成像器（用於控制UV固化、材料處理、缺陷偵測、裝置效能映射、及查找表映射）。
第一分配腔室1002可以包括用於監控第一分配腔室1002內部的一或多個環境條件的第一環境感測器436a。第一環境感測器436a將表示第一分配腔室1002的條件的信號發送到控制器1026。例如，一或多個感測器可以監控溫度、相對濕度、氣體成分等，並且將此資料提供到可以控制處理腔室中的部件的控制演算法。此舉可以提供改進的製程穩定性控制。
LED顯示器製造工具1000亦具有實質上類似於較早描述的洗滌/乾燥腔室的第一洗滌/乾燥腔室1012。第一洗滌/乾燥腔室1012具有用於在第一洗滌/乾燥腔室1012內定位工件的第二機器人1040b。第一洗滌/乾燥腔室1012耦接到第一裝載/卸載閘腔室1008。第二機器人1040b從通用裝載/卸載閘腔室1008裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第一洗滌/乾燥腔室1012。此外，第一洗滌/乾燥腔室1012可以包括實質上類似於較早描述的感測器的用於監控第一洗滌/乾燥腔室1012的條件的第四環境感測器436d。第一洗滌/乾燥腔室1012可以包括實質上類似於較早描述的第一檢查感測器436a的用於監控工件的一或多個條件的第四檢查感測器438d。
LED顯示器製造工具1000包括實質上類似於較早論述的分配腔室的第二分配腔室1004。第二分配腔室1004包括用於控制顯示器10的位置的機器人1040c。第二分配腔室1002耦接到通用裝載/卸載閘腔室1008。機器人1040c從通用裝載/卸載閘腔室1008裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第二分配腔室1004。第二分配腔室1004可以包括實質上類似於先前描述的第一感測器438a的第二檢查感測器438b。同樣，第二分配腔室1004可以包括實質上類似於先前描述的第一感測器436a的第二環境感測器436b。
LED顯示器製造工具1000亦具有帶有第四機器人1040d的第二洗滌/乾燥腔室1014並且實質上類似於較早描述的洗滌/乾燥腔室。第二洗滌/乾燥腔室1014耦接到裝載/卸載閘腔室1008。第四機器人1040d從通用裝載/卸載閘腔室1008裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第二洗滌/乾燥腔室1014。第二洗滌/乾燥腔室1014可以包括實質上類似於較早描述的感測器的用於監控第二洗滌/乾燥腔室1014的條件的第五環境感測器436e。第二洗滌/乾燥腔室1014可以包括實質上類似於較早描述的第一檢查感測器436a的用於監控工件的一或多個條件的第五檢查感測器438e。
LED顯示器製造工具1000包括實質上類似於較早論述的分配腔室的第三分配腔室1006。第三分配腔室1006包括用於控制顯示器10的位置的第五機器人1040e。第三分配腔室1006耦接到裝載/卸載閘腔室1008。第五機器人1040e從通用裝載/卸載閘腔室1008裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第三分配腔室1006。第三分配腔室1006可以包括實質上類似於先前描述的第一感測器438a的第三檢查感測器438c。第三分配腔室1006可以包括實質上類似於先前描述的第一環境感測器436a的第三環境感測器436c。
LED顯示器製造工具1000亦具有實質上類似於較早描述的洗滌/乾燥腔室的具有第六機器人1040f的第三洗滌/乾燥腔室1016。第三洗滌/乾燥腔室1016耦接到裝載/卸載閘腔室1008。第六機器人1040f從通用裝載/卸載閘腔室1008裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第三洗滌/乾燥腔室1016。第三洗滌/乾燥腔室1016可以包括實質上類似於較早描述的環境感測器的用於監控第三洗滌/乾燥腔室1016的條件的第六環境感測器436f。第三洗滌/乾燥腔室1016亦具有實質上類似於較早論述的檢查感測器438a的第六檢查感測器638f。
LED顯示器製造工具1000亦包括實質上類似於較早描述的固化站的具有第七機器人1040g的通用固化腔室1054。通用固化腔室1054耦接到裝載/卸載閘腔室1008。通用固化腔室1054可以包括實質上類似於較早描述的環境感測器的用於監控通用固化腔室1054的條件的第一環境感測器1036a。通用固化腔室1054亦具有實質上類似於較早論述的檢查感測器438a的第一檢查感測器1038a。
第八機器人1040h從通用裝載/卸載閘腔室1008裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第一分配腔室1002、第一洗滌/乾燥腔室1012、第二分配腔室1004、第二洗滌站1014、第三分配腔室1006、第三洗滌/乾燥腔室1016、及通用固化腔室1054。例如，藉由操作人員或第八機器人1040h將顯示器10放置到通用裝載/卸載閘腔室1008中，如由箭頭1020a所示。例如，藉由操作人員或機器人1040a將顯示器10從通用裝載/卸載閘腔室1008移除，如由箭頭1020b所示。通用裝載/卸載閘腔室1008可以包括實質上類似於較早描述的環境感測器的用於監控通用裝載/卸載閘腔室1008的條件的第二環境感測器1036b。通用裝載/卸載閘腔室1008亦具有實質上類似於較早論述的檢查感測器438a的第二檢查感測器1038b。
控制器1026操作地耦接到先前描述的腔室及部件的每一者以導致工件運輸系統穿過第一分配腔室1002、通用固化腔室1054、第一洗滌/乾燥腔室1012、第二分配腔室1004、通用固化腔室1054、第二洗滌/乾燥腔室1014、第三分配腔室1006、通用固化腔室1054、及第三洗滌/乾燥腔室1016順序地或非順序地移動顯示器10，當在兩個處理腔室之間投送時穿過中央裝載閘腔室傳遞。額外腔室及/或子群集可以包括在內以處置額外材料處理、及修復需求。
如第11圖所示，類似於LED顯示器製造工具1000，LED顯示器製造工具1100佈置有呈群集構造的腔室，並且經構造為處理微型LED顯示器10以順序或非順序地沉積顏色轉換層。然而，LED顯示器製造工具1100具有通用固化腔室及通用洗滌/乾燥腔室。通用洗滌/乾燥腔室可以在固化之後用於洗滌及乾燥，而與顏色轉換材料無關。若分別在固化及洗滌步驟期間在顏色之間存在極少或不存在交叉污染，則可以使用通用固化腔室及通用洗滌/乾燥腔室。此外，若其他部件不能跟上生產速率，則通用固化腔室或洗滌/乾燥腔室可以用作緩衝器以固持顯示器。如與每種顏色具有分離的洗滌/乾燥腔室相比，此構造的優點係減少的佔據面積及減少的成本。
每個處理腔室（例如，三個分配腔室、通用洗滌/乾燥腔室、及通用固化腔室）藉由隔離部件1118a（例如，閥，諸如狹縫閥，可以穿過該閥傳遞工件）耦接到中央裝載閘腔室1108。可以穿過其傳遞工件的隔離部件1118b（例如，閥，諸如狹縫閥）將中央裝載閘腔室1118與外部環境（例如，清潔室）分離。LED顯示器製造工具1100可以包括用於控制各個部件（例如，處理腔室及工件運輸系統）的操作的控制器1126。
LED顯示器製造工具1100包括實質上類似於較早論述的第一分配腔室的具有第一機器人1140a的第一分配腔室1102，該第一機器人用於控制顯示器10的位置。第一分配腔室1102耦接到通用裝載/卸載閘腔室1108。第一機器人1140a裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第一分配腔室1102。
