TW201913068A - 致動傳感模組 - Google Patents

致動傳感模組 Download PDF

Info

Publication number
TW201913068A
TW201913068A TW106128417A TW106128417A TW201913068A TW 201913068 A TW201913068 A TW 201913068A TW 106128417 A TW106128417 A TW 106128417A TW 106128417 A TW106128417 A TW 106128417A TW 201913068 A TW201913068 A TW 201913068A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
sensor
actuating
sensor module
actuator
module
Prior art date
Application number
TW106128417A
Other languages
English (en)
Other versions
TWI650545B (zh
Inventor
莫皓然
薛達偉
莫立邦
陳世昌
林景松
韓永隆
黃啟峰
蔡長諺
Original Assignee
研能科技股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 研能科技股份有限公司 filed Critical 研能科技股份有限公司
Priority to TW106128417A priority Critical patent/TWI650545B/zh
Priority to JP2018143698A priority patent/JP7148307B6/ja
Priority to EP18187198.9A priority patent/EP3446782A1/en
Priority to US16/054,100 priority patent/US11391708B2/en
Application granted granted Critical
Publication of TWI650545B publication Critical patent/TWI650545B/zh
Publication of TW201913068A publication Critical patent/TW201913068A/zh

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/0004Gaseous mixtures, e.g. polluted air
    • G01N33/0009General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/50Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
    • B01L3/502Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
    • B01L3/5027Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
    • B01L3/502715Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by interfacing components, e.g. fluidic, electrical, optical or mechanical interfaces
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/50Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
    • B01L3/502Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
    • B01L3/5027Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
    • B01L3/50273Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by the means or forces applied to move the fluids
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/02Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B43/04Pumps having electric drive
    • F04B43/043Micropumps
    • F04B43/046Micropumps with piezoelectric drive
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/20Other details, e.g. assembly with regulating devices
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/44Mechanical actuating means
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D11/00Component parts of measuring arrangements not specially adapted for a specific variable
    • G01D11/24Housings ; Casings for instruments
    • G01D11/245Housings for sensors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/02Devices for withdrawing samples
    • G01N1/22Devices for withdrawing samples in the gaseous state
    • G01N1/2273Atmospheric sampling
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/02Devices for withdrawing samples
    • G01N1/22Devices for withdrawing samples in the gaseous state
    • G01N1/24Suction devices
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/26Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
    • G01N27/403Cells and electrode assemblies
    • G01N27/406Cells and probes with solid electrolytes
    • G01N27/407Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/20Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00Additional constructional details
    • B01L2300/02Identification, exchange or storage of information
    • B01L2300/023Sending and receiving of information, e.g. using bluetooth
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00Additional constructional details
    • B01L2300/06Auxiliary integrated devices, integrated components
    • B01L2300/0627Sensor or part of a sensor is integrated
    • B01L2300/0663Whole sensors
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2400/00Moving or stopping fluids
    • B01L2400/04Moving fluids with specific forces or mechanical means
    • B01L2400/0403Moving fluids with specific forces or mechanical means specific forces
    • B01L2400/0433Moving fluids with specific forces or mechanical means specific forces vibrational forces
    • B01L2400/0439Moving fluids with specific forces or mechanical means specific forces vibrational forces ultrasonic vibrations, vibrating piezo elements
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/20Other details, e.g. assembly with regulating devices
    • F15B2015/208Special fluid pressurisation means, e.g. thermal or electrolytic

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Hematology (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Clinical Laboratory Science (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Food Science & Technology (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Arrangements For Transmission Of Measured Signals (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Abstract

一種致動傳感模組,包含傳感器、致動器及儲能元件,其中傳感器用以檢測流體;致動器鄰設於傳感器,用以輸送該流體,並設有至少一個通道;儲能元件為石墨電池,其輸出能量至傳感器及致動器,以使其致動,促使致動器傳輸流體流通並經過傳感器處,以供傳感器監測流通之流體。

