TW202309514A - 光學檢測系統以及用於預定目標物的對位方法 - Google Patents

光學檢測系統以及用於預定目標物的對位方法 Download PDF

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Abstract

本發明提供一種光學檢測系統以及用於預定目標物的對位方法。光學檢測系統包括一晶圓載台、一光學檢測模組、一視覺辨識模組以及一控制模組。晶圓載台包括一夾具，以用於承載多個待測物。光學檢測模組包括一光學探針裝置，光學探針裝置被配置在夾具的上方，以用於對待測物進行光學檢測。視覺辨識模組包括一影像擷取裝置以及一影像顯示裝置，影像擷取裝置被配置以用於即時擷取待測物的一即時影像，並且影像顯示裝置被配置以用於即時顯示待測物的即時影像。控制模組被配置以用於執行一種用於預定目標物的對位方法。

Description

光學檢測系統以及用於預定目標物的對位方法
本發明涉及一種探針系統以及對位方法，特別是涉及一種光學檢測系統以及用於預定目標物的對位方法。
在先前技術中，可以利用一光學探針裝置以對一光學元件（例如LED或者micro LED）的功能或者效能進行光學檢測。
光學探測裝置可用於探測、光學探測、測試及／或光學測試光學元件的功能、操作及／或性能（以下稱為“光學檢測”）。當光學探針裝置要對光學元件（亦即目標待測物）進行光學檢測時，必須先將光學探針裝置所提供的一光纖的一光纖末端部（例如光纖尖端部）移動到光學元件的上方位置，以使得光學探針裝置所提供的光纖的光纖末端部可以對準（或者對位）於光學元件。這可以包括引導入射到光學元件上的一或多個光學測試信號(optical test signal)及／或從光學元件接收一或多個光學合成信號(optical resultant signal)。更進一步來說，光學探針裝置所提供的一或多個光學測試信號可以從光纖的光纖末端部投射到光學元件上，或者是光學探針裝置所提供的光纖的光纖末端部可以用於接收從光學元件所產生的一或多個光學合成信號，以便於對光學元件的功能或者效能進行光學檢測。
在實際進行光學檢測的操作上，另外需要使用一半導體檢測設備所提供的一影像擷取裝置，以預先取得位於半導體檢測設備上的光學元件的即時影像以及光學探針裝置的即時影像，並且還需要配合使用半導體檢測設備所提供的一影像顯示裝置，以即時顯示光學元件以及光學探針裝置兩者的即時影像。
此外，為了滿足可以同時檢測多個光學元件的需求，光學探針裝置可以提供包括有多個光纖（亦即光纖芯）的一光纖陣列（亦即多通道光纖陣列）以及一外部殼體。其中，每一光纖具有被外部殼體所包圍的一光纖末端部（只有光纖末端部的末端面裸露在外部殼體之外），並且多個光纖可以分別透過外部殼體的多個V形槽來進行定位。
如圖1所示，對於採用光纖陣列的光學探針裝置20a而言，光學探針裝置20a的每一個光纖200a的光纖末端部2000a的四周會被外部殼體201a所包圍。此外，光纖200a的光纖末端部2000a被設置為朝向光學元件C（例如LED或者micro LED），並且光纖陣列被配置為相對於水平面呈一角度設計（例如，光纖陣列可以傾斜或者完全垂直於水平面）。因此，當影像擷取裝置31a移動到光學元件C（例如LED或者micro LED）的上方以沿著一垂直方向擷取光學元件C的即時影像時，每一個光纖200a的光纖末端部2000a在垂直方向上的視線會被外部殼體201a所擋住，所以使用者無法透過影像顯示裝置（圖未示）觀看到每一個光纖200a的光纖末端部2000a與光學元件C兩者之間的位置關係，導致光纖200a的光纖末端部2000a與光學元件C無法在垂直方向上進行對準。
當使用具有光纖陣列的光學探針裝置對光學元件（例如LED或者micro LED）進行光檢測時，每一個光纖的光纖末端部在垂直方向上的視線會被外部殼體所擋住，所以使用者無法透過影像顯示裝置觀看到每一個光纖的光纖末端部與光學元件兩者之間的位置關係，導致光纖的光纖末端部與光學元件無法在垂直方向上進行對準作業。
為了解決上述的問題，本發明所採用的其中一技術方案是提供一種用於預定目標物的對位方法，其包括：首先，提供一光學探針裝置，其中光學探針裝置包括多個光纖，每一光纖具有用於接收或者輸出一或多個光學訊號的一光纖末端部；接著，提供一實體距離參數，其中實體距離參數為選定的其中一光纖末端部以及由光學探針裝置所提供的一選定的可見參考點兩者之間在一平面上的一平面距離；然後，透過一影像擷取裝置擷取預定目標物，以使得預定目標物的一目標物即時影像即時顯示在一影像顯示裝置上；接下來，在影像顯示裝置上，標記預定目標物的目標物即時影像，以取得對位於目標物即時影像的一目標物對位參考點；接著，將對位於目標物即時影像的目標物對位參考點轉換成一平面座標參數；然後，依據實體距離參數以及平面座標參數，以取得用於提供一虛擬對位點的一虛擬對位座標參數，其中目標物對位參考點相距虛擬對位點的距離等於選定的光纖末端部相距選定的可見參考點的距離；接下來，調整光學探針裝置與預定目標物兩者之間的一相對距離，直到選定的可見參考點與虛擬對位點在影像顯示裝置上相互重合，藉此以使得選定的光纖末端部在一垂直方向上對位於預定目標物。
在本發明的其中一技術方案所提供的一種用於預定目標物的對位方法中，先在一光學探針裝置上預先選擇其中一光纖末端部（亦即選定的光纖末端部，例如光纖尖端部）以及一可見參考點（亦即由光學探針裝置所提供的一選定的可見參考點），以取得選定的光纖末端部以及選定的可見參考點兩者之間的“一實體距離參數”（亦即定義光學探針裝置的步驟）。接著，在影像顯示裝置上，標記預定目標物的目標物即時影像，以取得對位於目標物即時影像的一目標物對位參考點，並且取得由目標物對位參考點轉換而來的“一平面座標參數”（亦即定義預定目標物的步驟）。然後，再依據實體距離參數以及平面座標參數，以取得對應於選定的可見參考點的一虛擬對位點（例如以虛擬對位點為基礎而生成一虛擬對位圖像），可以提供給使用者或者操作者參考（亦即定義虛擬對位點的步驟）。最後，使用者可以在影像顯示裝置上同時觀看到選定的可見參考點以及虛擬對位點的情況下，調整光學探針裝置與預定目標物兩者之間的一相對距離，直到選定的可見參考點與虛擬對位點在影像顯示裝置上相互重合（此時，選定的光纖末端部在一垂直方向上就會正確地對位於預定目標物）。
藉此，即使在光纖末端部被遮擋而無法識別顯示在影像顯示裝置上的光纖末端部與預定目標物兩者之間的相對位置關係的情況下，使用者仍然可以在影像顯示裝置上方便且快速地觀看選定的可見參考點以及虛擬對位點兩者之間的相對位置關係，以將選定的可見參考點以及虛擬對位點在影像顯示裝置上進行相互重合，進而使得選定的光纖末端部可以在一垂直方向上，方便且快速地對位（或對準）於預定目標物（亦即需要透過光學檢測以進行光學檢測或者測試的光學元件）。
為了解決上述的問題，本發明所採用的另外一技術方案是提供一種光學檢測系統，其包括：一晶圓載台(chuck stage)、一光學檢測模組、一視覺辨識模組以及一控制模組。晶圓載台包括一夾具(chuck)，以用於承載多個待測物。光學檢測模組包括一光學探針裝置，光學探針裝置被配置在夾具的上方，以用於對待測物進行光學檢測。視覺辨識模組包括一影像擷取裝置以及一影像顯示裝置，影像擷取裝置被配置以用於即時擷取待測物的一即時影像，並且影像顯示裝置被配置以用於即時顯示待測物的即時影像。控制模組被配置以電性連接於夾具、光學探針裝置、影像擷取裝置以及影像顯示裝置，以用於對夾具、光學探針裝置、影像擷取裝置以及影像顯示裝置進行操控。控制模組可以被配置以用於執行一種用於預定目標物的對位方法。用於預定目標物的對位方法包括：首先，提供一光學探針裝置，其中光學探針裝置包括多個光纖，每一光纖具有用於接收或者輸出一或多個光學訊號的一光纖末端部；接著，提供一實體距離參數，其中實體距離參數為選定的其中一光纖末端部以及由光學探針裝置所提供的一選定的可見參考點兩者之間在一平面上的一平面距離；然後，透過一影像擷取裝置擷取預定目標物，以使得預定目標物的一目標物即時影像即時顯示在一影像顯示裝置上；接下來，在影像顯示裝置上，標記預定目標物的目標物即時影像，以取得對位於目標物即時影像的一目標物對位參考點；接著，將對位於目標物即時影像的目標物對位參考點轉換成一平面座標參數；然後，依據實體距離參數以及平面座標參數，以取得用於提供一虛擬對位點的一虛擬對位座標參數，其中目標物對位參考點相距虛擬對位點的距離等於選定的光纖末端部相距選定的可見參考點的距離；接下來，調整光學探針裝置與預定目標物兩者之間的一相對距離，直到選定的可見參考點與虛擬對位點在影像顯示裝置上相互重合，藉此以使得選定的光纖末端部在一垂直方向上對位於預定目標物。
在本發明的另外一技術方案所提供的一種光學檢測系統中，光學檢測系統可以應用於執行一種用於預定目標物的對位方法。關於用於預定目標物的對位方法，先在一光學探針裝置上預先選擇其中一光纖末端部（選定的光纖末端部）以及一可見參考點（亦即由光學探針裝置所提供的一選定的可見參考點），以取得選定的光纖末端部以及選定的可見參考點兩者之間的“一實體距離參數”（亦即定義光學探針裝置的步驟）。接著，在影像顯示裝置上，標記預定目標物的目標物即時影像，以取得對位於目標物即時影像的一目標物對位參考點，並且取得由目標物對位參考點轉換而來的“一平面座標參數”（亦即定義預定目標物的步驟）。然後，再依據實體距離參數以及平面座標參數，以取得對應於選定的可見參考點的一虛擬對位點（例如以虛擬對位點為基礎而生成一虛擬對位圖像），可以提供給使用者或者操作者參考（亦即定義虛擬對位點的步驟）。最後，使用者可以在影像顯示裝置上同時觀看到選定的可見參考點以及虛擬對位點的情況下，調整光學探針裝置與預定目標物兩者之間的一相對距離，直到選定的可見參考點與虛擬對位點在影像顯示裝置上相互重合（此時，選定的光纖末端部在一垂直方向上就會正確地對位於預定目標物）。
