TW202326073A - 位準感測器模組及可攜式位準量測設備 - Google Patents

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河相民
安東玉
李虎炯
徐溶晙
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趙亨濬
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Abstract

本發明概念提供一種可攜式位準量測設備。可攜式位準量測設備包括感測器模組,其具有經組態以量測一量測物件之傾斜的感測器單元及經組態以發送在感測器單元處量測的量測資訊的無線通訊單元;及可攜式終端機,其經由無線通訊連接至感測器模組,並顯示量測資訊,且其中感測器模組經由連接器與可攜式終端機組合,並在與可攜式終端機分離時立即進行配對。

Description

位準感測器模組及可攜式位準量測設備
本發明係關於一種位準感測器模組及可攜式位準量測設備。
本文描述的發明概念之實施例係關於調平感測器單元。
一般而言,平面度(調平)係半導體製造設施中非常重要的因數之一。詳言之,若諸如傳輸基板的機器人或置放基板的平台的設備之設施平面度變形,則其可能會影響化學品之流動,從而導致諸如溫度不平衡及損壞基板的問題。
傳統上,為了量測半導體製造設施中的傾斜,使用類比或數位方法簡單地量測傾斜,並檢查量測之傾斜。
特別地,類比傾斜感測器(水滴計)使用氣泡顯示傾斜,僅當管理者直接檢查氣泡之位移時才知道傾斜程度。因此,難以精確地數位化,且根據使用者的注視可能會發生誤差。詳言之,在狹窄且不能自之上觀看的空間中會使用鏡子,因此發生誤差的可能性非常高。
數位傾斜感測器將傾斜值顯示為數位數值,但若管理者難以直接檢查傾斜值,諸如小空間,則亦很難檢查傾斜值。
其次,就數位感測器而言,其具有便於數位化、易於使用的整體顯示器,但數位感測器在狹窄空間中難以使用,且其重量較重,在量測傳輸機器人的調平時,可能會由於感測器的重量而產生傾斜。
本發明概念之實施例提供一種位準感測器模組及可攜式位準量測設備,其可藉由遠端接收傾斜資訊來管理及監控。
本發明概念之實施例提供一種可攜式位準量測設備,其可檢查位準感測器之傾斜量測是否正常。
本發明概念之技術目標不限於上述技術目標,其他未提及之技術目標將自以下描述而對熟習此項技術者變得明顯。
本發明概念提供一種無線連接至可攜式終端機的位準感測器模組。位準感測器模組包括感測器單元,其經組態以量測傾斜;無線通訊單元,其經組態以發送感測器單元的量測值;電池單元,其經組態以供應電源至感測器單元及無線通訊單元;充電單元,其經組態以自可攜式終端機提供充電電力以對電池單元進行充電;及控制單元,其經組態以控制無線通訊單元,以識別藉由充電單元與可攜式終端機的充電端子的分離而停止充電電力之供應的狀態,並與可攜式終端機進行無線配對。
在一實施例中,控制單元控制無線通訊單元,以在與可攜式終端機配對之後將在感測單元處量測的量測值傳輸至可攜式終端機。
在一實施例中,感測器單元、無線通訊單元、及控制單元安裝於印刷電路基板處,而印刷電路基板安裝至具有高平面度的底板的頂表面。
在一實施例中,位準感測器模組進一步包括記憶體單元,記憶體單元經組態以儲存在感測器單元處量測的量測值,且其中當與可攜式終端機的無線通訊不工作時,控制單元控制記憶體單元,從而將在感測器單元處量測的量測值儲存於記憶體單元處。
在一實施例中,當恢復與可攜式終端機的無線通訊時,控制單元控制無線通訊單元,以將儲存於記憶體單元處的資料傳輸至可攜式終端機。
本發明概念提供一種可攜式位準量測設備。可攜式位準量測設備包括感測器模組,感測器模組具有經組態以量測一量測物件之傾斜的感測器單元及經組態以發送在感測器單元處量測的量測資訊的無線通訊單元;及可攜式終端機,其經由無線通訊連接至感測器模組,並顯示量測資訊,且其中感測器模組經由連接器與可攜式終端機組合,並在與可攜式終端機分離時立即進行配對。
