TW201416061A - 雙面光柵波導生物感測器 - Google Patents

Abstract

本發明係揭露一種雙面光柵波導生物感測器，用以檢測ㄧ待測物之性質，其中雙面光柵波導生物感測器包含依序堆疊之具有光柵部之塑膠光柵、具有雙面光柵結構之波導層及流道晶片。並且，流道晶片係導入有待測物，其中當一光線藉由雙面光柵結構耦合入波導層，並於波導層中傳遞時，本發明之雙面光柵波導生物感測器藉由穿透出波導層之光線之光強度之變化，以檢測此待測物之性質。

Description

雙面光柵波導生物感測器

本發明是有關於一種生物感測器，特別是有關於一種具有雙面光柵結構之雙面光柵波導生物感測器。

近年來，生醫檢測技術愈來愈重視檢測時之精準度及方便性，而光學式生物感測器恰好可達到檢測時之精準度及方便性之目的，此外，也由於光波導元件的開發亦趨漸成熟，因此，人們紛紛利用光波導式生物感測器進行檢測。此外，習知之光波導式生物感測器係利用稜鏡或光柵以作為耦合元件，藉以將光耦合進波導層中，再藉由量測光源角度及波長之變化，藉以達到檢測之目的。但是，量測光源角度及波長之變化係需要配合較為複雜之量測儀器。

此外，於光柵生物感測器之製作方法上，因為光柵不易製作，因此使得製作光柵生物感測器之製程較為困難。目前，習知之製作方法為壓印、離子蝕刻或全像法以製作光柵生物感測器。但此些製作方法均較為複雜，因此無法進行大量製作之製程。並且，此些製作方法製作出之光柵生物感測器均為單面光柵形式。

有鑑於上述習知技藝之問題，本發明之其中一目的就是在提供一種雙面光柵波導生物感測器，係用以檢測ㄧ待測物之性質，本發明可使得波導層具有雙面光柵結構以達到可於預設範圍內光線均可有效耦合於波導層並進行檢測之目的。並且，藉由一種雙面光柵波導生物感測器的製作方法，藉以達到大量生產及降低成本之目的。

緣是，為達上述目的，本發明提出一種雙面光柵波導生物感測器，係用以檢測ㄧ待測物之性質，此雙面光柵波導生物感測器至少包含塑膠光柵、波導層及流道晶片。其中，塑膠光柵之材質可例如為環烯烴共聚合物(cyclo-olefin copolymers, COCs)、聚碳酸酯、壓克力、聚丙烯或其他適合之材質，此其他適合之材質係具有高透明度之塑膠物質，且塑膠光柵之其中一表面具有光柵部。而波導層位於塑膠光柵之具有光柵部之此表面上，且部分之波導層位於光柵部上，藉以形成雙面光柵結構。其中，此雙面光柵結構具有相對應之二個波導層光柵部。此外，波導層之材質可例如為二氧化鈦、二氧化矽、三氧化二鈦、五氧化二鉭、氧化鋅或其他適合之材質，此其他適合之材質係具有高折射率且化性穩定之特質，藉以增加本發明之雙面光柵波導生物感測器之偵測靈敏度及偵測範圍。

此外，流道晶片係位於波導層上。其中，流道晶片導入有待測物，且當一光線藉由雙面光柵結構耦合入波導層，並於波導層中傳遞時，本發明之雙面光柵波導生物感測器再藉由穿透出波導層之光線之光強度之變化，以檢測此待測物之性質。

除此之外，本發明之雙面光柵波導生物感測器更可於波導層與流道晶片之間鍵結有辨識分子層。其中，此辨識分子層係用以與流道晶片中之待測物進行結合反應，藉以於使用本發明之雙面光柵波導生物感測器進行量測時，具有良好之偵測靈敏度之偵測極限。

此外，雙面光柵結構設有耦合位置及約介於-90度至90度之間之耦合角度之ㄧ者或二者。且此耦合位置與雙面光柵結構之一端部之距離係約介於0公分至2公分之間。並且，耦合角度與耦合位置之範圍以及光強度之峰值之耦合角度與耦合位置不隨折射率變化而改變，且靈敏度不隨耦合角度與耦合位置之變化而改變。

