TW201841124A - 電網插入技術 - Google Patents

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Abstract

本文中所闡述之各項實施方案係針對一種設備。該設備可包含一區域識別器模組，該區域識別器模組接收使用者定義參數以用於修改一電網佈局且基於該等使用者定義參數來識別用於條帶插入的該電網佈局之一區域。該設備可包含一軌道識別器模組，該軌道識別器模組識別用於條帶插入的該電網佈局之該區域中的軌道位置。該設備可包含一條帶放置模組，該條帶放置模組基於條帶插入之預定規則而在該電網佈局之該區域中插入至少一個條帶。

Description

電網插入技術
本發明係關於積體電路中之電網。
此章節意欲提供與理解本文中所闡述之各種技術相關之資訊。如該章節之標題暗指，此係相關技術之一論述，相關技術應絕非暗指其係先前技術。大體而言，相關技術可或可不視為先前技術。因此，應理解此章節中之任何陳述應以此視角閱讀，且不應作為對先前技術之任何認可。 積體電路通常包含經形成以傳送電力及其他電信號之導線(或其他導體)。每一導線可具有一導線間距，該導線間距係指導線之一寬度與間隔之一總和。標準單元(SC)放置及佈線工具通常涉及在積體電路上之各種層內以預定間距且在預定位置處佈線導線。某些佈線工具用於跨越一整個平面佈置圖(而並非僅在需要之位置處)佈線或插入一或多個或所有電源供應器。遺憾地，此可浪費佈線資源且不利地影響一積體電路之電力、效能及面積(PPA)。此亦可形成某些電源供應器之限制性電網圖案，該等限制性電網圖案可降低一電網設計之靈活性。
根據本發明之一實施例，本發明係關於一種設備，該設備包括：一區域識別器模組，其接收使用者定義參數以用於修改一電網佈局且基於該等使用者定義參數來識別用於條帶插入的該電網佈局之一區域；一軌道識別器模組，其識別用於條帶插入的該電網佈局之該區域中的軌道位置；及一條帶放置模組，其基於條帶插入之預定規則而在該電網佈局之該區域中插入至少一個條帶。 根據本發明之另一實施例，本發明係關於一種方法，該方法包括：自一使用者接收使用者定義參數以用於修改一電網佈局，其中該電網佈局包含用於將一積體電路設計應用於一半導體晶圓之製作參數；基於由該使用者提供之該等使用者定義參數來識別用於條帶插入的該電網佈局之一使用者定義區域；識別用於條帶插入的該電網佈局之該區域中的軌道位置，其包含識別該電網佈局之該區域中之每一軌道位置之障礙物，其中該等障礙物包含在條帶插入之前處於適當位置中之抑制條帶插入之預存在金屬及導通體；及基於條帶插入之預定規則而在該電網佈局之該區域中插入至少一個條帶。 根據本發明之又一實施例，本發明係關於一種非暫時性電腦可讀媒體，該非暫時性電腦可讀媒體上儲存有複數個電腦可執行指令，該複數個電腦可執行指令在由一電腦執行時致使該電腦進行以下操作：自一使用者接收使用者定義參數以用於修改一電網佈局，其中該電網佈局包含用於將一積體電路設計應用於一半導體晶圓之製作參數；基於由該使用者提供之該等使用者定義參數來識別用於條帶插入的該電網佈局之一使用者定義區域；識別用於條帶插入的該電網佈局之該區域中的軌道位置，包含識別該電網佈局之該區域中之每一軌道位置之障礙物，其中該等障礙物包含在條帶插入之前處於適當位置中之抑制條帶插入之預存在金屬及導通體；及基於條帶插入之預定規則而在該電網佈局之該區域中插入至少一個條帶。
本文中所闡述之各項實施方案係指且係針對提供根據本文中所闡述之各項實施方案之電網插入方案及技術。電網插入方案及技術提供基於目標間距之電網條帶及導通體插入。一電網之某些部分被局域化，且電網之主要部分不會為了插入額外局域化結構而被中斷，此乃因彼可對總體供應器完整性有害。本文中所闡述之方案及技術在一給定區(亦即，區域)中搜尋、找到且定位合法位置以插入電網之局域化部分(亦即，子區域)同時試圖維持待插入物件之間的一使用者目標間距(亦即，距離)。 現將在本文中參考圖1至圖5詳細闡述提供各種電網插入方案及技術之各項實施方案。 圖1係圖解說明一設備100之一項實施例之一方塊圖，設備100利用一計算裝置102以用於用與電網插入方案及技術相關聯之各種方法來實施該等電網插入方案及技術。 參考圖1，設備100可實施為具有出於電網插入目的之計算裝置102之一系統，藉此將計算裝置102變換成專用於電網插入方案及技術之實施方案之一專用機器，如本文中所闡述。因此，計算裝置102可包含標準元件及/或組件，該等標準元件及/或組件包含至少一個處理器104、記憶體106 (例如，非暫時性電腦可讀儲存媒體)、周邊設備、電源及圖1中未具體展示之各種其他計算元件及/或組件。此外，如圖1中所展示，設備100可與可用於提供一圖形使用者介面(GUI) 132之一顯示裝置130 (例如，一監測器或其他顯示器)相關聯。在某些例項中，GUI 132可用於自與電網插入方案及技術相關聯之一使用者(例如，使用者輸入)接收輸入。在其他例項中，一或多個其他使用者介面(UI) 120 (例如，具有GUI或類似物之一或多個其他計算裝置)可用於自與電網插入方案及技術相關聯之一或多個其他使用者(例如，其他使用者輸入)接收輸入。