在一實施例中,感測器模組包括:內建電池單元,其經組態以供應電源至感測器單元及無線通訊單元;充電單元,其經組態以提供有來自可攜式終端機的充電電力,用於對內建電池單元進行充電;及控制單元,其經組態以控制無線通訊單元,以識別藉由充電單元與可攜式終端機的充電端子的分離而停止充電電力之供應的狀態,並與可攜式終端機進行無線配對。
在一實施例中,在與可攜式終端機進行配對之後,控制單元控制第一無線通訊單元,以將在感測器單元處量測的量測值傳輸至可攜式終端機。
在一實施例中,感測器單元、第一無線通訊單元、及控制單元安裝於印刷電路基板處。
在一實施例中,感測器模組進一步包含具有安裝於頂表面上的印刷電路基板的平坦的底座基板,並安裝於被測物件上。
在一實施例中,感測器模組進一步包含記憶體單元,記憶體單元經組態以儲存在感測器單元處量測的量測值,且其中在與可攜式終端機的無線通訊不工作時,控制單元控制記憶體單元,從而將在感測器單元處量測的量測值儲存於記憶體單元處。
在一實施例中,當恢復與可攜式終端機的無線通訊時,則控制單元控制無線通訊單元,以將儲存於記憶體單元處的資料傳輸至可攜式終端機。
在一實施例中,可攜式終端機包括:殼體;第二無線通訊單元,其設置於殼體內並經組態以自第一無線通訊單元接收量測資料;及顯示單元,其設置於殼體的頂表面處,並經組態以顯示提供自感測器模組的量測資料。
在一實施例中,可攜式終端機進一步包含主電池單元,主電池單元經組態以供應電源至感測器模組及殼體內的各個組件。
在一實施例中,可攜式終端機進一步包括:設置於殼體的頂表面處的類比水平儀;及表面板,其設置於殼體的頂表面處,並具有安裝用於檢查感測器單元之異常的感測器模組。
在一實施例中,可攜式終端機進一步包括用於調整表面板之水平度的調整構件。
在一實施例中,調整構件進一步包含安裝於表面板的邊緣處的高度調整螺栓。
本發明概念提供一種可攜式位準量測設備,其具有無線連接至可攜式終端機的位準感測器模組。位準感測器模組包括:感測器單元,其經組態以量測傾斜;第一無線通訊單元,其經組態以發送感測器單元的量測資料;電池單元,其經組態以供應電源至感測器單元及第一無線通訊單元;充電單元,其經組態以提供有來自可攜式終端機的充電電力以對電池單元進行充電;及控制單元,其經組態以控制第一無線通訊單元,以識別藉由充電單元與可攜式終端機的充電端子的分離而停止充電電力之供應的狀態,並與可攜式終端機進行無線配對,且其中可攜式終端機包括:第二無線通訊單元,其設置於殼體內並經組態以自第一無線通訊單元接收量測資料;顯示單元,其設置於殼體的頂表面處,並經組態以顯示自感測器模組提供的量測資料;及檢查單元,其經組態以檢查感測器單元的異常。
在一實施例中,位準感測器模組進一步包含用於儲存在感測器單元處量測的量測值的記憶體,且其中在與可攜式終端機進行配對之後,控制單元控制無線通訊單元,從而將在感測器單元處量測的量測值發送至可攜式終端機,並在與可攜式終端機的無線通訊不工作時,控制記憶體單元,從而將在感測器單元處量測的量測值儲存於記憶體單元處。
根據本發明概念之實施例,藉由遠端接收傾斜資訊進行管理及監控係可能的。
根據本發明概念之實施例,提供一種位準感測器模組及可攜式位準量測設備。
根據本發明概念之實施例,可提供用於檢查位準感測器之傾斜量測是否正常的可攜式位準量測設備。
本發明概念的效果不限於上述效果,其他未提及之效果將自以下描述而對熟習此項技術者變得明顯。
本發明概念可進行各種修改並可具有各種形式,其具體實施例將在圖式中圖示並詳細描述。然而,根據本發明概念的實施例並不旨在限制具體揭示形式,且應理解,本發明概念包括含括於本發明概念的精神及技術範疇內的所有變換、等價物、及替換。在本發明概念的描述中,當相關已知技術的詳細描述可能使本發明概念本質不清楚時,可省略其描述。
本文中使用的術語僅用於描述特定實施例,並不旨在限制本發明概念。如本文所用,單數形式「一(a)」、「一(an)」及「該(the)」旨在亦包括複數形式,除非上下文另有明確規定。將進一步理解,當在本說明書中使用時,術語「包含(comprises)」、「包含(comprising)」、「包括(includes)」、及/或「包括(including)」指定所述特徵、整數、步驟、操作、元件、及/或組件的存在,但不排除一或多個其他特徵、整數、步驟、操作、元件、組件、及/或群組的存在或添加。如本文所用,術語「及/或(and/or)」包括相關聯列出項目中之一或多者的任何及所有組合。此外,術語「實例(example)」旨在係指實例或圖示。