藉此，即使在光纖末端部被遮擋而無法識別顯示在影像顯示裝置上的光纖末端部與預定目標物兩者之間的相對位置關係的情況下，使用者仍然可以在影像顯示裝置上方便且快速地觀看選定的可見參考點以及虛擬對位點兩者之間的相對位置關係，以將選定的可見參考點以及虛擬對位點在影像顯示裝置上進行相互重合，進而使得選定的光纖末端部可以在一垂直方向上，方便且快速地對位（或對準）於預定目標物（亦即需要透過光學檢測以進行光學檢測或者測試的光學元件）。
為了解決上述的問題，本發明所採用的另外再一技術方案是提供一種光學檢測系統，其包括：一晶圓載台、一光學檢測模組、一視覺辨識模組以及一控制模組。晶圓載台包括一夾具，以用於承載多個待測物。光學檢測模組包括設置在夾具的上方的一光學探針裝置，以用於待測物進行光學檢測。視覺辨識模組包括設置在夾具的上方的一影像擷取裝置以及電性連接於影像擷取裝置的一影像顯示裝置，影像擷取裝置被配置以用於即時擷取待測物的一即時影像，並且影像顯示裝置被配置以用於即時顯示待測物的即時影像。控制模組被配置以電性連接於夾具、光學探針裝置、影像擷取裝置以及影像顯示裝置，以用於對夾具、光學探針裝置、影像擷取裝置以及影像顯示裝置進行操控。其中，光學探針裝置包括多個光纖以及用於承載多個光纖的一外部殼體，並且每一光纖具有用於接收或者輸出一或多個光學訊號的一光纖末端部。其中，光學探針裝置的外部殼體具有用於對應於選定的光纖末端部的一選定的可見參考點，並且外部殼體的選定的可見參考點被配置以用於提供給影像擷取裝置進行辨識。其中，從光學探針裝置的外部殼體上所選擇到的選定的可見參考點被配置，以用於判斷選定的光纖末端部相距於其中一待測物的一平面距離。
在本發明的另外再一技術方案所提供的一種光學檢測系統中，由於所選定的可見參考點設置在光學探針裝置的外部殼體上，所以所選定的可見參考點可以被配置以用於提供給影像擷取裝置進行辨識（也就是說，使用者可以透過影像擷取裝置以觀看所選定的可見參考點）。再者，由於光學探針裝置的外部殼體所提供的選定的可見參考點可以對應於選定的光纖末端部，所以使用者可以透過所選定的可見參考點，以得到選定的光纖末端部相對於所選定的可見參考點的位置以及用於判斷選定的光纖末端部相距於其中一待測物的一平面距離。舉例來說，本發明的另外再一技術方案所提供的一種光學檢測系統可以應用於執行一種用於預定目標物的對位方法。關於用於預定目標物的對位方法，先在一光學探針裝置上預先選擇其中一光纖末端部（選定的光纖末端部）以及一可見參考點（亦即由光學探針裝置所提供的一選定的可見參考點），以取得選定的光纖末端部以及選定的可見參考點兩者之間的“一實體距離參數”（亦即定義光學探針裝置的步驟）。接著，在影像顯示裝置上，標記預定目標物的目標物即時影像，以取得對位於目標物即時影像的一目標物對位參考點，並且取得由目標物對位參考點轉換而來的“一平面座標參數”（亦即定義預定目標物的步驟）。然後，再依據實體距離參數以及平面座標參數，以取得對應於選定的可見參考點的一虛擬對位點（例如以虛擬對位點為基礎而生成一虛擬對位圖像），可以提供給使用者或者操作者參考（亦即定義虛擬對位點的步驟）。最後，使用者可以在影像顯示裝置上同時觀看到選定的可見參考點以及虛擬對位點的情況下，調整光學探針裝置與預定目標物兩者之間的一相對距離，直到選定的可見參考點與虛擬對位點在影像顯示裝置上相互重合（此時，選定的光纖末端部在一垂直方向上就會正確地對位於預定目標物）。
藉此，即使在光纖末端部被遮擋而無法識別顯示在影像顯示裝置上的光纖末端部與預定目標物兩者之間的相對位置關係的情況下，使用者仍然可以在影像顯示裝置上方便且快速地觀看選定的可見參考點以及虛擬對位點兩者之間的相對位置關係，以將選定的可見參考點以及虛擬對位點在影像顯示裝置上進行相互重合，進而使得選定的光纖末端部可以在一垂直方向上，方便且快速地對位（或對準）於預定目標物（亦即需要透過光學檢測以進行光學檢測或者測試的光學元件）。
在其中一可行的或者較佳的實施例中，光學探針裝置的多個光纖依序排列而形成一光纖陣列，以用於同時檢測多個待測物，並且多個待測物的其中之一為預定目標物。其中，光學探針裝置包括用於承載多個光纖末端部的一外部殼體，並且選定的可見參考點位於外部殼體的其中一角落或者外部殼體的其中一固定標記物上。其中，在多個光纖末端部之中，選定的光纖末端部最接近選定的可見參考點，以使得選定的光纖末端部相距於選定的可見參考點的平面距離為光纖末端部與選定的可見參考點之間的一最短平面距離。其中，實體距離參數包括X1值以及Y1值，X1值為選定的光纖末端部與選定的可見參考點兩者在平面所提供的一X軸方向上的間距，並且Y1值為選定的光纖末端部與選定的可見參考點兩者在平面所提供的一Y軸方向上的間距。其中，提供實體距離參數的步驟進一步包括：在一使用者介面中，輸入X1值以及Y1值或者輸入光學探針裝置的一型號資訊，並且光學探針裝置的型號資訊包括X1值以及Y1值。
在上述可行的或者較佳的實施例中，由於選定的可見參考點可以位於“外部殼體的其中一角落（例如位於外部殼體頂端上的90度轉角處）”或者“外部殼體的其中一固定標記物（例如位於外部殼體頂端上的標記物）”上，所以使用者可以輕易透過影像顯示裝置而觀看到選定的可見參考點。再者，由於選定的光纖末端部會是所有的光纖末端部之中最接近選定的可見參考點（亦即在選定的光纖末端部與選定的可見參考點之間具有一最短平面距離），所以使用者可以在影像顯示裝置上快速辦識出或者尋找到選定的光纖末端部以及選定的可見參考點兩者的相對位置關係。此外，在一使用者介面中，由於使用者可以選擇性輸入X1值以及Y1值或者輸入包括有X1值以及Y1值的一型號資訊，所以在提供實體距離參數的步驟中，本發明能夠提供給使用者更多的輸入選擇。
在其中一可行的或者較佳的實施例中，在影像顯示裝置上標記預定目標物的目標物即時影像的步驟中，目標物即時影像是透過一輸入裝置控制一可移動標記物而進行標記。其中，在取得虛擬對位座標參數的步驟中，虛擬對位座標參數是透過一控制模組對實體距離參數以及平面座標參數進行計算而取得，並且虛擬對位點可選擇性地顯示或者不顯示在影像顯示裝置上。其中，實體距離參數包括位於平面所提供的XY坐標系上的X1值以及Y1值，X1值為選定的光纖末端部與選定的可見參考點兩者在平面所提供的XY坐標系的X軸方向上的間距，並且Y1值為選定的光纖末端部與選定的可見參考點兩者在平面所提供的XY坐標系的Y軸方向上的間距。其中，平面座標參數包括位於影像顯示裝置所提供的XY坐標系上的X2值以及Y2值，X2值為目標物對位參考點相距於影像顯示裝置所提供的XY坐標系的Y軸的距離，並且Y2值為目標物對位參考點相距於影像顯示裝置所提供的XY坐標系的X軸的距離。其中，虛擬對位座標參數包括由X1值與X2值加總後所得到的X3值以及由Y1值與Y2值加總後所得到的Y3值，X3值以及Y3值位於影像顯示裝置所提供的XY坐標系上，X3值為虛擬對位點相距於影像顯示裝置所提供的XY坐標系的Y軸的距離，並且Y3值為虛擬對位點相距於影像顯示裝置所提供的XY坐標系的X軸的距離。
在上述可行的或者較佳的實施例中，由於目標物即時影像可以透過一輸入裝置（例如外接式的滑鼠或者影像顯示裝置32的觸控模組）控制一可移動標記物（例如顯示在影像顯示裝置上的游標）而進行標記，所以在影像顯示裝置上標記預定目標物的目標物即時影像的步驟中，本發明可以提供給使用者更多的輸入選擇。再者，由於虛擬對位點可以顯示在影像顯示裝置上，所以使用者可以依據顯示在影像顯示裝置上的虛擬對位點，以手動方式調整光學探針裝置與預定目標物兩者之間的相對距離（或者，當顯示在影像顯示裝置上的虛擬對位點無法被使用者識別而只能被控制模組識別時，本發明可以依據不顯示在影像顯示裝置上的虛擬對位點，以自動方式調整光學探針裝置與預定目標物兩者之間的相對距離），直到選定的可見參考點與虛擬對位點在影像顯示裝置上相互重合。此外，由於實體距離參數可以透過一平面所提供的XY坐標系而提供X1值以及Y1值（亦即在平面所提供的XY坐標系上，將選定的光纖末端部以及選定的可見參考點兩者之間的一平面距離以X1值以及Y1值的方式呈現），並且平面座標參數可以透過影像顯示裝置所提供的XY坐標系而提供X2值以及Y2值（亦即在影像顯示裝置所提供的XY坐標系上，將目標物對位參考點相對於XY坐標系的原點(0, 0)的距離以X2值以及Y2值的方式呈現），所以由X1值與X2值加總後所得到的X3值以及由Y1值與Y2值加總後所得到的Y3值就可以在影像顯示裝置所提供的XY坐標系上呈現，藉此以使得虛擬對位座標參數可以透過影像顯示裝置所提供的XY坐標系而提供X3值以及Y3值（亦即在影像顯示裝置所提供的XY坐標系上，將虛擬對位點相對於XY坐標系的原點(0, 0)的距離以X3值以及Y3值的方式呈現）。