設備100亦可與一或多個資料庫150相關聯，該一或多個資料庫可經組態以儲存及/或記錄與使用者及電網插入方案及技術有關之資料及資訊。 因此，設備100可因此包含計算裝置102及儲存或記錄於電腦可讀媒體106 (或一或多個資料庫150)上且可由至少一個處理器104執行之指令。設備100可用於實施電網插入方案及技術。此外，設備100可包含用於給一使用者提供輸出之顯示裝置130，且顯示裝置130可包含用於自使用者接收輸入之GUI 132。在某些情形中，一或多個UI 120可用於給一或多個其他使用者提供輸出且自一或多個其他使用者接收輸入。 計算裝置102可包含一或多個模組，諸如(例如)一區域識別器模組110。在某些情景中，區域識別器模組110可接收使用者定義參數以用於修改一電網佈局且基於使用者定義參數來識別用於條帶插入的電網佈局之一區域。電網佈局可包含用於將一積體電路設計應用於一半導體晶圓之製作參數。此外，該電網佈局可識別該積體電路內之參數變化，該等參數變化允許在將該積體電路蝕刻至該半導體晶圓上時該積體電路適當地起作用。 該區域可包含一使用者定義區域，且該等使用者定義參數可包含由一使用者提供之該使用者定義區域。使用者定義參數可包含由使用者所提供之一供應器目標間距。該電網佈局之該區域可被細分成多個子區域，且該供應器目標間距可在該等子區域中之每一者中定義若干個該等軌道位置。 計算裝置102可包含一軌道識別器模組112。在某些情景中，軌道識別器模組112可識別用於條帶插入的電網佈局之區域中之軌道位置。軌道識別器模組112可檢索區域中之每一軌道位置之一清單，且該清單可包含定義區域中之每一軌道位置之軌道資料及資訊的資料結構。軌道識別器模組112可基於區域中之每一軌道位置之清單來識別區域中之每一軌道位置之障礙物。該等障礙物可包含在條帶插入之前處於適當位置中之抑制條帶插入之預存在金屬及導通體。軌道識別器模組112可識別具有抑制條帶插入之各種類型之障礙物之一或多個阻塞軌道。此外，軌道識別器模組112可檢查條帶插入之間隔規則，且間隔規則可針對毗鄰軌道位置而識別抑制條帶插入之各種毗鄰間隔障礙物。 計算裝置102可包含一條帶放置模組114。在某些情景中，條帶放置模組114可基於條帶插入之預定規則而在電網佈局之區域中插入至少一個條帶。在某些情形中，條帶放置模組114可選擇最接近於每一子區域內之一中心軌道位置(或最接近於每一子區域之至少一個端部分)之至少一個軌道位置且基於條帶插入之預定規則而在最接近於每一子區域內之中心軌道位置(或最接近於每一子區域之至少一個端部分)之至少一個軌道位置中插入至少一個條帶。條帶插入之該等預定規則可包含用於避免阻塞有障礙物之軌道位置之各種類型之規則。條帶插入之預定規則亦可包含用於避免違反條帶插入之間隔規則之軌道位置之各種類型之規則。此外，條帶插入之預定規則可包含用於選擇最接近於一中心軌道位置(或最接近於每一子區域之至少一個端部分)之軌道位置之各種類型之規則。 參考圖1，其使用表示離散功能性之各種功能區塊或模組展示設備100。然而，應理解，為清晰及方便起見而提供此圖解說明，且因此應瞭解，各種功能性可重疊或被組合於一所闡述區塊或模組內，及/或可藉由圖1中未具體圖解說明之一或多個額外區塊或模組而實施。此外，應理解，亦可包含可對圖1之設備100有用之各種標準及/或習用功能性，儘管為清晰及方便起見此等標準及/或習用元件未明確圖解說明。 圖2A至圖2B圖解說明根據本文中所闡述之各項實施方案之電網佈局架構之各種圖式。 特定而言，圖2A圖解說明電網佈局架構200A之一圖式以及其一實例性三維(3D)視圖。如所展示，電網佈局200A可包含一標準單元軌210、一下部網212及一上部網214之一堆疊202。堆疊202可包含複數個層，諸如(例如)金屬層M1、M2、M3及導通體V、V1。堆疊202可包含複數個金屬條帶層，諸如(例如)下級上部網(LUG)條帶220、上部金屬條帶222、224及一動態條帶226。堆疊202可包含一電力閘圖騰228。在各種例項中，一條帶可係指被一電網用來將電壓供應至一積體電路(包含其組件)之一金屬導線。此外，一圖騰可係指一金屬加上標準單元軌與一LUG之間的導通體堆疊。 在某些實施方案中，電網佈局架構200A可用一電力切換器(亦即，電力閘圖騰228)提供一單個供應器，其具有LUG條帶220、電力閘圖騰228、條帶222、224、226及標準單元電力軌210之插入。本文中所闡述之各項實施方案可提供與圖2A中所展示之多個層(其包含(例如)一使用者可執行條帶插入之垂直及/或水平層(惟除標準單元軌210))相關聯之電網插入方案及技術。在某些情形中，電網插入方案及技術可應用於條帶及/或導通體(諸如(例如) M3條帶、下級上部網條帶220及上部金屬條帶224、226)之情形中。因此，電網插入方案及技術可用於沿水平及/或垂直方向之任何及所有層。在於一較大電網內存在一局域化電網之情況下，電網插入方案及技術可(例如)藉由在一現有電網之軌道位置之間的開放間隔中之一局域化電網內交錯來識別合法位置。 圖2B圖解說明用於條帶插入之電網佈局架構200B之一區域250之一示意圖。區域250可係一使用者定義區域，且區域250可用一限界框250A限界。區域250可包含針對條帶插入識別之多個軌道位置252。