TW202117233A - 用於洗滌器之燃燒器 - Google Patents

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李弼珩
申喜峻
李榮雄
盧明根
趙顯閏
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南韓商Ｃｓｋ股份有限公司
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Abstract

本發明提出一種用於洗滌器之燃燒器，其配備：第一噴嘴，其呈一管之形狀，且配備第一主體；第二噴嘴，其呈一管之形狀，且配備經定位以包繞該上述第一主體之外部圓周之第二主體；及第三噴嘴，其呈一管之形狀，且配備經定位以包繞該上述第二主體之外部圓周之第三主體。

Description

用於洗滌器之燃燒器
本發明係關於一種安裝在處理在電子工業製程期間產生的廢氣之洗滌器上之燃燒器。
電子工業製程(諸如半導體生產製程、LCD生產製程及OLED生產製程)期間產生的廢氣係由VOC、PFC氣體、濕氣及其他外來物質之一混合物組成。上述廢氣在半導體蝕刻程序期間及在化學吸附程序期間大量產生，且含有加速全球變暖的氣體。此外，已知上述廢氣中所含的PPC氣體在處理期間難以分解。上述廢氣中所含的PPC氣體係藉由使用加熱法、吸附法及電漿法之洗滌器處理。
上述加熱法洗滌器可包含：一燃燒器，其藉由產生火焰而加熱廢氣；一反應腔室，其附接至燃燒器之下部零件以執行燃燒及反應以產生副產物粒子；及一水槽，其定位於反應腔室之下部零件之一側處以收集副產物粒子及含水廢氣。上述燃燒器藉由使用所供應的氧化劑及燃料兩者形成火焰，並藉由加熱廢氣而分解廢氣。取決於製程，上述廢氣可在排放氣體之類型及體積上不同。
因此，上述燃燒器需取決於廢氣之類型形成適當火焰，以便更有效地燃燒廢氣。
[本發明試圖解決之問題]
本發明之目的係提供一種洗滌器燃燒器，其可減少燃燒廢氣之程式中之一氧化碳及氮氧化物之產生。 [解決問題之方法]
根據本發明之用於洗滌器之燃燒器包含：第一噴嘴，其配備呈一管之形狀之第一主體；第二噴嘴，其配備第二主體以包繞上述該第一主體之外部圓周；及第三噴嘴，其配備經定位以包繞上述該第二主體之外部圓周之第三本體。
此外，使用根據本發明之用於洗滌器之燃燒器，上述第一噴嘴可噴射氧化劑，上述第二噴嘴可噴射燃料或由燃料及氧化劑組成的混合氣體，且上述第三噴嘴可噴射氧化劑或由燃料及氧化劑組成的混合氣體。在此，從上述第一噴嘴噴射的氧化劑可在氧含量上與從上述第三噴嘴噴射的氧化劑不同。
此外，根據本發明之洗滌器燃燒器可配備：第一通道，其形成於上述第一主體內部，且從上述第一噴嘴噴射的氧化劑流動通過其中；第二通道，其形成於上述第一主體之外部圓周與上述第二主體之內部圓周之間，且從上述第二噴嘴噴射的燃料或由燃料及氧化劑組成的混合氣體流動通過其中；及第三通道，其形成於第二主體之外部圓周與第三本體之內部圓周之間，且氧化劑或由燃料及氧化劑組成的混合氣體流通通過其中。
此外，根據本發明之用於洗滌器之燃燒器可經定位，使得上述第一主體、第二主體及第三本體可具有相同中心軸線。
此外，使用根據本發明之用於洗滌器之燃燒器，上述第一主體、第二主體及第三本體之下端可定位於相同高度。
此外，使用根據本發明之用於洗滌器之燃燒器，上述第一主體、第二主體及第三本體之下端可定位於不同高度。
此外，使用根據本發明之用於洗滌器之燃燒器，上述第一主體之下端及上述第二主體之下端可定位於相同高度，且上述第三本體之下端可定位為低於上述第一主體之下端及上述第二主體之下端。
此外，根據本發明之用於洗滌器之燃燒器可進一步包含：第一分隔組件，其定位於上述第一主體與上述第二主體之間，以維持上述第一主體與上述第二主體之間之分隔距離；及第二分隔組件，其定位於上述第二主體與上述第三本體之間，以維持上述第二主體與上述第三本體之間之分隔距離。