第一分配腔室1102可以包括實質上類似於先前論述的第一檢查感測器438a的用於監控工件的一或多個條件的第一檢查感測器438a。第一檢查感測器438a將表示第一工件的條件的信號發送到控制器1126。第一檢查感測器438a可以包括多個感測器。例如，第一檢查感測器438a可以包括高速高解析度光學成像器（用於基板對準、材料沉積缺陷偵測及校正）或發光成像器（用於控制UV固化、材料處理、缺陷偵測、裝置效能映射、及查找表映射）。
第一分配腔室1102可以包括用於監控第一分配腔室1102內部的一或多個環境條件的第一環境感測器436a。第一環境感測器436a將表示第一分配腔室1102的條件的信號發送到控制器1126。例如，一或多個感測器可以監控溫度、相對濕度、氣體成分等，並且將此資料提供到可以控制處理腔室中的部件的控制演算法。此舉可以提供改進的製程穩定性控制。
LED顯示器製造工具1100亦包括實質上類似於較早論述的分配腔室的第二分配腔室1104。第二分配腔室1104包括用於控制顯示器10的位置的機器人1140c。第二分配腔室1102耦接到裝載/卸載閘腔室1108。第三機器人1140c裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第二分配腔室1104。
第二分配腔室1104可以包括實質上類似於先前描述的第一感測器438a的第二檢查感測器438b。同樣，第二分配腔室1104可以包括實質上類似於先前描述的第一感測器436a的第二環境感測器436b。
LED顯示器製造工具1100亦包括實質上類似於較早論述的分配腔室的第三分配腔室1106。第三分配腔室1106包括用於控制顯示器10的位置的機器人1140e。第三分配腔室1106耦接到裝載/卸載閘腔室1108。第五機器人1140e裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第三分配腔室1106。第三分配腔室1106可以包括實質上類似於先前描述的第一感測器438a的第三檢查感測器438c。第三分配腔室1106可以包括實質上類似於先前描述的第一環境感測器436a的第三環境感測器436c。
LED顯示器製造工具1100亦包括實質上類似於較早描述的固化站的具有第七機器人1140g的通用固化腔室1154。固化腔室1154耦接到裝載/卸載閘腔室1108。第七機器人1140g裝載、卸載、及搬運顯示器10進出通用固化腔室1154。通用固化腔室1154可以包括實質上類似於較早描述的環境感測器的用於監控通用固化腔室1154的條件的第一環境感測器1136a。通用固化腔室1154亦具有實質上類似於較早論述的檢查感測器438a的第一檢查感測器1138a。
LED顯示器製造工具1100亦具有實質上類似於較早描述的洗滌/乾燥腔室的通用洗滌/乾燥腔室1112。通用洗滌/乾燥腔室1112耦接到裝載/卸載閘腔室1108。第二機器人1140b裝載、卸載、及搬運顯示器10進出通用洗滌/乾燥腔室1112。此外，通用洗滌/乾燥腔室1112可以包括實質上類似於較早描述的環境感測器的用於監控通用洗滌/乾燥腔室1112的條件的第二環境感測器1138b。通用洗滌/乾燥腔室1112可以包括實質上類似於較早描述的第一檢查感測器436a的用於監控工件的一或多個條件的第二檢查感測器1138b。
例如，藉由操作人員或第八機器人1140h將顯示器10放置到通用裝載/卸載閘腔室1108中，如由箭頭1120a所示。例如，藉由操作人員或機器人1140a將顯示器10從通用裝載/卸載閘腔室1108移除，如由箭頭1120b所示。第八機器人1140h裝載、卸載、及搬運顯示器10進出通用洗滌/乾燥腔室1112裝載/卸載閘腔室1108，進出第一分配腔室1102、第二分配腔室1104、第三分配腔室1106、通用洗滌/乾燥腔室1112、及通用固化腔室1154。此外，通用裝載/卸載閘腔室1108可以包括實質上類似於較早描述的環境感測器的用於監控通用裝載/卸載閘腔室1108的條件的第三環境感測器1138c。通用裝載/卸載閘腔室1108可以包括實質上類似於較早描述的第一檢查感測器436a的用於監控工件的一或多個條件的第三檢查感測器1138c。
控制器1126操作地耦接到先前描述的腔室及部件的每一者以導致工件運輸系統穿過第一分配腔室1102、通用固化腔室1154、通用洗滌/乾燥腔室1112、第二分配腔室1104、通用固化腔室1154、通用洗滌/乾燥腔室1112、第三分配腔室1106、通用固化腔室1154、及通用洗滌/乾燥腔室1112順序地或非順序地移動顯示器10，當在兩個處理腔室之間投送時穿過中央裝載閘腔室傳遞。額外腔室及/或子群集可以包括在內以處置額外材料處理、及修復需求。
如第12圖所示，LED顯示器製造工具1200具有呈群集構造佈置的腔室以順序或非順序地處理微型LED顯示器10來沉積顏色轉換層。LED顯示器製造工具1200類似於LED顯示器製造工具900，其中中央進入腔室1244耦接到每個子群集的裝載/卸載閘腔室。然而，每個子群集包括內部裝載/卸載閘腔室，例如，腔室1208a、1208b、1208c，及外部裝載/卸載閘腔室，例如，腔室1208d、1208e、1208f。此外，裝載/卸載閘腔室中的兩者（例如，裝載/卸載閘腔室1208d及1208f）經構造為用於分別穿過第一隔離部件1248a及第二隔離部件1248b裝載及卸載基板。此外，中央進入腔室1244可以包括線性運輸件1246以在不同群集的不同裝載/卸載閘腔室之間移動顯示器。
每個子群集在不同裝載/卸載閘腔室周圍群集。每個外部裝載/卸載閘腔室1208d、1208e、1208f藉由相應隔離部件1218連接到中央進入腔室1244。針對每個子群集，每個內部裝載/卸載閘腔室1208a、1208b、1208c藉由相應隔離部件1218c連接到子群集的外部裝載/卸載閘腔室1208d、1208e、1208f。每個處理腔室（例如，每個分配腔室、固化腔室及洗滌/乾燥腔室）藉由相應隔離部件1218a連接到子群集的內部裝載閘腔室，藉由相應隔離部件1218b。LED顯示器製造工具1200可以包括用於控制各個部件（例如，處理腔室及工件運輸系統）的操作的控制器1226。
第一子群集1264包括第一分配腔室1202、第一洗滌/乾燥站1212、第一固化站1254a、及第一裝載/卸載閘腔室1208a。LED顯示器製造工具1200第一子群集1264包括具有第一機器人1240a的第一分配腔室1202並且實質上類似於較早論述的第一分配腔室，該第一機器人用於控制顯示器10的位置。第一分配腔室1202耦接到第一裝載/卸載閘腔室1208a。第一機器人1240a從第一裝載/卸載閘腔室1208a裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第一分配腔室1202。
第一分配腔室1202可以包括實質上類似於先前論述的第一檢查感測器438a的用於監控工件的一或多個條件的第一檢查感測器438a。第一檢查感測器438a將表示第一工件的條件的信號發送到控制器1226。第一檢查感測器438a可以包括多個感測器。例如，第一檢查感測器438a可以包括高速高解析度光學成像器（用於基板對準、材料沉積缺陷偵測及校正）或發光成像器（用於控制UV固化、材料處理、缺陷偵測、裝置效能映射、及查找表映射）。