Description

致動傳感模組
本案關於一種電子裝置,尤指一種可應於電子裝置監測環境之致動傳感模組。
目前人類在生活上對環境的監測要求愈來愈重視,例如一氧化碳、二氧化碳、揮發性有機物(Volatile Organic Compound,VOC)、PM2.5等等環境的監測,環境中這些氣體暴露會對人體造成不良的健康影響,嚴重的甚至危害到生命。因此環境監測紛紛引起各國重視,要如何去實施環境監測是目前急需要去重視的課題。
可攜式裝置在現代生活中被廣泛使用及應用,因此利用此可攜式裝置來監測周圍環境氣體是可行的,若又能即時提供監測資訊,警示處在環境中的人,能夠即時預防或逃離,避免遭受環境中的氣體暴露造成人體健康影響及傷害,所以利用可攜式裝置來監測周圍環境是非常好的應用。
然,在可攜式裝置中提供額外傳感器來監測環境,雖能向可攜式裝置之使用者提供關於使用者之環境的多元資訊,但對於監測敏度、精準之最佳效能就需要去考量,例如,傳感器單靠環境中流體自然流通之引流,不僅無法獲取穩定一致性流體流通量去穩定監測,且環境中流體自然流通之引流要到達接觸傳感器之監測反應作用時間拉長,就會影響到即時監測之因素。
有鑑於此,要如何能夠提供解決傳感器之監測準度及傳感器加快監測反應速度等問題,實為目前迫切需要解決之問題。
本案之主要目的在於提供一種致動傳感模組,包含至少一個傳感器、至少一個致動器以及一儲能元件所整合的模組設置,致動器能加快流體產生流動,並提供穩定一致性流量,讓傳感器能獲取穩定一致性流體流通直接監測,且縮短傳感器之監測反應作用時間,達成精準之監測。
本案之另一目的在於提供一種致動傳感模組,結合監測環境之致動傳感模組應用,以構成可攜式之監測空氣品質之裝置,即具有可偵測過濾防護罩外部空氣品質監測之功能,並可傳送一監測量測之輸出數據,發送給一連結裝置顯示、儲存及傳送,達到即時顯示資訊及通報之效用,同時能建構成雲端資料庫,以啟動空氣品質通報機制及空氣品質處理機制,如此使用者可即時穿戴空氣過濾防護器來防範空氣汙染對人體造成不良的健康影響。
為達上述目的,本案之較廣義實施態樣為提供一種致動傳感模組,包含:至少一傳感器,用以檢測流體;至少一致動器,鄰設於該傳感器,用以輸送該流體,並設有至少一個通道;以及一儲能元件,為一石墨電池,輸出能量至該至少一傳感器及該至少一致動器以使其致動,促使該致動器傳輸流體流通並經過該傳感器處,以供該傳感器監測流通之流體。
體現本案特徵與優點的一些典型實施例將在後段的說明中詳細敘述。應理解的是本案能夠在不同的態樣上具有各種的變化,其皆不脫離本案的範圍,且其中的說明及圖示在本質上當作說明之用,而非用以限制本案。
請參閱第1圖及第2A圖、第2B圖所示,本案致動傳感模組1主要在一載體11上整合傳感器12、致動器13、以及一儲能元件14所構成之模組設置,載體11可為一基板(PCB),傳感器12與致動器13可以陣列安裝於上,不以此為限,也可以其它支撐整合傳感器12與致動器13之平台。
本案致動傳感模組1為達到可攜式之目的,就須考量整體體積要輕薄短小以達到微型化之設計,以具備使用者能夠隨身可攜之便利目的,因此考量儲能元件14予以微型化之設計,乃將儲能元件14採用一摻雜石墨烯材料而誘導石墨烯化學勢能量轉換的電池,採用石墨烯之儲能材料電池,不僅增加石墨烯載流子密度(減少電池串聯電阻),也增加電池的內置電勢(增加開路電壓),可達到整體薄型化之設計,達到致動傳感模組1具備可攜式之目的。如此儲能元件14輸出能量,以提供至少一傳感器12及至少一致動器13的驅動電源或能量,藉此以使傳感器12及致動器13致動,促使致動器13傳輸流體通過傳感器12上量測所接收流體,流體可為氣體或液體,但不以此為限。
如第2A圖、第2B圖所示,致動傳感模組1進一步包含一本體2,本體2設有一監測腔室21,且傳感器12與致動器13皆設置於監測腔室21內部,且本體2具有一入口通道211及一出口通道212,以供流體由入口通道211進入監測腔室21內,並由監測腔室21經出口通道212排出,本實施例之流體為空氣,並且在入口通道211、出口通道212之外表面分別貼附一防護膜3,防護膜3為一防水、防塵之膜狀結構,且其僅供氣體穿透,但不以此為限,如此入口通道211、出口通道212所皆可以此防護膜3作防水、防塵過濾,以避免監測腔室21內部元件因水氣或粉塵堆積而導致受損之情形。
本案之傳感器12對應設置於入口通道211,而致動器13對應設置於出口通道212之位置處,且致動器13置於傳感器12一側,並設有至少一個通道136,如此致動器13受驅動而致動產生氣體流動,流動方向如第2B圖所示箭頭所指方向流動,因此通道136處會產生一引流,將氣體由入口通道211導入流通過傳感器12處,以令傳感器12量測所接收氣體,且讓致動器13導引氣體能提供維持穩定且一致性流量,促使在傳感器12處能獲取穩定一致性氣體流通監測資訊,並縮短傳感器12之監測反應作用時間,達成精準之監測。
本案之傳感器12可包括以下各者之傳感器:溫度傳感器、揮發性有機化合物傳感器(例如,量測甲醛、氨氣之傳感器)、微粒傳感器(例如,PM2.5之微粒傳感器)、一氧化碳傳感器、二氧化碳傳感器、氧氣傳感器、臭氧傳感器、其他氣體傳感器、濕度傳感器、水分傳感器、量測水或其他液體中或空氣中之化合物及/或生物學物質之傳感器(例如,水質傳感器)、其他液體傳感器,或用於量測環境之光傳感器,亦可為該等傳感器之任意組合而成之群組,均不以此為限;或者為監測細菌、病毒及微生物之至少其中之一或其任意組合而成之群組之傳感器。或者為監測生物標記(Bimarker)的石墨烯傳感器,能測量人呼出的氣息中的亞硝酸鹽濃度。