軌道位置252可配置成一基於網之圖案且藉助一基於網之圖案識別，諸如(例如)水平(如所展示)或垂直。區域250可包含在條帶插入之前處於適當位置中之各種物件(或障礙物)，諸如(例如)在條帶插入之前處於適當位置中之金屬254及在條帶插入之前處於適當位置中之導通體256。區域250可包含經由條帶插入258插入之一或多個條帶，其中在條帶插入258之後該等條帶被放置於特定條帶位置250中。 電網佈局200B之區域250可被細分成多個子區域260A、260B、260C、260D。在某些情形中，一使用者可提供可包含一供應器目標間距262之使用者定義參數，供應器目標間距262具有配置成由使用者所定義之一群組(或集合)之一或多個軌道位置252。如此，供應器目標間距262可在子區域260A、260B、260C、260D中之每一者中定義若干個軌道位置252，諸如(例如) 5個軌道。針對區域250，一清單() 270可經提供以指示軌道位置之一編號清單，諸如(例如) 0、1、2、3、…、19。在各種例項中，清單()可稱為一軌道清單或軌道清單。 清單() 270可包含定義區域250中之每一軌道位置0、1、2、3、…、19之軌道資訊之各種資料結構。軌道資訊亦可針對區域250中之每一軌道位置0、1、2、3、…、19識別一或多個障礙物(例如，在條帶插入之前處於適當位置中之各種物件)。在某些情形中，障礙物可包含在條帶插入之前處於適當位置中之可抑制條帶插入之預存在金屬254及導通體256。清單() 270亦可識別具有可抑制條帶插入之障礙物之一或多個阻塞軌道272。舉例而言，如圖2B中所展示，軌道位置2、3、4、5、7、14、15、16及19可用一(X)指示為阻塞軌道272。在某些情形中，阻塞軌道272可係指由於障礙物而不可用於條帶插入之不可用軌道或軌道位置。 一旦阻塞軌道位置被識別，區域250中便可發生條帶插入或放置，其中一或多個條帶258可插入或放置於區域250中之一或多個可用軌道位置252中。在某些情形中，每一子區域260A、260B、260C、260D中之至少一個軌道位置252可被選擇用於條帶插入，該至少一個軌道位置最接近於每一子區域260A、260B、260C、260D內之一中心軌道位置(或最接近於每一子區域260A、260B、260C、260D之至少一個端部分)。舉例而言，在一第一子區域260A中，一條帶258可插入於一第一軌道位置1中，此乃因中心軌道位置2具有一障礙物。類似地，在一第二子區域260B中，一條帶258可插入於一第六軌道位置6中，此乃因一中心軌道位置7具有一障礙物。在一第三子區域260C中，一條帶258可插入於一第十二軌道位置12中，此乃因中心軌道位置12中未出現障礙物。在一第四子區域260D中，一條帶258可插入於一第十七軌道位置17中，此乃因中心軌道位置17中未出現障礙物。此外，可更新清單() 270以識別具有一新插入條帶之一或多個條帶放置或插入274。舉例而言，軌道位置1、6、12及17可指示為具有一條帶放置274，如用一(S)所標記。 如本文中所闡述，條帶258可基於條帶插入之預定規則而插入於最接近於每一子區域260A、260B、260C、260D內之中心軌道位置之軌道位置252中。如此，條帶插入之預定規則可包含任何數目個規則，該任何數目個規則包含選擇最接近於中心軌道位置之軌道位置。在某些情形中，條帶258可基於條帶插入之預定規則而插入於最接近於每一子區域260A、260B、260C、260D之至少一個端部分之軌道位置252中。因此，條帶插入之預定規則可包含任何數目個規則，該任何數目個規則包含選擇最接近於一區域或子區域之至少一個端部分之軌道位置。條帶插入之預定規則亦可包含避免阻塞有障礙物之軌道位置。此外，條帶插入之預定規則亦可包含避免違反條帶插入之間隔規則之軌道位置。舉例而言，各種間隔規則可針對毗鄰軌道位置而識別可抑制條帶插入之毗鄰間隔障礙物。 在某些實施方案中，電網佈局200B可與有關於用於將一積體電路設計應用於一半導體晶圓之製作參數的資料及資訊相關聯。此外，該電網佈局可識別該積體電路內之參數變化，該等參數變化允許在將該積體電路蝕刻至該半導體晶圓上時該積體電路適當地起作用。因此，電網佈局200B可表示為一或多個資料結構，該一或多個資料結構具有與在一半導體基板或晶圓上製作一積體電路有關之各種資料及資訊，其中該積體電路可由包含多個邏輯層、多個金屬層及耦合導通體之任何數目個層之多個層形成。 在各項實施方案中，術語條帶可係指可用於構建電網及電網中之各種佈線之一金屬條帶(或某些其他類型之導電條帶)。在某些情形中，術語間距可係指與一量測單位相關聯之一軌道(或一軌道位置)，該量測單位等於(或實質上類似於)一最小金屬寬度及/或一最小金屬間隔。在其他情形中，一層上之軌道可或可不具有一類似間距。在某些其他情形中，術語目標間距可係指可在條帶之間的任何數目個間距。在又某些其他情形中，術語目標間距可係指條帶之間的一所要距離。此外，在某些情形中，術語間距(或目標間距)可係指可用於條帶之垂直間距及/或水平間距之一基本間距。 在某些實施方案中，電力條帶可包含金屬導線、電力切換器(其可稱為電力閘)及/或導通體中之至少一者。在某些其他實施方案中，任何特定層上之金屬導線在彼同一層上可包含兩個或多於兩個平行導線。 