因此，本發明之運用雙面光柵波導生物感測器之檢測方法之一特點在於，藉由光線耦合入波導層之雙面光柵結構中及偵測耦合出之光線之光強度，藉以使光線於一範圍區間內均具有耦合能力，且於此區間中，雙面光柵波導生物感測器之靈敏度不隨著耦合角度及耦合位置之選擇而改變。本發明之運用雙面光柵波導生物感測器之檢測方法之另一特點在於，藉由偵測耦合出之光線之光強度，藉以簡化檢測時之檢測複雜度。

承上所述，依本發明之雙面光柵波導生物感測器及其檢測方法，可具有一或多個下述優點：
(1)藉由波導層之材質具有高折射率且化性穩定之特色，藉以增加本發明之雙面光柵波導生物感測器之偵測靈敏度及偵測範圍。
(2)藉由辨識分子層與波導層之雙面光柵結構，藉以於使用本發明之雙面光柵波導生物感測器進行量測時，具有良好之偵測靈敏度之偵測極限。
(3)藉由光線耦合入波導層之雙面光柵結構中及偵測耦合出之光線之光強度，藉以使光線於一範圍區間內均具有耦合能力，且於此區間中，雙面光柵波導生物感測器之靈敏度不隨著耦合角度及耦合位置之選擇而改變。
(4) 藉由偵測耦合出之光線之光強度，藉以簡化檢測時之檢測複雜度。

請參閱第1圖，第1圖係為本發明之雙面光柵波導生物感測器之結構示意圖。如第1圖所示，本發明之雙面光柵波導生物感測器100至少包含塑膠光柵110、波導層120以及流道晶片130，可例如更包含辨識分子層140。其中，塑膠光柵110之材質可例如為環烯烴共聚合物(Cyclo-Olefin Copolymers, COCs)、聚碳酸酯、壓克力、聚丙烯或其他具有高透明度之塑膠材質。而塑膠光柵110之其中一表面112具有光柵部111，且此光柵部111可與塑膠光柵110係一體成型。

此外，波導層120位於此表面112上，其中部分之波導層120係位於光柵部111上以形成雙面光柵結構121。並且，此雙面光柵結構121具有相對應之二個波導層光柵部122。其中，雙面光柵結構121係用以使外部之光線進入此波導層120中，且當波導層120之表面有效折射率改變時，光學特性亦會隨之改變，而光學特性可例如為耦合角度、耦合能量、波長或相位等，亦可例如為此光線離開此波導層120之光強度。另外，波導層120之材質可例如為二氧化鈦、二氧化矽、三氧化二鈦、五氧化二鉭、氧化鋅或其他之折射率高於塑膠光柵110之材料。

除此之外，此波導層120可例如係沈積於塑膠光柵110之表面112上，其中沈積之方法可例如為濺鍍法、蒸鍍法、浸鍍法、旋鍍法或其他可使波導層120均勻沈積於塑膠光柵110之表面112上之方法。因此，波導層120可例如係均勻平滑地形成於塑膠光柵110上。由於塑膠光柵110之表面112上具有光柵部111，因此位於光柵部111上之波導層120可形成具有相對應之二波導層光柵部122之雙面光柵結構121。並且，此二波導層光柵部122之光柵高度可約略相同於光柵部111之光柵高度。

因此，本發明之雙面光柵波導生物感測器100之一特點在於，藉由波導層120之材質具有高折射率且化性穩定之特色，藉以增加本發明之雙面光柵波導生物感測器100之偵測靈敏度及偵測範圍。

另外，流道晶片130可例如直接位於波導層120上，藉以使得使用者可導入待測物400，使得本發明之雙面光柵波導生物感測器100感測此待測物400之例如為折射率之特性。並且，使用者可例如藉由此待測物400之特性，判斷此待測物400之材質、濃度或其他性質。其中，流道晶片130可例如具有外框及外框所圍成之容置空間，且此容置空間用以容置待測物，而外框之材質亦可例如為環烯烴共聚合物、聚碳酸酯、壓克力、聚丙烯或其他適合之材質，此其他適合之材質係具有高透明度之塑膠物質。此外，外框上亦可例如具有孔洞，用以導入或導出待測物400於容置空間中。

因此，本發明之雙面光柵波導生物感測器100可藉由不同待測物400之例如為折射率之特性，藉以使得耦合出之光線具有不同之光強度，進而藉由折射率與光強度之對應關係，藉以分析此待測物之性質。