此外,致動器13為能將控制訊號轉換成具有推動被控系統之動力裝置,致動器13可以包含一電動致動器、一磁力致動器、一熱動致動器、一壓電致動器及一流體致動器之至少其中之一或其任意組合而成之群組。例如,交直流馬達、步進馬達等電動致動器,磁性線圈馬達等磁力致動器,熱泵等熱動致動器,壓電泵等壓電驅動器,氣體泵、液體泵等流體致動器。
於本案實施例中,致動傳感模組1之致動器13係可為一流體致動器,以下以流體致動器對致動器13做說明:
本案之流體致動器13可為一壓電致動泵浦之驅動結構,或者一微機電系統(MEMS)泵浦之驅動結構。
本實施例以下就以壓電致動泵浦之流體致動器13之作動來說明: 請參閱第3A圖及第3B圖所示,流體致動器13包括進氣板131、共振片132、壓電致動元件133、絕緣片134a、134b及導電片135等結構,其中壓電致動元件133對應於共振片132而設置,並使進氣板131、共振片132、壓電致動元件133、絕緣片134a、導電片135及另一絕緣片134b等依序堆疊設置,其組裝完成之剖面圖係如第5圖所示。
於本實施例中,進氣板131具有至少一進氣孔131a,其中進氣孔131a之數量以4個為較佳,但不以此為限。進氣孔131a係貫穿進氣板131,用以供氣體自裝置外順應大氣壓力之作用而自該至少一進氣孔131a流入流體致動器13之中。進氣板131上具有至少一匯流排孔131b,用以與進氣板131另一表面之該至少一進氣孔131a對應設置。於匯流排孔131b的中心交流處係具有中心凹部131c,且中心凹部131c係與匯流排孔131b相連通,藉此可將自該至少一進氣孔131a進入匯流排孔131b之氣體引導並匯流集中至中心凹部131c,以實現氣體傳遞。於本實施例中,進氣板131具有一體成型的進氣孔131a、匯流排孔131b及中心凹部131c,且於中心凹部131c處即對應形成一匯流氣體的匯流腔室,以供氣體暫存。於一些實施例中,進氣板131之材質可為例如但不限於不鏽鋼材質所構成。於另一些實施例中,由該中心凹部131c處所構成之匯流腔室之深度與匯流排孔131b之深度相同,但不以此為限。共振片132係由一可撓性材質所構成,但不以此為限,且於共振片132上具有一中空孔洞132c,係對應於進氣板131之中心凹部131c而設置,以使氣體流通。於另一些實施例中,共振片132係可由一銅材質所構成,但不以此為限。
壓電致動元件133係由一懸浮板1331、一外框1332、至少一支架1333以及一壓電片1334所共同組裝而成,其中,該壓電片1334貼附於懸浮板1331之第一表面1331c,用以施加電壓產生形變以驅動該懸浮板1331彎曲振動,以及該至少一支架1333係連接於懸浮板1331以及外框1332之間,於本實施例中,該支架1333係連接設置於懸浮板1331與外框1332之間,其兩端點係分別連接於外框1332、懸浮板1331,以提供彈性支撐,且於支架1333、懸浮板1331及外框1332之間更具有至少一空隙1335,該至少一空隙1335係與氣體通道相連通,用以供氣體流通。應強調的是,懸浮板1331、外框1332以及支架1333之型態及數量不以前述實施例為限,且可依實際應用需求變化。另外,外框1332係環繞設置於懸浮板1331之外側,且具有一向外凸設之導電接腳1332c,用以供電連接之用,但不以此為限。
懸浮板1331係為一階梯面之結構(如第4圖所示),意即於懸浮板1331之第二表面1331b更具有一凸部1331a,該凸部1331a可為但不限為一圓形凸起結構。懸浮板1331之凸部1331a係與外框1332之第二表面1332a共平面,且懸浮板1331之第二表面1331b及支架1333之第二表面1333a亦為共平面,且該懸浮板1331之凸部1331a及外框1332之第二表面1332a與懸浮板1331之第二表面1331b及支架1333之第二表面1333a之間係具有一特定深度。懸浮板1331之第一表面1331c,其與外框1332之第一表面1332b及支架1333之第一表面1333b為平整之共平面結構,而壓電片1334則貼附於此平整之懸浮板1331之第一表面1331c處。於另一些實施例中,懸浮板1331之型態亦可為一雙面平整之板狀正方形結構,並不以此為限,可依照實際施作情形而任施變化。於一些實施例中,懸浮板1331、支架1333以及外框1332係可為一體成型之結構,且可由一金屬板所構成,例如但不限於不鏽鋼材質所構成。又於另一些實施例中,壓電片1334之邊長係小於該懸浮板1331之邊長。再於另一些實施例中,壓電片1334之邊長係等於懸浮板1331之邊長,且同樣設計為與懸浮板1331相對應之正方形板狀結構,但並不以此為限。
於本實施例中,如第3A圖所示,流體致動器13之絕緣片134a、導電片135及另一絕緣片134b係依序對應設置於壓電致動元件133之下,且其形態大致上對應於壓電致動元件133之外框1332之形態。於一些實施例中,絕緣片134a、134b係由絕緣材質所構成,例如但不限於塑膠,俾提供絕緣功能。於另一些實施例中,導電片135可由導電材質所構成,例如但不限於金屬材質,以提供電導通功能。於本實施例中,導電片135上亦可設置一導電接腳135a,以實現電導通功能。
