TW201716759A - 鋼材的表面特性評估方法 - Google Patents

Abstract

本發明的目的係提供一種表面特性評估方法，其係考慮深度方向來評估經施以表面改質處理之鋼材的殘留應力。該表面特性評估方法包含：準備表面特性評估裝置之步驟；以使被包含在表面特性評估裝置之線圈激發之交流磁場滲透到鋼材內部之方式配置經施以過表面改質處理之鋼材的步驟；使在被檢體產生渦電流之步驟；連續地變更施加在線圈的交流磁場之步驟；從線圈間的電位差及流通於線圈之電流值按各個頻率算出阻抗Z1之步驟；根據阻抗Z1進行演算之步驟；以及根據透過演算所得到的結果來評估鋼材的殘留應力之步驟。

Description

鋼材的表面特性評估方法

本發明係有關評估經施以表面改質處理之鋼材的殘留應力(Residual stress)之方法。

就鋼材的表面改質處理而言，廣為人知的有各種熱處理(滲碳淬火、氮化熱處理、高周波淬火等)與珠擊處理。透過表面改質處理，將殘留應力賦予在鋼材的表面附近，而使鋼材的疲勞強度提高。表面改質處理係按照鋼材的用途對距離鋼材表面的深度賦予所欲的殘留應力之方式，來考慮處理條件。為了精準地評估該表面改質處理是否適當地進行，必須亦考慮深度方向。

測量鋼材的疲勞強度之方法被揭示在專利文獻1。在專利文獻1中，評估顯示經珠擊處理的鋼材之預定的壓縮殘留應力其峰值之深度。但是，專利文獻1所揭示之評估方法必須按照測量對象及/或各個表面改質處理的條件來設定測量條件。因此，因受材料之個體差等之落差而無法進行更精準的評估。

測量鋼材的疲勞強度之別的方法被揭示在 專利文獻2。在專利文獻2中，在藉依序變更流通於抵接在鋼材的勵磁線圈之勵磁電流頻率而使使鋼材表面之磁通的滲透深度(磁導率)依序變更的狀態下，藉由依序測量檢測線圈的輸出電壓值，來算出鋼材的壓縮殘留應力的分布。但是，於檢測線圈之輸出電壓值，包含有因磁導率的變化之電壓成分以及因檢測線圈本身的阻抗之電壓成分。因此，因周邊環境的變化(溫度、雜訊等)而使檢測線圈本身的阻抗之特性產生變化時，使測量值之信賴度降低。再者，此測量裝置之勵磁線圈必須考慮與鋼材的距離之檢測信號產生變化之現象(剝離(lift-off)現象)來設計，而從此觀點沒被揭示。如此，在專利文獻2之測量裝置中無法正確地評估鋼材的壓縮殘留應力。

[先前技術文獻] [專利文獻]

專利文獻1：日本特開平07-092140號公報

專利文獻2：日本特開平05-203503號公報

本發明係鑑於解決以上問題點而研創者，其目的係在提供一種表面特性評估方法，其係以考慮深度方向的分布之方式且可精準地評估經施以過表面改質處理之鋼材的殘留應力。

本發明之一態樣係評估經施以表面改質處理之鋼材的殘留應力之表面特性評估方法。此表面特性評估方法包含以下(1)至(6)的步驟。上述步驟亦可各別進行，或亦可同時進行2個以上。

(1)準備包含振盪器、檢測器、及量測器之表面特性評估裝置之準備步驟，該振盪器係具備有交流電源及可變頻率電路，該檢測器係連接於發送器，且具備有線圈，而該量測器係連接於可變頻率電路及檢測器。