在其中一可行的或者較佳的實施例中，在取得虛擬對位座標參數的步驟後，對位方法進一步包括：依據目標物對位參考點以及虛擬對位座標參數，以產生顯示在影像顯示裝置上的一虛擬對位圖像。其中，在調整光學探針裝置與預定目標物兩者之間的相對距離的步驟中，對位方法進一步包括：透過影像擷取裝置擷取光學探針裝置的一外部殼體，以使得外部殼體的一外部殼體即時影像即時顯示在影像顯示裝置上；以及，以手動方式調整外部殼體與預定目標物兩者之間的相對距離，直到外部殼體即時影像與虛擬對位圖像在影像顯示裝置上相互重合。其中，外部殼體即時影像的至少一輪廓線與虛擬對位圖像的至少一輪廓線相互對應；其中，在調整光學探針裝置與預定目標物兩者之間的相對距離的步驟中，對位方法進一步包括：當外部殼體即時影像的至少一輪廓線偏離虛擬對位圖像的至少一輪廓線時，以手動方式將光學探針裝置的外部殼體相對於影像顯示裝置所提供的XYZ坐標系的Z軸進行旋轉，直到外部殼體即時影像的至少一輪廓線與虛擬對位圖像的至少一輪廓線相互重合或者相互平行。其中，光學探針裝置包括用於承載多個光纖末端部的一外部殼體，並且虛擬對位圖像的一外輪廓與外部殼體的一外輪廓兩者完全相同或者部分相同。其中，顯示在影像顯示裝置上的虛擬對位圖像是半透明的，以允許在影像顯示裝置上觀看外部殼體即時影像。其中，在影像顯示裝置上所呈現的虛擬對位圖像、目標物即時影像以及外部殼體即時影像之間在一Z軸方向上的重疊關係中，虛擬對位圖像位於最上層，目標物即時影像位於最下層，外部殼體即時影像位於虛擬對位圖像以及目標物即時影像之間。
在上述可行的或者較佳的實施例中，由於虛擬對位圖像可以相對於虛擬對位點而生成在影像顯示裝置上，所以使用者可以依據顯示在影像顯示裝置上的虛擬對位圖像，以“手動方式”在X軸方向與Y軸方向上調整外部殼體與預定目標物兩者之間的相對距離（亦即在影像顯示裝置上移動外部殼體的外部殼體即時影像相對於虛擬對位圖像的位置）或者相對於Z軸旋轉光學探針裝置的外部殼體（亦即在影像顯示裝置上旋轉外部殼體的外部殼體即時影像相對於虛擬對位圖像的角度），直到外部殼體即時影像與虛擬對位圖像在影像顯示裝置上完全相互重合，藉此以使得選定的光纖末端部在一垂直方向上可以正確地對位於預定目標物。再者，由於虛擬對位圖像的一外輪廓（例如方形或者L形）與外部殼體的一外輪廓（例如方形或者L形）兩者可以完全相同或者部分相同，所以本發明在虛擬對位圖像的選擇上可以提供給使用者客制化的需求。此外，由於顯示在影像顯示裝置上的虛擬對位圖像可以是半透明的，所以當虛擬對位圖像在Z軸方向上的重疊關係中位於最上層時，外部殼體即時影像不會完全被虛擬對位圖像所遮避，以使得使用者仍然可以透過影像顯示裝置以觀看到外部殼體即時影像。
在其中一可行的或者較佳的實施例中，在取得虛擬對位座標參數的步驟後，對位方法進一步包括：依據目標物對位參考點以及虛擬對位座標參數，以產生不顯示在影像顯示裝置上的一虛擬對位圖像。其中，在調整光學探針裝置與預定目標物兩者之間的相對距離的步驟中，對位方法進一步包括：透過影像擷取裝置擷取光學探針裝置的一外部殼體，以使得外部殼體的一外部殼體即時影像即時顯示在影像顯示裝置上；以及，以自動方式調整外部殼體與預定目標物兩者之間的相對距離，直到外部殼體即時影像與虛擬對位圖像相互重合。其中，外部殼體即時影像的至少一輪廓線對應於不顯示在影像顯示裝置上的虛擬對位圖像的至少一輪廓線。另外，在調整光學探針裝置與預定目標物兩者之間的相對距離的步驟中，對位方法進一步包括：當外部殼體即時影像的至少一輪廓線偏離虛擬對位圖像的至少一輪廓線時，以自動方式將光學探針裝置的外部殼體相對於影像顯示裝置所提供的XYZ坐標系的Z軸進行旋轉，直到外部殼體即時影像的至少一輪廓線與虛擬對位圖像的至少一輪廓線相互重合或者相互平行。
在上述可行的或者較佳的實施例中，由於虛擬對位圖像不會相對於虛擬對位點而生成在影像顯示裝置上，所以光學檢測系統的控制模組可以依據不會顯示在影像顯示裝置上的虛擬對位圖像，以“自動方式”在X軸方向與Y軸方向上調整外部殼體與預定目標物兩者之間的相對距離（亦即在影像顯示裝置上移動外部殼體的外部殼體即時影像相對於虛擬對位圖像的位置）或者以“自動方式”相對於Z軸旋轉光學探針裝置的外部殼體（亦即在影像顯示裝置上旋轉外部殼體的外部殼體即時影像相對於虛擬對位圖像的角度），直到外部殼體即時影像與虛擬對位圖像在影像顯示裝置上完全相互重合，藉此以使得選定的光纖末端部在一垂直方向上可以自動地且正確地對位於預定目標物，如此將可以有效節省使用者需要手動調整光學探針裝置的時間。
在其中一可行的或者較佳的實施例中，本發明所提供的用於預定目標物的對位方法，進一步包括：首先，移動預定目標物或者影像擷取裝置，以取得預定目標物沿著一預定方向所移動的一實際移動距離；接著，依據預定目標物沿著預定方向所移動的實際移動距離，以取得在影像顯示裝置上所顯示的預定目標物的目標物即時影像沿著預定方向所移動的一影像畫素距離；然後，依據目標物即時影像所移動的影像畫素距離以及預定目標物所移動的實際移動距離，以取得影像畫素距離對實際移動距離的一轉換比例。其中，當預定目標物或者影像擷取裝置被移動而使得預定目標物沿著一偏移方向偏移一實際偏離距離時，顯示在影像顯示裝置上的一虛擬對位圖像依據轉換比例而自動沿著偏移方向位移一偏移畫素距離，以使得顯示在影像顯示裝置上的虛擬對位圖像與目標物即時影像維持相互重合的狀態。
在上述可行的或者較佳的實施例中，依據目標物即時影像所移動的影像畫素距離以及預定目標物所移動的實際移動距離，可以取得影像畫素距離對實際移動距離的一轉換比例。因此，當預定目標物或者影像擷取裝置意外移動一實際偏離距離時（例如使用者不小心觸碰到用於承載預定目標物的一夾具或者接觸到影像擷取裝置時），顯示在影像顯示裝置上的虛擬對位圖像可以依據轉換比例而自動沿著偏移方向位移一偏移畫素距離，從而使得顯示在影像顯示裝置上的虛擬對位圖像與外部殼體即時影像能夠維持相互重合的狀態，而不會受到使用者不小心觸碰到預定目標物或者影像擷取裝置所造成的影響。
在其中一可行的或者較佳的實施例中，每一光纖具有用於接收或者輸出一或多個光學訊號的一光纖末端部。其中，光學探針裝置的多個光纖依序排列而形成一光纖陣列，以用於同時檢測多個待測物。其中，光學探針裝置包括用於承載多個光纖末端部的一外部殼體，並且光學探針裝置所提供的一選定的可見參考點位於外部殼體的其中一角落或者其中一固定標記物上。其中，在多個光纖末端部之中，其中一選定的光纖末端部最接近選定的可見參考點，以使得選定的光纖末端部相距於選定的可見參考點的一平面距離為光纖末端部與選定的可見參考點之間的一最短平面距離。
在上述可行的或者較佳的實施例中，由於選定的可見參考點可以位於“外部殼體的其中一角落（例如位於外部殼體頂端上的90度轉角處）”或者“外部殼體的其中一固定標記物（例如位於外部殼體頂端上的標記物）”上，所以使用者可以輕易透過影像顯示裝置而觀看到選定的可見參考點。再者，由於選定的光纖末端部會是所有的光纖末端部之中最接近選定的可見參考點（亦即在選定的光纖末端部與選定的可見參考點之間具有一最短平面距離），所以使用者可以在影像顯示裝置上快速辦識出或者尋找到選定的光纖末端部以及選定的可見參考點兩者的相對位置關係。
在其中一可行的或者較佳的實施例中，光學探針裝置的多個光纖依序排列而形成一光纖陣列，以用於同時檢測多個待測物。其中，選定的可見參考點位於外部殼體的其中一角落或者其中一固定標記物上。其中，在多個光纖末端部之中，選定的光纖末端部最接近選定的可見參考點，以使得選定的光纖末端部相距於選定的可見參考點的平面距離為光纖末端部與選定的可見參考點之間的一最短平面距離。
在上述可行的或者較佳的實施例中，由於選定的可見參考點可以位於“外部殼體的其中一角落（例如位於外部殼體頂端上的90度轉角處）”或者“外部殼體的其中一固定標記物（例如位於外部殼體頂端上的標記物）”上，所以使用者可以輕易透過影像顯示裝置而觀看到選定的可見參考點。再者，由於選定的光纖末端部會是所有的光纖末端部之中最接近選定的可見參考點（亦即在選定的光纖末端部與選定的可見參考點之間具有一最短平面距離），所以使用者可以在影像顯示裝置上快速辦識出或者尋找到選定的光纖末端部以及選定的可見參考點兩者的相對位置關係。
為使能進一步瞭解本發明的特徵及技術內容，請參閱以下有關本發明的詳細說明與圖式，然而所提供的圖式僅用於提供參考與說明，並非用來對本發明加以限制。
以下是通過特定的具體實施例來說明本發明所公開有關“光學檢測系統以及用於預定目標物的對位方法”的實施方式，本領域技術人員可由本說明書所公開的內容瞭解本發明的優點與效果。本發明可通過其他不同的具體實施例加以實行或應用，本說明書中的各項細節也可基於不同觀點與應用，在不背離本發明的構思下進行各種修改與變更。另外，需事先聲明的是，本發明的圖式僅為簡單示意說明，並非依實際尺寸的描繪。以下的實施方式將進一步詳細說明本發明的相關技術內容，但所公開的內容並非用以限制本發明的保護範圍。另外，本文中所使用的術語“或”，應視實際情況可能包括相關聯的列出項目中的任一個或者多個的組合。
[第一實施例]
參閱圖2至圖11，本發明第一實施例提供一種光學檢測系統S以及一種透過光學檢測系統S以執行用於預定目標物T的對位方法，並且光學檢測系統S包括一晶圓載台1(chuck stage)、一光學檢測模組2、一視覺辨識模組3(vision inspection module)以及一控制模組4。
更進一步來說，配合圖2與圖3所示，晶圓載台1包括一夾具10(chuck)，以用於承載多個待測物（例如，用於承載多個光學元件的一晶圓，多個光學元件的示例可以是多個矽光子光學器件，例如LED、micro LED或者任何可以被夾具10所夾持或者吸住的電子晶片）。再者，光學檢測模組2包括一光學探針裝置20，並且光學探針裝置20被配置在夾具10的上方，以用於對待測物進行光學檢測。舉例來說，光學探針裝置20包括多個光纖200（圖2只顯示連接於一雷射產生器的其中一光纖200）以及用於承載多個光纖200的一外部殼體201，並且每一光纖200具有用於接收或者輸出一或多個光學訊號的一光纖末端部2000（例如光纖尖端部）。更進一步來說，光學檢測模組2可以被配置為執行光學元件的任何合適的光學及／或電學測試。做為示例，上述測試可以包括“向光學元件提供電測試信號(electrical test signal)並從光學器件接收相對應的光學結果信號(optical resultant signal)”、“向光學元件提供光學測試信號(optical test signal)並從光學元件接收相對應的電結果信號(electrical resultant signal)”及／或“向光學元件提供光學測試信號並從光學元件接收相對應的光學結果信號”。然而，上述所舉的例子只是其中一可行的或者較佳的實施例而並非用以限定本發明。