於本實施例中,如第5圖所示,流體致動器13係依序由進氣板131、共振片132、壓電致動元件133、絕緣片134a、導電片135及另一絕緣片134b等堆疊而成,且於共振片132與壓電致動元件133之間係具有一間隙h,於本實施例中,係於共振片132及壓電致動元件133之外框1332周緣之間的間隙h中填入一填充材質,例如但不限於導電膠,以使共振片132與壓電致動元件133之懸浮板1331之凸部1331a之間可維持該間隙h之深度,進而可導引氣流更迅速地流動,且因懸浮板1331之凸部1331a與共振片132保持適當距離使彼此接觸干涉減少,促使噪音產生可被降低。於另一些實施例中,亦可藉由加高壓電致動元件133之外框1332之高度,以使其與共振片132組裝時增加一間隙,但不以此為限。
請參閱第3A圖及第3B圖、第5圖所示,於本實施例中,當進氣板131、共振片132與壓電致動元件133依序對應組裝後,於共振片132具有一可動部132a及一固定部132b,可動部132a處可與其上的進氣板131共同形成一匯流氣體的腔室,且在共振片132與壓電致動元件133之間更形成一第一腔室130,用以暫存氣體,且第一腔室130係透過共振片132之中空孔洞132c而與進氣板131之中心凹部131c處的腔室相連通,且第一腔室130之兩側則由壓電致動元件133之支架1333之間的空隙1335而與流體通道相連通。
請參閱第3A圖、第3B圖、第5圖、第6A圖至第6E圖,本案之流體致動器13之作動流程簡述如下。當流體致動器13進行作動時,壓電致動元件133受電壓致動而以支架1333為支點,進行垂直方向之往復式振動。如第6A圖所示,當壓電致動元件133受電壓致動而向下振動時,由於共振片132係為輕、薄之片狀結構,是以當壓電致動元件133振動時,共振片132亦會隨之共振而進行垂直之往復式振動,即為共振片132對應中心凹部131c的部分亦會隨之彎曲振動形變,即該對應中心凹部131c的部分係為共振片132之可動部132a,是以當壓電致動元件133向下彎曲振動時,此時共振片132對應中心凹部131c的可動部132a會因氣體的帶入及推壓以及壓電致動元件133振動之帶動,而隨著壓電致動元件133向下彎曲振動形變,則氣體由進氣板131上的至少一進氣孔131a進入,並透過至少一匯流排孔131b以匯集到中央的中心凹部131c處,再經由共振片132上與中心凹部131c對應設置的中空孔洞132c向下流入至第一腔室130中。其後,由於受壓電致動元件133振動之帶動,共振片132亦會隨之共振而進行垂直之往復式振動,如第6B圖所示,此時共振片132之可動部132a亦隨之向下振動,並貼附抵觸於壓電致動元件133之懸浮板1331之凸部1331a上,使懸浮板1331之凸部1331a以外的區域與共振片132兩側之固定部132b之間的匯流腔室的間距不會變小,並藉由此共振片132之形變,以壓縮第一腔室130之體積,並關閉第一腔室130中間流通空間,促使其內的氣體推擠向兩側流動,進而經過壓電致動元件133之支架1333之間的空隙1335而向下穿越流動。之後,如第6C圖所示,共振片132之可動部132a向上彎曲振動形變,而回復至初始位置,且壓電致動元件133受電壓驅動以向上振動,如此同樣擠壓第一腔室130之體積,惟此時由於壓電致動元件133係向上抬升,因而使得第一腔室130內的氣體會朝兩側流動,而氣體持續地自進氣板131上的至少一進氣孔131a進入,再流入中心凹部131c所形成之腔室中。之後,如第6D圖所示,該共振片132受壓電致動元件133向上抬升的振動而共振向上,此時共振片132之可動部132a亦隨之向上振動,進而減緩氣體持續地自進氣板131上的至少一進氣孔131a進入,再流入中心凹部131c所形成之腔室中。最後,如第6E圖所示,共振片132之可動部132a亦回復至初始位置,由此實施態樣可知,當共振片132進行垂直之往復式振動時,係可由其與壓電致動元件133之間的間隙h以增加其垂直位移的最大距離,換句話說,於該兩結構之間設置間隙h可使共振片132於共振時可產生更大幅度的上下位移。是以,在經此流體致動器13之流道設計中產生壓力梯度,使氣體高速流動,並透過流道進出方向之阻抗差異,將氣體由吸入端傳輸至排出端,以完成氣體輸送作業,即使在排出端有氣壓之狀態下,仍有能力持續將氣體推入流體通道,並可達到靜音之效果,如此重覆第6A至6E圖之流體致動器13作動,即可使流體致動器13產生一由外向內的氣體傳輸。
承上所述,以下進一步說明流體致動器13之作動,進氣板131、共振片132、壓電致動元件133、絕緣片134a、導電片135及另一絕緣片134b等元件為依序堆疊設置,又如第2B圖所示,流體致動器13組裝於載體11上,並與載體11保持一通道136,且通道136位於傳感器12一側,如此致動器13受驅動而致動產生氣體流動(如第2B圖所示箭頭所指方向流動),因此通道136處會產生一引流,將氣體由入口通道211導入流通過傳感器12處,以令傳感器12上量測所接收氣體,且讓致動器13內部導引氣體能提供穩定一致性流量,促使在傳感器12處能獲取穩定一致性氣體流通直接監測,且縮短傳感器12之監測反應作用時間,達成精準之監測,極具產業利用價值。