第一分配腔室1202可以包括用於監控第一分配腔室1202內部的一或多個環境條件的第一環境感測器436a。第一環境感測器436a將表示第一分配腔室1202的條件的信號發送到控制器1226。例如，一或多個感測器可以監控溫度、相對濕度、氣體成分等，並且將此資料提供到可以控制處理腔室中的部件的控制演算法。此舉可以提供改進的製程穩定性控制。
LED顯示器製造工具1200第一子群集1264亦包括實質上類似於較早描述的第一固化站的具有第七機器人1240g的第一固化腔室1254a。第一固化腔室1254a耦接到第一裝載/卸載閘腔室1208a。第七機器人1240g從第一裝載/卸載閘腔室1208a裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第一固化腔室1254a。第一固化腔室1254a具有實質上類似於較早論述的環境感測器436a的第一環境感測器636a。第一固化腔室1254a亦具有實質上類似於較早論述的檢查感測器438a的第一檢查感測器638a。
LED顯示器製造工具1200第一子群集1264亦具有實質上類似於較早描述的洗滌/乾燥腔室的具有第二機器人1240b的第一洗滌/乾燥腔室1212。第一洗滌/乾燥腔室1212耦接到第一裝載/卸載閘腔室1208a。第二機器人1240b從第一裝載/卸載閘腔室1208a裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第一洗滌/乾燥腔室1212。此外，第一洗滌/乾燥腔室1212可以包括實質上類似於較早描述的感測器的用於監控第一洗滌/乾燥腔室1212的條件的第四環境感測器436d。第一洗滌/乾燥腔室1212可以包括實質上類似於較早描述的第一檢查感測器436a的用於監控工件的一或多個條件的第四檢查感測器438d。
第一裝載/卸載閘腔室1208a耦接到第一分配腔室1202、第一固化腔室1212、及第一洗滌/乾燥腔室1212。第一裝載/卸載閘腔室1208a包括用於裝載、卸載、及處置第一子群集1264內的工件的第十機器人1240j。
第一裝載/卸載閘腔室1208a可以包括實質上類似於先前論述的第一檢查感測器438a的用於監控工件的一或多個條件的第七檢查感測器838g。第七檢查感測器838g將表示第一工件的條件的信號發送到控制器1226。第七檢查感測器838g可以包括多個感測器。例如，第七檢查感測器838g可以包括高速高解析度光學成像器（用於基板對準、材料沉積缺陷偵測及校正）或發光成像器（用於控制UV固化、材料處理、缺陷偵測、裝置效能映射、及查找表映射）。
第一裝載/卸載閘腔室1208a可以包括用於監控第一裝載/卸載閘腔室1208a內部的一或多個環境條件的第七環境感測器836g。第七環境感測器838g將表示第一裝載/卸載閘腔室1208a的條件的信號發送到控制器1226。例如，一或多個感測器可以監控溫度、相對濕度、氣體成分等，並且將此資料提供到可以控制處理腔室中的部件的控制演算法。此舉可以提供改進的製程穩定性控制。
第二子群集1266包括第二分配腔室1204、第二洗滌站1214、第二固化站1254b、及第二裝載/卸載閘腔室1208b。
LED顯示器製造工具1200第二子群集1266包括實質上類似於較早論述的分配腔室的具有第三機器人1240c的第二分配腔室1204，該第三機器人用於控制顯示器10的位置。第二分配腔室1202耦接到第二裝載/卸載閘腔室1208b。第十一機器人1240k從第二裝載/卸載閘腔室1208b裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第二分配腔室1204。第二分配腔室1204可以包括實質上類似於先前描述的第一感測器438a的第二檢查感測器438b。同樣，第二分配腔室1204可以包括實質上類似於先前描述的第一感測器436a的第二環境感測器436b。
LED顯示器製造工具1200第二子群集1266亦包括實質上類似於較早描述的固化站的具有第八機器人1240h的第二固化腔室1254b。第二固化腔室1254b耦接到第二裝載/卸載閘腔室1208b。第八機器人1240h從第二裝載/卸載閘腔室1208b裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第二固化腔室1254b。第二固化腔室1254b具有實質上類似於較早論述的環境感測器436a的第二環境感測器636b。第二固化腔室1254b亦具有實質上類似於較早論述的檢查感測器438a的第二檢查感測器638b。
LED顯示器製造工具1200第二子群集1266亦具有實質上類似於較早描述的洗滌/乾燥腔室的具有第四機器人1240d的第二洗滌/乾燥腔室1214。第二洗滌/乾燥腔室1214耦接到第二裝載/卸載閘腔室1208b。第四機器人1240d從第二裝載/卸載閘腔室1208b裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第二洗滌/乾燥腔室1214。第二洗滌/乾燥腔室1214可以包括實質上類似於較早描述的感測器的用於監控第二洗滌/乾燥腔室1214的條件的第五環境感測器436e。第二洗滌/乾燥腔室1214可以包括實質上類似於較早描述的第一檢查感測器436a的用於監控工件的一或多個條件的第五檢查感測器438e。
第十一機器人1240k在第二裝載/卸載閘腔室1208b中定位。第十一機器人1240k裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第二子群集1266內的第二分配腔室1204、第二固化腔室1254b、及第二洗滌/乾燥腔室1214。
第二裝載/卸載閘腔室1208b可以包括實質上類似於先前描述的第一檢查感測器438a的第八檢查感測器838h。第二裝載/卸載閘腔室1208b可以包括實質上類似於較早描述的環境感測器的用於監控第二裝載/卸載閘腔室1208b的條件的第八環境感測器436h。
第三子群集1268包括第三分配腔室1206、第三洗滌站1216、第三固化站1254c、及第三裝載/卸載閘腔室1208c。第三分配腔室1206包括用於控制顯示器10的位置的機器人1240e。第三分配腔室1206耦接到第三裝載/卸載閘腔室1208c。第五機器人1240e裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第三分配腔室1206。第三分配腔室1206可以包括實質上類似於先前描述的第一感測器438a的第三檢查感測器438c。第三分配腔室1206可以包括實質上類似於先前描述的第一環境感測器436a的第三環境感測器436c。
LED顯示器製造工具1200第三子群集1268亦包括實質上類似於較早描述的固化站的具有第九機器人1240i的第三固化腔室1254c。第三固化腔室1254c耦接到第三裝載/卸載閘腔室1208c。第九機器人1240i裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第三固化腔室1254c。第三固化腔室1254c亦可以具有實質上類似於較早論述的環境感測器436a的第三環境感測器636c。第三固化腔室1254c亦可以具有實質上類似於較早論述的檢查感測器438a的第三檢查感測器638c。