更進一步來說，配合圖2與圖3所示，視覺辨識模組3包括一影像擷取裝置31以及一影像顯示裝置32。影像擷取裝置31可以被配置以用於“即時擷取”待測物的一即時影像，並且影像顯示裝置32可以被配置以用於“即時顯示”待測物的即時影像。舉例來說，影像擷取裝置31可以使用CCD(Charge-coupled Device)影像感測器或者CMOS(Complementary Metal-Oxide-Semiconductor)影像感測器。另外，控制模組4可以被配置以電性連接於夾具10、光學探針裝置20、影像擷取裝置31以及影像顯示裝置32，以用於對夾具10、光學探針裝置20、影像擷取裝置31以及影像顯示裝置32進行操控，並且控制模組4可以被配置以用於執行一種用於預定目標物T（亦即如圖4至圖11所示的待測器件(device under test，DUT)）的對位方法。然而，上述所舉的例子只是其中一可行的或者較佳的實施例而並非用以限定本發明。
值得注意的是，如圖2所示，光學探針裝置20的外部殼體201具有用於對應於選定的光纖末端部2000的一選定的可見參考點SP，並且外部殼體201的選定的可見參考點SP可以被配置以用於提供給影像擷取裝置31由上而下進行辨識。藉此，使用者從光學探針裝置20的外部殼體201上所選擇的“選定的可見參考點SP”可以被配置，以用於判斷選定的光纖末端部2000相距於其中一待測物的一平面距離。也就是說，當選定的光纖末端部2000與選定的可見參考點SP之間的平面距離預先已知時，使用者就可以透過選定的可見參考點SP，以用於判斷選定的光纖末端部2000相距於多個待測物之中的一預定目標物T的一平面距離。
值得注意的是，如圖2所示，由於所選定的可見參考點SP設置在光學探針裝置20的外部殼體201上，所以所選定的可見參考點SP可以被配置以用於提供給影像擷取裝置31進行辨識（也就是說，使用者可以透過影像擷取裝置31與影像顯示裝置32的相互配合，以觀看所選定的可見參考點SP）。再者，由於光學探針裝置20的外部殼體201所提供的選定的可見參考點SP可以對應於選定的光纖末端部2000，所以使用者可以透過所選定的可見參考點SP，以得到“選定的光纖末端部2000相對於所選定的可見參考點SP的位置”以及“用於判斷選定的光纖末端部2000相距於其中一待測物（亦即預定目標物T）的一平面距離”。
以下針對“光學檢測系統S應用於執行一種用於預定目標物T的對位方法”的可行的或者優選的實施例進行詳細說明。
首先，配合圖2、圖4與圖5所示，本發明第一實施例所提供用於預定目標物的對位方法包括：提供一光學探針裝置20，其中光學探針裝置20包括多個光纖200，每一光纖200具有用於接收或者輸出一或多個光學訊號的一光纖末端部2000（步驟S100）。
舉例來說，配合圖2與圖5所示，光學探針裝置20的多個光纖200可以依序排列而形成一光纖陣列（圖5所顯示的是以排列成8×10矩陣的光纖陣列為例子），以用於同時檢測多個待測物，並且多個待測物的其中之一為預定目標物T。再者，光學探針裝置20包括用於承載多個光纖末端部2000的一外部殼體201（例如外部封裝殼體），並且選定的可見參考點SP可以位於外部殼體201的其中一角落（圖5所顯示的是以選定的可見參考點SP位於外部殼體201的右下角落為例子）或者外部殼體201的其中一固定標記物（例如固定標記物可以預先形成在外部殼體201上）上。藉此，由於選定的可見參考點SP可以位於“外部殼體201的其中一角落（例如位於外部殼體201頂端上的90度轉角處）”或者“外部殼體201的其中一固定標記物（例如位於外部殼體201頂端上的標記物）”上，所以使用者可以輕易透過影像顯示裝置32而觀看到影像擷取裝置31由上而下所擷取到的選定的可見參考點SP。然而，上述所舉的例子只是其中一可行的或者較佳的實施例而並非用以限定本發明。
舉例來說，如圖5所示，在多個光纖末端部2000之中，選定的光纖末端部2000（亦即圖5中最右下角的光纖末端部2000）可以最接近選定的可見參考點SP，以使得“選定的光纖末端部2000相距於選定的可見參考點SP的平面距離”可以是“光纖末端部2000與選定的可見參考點SP之間的一最短平面距離”。藉此，由於選定的光纖末端部2000會是所有的光纖末端部2000之中最接近選定的可見參考點SP（亦即在選定的光纖末端部2000與選定的可見參考點SP之間具有一最短平面距離），所以使用者可以在影像顯示裝置32上快速辦識出或者尋找到選定的光纖末端部2000以及選定的可見參考點SP兩者的相對位置關係。然而，上述所舉的例子只是其中一可行的或者較佳的實施例而並非用以限定本發明。
接著，配合圖2、圖4與圖5所示，本發明第一實施例所提供用於預定目標物的對位方法進一步包括：提供一實體距離參數，其中實體距離參數為“選定的其中一光纖末端部2000“以及“由光學探針裝置20所提供的一選定的可見參考點SP”兩者之間在一平面上的一平面距離（步驟S102）。
舉例來說，如圖5所示，實體距離參數包括X1值以及Y1值，X1值為選定的光纖末端部2000與選定的可見參考點SP兩者在平面所提供的一X軸方向上的間距，並且Y1值為選定的光纖末端部2000與選定的可見參考點SP兩者在平面所提供的一Y軸方向上的間距。也就是說，實體距離參數包括位於平面所提供的XY坐標系上的X1值以及Y1值（亦即，包括X1值和Y1值的實際距離參數是定義在XY坐標系上的坐標參數(X1,Y1)）。其中，X1值為選定的光纖末端部2000與選定的可見參考點SP兩者在平面所提供的XY坐標系的X軸方向上的間距，並且Y1值為選定的光纖末端部2000與選定的可見參考點SP兩者在平面所提供的XY坐標系的Y軸方向上的間距。另外，以數值做為舉例說明，如圖5所示，當“選定的可見參考點SP位於外部殼體201的右下角落”且“多個光纖末端部2000之中最右下角的一個被選定（亦即選定的光纖末端部2000）”時，選定的光纖末端部2000可以被定義為原點(0, 0)，而選定的可見參考點SP相對於選定的光纖末端部2000的座標位置可以是XY坐標系的X1值（例如100 μm）以及Y1值（例如-200 μm）。然而，上述所舉的例子只是其中一可行的或者較佳的實施例而並非用以限定本發明。
舉例來說，配合圖2、圖3與圖5所示，提供實體距離參數的步驟S102進一步包括：在一使用者介面中（例如由影像顯示裝置32所提供的數值輸入介面），輸入“X1值以及Y1值”或者輸入“光學探針裝置20的一型號資訊(model information)”，並且光學探針裝置20的型號資訊包括X1值以及Y1值（也就是說，根據預存在光學檢測系統S的控制模組4的內置數據表(built-in datasheet)，光學檢測系統S可以被配置以將型號資訊轉換為X1值和Y1值）。藉此，在一使用者介面中，由於使用者可以選擇性輸入“X1值以及Y1值”或者輸入“包括有X1值以及Y1值的一型號資訊”，所以在提供實體距離參數的步驟S102中，本發明能夠提供給使用者更多的輸入選擇。然而，上述所舉的例子只是其中一可行的或者較佳的實施例而並非用以限定本發明。
然後，配合圖2、圖4與圖6所示，本發明第一實施例所提供用於預定目標物的對位方法進一步包括：透過一影像擷取裝置31由上而下擷取預定目標物T，以使得預定目標物T的一目標物即時影像T100即時顯示在一影像顯示裝置32上（步驟S104）；接下來，在影像顯示裝置32上，標記預定目標物T的目標物即時影像T100，以取得對位於目標物即時影像T100的一目標物對位參考點TP（步驟S106）。
舉例來說，配合圖2與圖6所示，在影像顯示裝置32上標記預定目標物T的目標物即時影像T100的步驟S106中，目標物即時影像T100可以是透過一輸入裝置控制一可移動標記物而進行標記。藉此，由於目標物即時影像T100可以透過一輸入裝置（例如，通過使用例如滑鼠(mouse)等外接式設備，或者通過使用例如由影像顯示裝置32所提供的觸控屏(touch panel screen)等觸控模組）以控制或者移動一可移動標記物（例如顯示在影像顯示裝置32上的游標）而進行標記，所以在影像顯示裝置32上標記預定目標物T的目標物即時影像T100的步驟S106中，本發明可以提供給使用者更多的輸入選擇。或者，在另一個可能或者優選的實施例中，當標記物被固定在影像顯示裝置32上時，使用者可以使用輸入裝置以將目標物即時影像T100相對於固定的標記物進行移動，藉此以在影像顯示裝置32上標記預定目標物T的目標物即時影像T100。然而，上述所舉的例子只是其中一可行的或者較佳的實施例而並非用以限定本發明。
接著，配合圖2、圖4與圖6所示，本發明第一實施例所提供用於預定目標物的對位方法進一步包括：將對位於目標物即時影像T100的目標物對位參考點TP轉換成一平面座標參數（步驟S108）。
舉例來說，配合圖2與圖6所示，平面座標參數包括位於影像顯示裝置32所提供的XY坐標系上的X2值以及Y2值。其中，X2值為目標物對位參考點TP相距於影像顯示裝置32所提供的XY坐標系的Y軸的距離，並且Y2值為目標物對位參考點TP相距於影像顯示裝置32所提供的XY坐標系的X軸的距離。另外，以數值做為舉例說明，如圖6所示，以相對於影像顯示裝置32所提供的XY坐標系的原點(0, 0)來說，目標物對位參考點TP相對於XY坐標系的原點(0, 0)的座標位置可以是XY坐標系的X2值（例如50 μm）以及Y2值（例如-50 μm）。然而，上述所舉的例子只是其中一可行的或者較佳的實施例而並非用以限定本發明。