此外，上述第一分隔組件及第二分隔組件可由多孔材料組成。 [本發明之效應]
取決於廢氣之類型，根據本發明之用於洗滌器之燃燒器可藉由改變供應至定位於內部之第一噴嘴的氧化劑之類型，及供應至定位於外側處之第三噴嘴的氧化劑之類型而改良火焰穩定性，並減少排放的一氧化碳及氮氧化物的產生。
此外，使用根據本發明之用於洗滌器之燃燒器，歸因於定位於外側處之第三噴嘴的端部比定位於內部之噴嘴向下突出更多之事實，可防止由廢氣流入火焰中而導致火焰的不穩定性。
此外，使用根據本發明之用於洗滌器之燃燒器，藉由對定位於外側之第三噴嘴使用抗腐蝕材料，可防止廢氣的腐蝕。
此外，使用根據本發明之用於洗滌器之燃燒器，歸因於由一多孔材料組成之分隔組件支撐噴嘴之事實，該等噴嘴之間之空間被一致地維持，使得燃料及氧化劑被一致地供應且火焰可一致地形成。
以下將藉由參考附圖及實施例詳細描述根據本發明之一實施例之用於洗滌器之燃燒器。
首先，將描述根據本發明之實施例之用於洗滌器之燃燒器。
圖1係根據本發明之一實施例的用於洗滌器之燃燒器之一垂直截面圖。圖2係針對圖1之A-A之一水平截面圖。圖3係針對圖1之B-B之一水平截面圖。圖4係根據本發明之另一實施例的用於洗滌器之燃燒器之一垂直截面圖。
當吾等參考圖1至圖3時，根據本發明之一實施例的用於洗滌器之燃燒器(10)包含第一噴嘴(110)、第二噴嘴(120)及第三噴嘴(130)。上述用於洗滌器之燃燒器(10)可進一步包含第一分隔組件(140)及第二分隔組件(150)。上述用於洗滌器之燃燒器(10)可形成為三管之形狀，其中第一噴嘴(110)、第二噴嘴(120)及第三噴嘴(130)具有相同中心軸線。上述用於洗滌器之燃燒器(10)安裝有一洗滌器以處理藉由半導體製程產生之廢氣以能夠燃燒廢氣。
取決於所處理廢氣之類型，上述用於洗滌器之燃燒器(10)可從第一噴嘴(110)、第二噴嘴(120)及第三噴嘴(130)選擇性地噴射燃料及氧化劑。舉例而言，上述第一噴嘴(110)可噴射氧化劑，第二噴嘴(120)可噴射燃料且第三噴嘴(130)可噴射氧化劑。此外，藉由上述第一噴嘴噴射的氧化劑之氧含量與藉由第三噴嘴噴射的氧化劑之氧含量可不同。舉例而言，從上述第一噴嘴(110)噴射的氧化劑之氧含量可比從第三噴嘴(130)噴射的氧化劑之氧含量更多。在此一情況下，當藉由第二噴嘴(120)噴射的燃料膨脹時，上述用於洗滌器之燃燒器(10)可與藉由第一噴嘴(110)噴射的氧化劑在內側處穩定地形成火焰。此外，上述用於洗滌器之燃燒器(10)能夠與藉由第三噴嘴(130)噴射的氧化劑穩定地保持火焰。此外，藉由上述第一噴嘴噴射的氧化劑之氧含量可相對少於藉由第三噴嘴噴射的氧化劑之氧含量。
此外，上述第一噴嘴(110)可噴射氧化劑，且上述第二噴嘴(120)及上述第三噴嘴(130)可噴射燃料。在此一情況下，使用上述用於洗滌器之燃燒器(10)，藉由第一噴嘴(110)噴射的氧化劑與藉由第二噴嘴(120)及第三噴嘴(130)噴射的燃料接觸以形成火焰。尤其是，當燃料在噴射於內側處之氧化劑的方向上膨脹時，上述用於洗滌器之燃燒器(10)能夠在相對內側處形成穩定火焰。
此外，上述第一噴嘴(110)可噴射氧化劑，且第二噴嘴(120)及第三噴嘴(130)可在混合燃料及氧化劑後噴射其等。此外，上述第一噴嘴(110)及第三噴嘴(130)可噴射氧化劑，且第二噴嘴(120)可混合燃料及氧化劑並噴射其等。在此一情況下，使用上述用於洗滌器之燃燒器(10)，歸因於燃料之部分在被噴射之前提前與氧化劑混合，可減少氮氧化物之產生。
對於上述氧化劑，可使用氧氣、CDA、空氣、氧氣+空氣、氧氣+CDA、氧氣+氮氣、CDA+氮氣、空氣+氮氣或氧氣+空氣+氮氣。此外，對於上述燃料，可使用氫氣(H2 )、甲烷(CH4 )、丙烷(C3 H8 )、天然氣(CH4 +C3 H8 +等等)。此外，對於上述燃料，可使用所有類型之烴燃料(Cn Hm )。