應理解,儘管本文可使用術語「第一」、「第二」、「第三」等來描述各種元件、組件、區、層及/或部分,但這些元件、組件、區、層及/或部分不應受到這些術語的限制。這些術語僅用於區分一個元件、組件、區、層或部分與另一區、層或部分。因此,在不背離本發明概念的教導的情況下,以下討論的第一元件、組件、區、層或部分可稱為第二元件、組件,區、層或部分。
應理解,當一元件或層稱為「在」另一元件或層「上」、「連接至」、「耦接至」、或「覆蓋」另一元件或層時,該元件或層可直接在其他元件或層上、直接連接至、直接耦接至、或直接覆蓋其他元件或層,或可存在中介元件或中介層。相反,當一元件稱為「直接在」另一元件或層「上」、「直接連接至」、或「直接耦接至」另一元件或層時,不存在中介元件或層。其他術語,諸如「在……之間」、「相鄰」、「附近」或類似者應以相同的方式解釋。
除非另有定義,否則本文使用的所有術語,包括技術術語或科學術語,具有與熟習本發明概念所屬領域技術者所一般理解的含義相同的含義。除非在本申請案中明確定義,否則諸如常用詞典中定義的術語應解釋為與相關技術的上下文一致,而非理想的或過於正式的。在本發明概念之實施例中,將描述可攜式位準量測設備。
圖1係圖示可攜式位準量測設備之透視圖,圖2係圖1中所示可攜式位準量測設備之平面圖,而圖3係圖1中所示可攜式位準量測設備之方塊圖。圖4圖示感測器模組與可攜式終端機組合之狀態。
參考圖1至圖4,可攜式位準量測設備10可包括感測器模組100及可攜式終端機200。
感測器模組100可設置成可自可攜式終端機200拆卸。感測器模組100可與可攜式終端機200分離並安裝於需要傾斜量測以量測傾斜的量測物件上,並可經由無線通訊發送量測之量測資料。在此,感測器模組可經由無線通訊連接至可攜式終端機,並可即時發送量測之量測資料。感測器模組100經由連接器耦接至可攜式終端機200,並在感測器模組100與可攜式終端機分離時,感測器模組100可立即進行配對並操作。此外,取決於設定,感測器模組可組態為一鍵式連接、感測器掃描之後的額外感測器、及多個感測器連接。
根據一實施例,感測器模組100具有底板110,底板110具有平坦底表面。感測器模組100包括感測器單元130、第一無線通訊單元140、電池單元150、記憶體單元160、充電單元180、及控制單元170。感測器單元130、第一無線通訊單元140、電池單元150、記憶體單元160、充電單元180、及控制單元170可安裝於電路板120上。然而,本發明概念不限於此,且電池單元150可設置成在安裝於底板110上而不安裝於電路板120上的同時電連接至電路板120。
感測器單元130可為量測傾斜的位準感測器。由感測器單元130量測的量測資料經由第一無線通訊單元140發送至可攜式終端機200。第一無線通訊單元140可藉由應用適於在諸如RF、WiFi、藍牙、NFC、及Zigbee的各種短程通訊模組方法中使用的一或多個方法來使用。
電池單元150為感測器模組100的各個組件提供所需的電力。電池單元150可經由充電單元180來充電。充電單元180自可攜式終端機200接收充電電力。
儘管在本發明概念中使用充電端子描述電池單元之充電,但本發明概念不限於此,並可應用各種充電方法來充電電池單元,諸如無線充電及USB連接。
控制單元170識別充電單元180自可攜式終端機200的充電端子242分離且充電電力供應停止的狀態,並控制第一無線通訊單元140與可攜式終端機200進行無線配對。
在與可攜式終端機200進行配對之後,感測器模組100經由第一無線通訊單元140發送由感測器單元130量測的量測資料至可攜式終端機200。