(2)將經施以表面改質處理之鋼材設為被檢體，且將該被檢體配置成使藉由線圈所激發之交流磁場滲透到被檢體的內部之被檢體配置步驟。

(3)藉由使交流電源作動，使線圈激發交流磁場，且使該交流磁場滲透到被檢體的內部，而在被檢體產生渦電流之渦電流產生步驟。

(4)藉由可變頻率電路連續地變更交流電流的頻率，從而使朝被檢體之交流磁場的滲透深度連續地變更之頻率變更步驟。

(5)檢測線圈兩端之間的電位差及流通於線圈之電流值，且按各個頻率算出阻抗Z₁之阻抗算出步驟。

(6)根據阻抗Z₁評估被檢體的殘留應力之評估步驟。

在本發明之一態樣中，藉由使線圈所激發交流磁場滲透到鋼材來檢測透過表面改質處理而在內部產生之應變。此時，藉由連續地使施加在線圈之交流電流的頻率產生變化，可檢測該應變的深度方向的分布。此外， 藉由使用阻抗Z₁，可加大相當於線圈的阻抗之信號及S/N比(S：評估電壓，N：來自評估電壓以外之雜訊)，故可提高評估精確度。如此，可考慮深度方向來精準地評估經施以表面改質處理之鋼材的殘留應力。

在一實施形態中，又亦可具備一基準阻抗測量步驟，其係將施以表面改質處理前之鋼材設為被檢體且按各個頻率事先測量基準阻抗Z₀。然後，在評估步驟中，亦可按各個頻率演算基準阻抗Z₀與阻抗Z₁的比值，且根據此演算值群來評估經施以表面改質處理之鋼材的殘留應力。藉由各別將表面改質處理前後之鋼材設為被檢體並使用所測量之阻抗的比值來進行評估，可減輕周邊的溫度及濕度的變化所引起之電壓的漂移。再者，可僅抽出表面改質處理所引起之電磁性特性的變化。根據以上，可考慮深度方向的分布來精準地進行經施以表面改質處理之鋼材的殘留應力之評估。

在一實施形態中，於評估步驟中，亦可使用阻抗Z₁且按各個頻率算出感性電抗X₁，且根據該等感性電抗X₁來評估前述經施以表面改質處理之鋼材的殘留應力。藉由算出阻抗之Y軸成分(複變阻抗之虛數成分)之感性電抗，且根據此感性電抗進行評估，而可僅評估被檢體之透磁率。結果，提高評估的精確度。

在一實施形態中，交流磁場的滲透深度亦可從交流電流的頻率而依以下的式子來進行換算，且根據所換算之滲透深度來評估前述經施以表面改質處理之鋼材 的殘留應力之深度方向的分布。可精準地掌握且評估應變之深度方向的分布。

y：交流磁場之滲透深度(μm)

k：補正係數

x：交流電流之頻率(Hz)

μ：鋼材之磁導率(H/m)

σ：鋼材的導電率(S/m)

在一實施形態中，亦可在持有以下的座標軸A,B之座標系統上標繪演算值群。可在視覺上地掌握透過表面改質處理所產生的鋼材內部之應變的分布。

座標軸A：表示將施以表面改質處理前之鋼材設為被檢體所測量之基準阻抗Z₀與將經施以表面改質處理之後的鋼材設為被檢體所測量之阻抗Z₁的比值。

座標軸B：表示頻率。

在一實施形態中，在評估殘留應力之步驟中，根據標繪在持有座標軸A,B之座標系統上之演算值群的圖表之軌跡、及包含該軌跡的極值之1個或複數個演算值，來評估經施以表面處理之鋼材的殘留應力。可將殘留應力之評估，從透過表面改質處理而產生的鋼材內部之應變的分布之態樣與成為極值的深度之演算值的值之兩方面來進行。

在一實施形態中，於評估步驟中，亦可藉由將包含極值之1個或複數個演算值與事先設定之閾值進行比較，來判定表面改質處理的好壞。表面改質處理適當地施行的與否，可考慮深度方向來判定。

依據一態樣及實施形態，可提供一表面特性評估方法，其係可依考慮深度方向之方式精準地評估經施以表面改質處理之鋼材的殘留應力。藉此方式，可依考慮深度方向的分布之方式精準地評估經對鋼材施以表面改質處理的程度。

1‧‧‧表面特性評估裝置

2‧‧‧別的實施形態之表面特性評估裝置(第1替代例)

3‧‧‧別的實施形態之表面特性評估裝置(第2替代例)