在以下描述中，內部、內側或內部圓周指代朝向圖1中之第一噴嘴(110)之中心軸線的方向或側，且外部、外側或外部圓周指代相反方向或側。此外，上側或頂部指代圖1中朝向上部零件的方向或側，且下側或底部指代圖1中朝向下部零件的方向或側。
上述第一噴嘴(110)可包含第一主體(111)及第一供應管(113)。上述第一噴嘴(110)可定位於用於洗滌器之燃燒器(10)的最內側處。上述第一噴嘴(110)可噴射氧化劑。上述第一噴嘴(110)可形成氧化劑流動通過其中之第一通道(110a)。
上述第一主體(111)可形成為其中上部零件及下部零件敞開的一管之形狀。上述第一主體(111)可具有形成於內部之第一通道(110a)。上述第一主體(111)可具有第一內徑、第一外徑及第一高度。上述第一主體(111)的上部零件及下部零件可具有相同第一內徑。此外，上述第一主體(111)在上部零件及下部零件處可具有相同第一直徑。即，上述第一主體(111)可形成為一直線管之形狀。上述第一內徑可根據噴射氧化劑之量而以適當直徑來判定。即，上述第一內徑可被判定為與氧化劑流動所需之第一通道(110a)的水平截面積相對應之直徑。
使用上述第一主體(111)，第一外徑取決於所需強度位準及耐熱位準判定，且可形成為具有適當厚度。取決於其上安裝有用於洗滌器之燃燒器(10)的洗滌器之結構，可適當判定上述第一高度。上述第一主體(111)可經形成，使得下部由一平坦表面組成。上述第一主體(111)可由諸如不鏽鋼之一抗腐蝕金屬材料組成。上述第一主體(111)可與諸如F及Cl之材料接觸，且可由一抗腐蝕材料組成。
上述第一供應管(113)可為具有與第一主體(111)之內徑相同之內徑之一管。取決於用於洗滌器之燃燒器(10)形成的位置，上述第一供應管(113)可形成為直線或曲線。上述第一供應管(113)之下端與第一主體(111)之上端連接，並向第一主體(111)供應從外部供應之氧化劑。
上述第二噴嘴(120)可包含第二主體(121)、第二密封環(122)及第二供應管(123)。上述第二噴嘴(120)可定位於用於洗滌器之燃燒器(10)處之第一噴嘴(110)之外側處。上述第二噴嘴(120)可形成燃料或氧化劑或兩者可流動通過其中之第二通道(120a)。上述第二噴嘴(120)可僅噴射由燃料及氧化劑組成之混合氣體的燃料。
上述第二主體(121)可形成為上部零件及下部零件敞開的一管之形狀。上述第二主體(121)可具有第二內徑、第二外徑及第二高度。上述第二主體(121)對於上部零件及下部零件可具有相同第二內徑。此外，上述第二主體(121)對於上部零件及下部零件可具有相同外徑。即，上述第二主體(121)可形成為一直線管之形狀。上述第二直徑可大於第一主體(111)之第一外徑。
上述第二主體(121)可定位於第一主體(111)之外側處，使得中心軸線與第一主體(111)之中心軸線相同定位。舉例而言，上述第二主體(121)可與第一主體(111)組合，以便以一水平截面為參考點與第一主體(111)形成一同心圓。上述第二主體(121)可經定位以完全包繞第一主體(111)之外部圓周，以便形成第二通道(120a)。即，上述第一主體(111)可插入上述第二主體(121)之內部。此外，上述第二通道(120a)可形成為具有第一主體(111)之外部圓周與第二主體(121)之內部圓周之間之空間。因此，上述第二內徑可取決於噴射燃料或混合氣體之量且取決於第一主體(111)之外徑適當判定。即，上述第二內徑可藉由第二通道(120a)的水平截面積及第一外徑判定。上述第二通道(120a)提供藉由第二噴嘴(120)噴射之燃料或由燃料及氧化劑組成之混合氣體流動通過其中之一通道。