然後，配合圖3至圖7所示，本發明第一實施例所提供用於預定目標物的對位方法進一步包括：依據實體距離參數以及平面座標參數，以取得用於提供一虛擬對位點VP的一虛擬對位座標參數，其中目標物對位參考點TP相距虛擬對位點VP的距離等於選定的光纖末端部2000相距選定的可見參考點SP的距離（步驟S110）。
舉例來說，配合圖3與圖7所示，在取得虛擬對位座標參數的步驟S110中，虛擬對位座標參數是透過一控制模組4對實體距離參數以及平面座標參數進行計算而取得，並且虛擬對位點VP可選擇性地顯示或者不顯示在影像顯示裝置32上（如圖7所示，虛擬對位點VP可以顯示在影像顯示裝置32上）。然而，上述所舉的例子只是其中一可行的或者較佳的實施例而並非用以限定本發明。
舉例來說，配合圖5、圖6與圖7所示，虛擬對位座標參數包括“由X1值與X2值加總後”所得到的X3值以及“由Y1值與Y2值加總後”所得到的Y3值。其中，X3值以及Y3值位於影像顯示裝置32所提供的XY坐標系上，X3值為虛擬對位點VP相距於影像顯示裝置32所提供的XY坐標系的Y軸的距離，並且Y3值為虛擬對位點VP相距於影像顯示裝置32所提供的XY坐標系的X軸的距離。另外，以數值做為舉例說明，圖7所顯示的X3值為X1值（亦即100 μm）與X2值（亦即50 μm）加總後所得到的150 μm，並且圖7所顯示的Y3值為Y1值（亦即-200 μm）與Y2值（亦即-50 μm）加總後所得到的-250 μm。也就是說，如圖7所示，以相對於影像顯示裝置32所提供的XY坐標系的原點(0, 0)來說，虛擬對位點VP相對於XY坐標系的原點(0, 0)的座標位置可以是XY坐標系的X3值（例如150 μm）以及Y3值（例如-250 μm）。值得注意的是，配合圖5與圖7所示，目標物對位參考點TP相距虛擬對位點VP的距離（亦即，在圖7所示的XY坐標系中，“X3值減去X2值所得到的X坐標值”以及“Y3值減去Y2值所得到的X坐標值”）實質上會等於選定的光纖末端部2000相距選定的可見參考點SP的距離（亦即，如圖5所示的XY坐標系的X1值以及Y1值）。然而，上述所舉的例子只是其中一可行的或者較佳的實施例而並非用以限定本發明。
藉此，配合圖5、圖6與圖7所示，由於實體距離參數可以透過一平面所提供的XY坐標系而提供X1值以及Y1值（亦即如圖5所示，在平面所提供的XY坐標系上，將選定的光纖末端部2000以及選定的可見參考點SP兩者之間的一平面距離以X1值以及Y1值的方式呈現），並且平面座標參數可以透過影像顯示裝置32所提供的XY坐標系而提供X2值以及Y2值（亦即如圖6所示，在影像顯示裝置32所提供的XY坐標系上，將目標物對位參考點TP相對於XY坐標系的原點(0, 0)的距離以X2值以及Y2值的方式呈現），所以“由X1值與X2值加總後”所得到的X3值以及“由Y1值與Y2值加總後”所得到的Y3值就可以在影像顯示裝置32所提供的XY坐標系上呈現。因此，所以虛擬對位座標參數可以透過影像顯示裝置32所提供的XY坐標系而提供X3值以及Y3值（亦即如圖7所示，在影像顯示裝置32所提供的XY坐標系上，將虛擬對位點VP相對於XY坐標系的原點(0, 0)的距離以X3值以及Y3值的方式呈現）。
接下來，配合圖4、圖5、圖7與圖8所示，本發明第一實施例所提供用於預定目標物的對位方法進一步包括：依據目標物對位參考點TP以及虛擬對位座標參數（亦即用於提供X3值與Y3值的虛擬對位點VP），以產生顯示在影像顯示裝置32上的一虛擬對位圖像VM（步驟S112）。
舉例來說，配合圖5與圖8所示，虛擬對位圖像VM可以從虛擬對位點VP往左並往上延伸而形成，並且虛擬對位圖像VM的一外輪廓與外部殼體201的一外輪廓兩者可以完全相同或者部分相同。以圖8所顯示在影像顯示裝置32上的虛擬對位圖像VM為例子，虛擬對位圖像VM的外輪廓與外部殼體201的外輪廓兩者可以是完全相同的方形。另外，當虛擬對位圖像VM的外輪廓為L形時，虛擬對位圖像VM的L形外輪廓可以對應於外部殼體201的任一個轉角處的L形外輪廓。藉此，由於虛擬對位圖像VM的一外輪廓（例如方形或者L形）與外部殼體201的一外輪廓（例如方形或者L形）兩者可以完全相同或者部分相同，所以本發明在虛擬對位圖像VM的選擇上可以提供給使用者客制化的需求。然而，上述所舉的例子只是其中一可行的或者較佳的實施例而並非用以限定本發明。
接下來，配合圖2、圖4、圖8與圖9所示，本發明第一實施例所提供用於預定目標物的對位方法進一步包括：調整光學探針裝置20與預定目標物T兩者之間的一相對距離，直到選定的可見參考點SP與虛擬對位點VP在影像顯示裝置32上相互重合，藉此以使得選定的光纖末端部2000在一垂直方向（亦即Z軸方向）上對位於預定目標物T（步驟S114）。
舉例來說，配合圖2、圖4、圖8與圖9所示，在調整光學探針裝置20與預定目標物T兩者之間的相對距離的步驟S114中，本發明第一實施例所提供用於預定目標物的對位方法進一步包括：首先，配合圖2與圖8所示，透過影像擷取裝置31擷取光學探針裝置20的一外部殼體201，以使得外部殼體201的一外部殼體即時影像2010可以即時顯示在影像顯示裝置32上（步驟S114(a)）；然後，配合圖2、圖8與圖9所示，以手動方式調整外部殼體201與預定目標物T兩者之間的相對距離（例如，根據不同的需求，外部殼體201可以相對於預定目標物T而沿著如圖8所示的箭頭方向移動，或者預定目標物T可以相對於外部殼體201而沿著相反於圖8所示的箭頭方向移動），直到外部殼體即時影像2010與虛擬對位圖像VM在影像顯示裝置32上相互重合（步驟S114(b)）。其中，外部殼體即時影像2010的至少一輪廓線與虛擬對位圖像VM的至少一輪廓線可以相互對應。藉此，由於虛擬對位點VP可以顯示在影像顯示裝置32上，所以使用者可以依據顯示在影像顯示裝置32上的虛擬對位點VP，以手動方式調整外部殼體201與預定目標物T兩者之間的相對距離，直到選定的可見參考點SP與虛擬對位點VP在影像顯示裝置32上相互重合。然而，上述所舉的例子只是其中一可行的或者較佳的實施例而並非用以限定本發明。
舉例來說，配合圖8與圖9所示，顯示在影像顯示裝置32上的虛擬對位圖像VM可是半透明的，以允許在影像顯示裝置32上觀看外部殼體即時影像2010。再者，在影像顯示裝置32上所呈現的虛擬對位圖像VM、目標物即時影像T100以及外部殼體即時影像2010之間在一Z軸方向（亦即影像顯示裝置32所提供的XYZ坐標系的Z軸方向）上的重疊關係中，虛擬對位圖像VM位於最上層，目標物即時影像T100位於最下層，外部殼體即時影像2010位於虛擬對位圖像VM以及目標物即時影像T100之間。藉此，由於顯示在影像顯示裝置32上的虛擬對位圖像VM可以是半透明的，所以當虛擬對位圖像VM在Z軸方向上的重疊關係中位於最上層時，外部殼體即時影像2010不會完全被虛擬對位圖像VM所遮避，以使得使用者仍然可以透過影像顯示裝置32以觀看到外部殼體201的外部殼體即時影像2010。然而，上述所舉的例子只是其中一可行的或者較佳的實施例而並非用以限定本發明。
舉例來說，配合圖2、圖10與圖11所示，在調整光學探針裝置20與預定目標物T兩者之間的相對距離的步驟S114中，本發明第一實施例所提供用於預定目標物的對位方法進一步包括：當外部殼體即時影像2010的至少一輪廓線偏離(offset)或者偏移(deviate)虛擬對位圖像VM的至少一輪廓線時（舉例來說，如圖10所示，外部殼體即時影像2010相對於Z軸由於旋轉角度的偏差而彎曲或者歪斜），以手動方式將光學探針裝置20的外部殼體201相對於影像顯示裝置32所提供的XYZ坐標系的Z軸（XYZ坐標系的Z軸會垂直於XY坐標系的X軸與Y軸）進行旋轉，直到外部殼體即時影像2010的至少一輪廓線（例如方形的輪廓線）與虛擬對位圖像VM的至少一輪廓線（例如方形的輪廓線）相互重合或者相互平行（如圖11所示）。然而，上述所舉的例子只是其中一可行的或者較佳的實施例而並非用以限定本發明。
藉此，配合圖2以及圖8至圖11所示，由於虛擬對位圖像VM可以相對於虛擬對位點VP而生成在影像顯示裝置32上（如圖8所示），所以使用者可以依據顯示在影像顯示裝置32上的虛擬對位圖像VM，以“手動方式”在X軸方向與Y軸方向上調整外部殼體201與預定目標物T兩者之間的相對距離（舉例來說，如圖8所示，依據不同的需求，在影像顯示裝置32上沿著圖8所示的箭頭方向移動外部殼體201的外部殼體即時影像2010相對於虛擬對位圖像VM的位置，或者在影像顯示裝置32上沿著相反於圖8所示的箭頭方向移動虛擬對位圖像VM相對於外部殼體201的外部殼體即時影像2010的位置），或者相對於Z軸旋轉光學探針裝置20的外部殼體201（舉例來說，如圖10所示，依據不同的需求，在影像顯示裝置32上繞著圖10所示的Z軸旋轉外部殼體201的外部殼體即時影像2010相對於虛擬對位圖像VM的角度，或者在影像顯示裝置32上繞著圖10所示的Z軸旋轉虛擬對位圖像VM相對於外部殼體201的外部殼體即時影像2010的角度），直到外部殼體即時影像2010與虛擬對位圖像VM在影像顯示裝置32上完全相互重合（如圖9與圖11所示），藉此以使得選定的光纖末端部2000在一垂直方向上可以正確地對位於預定目標物T（也就是說，在影像顯示裝置32上，選定的光纖末端部2000在一垂直方向上可以正確地對位於預定目標物T的目標物即時影像T100）。
