TW201839380A - 用於配置檢查系統的電腦化方法、電腦程式產品和檢查系統 - Google Patents

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Abstract

一種電腦程式產品、用於配置檢查系統的電腦化方法、和檢查系統。檢查系統可以包括：圖像採集模組，包括照明光學器件和收集光學器件；控制器；和處理器。圖像採集模組可經佈置以獲取對象片段的一組第一圖像。在檢查系統配置有屬於第一組偏振配置的不同偏振配置時獲取所述一組第一圖像中的不同第一圖像。處理器可經佈置以確定在物件片段內的不同點的偏振參數；其中所述確定基於所述一組第一圖像和所述不同偏振配置；和基於不同點的偏振參數計算物件片段的一組第二圖像，在檢查系統根據屬於第二組偏振配置的不同偏振配置而被配置時將會獲取所述一組第二圖像。

Description

用於配置檢查系統的電腦化方法、電腦程式產品和檢查系統
本申請案主張於2017年3月30日提交的名稱為「COMPUTERIZED METHOD FOR CONFIGURING AN INSPECTION SYSTEM, COMPUTER PROGRAM PRODUCT AND AN INSPECTION SYSTEM (用於配置檢查系統的電腦化方法、電腦程式產品和檢查系統)」的15/474,210號美國非臨時申請案的權益，該申請案全文以引用方式併入本文。
本發明係關於用於配置檢查系統的電腦化方法、電腦程式產品和檢查系統
可能需要檢查系統檢查包括多個物件片段的物件(諸如半導體晶圓或光刻掩模)。
每個物件片段可以包括不同形狀和材料的微觀結構要素。
不同微觀結構要素可能由於它們的偏振參數而彼此不同。
檢查系統可以具有可配置的偏振參數。每個偏振參數能夠具有多個不同值。
對提供用於確定檢查系統的偏振參數的最佳或次佳值的快速且可靠的方法的需要日益增長。當檢查片段時，偏振參數的最佳或次佳值可以匹配物件片段的偏振參數。
根據本發明的實施方式，可提供電腦程式產品、用於配置檢查系統的電腦化方法、和檢查系統。
在以下詳細說明書中，闡述許多特定細節，以便提供對本發明的更透徹的理解。然而，本領域的技術人員將理解到，本發明可以在沒有這些特定細節的情況下而被實踐。在其它情況下，所熟知的方法、過程和部件未詳細地描述，以便不模糊本發明。
本說明書的結論部分中特別指出且明確要求保護被視為本發明的主題。然而，就組織和操作方法兩者而言，本發明及其物件、特徵和優點可在閱讀所附附圖的同時參考以下詳細說明來最佳地理解。
將瞭解到，為了簡潔且清楚地進行圖示，附圖中所示的元件不一定按比例繪製。例如，為了清楚，一些元件的尺寸可相對於其它元件被誇大。另外，被認為是適當的是，附圖標記可在附圖中重複，以指示對應或相似的元件。
由於本發明的所示實施方式大部分可使用本領域的技術人員已知的電子部件和電路來實現，因此為了本發明的基本概念的理解和瞭解並且為了避免本發明的教導內容的混亂或歧義，如上所示的認為是必要的程度之外，細節不會進行更大程度的解釋。
在本說明書中對方法的任何引用應當加以必要的修改而應用於能夠執行該方法的系統，並且應當加以必要的修改而應用於存儲由電腦執行而使得該方法被執行的指令的電腦程式產品。
在本說明書中對系統的任何引用應當加以必要的修改而應用於可由系統執行的方法，並且應當加以必要的修改而應用於存儲可由系統執行的指令的電腦程式產品。
在本說明書中對電腦程式產品的任何引用應當加以必要的修改而應用於能夠執行存儲在電腦程式產品中的指令的系統，並且應當加以必要的修改而應用於可由讀取存儲在非暫態電腦可讀媒體中的指令的電腦執行的方法。