LED顯示器製造工具1200第三子群集1268亦具有實質上類似於較早描述的洗滌/乾燥腔室的具有第六機器人1240f的第三洗滌/乾燥腔室1216。第三洗滌/乾燥腔室1216耦接到第三裝載/卸載閘腔室1208c。第六機器人1240f裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第三洗滌/乾燥腔室1216。第三洗滌/乾燥腔室1216可以包括實質上類似於較早描述的環境感測器的用於監控第三洗滌/乾燥腔室1216的條件的第六環境感測器436f。第三洗滌/乾燥腔室1216亦具有實質上類似於較早論述的檢查感測器438a的第六檢查感測器638f。
第三裝載/卸載閘腔室1208c含有用於裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第三分配腔室1206、第三固化腔室1254c、及第三洗滌/乾燥腔室1216的第十三機器人1240m。第三裝載/卸載閘腔室1208c可以包括實質上類似於先前描述的第一檢查感測器438a的第九檢查感測器838i。第三裝載/卸載閘腔室1208c可以包括實質上類似於較早描述的環境感測器的用於監控第三裝載/卸載閘腔室1208c的條件的第九環境感測器436i。
LED顯示器製造工具1200包括具有第十四機器人1240n的第四裝載/卸載閘腔室1208d，該第十四機器人用於裝載、卸載、及處置第四裝載/卸載閘腔室1208d內的工件並且進出第一裝載/卸載閘腔室1208a並且進入及離開隔離部件1218。隔離部件1218實質上類似於先前論述的隔離部件。例如，藉由操作人員或第十四機器人1240n將顯示器10放置到第四裝載閘腔室1208d中，如由箭頭1220a所示。例如，藉由操作人員或機器人第十四1240n將顯示器10從第四裝載閘腔室1208d移除，如由箭頭1220b所示。顯示器10在第四裝載閘腔室1208d與第五裝載/卸載閘腔室1208e之間在隔離部件1218上移動，如由箭頭1220a及箭頭1242b所示。
第四裝載/卸載閘腔室1208d可以包括實質上類似於先前描述的第一檢查感測器438a的第一檢查感測器1238a。第四裝載/卸載閘腔室1208d可以包括實質上類似於較早描述的環境感測器的用於監控第四裝載/卸載閘腔室1208d的條件的第一環境感測器1236a。
第五裝載/卸載閘腔室1208e包括用於裝載、卸載、及處置第五裝載/卸載閘腔室1208e內的工件並且進出第二裝載/卸載閘腔室1208b並且進入及離開隔離部件1218的機器人1240o。第五裝載/卸載閘腔室1208e可以包括實質上類似於先前描述的第一檢查感測器438a的第二檢查感測器1238b。第五裝載/卸載閘腔室1208e可以包括實質上類似於較早描述的環境感測器的用於監控第五裝載/卸載閘腔室1208e的條件的第二環境感測器1236b。
第六裝載/卸載閘腔室1208e包括用於裝載、卸載、及處置第六裝載/卸載閘腔室1208d內的工件並且進出第三裝載/卸載閘腔室1208c並且進入及離開隔離部件1218的第十六機器人1240p。第六裝載/卸載閘腔室1208f可以包括實質上類似於先前描述的第一檢查感測器438a的第三檢查感測器1238c。第六裝載/卸載閘腔室1208f可以包括實質上類似於較早描述的環境感測器的用於監控第六裝載/卸載閘腔室1208f的條件的第三環境感測器1236c。
此外，例如，可以藉由操作人員或第十六機器人1240p將顯示器10從第六裝載/卸載閘腔室1208e移除，如由箭頭1240b所示。同樣，例如，可以藉由操作人員或第十六機器人1240p將顯示器10放置到第六裝載/卸載閘腔室1208e中，如由箭頭1240a所示。
控制器（未圖示）操作地耦接到先前描述的腔室及部件的每一者以導致工件運輸系統穿過第一分配腔室1202、第一固化腔室1554a、第一洗滌/乾燥腔室1212、第二分配腔室1204、第二固化腔室1254b、第二洗滌/乾燥腔室1214、第三分配腔室1206、第三固化站1254c、及第三洗滌/乾燥腔室1216順序地或非順序地移動顯示器10，若必要則穿過一或多個裝載閘腔室傳遞。控制器實質上類似於先前描述的控制器。
在替代實施方式中，在子群集的一或多者處，內部裝載/卸載閘腔室及外部裝載閘腔室由單個腔室替換。額外腔室及/或子群集可以包括在內以處置額外材料處理、及修復需求。
如第13圖所示，LED顯示器製造工具1300佈置有呈群集構造的腔室，並且經構造為處理微型LED顯示器10以順序地沉積顏色轉換層。LED顯示器製造工具1300類似於LED顯示器製造工具1100，但針對每種顏色具有通用分配腔室及獨立固化腔室及獨立洗滌/乾燥腔室。
每個處理腔室（例如，通用分配腔室、三個固化腔室、及三個洗滌/乾燥腔室）藉由隔離部件1318a（例如，閥，諸如狹縫閥，可以穿過該閥傳遞工件）耦接到中央裝載閘腔室1308。可以穿過其傳遞工件的隔離部件1318b（例如，閥，諸如狹縫閥）將中央裝載閘腔室1118與外部環境（例如，清潔室）分離。LED顯示器製造工具1300可以包括用於控制各個部件（例如，處理腔室及工件運輸系統）的操作的控制器1326。
LED顯示器製造工具1300包括實質上類似於較早論述的第一分配腔室的通用分配腔室1302。通用分配腔室1302包括用於固持工件的通用分配支撐件1328及用於控制顯示器10的位置的第一機器人1340a。通用分配腔室1302耦接到裝載/卸載閘腔室1308。第一機器人1340a從通用裝載/卸載閘腔室1308裝載、卸載、及搬運顯示器10進出通用分配腔室1302。
通用分配腔室1302包括用於遞送多種顏色轉換材料的一或多個分配器。作為一個實例，通用分配腔室1302可以包括適用於將不同顏色轉換材料分配到顯示器上的單個分配站。作為另一實例，通用分配腔室1302可以包括多個分配站，各自適用於將單種顏色轉換材料分配到顯示器上。
通用分配腔室1302可以包括實質上類似於先前論述的第一檢查感測器438a的用於監控工件的一或多個條件的第一檢查感測器438a。第一檢查感測器438a將表示第一工件的條件的信號發送到控制器1326。第一檢查感測器438a可以包括多個感測器。例如，第一檢查感測器438a可以包括高速高解析度光學成像器（用於基板對準、材料沉積缺陷偵測及校正）或發光成像器（用於控制UV固化、材料處理、缺陷偵測、裝置效能映射、及查找表映射）。
通用分配腔室1302可以包括用於監控通用分配腔室1302內部的一或多個環境條件的第一環境感測器436a。第一環境感測器436a將表示通用分配腔室1302的條件的信號發送到控制器1326。例如，一或多個感測器可以監控溫度、相對濕度、氣體成分等，並且將此資料提供到可以控制處理腔室中的部件的控制演算法。此舉可以提供改進的製程穩定性控制。
LED顯示器製造工具1300亦包括實質上類似於較早描述的第一固化站的具有第七機器人1340g的第一固化腔室1354a。第一固化腔室1354a耦接到裝載/卸載閘腔室1308。第七機器人1340g從通用裝載/卸載閘腔室1308裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第一固化腔室1354a。第一固化腔室1354a具有實質上類似於較早論述的環境感測器436a的第一環境感測器636a。第一固化腔室1354a亦具有實質上類似於較早論述的檢查感測器438a的第一檢查感測器638a。