舉例來說，配合圖2、圖4、圖8與圖10所示，在取得虛擬對位座標參數的步驟S110後，本發明第一實施例所提供用於預定目標物的對位方法進一步包括：依據目標物對位參考點TP以及虛擬對位座標參數，以產生“不顯示”在影像顯示裝置32上的一虛擬對位圖像VM。也就是說，在另外一可行實施例中，圖8與圖10所顯示的虛擬對位圖像VM也可以不顯示在影像顯示裝置32上，而只有控制模組4可以自行辨識虛擬對位圖像VM的位置。然而，上述所舉的例子只是其中一可行的或者較佳的實施例而並非用以限定本發明。
舉例來說，在圖8所顯示的虛擬對位圖像VM不顯示在影像顯示裝置32上的情況下（只有控制模組4可以自行辨識虛擬對位圖像VM的位置），在調整光學探針裝置20與預定目標物T兩者之間的相對距離的步驟S114中，本發明第一實施例所提供用於預定目標物的對位方法進一步包括：首先，配合圖2與圖8所示，透過影像擷取裝置31擷取光學探針裝置20的一外部殼體201，以使得外部殼體201的一外部殼體即時影像2010可以即時顯示在影像顯示裝置32上（步驟S114(a)）；然後，以自動方式調整外部殼體201與預定目標物T兩者之間的相對距離，直到外部殼體即時影像2010與虛擬對位圖像（圖未示）相互重合（步驟S114(c)）。其中，外部殼體即時影像2010的至少一輪廓線對應於不顯示在影像顯示裝置32上的虛擬對位圖像（圖未示）的至少一輪廓線。然而，上述所舉的例子只是其中一可行的或者較佳的實施例而並非用以限定本發明。
舉例來說，在圖10所顯示的虛擬對位圖像VM不顯示在影像顯示裝置32上的情況下（只有控制模組4可以自行辨識虛擬對位圖像VM的位置），在調整光學探針裝置20與預定目標物T兩者之間的相對距離的步驟S114中，本發明第一實施例所提供用於預定目標物的對位方法進一步包括：當外部殼體即時影像2010的至少一輪廓線因著例如旋轉角度的偏差而偏離或者偏移虛擬對位圖像（未顯示在影像顯示裝置32上）的至少一輪廓線時，以自動方式將光學探針裝置20的外部殼體201相對於影像顯示裝置32所提供的XYZ坐標系的Z軸進行旋轉，直到外部殼體即時影像2010的至少一輪廓線與虛擬對位圖像（未顯示在影像顯示裝置32上）的至少一輪廓線相互重合或者相互平行。然而，上述所舉的例子只是其中一可行的或者較佳的實施例而並非用以限定本發明。
藉此，配合圖2、圖4、圖8與圖10所示，由於虛擬對位圖像（圖未示）不會相對於虛擬對位點VP而生成在影像顯示裝置32上，所以光學檢測系統S的控制模組4可以依據不會顯示在影像顯示裝置32上的虛擬對位圖像（圖未示），以“自動方式”在X軸方向與Y軸方向上調整外部殼體201與預定目標物T兩者之間的相對距離（亦即在影像顯示裝置32上移動外部殼體201的外部殼體即時影像2010相對於虛擬對位圖像的位置）或者以“自動方式”相對於Z軸旋轉光學探針裝置20的外部殼體201（亦即在影像顯示裝置32上旋轉外部殼體201的外部殼體即時影像2010相對於虛擬對位圖像的角度），直到外部殼體即時影像2010與虛擬對位圖像（圖未示）在影像顯示裝置32上完全相互重合，藉此以使得選定的光纖末端部2000在一垂直方向上可以自動地且正確地對位於預定目標物T，如此將可以有效節省使用者需要手動調整光學探針裝置20的時間。
綜上所述，配合圖2至圖11所示，在本發明的第一實施例所提供的一種用於預定目標物的對位方法中，先在一光學探針裝置20上預先選擇其中一光纖末端部2000（亦即選定的光纖末端部2000，例如光纖尖端部）以及一可見參考點（亦即由光學探針裝置20所提供的一選定的可見參考點SP），以取得選定的光纖末端部2000以及選定的可見參考點SP兩者之間的“一實體距離參數”（亦即定義光學探針裝置20的步驟）。接著，在影像顯示裝置32上，標記預定目標物T的目標物即時影像T100，以取得對位於目標物即時影像T100的一目標物對位參考點TP，並且取得由目標物對位參考點TP轉換而來的“一平面座標參數”（亦即定義預定目標物T的步驟）。然後，再依據實體距離參數以及平面座標參數，以取得對應於選定的可見參考點SP的一虛擬對位點VP（例如以虛擬對位點VP為基礎而生成一虛擬對位圖像VM），可以提供給使用者或者操作者參考（亦即定義虛擬對位點VP的步驟）。最後，使用者可以在影像顯示裝置32上同時觀看到選定的可見參考點SP以及虛擬對位點VP的情況下，調整光學探針裝置20與預定目標物T兩者之間的一相對距離，直到選定的可見參考點SP與虛擬對位點VP在影像顯示裝置32上相互重合（此時，選定的光纖末端部2000在一垂直方向上就會正確地對位於預定目標物T），以使得多個光纖200（例如圖9所示的同一排光纖200）會分別準確地對應到多個待測物（例如LED、micro LED或者任何的電子晶片）。
值得注意的是，由於虛擬對位點VP可以顯示在影像顯示裝置32上，所以使用者可以依據顯示在影像顯示裝置32上的虛擬對位點VP，以手動方式調整光學探針裝置20與預定目標物T兩者之間的相對距離（或者，當顯示在影像顯示裝置32上的虛擬對位點VP無法被使用者識別而只能被控制模組4識別時，本發明可以依據不顯示在影像顯示裝置32上的虛擬對位點VP，以自動方式調整光學探針裝置20（亦即外部殼體201）與預定目標物T兩者之間的相對距離），直到選定的可見參考點SP與虛擬對位點VP在影像顯示裝置32上相互重合。
[第二實施例]
由圖12與圖5的比較，以及由圖13與圖7的比較可知，本發明第二實施例與第一實施例最主要的差異在於：在第二實施例中，選定的可見參考點SP可以從“位於外部殼體201的右下角落”替換成“位於外部殼體201的左下角落”，並且選定的光纖末端部2000 可以從“多個光纖末端部2000之中最右下角的一個”替換成“多個光纖末端部2000之中最左下角的一個”。
更進一步來說，在第二實施例中，如圖12所示，當“選定的可見參考點SP位於外部殼體201的左下角落”且“多個光纖末端部2000之中最左下角的一個被選定（亦即選定的光纖末端部2000）”時，選定的光纖末端部2000可以被定義為原點(0, 0)，而選定的可見參考點SP相對於選定的光纖末端部2000的座標位置可以是XY坐標系的X1值（例如-100 μm）以及Y1值（例如-200 μm）。
更進一步來說，在第二實施例中，如圖13所示，以相對於影像顯示裝置32所提供的XY坐標系的原點(0, 0)來說，目標物對位參考點TP相對於XY坐標系的原點(0, 0)的座標位置可以是XY坐標系的X2值（例如-50 μm）以及Y2值（例如-50 μm）。
更進一步來說，在第二實施例中，圖13所顯示的X3值為X1值（亦即-100 μm）與X2值（亦即-50 μm）加總後所得到的-150 μm，並且圖13所顯示的Y3值為Y1值（亦即-200 μm）與Y2值（亦即-50 μm）加總後所得到的-250 μm，也就是說，如圖13所示，以相對於影像顯示裝置32所提供的XY坐標系的原點(0, 0)來說，虛擬對位點VP相對於XY坐標系的原點(0, 0)的座標位置可以是XY坐標系的X3值（例如-150 μm）以及Y3值（例如-250 μm）。值得注意的是，配合圖12與圖13所示，目標物對位參考點TP相距虛擬對位點VP的距離（亦即，如圖13所示的XY坐標系的“X3值減去X2值”以及“Y3值減去Y2值”）實質上會等於選定的光纖末端部2000相距選定的可見參考點SP的距離（亦即，如圖12所示的XY坐標系的X1值以及Y1值）。
[第三實施例]
由圖14與圖5的比較，以及由圖15與圖7的比較可知，本發明第三實施例與第一實施例最主要的差異在於：在第三實施例中，選定的可見參考點SP可以從“位於外部殼體201的右下角落”替換成“位於外部殼體201的右上角落”，並且選定的光纖末端部2000 可以從“多個光纖末端部2000之中最右下角的一個”替換成“多個光纖末端部2000之中最右上角的一個”。
更進一步來說，在第三實施例中，如圖14所示，當“選定的可見參考點SP位於外部殼體201的右上角落”且“多個光纖末端部2000之中最右上角的一個被選定（亦即選定的光纖末端部2000）”時，選定的光纖末端部2000可以被定義為原點(0, 0)，而選定的可見參考點SP相對於選定的光纖末端部2000的座標位置可以是XY坐標系的X1值（例如100 μm）以及Y1值（例如200 μm）。
更進一步來說，在第三實施例中，如圖15所示，以相對於影像顯示裝置32所提供的XY坐標系的原點(0, 0)來說，目標物對位參考點TP相對於XY坐標系的原點(0, 0)的座標位置可以是XY坐標系的X2值（例如50 μm）以及Y2值（例如50 μm）。
更進一步來說，在第三實施例中，圖15所顯示的X3值為X1值（亦即100 μm）與X2值（亦即50 μm）加總後所得到的150 μm，並且圖15所顯示的Y3值為Y1值（亦即200 μm）與Y2值（亦即50 μm）加總後所得到的250 μm，也就是說，如圖15所示，以相對於影像顯示裝置32所提供的XY坐標系的原點(0, 0)來說，虛擬對位點VP相對於XY坐標系的原點(0, 0)的座標位置可以是XY坐標系的X3值（例如150 μm）以及Y3值（例如250 μm）。值得注意的是，配合圖14與圖15所示，目標物對位參考點TP相距虛擬對位點VP的距離（亦即，如圖15所示的XY坐標系的“X3值減去X2值”以及“Y3值減去Y2值”）實質上會等於選定的光纖末端部2000相距選定的可見參考點SP的距離（亦即，如圖14所示的XY坐標系的X1值以及Y1值）。
[第四實施例]
由圖16與圖5的比較，以及由圖17與圖7的比較可知，本發明第四實施例與第一實施例最主要的差異在於：在第四實施例中，選定的可見參考點SP可以從“位於外部殼體201的右下角落”替換成“位於外部殼體201的左上角落”，並且選定的光纖末端部2000 可以從“多個光纖末端部2000之中最右下角的一個”替換成“多個光纖末端部2000之中最左上角的一個”。