圖3A至圖3B圖解說明根據本文中所闡述之實施方案之用於實施電網插入之一方法300之一圖式。特定而言，圖3A圖解說明方法300之程序流程之一第一部分300A，且圖3B圖解說明方法300之程序流程之一第二部分300B。 應理解，即使方法300可指示操作執行之一特定次序，但在某些情形中，操作之各種特定部分可以一不同次序且在不同系統上執行。在某些其他情形中，額外操作及/或步驟可添加至方法300及/或自方法300省略。方法300可在硬體及/或軟體中實施。若在硬體中實施，則可用各種組件來實施方法300，諸如上文參考圖1至圖2B在本文中所闡述。若在軟體中實施，則方法300可實施為可經組態以用於實施如本文中所闡述之各種電網插入方案及技術之一程式或軟體指令程序。此外，若在軟體中實施，則與實施方法300有關之各種指令可儲存於記憶體中，其中一電腦、一伺服器或具有一處理器及記憶體之各種其他計算裝置可經組態以執行方法300。 參考圖3A至圖3B，方法300可用於實施如本文中所闡述之各種電網插入方案及技術。舉例而言，方法300可用於插入電網條帶及/或導通體，同時在試圖滿足所插入條帶及/或導通體之間的目標間隔之同時考量同一層或一鄰近層上之已放置物件。連通至位準移位器及隔離電路之次級電源供應器不必覆蓋一整個設計平面佈置圖，且因此，次級電源供應器可僅放置於位準移位器及隔離電路將實體定位之位置處。 圖3A圖解說明根據本文中所闡述之實施方案之方法300之程序流程之第一部分300A。 在方塊310、312處，方法300可接收、檢索或獲得使用者定義參數。特定而言，在方塊310處，方法300可接收使用者定義區域，且在方塊312處，方法300可接收一使用者定義之供應器目標間距。在某些例項中，一使用者可提供使用者定義參數，該等使用者定義參數識別可指定用於條帶插入之一矩形或直線區域。使用者定義參數亦可識別條帶及/或導通體彼此將相距之距離(目標間距)。圖2B提供具有多個(例如，4個)子區域A、B、C、D之一區域200B之一例項，其中每一子區域具有多個(例如，5個)軌道。在某些情形中，一區域可定義為其中一使用者想要添加供應器之一矩形區，且一子區域可定義為所找到目標間距之間的一位置。 在方塊320處，方法300可接收規則電網(PG)插入條帶及導通體。術語規則可係指已放置之物件及結構，且因此，規則PG插入條帶及導通體可係指已放置之PG插入條帶及導通體，該等已放置之PG插入條帶及導通體可視為對新放置之PG插入條帶及導通體之障礙物(或妨礙新放置之PG插入條帶及導通體之物件及結構)。在某些例項中，規則電力以及接地供應器條帶及導通體可插入至平面佈置圖中。若電力域將係閘控的，則亦可插入電力切換器。條帶及導通體可僅出現在特定軌道(或軌道位置)中。 在方塊322處，方法300可自區塊310、312接收使用者定義參數、基於使用者定義參數找到或定位可能軌道位置，且然後產生可能軌道位置之一索引清單(indexed list或index list)。在某些例項中，方法300可識別條帶及導通體之可能插入位置(軌道)在此區域中之可能位置，且方法300將此資訊轉變成具有每一軌道之一個條目之一清單。清單中之軌道中之一或多者或者所有可標記為開放的。在某些情形中，一清單係指保留某些或所有軌道資訊之一資料結構。 在方塊330處，方法300可查詢電網架構之一平面佈置圖以藉由索引清單識別阻塞軌道，且然後，方法300可基於所識別阻塞軌道更新索引清單。此外，在方塊332處，方法300可藉由檢查阻塞之毗鄰軌道來檢查間隔規則，且然後，方法300可基於受阻塞之毗鄰軌道來更新索引更新清單。 在某些例項中，方法300可查詢平面佈置圖以找到已放置條帶及導通體在使用者規定區域內之一給定層上所處之位置，且方法300可將位置轉換成軌道清單中之一索引且然後將彼索引標記為被阻塞的。由於條帶及導通體可需要其之間的一特定距離為遵守設計規則的，因此方法300亦可將適當數目個毗鄰索引標記為阻塞的。此外，由於參考設計規則順從性(DRC)之規則，某些軌道或某些軌道位置可係阻塞的。在某些情形中，術語阻塞係指一軌道或軌道位置內之一阻塞。 在方塊340處，方法300可藉由用一區域寬度除以一目標間距來計算子區域之一數目(區域寬度/目標間距=子區域之數目)。在某些例項中，基於區域之目標間距及大小，方法300可判定在理想放置之情況下將裝配多少條帶且不超出目標間距，且方法300可然後用區域除以此量。此外，方法300可在每一子區域中放置至少一個條帶。 圖3B圖解說明根據本文中所闡述之實施方案之方法300之程序流程之第二部分300B。 在方塊350處，針對每一子區域，且在方塊352處，方法300可找到最接近於中心之未被阻塞之一軌道，且添加一條帶。在某些例項中，在每一子區域內，方法300可找到在阻塞位置之間具有一最大間隙之一區，且將一條帶放置於此區之一中心中。然而，若無法合法地放置條帶(例如，由於間隔規則及約束)，則在無次級供應器之情況下方法300可離開此子區域。在某些其他例項中，在方塊350及352處，方法300可找到一或多個子區域內最接近於至少一個端部分之一軌道位置。如本文中進一步闡述，條帶插入可包含選擇最接近於一中心軌道位置之一軌道位置及/或選擇最接近於一區域或一子區域之至少一個端部分之一軌道位置。 