TW202305375A - 探針卡裝置及傳輸結構 - Google Patents

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Abstract

本發明公開一種探針卡裝置及傳輸結構，所述傳輸結構包含一支撐層、彼此間隔且傾斜插設於所述支撐層的多個金屬導體、及形成於所述支撐層的一絕緣彈性層。每個所述金屬導體為一體成型的長形構造，並包含固持於所述支撐層內的一定位段、分別自所述定位段兩端延伸的一連接段與一埋置段、及自所述埋置段延伸的一裸露段。每個所述埋置段固定且埋置於所述絕緣彈性層內，並且每個所述裸露段突伸出所述絕緣彈性層。當任一個所述裸露段受一外力壓迫時，所述絕緣彈性層能通過相對應所述埋置段而吸收所述外力並產生形變，以提供一行程距離。

Description

探針卡裝置及傳輸結構
本發明涉及一種探針卡，尤其涉及一種探針卡裝置及傳輸結構。
現有的垂直式探針卡包含有一探針座及固持於所述探針座的多個導電探針，並且現有垂直式探針卡是通過多個所述導電探針的變形來吸收其使用時所面臨的外力與行程。然而，現有垂直式探針卡的結構設計已受限於上述既定的架構，因而難以實現進一步地改良。
於是，本發明人認為上述缺陷可改善，乃特潛心研究並配合科學原理的運用，終於提出一種設計合理且有效改善上述缺陷的本發明。
本發明實施例在於提供一種探針卡裝置及傳輸結構，其能有效地改善現有垂直式探針卡所可能產生的缺陷。
本發明實施例公開一種傳輸結構，其包括：一支撐層，具有位於相反側的一內表面與一外表面；多個金屬導體，各為一體成型的長形構造，並且多個所述金屬導體彼此間隔且皆沿一預設方向傾斜地插設於所述支撐層；其中，每個所述金屬導體包含：一定位段，固持於所述支撐層內；一連接段，自所述定位段的一端延伸所形成、並用來連接於一間距轉換板（space transformer）；一埋置段，自所述定位段的另一端延伸所形成；及一裸露段，自所述埋置段朝遠離所述定位段的方向延伸所形成、並用於可分離地頂抵於一待測物（device under test，DUT）；其中，所述埋置段的長度大於所述裸露段的長度；以及一絕緣彈性層，形成於所述支撐層的所述內表面，以使每個所述金屬導體的所述埋置段固定且埋置於所述絕緣彈性層內，並且每個所述金屬導體的所述裸露段突伸出所述絕緣彈性層；其中，當任一個所述金屬導體的所述裸露段沿非平行所述預設方向的一測試方向受一外力壓迫時，所述絕緣彈性層能通過相對應所述金屬導體的所述埋置段而吸收所述外力並產生形變，以提供一行程距離。
本發明實施例也公開一種探針卡裝置，其包括：一傳輸結構，包含：一支撐層，具有位於相反側的一內表面與一外表面；多個金屬導體，各為一體成型的構造，並且多個所述金屬導體彼此間隔且皆沿一預設方向傾斜地插設於所述支撐層；其中，每個所述金屬導體包含：一定位段，固持於所述支撐層內；一連接段，自所述定位段的一端延伸所形成、並用來連接於一間距轉換板；一埋置段，自所述定位段的另一端延伸所形成；及一裸露段，自所述埋置段朝遠離所述定位段的方向延伸所形成；其中，所述埋置段的長度小於所述裸露段的長度；及一絕緣彈性層，形成於所述支撐層的所述內表面，以使每個所述金屬導體的所述埋置段固定且埋置於所述絕緣彈性層內，並且每個所述金屬導體的所述裸露段位於所述絕緣彈性層的表面；以及一探針頭，包含一探針座及固持於所述探針座的多個導電探針；其中，多個所述導電探針的其中一端分別抵接於多個所述金屬導體的所述裸露段，並且多個所述導電探針的其中另一端用於可分離地頂抵於一待測物；其中，當任一個所述導電探針沿非平行所述預設方向的一測試方向受一外力壓迫時，所述絕緣彈性層能通過相對應所述金屬導體而吸收所述外力並產生形變，以提供一行程距離。
綜上所述，本發明實施例所公開的探針卡裝置及傳輸結構，其通過每個所述金屬導體相對於所述測試方向呈非平行設置於所述絕緣彈性層內，以使得所述絕緣彈性層能夠取代現有垂直式探針卡的導電探針的部分功能，並且每個所述金屬導體還能通過所述埋置段與所述絕緣彈性層的搭配而有效地縮短其長度。