請參閱第7圖所示為本案致動傳感模組1之資訊傳輸系統,本案之儲能元件14為儲存能量、輸出能量,以提供能量給該傳感器12之量測操作及致動器13之致動控制。而致動傳感模組1更進一步包含一微處理器15及一通信傳輸器16,微處理器15為對傳感器12之量測資料做演算處理,並控制致動器13之驅動,而通信傳輸器16為一接收訊號或發送訊號之元件裝置,微處理器15對傳感器12之量測資料做演算處理後,以轉換成輸出數據,藉由通信傳輸器16接收輸出數據,而通信傳輸器16透過傳輸發送給連結裝置4,進而使連結裝置4去顯示輸出數據之資訊、儲存輸出數據之資訊,或者傳送輸出數據之資訊至可儲存裝置去儲存運算處理,或者連結裝置4連結一通報處理系統5,以主動(直接通報)或被動(由讀取輸出數據之資訊者操作)啟動空氣品質通報機制,例如,即時空氣品質地圖告知迴避遠離或指示穿戴口罩防護等通報,或者連結裝置4連結一通報處理裝置6,以主動(直接操作)或被動(由讀取輸出數據之資訊者操作)啟動空氣品質處理機制,例如:啟動空氣清潔器、空調等潔淨空氣品質處理,但不以此為限。
本案之連結裝置4為一有線通信傳輸之顯示裝置,例如:桌上型電腦;或者為一無線通信傳輸之顯示裝置,例如:筆記型電腦;或者為一無線通信傳輸之可攜式行動裝置,例如:手機,但均不以此為限。有線通信傳輸主要可以用RS485、RS232、Modbus、KNX等通訊接口來作有線傳輸。無線通信傳輸主要可以用zigbee,z-wave,RF,藍牙,wifi,EnOcean等技術作無線傳輸。本案之連結裝置4也可以傳輸輸出數據之資訊至連網中繼站7而連網中繼站7傳輸輸出數據之資訊至雲端資料處理裝置8予以運算儲存。如此,雲端資料處理裝置8發出運算處理後之輸出數據之資訊予以通知,通知發送給連網中繼站7傳輸至連結裝置4,故連結裝置4所連結之通報處理系統5,即可接收連結裝置4所傳輸通知而啟動空氣品質通報機制,或者連結裝置4所連結通報處理裝置6,即可接收連結裝置4所傳輸通知而啟動空氣品質處理機制。
上述之連結裝置4也可發送操控指令來操作致動傳感模組1之運作,也可如上述透過有線通信傳輸、無線通信傳輸操控指令給通信傳輸器16接收,再傳輸給微處理器15以控制啟動傳感器12之量測操作及致動器13之致動。
當然,本案也可進一步包括第二連結裝置9發送操控指令,透過連網中繼站7傳輸給雲端資料處理裝置8接收,雲端資料處理裝置8再發送該操控指令給連網中繼站7再傳輸給連結裝置4,連結裝置4再發送給通信傳輸器16接收該操控指令,再傳輸給微處理器15以控制啟動傳感器12之量測操作及致動器13之致動。第二連結裝置9為一有線通信傳輸之裝置,或者第二連結裝置9為一無線通信傳輸之裝置,或者第二連結裝置9為一無線通信傳輸之可攜式行動裝置,但均不以此為限。
綜上所述,本案致動傳感模組結合監測環境應用而構成可攜式之監測空氣品質之裝置,致動器能加快空氣產生流通,並提供穩定一致性流量,讓傳感器能獲取穩定一致性空氣流通直接監測,且縮短傳感器之監測反應作用時間,達成精準之監測,以及致動傳感模組可傳送一監測量測之輸出數據,發送給一連結裝置顯示、儲存及傳送,達到即時顯示資訊及通報之效用,同時能建構成雲端資料庫,以啟動空氣品質通報機制及空氣品質處理機制,來防範空氣汙染對人體造成不良的健康影響,極具產業之價值,爰依法提出申請。
本案得由熟習此技術之人士任施匠思而為諸般修飾,然皆不脫如附申請專利範圍所欲保護者。
1‧‧‧致動傳感模組
11‧‧‧載體
12‧‧‧傳感器
13‧‧‧致動器、流體致動器
130‧‧‧第一腔室
131‧‧‧進氣板
131a‧‧‧進氣孔
131b‧‧‧匯流排孔
131c‧‧‧中心凹部
132‧‧‧共振片
132a‧‧‧可動部
132b‧‧‧固定部
132c‧‧‧中空孔洞
133‧‧‧壓電致動元件
1331‧‧‧懸浮板
1331a‧‧‧凸部
1331b‧‧‧第二表面
1331c‧‧‧第一表面
1332‧‧‧外框
1332a‧‧‧第二表面
1332b‧‧‧第一表面
1332c‧‧‧導電接腳
1333‧‧‧支架
1333a‧‧‧第二表面
1333b‧‧‧第一表面
1334‧‧‧壓電片
1335‧‧‧空隙
134a、134b‧‧‧絕緣片
135‧‧‧導電片
135a‧‧‧導電接腳
h‧‧‧間隙
136‧‧‧通道
14‧‧‧儲能元件
15‧‧‧微處理器
16‧‧‧通信傳輸器
15‧‧‧電池
2‧‧‧本體
21‧‧‧監測腔室
211‧‧‧入口通道
212‧‧‧出口通道
3‧‧‧防護膜
4‧‧‧連結裝置
5‧‧‧通報處理系統
6‧‧‧通報處理裝置
7‧‧‧連網中繼站
8‧‧‧雲端資料處理裝置
9‧‧‧第二連結裝置
第1圖所示為本案較佳實施例之致動傳感模組外觀示意圖。 第2A圖所示為本案較佳實施例之致動傳感模組之致動器及傳感器配置位置示意圖。 第2B圖所示為本案較佳實施例之致動傳感模組之監測腔室內配置致動器及傳感器位置剖面示意圖及說明監測腔室內流體流動之方向。 第3A及3B圖所示分別為本案較佳實施例之致動傳感模組之流體致動器之正面及反面之分解結構示意圖。 第4圖所示為第3A圖所示之壓電致動器之剖面結構示意圖。 第5圖所示為本案較佳實施例之致動傳感模組之流體致動器之剖面結構示意圖。 第6A至6E圖所示為本案較佳實施例之致動傳感模組之流體致動器作動之流程結構圖。 第7圖所示為本案較佳實施例之致動傳感模組之資訊傳輸系統架構示意圖。