10‧‧‧振盪器

11‧‧‧交流電源

12‧‧‧可變頻率電路

20‧‧‧檢測器

21‧‧‧線圈

30‧‧‧量測器

31‧‧‧放大電路

32、35、302‧‧‧絕對值電路

33、36、303‧‧‧LPF

34‧‧‧I/V轉換電路

37‧‧‧控制手段

38‧‧‧顯示器

39a、39b‧‧‧A/D轉換電路

301‧‧‧相位檢波電路

S01至S07‧‧‧步驟

第1圖係用以說明本發明的一實施形態之電路圖。

第2圖係說明本發明的一實施形態之在線圈產生的渦電流之示意圖。

第3圖係說明本發明的一實施形態之表面特性評估方法之流程圖。

第4圖係用以說明本發明的一實施形態之實施例的圖表。

第5圖係表示在本發明的一實施形態之實施例所使用的鋼材之殘留應力的圖表。

第6圖係用以說明本發明之別的實施形態(第1替代例)之電路圖。

第7圖係用以說明本發明之別的實施形態(第2替代例) 之電路圖。

參照圖示就本發明的一實施形態加以說明。此外，所謂以下的說明之上下左右方向，除非特別另作說明，係指表示圖中的方向。

(表面特性評估裝置)

一實施形態之表面特性評估裝置1具備有振盪器10、檢測器20、及量測器30。

振盪器10具備有交流電源11與可變頻率電路12。可變頻率電路12係連接於交流電源11，且可將從交流電源11所輸出之交流電流的頻率予以變更。

檢測器20包含線圈21。線圈21之一端側(點A)係與交流電源11連接，而被供應從交流電源11所輸出之交流電流。此外，第1圖中之顯示線圈21之虛線內的電路記號係表示線圈21的電性等效電路。

量測器30具備有放大電路31、絕對值電路32、低通濾波器(LPF(Low-pass filter))33、I/V(current-to-voltage電流/電壓)轉換電路34、絕對值電路35、LPF36、控制手段37、及顯示器38。再者，將記憶手段具備在控制手段37的內部或未圖示之區域。具體而言，控制手段37可由微處理器、介面電路、記憶體以及使上述構件作動之程式(以上，未圖示)等來構成。

放大電路31係連接於線圈21的兩端之點A 與點B。點A與點B之間的電位差之信號被輸入到放大電路31而被放大。此被放大之信號透過絕對值電路32進行全波整流後，透過LPF33被轉換為直流。此被轉換之信號被輸入到控制手段37。

I/V轉換電路34係連接於線圈21之另一端側(點B)。表示流通於線圈21之電流的電流值之信號被輸入到I/V轉換電路34，且被轉換為表示電位差之信號。然後，透過絕對值電路35進行全波整流後，利用LPF36被轉換為直流。此被轉換之信號被輸入到控制手段37。

控制手段37係連接於可變頻率電路12、LPF33及LPF36，且分別輸入有施加到線圈21之交流電流的頻率、與通過對該頻率的LPF33,36之信號。根據被輸入之上述信號進行演算，且依據演算結果進行被檢體之表面特性的評估。再者，交流電流的頻率的變更亦可利用手動之方式來進行，且亦可使控制手段37持有使連續地變更頻率之信號輸出到可變頻率電路12之功能來自動地進行頻率的變更。在本實施形態中，設為後者。

顯示器38進行控制手段37之評估結果的顯示或警告。

(評估方法)

接著，使用本實施形態之表面特性評估裝置1，就評估被檢體的表面特性之方法加以說明。以下，作為表面改質處理選擇珠擊處理(以下，記載為SP處理)，且就作為表 面改質處理的程度評估經施以SP處理之鋼材的壓縮殘留應力的情況加以說明。

S01：準備步驟

準備表面特性評估裝置1及施以SP處理前之上述的剛材(未處理品)。在本實施形態中，準備對 40mm×30mm的鉻鉬鋼(依JIS G4053所規定之SCM420H)，進行滲碳淬火的鋼材。

S02：第1配置步驟(未處理品)