此外，上述第二高度可根據其上安裝有用於洗滌器之燃燒器(10)的洗滌器之結構適當判定。上述第二高度可低於第一主體(111)之第一高度。上述第二主體(121)可經形成，使得下端由一平坦表面組成。此外，上述第二主體(121)可與第一主體(111)組合，使得下端定位於與第一主體(111)之下端之高度相同的高度。因此，上述第二主體(121)之上端可定位於低於第一主體(111)之上端之位置的位置處。上述第二主體(121)之第二外徑取決於所需強度位準及耐熱位準判定，且可形成為具有適當厚度。上述第二主體(121)可用諸如不鏽鋼之一抗腐蝕金屬材料形成。歸因於上述第二主體(121)可與諸如F及Cl之材料接觸之事實，其可用一抗腐蝕材料形成。
上述第二密封環(122)可包含第二貫穿孔(122a)。上述第二密封環(122)可形成為一板形狀，該板形狀具有與第二主體(121)之第二內徑或第二外徑相對應之直徑。上述第二貫穿孔(122a)可形成為具有與第一主體(111)之第一外徑相對應之一直徑。上述第二密封環(122)密封第二主體(121)之上端，並提供第一主體(111)插入其中之一通道。上述第一主體(111)通過待組合之第二貫穿孔(122a)插入第二主體(121)之內側。
上述第二供應管(123)可為具有一特定內徑之一管。使用上述第二供應管(123)，一端可與第二主體(121)之上部零件組合，以便與第二通道(120a)連接。取決於用於洗滌器之燃燒器(10)形成的位置，上述第二供應管(123)可形成一直線或曲線。上述第二供應管(123)向第二主體(121)供應從外部供應之燃料或混合氣體。
上述第三噴嘴(130)可包含第三主體(131)、第三密封環(132)及第三供應管(133)。第三噴嘴可定位於用於洗滌器之燃燒器(10)上之第二噴嘴(120)之外側處。上述第三噴嘴(130)可形成燃料及氧化劑之至少一者流動通過其中之第三通道(130a)。上述第三噴嘴(130)可僅噴射燃料或可噴射由燃料及氧化劑組成之混合氣體。
上述第三主體(131)可形成為上部零件及下部零件敞開的一管之形狀。上述第三主體(131)可具有第三內徑、第三外徑及第三高度。上述第三主體(131)可在上部零件及下部零件處具有相同內徑。此外，上述第三主體(131)可在上部零件及下部零件處具有相同外徑。即，上述第三主體(131)可形成為一直線管之形狀。上述第三內徑可大於第二主體(121)之外徑。上述第三主體(131)可定位於第一主體(121)之外側處，以使其軸線定位於與第一主體(111)之中心軸線相同的位置處。舉例而言，上述第二主體(121)可插入第二主體(131)之內側。此外，上述第三主體(131)可與第二主體(121)組合，以便以水平截面為參考點與第一主體(111)及第二主體(121)形成一同心圓。
上述第三主體(131)的內部圓周可經定位以包繞第二主體(121)之整個外部圓周，以形成第三通道(130a)。上述第三通道(130a)可形成為第二主體(121)之外部圓周與第三主體(131)之內部圓周之間之空間。因此，上述第三內徑可根據噴射燃料或混合氣體之量且根據第二主體(121)之外徑適當判定。即，第三直徑可根據第三通道(130a)之水平截面積及第二外徑來判定。上述第三通道(130a)提供藉由第三噴嘴(130)噴射之氧化劑或由燃料及氧化劑組成之混合氣體流動通過其中之一通道。
此外，上述第三高度可根據其上安裝有用於洗滌器之燃燒器(10)的洗滌器之結構適當判定。上述第三高度可低於第二主體(121)之第二高度。上述第三主體(131)可經形成，使得下端形成一平坦表面。此外，上述第三主體(131)可與第二主體(121)組合，使得下端具有與第一主體(111)之下端及第二主體(121)之下端相同的高度。上述第三主體(131)可定位為低於第二主體(121)之上端。