在決策方塊354處，方法300可決定或判定是否找到一解決方案。若在方塊354處找到一解決方案，則在方塊360處，方法300可放置一條帶，且在方塊362處，方法300可繼續進行至下一子區域。在某些例項中，不管使用者目標間距如何，方法300可在每一區域中放置多個條帶(例如，至少2個條帶)。可完成此以便輔助供應器完整性。 否則，若在方塊354處未找到解決方案，則在方塊370處，方法300可跳過當前子區域，且在方塊372處，方法300可警告使用者由於在當前子區域處未找到解決方案因此已跳過當前子區域。接下來，在方塊372之後，在方塊362處方法300可繼續進行至下一子區域。 在決策方塊380處，方法300可決定或判定當前子區域是否係最後一個子區域。若是，則方法300在方塊390中終止。若不是，則方法300可返回至方塊352以處理下一子區域。如此，方法300可重複方塊352至380最後一個子區域被處理。 實施方法300之某些益處包含達成次級供應器之可靠、可重複及穩健插入之自動化，否則該插入可必須手動完成，此可易於出現人為誤差。方法300之時間節省可允許較快周轉時間且可使得終端使用者能夠評估各種組態以確保其設計滿足一所要目標。此外，在某些其他脈絡中，方法300可直接適用於插入條帶及/或導通體。除插入次級供應器之外，方法300可在記憶體巨集上面插入條帶，該記憶體巨集可具有一或多個電源供應器加上一接地供應器。該等供應器可不跨越記憶體巨集使用一相同密度。此外，方法300可允許終端使用者透過目標間距來控制個別供應器密度，且方法300可用於解決如何彼此圍繞地放置條帶及/或導通體。在某些情形中，方法300亦可用於熱點固定。 圖4圖解說明根據本文中所闡述之各項實施方案之用於實施電網插入之一方法400之一程序流程圖。 應理解，即使方法400可指示操作執行之一特定次序，但在某些情形中，操作之各種特定部分可以一不同次序且在不同系統上執行。在某些其他情形中，額外操作及/或步驟可添加至方法400及/或自方法400省略。方法400可在硬體及/或軟體中實施。若在硬體中實施，則可用各種組件來實施方法400，諸如上文參考圖1至圖2B在本文中所闡述。若在軟體中實施，則方法400可實施為可經組態以用於實施如本文中所闡述之各種電網插入方案及技術之一程式或軟體指令程序。此外，若在軟體中實施，則與實施方法400有關之各種指令可儲存於記憶體中，其中一電腦、一伺服器或具有一處理器及記憶體之各種其他計算裝置可經組態以執行方法400。 參考圖4，方法400可用於實施各種電網插入方案及技術。 在方塊410處，方法400可自一使用者接收使用者定義參數以用於修改一電網佈局。電網佈局可包含用於將一積體電路設計應用於一半導體晶圓之製作參數。在某些情景中，該電網佈局可進一步識別該積體電路內之參數變化，該等參數變化允許在將該積體電路蝕刻至該半導體晶圓上時該積體電路適當地起作用。 在方塊420處，方法400可基於由使用者提供之使用者定義參數來識別用於條帶插入的電網佈局之一使用者定義區域。在某些情景中，該等使用者定義參數包含由一使用者提供之一供應器目標間距。在某些其他情景中，該電網佈局之該區域可被細分成多個子區域，且該供應器目標間距可在該等子區域中之每一者中定義若干個該等軌道位置。 在方塊430中，方法400可識別用於條帶插入的電網佈局之區域中的軌道位置，其可包含識別電網佈局之區域中之每一軌道位置之障礙物。該等障礙物可包含在條帶插入之前處於適當位置中之抑制條帶插入之預存在金屬及導通體。 在方塊440處，方法400可基於條帶插入之預定規則而在電網佈局之區域中插入至少一個條帶。條帶插入之預定規則可包含一第一規則：避免阻塞有障礙物之軌道位置。條帶插入之預定規則可包含一第二規則：避免違反條帶插入之間隔規則之軌道位置。此外，條帶插入之預定規則可包含一第三規則：選擇最接近於一中心軌道位置(或最接近於區域之至少一個端部分)之軌道位置。 在某些情景中，在方塊440處，方法400可檢索區域中之每一軌道位置之一清單，且該清單可包含定義區域中之每一軌道位置之軌道資訊的資料結構。此外，在方塊440處，方法400可識別具有抑制條帶插入之障礙物之一或多個阻塞軌道。此外，在方塊440處，方法400可檢查條帶插入之間隔規則，該間隔規則可針對毗鄰軌道位置而識別抑制條帶插入之各種毗鄰間隔障礙物。 圖5係適合用於實施本文中所闡述之各項實施方案之一計算裝置500之一方塊圖，計算裝置500包含(例如)圖1中的計算裝置102及與計算裝置102相關聯之組件。如此，計算裝置500可體現為計算裝置102且經組態以用於經由一有線或無線網路來與各種其他計算裝置網路通信。 電腦裝置500可實施為各種類型之計算裝置，諸如(例如)一伺服器、一個人電腦(PC)、一膝上型電腦、一筆記型電腦、一行動通信裝置或類似物。電腦裝置500可包含與各種子系統及/或組件互聯之一匯流排502 (或用於通信資訊之其他通信機構)，該等各種子系統及/或組件諸如(例如)處理組件504 (例如，處理器、數位信號處理器(DSP)等)、系統記憶體組件506 (例如，RAM)、靜態儲存組件508 (例如，ROM)、硬碟機組件510 (例如，磁性的或光學的)、網路介面組件512 (例如，數據機或乙太網路卡)、顯示器組件514 (例如，CRT或LCD)、輸入組件516 (例如，鍵盤)、游標控制組件518 (例如，滑鼠或軌道球)及影像擷取組件520 (例如，類比或數位相機)。