TW201218408A - Solar cell process carrier - Google Patents

Description

201218408 六、發明說明： 本申請案主張於2010年3月2曰提出申請之美國臨時申請案 61,/309, 731之優先權，該美國臨時申請案之内容以引用方式倂入 本文中。 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於基板製程。更具體而言，本發明係關於一種適用 於在一處理（製程）浴期間容納石夕晶圓（silicon wafer )之製程承 載器（process carrier )，該石夕晶圓尤其是指一太陽能電池晶圓。 【先前技術】 矽晶圓處理成半導體之一部分為將晶圓浸於複數個承載器中之 各種溶液中，該等承載器常常被稱為舟孤（boat)。參見先前技術 例如美國專利第4,872,554號之第la圖，該美國專利起初被受讓 於Fluoroware公司，其為本申請案之所有者Entegris公司之前身。 此一基板製程承載器20具有一對端壁22、24,其係具有若干個管 狀轨道30，管狀軌道30具有整體式（integral)齒32，以用於嚙合 延伸於該等端壁間之複數個基板。該等齒自該等管狀軌道朝基板 3 4向内延伸。此種製程舟皿可使用聚合物（例如含敦聚合物 (fluoropolymer ))作為而ί受處理步驟中所用之腐餘性製程流體。 可藉由將承載器之管狀聚合物軌道部件焊接至端壁而將加強構件 (stiffening member) 36嵌於複數個細長之管狀軌道中。 傳統上，太陽能電池的具體製程係利用此種承載器或舟皿，且 因採用自動化製程而使軌道之定位及電池間之間距達成非正式之 201218408 標準化。參見先前技術第2gJ，為在軌道38處穿過承㈣之一橫 截面，圖中顯示一個具有傳統軌道位置44之端壁40,具有設計建 &於此種非正式之標準規格之電池操作設備。配合承載器製造商 此種非正式之標準，處理器便能夠在對製造商之設備作出最小調 整或修改或不作任何調整或修改下使用製造商之承載器。該等轨 道具有齒46，用於支撐或約束太陽能電池5〇。 在處理矽時，利用其中浸有電池之流體均勻地處理晶圓（尤其 包括電池）之全部表面，係為非常有利的。基板承載器（包括太 陽能電池製程承載器）之該等齒上具有複數個接觸區域，且該等 齒位於執道上作為支撐及約束基板。據信，最小化料接觸區域 係為有益的。在承載器及基板自流體移出之後，製程流體可附著 至承載益上，尤其是附著至承載器接觸電池之該等區域處，進而 在忒等區域處延長流體與基板之接觸時間，此會在該等區域處造 成仙體作用之不均勻性。此外，當承載器及基板浸人時接觸區 域亦可於接觸區域處減小基板表面處之流體流量，進而在製程中 造成進一步之不均勻性。此外，由於支撐軌道緊密靠近該等齒， 故可於基板（尤其是電池）之邊緣處造成流體流中斷及干擾，此 在爪體處理（製程）中導致進一步之不均勻性。不均勻性可造成製 权缺陷’該等處理缺陷沿太陽能電池之邊緣常常為可見的並且被 稱為「舟皿標記（boat mark)」。因此，亟欲藉由承載器設計而減 J出見餘刻缺陷（包括舟皿標記）之可能性，且同時遵從非正式 之工業標準化’尤其是轨道位置。 先剛技術第3a圖、第3b圖、第4a圖、第4b圖、第5a圖及第 201218408 5b圖中例示了習知的執道齒構 ' 傅〜无别技術第3a圖及第3b圖中 之齒在沿軌道延伸之一甲心線之每一 , 〜甘惻上依序交錯，該中心線位 於軌道上接觸或最靠近太陽能電池之點處。 先如技術弟4a圖及第4b圖之齒且右由_ ^ ± ω具有由一傾斜表面24、20界定 之一線接觸區域’其中每一依序之齒皆相 ^ ω白相问。忒等先前技術之齒 一般具有直接朝基板延伸之齒。 【發明内容】 -種用於太陽能電池之製程承載器包含複數個電池支撐體，該 等電池支撐體被配置成減，㈣轨道延伸於—對端壁之間。各 該電池支撑體皆包含-柱，該柱具有自其向外延伸之複數個齒， 進而界定一太陽能電池容置區，該太陽能電池容置區具有複數個 用於容納電池之狹槽。