Claims (34)

  1. 一種致動傳感模組,包含:   至少一傳感器,用以檢測流體; 至少一致動器,鄰設於該傳感器,用以輸送該流體,並設有至少一個通道;以及 一儲能元件,為一石墨烯電池,輸出能量至該至少一傳感器及該至少一致動器並使其致動,促使該致動器傳輸該流體流通並經過該傳感器處,以供該傳感器監測流通之該流體。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之致動傳感模組,進一步包含一本體,設有一監測腔室,且該傳感器與該致動器皆設置於該監測腔室內部。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之致動傳感模組,其中該本體具有一入口通道及一出口通道,以供該流體由該入口通道進入該監測腔室,由該監測腔室經該出口通道排出。
  4. 如申請專利範圍第3項所述之致動傳感模組,其中該傳感器對應設置於該入口通道,而該致動器對應設置於該出口通道。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之致動傳感模組,其中該傳感器包含一氣體傳感器。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之致動傳感模組,其中該傳感器係為一氧氣傳感器、一一氧化碳傳感器及一二氧化碳傳感器之至少其中之一或其任意組合而成之群組。
  7. 如申請專利範圍第1項所述之致動傳感模組,其中該傳感器包含一液體傳感器。
  8. 如申請專利範圍第1項所述之致動傳感模組,其中該傳感器係為一溫度傳感器、一液體傳感器及一濕度傳感器之至少其中之一或其任意組合而成之群組。
  9. 如申請專利範圍第1項所述之致動傳感模組,其中該傳感器包含一臭氧傳感器。
  10. 如申請專利範圍第1項所述之致動傳感模組,其中該傳感器包含一微粒傳感器。
  11. 如申請專利範圍第1項所述之致動傳感模組,其中該傳感器包含一揮發性有機物傳感器。
  12. 如申請專利範圍第1項所述之致動傳感模組,其中該傳感器包含一光傳感器。
  13. 如申請專利範圍第1項所述之致動傳感模組,其中該傳感器包含一石墨烯傳感器。
  14. 如申請專利範圍第1項所述之致動傳感模組,其中該傳感器係為監測細菌之傳感器、監測病毒之傳感器及監測微生物之傳感器之至少其中之一任意組合或其組合而成之群組之傳感器。
  15. 如申請專利範圍第1項所述之致動傳感模組,其中該傳感器包含監測生物標記之傳感器。
  16. 如申請專利範圍第1項所述之致動傳感模組,其中該致動器包含一電動致動器、一磁力致動器、一熱動致動器、一壓電致動器、及一流體致動器之至少其中之一或其任意組合而成之群組。
  17. 如申請專利範圍第16項所述之致動傳感模組,其中該流體致動器為一微機電系統泵浦。
  18. 如申請專利範圍第16項所述之致動傳感模組,其中該流體致動器為一壓電致動泵浦。
  19. 如申請專利範圍第18項所述之致動傳感模組,其中該壓電致動泵浦包括:   一進氣板,具有至少一進氣孔、至少一匯流排孔及構成一匯流腔室之一中心凹部,其中該至少一進氣孔供導入氣流,該匯流排孔對應該進氣孔,且引導該進氣孔之氣流匯流至該中心凹部所構成之該匯流腔室;   一共振片,具有一中空孔洞對應於該匯流腔室,且該中空孔洞之周圍為一可動部;以及   一壓電致動元件,與該共振片相對應設置;   其中,該共振片與該壓電致動元件之間具有一間隙形成一第一腔室,以使該壓電致動元件受驅動時,使氣流由該進氣板之該至少一進氣孔導入,經該至少一匯流排孔匯集至該中心凹部,再流經該共振片之該中空孔洞,以進入該第一腔室內,由該壓電致動元件與該共振片之可動部產生共振傳輸氣流。
  20. 如申請專利範圍第19項所述之致動傳感模組,其中該壓電致動元件包含:   一懸浮板,具有一第一表面及一第二表面,且可彎曲振動;   一外框,環繞設置於該懸浮板之外側;   至少一支架,連接於該懸浮板與該外框之間,以提供彈性支撐;以及   一壓電片,具有一邊長,該邊長係小於或等於該懸浮板之一邊長,且該壓電片係貼附於該懸浮板之一第一表面上,用以施加電壓以驅動該懸浮板彎曲振動。
  21. 如申請專利範圍第20項所述之致動傳感模組,其中該懸浮板為一正方形懸浮板,並具有一凸部。
  22. 如申請專利範圍第18項所述之致動傳感模組,其中該壓電致動泵浦包括:一導電片、一第一絕緣片以及一第二絕緣片,其中該進氣板、該共振片、該壓電致動元件、該第一絕緣片、該導電片及該第二絕緣片係依序堆疊設置。
  23. 如申請專利範圍第1項所述之致動傳感模組,進一步包括一微處理器及一通信傳輸器,該微處理器為對該傳感器之量測資料做演算處理,並控制該致動器之驅動,該通信傳輸器接收訊號或發送訊號,該微處理器對該傳感器之量測資料做演算處理後,以轉換成一輸出數據,藉由該通信傳輸器接收該輸出數據,而該通信傳輸器透過傳輸發送給一連結裝置,使該連結裝置去顯示該輸出數據之資訊、儲存該輸出數據之資訊及傳送該輸出數據之資訊。
  24. 如申請專利範圍第23項所述之致動傳感模組,其中該連結裝置連結一通報處理系統,以啟動空氣品質通報機制。
  25. 如申請專利範圍第23項所述之致動傳感模組,其中該連結裝置連結一通報處理裝置,以啟動空氣品質處理機制。
  26. 如申請專利範圍第23項所述之致動傳感模組,其中該連結裝置為具有一有線通信傳輸模組之顯示裝置。
  27. 如申請專利範圍第23項所述之致動傳感模組,其中該連結裝置為具有一無線通信傳輸模組之顯示裝置。
  28. 如申請專利範圍第23項所述之致動傳感模組,其中該連結裝置為具有一無線通信傳輸模組之可攜式行動裝置。
  29. 如申請專利範圍第23項所述之致動傳感模組,其中該連結裝置傳輸該輸出數據之資訊至一連網中繼站,該連網中繼站傳輸該輸出數據之資訊至一雲端資料處理裝置予以運算儲存。
  30. 如申請專利範圍第29項所述之致動傳感模組,其中該雲端資料處理裝置將運算處理後之該輸出數據之資訊發佈一通知,該通知發送給該連網中繼站,再傳輸至該連結裝置,該連結裝置連結一通報處理系統,以啟動空氣品質通報機制。
  31. 如申請專利範圍第30項所述之致動傳感模組,其中該雲端資料處理裝置將運算處理後之該輸出數據之資訊發佈一通知,該通知發送給該連網中繼站,再傳輸至該連結裝置,該連結裝置連結一通報處理裝置,以啟動空氣品質處理機制。
  32. 如申請專利範圍第29項所述之致動傳感模組,進一步包括一第二連結裝置,用以發送一操控指令,並透過該連網中繼站傳輸至該雲端資料處理裝置,該雲端資料處理裝置再發送該操控指令至該連網中繼站,並傳輸至該連結裝置,俾使該連結裝置發送該操控指令至該通信傳輸器。
  33. 如申請專利範圍第32項所述之致動傳感模組,其中該第二連結裝置為具有一有線通信傳輸模組之裝置。
  34. 如申請專利範圍第32項所述之致動傳感模組,其中該第二連結裝置為具有一無線通信傳輸模組之裝置。
TW106128417A 2017-08-22 2017-08-22 致動傳感模組 TWI650545B (zh)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW106128417A TWI650545B (zh) 2017-08-22 2017-08-22 致動傳感模組
JP2018143698A JP7148307B6 (ja) 2017-08-22 2018-07-31 アクチュエーティングセンサモジュール
EP18187198.9A EP3446782A1 (en) 2017-08-22 2018-08-03 Microfluidic actuating and sensing module
US16/054,100 US11391708B2 (en) 2017-08-22 2018-08-03 Actuating and sensing module