在某些實施方案中，硬碟機組件510可包括具有一或多個硬碟機組件之一資料庫。 電腦裝置500藉由處理器504來執行各種特定操作，該處理器執行含於系統記憶體組件506中的一或多個指令之一或多個序列。此等指令可自另一電腦可讀媒體(諸如靜態儲存組件508或硬碟機組件510)讀取至系統記憶體組件506中。在某些情形中，硬連線電路可用於代替軟體指令或與軟體指令組合以實施本文中所闡述之各種方案及/或技術。 邏輯可編碼於一電腦可讀媒體中，該電腦可讀媒體可係指參與將指令提供至處理器504以用於執行之任何媒體。此一媒體可採取諸多形式，包含但不限於非揮發性媒體及揮發性媒體。在各項實施方案中，非揮發性媒體包含光碟或磁碟(諸如硬碟機組件510)，且揮發性媒體包含動態記憶體(諸如系統記憶體組件506)。在某些實施方案中，與執行指令有關之資料及資訊可經由一傳輸媒體傳輸至電腦裝置500，諸如以聲波或光波形式(包含無線電波及紅外線資料通信期間產生之聲波或光波)。在各項實施方案中，傳輸媒體可包含同軸電纜、銅導線及/或光纖(包含包括匯流排502之導線)。 某些共用形式之電腦可讀媒體包含(舉例而言)軟磁碟、撓性磁碟、硬磁碟、磁帶、任何其他磁性媒體、CD-ROM、任何其他光學媒體、穿孔卡片、紙帶、具有孔圖案之任何其他實體媒體、RAM、PROM、EPROM、FLASH-EPROM、任何其他記憶體晶片或卡匣、載波或一電腦經調適以自其讀取之任何其他媒體。 在各項實施方案中，可藉由電腦裝置500來執行指令序列之執行以實踐本文中所闡述之方案及技術。在本文中所闡述之其他實施方案中，藉由通信鏈路530 (例如，LAN、WLAN、PTSN及/或各種其他有線或無線網路，包含電信、行動電話及/或蜂巢式電話網路)耦合之複數個電腦系統500可彼此協調地執行指令序列以實踐本發明之實施方案。 在各項實施方案中，電腦裝置500可透過通信鏈路530及通信介面512傳輸及接收訊息、資料、資訊及指令(包含程式(亦即，應用程式碼))。此外，所接收程式碼可被處理器504執行為接收及/或儲存於硬碟機組件510或某些其他非揮發性儲存組件中以用於執行。 本文中所闡述係一設備之實施方案。該設備可包含一區域識別器模組，該區域識別器模組接收使用者定義參數以用於修改一電網佈局且基於該等使用者定義參數來識別用於條帶插入的該電網佈局之一區域。該設備可包含一軌道識別器模組，該軌道識別器模組識別用於條帶插入的該電網佈局之該區域中的軌道位置。該設備可包含一條帶放置模組，該條帶放置模組基於條帶插入之預定規則而在該電網佈局之該區域中插入至少一個條帶。 本文中闡述一方法之實施方案。該方法可包含自一使用者接收使用者定義參數以用於修改一電網佈局。電網佈局可包含用於將一積體電路設計應用於一半導體晶圓之製作參數。該方法可包含基於由該使用者提供之該等使用者定義參數來識別用於條帶插入的該電網佈局之一使用者定義區域。該方法可包含識別用於條帶插入的電網佈局之區域中之軌道位置，其包含識別該電網佈局之該區域中之每一軌道位置之障礙物。該等障礙物可包含在條帶插入之前處於適當位置中之抑制條帶插入之預存在金屬及導通體。該方法可包含基於條帶插入之預定規則而在該電網佈局之該區域中插入至少一個條帶。 本文中所闡述係一非暫時性電腦可讀媒體之實施方案，該非暫時性電腦可讀媒體上儲存有複數個電腦可執行指令，當藉由一電腦執行該複數個電腦可執行指令時致使電腦自一使用者接收使用者定義參數以用於修改一電網佈局。電網佈局可包含用於將一積體電路設計應用於一半導體晶圓之製作參數。該等指令可致使電腦基於由該使用者提供之該等使用者定義參數來識別用於條帶插入的該電網佈局之一使用者定義區域。該等指令可致使電腦識別用於條帶插入的電網佈局之區域中之軌道位置，其包含識別該電網佈局之該區域中之每一軌道位置之障礙物。該等障礙物可包含在條帶插入之前處於適當位置中之抑制條帶插入之預存在金屬及導通體。該等指令可致使電腦基於條帶插入之預定規則而在該電網佈局之該區域中插入至少一個條帶。 本文中所闡述之各種技術之實施方案在眾多一般用途或特殊用途計算系統環境或組態之情況下可具操作性。可適合用於與本文中所闡述之各種技術一起使用之計算系統、環境及/或組態之實例包含但不限於：個人電腦、伺服器電腦、手持式或膝上型裝置、多處理器系統、基於微處理器之系統、機上盒、可程式化消費性電子器件、網路PC，小型電腦、主機電腦、智慧型電話、平板電腦、隨身電腦、雲端計算系統、虛擬電腦、船用電子器件裝置及諸如此類。 本文中所闡述之各種技術可在由一電腦執行之電腦可執行指令之一般內容脈絡(諸如程式模組)中實施。程式模組包含執行特定任務或實施特定抽象資料類型之常式、程式、對象、組件、資料結構等。此外，每一程式模組可以其自身方式實施，且所有程式模組不必以相同方式實施。雖然程式模組可在一單個計算系統上執行，但應瞭解，在某些實施方案中，程式模組可在經調適以彼此通信之單獨計算系統或裝置上實施。一程式模組亦可係硬體與軟體之某一組合，其中由程式模組執行之特定任務可透過硬體、軟體或兩者之某一組合完成。 