TW201329488A - 位移感測器 - Google Patents
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011240194A JP2013096853A (ja) | 2011-11-01 | 2011-11-01 | 変位センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW201329488A true TW201329488A (zh) | 2013-07-16 |
Family
ID=48203675
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW101139235A TW201329488A (zh) | 2011-11-01 | 2012-10-24 | 位移感測器 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2013096853A (ja) |
CN (1) | CN103090798A (ja) |
TW (1) | TW201329488A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI695974B (zh) * | 2015-12-25 | 2020-06-11 | 日商大塚電子股份有限公司 | 預傾角測定裝置及預傾角測定方法 |
TWI785937B (zh) * | 2021-12-17 | 2022-12-01 | 台灣麗偉電腦機械股份有限公司 | 複合式工件量測台 |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6148075B2 (ja) * | 2013-05-31 | 2017-06-14 | 株式会社ディスコ | レーザー加工装置 |
DE102016100261A1 (de) * | 2016-01-08 | 2017-07-13 | Nanofocus Ag | Verfahren zur elektronischen Analyse eines zeitlichen veränderlichen Signals |
KR101963547B1 (ko) * | 2017-02-23 | 2019-03-28 | 코어포토닉스 리미티드 | 폴디드 카메라 렌즈 설계 |
JP7024285B2 (ja) * | 2017-09-26 | 2022-02-24 | オムロン株式会社 | 変位計測装置、システム、および変位計測方法 |
EP3742110B1 (en) * | 2019-05-24 | 2023-03-08 | Helmut Fischer GmbH Institut für Elektronik und Messtechnik. | Apparatus for determining a layer thickness and method of operating such apparatus |
CN110657748A (zh) * | 2019-09-18 | 2020-01-07 | 浙江大学 | 一种带有自动聚焦功能的激光位移传感器 |
CN113210361B (zh) * | 2021-05-27 | 2022-02-22 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种自动调焦激光清洗输出装置及输出方法 |
WO2022254844A1 (ja) * | 2021-06-01 | 2022-12-08 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ加工装置 |
CN113948414B (zh) * | 2021-10-19 | 2024-02-09 | 无锡卓海科技股份有限公司 | 一种薄膜应力仪自动调平装置 |
JP2023094341A (ja) * | 2021-12-23 | 2023-07-05 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | レーザ加工装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005111534A (ja) * | 2003-10-09 | 2005-04-28 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | レーザ加工機 |
JP4478669B2 (ja) * | 2005-08-31 | 2010-06-09 | キヤノン株式会社 | センサおよびそれを用いた記録装置 |
JP4887057B2 (ja) * | 2006-02-17 | 2012-02-29 | 株式会社キーエンス | 光電センサ |
FI119259B (fi) * | 2006-10-18 | 2008-09-15 | Valtion Teknillinen | Pinnan ja paksuuden määrittäminen |
-
2011
- 2011-11-01 JP JP2011240194A patent/JP2013096853A/ja active Pending
-
2012
- 2012-10-22 CN CN2012104050778A patent/CN103090798A/zh active Pending
- 2012-10-24 TW TW101139235A patent/TW201329488A/zh unknown
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TWI785937B (zh) * | 2021-12-17 | 2022-12-01 | 台灣麗偉電腦機械股份有限公司 | 複合式工件量測台 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103090798A (zh) | 2013-05-08 |
JP2013096853A (ja) | 2013-05-20 |
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