記憶體單元160可儲存由感測器單元130量測的量測資料。當感測器模組100與可攜式終端機200正常執行無線通訊時,量測資料不儲存於記憶體單元160中。當感測器組件100與可攜式終端機200之間的無線通訊中斷時,控制單元170控制記憶體單元160,使得由感測器單元130量測的量測資料儲存於記憶體單元160中。同時,當恢復感測器模組100與可攜式終端機200之間的無線通訊時,控制單元170控制第一無線通訊單元140,使得儲存於記憶體單元160中的量測資料發送至可攜式終端機200。
可攜式終端機200可經由無線通訊連接至感測器模組,以接收量測之量測資料並自遠端位置監測接收之量測資料(傾斜資訊)。由於可攜式終端機200設置有用於顯示量測資訊的顯示單元,故可在顯示單元上顯示接收自感測器模組的資料。
根據一實施例,可攜式終端機200可包括殼體210、第二無線通訊單元230、顯示單元220、主電池單元240、控制單元250、及檢查單元300。儘管未顯示,可攜式終端機200可包括輸入單元。輸入單元可包括複數個操作按鈕,舉例而言,電源的開/關操作按鈕、感測器模組的操作按鈕、及類似者。
顯示單元220設置於殼體210的頂表面上。顯示單元220可由諸如LCD的面板形成,用於顯示自感測器模組100提供的量測資料。
第二無線通訊單元230自第一無線通訊單元140接收量測資料。接收之量測資料可由控制單元250提供至顯示單元220。在此,控制單元250可控制可攜式終端機的整個操作。控制單元250可包括中央處理單元(central processing unit;CPU)、唯讀記憶體(read only memory;ROM)、及隨機存取記憶體(random access memory;RAM)。
主電池單元240包括充電電池,由外部電力供應充電,而電池的電力可用於對感測器模組100進行充電。主電池單元240可供應電力至殼體210中各個組件。充電端子242可連接至主電池單元240,且充電端子242可連接至感測器模組100的充電單元180。
檢查單元300係用於檢查關於感測器模組100之感測器單元130是否存在異常的單元。檢查單元300可包括類比水平系統310及表面板320。檢查單元300設置於殼體210的頂表面上。
類比水平系統310安裝於表面板320的頂表面上。類比水平系統310量測表面板320的頂表面之傾斜。感測器模組可安裝於表面板320上。用於水平調整的調整構件330設置於表面板320上。調整構件330可包括高度調整螺栓332。高度調整螺栓332可安裝於表面板320的四個角處,以調整表面板的X軸及Y軸之傾斜。
圖5A及圖5B圖示檢查感測器單元是否具有異常的過程。
參考圖5A及圖5B,可攜式終端機200置放於平坦的位置上,並檢查類比水平系統310以檢查表面板320的水平度。若類比水平系統310的液滴312位於中心位置,則感測器模組100與可攜式終端機200分離並置放於表面板320的頂表面上。感測器模組100量測表面板320的傾斜,並將量測資料提供至可攜式終端機200。提供至可攜式端機200的量測資料顯示於顯示單元220上。在這種情況下,表面板320處於水平狀態,且顯示單元220上顯示的X軸傾斜及Y軸傾斜兩者均顯示為零點(0.00)。若X軸及Y軸傾斜值在顯示單元220上顯示為偏離零的值,則可判定感測器模組100的感測器單元130不能正常量測傾斜。
如上前述,本發明概念的可攜式位準量測設備10可藉由在量測被測物件之傾斜之前驗證感測器單元130是否正常量測被測物件之傾斜來提高被測物件之傾斜測試的可靠性。
圖6A至圖6C圖示檢查感測器單元是否具有異常的過程。
參考圖6A至圖6C,可攜式終端機200置放於平坦的位置上,並檢查類比水平系統310以檢查表面板320的水平度。若類比水平系統310的液滴312偏離中心,則執行調平表面板320的過程。亦即,工作管理者在觀察類比水平系統310的同時藉由操縱高度調整螺栓332來調整水平的表面板320。若表面板320的水平操作已完成,如上所述,感測器模組100與可攜式終端機200分離並置放於表面板320的頂表面上,以檢查感測器單元130中的異常。感測器單元130的異常檢查與上述相同。
本發明概念的效果不限於上述效果,未提及之效果可由熟習本發明概念所屬領域技術者自說明書及隨附圖式清楚地理解。