為了證實本發明之雙面光柵波導生物感測器100可藉由偵測到之光強度得知待測物400之折射率，發明人更提出實驗數據以佐證其效果。請接續參閱第2圖，第2圖係為本發明之雙面光柵波導生物感測器之耦合光強度與折射率之關係示意圖。如第1圖與第2圖所示，發明人分別導入折射率為1.343、1.353、1.363及1.373之糖水溶液與折射率為1.333之去離子水(DI Water)於流道晶片130中，並將雷射光線射入波導層120中以量測此雷射光線耦合出此波導層120後之光強度。其中，波導層120之材質為二氧化鈦。

續言之，此量測之過程為例如先通入去離子水於流道晶片130中，並將雷射光線入射波導層120，接著可例如利用針筒幫浦以推動折射率1.343之糖水溶液流入流道晶片130中，再每隔1分鐘依序注入折射率為1.353、1.363及1.373之糖水溶液。最後，再注入去離子水並等待2分鐘。其中，第2圖之橫軸為待測物400之折射率，縱軸為耦合出之光強度經由處理後之信號強度。由第2圖可知，本發明之雙面光柵波導生物感測器100可達到5.13×10^-6折射率單位(refractive index unit, RIU)之感測解析度。因此，可藉由檢測到之訊號強度，藉以得知待測物400之折射率，進而得知待測物400之性質。

此外，本發明之雙面光柵波導生物感測器100之波導層120與流道晶片130之間可例如更鍵結有辨識分子層140。其中，辨識分子層140用以與待測物400進行結合反應，藉以進一步增加本發明之雙面光柵波導生物感測器100之檢測靈敏度。另外，辨識分子層140之材質可例如為抗原分子或其他適合之辨識分子。

為了證實本發明之鍵結有辨識分子層140之雙面光柵波導生物感測器100確實可增加檢測靈敏度，發明人更提出實驗數據以佐證其效果。發明人首先於流道晶片130中通入磷酸鹽緩衝液(phosphate buffer solution, PBS)，接著例如利用針筒幫浦推動濃度為每毫升1×10^-7克之抗核蛋白抗體(Anti-DNP)溶液至流道晶片130中。之後每隔30分鐘提升抗核蛋白抗體溶液之濃度並注入於流道晶片130中，直至抗核蛋白抗體溶液之濃度提升至每毫升1×10^-5克。請接續參閱第3圖，第3圖係為本發明之雙面光柵波導生物感測器具有辨識分子層時之耦合光強度與待測物濃度之關係示意圖。其中第3圖之橫軸為待測物之濃度，縱軸為耦合出之光強度經由處理後之信號強度。如第1圖與第3圖所示，本發明之雙面光柵波導生物感測器100可達到每毫升7.81×10^-8克之偵測極限(limit of detection, LOD)。

因此，本發明之雙面光柵波導生物感測器100之一特點在於，藉由辨識分子層140與波導層120之雙面光柵結構121，藉以於使用本發明之雙面光柵波導生物感測器100進行量測時，具有良好之偵測靈敏度之偵測極限。

請接續參閱第4圖至第6圖，第4圖係為本發明之雙面光柵波導生物感測器之製作方法之流程圖，第5a圖至第5c圖係為本發明之雙面光柵波導生物感測器於翻印光柵結構時之製程剖面示意圖，第6圖係為本發明之雙面光柵波導生物感測器之製作塑膠光柵之狀態示意圖。如第1圖及第4圖至第6圖所示，本發明之雙面光柵波導生物感測器100之製作方法可例如首先形成光柵模仁210(步驟510)。詳言之，可例如先於基板211上形成一層溶膠層212，舉例而言，可塗佈溶膠於例如為堅硬物質之基板211上。接著，再利用具有光柵母結構之光柵母模220翻印光柵結構213於溶膠層212中。其中，可例如以抽真空或高溫烘烤等方式硬化溶膠層212以減少溶膠層212之氣泡。最後，將光柵母模220移開後，即可形成光柵模仁210。

舉例而言，於翻印光柵結構213時，光柵母模220可例如先位於溶膠層212之上方，之後再沿著方向x置入於溶膠層212中，此時之溶膠層212形成有光柵結構213。最後再將光柵母模220沿著方向x之相反方向從溶膠層212移開，待溶膠層212凝固後即可形成光柵模仁210。而於移開光柵母模220後，亦可例如對光柵模仁210進行修飾動作。