本文中所闡述之各種技術可在分佈式計算環境中實施，其中由透過一通信網路(例如藉由硬連線鏈路、無線鏈路或其各種組合)鏈接之遠端處理裝置執行任務。在一分佈式計算環境中，程式模組可位於本端及遠端電腦儲存媒體(包含(舉例而言)記憶體儲存裝置及類似裝置)中。 此外，本文所提供之論述可視為針對特定具體實施方案。應理解，本文所提供之論述係出於使熟習此項技術者能夠製成並使用本文中由申請專利範圍之標的物定義之任何標的物之目的而提供。 申請專利範圍之標的物不應意欲限制於本文中所提供之實施方案及圖解說明，而應包含包括實施方案之部分及根據申請專利範圍之不同實施方案之元件之組合之彼等實施方案之經修改形式。應瞭解，在開發任何此實施方案時，如在任何工程或設計項目中，必須做出眾多實施方案特有之決策以達成開發者之特定目標，諸如，符合系統相關及商業相關之約束(約束在不同的實施方案之間可不同)。此外，應瞭解，此一開發努力可係複雜且耗時的，但對受益於本發明之熟習此項技術者而言，仍將係設計、製作及製造之一例行工作。 已詳細參考各項實施方案，該等實施方案之實例在附圖及圖中圖解說明。在以下詳細說明中，陳述眾多特定細節以提供對本文中所提供之本發明之一透徹理解。然而，本文中所提供之本發明可在無此等具體細節之情況下實踐。在某些其他例項中，未詳細闡述熟知方法、程序、組件、電路及網路以免不必要地模糊實施例之細節。 亦應理解，儘管本文中可使用第一、第二等術語來闡述各種元件，但此等元件不應受此等術語限制。此等術語僅用於將一個元件與另一元件區分開。舉例而言，一第一元件可稱作一第二元件，且類似地，一第二元件可稱作一第一元件。第一元件及第二元件兩者分別皆係元件，但不能將其視為同一元件。 在本文中所提供之本發明之說明中所使用之術語係出於闡述特定實施方案之目的，且不意欲限制本文中所提供之本發明。如本文中所提供之本發明之說明及隨附申請專利範圍中所使用，單數形式「一(a)」、「一(an)」及「該(the)」亦意欲包含複數形式，除非內容脈絡另外清晰地指示。如本文中所使用之術語「及/或」係指且囊括相關聯所列物項中之一或多者之任何或所有可能組合。當在此說明書中使用時，術語「包含(includes)」、「包含(including)」、「包括(comprises)」及/或「包括(comprising)」規定所陳述特徵、整數、步驟、操作、元件及/或組件之一存在，但並不排除存在或添加一或多個其他特徵、整數、步驟、操作、元件、組件及/或其群組。 如本文中所使用，術語「若」可取決於內容脈絡而解釋為意指「當...時」或「在...之後旋即」或「回應於判定」或「回應於偵測」。類似地，片語「若其經判定」或「若[一所陳述條件或事件]經偵測」可取決於內容脈絡而解釋為意指「判定之後旋即」或「回應於判定」或「偵測到[所陳述條件或事件]之後旋即」或「回應於偵測到[所陳述條件或事件]」。可結合本文中所闡述之各種技術之某些實施方案使用術語「上」及「下」；「上部」及「下部」；「向上」及「向下」；「低於」及「高於」；及指示高於或低於一給出點或元件之相對位置之其他類似術語。 雖然前述針對於本文中所闡述之各種技術之實施方案，但可根據本文中之揭示內容設計其他及進一步實施方案，該等實施方案可由以下申請專利範圍判定。 儘管已以結構特徵及/或方法行為特有之語言來闡述標的物，但應理解，隨附申請專利範圍中所定義之標的物未必限制於上文所闡述之特定特徵或行為。而是，上文所闡述之特定特徵及行為係作為實施申請專利範圍之實例形式而揭示。
100‧‧‧設備
102‧‧‧計算裝置
104‧‧‧處理器
106‧‧‧記憶體/電腦可讀媒體
110‧‧‧區域識別器模組
112‧‧‧軌道識別器模組
114‧‧‧條帶放置模組
120‧‧‧使用者介面
130‧‧‧顯示裝置
132‧‧‧圖形使用者介面
150‧‧‧資料庫
200A‧‧‧電網佈局架構/電網佈局
200B‧‧‧電網佈局架構/電網佈局/區域
202‧‧‧堆疊
210‧‧‧標準單元軌/標準單元電力軌
212‧‧‧下部網
214‧‧‧上部網
220‧‧‧下級上部網條帶
222‧‧‧上部金屬條帶/條帶
224‧‧‧上部金屬條帶/條帶
226‧‧‧動態條帶/條帶/上部金屬條帶
228‧‧‧電力閘圖騰
250‧‧‧區域/條帶位置
250A‧‧‧限界框
252‧‧‧軌道位置
254‧‧‧金屬/預存在金屬
256‧‧‧導通體
258‧‧‧條帶插入/條帶
260‧‧‧子區域
260A‧‧‧子區域/第一子區域
260B‧‧‧子區域/第二子區域
260C‧‧‧子區域/第三子區域
260D‧‧‧子區域/第四子區域
262‧‧‧供應器目標間距
270‧‧‧清單()
272‧‧‧阻塞軌道
274‧‧‧條帶放置/插入
500‧‧‧計算裝置/電腦裝置/電腦系統
502‧‧‧匯流排
504‧‧‧處理組件/處理器
506‧‧‧系統記憶體組件
508‧‧‧靜態儲存組件
510‧‧‧硬碟機組件
512‧‧‧網路介面組件/通信介面
514‧‧‧顯示器組件
516‧‧‧輸入組件
518‧‧‧游標控制組件
520‧‧‧影像擷取組件
530‧‧‧通信鏈路
M1‧‧‧金屬層
M2‧‧‧金屬層
M3‧‧‧金屬層
V‧‧‧導通體
V1‧‧‧導通體