更進一步來說，在第四實施例中，如圖16所示，當“選定的可見參考點SP位於外部殼體201的左上角落”且“多個光纖末端部2000之中最左上角的一個被選定（亦即選定的光纖末端部2000）”時，選定的光纖末端部2000可以被定義為原點(0, 0)，而選定的可見參考點SP相對於選定的光纖末端部2000的座標位置可以是XY坐標系的X1值（例如-100 μm）以及Y1值（例如200 μm）。
更進一步來說，在第四實施例中，如圖17所示，以相對於影像顯示裝置32所提供的XY坐標系的原點(0, 0)來說，目標物對位參考點TP相對於XY坐標系的原點(0, 0)的座標位置可以是XY坐標系的X2值（例如-50 μm）以及Y2值（例如50 μm）。
更進一步來說，在第四實施例中，圖17所顯示的X3值為X1值（亦即-100 μm）與X2值（亦即-50 μm）加總後所得到的-150 μm，並且圖17所顯示的Y3值為Y1值（亦即200 μm）與Y2值（亦即50 μm）加總後所得到的250 μm，也就是說，如圖17所示，以相對於影像顯示裝置32所提供的XY坐標系的原點(0, 0)來說，虛擬對位點VP相對於XY坐標系的原點(0, 0)的座標位置可以是XY坐標系的X3值（例如-150 μm）以及Y3值（例如250 μm）。值得注意的是，配合圖16與圖17所示，目標物對位參考點TP相距虛擬對位點VP的距離（亦即，如圖17所示的XY坐標系的“X3值減去X2值”以及“Y3值減去Y2值”）實質上會等於選定的光纖末端部2000相距選定的可見參考點SP的距離（亦即，如圖16所示的XY坐標系的X1值以及Y1值）。
[實施例的有益效果]
綜上所述，即使在光纖末端部2000被遮擋而無法識別顯示在影像顯示裝置32上的光纖末端部2000與預定目標物T兩者之間的相對位置關係的情況下，使用者仍然可以在影像顯示裝置32上方便且快速地觀看選定的可見參考點SP以及虛擬對位點VP兩者之間的相對位置關係，以將選定的可見參考點SP以及虛擬對位點VP在影像顯示裝置32上進行相互重合，進而使得選定的光纖末端部2000可以在一垂直方向上，方便且快速地對位（或對準）於預定目標物T（亦即需要透過光學檢測以進行光學檢測或者測試的光學元件）。
值得一提的是，配合圖2、圖3與圖9所示，本發明第一實施例所提供用於預定目標物的對位方法進一步包括：首先，移動預定目標物T或者影像擷取裝置31，以取得預定目標物T沿著一預定方向（例如X軸方向）所移動的一實際移動距離（例如100 μm）（舉例來說，選取任意一個預定目標物T以做為一參考點，然後僅移動夾具10一預定距離（亦即預定目標物T相對於影像擷取裝置31移動一預定距離），此預定距離可以透過光學檢測系統S進行測量而定義為對預定目標物T的一實際移動距離；或者，僅移動影像擷取裝置31一預定距離（亦即影像擷取裝置31相對於預定目標物T移動一預定距離），此預定距離可以透過光學檢測系統S進行測量而定義為對預定目標物T的一實際移動距離）；接著，依據預定目標物T沿著預定方向（例如X軸方向）所移動的實際移動距離（例如100 μm），以取得在影像顯示裝置32上所顯示的預定目標物T的目標物即時影像T100沿著預定方向（例如X軸方向）所移動的一影像畫素距離（例如10 pixel）；然後，依據目標物即時影像T100所移動的影像畫素距離（例如10 pixel）以及預定目標物T所移動的實際移動距離（例如100 μm），以取得影像畫素距離對實際移動距離的一轉換比例（例如10 pixel:100 μm=1:10）。其中，當預定目標物T或者影像擷取裝置31被移動而使得預定目標物T沿著一偏移方向偏移一實際偏離距離時（例如200 μm），顯示在影像顯示裝置32上的一虛擬對位圖像VM會依據轉換比例而自動沿著偏移方向位移一偏移畫素距離（例如200/10=20 pixel），以使得顯示在影像顯示裝置32上的虛擬對位圖像VM與目標物即時影像T100維持相互重合的狀態。
承上所述，依據目標物即時影像T100所移動的影像畫素距離以及預定目標物T所移動的實際移動距離，可以取得影像畫素距離對實際移動距離的一轉換比例。藉此，當預定目標物T或者影像擷取裝置31因意外而移動一實際偏離距離時（例如使用者不小心觸碰到用於承載預定目標物T的一夾具10或者接觸到影像擷取裝置31時），顯示在影像顯示裝置32上的虛擬對位圖像VM可以依據轉換比例而自動沿著偏移方向位移一偏移畫素距離，從而使得顯示在影像顯示裝置32上的虛擬對位圖像VM與外部殼體即時影像2010能夠維持相互重合的狀態，而不會受到使用者不小心觸碰到預定目標物T或者影像擷取裝置31所造成的影響。
以上所公開的內容僅為本發明的優選可行實施例，並非因此侷限本發明的申請專利範圍，所以凡是運用本發明說明書及圖式內容所做的等效技術變化，均包含於本發明的申請專利範圍內。
20a:光學探針裝置 200a:光纖 2000a:光纖末端部 201a:外部殼體 31a:影像擷取裝置 C:光學元件 S:光學檢測系統 1:晶圓載台 10:夾具 2:光學檢測模組 20:光學探針裝置 200:光纖 2000:光纖末端部 201:外部殼體 2010:外部殼體即時影像 3:視覺辨識模組 31:影像擷取裝置 32:影像顯示裝置 4:控制模組 T:預定目標物 T100:目標物即時影像 SP:選定的可見參考點 TP:目標物對位參考點 VP:虛擬對位點 VM:虛擬對位圖像
圖1為現有技術的光學檢測系統的示意圖。
圖2為本發明第一實施例所提供的光學檢測系統的示意圖。
圖3為本發明第一實施例所提供的光學檢測系統的功能方塊圖。
圖4為本發明第一實施例所提供用於預定目標物的對位方法的流程圖。
圖5為本發明第一實施例所提供用於預定目標物的對位方法的步驟S100與S102的示意圖。
圖6為本發明第一實施例所提供用於預定目標物的對位方法的步驟S104、S106與S108的示意圖。
圖7為本發明第一實施例所提供用於預定目標物的對位方法的步驟S110的示意圖。
圖8為本發明第一實施例所提供用於預定目標物的對位方法的步驟S112與S114(a)的示意圖。
圖9為本發明第一實施例所提供用於預定目標物的對位方法的步驟S114與S114(b)的示意圖。
圖10為本發明第一實施例的光學探針裝置的外部殼體相對於顯示在影像顯示裝置上的虛擬對位圖像進行手動旋轉的示意圖。
圖11為本發明第一實施例的外部殼體即時影像與虛擬對位圖像兩者在影像顯示裝置上完全相互重合的示意圖。
圖12為本發明第二實施例在平面所提供的XY坐標系上用於顯示提供X1值和Y1值的一實際距離參數的示意圖（選定的可見參考點位於外部殼體的左下角，一個選定的光纖末端部位於左下角）。
圖13為本發明第二實施例用於顯示提供對應於圖12的X1值和Y1值的X2值和Y2值的一平面座標參數的示意圖。
圖14為本發明第三實施例在平面所提供的XY坐標系上用於顯示提供X1值和Y1值的一實際距離參數的示意圖（選定的可見參考點位於外部殼體的右上角，一個選定的光纖末端部位於右上角）。
圖15為本發明第三實施例用於顯示提供對應於圖14的X1值和Y1值的X2值和Y2值的一平面座標參數的示意圖。
圖16為本發明第四實施例在平面所提供的XY坐標系上用於顯示提供X1值和Y1值的一實際距離參數的示意圖（選定的可見參考點位於外部殼體的左上角，一個選定的光纖末端部位於左上角）。
圖17為本發明第四實施例用於顯示提供對應於圖16的X1值和Y1值的X2值和Y2值的一平面座標參數的示意圖。
S:光學檢測系統
1:晶圓載台
10:夾具
2:光學檢測模組
20:光學探針裝置
200:光纖
2000:光纖末端部
201:外部殼體
3:視覺辨識模組
31:影像擷取裝置
T:預定目標物
SP:選定的可見參考點

Claims (10)

  1. 一種用於預定目標物的對位方法，其包括： 提供一光學探針裝置，其中所述光學探針裝置包括多個光纖，每一所述光纖具有用於接收或者輸出一或多個光學訊號的一光纖末端部； 提供一實體距離參數，其中所述實體距離參數為選定的其中一所述光纖末端部以及由所述光學探針裝置所提供的一選定的可見參考點兩者之間在一平面上的一平面距離； 透過一影像擷取裝置擷取所述預定目標物，以使得所述預定目標物的一目標物即時影像即時顯示在一影像顯示裝置上； 在所述影像顯示裝置上，標記所述預定目標物的所述目標物即時影像，以取得對位於所述目標物即時影像的一目標物對位參考點； 將對位於所述目標物即時影像的所述目標物對位參考點轉換成一平面座標參數； 依據所述實體距離參數以及所述平面座標參數，以取得用於提供一虛擬對位點的一虛擬對位座標參數，其中所述目標物對位參考點相距所述虛擬對位點的距離等於所述選定的光纖末端部相距所述選定的可見參考點的距離；以及 調整所述光學探針裝置與所述預定目標物兩者之間的一相對距離，直到所述選定的可見參考點與所述虛擬對位點在所述影像顯示裝置上相互重合，藉此以使得所述選定的光纖末端部在一垂直方向上對位於所述預定目標物。
  2. 如請求項1所述的用於預定目標物的對位方法， 其中，所述光學探針裝置的多個所述光纖依序排列而形成一光纖陣列，以用於同時檢測多個待測物，且多個所述待測物的其中之一為所述預定目標物； 其中，所述光學探針裝置包括用於承載多個所述光纖末端部的一外部殼體，且所述選定的可見參考點位於所述外部殼體的其中一角落或者所述外部殼體的其中一固定標記物上； 其中，在多個所述光纖末端部之中，所述選定的光纖末端部最接近所述選定的可見參考點，以使得所述選定的光纖末端部相距於所述選定的可見參考點的所述平面距離為所述光纖末端部與所述選定的可見參考點之間的一最短平面距離； 其中，所述實體距離參數包括X1值以及Y1值，所述X1值為所述選定的光纖末端部與所述選定的可見參考點兩者在所述平面所提供的一X軸方向上的間距，且所述Y1值為所述選定的光纖末端部與所述選定的可見參考點兩者在所述平面所提供的一Y軸方向上的間距； 其中，提供所述實體距離參數的步驟進一步包括：在一使用者介面中，輸入所述X1值以及所述Y1值或者輸入所述光學探針裝置的一型號資訊，且所述光學探針裝置的所述型號資訊包括所述X1值以及所述Y1值。