為能更進一步瞭解本發明的特徵及技術內容，請參閱以下有關本發明的詳細說明與附圖，但是此等說明與附圖僅用來說明本發明，而非對本發明的保護範圍作任何的限制。
以下是通過特定的具體實施例來說明本發明所公開有關“探針卡裝置及傳輸結構”的實施方式，本領域技術人員可由本說明書所公開的內容瞭解本發明的優點與效果。本發明可通過其他不同的具體實施例加以施行或應用，本說明書中的各項細節也可基於不同觀點與應用，在不悖離本發明的構思下進行各種修改與變更。另外，本發明的附圖僅為簡單示意說明，並非依實際尺寸的描繪，事先聲明。以下的實施方式將進一步詳細說明本發明的相關技術內容，但所公開的內容並非用以限制本發明的保護範圍。
應當可以理解的是，雖然本文中可能會使用到“第一”、“第二”、“第三”等術語來描述各種元件或者信號，但這些元件或者信號不應受這些術語的限制。這些術語主要是用以區分一元件與另一元件，或者一信號與另一信號。另外，本文中所使用的術語“或”，應視實際情況可能包括相關聯的列出項目中的任一個或者多個的組合。
[實施例一]
請參閱圖1至圖4所示，其為本發明的實施例一。如圖1和圖2所示，本實施例公開一種傳輸結構100，其一側安裝於一間距轉換板200（space transformer），而其另一側則是用於可分離地頂抵於一待測物O（device under test，DUT）。也就是說，所述傳輸結構100於本實施例中是作為探針卡來使用，但本發明不以此為限。
所述傳輸結構100包含有一支撐層1、插設於所述支撐層1的多個金屬導體2、及形成於所述支撐層1且包覆每個所述金屬導體2局部的一絕緣彈性層3。其中，所述支撐層1是用來維持多個所述金屬導體2的位置、並提供所述絕緣彈性層3成形的支撐所在，據以使多個所述金屬導體2不可分離地固定於所述絕緣彈性層3。
所述支撐層1具有位於相反側的一內表面12與一外表面13，並且所述支撐層1於本實施例中是包含有彼此堆疊設置的兩個導引板11。其中，兩個所述導引板11彼此遠離的表面則分別定義為所述內表面12與所述外表面13，每個所述導引板11形成有多個穿孔111，並且每個所述導引板11的多個所述穿孔111分別連通於另一個所述導引板11的多個所述穿孔111，但本發明不受限於此。舉例來說，在本發明未繪示的其他實施例中，所述支撐層1可以是單個導引板。
多個所述金屬導體2各為一體成型的長形構造，並且多個所述金屬導體2彼此間隔且皆沿一預設方向D1傾斜地插設於所述支撐層1。其中，由於多個所述金屬導體2的構造於本實施例中為大致相同，所以為了便於說明，下一段僅介紹單個所述金屬導體2的構造，但本發明不以此為限。也就是說，在本發明未繪示的其他實施例中，任兩個所述金屬導體2的構造可以略有差異。
更詳細地說，所述金屬導體2於本實施例中包含有一定位段21、自所述定位段21一端延伸所形成的一連接段22、自所述定位段21另一端延伸所形成的一埋置段23、及自所述埋置段23朝遠離所述定位段21方向延伸所形成的一裸露段24。也就是說，所述金屬導體2依序形成有所述連接段22、所述定位段21、所述埋置段23、及所述裸露段24。
其中，每個所述金屬導體2的所述定位段21固持於所述支撐層1內，並且所述傳輸結構100於本實施例中通過所述支撐層1的兩個所述導引板11彼此錯位，以使每個所述金屬導體2的所述定位段21被固持而沿著所述預設方向D1設置。也就是說，多個所述金屬導體2可以通過其所述定位段21配合於所述支撐層1而呈彼此大致平行設置。進一步地說，每個所述金屬導體2的所述定位段21於本實施例中是插設於分屬於兩個所述導引板11且彼此連通的兩個所述穿孔111。
再者，任一個所述金屬導體2的所述定位段21可以是與所述支撐層1的所述外表面13相夾有介於56度～88度的一傾斜角度α。也就是說，所述預設方向D1與所述支撐層1的所述外表面13形成有所述傾斜角度α。據此，所述傳輸結構100中的每個所述金屬導體2能夠通過形成有不同數值的所述傾斜角度α（如：圖1和圖3），進而可以符合不同的設計需求。