另一方面，根據另一實施例，當吾等參考圖4時，上述第三主體(131)之下端可低於第一主體(111)之下端及第二主體(121)之下端。此時，上述第一主體(111)與第二主體(121)可定位於相同高度。上述第三主體(131)可藉由包繞經形成火焰之外側而攔截廢氣流入至形成火焰之區域。因此，上述用於洗滌器之燃燒器(10)可防止火焰被在半導體製程期間供應之廢氣熄滅。尤其是，即使在於上述半導體製程中供應之廢氣中含有大量氮氣之情況下，仍可防止火焰熄滅。
此外，儘管未明確繪示，上述用於洗滌器之燃燒器(10)對於第一主體(111)、第二主體(121)及第三主體(131)之下端可具有不同高度，以藉由預先混合燃料及氧化劑來提高燃燒效率或藉由燃料之反向膨脹來提高燃燒效率。
上述第三主體(131)之第三外徑根據所需強度位準及耐熱位準判定，且該第三主體可形成為具有適當厚度。上述第三主體(131)可用諸如不鏽鋼之一抗腐蝕金屬材料形成。上述第三主體(131)可用一抗腐蝕材料形成，此係因為其與諸如F及Cl之材料接觸。
上述第三密封環(132)可包含第三貫穿孔(132a)。上述第三密封環(132)可用一板形成，該板具有與第三主體(131)之第三內徑或第三外徑相對應之直徑。上述第三貫穿孔(132a)可形成為具有與第二主體(121)之第二外徑相對應之直徑。上述第三密封環(132)提供在密封第三主體(131)之上端的同時第二主體(121)通過其插入之一通道。上述第二主體(121)通過第三貫穿孔(132a)插入第三主體(131)之內側。
上述第三供應管(133)可形成為具有特定內徑之一管。上述第三供應管(133)之一端可在與第三主體(131)之上部零件組合的同時連接至第三通道(130a)。取決於用於洗滌器之燃燒器(10)形成的位置，上述第三供應管(133)可形成為直線或曲線。上述第三供應管(133)向第三主體(131)供應從外部供應之燃料或混合氣體。
上述第一分隔組件(140)係呈一塊、條或板之形狀，且可形成為具有與第一主體(111)與第二主體(121)之間之距離相對應的長度或寬度。上述第一分隔組件(140)可形成為與第一主體(111)之外徑與第二主體(121)之外徑之間之距離相對應的長度。在此一情況下，上述第一分隔組件(140)之內端可與第一主體(111)之外部圓周接觸，且外端可經組合，使得藉由穿透第二主體(121)使該外端曝露於外部圓周。此外，上述第一分隔組件(140)可形成為與第一主體(111)之外徑與第二主體(121)之內徑之間之距離相對應的長度。在此一情況下，上述第一分隔組件(140)之內端可與第一主體(111)之外部圓周接觸，其外端可與第二主體(121)之內部圓周接觸。上述第一分隔組件(140)之內端可呈與第一主體(111)之外徑或內徑相對應之一圓弧之形狀，且該外端可形成為與第二主體(121)之內徑或外徑相對應之一圓弧之形狀。
上述第一分隔組件(140)可用一多孔材料形成。舉例而言，上述第一分隔組件(140)可由諸如多孔板、珠、多孔發泡體、一燒結板、金屬纖維及填充床之材料組成。
上述第一分隔組件(140)之一或多者可藉由根據第一主體(111)之高度方向分隔來定位。此外，上述第一分隔組件(140)之至少兩個可藉由沿著第一主體(111)之圓周方向彼此分隔來定位。上述第一分隔組件(140)藉由支撐第一主體(111)及第二主體(121)而維持第一主體(111)與第二主體(121)之間之分隔距離。更明確言之，上述第一分隔組件(140)的內側及外側分別與第一主體(111)及第二主體(121)組合，使得第一主體(111)之外部圓周與第二主體(121)之內部圓周之間之空間保持一致。