  3. 如請求項1所述的用於預定目標物的對位方法， 其中，在所述影像顯示裝置上標記所述預定目標物的所述目標物即時影像的步驟中，所述目標物即時影像是透過一輸入裝置控制一可移動標記物而進行標記； 其中，在取得所述虛擬對位座標參數的步驟中，所述虛擬對位座標參數是透過一控制模組對所述實體距離參數以及所述平面座標參數進行計算而取得，且所述虛擬對位點可選擇性地顯示或者不顯示在所述影像顯示裝置上； 其中，所述實體距離參數包括位於所述平面所提供的XY坐標系上的X1值以及Y1值，所述X1值為所述選定的光纖末端部與所述選定的可見參考點兩者在所述平面所提供的所述XY坐標系的所述X軸方向上的間距，且所述Y1值為所述選定的光纖末端部與所述選定的可見參考點兩者在所述平面所提供的所述XY坐標系的所述Y軸方向上的間距； 其中，所述平面座標參數包括位於所述影像顯示裝置所提供的XY坐標系上的X2值以及Y2值，所述X2值為所述目標物對位參考點相距於所述影像顯示裝置所提供的所述XY坐標系的Y軸的距離，且所述Y2值為所述目標物對位參考點相距於所述影像顯示裝置所提供的所述XY坐標系的X軸的距離； 其中，所述虛擬對位座標參數包括由X1值與X2值加總後所得到的X3值以及由Y1值與Y2值加總後所得到的Y3值，所述X3值以及所述Y3值位於所述影像顯示裝置所提供的所述XY坐標系上，所述X3值為所述虛擬對位點相距於所述影像顯示裝置所提供的所述XY坐標系的Y軸的距離，且所述Y3值為所述虛擬對位點相距於所述影像顯示裝置所提供的所述XY坐標系的X軸的距離。
  4. 如請求項1所述的用於預定目標物的對位方法， 其中，在取得所述虛擬對位座標參數的步驟後，所述對位方法進一步包括：依據所述目標物對位參考點以及所述虛擬對位座標參數，以產生顯示在所述影像顯示裝置上的一虛擬對位圖像； 其中，在調整所述光學探針裝置與所述預定目標物兩者之間的所述相對距離的步驟中，所述對位方法進一步包括：透過所述影像擷取裝置擷取所述光學探針裝置的一外部殼體，以使得所述外部殼體的一外部殼體即時影像即時顯示在所述影像顯示裝置上；以及，以手動方式調整所述外部殼體與所述預定目標物兩者之間的所述相對距離，直到所述外部殼體即時影像與所述虛擬對位圖像相互重合； 其中，所述外部殼體即時影像的至少一輪廓線對應於不顯示在所述影像顯示裝置上的所述虛擬對位圖像的至少一輪廓線； 其中，在調整所述光學探針裝置與所述預定目標物兩者之間的所述相對距離的步驟中，所述對位方法進一步包括：當所述外部殼體即時影像的所述至少一輪廓線偏離所述虛擬對位圖像的所述至少一輪廓線時，以手動方式將所述光學探針裝置的所述外部殼體相對於所述影像顯示裝置所提供的XYZ坐標系的Z軸進行旋轉，直到所述外部殼體即時影像的所述至少一輪廓線與所述虛擬對位圖像的所述至少一輪廓線相互重合或者相互平行； 其中，所述虛擬對位圖像的輪廓與所述外部殼體即時影像的輪廓兩者完全相同或者部分相同； 其中，所述光學探針裝置包括用於承載多個所述光纖末端部的一外部殼體，且所述虛擬對位圖像的一外輪廓與所述外部殼體的一外輪廓兩者完全相同或者部分相同； 其中，顯示在所述影像顯示裝置上的所述虛擬對位圖像是半透明的，以允許在所述影像顯示裝置上觀看所述外部殼體即時影像； 其中，在所述影像顯示裝置上所呈現的所述虛擬對位圖像、所述目標物即時影像以及所述外部殼體即時影像之間在一Z軸方向上的重疊關係中，所述虛擬對位圖像位於最上層，所述目標物即時影像位於最下層，所述外部殼體即時影像位於所述虛擬對位圖像以及所述目標物即時影像之間。
  5. 如請求項1所述的用於預定目標物的對位方法， 其中，在取得所述虛擬對位座標參數的步驟後，所述對位方法進一步包括：依據所述目標物對位參考點以及所述虛擬對位座標參數，以產生不顯示在所述影像顯示裝置上的一虛擬對位圖像； 其中，在調整所述光學探針裝置與所述預定目標物兩者之間的所述相對距離的步驟中，所述對位方法進一步包括：透過所述影像擷取裝置擷取所述光學探針裝置的一外部殼體，以使得所述外部殼體的一外部殼體即時影像即時顯示在所述影像顯示裝置上；以及，以自動方式調整所述外部殼體與所述預定目標物兩者之間的所述相對距離，直到所述外部殼體即時影像與所述虛擬對位圖像相互重合； 其中，所述外部殼體即時影像的至少一輪廓線對應於不顯示在所述影像顯示裝置上的所述虛擬對位圖像的至少一輪廓線； 其中，在調整所述光學探針裝置與所述預定目標物兩者之間的所述相對距離的步驟中，所述對位方法進一步包括：當所述外部殼體即時影像的所述至少一輪廓線偏離所述虛擬對位圖像的所述至少一輪廓線時，以自動方式將所述光學探針裝置的所述外部殼體相對於所述影像顯示裝置所提供的XYZ坐標系的Z軸進行旋轉，直到所述外部殼體即時影像的所述至少一輪廓線與所述虛擬對位圖像的所述至少一輪廓線相互重合或者相互平行。
  6. 如請求項1所述的用於預定目標物的對位方法，進一步包括： 移動所述預定目標物或者所述影像擷取裝置，以取得所述預定目標物沿著一預定方向所移動的一實際移動距離； 依據所述預定目標物沿著所述預定方向所移動的所述實際移動距離，以取得在所述影像顯示裝置上所顯示的所述預定目標物的所述目標物即時影像沿著所述預定方向所移動的一影像畫素距離；以及 依據所述目標物即時影像所移動的所述影像畫素距離以及所述預定目標物所移動的所述實際移動距離，以取得所述影像畫素距離對所述實際移動距離的一轉換比例； 其中，當所述預定目標物或者所述影像擷取裝置被移動而使得所述預定目標物沿著一偏移方向偏移一實際偏離距離時，顯示在所述影像顯示裝置上的一虛擬對位圖像依據所述轉換比例而自動沿著所述偏移方向位移一偏移畫素距離，以使得顯示在所述影像顯示裝置上的所述虛擬對位圖像與所述目標物即時影像維持相互重合的狀態。
  7. 一種光學檢測系統，其包括： 一晶圓載台，所述晶圓載台包括一夾具，以用於承載多個待測物； 一光學檢測模組，所述光學檢測模組包括如請求項1所述的光學探針裝置，所述光學探針裝置被配置在所述夾具的上方，以用於對所述待測物進行光學檢測； 一視覺辨識模組，所述視覺辨識模組包括如請求項1所述的影像擷取裝置以及如請求項1所述的影像顯示裝置，所述影像擷取裝置被配置以用於即時擷取所述待測物的一即時影像，且所述影像顯示裝置被配置以用於即時顯示所述待測物的所述即時影像；以及 一控制模組，所述控制模組被配置以電性連接於所述夾具、所述光學探針裝置、所述影像擷取裝置以及所述影像顯示裝置，以用於對所述夾具、所述光學探針裝置、所述影像擷取裝置以及所述影像顯示裝置進行操控； 其中，所述控制模組被配置以用於執行如請求項1所述的對位方法。
  8. 如請求項7所述的光學檢測系統， 其中，每一所述光纖具有用於接收或者輸出一或多個光學訊號的一光纖末端部； 其中，所述光學探針裝置的多個所述光纖依序排列而形成一光纖陣列，以用於同時檢測多個所述待測物； 其中，所述光學探針裝置包括用於承載多個所述光纖末端部的一外部殼體，且所述光學探針裝置所提供的一選定的可見參考點位於所述外部殼體的其中一角落或者其中一固定標記物上； 其中，在多個所述光纖末端部之中，其中一所述選定的光纖末端部最接近所述選定的可見參考點，以使得所述選定的光纖末端部相距於所述選定的可見參考點的一平面距離為所述光纖末端部與所述選定的可見參考點之間的一最短平面距離。
  9. 一種光學檢測系統，其包括： 一晶圓載台，所述晶圓載台包括一夾具，以用於承載多個待測物； 一光學檢測模組，所述光學檢測模組包括設置在所述夾具的上方的一光學探針裝置，以用於所述待測物進行光學檢測； 一視覺辨識模組，所述視覺辨識模組包括設置在所述夾具的上方的一影像擷取裝置以及電性連接於所述影像擷取裝置的一影像顯示裝置，所述影像擷取裝置被配置以用於即時擷取所述待測物的一即時影像，且所述影像顯示裝置被配置以用於即時顯示所述待測物的所述即時影像；以及 一控制模組，所述控制模組被配置以電性連接於所述夾具、所述光學探針裝置、所述影像擷取裝置以及所述影像顯示裝置，以用於對所述夾具、所述光學探針裝置、所述影像擷取裝置以及所述影像顯示裝置進行操控； 其中，所述光學探針裝置包括多個光纖以及用於承載多個所述光纖的一外部殼體，且每一所述光纖具有用於接收或者輸出一或多個光學訊號的一光纖末端部； 其中，所述光學探針裝置的所述外部殼體具有用於對應於所述選定的光纖末端部的一選定的可見參考點，且所述外部殼體的所述選定的可見參考點被配置以用於提供給所述影像擷取裝置進行辨識； 其中，從所述光學探針裝置的所述外部殼體上所選擇到的選定的可見參考點被配置，以用於判斷所述選定的光纖末端部相距於其中一所述待測物的一平面距離。
  10. 如請求項9所述的光學檢測系統， 其中，所述光學探針裝置的多個所述光纖依序排列而形成一光纖陣列，以用於同時檢測多個所述待測物； 其中，所述選定的可見參考點位於所述外部殼體的其中一角落或者其中一固定標記物上； 其中，在多個所述光纖末端部之中，所述選定的光纖末端部最接近所述選定的可見參考點，以使得所述選定的光纖末端部相距於所述選定的可見參考點的所述平面距離為所述光纖末端部與所述選定的可見參考點之間的一最短平面距離。
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