續言之，於形成光柵模仁210後，接著製作塑膠光柵110(步驟520)。詳言之，利用光柵模仁210對一塑膠物進行一成型步驟，藉以製作一表面112上具有光柵部111之塑膠光柵110。其中，成型步驟可為對塑膠物進行射出成型、射壓成型、熱壓成型、押出成型、真空成型或其他之塑膠成型動作。待此塑膠物成型為塑膠光柵110後，再分離塑膠光柵110與光柵模仁210，藉以得到具有光柵部111之塑膠光柵110。此外，此塑膠物可例如為環烯烴共聚合物(COCs)、聚碳酸酯、壓克力、聚丙烯或其他具有透明度高之塑膠材質。除此之外，步驟510與步驟520為形成本發明之雙面光柵生物感測器100之塑膠光柵所進行之步驟流程。

因此，本發明之雙面光柵生物感測器100之製作方法之一特點在於，藉由光柵模仁210對塑膠物進行成型步驟，藉以可大量生產塑膠光柵110，進而降低成本。

接續而言，於製作出塑膠光柵110後，形成波導層120於塑膠光柵110上(步驟530)。其中，波導層120係形成於塑膠光柵110之具有光柵部111之表面112上。並且，部分之波導層120位於光柵部111上以成為雙面光柵結構121。舉例而言，此波導層120可例如係沈積於塑膠光柵110上。因此，波導層120之雙面光柵結構121可例如具有相對應之二個波導層光柵部122。之後，設置流道晶片130於波導層120上(步驟540)以完成本發明之雙面光柵波導生物感測器100。而於步驟540後，可選擇性形成辨識分子層140(步驟550)。舉例而言，可於設置流道晶片130後，注入辨識分子層140於波導層120與流道晶片130之間以形成鍵結，藉以提升本發明之雙面光柵波導生物感測器100之檢測靈敏度。

總言之，本發明之雙面光柵波導生物感測器100之製作方法之一特點在於，藉由光柵模仁210製作塑膠光柵110及藉由沈積技術形成波導層120於塑膠光柵110上，藉以可大量生產本發明之雙面光柵生物感測器100，並可降低製作成本。

請接續參閱第7圖與第8圖，第7圖係為運用本發明之雙面光柵波導生物感測器之檢測方法之流程圖，第8圖係為運用本發明之雙面光柵波導生物感測器之檢測系統圖。如第1圖、第7圖與第8圖所示，運用本發明之雙面光柵波導生物感測器100之檢測方法中，可例如先導入待測物400於雙面光柵波導生物感測器100之流道晶片130中(步驟620)。接著將光線311耦合入波導層120(步驟630)。詳言之，可先利用光源310射出例如為雷射光之光線311，此光線311可經由光學元件320射入塑膠光柵110中，再藉由雙面光柵結構121耦合入波導層120中。此外，光學元件320可例如為分光鏡、光學衰減片、凸透鏡、可改變光線311之行進方向之元件或可改變光線311之性質之元件。

另外，雙面光柵波導生物感測器100可例如位於旋轉平台330上，藉由轉動旋轉平台330以調整光線311耦合入波導層120之耦合角度θ及耦合位置。其中，此耦合角度θ與耦合位置均可於預設範圍內不隨待測物400之折射率變動而改變，以及光強度之峰值之耦合角度及耦合位置亦不隨折射率變化而改變。且於此預設範圍內，光線311均可有效耦合入波導層120中。其中耦合角度θ約介於-90度至90度之間，耦合位置係位於雙面光柵結構121上，且耦合位置與雙面光柵結構121之一端部123之距離d係約介於0公分至2公分之間。

而於步驟630後，偵測光強度(步驟640)。舉例而言，步驟640係利用光偵測器340偵測從雙面光柵波導生物感測器100之波導層120射出之光線311之光強度。接著，處理此光線311之光強度之值(步驟650)。舉例而言，步驟650可利用資料處理系統350處理光偵測器340偵測到之光強度，使得使用者可藉由此光強度之變化並可計算靈敏度以分析待測物400之性質。