LED顯示器製造工具1300亦具有實質上類似於較早描述的洗滌/乾燥腔室的具有第二機器人1340b的第一洗滌/乾燥腔室1312。第一洗滌/乾燥腔室1312耦接到裝載/卸載閘腔室1308。第二機器人1340b從通用裝載/卸載閘腔室1308裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第一洗滌/乾燥腔室1312。此外，第一洗滌/乾燥腔室1312可以包括實質上類似於較早描述的感測器的用於監控第一洗滌/乾燥腔室1312的條件的第四環境感測器436d。第一洗滌/乾燥腔室1312可以包括實質上類似於較早描述的第一檢查感測器436a的用於監控工件的一或多個條件的第四檢查感測器438d。
LED顯示器製造工具1300亦包括實質上類似於較早描述的固化站的具有第八機器人1340h的第二固化腔室1354b。第二固化腔室1354b耦接到裝載/卸載閘腔室1308。第八機器人1340h從通用裝載/卸載閘腔室1308裝載、卸載、及搬運顯示器10進出第二固化腔室1354b。第二固化腔室1354b具有實質上類似於較早論述的環境感測器436a的第二環境感測器636b。第二固化腔室1354b亦具有實質上類似於較早論述的檢查感測器438a的第二檢查感測器638b。
LED顯示器製造工具1300亦包括實質上類似於較早描述的固化站的具有第八機器人1340h的第二固化腔室1354b。第二固化腔室1354b耦接到裝載/卸載閘腔室1308。第八機器人1340h從通用裝載/卸載閘腔室1308移動工件進出第二固化腔室1354b並且在第二固化腔室1354b周圍。第二固化腔室1354b具有實質上類似於較早論述的環境感測器436a的第二環境感測器636b。第二固化腔室1354b亦具有實質上類似於較早論述的檢查感測器438a的第二檢查感測器638b。
LED顯示器製造工具1300亦具有實質上類似於較早描述的洗滌/乾燥腔室的具有第四機器人1340d的第二洗滌/乾燥腔室1314。第四機器人1340d從通用裝載/卸載閘腔室1308移動工件進出第二洗滌/乾燥腔室1314並且在第二洗滌/乾燥腔室1314周圍。第二洗滌/乾燥腔室1314可以包括實質上類似於較早描述的感測器的用於監控第二洗滌/乾燥腔室1314的條件的第五環境感測器436e。第二洗滌/乾燥腔室1314可以包括實質上類似於較早描述的第一檢查感測器436a的用於監控工件的一或多個條件的第五檢查感測器438e。
LED顯示器製造工具1300亦包括實質上類似於較早描述的固化站的具有第九機器人1340i的第三固化腔室1354c。第三固化腔室1354c耦接到裝載/卸載閘腔室1308。第九機器人1340i從通用裝載/卸載閘腔室1308移動工件進出第三固化腔室1354c並且在第三固化腔室1354c周圍。第三固化腔室1354c亦可以具有實質上類似於較早論述的環境感測器436a的第三環境感測器636c。第三固化腔室1354c亦可以具有實質上類似於較早論述的檢查感測器438a的第三檢查感測器638c。
LED顯示器製造工具1300亦具有實質上類似於較早描述的洗滌/乾燥腔室的具有第六機器人1340f的第三洗滌/乾燥腔室1316。第三洗滌/乾燥腔室1316耦接到裝載/卸載閘腔室1308。第六機器人1340f從通用裝載/卸載閘腔室1308移動工件進出第三洗滌/乾燥腔室1316並且在第三洗滌/乾燥腔室1316周圍。第三洗滌/乾燥腔室1316可以包括實質上類似於較早描述的環境感測器的用於監控第三洗滌/乾燥腔室1316的條件的第六環境感測器436f。第三洗滌/乾燥腔室1316亦具有實質上類似於較早論述的檢查感測器438a的第六檢查感測器638f。
通用裝載/卸載閘腔室1308包括機器人1340h，該機器人用於裝載、卸載、及搬運顯示器10進出通用分配腔室1302、第一洗滌/乾燥腔室1312、第二洗滌/乾燥腔室1314、第三洗滌/乾燥腔室1316、第一固化腔室1354a、第二固化腔室1354b、及第三固化腔室1354c。例如，藉由操作人員或機器人1340h將顯示器10放置到裝載/卸載閘腔室1308中，如由箭頭1320a所示。例如，藉由操作人員或機器人1340h將顯示器10從裝載/卸載閘腔室1308移除，如由箭頭1320b所示。
此外，通用裝載/卸載閘腔室1308可以包括實質上類似於較早描述的環境感測器的用於監控通用裝載/卸載閘腔室1308的條件的第二環境感測器1338b。通用裝載/卸載閘腔室1308可以包括實質上類似於較早描述的第一檢查感測器436a的用於監控工件的一或多個條件的第二檢查感測器1336b。
控制器1326操作地耦接到先前描述的腔室及部件的每一者以導致工件運輸系統穿過通用分配腔室1302、第一固化腔室1354a、第一洗滌/乾燥腔室1312、通用分配腔室1302、第一洗滌/乾燥腔室1312、第二固化腔室1354b、通用分配腔室1302、第二洗滌/乾燥腔室1314、及第三固化腔室1354c、及第三洗滌/乾燥腔室1316順序地移動顯示器10，若必要則穿過中央裝載閘腔室1308傳遞。額外腔室及/或子群集可以包括在內以處置額外材料處理、及修復需求。
第14A圖至第14C圖示出了製造LED顯示器的方法1400。方法可以藉由如藉由控制器操作的上文論述的顯示器製造工具之一執行。於1402，工件在第一分配腔室中裝載。
於1404，在第一分配腔室中將工件對準到第一基準標記。
於1406，例如，在第一分配腔室中利用第一分配器將第一顏色轉換層分配到工件上。第一分配器可以係噴墨印表機，並且噴墨印表機可以藉由第一支架移動以在工件上方掃描。或者，工件可以橫穿在第一分配器之下。檢查步驟可以在固化步驟之前執行。若偵測到缺陷（在子像素阱或部分填充阱中缺失材料），則可以進行修復。在後分配的檢查之後，利用第一分配器將第一顏色轉換層分配到工件上，例如，利用第一紫外光及第一氮氣簾幕固化工件上的第一顏色轉換層。此舉可以在第一分配腔室內、或在分離的固化腔室中發生。此外，呈工件檢查的形式的計量可以同時或在固化步驟之後進行。例如，可以映射光致發光強度及雜散的UV光強度以產生查找表。在洗滌具有第一顏色轉換層的工件以移除第一顏色轉換層的未固化部分之後，或在洗滌及乾燥步驟之後，第一工件條件可以利用第一感測器感測並且表示第一工件條件的信號可以發送到控制器。
在第一分配腔室中將第一顏色轉換層印刷到工件上可以進一步包括利用高效顆粒空氣過濾器過濾進入第一分配腔室的空氣以減少空氣的污染濃度，利用第一排氣管道排放第一分配腔室中的空氣，利用經構造為取樣第一分配腔室中的空氣的第一腔室感測器量測第一分配腔室中的空氣的第一污染濃度，及將表示第一污染濃度的信號發送到控制器。回應於接收表示第一污染濃度的信號及表示第二污染濃度的信號，控制器可以調整進出第一分配腔室的氣流。
於1408，將工件移動到第一洗滌/乾燥腔室。於1410，洗滌具有第一顏色轉換層的工件以移除第一顏色轉換層的未固化部分。於1412，第一顏色轉換層在工件上乾燥。
於1414，感測工件的第一條件。於1416，基於感測的第一條件，決定是否需要返工工件上的第一顏色轉換層。當需要返工第一顏色轉換層時，步驟1402-1414可以在工件上重複。當不需要返工時，工件可以繼續進行到步驟1416。
於1418，將工件移動到第二分配腔室。於1420，將工件對準到第二基準標記。
於1422，在第二分配腔室中利用第二分配器（例如，第二噴墨印表機）將第二顏色轉換層分配到工件上。第二分配器可以與第二支架一起移動。在利用第二噴墨印表機將第二顏色轉換層印刷到工件上之後，後印刷檢查及返工可以在洗滌及乾燥第二顏色轉換層之前完成。例如，工件可以利用第二紫外光及第二氮氣簾幕固化。此舉可以在第二分配腔室內、或在分離的固化腔室中發生。