多個所述金屬導體2的所述連接段22突伸出所述支撐層1的所述外表面13並位於所述傳輸結構100的一側，用來分別連接於所述間距轉換板200的多個連接墊201；多個所述金屬導體2的所述裸露段24位於所述傳輸結構100的另一側，用於可分離地分別頂抵於所述待測物O（如：半導體晶圓）的多個金屬墊O1。再者，每個所述金屬導體2的所述埋置段23的長度大於所述裸露段24的長度、也大於所述連接段22的長度。
所述絕緣彈性層3形成於所述支撐層1的所述內表面12（如：所述絕緣彈性層3為一體成型的單件式構造），以使每個所述金屬導體2的所述埋置段23固定且埋置於所述絕緣彈性層3內（也就是，所述埋置段23無間隙地連接於所述絕緣彈性層3），並且每個所述金屬導體2的所述裸露段24突伸出所述絕緣彈性層3（也就是說，鄰近於多個所述裸露段24的所述絕緣彈性層3表面是面向所述待測物O）。
需額外說明的是，所述絕緣彈性層3於本實施例中不落入所述支撐層1的任何所述穿孔111，但本發明不受限於此。舉例來說，在本發明未繪示的其他實施例中，所述絕緣彈性層3可以延伸進入具有所述內表面12的所述導引板11所形成的多個所述穿孔111內，據以使每個所述金屬導體2的所述定位段21也可以被所述絕緣彈性層3所包覆與固定。
進一步地說，當任一個所述金屬導體2的所述裸露段24沿非平行所述預設方向D1的一測試方向D2受一外力壓迫時（如：所述裸露段24頂抵於所述待測物O），所述絕緣彈性層3能通過相對應所述金屬導體2的所述埋置段23而吸收所述外力並產生形變，以提供一行程距離。
據此，本實施例所提供的所述傳輸結構100，其通過每個所述金屬導體2相對於所述測試方向D2呈非平行設置於所述絕緣彈性層3內，以使得所述絕緣彈性層3能夠取代現有垂直式探針卡的導電探針的部分功能，並且每個所述金屬導體2還能通過所述埋置段23與所述絕緣彈性層3的搭配而有效地縮短其長度。
再者，由於所述傳輸結構100於本實施例中是以所述絕緣彈性層3面向所述待測物O，所以在所述傳輸結構100用來測試所述待測物O的過程中，即使所述絕緣彈性層3觸碰到所述待測物O，也比較不會造成所述待測物O的損壞。
需補充說明的是，為使所述絕緣彈性層3能夠有效地吸收所述外力並提供所述行程距離，所述傾斜角度α較佳是如上述所載為介於56度～88度，但本發明不受限於此。再者，所述絕緣彈性層3進一步限定為一彈性矽膠層，所述支撐層1與所述絕緣彈性層3的總厚度不大於2毫米（mm），並且所述絕緣彈性層3的厚度較佳是所述支撐層1的厚度的至少兩倍。
此外，每個所述金屬導體2於本實施例中是以直線狀構造來說明，但本發明不受限於此。舉例來說，如圖4所示，每個所述金屬導體2的所述埋置段23與所述裸露段24可以是呈彎曲狀，以利於多個所述金屬導體2的所述埋置段23朝同方向受力，並且利於每個所述裸露段24能夠沿所述測試方向D2突伸出所述絕緣彈性層3。再者，在本發明未繪示的其他實施例中，所述金屬導體2的局部也可以是呈不規則狀；或者，所述金屬導體2的橫截面可以是多邊形（如：矩形）或圓形。
[實施例二]
請參閱圖5至圖8所示，其為本發明的實施例二。由於本實施例類似於上述實施例一，所以兩個實施例的相同處不再加以贅述，而本實施例相較於上述實施例一的差異大致說明如下：
於本實施例中，每個所述金屬導體2的所述埋置段23的至少部分區域形成有一預彎部231，並且當任一個所述金屬導體2的所述裸露段24受所述外力壓迫時，所述埋置段23傾向於所述預彎部231產生形變而傳遞所述外力至所述絕緣彈性層3。其中，多個所述金屬導體2的所述預彎部231位置大致相同，據以利於多個所述埋置段23能朝同方向受力。
需說明的是，於每個所述金屬導體2中，所述埋置段23的所述預彎部231構造可依據設計需求而加以調整變化，舉例說明如下：如圖5和圖6所示，所述預彎部231可以佔所述埋置段23的50%以下的區域，並且所述預彎部231可以是鄰近於所述裸露段24（如：圖5）或是定位段21（如：圖6）；或者，如圖7所示，所述埋置段23所形成的所述預彎部231數量可以是多個；又或者，如圖8所示，所述預彎部231可以佔所述埋置段23的80%以上的區域。