本文中參考附圖闡述各種技術之實施方案。然而，應理解附圖僅圖解說明本文中所闡述之各項實施方案且並不意在限制本文中所闡述之各種技術之實施例。 圖1圖解說明根據本文中所闡述之各項實施方案之用於實施一電網插入技術之一系統之一方塊圖。 圖2A至圖2B圖解說明根據本文中所闡述之各項實施方案之電網佈局架構之各種圖式。 圖3A至圖3B圖解說明根據本文中所闡述之各項實施方案之用於實施電網插入之一方法之一程序流程圖。 圖4圖解說明根據本文中所闡述之各項實施方案之用於實施電網插入之一方法之另一程序流程圖。 圖5圖解說明根據本文中所闡述之各項實施方案之一計算裝置之一方塊圖。

Claims (20)

  1. 一種設備，其包括： 一區域識別器模組，其接收使用者定義參數以用於修改一電網佈局且基於該等使用者定義參數來識別用於條帶插入的該電網佈局之一區域；一軌道識別器模組，其識別用於條帶插入的該電網佈局之該區域中的軌道位置；及一條帶放置模組，其基於條帶插入之預定規則而在該電網佈局之該區域中插入至少一個條帶。
  2. 如請求項1之設備，其中該電網佈局包含用於將一積體電路設計應用於一半導體晶圓之製作參數。
  3. 如請求項2之設備，其中該電網佈局識別該積體電路內之參數變化，該等參數變化允許在將該積體電路蝕刻至該半導體晶圓上時該積體電路適當地起作用。
  4. 如請求項1之設備，其中該區域包含一使用者定義區域，且其中該等使用者定義參數包含由一使用者提供之該使用者定義區域。
  5. 如請求項1之設備，其中該等使用者定義參數包含由一使用者提供之一供應器目標間距。
  6. 如請求項5之設備，其中該電網佈局之該區域被細分成多個子區域，且其中該供應器目標間距在該等子區域中之每一者中定義若干個該等軌道位置。
  7. 如請求項6之設備，其中該條帶放置模組選擇最接近於每一子區域內之一中心軌道位置或最接近於每一子區域之至少一個端部分的至少一個軌道位置，且基於條帶插入之預定規則而將該至少一個條帶插入該至少一個軌道位置中。
  8. 如請求項1之設備，其中該軌道識別器模組檢索該區域中之每一軌道位置之一清單，且其中該清單包含定義該區域中之每一軌道位置之軌道資訊的資料結構。
  9. 如請求項8之設備，其中該軌道識別器模組基於該區域中之每一軌道位置之該清單而識別該區域中之每一軌道位置之障礙物。
  10. 如請求項9之設備，其中該等障礙物包含在條帶插入之前處於適當位置中之抑制條帶插入之預存在金屬及導通體。
  11. 如請求項1之設備，其中該軌道識別器模組識別具有抑制條帶插入之障礙物之一或多個阻塞軌道。
  12. 如請求項1之設備，其中該軌道識別器模組檢查條帶插入之間隔規則，且其中該等間隔規則針對毗鄰軌道位置而識別抑制條帶插入之毗鄰間隔障礙物。
  13. 如請求項1之設備，其中條帶插入之該等預定規則包含避免阻塞有障礙物之軌道位置。
  14. 如請求項1之設備，其中條帶插入之該等預定規則包含避免違反條帶插入之間隔規則之軌道位置。
  15. 如請求項1之設備，其中條帶插入之該等預定規則包含選擇最接近於一中心軌道位置或最接近於該區域之至少一個端部分的軌道位置。
  16. 一種方法，其包括： 自一使用者接收使用者定義參數以用於修改一電網佈局，其中該電網佈局包含用於將一積體電路設計應用於一半導體晶圓之製作參數；基於由該使用者提供之該等使用者定義參數來識別用於條帶插入的該電網佈局之一使用者定義區域；識別用於條帶插入的該電網佈局之該區域中的軌道位置，包含識別該電網佈局之該區域中之每一軌道位置之障礙物，其中該等障礙物包含在條帶插入之前處於適當位置中之抑制條帶插入之預存在金屬及導通體；及基於條帶插入之預定規則而在該電網佈局之該區域中插入至少一個條帶。
  17. 如請求項16之方法，其中該電網佈局進一步識別該積體電路內之參數變化，該等參數變化允許在將該積體電路蝕刻至該半導體晶圓上時該積體電路適當地起作用。
  18. 如請求項16之方法，其中該等使用者定義參數包含由一使用者提供之一供應器目標間距，且其中該電網佈局之該區域被細分成多個子區域，並且其中該供應器目標間距在該等子區域中之每一者中定義若干個該等軌道位置。
  19. 如請求項16之方法，其中條帶插入之該等預定規則包含以下各項中之一或多者： 一第一規則，其避免阻塞有障礙物之軌道位置，一第二規則，其避免違反條帶插入之間隔規則之軌道位置，及一第三規則，其選擇最接近於一中心軌道位置或最接近於該區域之至少一個端部分的軌道位置。
  20. 一種非暫時性電腦可讀媒體，其上儲存有複數個電腦可執行指令，該複數個電腦可執行指令在由一電腦執行時致使該電腦進行以下操作： 自一使用者接收使用者定義參數以用於修改一電網佈局，其中該電網佈局包含用於將一積體電路設計應用於一半導體晶圓之製作參數；基於由該使用者提供之該等使用者定義參數來識別用於條帶插入的該電網佈局之一使用者定義區域；識別用於條帶插入的該電網佈局之該區域中的軌道位置，包含識別該電網佈局之該區域中之每一軌道位置之障礙物，其中該等障礙物包含在條帶插入之前處於適當位置中之抑制條帶插入之預存在金屬及導通體；及基於條帶插入之預定規則而在該電網佈局之該區域中插入至少一個條帶。
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