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW106128417A TWI650545B (zh) 2017-08-22 2017-08-22 致動傳感模組

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TWI650545B TWI650545B (zh) 2019-02-11
TW201913068A true TW201913068A (zh) 2019-04-01

Family

ID=63173953

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW106128417A TWI650545B (zh) 2017-08-22 2017-08-22 致動傳感模組

Country Status (4)

Country Link
US (1) US11391708B2 (zh)
EP (1) EP3446782A1 (zh)
JP (1) JP7148307B6 (zh)
TW (1) TWI650545B (zh)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR3074544B1 (fr) * 2017-12-05 2021-10-22 Ams R&D Sas Circulateur a membrane ondulante pilotee
WO2020250755A1 (ja) * 2019-06-11 2020-12-17 本田技研工業株式会社 ハウジング及び加工装置の取扱方法
TWI738175B (zh) * 2020-01-08 2021-09-01 研能科技股份有限公司 具有氣體檢測功能之家居裝置
TWI732584B (zh) * 2020-06-05 2021-07-01 研能科技股份有限公司 血壓偵測裝置
TWI747414B (zh) 2020-07-31 2021-11-21 研能科技股份有限公司 微粒偵測裝置
US11828210B2 (en) 2020-08-20 2023-11-28 Denso International America, Inc. Diagnostic systems and methods of vehicles using olfaction
US11636870B2 (en) 2020-08-20 2023-04-25 Denso International America, Inc. Smoking cessation systems and methods
US11760169B2 (en) 2020-08-20 2023-09-19 Denso International America, Inc. Particulate control systems and methods for olfaction sensors
US11881093B2 (en) 2020-08-20 2024-01-23 Denso International America, Inc. Systems and methods for identifying smoking in vehicles
US11932080B2 (en) 2020-08-20 2024-03-19 Denso International America, Inc. Diagnostic and recirculation control systems and methods
US11760170B2 (en) 2020-08-20 2023-09-19 Denso International America, Inc. Olfaction sensor preservation systems and methods
US11813926B2 (en) 2020-08-20 2023-11-14 Denso International America, Inc. Binding agent and olfaction sensor