上述第二分隔組件(150)係一塊、條或板之形狀，且可形成為與第二主體(121)與第三主體(131)之間之距離相對應的長度或寬度。上述第二分隔組件(150)可形成為與第二主體(121)之外徑與第三主體(131)之外徑之間之距離相對應的長度。在此一情況下，上述第二分隔組件(150)可經組合，使得其內側端與第二主體(121)之外部圓周接觸，且外側端穿透第三主體(131)並曝露於外部圓周。此外，上述第二分隔組件(150)可形成為與第二主體(121)之外徑與第三主體(131)之內徑之間之距離相對應的長度。在此一情況下，上述第二分隔組件(150)之內側端可與第二主體(121)之外部圓周接觸，且外側端可與第三主體(131)之內部圓周接觸。上述第二分隔組件(150)之內側端可形成為與第二主體(121)之外徑或內徑相對應之一圓弧之形狀，且該外側端可形成為與第三主體(131)之內徑或外徑相對應之一圓弧之形狀。
上述第二分隔組件(150)可用一多孔材料形成。舉例而言，上述第二分隔組件(150)可用諸如多孔板、珠、多孔發泡體、一燒結板、金屬纖維及填充床之材料形成。
上述第二分隔組件(150)之一或多者可藉由沿著第二主體(121)之高度方向分隔來定位。此外，上述第二分隔組件(150)之至少兩個可沿著第二主體(121)之圓周方向彼此分隔定位。上述第二分隔組件(150)藉由支撐第二主體(121)及第三主體(131)而維持第二主體(121)與第三主體(131)之間之分隔距離。更明確言之，上述分隔組件(150)的內側及外側分別與第二主體(121)及第三主體(131)組合，以將第二主體(121)之外部圓周與第三主體(131)之內部圓周之間之距離保持恆定。
上述用於洗滌器之燃燒器(10)可經組合，使得第一主體(111)、第二主體(121)及第三主體(131)可彼此分隔。舉例而言，上述第二主體(121)之第二密封環(122)可組合至第一主體(111)之外部圓周，使得可分隔。此外，上述第三主體(131)之第三密封環(132)可與第二主體(121)之外部圓周組合以可分隔。另外，上述第一分隔組件(140)及上述第二分隔組件(150)可分別與第一主體(111)及第二主體(121)或與第二主體及第三主體(131)組合。因此，若上述用於洗滌器之燃燒器(10)之任何一個主體變得嚴重腐蝕，則可僅藉由更換適用主體來降低整體維護成本。
此外，藉由調整從第一噴嘴(110)及第三噴嘴(130)噴射的氧化劑，上述用於洗滌器之燃燒器(10)可在富燃料燃燒條件下形成部分氧化火焰。因此，上述用於洗滌器之燃燒器(10)可藉由使用藉由部分氧化火焰產生的氫自由基而提升NF3 及CF4 DRE(%)。
此外，上述用於洗滌器之燃燒器(10)可藉由憑藉取決於藉由半導體生產製程排放之廢氣之類型(舉例而言，PFC氣體之類型)區分從第一噴嘴(110)及第二噴嘴(120)噴射的氧化劑之類型來調整火焰之溫度及強度而提升PFC氣體之DRE(%)。
此外，上述用於洗滌器之燃燒器(10)可藉由使用具有用於從第一噴嘴(110)或第三噴嘴(130)噴射的氧化劑之減少氧氣或氮氣之量的混合氣體而減少在燃燒程序期間排放的一氧化碳之量及氮氧化物之量。
將概要地描述其上安裝有根據本發明之一實施例的用於洗滌器之燃燒器之一洗滌器。
圖5係其上安裝有根據本發明之一實施例之用於洗滌器之燃燒器之洗滌器部件之一部分垂直截面圖。
上述洗滌器可藉由包含一燃燒器(10)、一殼體(20)及一廢氣流入管(30)而形成。上述洗滌器能夠處理自半導體生產製程排放的廢氣。上述洗滌器之殼體(20)及廢氣流入管(30)可形成為多種結構，且圖5所繪示之結構係一闡釋性結構。
儘管未繪示上述洗滌器，但其可定位於殼體(20)之下部零件處，且可進一步包含燃燒廢氣之一燃燒腔室及一水槽。
由於上述殼體(20)及上述廢氣流入管(30)係由洗滌器使用的一般結構，因此此處將省略具體描述。
上述用於洗滌器之燃燒器(10)可形成為根據上述圖1至圖4之用於洗滌器之燃燒器(10)。
當在用於洗滌器之燃燒器(10)中形成火焰時，上述洗滌器能夠藉由透過廢氣流入管(30)帶入廢氣來燃燒廢氣。此時，從上述廢氣流入管(30)流入之廢氣可藉由在與火焰接觸後加熱而燃燒。