將未處理品設置在檢測器20作為被檢體。只要在下一個步驟使線圈21激發交流磁場時使該交流磁場滲透到被檢體的內部，則設置被檢體之方法未特別加以限定。在本實施形態中，在線圈21之圓形剖面中心，且以整個未處理品位於線圈21的內部之方式設置未處理品。藉由如此設置被檢體，可減輕與起因於材料之被檢體內部的深度方向正交之方向的落差，故可提高測量精確度。

S03：未處理品之測量步驟(基準阻抗測量步驟)

作為第1渦電流產生步驟，將利用控制手段37控制從交流電源11所輸出之交流電流的頻率的信號輸出到可變頻率電路12，並且使交流電源11進行作動。透過交流電源11的作動，使線圈21激發交流磁場(參照第2圖)。於線圈21之內周側設置有被檢體，故該交流磁場滲透到被檢 體。透過交流磁場的滲透而於被檢體的表面產生渦電流。透過此渦電流，產生對交流磁場之反磁場。此時，磁導率依殘留應力的大小而產生變化，因此，結合該反磁場與交流磁場之磁通的大小係依表示表面改質處理的程度之殘留應力的大小而不同。亦即，依殘留應力的大小，表示交流電流流通於線圈時之線圈的電性特性之信號(表示線圈間(A-B間)的電位差之信號以及表示流過線圈的電流值之信號)產生變化。從通過放大電路31-絕對值電路32-LPF33而被輸入到控制手段37之信號與通過I/V轉換電路34-絕對值電路35-LPF36而被輸入到控制手段37之信號，透過控制手段37來算出該頻率之阻抗Z₀。

此外，交流磁場滲透於被檢體之深度取決於交流電流的頻率。因此，作為第1頻率變更步驟，利用控制手段37使從交流電源11所輸出之交流電流的頻率產生變化。在使交流電流的頻率產生變化的狀態下，作為第1檢測步驟係：按各個頻率檢測表示交流電流之電性的特性之信號，且從該信號演算線圈21之阻抗Z₀並將之記憶於記憶手段。

S04：表面改質處理步驟

從檢測器20取出未處理品後，透過SP處理進行壓縮殘留應力之賦予，而得到經施以表面改質處理之前述的鋼材(表面改質處理品)。

S05：表面改質處理品之測量步驟

將在步驟S04中進行過表面改質處理之鋼材(表面改質處理品)，設置在檢測器20作為第2被檢體配置步驟。接著，執行與步驟S03相同的第2渦電流產生步驟、第2頻率變更步驟以及第2檢測步驟，且算出按各個頻率之線圈21的阻抗Z₁。此步驟之頻率設為與步驟S03相同的頻率。前述的反磁場依表示表面改質處理的程度之壓縮殘留應力的大小而不同，故藉由評估流通線圈之交流電流的電性特性，可評估被檢體之表面改質處理的程度。

S06：判斷步驟(評估步驟)

透過控制手段37且按各個頻率演算相對於阻抗Z₀之阻抗Z₁的比值(Z₁/Z₀)，而得到演算值群。藉由使用阻抗比值(Z₁/Z₀)作為表面特性的評估，可減輕測量環境的變化(溫度與濕度等)所引起之電壓的漂移。此外，可僅抽出由表面改質處理所引起之被檢體的電磁氣特性變化，故使表面特性之評估的精確度提高。

準備以阻抗的比值(Z₁/Z₀)為縱軸，以頻率為橫軸之圖表(座標系統)，且將與針對各頻率所算出之阻抗的比值(Z₁/Z₀)之演算值群相對應的點標繪在圖表上。頻率相當於距離被檢體的表面之深度，故透過圖表上的軌跡，可在視覺上把握表示表面改質處理的程度之壓縮殘留應力的深度方向之分布。

亦可從頻率算出距離鋼材表面之深度，且將之設為橫軸。頻率與距離鋼材表面的深度之關係為可從 (數學式2)來製作表示頻率與距離鋼材表面的深度的關係之檢量線，且從此檢量線加以算出。(數學式2)之補正係數k係受到被檢體的形狀(例如被檢體的體積)與性狀(例如，作為前段階之熱處理的有無)與SP處理的條件(例如，珠的粒徑、硬度、噴射時間、噴射壓力)等的影響而變動之值，且透過實驗事先予以算出。

y：交流磁場之滲透深度(μm)

k：補正係數

x：交流電流之頻率(Hz)