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1214023B (de) * 1963-12-05 1966-04-07 Rolf Huebner Dipl Ing Handmessgeraet zur Messung des Gehaltes bestimmter Gasarten im Wetterstrom unter Tage
US7422909B2 (en) * 2004-02-02 2008-09-09 Acme Technologies, Inc Harsh environment gas sensor apparatus and method
CN101128728B (zh) * 2004-12-07 2011-01-19 格里芬分析技术公司 用于化学分析的大气样品移动收集设备和方法
US8336402B2 (en) * 2006-08-23 2012-12-25 Georgia Tech Research Corporation Fluidically-assisted sensor systems for fast sensing of chemical and biological substances
CN102046978B (zh) * 2008-06-03 2013-11-20 株式会社村田制作所 压电微型鼓风机
CA2741843C (en) 2008-10-27 2018-05-08 Mueller International, Llc Infrastructure monitoring system and method
CN104114981B (zh) * 2012-02-29 2017-07-14 凯希特许有限公司 使用盘泵系统来供应减压并测量流量的系统和方法
US20140134053A1 (en) 2012-11-14 2014-05-15 Sensirion Ag Portable electronic device with chemical sensor
CN103838900A (zh) 2012-11-26 2014-06-04 北京华大九天软件有限公司 一种亚像素孔图形自动生成方法
GB2519110B (en) 2013-10-09 2018-04-18 Nokia Technologies Oy An apparatus and associated methods for analyte detection
WO2016109691A1 (en) * 2014-12-31 2016-07-07 Boris Andreyev Devices and methods for molecular diagnostic testing
US9933351B2 (en) * 2015-03-06 2018-04-03 Scanit Technologies, Inc. Personal airborne particle monitor with quantum dots
US20160282151A1 (en) * 2015-03-24 2016-09-29 Intel Corporation Integrated gas sensor
US10001115B2 (en) * 2015-04-16 2018-06-19 Ideal Industries, Inc. Air sampler with closed loop flow control system
NL2014801B1 (en) 2015-05-13 2017-01-27 Berkin Bv Fluid flow device, comprising a valve unit, as well as method of manufacturing the same.
CN205030637U (zh) 2015-08-27 2016-02-17 太阳城(厦门)户外用品科技股份有限公司 一种基于app的智能伞
EP3190421B1 (en) * 2016-01-07 2019-05-22 Analog Devices, Inc. Two- or three-axis angular accelerometer
EP3203079B1 (en) 2016-01-29 2021-05-19 Microjet Technology Co., Ltd Piezoelectric actuator
JP6574452B2 (ja) 2016-01-29 2019-09-11 研能科技股▲ふん▼有限公司 小型空気圧動力装置
TWM525446U (zh) 2016-02-03 2016-07-11 Microjet Technology Co Ltd 可攜式氣體檢測裝置
CN205538890U (zh) 2016-02-03 2016-08-31 研能科技股份有限公司 可携式气体检测装置
CN206038594U (zh) 2016-09-09 2017-03-22 吴澜 室内空气检测系统
TWM540931U (zh) 2016-11-10 2017-05-01 研能科技股份有限公司 微型氣壓動力裝置
TWM553418U (zh) * 2017-08-22 2017-12-21 Microjet Technology Co Ltd 致動傳感模組

Also Published As

Publication number Publication date
TWI650545B (zh) 2019-02-11
JP7148307B6 (ja) 2022-10-31
US20190064104A1 (en) 2019-02-28
JP7148307B2 (ja) 2022-10-05
US11391708B2 (en) 2022-07-19
JP2019039911A (ja) 2019-03-14
EP3446782A1 (en) 2019-02-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI650545B (zh) 致動傳感模組
TWI656517B (zh) 具致動傳感模組之裝置
TWI652652B (zh) 具致動傳感模組之裝置
TWI667636B (zh) 具致動傳感模組之裝置
TWM553418U (zh) 致動傳感模組
TWI650543B (zh) 具致動傳感模組之裝置
TWI642929B (zh) 致動傳感模組之驅動系統
TWI646432B (zh) 致動傳感模組之資訊傳輸系統
TWM553417U (zh) 具致動傳感模組之裝置
TWM554165U (zh) 具致動傳感模組之裝置
TWI651110B (zh) 空氣過濾防護器
TWM553200U (zh) 空氣過濾防護器
TWM552166U (zh) 致動傳感模組之資訊傳輸系統
TWM552227U (zh) 具致動傳感模組之裝置
TWM554535U (zh) 致動傳感模組
TWI684730B (zh) 空氣過濾防護器之驅動及資訊傳輸系統
TWI650154B (zh) 空氣過濾防護器
TWM552164U (zh) 致動傳感模組之驅動及資訊傳輸系統
TWM554563U (zh) 具致動傳感模組之裝置
TWM552165U (zh) 致動傳感模組之驅動系統
TWM553402U (zh) 空氣過濾防護器之驅動及資訊傳輸系統
TWM551076U (zh) 空氣過濾防護器
CN211425507U (zh) 具致动传感模块的装置
CN210250908U (zh) 空气过滤防护器
TWI650152B (zh) 空氣過濾防護器