圖1是檢查系統10和物件90的實例。
物件90包括多個物件片段，諸如物件片段91。物件片段可以具有任何的形狀和尺寸。檢查系統10可以一個接一個地檢查物件片段。
檢查系統10包括圖像採集模組20、控制器70和處理器80。
圖像採集模組20包括照明光學器件30和收集光學器件40。
圖1將照明光學器件30示出為使用電磁輻射來物件片段91進行照明。
照明光學器件30可以經配置為各種照明偏振狀態。
照明偏振狀態可以表示照明光學器件30的各種部件(諸如但不限於延遲器（retarder）、波片和偏振射束分離器)的偏振參數。波片的非限制性實例包括半波片和四分之一波片。
收集光學器件40經佈置以收集從對象的片段收集到的電磁輻射。
收集光學器件40可以包括用於感測收集到的電磁輻射的一個或多個感測器。
收集光學器件40可以經配置為各種收集偏振狀態。
收集偏振狀態可以表示收集光學器件40的各種部件(諸如但不限於延遲器、波片和偏振射束分離器)的偏振參數。
照明光學器件30和收集光學器件40可以共用一個或多個光學部件。圖1示出了共用第一射束分離器22、第一四分之一波片23、第一半波片24和望遠鏡物鏡25的照明光學器件30和收集光學器件40。
或者，照明光學器件30和收集光學器件40不共用任何光學部件。
圖像採集模組20經佈置以獲取對象片段的一組第一圖像。
在檢查系統被配置有屬於第一組偏振配置的不同偏振配置的同時，獲取所述一組第一圖像中的不同第一圖像。
處理器80經佈置以： a. 確定在物件片段內的不同點的偏振參數。所述確定基於這一組第一圖像和不同偏振配置。 b. 基於不同點的偏振參數計算物件片段的一組第二圖像，在檢查系統根據屬於第二組偏振配置的不同偏振配置而被配置時將會獲取這一組第二圖像。第二組偏振配置中的不同偏振配置的數量比第一組偏振配置中包括的不同偏振配置的數量大至少一個50倍。應當注意，基於少得多數量的第一圖像來計算非常大的數量的第二圖像使得檢查系統能夠評估非常大的數量的偏振配置，而無需實際上將檢查系統配置為非常大的數量的可能偏振配置(此舉是不可行的)。非常大的數量可能超過十萬。 c. 計算這一組第二圖像中的多個第二圖像的每個第二圖像的第二圖像屬性，從而提供多個第二圖像屬性。 d. 基於多個第二圖像屬性中的至少一些而從這一組第二圖像中選擇選定的第二圖像。
控制器70經佈置以根據與選定的第二圖像相關聯的偏振配置來配置檢查系統。
在圖1中，圖像採集模組20被示出為包括光源21、第一射束分離器22、第一四分之一波片23、第一半波片24、望遠鏡物鏡25、第一收集透鏡31、第二四分之一波片32、第二半波片33、偏振器34、第二射束分離器36、第三收集透鏡37、第一偵測器38和第二偵測器39。
照明光學器件30包括第一射束分離器22、第一四分之一波片23、第一半波片24和望遠鏡物鏡25。
來自光源21的電磁輻射穿過照明光學器件30並入射在物件片段91上。
來自對象片段91的收集到的電磁輻射穿過收集光學器件40。
來自對象片段的收集到的輻射(a)穿過望遠鏡物鏡25、第一半波片24、第一四分之一波片23，(b)被第一射束分離器22朝向第一收集透鏡31偏轉，(c)穿過第一收集透鏡31、第二四分之一波片32、第二半波片33、偏振器34、第二收集透鏡35，(d)被第二射束分離器36分開，(e)收集到的輻射的一部分穿過第三收集透鏡37並入射在第一偵測器38上，同時收集到的輻射的另一部分由第二射束分離器36偏轉以被第二偵測器39偵測。