於1424，將工件移動到第二洗滌/乾燥腔室。於1426，洗滌具有第二顏色轉換層的工件以移除第二顏色轉換層的未固化部分。
於1428，第二顏色轉換層在工件上乾燥。
於1430，感測工件的第二條件。於1432，基於感測的第二條件，決定是否需要返工工件上的第二顏色轉換層。當需要返工第二顏色轉換層時，步驟1418-1430可以在工件上重複。當不需要返工時，工件可以繼續進行到步驟1434。
於1434，將工件移動到第三分配腔室。於1436，將工件對準到第三基準標記。
於1438，在第三分配腔室中利用第三分配器（例如，第三噴墨印表機）將第三顏色轉換層分配到工件上。第三分配器可以與第三支架一起移動。在利用第三噴墨印表機將第三顏色轉換層印刷到工件上之後，後印刷檢查及返工可以在洗滌及乾燥第三顏色轉換層之前完成。例如，工件可以利用第三紫外光及第三氮氣簾幕固化。此舉可以在第三分配腔室內、或在分離的固化腔室中發生。
於1440，將工件移動到第三洗滌/乾燥腔室。於1442，洗滌具有第三顏色轉換層的工件以移除第三顏色轉換層的未固化部分。於1444，第三顏色轉換層在工件上乾燥。
於1446，感測工件的第三條件。於1448，基於第三感測的條件，決定是否需要返工工件上的第三顏色轉換層。當需要返工第三顏色轉換層時，步驟1434-1448可以在工件上重複。當不需要返工時，工件完成。
熟習此項技術者將瞭解。前述實例係示例性並且不作限制。例如：
儘管上文描述集中於微型LED，技術可以應用於具有其他類型的發光二極體的其他顯示器，特別地具有其他微型發光二極體的顯示器，例如，小於約10微米的LED。
儘管上文描述假設形成顏色轉換層的次序係藍色，隨後綠色，隨後紅色，其他次序係可能的，例如，藍色，隨後紅色，隨後綠色。此外，其他顏色係可能的，例如，橘色及黃色。
可以使用其他功能材料，諸如用作間隔件的聚合物、紫外光阻擋層、或布拉格反射器層。
LED顯示器製造工具可包括專用於返工的另一分配腔室。此腔室可以包括用於固持工件的分配支撐件及用於將顏色轉換前驅物流體遞送到工件上以返工工件上的第一顏色轉換層、第二顏色轉換層、及第三顏色轉換層的一或多者的噴墨印表機。在返工腔室處的顏色轉換前驅物流體可以係與第一顏色轉換前驅物、第二顏色轉換前驅物、及第三顏色轉換層相同或不同的成分。
LED顯示器製造工具可包括用於固化來自返工腔室的顏色轉換前驅物流體的另一固化站。LED顯示器製造工具可包括另一洗滌/乾燥腔室，該洗滌/乾燥腔室包括用於固持工件的洗滌支撐件及用於從返工移除顏色轉換層的未固化部分的洗滌組件。控制器可以導致工件運輸系統穿過第一分配腔室、第一洗滌/乾燥腔室、第二分配腔室、第二洗滌/乾燥腔室、第三分配腔室、第三洗滌/乾燥腔室、返工分配腔室、及返工洗滌/乾燥腔室順序地移動工件。
第一噴墨印表機、第二噴墨印表機、第三噴墨印表機、及第四噴墨印表機可分配紫外鎖定層材料或布拉格反射層材料的一或多者。
將理解，可進行各種修改而不脫離本揭示的精神及範疇。
10:微型LED顯示器 12:陣列 14:微型LED 14a:第一微型LED 14b:第二微型LED 14c:第三微型LED 16:背板 18:背板電路系統 18a:列位址及行位址線 18b:列及行驅動器 20:隔離壁 22:凹陷 30:第一光可固化流體 40a:顏色轉換層 40b:顏色轉換層 40c:顏色轉換層 50:UV阻擋層 203:距離 205:距離 210:遮罩 213:孔徑 220:印刷頭 222:液滴 224:液滴 226:凹陷 230:致動器 232:方向 400:LED顯示器製造工具 402:第一分配腔室 404:第二分配腔室 406:第三分配腔室 408:第一裝載閘腔室 410:第二裝載閘腔室 412:第一洗滌/乾燥腔室 414:第二洗滌/乾燥腔室 416:第三洗滌/乾燥腔室 418a:第一隔離部件 418b:第二隔離部件 418c:第三隔離部件 418d:第四隔離部件 422:箭頭 424:箭頭 426:控制器 428a:第一分配支撐件 428b:第二支撐件 428c:第三分配支撐件 430a:第一分配器 430b:第二分配器 430c:第三分配器 432a:第一支架 432b:第二支架 432c:第三支架 433a:第一分配站 434a:第一固化站 434b:第二固化站 434c:第三固化站 435a:監控站 436a:第一環境感測器 436b:第二環境感測器 436c:第三環境感測器 436d:第四環境感測器 436e:第八環境感測器 436f:第六環境感測器 438a:第一檢查感測器 438b:第二檢查感測器 438c:第三檢查感測器 438d:第四檢查感測器 438e:第五檢查感測器 440b:第二機器人 440c:第三機器人 440d:第四機器人 440e:第五機器人 440f:第六機器人 456:第一固化支撐件 457a:支撐件 470:高效顆粒空氣過濾器 472:第一排氣管道 474:第一排氣流動感測器 476:泵 478:第一進入埠 484a:閥 484b:閥 488a:閥 488b:閥 500:LED顯示器製造工具 502:第一分配腔室 504:第二分配腔室 506:第三分配腔室 508a:第一裝載/卸載閘腔室 508b:第二裝載/卸載閘腔室 508c:第二裝載/卸載閘腔室 508d:第四裝載/卸載閘腔室 508e:第五裝載/卸載閘腔室 508f:第六裝載/卸載閘腔室 512:第一洗滌/乾燥腔室 514:第二洗滌/乾燥腔室 516:第三洗滌/乾燥腔室 518a:第一隔離部件 518b:第二隔離部件 518c:第三隔離部件 518d:第四隔離部件 518e:第五隔離部件 520a:箭頭 520b:箭頭 522:箭頭 526:控制器 540a:第一機器人 540b:第二機器人 540c:第三機器人 540d:第四機器人 540e:第五機器人 540f:第六機器人 544a:箭頭 544b:箭頭 546a:箭頭 546b:箭頭 548a:箭頭 548b:箭頭 550a:箭頭 550b:箭頭 552a:箭頭 552b:箭頭 600:LED顯示器製造工具 602:第一分配腔室 604:第二分配腔室 606:第三分配腔室 608:第一裝載閘腔室 610:第二裝載閘腔室 612:第一洗滌/乾燥腔室 614:第二洗滌/乾燥腔室 616:第三洗滌/乾燥腔室 618a:第一隔離部件 618b:第二隔離部件 618c:第三隔離部件 618d:第四隔離部件 618e:第五隔離部件 618f:第六隔離部件 618g:第六隔離部件 618h:第七隔離部件 620:箭頭 622:箭頭 624:箭頭 626:控制器 636a:第一環境感測器 636b:第二環境感測器 636c:第三環境感測器 638a:第一檢查感測器 638b:第二檢查感測器 638c:第三檢查感測器 640a:第一機器人 640b:第二機器人 640c:第三機器人 640d:第四機器人 640e:第五機器人 640f:第六機器人 640g:第七機器人 640h:第八機器人 640i:第九機器人 654a:第一固化腔室 654b:第二固化腔室 654c:第三固化腔室 656a:第一固化支撐件 656b:第二固化支撐件 656c:第三固化支撐件 700:LED顯示器製造工具 702:第一分配腔室 704:第二分配腔室 706:第三分配腔室 708a:第一裝載/卸載閘腔室 708b:第二裝載/卸載閘腔室 