上文描述僅係用以具體體現根據根據本發明之用於洗滌器之燃燒器之一實施例。本發明不限於上述實施例。如下文發明申請專利範圍段落所主張，在本發明所屬領域中具有一般知識水準者能夠在不偏離本發明之要點之情況下，進行各種改變之範疇係由本發明之技術精神所涵蓋。
10:燃燒器 20:殼體 30:廢氣流入管 110:第一噴嘴 110a:第一通道 111:第一主體 113:第一供應管 120:第二噴嘴 120a:第二通道 121:第二主體 122:第二密封環 122a:第二貫穿孔 123:第二供應管 130:第三噴嘴 130a:第三通道 132:第三密封環 132a:第三貫穿孔 133:第三供應管 140:第一分隔組件 150:第二分隔組件
圖1係根據本發明之一實施例的用於洗滌器之燃燒器之一垂直截面圖。 圖2係針對圖1之A-A之一水平截面圖。 圖3係針對圖1之B-B之一水平截面圖。 圖4係根據本發明之另一實施例的用於洗滌器之燃燒器之一垂直截面圖。 圖5係根據本發明之一實施例的安裝有用於洗滌器之燃燒器之一洗滌器之一部分垂直截面圖。
10:燃燒器
110:第一噴嘴
110a:第一通道
111:第一主體
113:第一供應管
120:第二噴嘴
120a:第二通道
121:第二主體
122:第二密封環
122a:第二貫穿孔
123:第二供應管
130:第三噴嘴
130a:第三通道
132:第三密封環
132a:第三貫穿孔
133:第三供應管
140:第一分隔組件
150:第二分隔組件

Claims (10)

  1. 一種用於洗滌器之燃燒器，其配備：第一噴嘴，其呈一管之形狀，且配備第一主體；第二噴嘴，其呈一管之形狀，且配備經定位以包繞該上述第一主體之外部圓周之第二主體；及第三噴嘴，其呈一管之形狀，且配備經定位以包繞該上述第二主體之外部圓周之第三主體。
  2. 如請求項1之用於洗滌器之燃燒器，其中該上述第一噴嘴噴射氧化劑，該上述第二噴嘴噴射燃料或由燃料及氧化劑組成的混合氣體，且該上述第三噴嘴噴射氧化劑或由燃料及氧化劑組成的混合氣體。
  3. 如請求項2之用於洗滌器之燃燒器，其中從該上述第一噴嘴噴射的該氧化劑在氧含量上與從該上述第三噴嘴噴射的該氧化劑不同。
  4. 如請求項2之用於洗滌器之燃燒器，其配備：一第一通道，其形成於該上述主體內部，且從該上述第一噴嘴噴射的該氧化劑流動通過其中；一第二通道，其係形成於該上述第一主體之該外部圓周與該上述第二主體之內部圓周之間，且從該上述第二噴嘴噴射的燃料或由燃料及氧化劑組成的混合氣體流動通過其中；及一第三通道，其係形成於該第二主體之該外部圓周與該第三主體之內部圓周之間，且從該上述第三噴嘴噴射的該氧化劑或由燃料及氧化劑組成的混合氣體流動通過其中。
  5. 如請求項1之用於洗滌器之燃燒器，其中該上述第一主體、第二主體及第三主體經定位以具有相同中心軸線。
  6. 如請求項1之用於洗滌器之燃燒器，其中該上述第一主體、第二主體及第三主體之下端具有相同高度。
  7. 如請求項1之用於洗滌器之燃燒器，其中該上述第一主體、第二主體及第三主體之該等下端定位於不同高度。
  8. 如請求項1之用於洗滌器之燃燒器，其中該上述第一主體及第二主體之該等下端定位於相同高度，且其中該上述第三主體之該下端定位為低於該上述第一主體及該上述第二主體之該等下端。
  9. 如請求項1之用於洗滌器之燃燒器，其包含：第一分隔組件，其定位於該上述第一主體與該第二主體之間以保持該上述第一主體與第二主體之間之分隔距離；及第二分隔組件，其定位於該上述第二主體與該第三主體之間以保持該上述第二主體與該第三主體之間之分隔距離。
  10. 如請求項9之用於洗滌器之燃燒器，其中該上述第一分隔組件及該第二分隔組件係由多孔材料組成。
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