μ：鋼材之磁導率(H/m)

σ：鋼材的導電率(S/m)

從所得到的分布，且利用控制手段37判定表面改質處理的好壞。將判定方法例示如下，而不限定於此方法。

事先算出用以判定SP處理是否適當地施行與否之閾值群及容許範圍。透過前述步驟S01至步驟S04的操作各別測量複數個經適當地施以SP處理之鋼材(良品)、及SP處理不充分之鋼材(不良品)，且根據該測量決定表示阻抗的比值以及與該阻抗的比值相對應之頻率或距離鋼材表面的深度的閾值群及容許範圍。

將此閾值群與演算值群的值進行比較。例 如，選擇數點(例如6點)經算出阻抗的比值之演算值群的圖表之軌跡成為極值之頻率及該附近之任意的頻率，且各別將所選擇的頻率之阻抗的比值與閾值予以比較。此時，經比較之所有的值只要在閾值的容許範圍內則判定為「適當地施行SP處理」，而只要有1點脫離閾值的範圍則判定為「SP處理為不適當」。

其他的判定方法係進行「表示演算值群的圖表(頻率或距離鋼材表面的深度與阻抗的比值之關係的圖表)是否在閾值群所示之相同的圖表之容許範圍內的判定」以及「阻抗的比值之圖表的極值是否在閾值群之極值的容許範圍內之判定」。只要雙方在閾值群的容許範圍內則判定為「適當地施行SP處理」，另一方面只要脫離閾值群的容許範圍則判定為「SP處理為不適當」。

S07：輸出步驟

將表面改質處理之好壞的判定結果，輸出到顯示器38。在顯示器38中，亦可僅顯示好壞結果，或亦可判定為否時發出警告聲。此外，亦可顯示前述圖表(表示頻率(或距離鋼材的表面之深度)與阻抗的比值之關係的圖表)。

透過以上的步驟，可進行經考慮距離被檢體的表面之深度方向的表面改質處理之程度的評估。

接著，使用本實施形態之表面特性評估裝置1，表示評估過鋼材的表面特性之結果。

朝向前述之進行過滲碳淬火之鉻鉬鋼( 40mm×30mm)，利用珠擊機(新東工業股份有限公司製造)將平均粒徑50μm至1000μm的珠(皆為新東工業股份有限公司製造)，以0.3MPa之噴射壓力且以涵蓋範圍為300%之方式進行噴射來進行珠擊處理(參照第1表)。將經施以該SP處理之鉻鉬鋼設為被檢體。

交流電流的頻率(使用頻率)係設定為10kHz至20MHz。再者，透過前述檢量線從使用頻率算出交流磁場的滲透深度。

將結果表示在第4圖。由第4圖知道阻抗的比值(Z₁/Z₀)之軌跡表示極值之深度為：被檢體A在10μm附近，被檢體B在25μm附近，而被檢體C在55μm附近。

接著，將利用X線應力測量裝置各別測量被檢體A至C的壓縮殘留應力的結果表示在第5圖。由第5圖知道壓縮殘留應力的軌跡表示極值之深度為：被檢體A在5至10μm附近，被檢體B在20μm附近，而被檢體C在50μm附近。就在第4圖及第5圖中針對表示極值之深度而言，由於幾乎具有相關性，故隱喻了可利用本實施形 態的表面特性評估裝置及表面特性評估方法，進行經考慮深度方向之表面改質處理的程度之評估。

(第1替代例)

將別的實施形態之表面特性評估裝置2表示在第6圖。本實施形態之表面特性評估裝置2，在一實施形態的表面特性評估裝置2中之量測器30係具備有：放大電路31、A/D(Analog-to-digital，類比/數位)轉換電路39a、I/V轉換電路34、A/D轉換電路39b、控制手段37、及顯示器38。此外，於控制手段37，內設有記憶手段37a。此外，記憶手段37a亦可被設置在控制手段37的外部。再者，振盪器10及檢測器20的構成與上述一實施形態相同故省略說明，在此，以與一實施形態之不同點為中心加以說明。