708c:第三裝載/卸載閘腔室 708d:第四裝載/卸載閘腔室 708e:第五裝載/卸載閘腔室 708f:第六裝載/卸載閘腔室 708g:第七裝載/卸載閘腔室 708h:第八裝載/卸載閘腔室 708i:第九裝載/卸載閘腔室 712:第一洗滌/乾燥腔室 714:第二洗滌/乾燥腔室 716:第三洗滌/乾燥腔室 718a:第一隔離部件 718b:第二隔離部件 718c:第三隔離部件 718d:第四隔離部件 718e:第五隔離部件 718f:第六隔離部件 718g:第七隔離部件 718h:第八隔離部件 720a:箭頭 720b:箭頭 726:控制器 740a:第一機器人 740b:第二機器人 740c:第三機器人 740d:第四機器人 740e:第五機器人 740f:第六機器人 740g:第七機器人 740h:第八機器人 740i:第九機器人 744a:箭頭 744b:箭頭 746a:箭頭 750a:箭頭 750b:箭頭 752a:箭頭 754a:第一固化腔室 754b:第二固化腔室 754c:第三固化腔室 758a:箭頭 760a:箭頭 760b:箭頭 762b:箭頭 800:LED顯示器製造工具 802:第一分配腔室 804:第二分配腔室 806:第三分配腔室 808a:第一裝載/卸載閘腔室 808b:第二裝載/卸載閘腔室 808c:第三裝載/卸載閘腔室 812:第一洗滌/乾燥腔室 814:第二洗滌/乾燥腔室 816:第三洗滌/乾燥腔室 818a:閥 818b:開口狹縫閥 820a:箭頭 820b:箭頭 822:箭頭 826:控制器 834a:第一固化站 834b:第二固化站 834c:第三固化站 836g:第七環境感測器 838g:第七檢查感測器 838h:第八檢查感測器 838i:第九檢查感測器 840a:第一機器人 840b:第二機器人 840c:第三機器人 840d:第四機器人 840e:第五機器人 840f:第六機器人 840g:第七機器人 840h:第八機器人 840i:第九機器人 846a:箭頭 846b:箭頭 850a:箭頭 850b:箭頭 900:LED顯示器製造工具 902:第一分配腔室 904:第二分配腔室 906:第三分配腔室 908a:第一裝載/卸載閘腔室 908b:第二裝載/卸載閘腔室 908c:第三裝載/卸載閘腔室 908d:中央裝載閘腔室 912:第一洗滌站 914:第二洗滌站 916:第三洗滌站 918a:隔離部件 918b:隔離部件 918c:隔離部件 920a:箭頭 926:控制器 936a:第一環境感測器 938a:第一檢查感測器 940a:第一機器人 940c:第三機器人 940d:第四機器人 940e:第五機器人 940f:第六機器人 940g:機器人 940h:機器人 940i:機器人 940j:第十機器人 940k:第十一機器人 940m:機器人 940n:第十四機器人 954a:第一固化站 954b:第二固化站 954c:第三固化站 964:第一子群集 966:第二子群集 968:第三子群集 1000:LED顯示器製造工具 1002:第一分配腔室 1004:第一分配腔室 1006:第三分配腔室 1008:中央裝載/卸載閘腔室 1012:第一洗滌/乾燥腔室 1014:第二洗滌站 1016:第三洗滌/乾燥腔室 1018a:隔離部件 1018b:隔離部件 1020a:箭頭 1020b:箭頭 1026:控制器 1036a:第一環境感測器 1036b:第二環境感測器 1038a:第一檢查感測器 1038b:第二檢查感測器 1040a:第一機器人 1040b:第二機器人 1040c:機器人 1040d:第四機器人 1040e:第五機器人 1040f:第六機器人 1040g:第七機器人 1040h:第八機器人 1054:通用固化站 1100:LED顯示器製造工具 1102:第一分配腔室 1104:第二分配腔室 1106:第三分配腔室 1108:通用裝載/卸載閘腔室 1112:通用洗滌/乾燥腔室 1118a:隔離部件 1118b:隔離部件 1120a:箭頭 1120b:箭頭 1126:控制器 1136a:第一環境感測器 1138a:第一檢查感測器 1138b:第二檢查感測器 1138c:第三檢查感測器 1140a:第一機器人 1140b:第二機器人 1140c:第三機器人 1140e:第五機器人 1140g:第七機器人 1140h:第八機器人 1154:通用固化腔室 1200:LED顯示器製造工具 1202:第一分配腔室 1204:第二分配腔室 1206:第三分配腔室 1208a:內部裝載/卸載閘腔室 1208b:內部裝載/卸載閘腔室 1208c:內部裝載/卸載閘腔室 1208d:外部裝載/卸載閘腔室 1208e:外部裝載/卸載閘腔室 1208f:外部裝載/卸載閘腔室 1218a:隔離部件 1218b:隔離部件 1220a:箭頭 1220b:箭頭 1236a:第一環境感測器 1236b:第二環境感測器 1236c:第三環境感測器 1238a:第一檢查感測器 1238b:第二檢查感測器 1238c:第三檢查感測器 1240a:第一機器人 1240b:第二機器人 1240c:第三機器人 1240d:第四機器人 1240e:第五機器人 1240f:第六機器人 1240g:第七機器人 1240h:第八機器人 1240i:第九機器人 1240j:第十機器人 1240k:第十一機器人 1240m:第十三機器人 1240n:第十四機器人 1240o:機器人 1240p:第十六機器人 1244:中央進入腔室 1246:線性運輸件 1248a:第一隔離部件 1248b:第二隔離部件 1254a:第一固化站 1254b:第二固化站 1254c:第三固化站 1264:第一子群集 1266:第二子群集 1268:第三子群集 1300:LED顯示器製造工具 1302:通用分配腔室 1308:裝載/卸載閘腔室 1312:第一洗滌/乾燥腔室 1314:第二洗滌/乾燥腔室 1316:第三洗滌/乾燥腔室 1318a:隔離部件 1320a:箭頭 1320b:箭頭 1326:控制器 1328:通用分配支撐件 1336b:第二檢查感測器 1338b:第二環境感測器 1340a:第一機器人 1340b:第二機器人 1340d:第四機器人 1340f:第六機器人 1340g:第七機器人 1340h:第八機器人 1340i:第九機器人 1354a:第一固化腔室 1354b:第二固化腔室 1354c:第三固化腔室 1400:方法 1402:步驟 1404:步驟 1406:步驟 1408:步驟 1410:步驟 1412:步驟 1414:步驟 1416:步驟 1418:步驟 1420:步驟 1422:步驟 1424:步驟 1426:步驟 1428:步驟 1430:步驟 1432:步驟 1434:步驟 1436:步驟 1438:步驟 1440:步驟 1442:步驟 1444:步驟 1446:步驟 1448:步驟 1500:噴墨印表機 A:照明 D:深度 H:高度
第1圖係已經與背板整合的微型LED陣列的示意性俯視圖。
第2A圖係微型LED陣列的一部分的示意性俯視圖。
第2B圖係來自第2A圖的微型LED陣列的部分的示意性橫截面圖。
第2C圖係在沉積顏色轉換劑層之前的第2A圖的微型LED顯示器的一部分的示意性橫截面圖。
第3A圖至第3H圖示出了在微型LED陣列上方選擇性形成顏色轉換劑(color conversion agent; CCA)層的方法。