第一偵測器38定位在圖像平面中，而第二偵測器39定位在光瞳平面處。
收集光學器件40的收集偏振狀態可以表示第一半波片24、第一四分之一波片23、第二四分之一波片32、第二半波片33和偏振器34的偏振參數。
照明光學器件30的照明偏振狀態可以表示第一半波片24和第一四分之一波片23的偏振參數。
控制器70可經由控制第一半波片24、第一四分之一波片23、第二四分之一波片32、第二半波片33和偏振器34的偏振來控制檢查系統的配置。
處理器80可接收和處理來自第一偵測器38和來自第二偵測器39的偵測信號。
圖2示出了方法100的實例。
方法100可以包括： a. 獲取（110），經由檢查系統獲取物件片段的一組第一圖像。在檢查系統配置有屬於第一組偏振配置的不同偏振配置時獲取所述一組第一圖像中的不同第一圖像。這一組第一圖像的獲取包括多次重複以下步驟：(a)將檢查系統的偏振配置改變為第一組偏振配置中的新的偏振配置；和(b)獲取物件片段的新的第一圖像。 b. 確定（120），確定在物件片段內的不同點的偏振參數。所述確定基於這一組第一圖像和不同偏振配置。 c. 計算（130），基於不同點的偏振參數計算物件片段的一組第二圖像，在檢查系統根據屬於第二組偏振配置的不同偏振配置而被配置時將會獲取這一組第二圖像。第二組偏振配置中的不同偏振配置的數量比第一組偏振配置中包括的不同偏振配置的數量大至少一個50倍。 d. 計算（140），計算這一組第二圖像中的多個第二圖像的每個第二圖像的第二圖像屬性，從而提供多個第二圖像屬性。第二圖像屬性可以是訊雜比或可輔助選擇將導致偵測系統的改善的偏振配置的第二圖像的任何其它屬性。改善的偏振配置可以提供對物件片段的點的偏振參數的最佳擬合。 e. 選擇（150），基於多個第二圖像屬性中的至少一些從這一組第二圖像中選擇選定的第二圖像。所述選擇可透過應用任何選擇標準來進行。例如，選擇具有最高的訊雜比的第二圖像。 f. 配置（160），根據與選定的第二圖像相關聯的偏振配置來配置檢查系統。
以下實例將進一步闡明方法100。該實例是基於下組假設： a. 一組第一圖像包括透過使用25個偏振配置而獲取的25個第一圖像。 b. 這25個偏振配置透過使用(i)5個不同第一照明偏振狀態和(ii)5個不同第一收集偏振狀態的組合而被提供。 c. 物件片段對應於圖像採集模組的視場，並且每個第一圖像包括被佈置成100行，每行100個像素的1萬個像素。 d. 不同點是物件片段的全部點。 e. 每個點的偏振參數由包括16個係數的穆勒矩陣表示。 f. 一組第二圖像包括9萬個第二圖像，這9萬個第二圖像是在假設檢查系統經配置為9萬個不同偏振配置時而被計算的。 g. 這9萬個偏振配置透過使用(i)300個不同第二照明偏振狀態和(ii)300個不同第二收集偏振狀態的組合而被提供。
在該組假設下，第一圖像的每個點的偏振參數的確定包括抽出對應於來自方程式(1)的點的像素的穆勒矩陣：
其中： a. GL11至GL55是25個第一圖像的每一個上的像素的25個灰度等級值。 b. COLL1至COLL5表示五個不同收集偏振狀態。 c. MOO至M33是點的穆勒矩陣的16個係數。 d. ILL1至ILL5表示5個不同照明偏振狀態。
GL11至GL55、COLL1至COLL5和ILL1至ILL5是事先已知的，並且可使用方程式(1)來計算穆勒矩陣。
方程式(1)是基於以下資訊來確定點的偏振參數的實例：(a)關於與給定點相關的來自第一圖像的給定像素的資訊、(b)關於所述第一收集偏振狀態的資訊和關於所述第一照明偏振狀態的資訊。