儘管到目前為止已圖示及描述本發明概念的較佳實施例,但本發明概念不限於上述特定實施例,並指出,本領域的一般技藝人士可在不背離申請專利範圍中所主張的本發明概念的本質的情況下,以各種方式實施本發明概念,且不應將這些修改與本發明概念的技術精神或前景分開解譯。
10:可攜式位準量測設備 100:感測器模組 110:底板 120:電路板 130:感測器單元 140:第一無線通訊單元 150:電池單元 160:記憶體單元 170:控制單元 180:充電單元 200:可攜式終端機 210:殼體 220:顯示單元 230:第二無線通訊單元 240:主電池單元 242:充電端子 250:控制單元 300:檢查單元 310:類比水平系統 312:液滴 320:表面板 330:調整構件 332:高度調整螺栓
上述及其他目的及特徵將自以下參考隨附諸圖的描述變得明顯,其中除非另有規定,否則貫穿各圖類似的參考數字係指類似的組件。
圖1係圖示可攜式位準量測設備之透視圖。
圖2係圖1中所示可攜式位準量測設備之平面圖。
圖3係圖1中所示可攜式位準量測設備之方塊圖。
圖4圖示感測器模組與可攜式終端機組合之狀態。
圖5A及圖5B圖示檢查感測器單元是否異常之過程。
圖6A至圖6C圖示檢查感測器單元是否異常之過程。
10:可攜式位準量測設備
100:感測器模組
110:底板
120:電路板
130:感測器單元
140:第一無線通訊單元
150:電池單元
160:記憶體單元
170:控制單元
180:充電單元
200:可攜式終端機
210:殼體
220:顯示單元
242:充電端子
300:檢查單元
310:類比水平系統
320:表面板
330:調整構件
332:高度調整螺栓

Claims (20)

  1. 一種無線連接至可攜式終端機的位準感測器模組,其包含: 感測器單元,其經組態以量測傾斜; 無線通訊單元,其經組態以發送前述感測器單元的量測值; 電池單元,其經組態以供應電源至前述感測器單元及前述無線通訊單元; 充電單元,其經組態以提供來自前述可攜式終端機的充電電力,以對前述電池單元進行充電;及 控制單元,其經組態以控制前述無線通訊單元,以識別藉由前述充電單元與前述可攜式終端機的充電端子的分離而停止前述充電電力之供應的狀態,並與前述可攜式終端機進行無線配對。
  2. 如請求項1所述之位準感測器模組,其中在與前述可攜式終端機進行配對之後,前述控制單元控制前述無線通訊單元,以將在前述感測單元處量測的前述量測值傳輸至前述可攜式終端機。
  3. 如請求項1所述之位準感測器模組,其中前述感測器單元、前述無線通訊單元、及前述控制單元安裝於印刷電路基板處,且 前述印刷電路基板安裝至具有高平面度的底板的頂表面。
  4. 如請求項1所述之位準感測器模組,其進一步包含記憶體單元,前述記憶體單元經組態以儲存在前述感測器單元處量測的前述量測值,且 其中在與前述可攜式終端機的無線通訊不工作時,前述控制單元控制前述記憶體單元,從而將在前述感測器單元處量測的前述量測值儲存於前述記憶體單元處。
  5. 如請求項4所述之位準感測器模組,其中在恢復與前述可攜式終端機的前述無線通訊時,前述控制單元控制前述無線通訊單元,以將儲存於前述記憶體單元處的資料傳輸至前述可攜式終端機。
  6. 一種可攜式位準量測設備,其包含: 感測器模組,其具有經組態以量測量測物件之傾斜的感測器單元及經組態以發送在前述感測器單元處量測的量測資訊的無線通訊單元;及 可攜式終端機,其經由無線通訊連接至前述感測器模組,並顯示前述量測資訊, 其中前述感測器模組經由連接器與前述可攜式終端機組合,並在與前述可攜式終端機分離時立即進行配對。
  7. 如請求項6所述之可攜式位準量測設備,其中前述感測器模組包含: 內建電池單元,其經組態以供應電源至前述感測器單元及前述無線通訊單元; 充電單元,其經組態以提供有來自前述可攜式終端機的充電電力,用於對前述內建電池單元進行充電;及 控制單元,其經組態以控制前述無線通訊單元,以識別藉由前述充電單元與前述可攜式終端機的充電端子的分離而停止前述充電電力之供應的狀態,並與前述可攜式終端機進行無線配對。