[實施例三]
請參閱圖9至圖12所示，其為本發明的實施例三。由於本實施例類似於上述實施例一和二，所以兩個實施例的相同處不再加以贅述，而本實施例相較於上述實施例一和二的差異大致說明如下：
於本實施例中，所述支撐層1包含有對應於所述內表面12設置的一連接線路14，多個所述金屬導體2中的至少兩個所述金屬導體2各定義為一目標導體2a。其中，每個所述目標導體2a具有自所述埋置段23延伸且埋置於所述絕緣彈性層3內的一突出部25，並且每個所述目標導體2a的所述突出部25鄰近於所述定位段21。至少兩個所述目標導體2a的所述突出部25抵接於所述連接線路14而彼此電性耦接。
進一步地說，每個所述目標導體2a與所述連接線路14可依據設計需求而加以調整變化，舉例說明如下：如圖9所示，至少兩個所述目標導體2a分別為至少兩個接地導體G，據以通過所述連接線路14而達成共地效果；或者，如圖10所示，至少兩個所述目標導體2a為至少一對差分信號導體Tx、Rx，據以通過所述連接線路14而構成迴路。
此外，如圖11和圖12所示，所述連接線路14可以包含有形成於所述內表面12的兩條傳輸線141、及電性耦接兩條所述傳輸線141的一電容器142，至少兩個所述目標導體2a包含一電源導體P與一接地導體G。其中，所述電源導體P的所述突出部25與所述接地導體G的所述突出部25分別抵接於兩條所述傳輸線141，據以電性耦接於所述電容器142，進而實現降低電感變化的效果。再者，所述電容器142可以依據設計需求而選擇性地埋置於所述支撐層1（如：圖11）或所述絕緣彈性層3（如：圖12）內。
需額外說明的是，每個所述目標導體2a的所述突出部25於本實施例中是形成在面向所述支撐層1的所述埋置段23表面上，據以利於抵接於所述連接線路14，但本發明不以此為限。舉例來說，在本發明未繪示的其他實施例中，所述突出部25也可以是形成在非面向所述支撐層1的所述埋置段23的任一表面。
[實施例四]
請參閱圖13所示，其為本發明的實施例四。由於本實施例類似於上述實施例一至三，所以兩個實施例的相同處不再加以贅述，而本實施例相較於上述實施例一至三的差異大致說明如下：
本實施例公開一種探針卡裝置1000，其包含有一傳輸結構100、安裝於所述傳輸結構100一側的一間距轉換板200、及可分離地抵接於所述傳輸結構100另一側的一探針頭300。其中，所述傳輸結構100於本實施例中是大致等同於實施例一至三，而差異在於：每個所述金屬導體2於本實施例中是一體成型的構造，並且所述裸露段24是一金屬墊、且（平躺地）位於所述絕緣彈性層3的表面；也就是說，每個所述金屬導體2的所述裸露段24與所述埋置段23相夾有一銳角。
需額外說明的是，所述傳輸結構100於本實施例中是以搭配於所述間距轉換板200及所述探針頭300來說明，但本發明不受限於此。舉例來說，在本發明未繪示的其他實施例中，所述傳輸結構100可以單獨地運用（如：販賣）或是僅搭配所述探針頭300來進行運用（如：販賣）。
再者，所述探針頭300包含一探針座301及固持於所述探針座301的多個導電探針302，並且多個所述導電探針302的其中一端分別抵接於多個所述金屬導體2的所述裸露段24，並且多個所述導電探針302的其中另一端則是用於可分離地頂抵於所述待測物O（如：多個所述金屬墊O1）。其中，當任一個所述導電探針302沿非平行所述預設方向D1的一測試方向D2受一外力壓迫時，所述絕緣彈性層3能通過相對應所述金屬導體2而吸收所述外力並產生形變，以提供一行程距離。
據此，本實施例所提供的所述探針卡裝置1000，其通過每個所述金屬導體2相對於所述測試方向D2呈非平行設置於所述絕緣彈性層3內，以使得所述絕緣彈性層3能夠取代現有垂直式探針卡的導電探針的部分功能，並且每個所述金屬導體2還能通過所述埋置段23與所述絕緣彈性層3的搭配而有效地縮短其長度。