特別地，方程式(1)示出了點的偏振參數的確定，包括在以下項之間進行比較：(a)與給定點相關的來自第一圖像的給定像素的矩陣、(b) (i)表示第一收集偏振狀態的向量、(ii)給定點的穆勒矩陣、和(iii)表示第一照明偏振狀態的向量之間的乘法乘積。
在該組假設下，計算物件片段的一組第二圖像可以包括求解方程式(2)：
其中： a. IMAGE(1,1)至IMAGE(300,300)是9萬個第二圖像。 b. COLL1至COLL300表示300個不同收集偏振狀態。 c. M(1,1)至M(100,100)是對象片段的1萬個像素的1萬個穆勒矩陣。 d. ILL1至ILL300表示300個不同照明偏振狀態。
方程式(2)是基於不同點的偏振參數計算第二圖像的實例，其中計算第二圖像包括：使(i)表示第二收集偏振狀態的向量與(ii)不同點的穆勒矩陣相乘，並與(iii)表示第二照明偏振狀態的向量相乘。
應當注意，雖然方程式(2)示出了第二圖像的大規模的平行計算，但是對第二圖像的計算可至少部分地序列化。例如，第二圖像可以透過一次僅考慮第二照明偏振狀態中的一些而被計算。
應當注意： a. 一組第一圖像的第一圖像的數量可不同於25。 b. 不同第一照明偏振狀態的數量可不同於5。 c. 不同第一收集偏振狀態的數量可不同於5。 d. 每一物件片段的像素數量可不同於1萬個。 e. 物件片段可不對應於圖像採集模組的視場。 f. 物件片段的不同點(為不同點計算偏振參數)可僅包括物件片段的點中的一些。 g. 點的偏振參數可不同於包括16個係數的穆勒矩陣。 h. 可以不同於方程式(1)的向量的方式表示不同第一照明偏振狀態和不同第一收集偏振狀態。 i. 方程式(1)僅是計算點的偏振參數的非限制性實例。 j. 一組第二圖像的第二圖像的數量可不同於9萬。 k. 不同第二照明偏振狀態的數量可不同於300。 l. 不同第二收集偏振狀態的數量可不同於300。 m. 可以不同於方程式(2)的向量的方式表示不同第二照明偏振狀態和不同第二收集偏振狀態。 n. 方程式(2)僅是計算點的偏振參數的非限制性實例。
圖3示出了第二圖像200(1,1)-200(4,4)和表示第二圖像的不同部分的幾個穆勒矩陣202、204和206。
圖4示出了第二圖像211、212、213、214和第一圖像221、222、223和224。第二圖像211、212、213、214是使用基於在圖像物件片段中的不同點的偏振參數並同時假設用於獲得第一圖像221、222、223和224的相同偏振配置而被計算的。
圖5示出了方法300的實例。
方法300可以包括： a. 獲取（310），透過檢查系統獲取一組第一光瞳圖像。 b. 在檢查系統配置有屬於第一組偏振配置的不同偏振配置時獲取這一組第一光瞳圖像中的不同第一光瞳圖像。 c. 確定（320），確定在光瞳平面內的不同點的偏振參數；其中所述確定基於這一組第一光瞳圖像和不同偏振配置。 d. 計算（330），基於不同點的偏振參數計算一組第二光瞳圖像，在檢查系統根據屬於第二組偏振配置的不同偏振配置而被配置時將會獲取這一組第二光瞳圖像。第二組偏振配置中的不同偏振配置的數量比第一組偏振配置中包括的不同偏振配置的數量大至少一個50倍。 e. 計算（340），計算一組第二光瞳圖像中的多個第二光瞳圖像的每個第二光瞳圖像的第二光瞳圖像屬性，從而提供多個第二光瞳圖像屬性。 f. 選擇（350），基於多個第二光瞳圖像屬性中的至少一些從這一組第二光瞳圖像中選擇選定的第二光瞳圖像。 g. 配置（360），根據與選定的第二光瞳圖像相關聯的偏振配置來配置檢查系統。