為了證實於運用本發明之雙面光柵波導生物感測器之檢測方法中，耦合角度θ與耦合位置於預設範圍內不隨待測物400之折射率變動而改變，且光線311均可有效耦合入波導層120中，發明人更提出實驗數據以佐證其效果。請接續參閱第9圖，第9圖係為運用本發明之雙面光柵波導生物感測器於不同折射率樣本之耦合光強度與耦合角度之關係示意圖。如第1圖與第9圖所示，不論待測物400之折射率為1.333、1.343或1.353，其耦合角度θ之範圍並不隨之改變。換言之，當待測物400之折射率變動時，並不會改變耦合角度θ之範圍。並且於此範圍內，光強度之峰值之耦合角度亦不隨折射率變動而改變。而當耦合角度約介於13.3度至14.1度之間時，其可具有明顯之光強度。

此外，請接續參閱第10圖，第10圖係為運用本發明之雙面光柵波導生物感測器於不同折射率樣本之耦合光強度與耦合位置之關係示意圖。如第1圖與第10圖所示，不論待測物400之折射率為1.333、1.343或1.373，且不論位置為何，光線均可有效耦合於波導層120中。因此，當耦合位置位於與雙面光柵結構121之端點123距離d約介於0公分至2公分之間時，其均可具有明顯之光強度變化。此外，當待測物400之折射率變動時，耦合位置之範圍並不隨之改變。並且於此範圍內，光強度之峰值之耦合角度亦不隨折射率變動而改變。

另外，請接續參閱第11圖，第11圖係為本發明之雙面光柵波導生物感測器於不同耦合角度之耦合光強度與折射率之關係示意圖。如第1圖與第11圖所示，以去離子水與折射率分別為1.343、1.353、1.363或1.373之糖水溶液分別導入流道晶片130中以進行量測。首先於流道晶片130中通入去離子水，並將光線311以13.3287度之耦合角度入射波導層120。接著，可例如利用針筒幫浦推動折射率為1.343之糖水溶液流入流道晶片130中。之後，每隔一分鐘注入一折射率之糖水溶液，直至注入折射率為1.373之糖水溶液為止。最後，再注入去離子水並等待2分鐘即完成一次之檢測流程。然後，調整耦合角度為13.4435度、13.5435度、13.6435度、13.7435度及13.8435度，並重覆上述步驟。則由第11圖可知，不論耦合角度為何，偵測到之信號強度與待測物400之折射率均可具有線性關係。換言之，本發明之雙面光柵波導生物感測器100之偵測靈敏度並不隨耦合角度之變化而改變。

續言之，請接續參閱第12圖，第12圖係為本發明之雙面光柵波導生物感測器於不同耦合位置之耦合光強度與折射率之關係示意圖。如第1圖與第12圖所示，以去離子水與折射率分別為1.343、1.353、1.363或1.373之糖水溶液分別導入流道晶片130中以進行量測。首先於流道晶片130中通入去離子水，並將光線311以與雙面光柵結構121之端部123距離1.66毫米(mm)之耦合位置入射波導層120。接著，可例如利用針筒幫浦推動折射率為1.343之糖水溶液流入流道晶片130中。之後，每隔一分鐘注入一折射率之糖水溶液，直至注入折射率為1.373之糖水溶液為止。最後，再注入去離子水並等待2分鐘即完成一次之檢測流程。然後，調整耦合位置為3.80毫米及5.35毫米，並重覆上述步驟。則由第12圖可知，不論耦合位置與端部123之距離d為1.66毫米、3.80毫米或5.35毫米，偵測到之信號強度與待測物400之折射率均可具有線性關係。換言之，本發明之雙面光柵波導生物感測器100之偵測靈敏度並不隨耦合位置之變化而改變。

因此，本發明之雙面光柵波導生物感測器100之一特點在於，藉由光線耦合入波導層120之雙面光柵結構121中及偵測射出之光線之光強度，藉以使光線於一範圍區間內均具有耦合能力，且於此區間中，雙面光柵波導生物感測器100之靈敏度不隨著耦合角度θ及耦合位置之選擇而改變。