進一步地說，所述導電探針302於本實施例中是用來傳遞信號與外力、但不需要通過變形來吸收外力與提供行程，因而所述導電探針302的長度可以被控制的很短，並且用來頂抵所述待測物O的所述導電探針302是可以被維修替換，據以有效地降低所述探針卡裝置1000的整體成本。
[本發明實施例的技術效果]
綜上所述，本發明實施例所公開的探針卡裝置與傳輸結構，其通過每個所述金屬導體相對於所述測試方向呈非平行設置於所述絕緣彈性層內，以使得所述絕緣彈性層能夠取代現有垂直式探針卡的導電探針的部分功能，並且每個所述金屬導體還能通過所述埋置段與所述絕緣彈性層的搭配而有效地縮短其長度。
再者，由於本發明實施例所公開的所述傳輸結構是以所述絕緣彈性層面向所述待測物，所以在所述傳輸結構用來測試所述待測物的過程中，即使所述絕緣彈性層觸碰到所述待測物，也比較不會造成所述待測物的損壞。
此外，本發明實施例所公開的探針卡裝置，其所具備的所述導電探針僅用來傳遞信號與外力、但不需要通過自身產生變形來吸收外力與提供行程，因而所述導電探針的長度可以被控制的很短，並且用來頂抵所述待測物的所述導電探針是可以被維修替換，據以有效地降低所述探針卡裝置的整體成本。
以上所公開的內容僅為本發明的優選可行實施例，並非因此侷限本發明的專利範圍，所以凡是運用本發明說明書及圖式內容所做的等效技術變化，均包含於本發明的專利範圍內。
1000:探針卡裝置 100:傳輸結構 1:支撐層 11:導引板 111:穿孔 12:內表面 13:外表面 14:連接線路 141:傳輸線 142:電容器 2:金屬導體 2a:目標導體 21:定位段 22:連接段 23:埋置段 231:預彎部 24:裸露段 25:突出部 3:絕緣彈性層 200:間距轉換板 201:連接墊 300:探針頭 301:探針座 302:導電探針 D1:預設方向 D2:測試方向 O:待測物 O1:金屬墊 α:傾斜角度 G:接地導體 P:電源導體 Tx、Rx:差分信號導體
圖1為本發明實施例一的探針卡裝置的平面示意圖。
圖2為本發明實施例一的傳輸結構的立體示意圖。
圖3為本發明實施例一的探針卡裝置的平面示意圖（二）。
圖4為本發明實施例一的探針卡裝置的平面示意圖（三）。
圖5為本發明實施例二的探針卡裝置的平面示意圖（一）。
圖6為本發明實施例二的探針卡裝置的平面示意圖（二）。
圖7為本發明實施例二的探針卡裝置的平面示意圖（三）。
圖8為本發明實施例二的探針卡裝置的平面示意圖（四）。
圖9為本發明實施例三的探針卡裝置的平面示意圖（一）。
圖10為本發明實施例三的探針卡裝置的平面示意圖（二）。
圖11為本發明實施例三的探針卡裝置的平面示意圖（三）。
圖12為本發明實施例三的探針卡裝置的平面示意圖（四）。
圖13為本發明實施例四的探針卡裝置的平面示意圖。
1000:探針卡裝置
100:傳輸結構
1:支撐層
11:導引板
111:穿孔
12:內表面
13:外表面
2:金屬導體
21:定位段
22:連接段
23:埋置段
24:裸露段
3:絕緣彈性層
200:間距轉換板
201:連接墊
D1:預設方向
D2:測試方向
O:待測物
O1:金屬墊
α:傾斜角度

Claims (10)

  1. 一種傳輸結構，其包括： 一支撐層，具有位於相反側的一內表面與一外表面； 多個金屬導體，各為一體成型的長形構造，並且多個所述金屬導體彼此間隔且皆沿一預設方向傾斜地插設於所述支撐層；其中，每個所述金屬導體包含： 一定位段，固持於所述支撐層內； 一連接段，自所述定位段的一端延伸所形成、並用來連接於一間距轉換板（space transformer）； 一埋置段，自所述定位段的另一端延伸所形成；及 一裸露段，自所述埋置段朝遠離所述定位段的方向延伸所形成、並用於可分離地頂抵於一待測物（device under test，DUT）；其中，所述埋置段的長度大於所述裸露段的長度；以及 一絕緣彈性層，形成於所述支撐層的所述內表面，以使每個所述金屬導體的所述埋置段固定且埋置於所述絕緣彈性層內，並且每個所述金屬導體的所述裸露段突伸出所述絕緣彈性層； 其中，當任一個所述金屬導體的所述裸露段沿非平行所述預設方向的一測試方向受一外力壓迫時，所述絕緣彈性層能通過相對應所述金屬導體的所述埋置段而吸收所述外力並產生形變，以提供一行程距離。