第4圖係LED顯示器製造工具的示意性俯視圖。
第5圖係另一LED顯示器製造工具的示意性俯視圖。
第6圖係另一LED顯示器製造工具的示意性俯視圖。
第7圖係另一LED顯示器製造工具的示意性俯視圖。
第8圖係另一LED顯示器製造工具的示意性俯視圖。
第9圖係另一LED顯示器製造工具的示意性俯視圖。
第10圖係另一LED顯示器製造工具的示意性俯視圖。
第11圖係另一LED顯示器製造工具的示意性俯視圖。
第12圖係另一LED顯示器製造工具的示意性俯視圖。
第13圖係另一LED顯示器製造工具的示意性俯視圖。
第14A圖至第14C圖圖示了利用LED顯示器製造工具製造LED顯示器的方法。
第15圖係在LED顯示器製造工具中的噴墨印刷站的示意性橫截面側視圖。
第16圖係LED顯示器製造工具的分配腔室的示意性橫截面側視圖。
第17A圖至第17F圖係在第4圖的製造工具中製造微型LED陣列的示意圖。
各個附圖中的類似元件符號指示類似元件。
國內寄存資訊(請依寄存機構、日期、號碼順序註記) 無 國外寄存資訊(請依寄存國家、機構、日期、號碼順序註記) 無
400:LED顯示器製造工具
402:第一分配腔室
404:第二分配腔室
406:第三分配腔室
408:第一裝載閘腔室
410:第二裝載閘腔室
412:第一洗滌/乾燥腔室
414:第二洗滌/乾燥腔室
416:第三洗滌/乾燥腔室
418a:第一隔離部件
418b:第二隔離部件
418c:第三隔離部件
418d:第四隔離部件
422:箭頭
424:箭頭
426:控制器
428a:第一分配支撐件
428b:第二支撐件
428c:第三分配支撐件
430a:第一分配器
430b:第二分配器
430c:第三分配器
432a:第一支架
432b:第二支架
432c:第三支架
433a:第一分配站
434a:第一固化站
434b:第二固化站
434c:第三固化站
436a:第一環境感測器
436b:第二環境感測器
436c:第三環境感測器
436d:第四環境感測器
436e:第八環境感測器
436f:第六環境感測器
438a:第一檢查感測器
438b:第二檢查感測器
438c:第三檢查感測器
440b:第二機器人
440c:第三機器人
440d:第四機器人
440e:第五機器人
440f:第六機器人
456:第一固化支撐件
484a:閥
484b:閥
488a:閥
488b:閥

Claims (19)

  1. 一種LED顯示器製造方法，包括： 將工件裝入第一分配腔室； 將一第一顏色轉換層分配至該工件上； 將該工件移至一第一洗滌/乾燥腔室； 清洗具有該第一顏色轉換層的該工件以去除該第一顏色轉換層的一未固化部分； 將該工件移至一第二分配腔室； 將一第二顏色轉換層分配到工件上； 將該工件移至一第二洗滌/乾燥腔室； 清洗具有該第二顏色轉換層的工件以去除該第二顏色轉換層的一未固化部分； 將該工件移至一第三分配腔室； 將一第三顏色轉換層分配到該工件上； 將該工件移至一第三洗滌/乾燥腔室； 清洗具有該第三顏色轉換層的該工件以去除該第三顏色轉換層的一未固化部分。
  2. 如請求項1所述的方法，其中分配該第一顏色轉換層包括從一第一噴墨印表機分配該第一顏色轉換層且以一第一支架(gantry)移動該第一噴墨印表機，將該第二顏色轉換層加以分配包括從一第二噴墨印表機分配該第二顏色轉換層且以一第二支架移動該第一噴墨印表機，以及將該第三顏色轉換層加以分配包括從該第一噴墨印表機分配該第三顏色轉換層並以一第三支架移動該第一噴墨印表機。
  3. 如請求項2所述的方法，其中以該第一支架移動該第一噴墨印表機包括將該工件對準在該第一噴墨印表機上的一第一基準標記，以該第二支架移動第該二噴墨印表機包括將該工件對準在該第二噴墨印表機上一第二基準標記，以及以該第三支架移動該第三噴墨印表機包括將該工件對準一第三基準標記。
  4. 如請求項3所述的方法，更包含: 在以該第一噴墨印表機將該第一顏色轉換層分配到工該件上之後，以一第一紫外光和一第一氮氣簾幕將該工件上的該第一顏色轉換層固化； 在以該第二噴墨印表機將該第二顏色轉換層分配到該工件上之後，以一第二紫外光和一第二氮氣簾幕將該工件上的該第二顏色轉換層固化； 在以該第三噴墨印表機將該第三顏色轉換層分配到該工件上之後，以一第三紫外光和一第三氮氣簾幕將該工件上的該第三顏色轉換層固化。
  5. 如請求項4所述的方法，其中將該第一顏色轉換層固化是在位於該第一分配腔室中的一第一固化站執行的，將該第二顏色轉換層固化是在位於該第二分配腔室中的一第二固化站執行的，以及將該第三顏色轉換層在位於該第三分配腔室中的一第三固化站執行的。
  6. 如請求項5所述的方法，其中，該第一固化站包括與該第一分配支撐件分開的一第一固化支撐件，並且該第二固化站包括與該第二分配支撐件分開的一第二固化支撐件。
  7. 如請求項1所述的方法，其中將該第一顏色轉換層固化係在與該第一分配腔室分開的一第一固化站執行的，將該第二顏色轉換層固化係在與該第二分配腔室分開的一第二固化站執行的，以及將該第三顏色轉換層固化係在與該第三分配腔室分開的一第三固化站執行的。
  8. 如請求項1所述的方法，其中該第一分配腔室、第一洗滌/乾燥腔室、第二分配腔室和第二洗滌/乾燥腔室中的每一者都是可獨立密封的。
  9. 如請求項1所述的方法，更包括用一高效顆粒空氣過濾器過濾進入該第一分配腔室、該第二分配腔室和該第三分配腔室的空氣以降低自一大氣進入該第一分配腔室、該第二分配腔室和該第三分配腔室的污染濃度。
  10. 如請求項9所述的方法，更包含對該第一分配腔室和該第二分配腔室中的大氣污染濃度進行採樣並對該大氣中的顆粒進行計數。
  11. 如請求項1所述的方法，包括透過外部連接到所配置的該第一分配腔室的一第一裝載台將該工件裝載到該第一分配腔室，以及包括透過外部連接到該第二分配腔室的一第二裝載台將該工件裝載到該第二分配腔室。
  12. 如請求項1所述的方法，包括用一感測器來感測一工件條件並基於來自該感測器的資料確定是否返工該工件。
  13. 如請求項12所述的方法，其中，該感測器位於該第一分配腔室中。
  14. 如請求項13所述的方法，包括在將該工件移動到其他模組以進行進一步處理之前使返工發生在該第一分配腔室中。
  15. 如請求項12所述的方法，其中，該感測器位於一後印刷(post-printing)腔室中，並且包括在將該工件順序地移動通過該第一分配腔室、該第一清洗/乾燥腔室、該第一清洗/乾燥腔室、該第二分配腔室以及該第二洗滌/乾燥腔室之後將該工件移動到該後印刷腔室。
  16. 如請求項1所述的方法，其中該方法在包括複數個腔室的一LED顯示器製造工具中執行，該複數個腔室包括一初始腔室、一最終腔室和複數個中間腔室，並且該複數個腔室被佈置以形成從該初始腔室到該最終腔室的一傳遞線，其中每個中間腔室透過一第一可密封埠連接到該傳遞線中的一先前腔室，並透過一第二可密封埠連接到該傳遞線中的一後續腔室，並且該第一分配腔室、第一洗滌/乾燥腔室、第二分配腔室和第二洗滌/乾燥腔室是該複數個腔室中的若干腔室。
  17. 如請求項16所述的方法，包括僅透過該初始腔室和該最終腔室插入和移除該工件。
  18. 如請求項17所述的方法，其中該第一分配腔室是該初始腔室。
  19. 如請求項18所述的方法，其中該第二洗滌/乾燥腔室是該最終腔室。
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