放大電路31係連接於線圈21的兩端之點A與點B。點A與點B之間的電位差之信號被輸入到放大電路31而被放大。此被放大之信號透過A/D轉換電路39a從類比電壓的信號被轉換為數位信號。此被轉換之數位信號被輸入到控制手段37。

I/V轉換電路34係連接於線圈21的另一端側(點B)。表示流通於線圈21之電流的電流值之信號被輸入到I/V轉換電路34，且被轉換為類比電壓的信號。從I/V轉換電路34被輸出的類比電壓之信號透過A/D轉換電路39b被轉換為數位信號，且被輸入到控制手段37。

在控制手段37中，透過數位信號處理將從A/D轉換電路39a,39b所各別輸入之數位信號進行加工。亦即，從放大電路31及I/V轉換電路34所輸入之各數位信號係交流性地變動之時間系列信號，而透過與上述一實施形態之絕對值電路32,35及LPF33,36(第1圖)等效的數位演算，被轉換為直流性的數位信號。藉此方式，被輸入到各A/D轉換電路39a,39b之類比電壓的交流信號在控制手段37中，被轉換為與交流信號的振幅成比例的數位值。並且，根據上述數位值來算出阻抗。

本實施形態之表面特性評估裝置2係透過數位信號處理進行信號的演算，故成為更不易受到雜訊的影響之構成。因此，在容易產生雜訊之環境下進行評估時，亦可進行精確度更高的評估。

(第2替代例)

將別的實施形態之表面特性評估裝置3表示於第7圖。在本實施形態的表面特性評估裝置3中，於一實施形態的表面特性評估裝置1(第1圖)之量測器30，新添加有相位檢波電路301、絕對值電路302以及LPF303。此外，振盪器10及檢測器20的構成與上述一實施形態相同故省略說明，在此，以新添加在量測器30之構成為中心加以說明。

相位檢波電路301係連接於交流電源11及線圈21的另一端側(點B)。表示對透過交流電源11所施加 的電壓之流通於線圈21之電流的相位差之信號從相位檢波電路301所輸出，且透過從絕對值電路302進行全波整流後，透過LPF303被轉換為直流。此被轉換之信號被輸入到控制手段37。亦即，將施加在線圈21之電壓以及與流通於線圈21之電流的相位差成比例之電壓信號輸入到控制手段37。

在控制手段37中，於測量步驟S02(第3圖)中，算出將未處理品設為被檢體時之阻抗Z₀。再者，透過從LPF303所輸入之信號，算出將未處理品設為被檢體時之相位差α₀。從所算出之阻抗Z₀及相位差α₀，透過X₀=Z₀×sin α₀之式子且按各個頻率算出感性電抗X₀。再者，在測量步驟S05(第3圖)中，同樣算出將表面改質處理品設為被檢體時之阻抗Z₁及相位差α₁，且按各個頻率算出感性電抗X₁。

在判斷步驟S06(第3圖)中，利用控制手段37且按各個頻率演算對上述感性電抗X₀(未處理品)之感性電抗X₁(表面改質處理品)的比值(X₁/X₀)。藉由使用感性電抗的比值作為表面特性的評估，而可僅評估被檢體的磁導率。比起阻抗，感性電抗的值小，而對電性特性的變化之感度佳。尤其必須進行精密的評估時，藉由以感性電抗的比值進行評估，可進行更高精確度的評估。