這一組第一光瞳圖像的獲取可以包括輻照鏡子並且偵測第一光瞳圖像。
圖6示出了第二光瞳圖像370(1,1)-370(4,4)和第二光瞳圖像的部分中的一個的穆勒矩陣372。
圖7示出了第二光瞳圖像380(1,1)-380(4,4)和第二光瞳圖像的不同部分的兩個穆勒矩陣382和384。
這些圖像在照射均勻圖案(諸如裸露晶圓)時獲得。
在前述的說明書中，已經參考本發明的實施方式的特定實例描述了本發明。然而，將會清楚的是，在不背離如權利要求中闡述的本發明的更廣泛的精神和範圍的情況下，可以做出各種的修改和改變。
此外，本說明書和權利要求書中的術語「前部」、「後部」、「頂部」、「底部」、「在……之上」，「在……之下」和類似術語(若有的話)用於描述性目的而不一定用於描述永久相對位置。應當理解，如此使用的術語在適當情況下可互換，使得本文所述的本發明的實施方式例如能夠以除了本文所示或另外描述的那些之外的其它取向進行步驟。
本領域的技術人員將認識到，邏輯塊之間的邊界僅是說明性的，並且替代實施方式可以合併邏輯塊或電路元件，或者對各種邏輯塊或電路元件施加功能的替代分解。因此，應當理解，本文中描繪的架構僅是示例性的，並實際上可以實施實現相同功能的許多其它架構。
用於實現相同功能的部件的任何佈置被有效地「關聯」，使得實現期望功能。因此，經組合以實現特定功能的任何兩個本文中的部件可被視為彼此「關聯」，使得實現期望的功能，不管架構或中間部件如何。同樣，如此關聯的任何兩個部件也可被視為彼此「可操作地連接」或「可操作地耦接」以實現期望功能。
此外，本領域的技術人員將認識到，上述步驟之間的界限僅是說明性的。多個步驟可組合成單個步驟，單個步驟可以附加步驟分佈，並且步驟可在時間上至少部分地重疊地執行。此外，替代實施方式可以包括特定步驟的多個實例，並且步驟順序在各種其它實施方式中可以更改。
同樣，例如，在一個實施方式中，所示出的實例可實現為位於單個積體電路上或同一裝置內的電路。或者，實例可實現為以合適的方式彼此互連的任意數量的單獨積體電路或單獨裝置。
然而，其它修改、變化和替代也是可能的。本說明書和附圖因此被視為是說明性的而非限制性的。
在權利要求中，置於括弧之間的任何參考符號不應被解釋為限制權利要求。字詞「包括」不排除權利要求中列出的那些之外的其它元件或步驟的存在。此外，如本文所用的術語「一個」或「一種」被限定為一個或多於一個。另外，在權利要求中使用諸如「至少一個」和「一個或多個」的介紹性短語不應被解釋為意味由不定冠詞「一個」或「一種」引入的另一權利要求要素將包含此類引入的權利要求元素的任何特定權利要求限制為僅包含一個此類要素的發明，即使相同權利要求包括介紹性短語「一個或多個」或「至少一個」和不定冠詞(諸如「一個」或「一種」)也是如此。對於定冠詞的使用也是如此。除非另有說明，否則諸如「第一」和「第二」的術語用於任意區分此類術語所描述的要素。因此，這些術語並不一定意圖指示此類要素的時間或其它優先次序。某些措施在互不相同的權利要求中進行陳述這一事實並不表示這些措施的組合無法被有利地使用。
雖然本文示出和描述了本發明的某些特徵，但是本領域的普通技術人員現將會想到許多修改、替換、改變和等效情況。因此，應當理解，所附權利要求旨在覆蓋落入本發明的真實精神內的所有此類修改和變化。
10‧‧‧檢查系統
20‧‧‧圖像採集模組
21‧‧‧光源
22‧‧‧第一射束分離器
23‧‧‧第一四分之一波片
24‧‧‧第一半波片
25‧‧‧望遠鏡物鏡
30‧‧‧照明光學器件
31‧‧‧第一收集透鏡
32‧‧‧第二四分之一波片
33‧‧‧第二半波片
34‧‧‧偏振器
35‧‧‧第二收集透鏡