  2. 如請求項1所述的傳輸結構，其中，所述支撐層包含有彼此堆疊設置的兩個導引板，並且兩個所述導引板彼此錯位，以使每個所述金屬導體的所述定位段被固持而沿著所述預設方向設置。
  3. 如請求項1所述的傳輸結構，其中，任一個所述金屬導體的所述定位段是與所述支撐層的所述外表面相夾有介於56度～88度的一傾斜角度。
  4. 如請求項1所述的傳輸結構，其中，每個所述金屬導體的所述埋置段的至少部分區域形成有一預彎部；當任一個所述金屬導體的所述裸露段受所述外力壓迫時，所述埋置段傾向於所述預彎部產生形變而傳遞所述外力至所述絕緣彈性層。
  5. 如請求項1所述的傳輸結構，其中，所述支撐層包含有對應於所述內表面設置的一連接線路，多個所述金屬導體中的至少兩個所述金屬導體各定義為一目標導體，並且每個所述目標導體具有自所述埋置段延伸且埋置於所述絕緣彈性層內的一突出部；至少兩個所述目標導體的所述突出部抵接於所述連接線路而彼此電性耦接。
  6. 如請求項5所述的傳輸結構，其中，至少兩個所述目標導體分別為至少兩個接地導體、或是至少一對差分信號導體。
  7. 如請求項5所述的傳輸結構，其中，所述連接線路包含有形成於所述內表面的兩條傳輸線、及電性耦接兩條所述傳輸線的一電容器；至少兩個所述目標導體包含一電源導體與一接地導體，並且所述電源導體的所述突出部與所述接地導體的所述突出部分別抵接於兩條所述傳輸線。
  8. 一種探針卡裝置，其包括： 一傳輸結構，包含： 一支撐層，具有位於相反側的一內表面與一外表面； 多個金屬導體，各為一體成型的構造，並且多個所述金屬導體彼此間隔且皆沿一預設方向傾斜地插設於所述支撐層；其中，每個所述金屬導體包含： 一定位段，固持於所述支撐層內； 一連接段，自所述定位段的一端延伸所形成、並用來連接於一間距轉換板（space transformer）； 一埋置段，自所述定位段的另一端延伸所形成；及 一裸露段，自所述埋置段朝遠離所述定位段的方向延伸所形成；其中，所述埋置段的長度小於所述裸露段的長度；及 一絕緣彈性層，形成於所述支撐層的所述內表面，以使每個所述金屬導體的所述埋置段固定且埋置於所述絕緣彈性層內，並且每個所述金屬導體的所述裸露段位於所述絕緣彈性層的表面；以及 一探針頭，包含一探針座及固持於所述探針座的多個導電探針；其中，多個所述導電探針的其中一端分別抵接於多個所述金屬導體的所述裸露段，並且多個所述導電探針的其中另一端用於可分離地頂抵於一待測物（device under test，DUT）； 其中，當任一個所述導電探針沿非平行所述預設方向的一測試方向受一外力壓迫時，所述絕緣彈性層能通過相對應所述金屬導體而吸收所述外力並產生形變，以提供一行程距離。
  9. 如請求項8所述的探針卡裝置，其中，所述支撐層包含有彼此堆疊設置的兩個導引板，並且兩個所述導引板彼此錯位，以使每個所述金屬導體的所述定位段被固持而沿著所述預設方向設置；其中，任一個所述金屬導體的所述定位段是與所述支撐層的所述外表面相夾有介於56度～88度的一傾斜角度；其中，所述絕緣彈性層進一步限定為一彈性矽膠層，並且所述支撐層與所述絕緣彈性層的總厚度不大於2毫米（mm）。
  10. 如請求項8所述的探針卡裝置，其中，所述支撐層包含有對應於所述內表面設置的一連接線路，多個所述金屬導體中的至少兩個所述金屬導體各定義為一目標導體，並且每個所述目標導體具有自所述埋置段延伸且埋置於所述絕緣彈性層內的一突出部；至少兩個所述目標導體的所述突出部抵接於所述連接線路而彼此電性耦接。
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