此外，感性電抗亦可透過如本實施形態之類比信號處理來算出，或亦可使用第6圖的電路且透過控制手段37之數位信號處理來算出。此時，在控制手段37 之內部執行與第7圖的電路之相位檢波電路301、絕對值電路302、LPF303等效的數位演算，且根據所求取之相位差(α₀,α₁)來演算感性電抗(X₀,X₁)。亦即，在控制手段37中，進行下列a至c的演算。

a)利用控制手段37來算出：透過A/D轉換電路39a將線圈兩端之間的電壓進行A/D轉換之數位信號與透過A/D轉換電路39b將流通於線圈之電流的信號進行A/D轉換之數位信號的相位差(α₀，α₁)。

b)從經由A/D轉換電路39a,39b所輸入之各數位信號，透過根據第6圖所說明的演算來算出阻抗(Z₀,Z₁)。

c)使用在上述a,b所算出之「相位差」及「阻抗」，算出感性電抗(X₀,X₁)。

[產業上之利用可能性]

在一實施形態中，就在對進行過滲碳淬火之鋼材經施以SP處理時之珠擊處理之程度的評估作了說明。但是，本發明之表面特性評估裝置及表面特性評估方法，亦可進行作為表面改質處理進行過各種熱處理時的評估。再者，亦可進行僅進行過珠擊處理之鋼材的評估。

S01至S07‧‧‧步驟

Claims (7)

1. 一種表面特性評估方法，係評估經施以表面改質處理之鋼材的殘留應力之表面特性評估方法，係具備：準備包含振盪器、檢測器、及量測器的表面特性評估裝置之準備步驟，該振盪器係具備有交流電源及可變頻率電路，該檢測器係連接於前述發送器，且具備有線圈，而該量測器係連接於前述可變頻率電路及前述檢測器；將前述經施以表面改質處理之鋼材設為被檢體，且將該被檢體配置成使藉由前述線圈所激發之交流磁場滲透到前述被檢體的內部之被檢體配置步驟；藉由使前述交流電源作動，使前述線圈激發交流磁場，且使該交流磁場滲透到前述被檢體的內部，而在被檢體產生渦電流之渦電流產生步驟；藉由前述可變頻率電路連續地變更前述交流電流的頻率，從而使朝前述被檢體之前述交流磁場的滲透深度連續地變更之頻率變更步驟；檢測前述線圈兩端之間的電位差及流通於前述線圈之電流值，且按各個頻率算出阻抗Z₁之阻抗算出步驟；以及根據前述阻抗Z₁評估前述被檢體的殘留應力之評估步驟。
2. 如申請專利範圍第1項所述之表面特性評估方法，其又具備：基準阻抗測量步驟，係將施以表面改質處理前的 鋼材設為被檢體且按各個頻率事先測量基準阻抗Z₀；在前述評估步驟中，按各個頻率演算前述基準阻抗Z₀與前述阻抗Z₁的比值，且根據此演算值群來評估前述經施以表面改質處理之鋼材的殘留應力。
3. 如申請專利範圍第1項所述之表面特性評估方法，其中，在前述評估步驟中，使用前述阻抗Z₁且按各個頻率算出感性電抗X₁，且根據該等感性電抗X₁評估前述經施以表面改質處理之鋼材的殘留應力。
4. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述之表面特性評估方法，其中，在前述評估步驟中，又根據以下的式子將前述交流電流的頻率換算為前述交流磁場之滲透深度，且根據所換算之滲透深度來評估前述經施以表面改質處理之鋼材的殘留應力之深度方向的分布， y：交流磁場之滲透深度(μm)k：補正係數X：交流電流之頻率(Hz)μ：鋼材之磁導率(H/m)σ：鋼材的導電率(S/m)。
5. 如申請專利範圍第2項至第4項中任一項所述之表面特性評估方法，其中， 在前述評估步驟中，又於將前述基準阻抗Z₀與前述阻抗Z₁的比值以及頻率分別設為座標軸之座標系統上，標繪前述比值之演算值群。
6. 如申請專利範圍第5項所述之表面特性評估方法，其中，在前述評估步驟中，又根據標繪在前述座標系統上之前述演算值群的圖表之軌跡以及包含該軌跡的極值之1個或複數個前述演算值來評估前述經施以表面改質處理之鋼材的殘留應力。
7. 如申請專利範圍第6項所述之表面特性評估方法，其中，在前述評估步驟中，又藉由將包含前述極值之1個或複數個演算值，與事先設定之1個或複數個閾值予以比較，來判定表面改質處理之好壞。