36‧‧‧第二射束分離器
37‧‧‧第三收集透鏡
38‧‧‧第一偵測器
39‧‧‧第二偵測器
40‧‧‧收集光學器件
70‧‧‧控制器
80‧‧‧處理器
90‧‧‧物件
91‧‧‧物件片段
110‧‧‧獲取
120‧‧‧確定
130‧‧‧計算
140‧‧‧計算
150‧‧‧選擇
160‧‧‧配置
200(1,1)-200(4,4)‧‧‧第二圖像
202‧‧‧穆勒矩陣
204‧‧‧穆勒矩陣
206‧‧‧穆勒矩陣
211‧‧‧第二圖像
212‧‧‧第二圖像
213‧‧‧第二圖像
214‧‧‧第二圖像
221‧‧‧第一圖像
222‧‧‧第一圖像
223‧‧‧第一圖像
224‧‧‧第一圖像
310‧‧‧獲取
320‧‧‧確定
330‧‧‧計算
340‧‧‧計算
350‧‧‧選擇
360‧‧‧配置
370(1,1)-370(4,4)‧‧‧第二光瞳圖像
372‧‧‧穆勒矩陣
380(1,1)-380(4,4)‧‧‧第二光瞳圖像
382‧‧‧穆勒矩陣
384‧‧‧穆勒矩陣
本說明書的結論部分中特別指出且明確要求保護被視為本發明的主題。然而，就組織和步驟方法二者而言，本發明及其物件、特徵和優點可在閱讀所附附圖的同時參考以下詳細說明來最佳地理解，在附圖中：
圖1示出了檢查系統和物件的實例；
圖2示出了方法的實例；
圖3示出了第二圖像和表示第二圖像的不同部分的穆勒矩陣的實例；
圖4示出了第二圖像和第一圖像的實例；
圖5示出了方法的實例；
圖6示出了第二光瞳圖像和第二光瞳圖像的部分中的一個的穆勒矩陣的實例；和
圖7示出了第二光瞳圖像和第二光瞳圖像的不同部分的兩個穆勒矩陣的實例。
將瞭解到，為了簡潔且清楚地進行圖示，附圖中所示的元件不一定按比例繪製。例如，為了清楚，一些元件的尺寸可相對於其它元件被誇大。另外，被認為是適當的是，附圖標記可在附圖中重複，以指示對應或相似的元件。
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Claims (15)

  1. 一種檢查系統，該檢查系統包括： 一圖像採集模組，該圖像採集模組包括照明光學器件和收集光學器件；一控制器；及一處理器；其中該圖像採集模組經佈置以獲取一物件片段的一組第一圖像；其中在該檢查系統配置有屬於一第一組偏振配置的不同偏振配置時獲取該組第一圖像中的不同第一圖像；其中該處理器經佈置以：確定在該物件片段內的不同點的偏振參數；其中該確定基於該組第一圖像和該不同偏振配置；基於該等不同點的該等偏振參數計算該對象片段的一組第二圖像，在該檢查系統根據屬於一第二組偏振配置的不同偏振配置而被配置時將會獲取該組第二圖像；其中該第二組偏振配置中的不同偏振配置的數量比該第一組偏振配置中包括的不同偏振配置的數量大至少一個50倍；為該組第二圖像中的多個第二圖像的每個第二圖像計算一第二圖像屬性，從而提供多個第二圖像屬性；和基於該多個第二圖像屬性中的至少一些從該組第二圖像中選擇一選定的第二圖像；以及其中該控制器經佈置以根據與該選定的第二圖像相關聯的一偏振配置來配置該檢查系統。
  2. 如請求項1所述的檢查系統，其中該等不同點的該等偏振參數包括該等不同點的每個點的穆勒矩陣。