  8. 如請求項7所述之可攜式位準量測設備,其中在與前述可攜式終端機配對之後,前述控制單元控制前述無線通訊單元,以將在前述感測器單元處量測的量測值傳輸至前述可攜式終端機。
  9. 如請求項7所述之可攜式位準量測設備,其中前述感測器單元、前述無線通訊單元、及前述控制單元安裝於印刷電路基板處。
  10. 如請求項9所述之可攜式位準量測設備,其中前述感測器模組進一步包含平坦的底座基板,前述底座基板具有安裝於頂表面上的前述印刷電路基板,並安裝於被測物件上。
  11. 如請求項7所述之可攜式位準量測設備,其中前述感測器模組進一步包含記憶體單元,前述記憶體單元經組態以儲存在前述感測器單元處量測的量測值,且 其中在與前述可攜式終端機的無線通訊不工作時,前述控制單元控制前述記憶體單元,從而將在前述感測器單元處量測的前述量測值儲存於前述記憶體單元處。
  12. 如請求項11所述之可攜式位準量測設備,其中在與前述可攜式終端機恢復前述無線通訊時,前述控制單元控制前述無線通訊單元,以將儲存於前述記憶體單元處的資料傳輸至前述可攜式終端機。
  13. 如請求項6所述之可攜式位準量測設備,其中前述可攜式終端機包含: 殼體; 第二無線通訊單元,其設置於前述殼體內,並經組態以自第一無線通訊單元接收量測資料;及 顯示單元,其設置於前述殼體的頂表面處,並經組態以顯示提供自前述感測器模組的量測資料。
  14. 如請求項13所述之可攜式位準量測設備,其中前述可攜式終端機進一步包含主電池單元,前述主電池單元經組態以供應電源至前述感測器模組及前述殼體內的各個組件。
  15. 如請求項13所述之可攜式位準量測設備,其中前述可攜式終端機進一步包含: 類比水平儀,其設置於前述殼體的前述頂表面處;及 表面板,其設置於前述殼體的前述頂表面處,並具有安裝用於檢查前述感測器單元的異常的感測器模組。
  16. 如請求項15所述之可攜式位準量測設備,其中前述可攜式終端機進一步包括用於調整前述表面板的水平度的調整構件。
  17. 如請求項16所述之可攜式位準量測設備,其中前述調整構件進一步包含安裝於前述表面板的邊緣處的多個高度調整螺栓。
  18. 一種可攜式位準量測設備,其具有無線連接至可攜式終端機的位準感測器模組,前述位準感測器模組包含: 感測器單元,其經組態以量測傾斜; 第一無線通訊單元,其經組態以發送前述感測器單元的量測資料; 電池單元,其經組態以供應電源至前述感測器單元及前述第一無線通訊單元; 充電單元,其經組態以提供有來自前述可攜式終端機的充電電力,以對前述電池單元進行充電;及 控制單元,其經組態以控制前述第一無線通訊單元,以識別藉由前述充電單元與前述可攜式終端機的充電端子的分離而停止前述充電電力之供應的狀態,並與前述可攜式終端機進行無線配對,且 其中前述可攜式終端機包含: 第二無線通訊單元,其設置於殼體內,並經組態以自前述第一無線通訊單元接收量測資料; 顯示單元,其設置於前述殼體的頂表面處,並經組態以顯示提供自前述位準感測器模組的量測資料;及 檢查單元,其經組態以檢查前述感測器單元的異常。
  19. 如請求項18所述之可攜式位準量測設備,其中前述檢查單元包含: 類比水平儀,其設置於前述殼體的前述頂表面處; 表面板,其設置於前述殼體的前述頂表面處,並具有安裝用於檢查前述感測器單元的異常的感測器模組;及 調整構件,其用於經由前述類比水平儀檢查前述表面板的水平度,並用於在檢查前述感測器單元的前述異常之前調整前述表面板的前述水平度。
  20. 如請求項18所述之可攜式位準量測設備,其中前述位準感測器模組進一步包含用於儲存在前述感測器單元處量測的量測值的記憶體,且 其中在與前述可攜式終端機配對之後,前述控制單元控制前述第一無線通訊單元,從而將在前述感測器單元處量測的前述量測值發送至前述可攜式終端機,並在與前述可攜式終端機的無線通訊不工作時,控制前述記憶體單元,從而將在前述感測單元處量測的前述量測值儲存於前述記憶體單元處。
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