本發明之雙面光柵波導生物感測器100之另一特點在於，藉由偵測耦合出之光線之光強度，藉以簡化檢測時之檢測複雜度。

以上所述僅為舉例性，而非為限制性者。任何未脫離本發明之精神與範疇，而對其進行之等效修改或變更，均應包含於後附之申請專利範圍中。

100．．．雙面光柵波導生物感測器

110．．．塑膠光柵

111．．．光柵部

112．．．表面

120．．．波導層

121．．．雙面光柵結構

122．．．波導層光柵部

123．．．端部

130．．．流道晶片

140．．．辨識分子層

210．．．光柵模仁

211．．．基板

212．．．溶膠層

213．．．光柵結構

220．．．光柵母模

310．．．光源

311．．．光線

320．．．光學元件

330．．．旋轉平台

340．．．光偵測器

350．．．資料處理系統

400．．．待測物

θ．．．耦合角度

d．．．距離

第1圖係為本發明之雙面光柵波導生物感測器之結構示意圖。
第2圖係為本發明之雙面光柵波導生物感測器之耦合光強度與折射率之關係示意圖。
第3圖係為本發明之雙面光柵波導生物感測器具有辨識分子層時之耦合光強度與待測物濃度之關係示意圖。

第4圖係為本發明之雙面光柵波導生物感測器之製作方法之流程圖。
第5a-5c圖係為本發明之雙面光柵波導生物感測器於翻印光柵結構時之製程剖面示意圖。
第6圖係為本發明之雙面光柵波導生物感測器之製作塑膠光柵之狀態示意圖。
第7圖係為運用本發明之雙面光柵波導生物感測器之檢測方法之流程圖。
第8圖係為運用本發明之雙面光柵波導生物感測器之檢測系統圖。
第9圖係為運用本發明之雙面光柵波導生物感測器於不同折射率樣本之耦合光強度與耦合角度之關係示意圖。
第10圖係為運用本發明之雙面光柵波導生物感測器於不同折射率樣本之耦合光強度與耦合位置之關係示意圖。
第11圖係為本發明之雙面光柵波導生物感測器於不同耦合角度之耦合光強度與折射率之關係示意圖。
第12圖係為本發明之雙面光柵波導生物感測器於不同耦合位置之耦合光強度與折射率之關係示意圖。

100．．．雙面光柵波導生物感測器

110．．．塑膠光柵

111．．．光柵部

112．．．表面

120．．．波導層

121．．．雙面光柵結構

122．．．波導層光柵部

123．．．端部

130．．．流道晶片

140．．．辨識分子層

311．．．光線

400．．．待測物

θ．．．耦合角度

d．．．距離

Claims (6)

1. 一種雙面光柵波導生物感測器，係用以檢測ㄧ待測物之ㄧ或多種性質，該雙面光柵波導生物感測器至少包含：
   一塑膠光柵，該塑膠光柵之其中一表面具有一光柵部；
   一波導層，位於該塑膠光柵之該表面上，其中部分之該波導層位於該光柵部上以形成一雙面光柵結構，該雙面光柵結構具有相對應之二波導層光柵部；以及
   一流道晶片，位於該波導層上，該流道晶片係導入有該待測物，其中當ㄧ光線藉由該雙面光柵結構耦合入該波導層，並於該波導層中傳遞時，該雙面光柵波導生物感測器藉由穿透出該波導層之該光線之ㄧ光強度之變化，以檢測該待測物之該性質。
2. 如申請專利範圍第1項所述之雙面光柵波導生物感測器，其中該波導層與該流道晶片之間更鍵結有一辨識分子層，該辨識分子層用以與該待測物進行結合反應。
3. 如申請專利範圍第1項所述之雙面光柵波導生物感測器，其中該塑膠光柵之材質為環烯烴共聚合物、聚碳酸酯、壓克力或聚丙烯，該波導層之材質為二氧化鈦、二氧化矽、三氧化二鈦、五氧化二鉭或氧化鋅。
4. 如申請專利範圍第1項所述之雙面光柵波導生物感測器，其中該雙面光柵結構設有介於-90度至90度之間之ㄧ耦合角度以耦合該光線，且該耦合角度之範圍及該光強度之峰值之該耦合角度不隨折射率變化而改變。
5. 如申請專利範圍第1項所述之雙面光柵波導生物感測器，其中該雙面光柵結構設有ㄧ耦合位置，該耦合位置與該雙面光柵結構之一端部之距離係介於0公分至2公分之間，且該耦合位置之範圍及該光強度之峰值之該耦合位置不隨折射率變化而改變。
6. 如申請專利範圍第1項所述之雙面光柵波導生物感測器，其中該雙面光柵波導生物感測器之靈敏度不隨ㄧ耦合角度及ㄧ耦合位置之變化而改變。