  3. 一種用於配置一檢查系統的電腦化方法，該方法包括以下步驟： 藉由該檢查系統獲取一物件片段的一組第一圖像；其中在該檢查系統配置有屬於一第一組偏振配置的不同偏振配置時獲取該組第一圖像中的不同第一圖像；確定在該物件片段內的不同點的偏振參數；其中該確定基於該組第一圖像和該等不同偏振配置；基於該等不同點的該等偏振參數計算該對象片段的一組第二圖像，在該檢查系統根據屬於一第二組偏振配置的不同偏振配置而被配置時將會獲取該組第二圖像；其中該第二組偏振配置中的不同偏振配置的數量比該第一組偏振配置中包括的不同偏振配置的數量大至少一個50倍；為該組第二圖像中的多個第二圖像的每個第二圖像計算一第二圖像屬性，從而提供多個第二圖像屬性；基於該等多個第二圖像屬性中的至少一些從該組第二圖像中選擇一選定的第二圖像；以及根據與該選定的第二圖像相關聯的一偏振配置來配置該檢查系統。
  4. 如請求項3所述的電腦化方法，其中該等不同點的該等偏振參數包括該等不同點的每個點的穆勒矩陣。
  5. 如請求項3所述的電腦化方法，其中該等不同點是該物件片段的全部點；其中每個點由該等第一圖像的每一個中的一單個像素表示。
  6. 如請求項3所述的電腦化方法，其中該第二圖像屬性是該第二圖像的訊雜比。
  7. 如請求項3所述的電腦化方法，其中屬於該第一組偏振配置的該等不同偏振配置包括第一照明偏振狀態的不同組合和第一收集偏振狀態的不同組合。
  8. 如請求項7所述的電腦化方法，其中確定該等不同點中的一給定點的偏振參數包括在以下項之間進行比較：(a)來自與該給定點相關的第一圖像的給定像素的一矩陣；(b) (i)表示該第一收集偏振狀態的一向量、(ii)該給定點的一穆勒矩陣、和(iii)表示該第一照明偏振狀態的一向量之間的一乘法乘積。
  9. 如請求項7所述的電腦化方法，其中確定該等不同點中的一給定點的偏振參數是基於：(a)關於來自與該給定點相關的第一圖像的給定像素的資訊、(b)關於該第一收集偏振狀態的資訊和關於該第一照明偏振狀態的資訊。
  10. 如請求項3所述的電腦化方法，其中屬於該第二組偏振配置的該等不同偏振配置包括第二照明偏振狀態的不同組合和第二收集偏振狀態的不同組合。
  11. 如請求項10所述的電腦化方法，其中基於該等不同點的該等偏振參數計算一給定第二圖像包括：使(i)表示該第二收集偏振狀態的一向量與(ii)該等不同點的穆勒矩陣相乘，並與(iii)表示該第二照明偏振狀態的一向量相乘。
  12. 如請求項3所述的電腦化方法，其中該第二組偏振配置中的不同偏振配置的數量比該第一組偏振配置中包括的不同偏振配置的數目大至少1000倍。
  13. 一種電腦程式產品，該電腦程式產品存儲用於進行以下操作的指令：藉由檢查系統獲取一組第一光瞳圖像；其中在該檢查系統配置有屬於第一組偏振配置的不同偏振配置時獲取該組第一光瞳圖像中的不同第一光瞳圖像；確定在光瞳平面內的不同點的偏振參數；其中該確定基於該組第一光瞳圖像和該不同偏振配置； 基於該等不同點的該等偏振參數計算一組第二光瞳圖像，在該檢查系統根據屬於一第二組偏振配置的不同偏振配置而被配置時將會獲取該組第二光瞳圖像；其中該第二組偏振配置中的不同偏振配置的數量比該第一組偏振配置中包括的不同偏振配置的數量大至少一個50倍；為該組第二光瞳圖像中的多個第二光瞳圖像的每個第二光瞳圖像計算一第二光瞳圖像屬性，從而提供多個第二光瞳圖像屬性；基於該多個第二光瞳圖像屬性中的至少一些從該組第二光瞳圖像中選擇一選定的第二光瞳圖像；以及根據與該選定的第二光瞳圖像相關聯的一偏振配置來配置該檢查系統。
  14. 如請求項13所述的電腦程式產品，該電腦程式產品存儲用於由該檢查系統經由照射鏡子來獲取該組第一光瞳圖像的指令。
  15. 如請求項13所述的電腦程式產品，其中在該光瞳平面內的該等不同點的該等偏振參數包括該等不同點的每個點的穆勒矩陣。
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