在該等執道上提供用於在承載器接觸太陽 能電池之區域處增強流體流量之構件。—軸向間隙可延伸於該等 齒之間，以移動電池之間的接觸點，進而增強電池之邊緣處之流 體流量，其中該些電池從被界定為轨道與電池間之最窄間隙之區 域偏置開。在一個實施例中，沿一軌道之各依序之齒可在該執道 之太陽能電池側在一中心線之相對側上沿周向彼此偏置離。該軌 道或柱可包含一平整部，在該平整部中，該軌道或柱接觸電池， 其中一軸向空隙沿該軌道軸向向下地延伸，以減少與電池之周向 接觸並更增強穿過電池之流體流量。 本發明實施例之一特徵及優點係為一電池支撐體，其具有分裂 且沿周向分離之支撐齒。齒可被一軸向間隙分裂，該軸向間隙沿 著位在齒之間的支撐體向下延伸。此會減少齒與電池間之接觸， 201218408 並使圍繞電池之流體流量增強。 本發明實施例之另-特徵及優點係為一電池支撐體該電池支 撑體具有錯列之分裂支樓齒。藉由在相鄰齒之間提供—垂直偏置 量，使每-支撐體上僅用-單—齒來支撐每_電池。此種作法’ 可更為減少齒與電池間之接觸並更為增強圍繞電池之流體流量。 本發明實施例之另-特徵及優點係為—具有—柱之電池支樓 體’該柱具有-平整部’在該平整部中，該柱利用—軸向空隙接 觸電池，其中該軸向空隙被配置成沿轨道延伸的—凹口。此會減 f支掠體與電池間之周向接觸，並額外地增強圍繞電池之流體流 量，且亦消除可損壞電池之尖銳接觸點。 儘管本文之具體實施例係就一種用於太陽能電池之製程承載器 =上進行說明，“本文之配置亦可在用於其㈣晶圓製程承載 器，尤其用於製造積體電路之承載器。 【實施方式】 第6圖及第7圖纷示一用於在一處理太陽能電池ι〇2之製程浴 (process bath)期間容納基板尤其是太陽能電池⑽之製程承載 益100。一般而吕，如第6圖所示在承載器係為垂直的且電池係 為水平的時，插人及取出電池。當浸於製程流體中時，如第7圖 所不’承載H係為水平的。製程承載器刚包含—料行相間之 端壁HM’以及延伸於端壁1〇4之間且被配置成軌道ι〇6之複數個 電池支撐體。端壁1G4 (崎示於第17圖及第18圖中）包含複數 個谷置孔108’以用於容置並對齊晶圓支撐體1〇“在一個實施例 201218408 中，端壁HM可大體上為U型形狀，以提供—開σ路徑供飯刻流 體到達太陽能電池102最底部及最頂部。端壁lQ4亦可包含—具 有複數個凸料m之底部表面UG，凸起塾112有助於=端壁 104之底部更佳地對齊至-參考基準⑽renee datum)。各該電池 支撑體106皆由-柱in界定，柱113具有用於容納複數個電池 1〇2之複數個相間之齒114,且各該支撐體1〇6彳藉由緊固件⑴ 而被容納於容置孔108内。製程承載器100亦可包含—對結構支 撐體118’結構支撐體118延伸於端壁1〇4之間，以用於增加承載 器100之結構剛性。 參照第8圖（為清晰起見，僅繪示一個端壁1〇4)及第16圖， 在-個實施例中，製程承載器_可包含圍繞端壁1〇4之三個側 面排列之六個電池支#體丨〇6，進而提供—用於插人太陽能電池 102之正面開口 12〇。可引導太陽能電池1〇2穿過正面開口⑽進 入一電池容置區121 中並進入狹槽122,而將太陽能電池1〇2插入 至製程承載器1〇〇中’其中狹槽122是界定於電池支撐體1〇6的 相間隔之齒m之間。容置區被界定為具有欲承載於其中之電池 的深度及寬度’容ϊ區並被界定為從最底部之狹槽延伸至最上面 ，狹槽。電池H)2可以由齒i 14所界定之軸向相間關係而進行堆 中’製程承載n 1G()可包含—彩色資訊插塞 (colored mf0rmati0n p丨ug) m，用於標識製程承載器ι〇〇中所容 納之特定太陽能電池102。 參照第9圖及第10圖’齒114可沿電池支撐體ι〇6軸向地延伸。 在如圖所示之-實施例中，可存在—延伸於齒ιΐ4間之軸向間隙 201218408 126,以致於用於容納一電池102之各該狹槽122皆包含一對分裂 齒114，其中該對分裂齒U4用於支撐電池1〇2。此一配置使得圍 繞電池之流體流量增強，此使蝕刻缺陷減少並使齒與電池間之接 觸減少。 在第11圖及第12圖所示之另一實施例中，齒122可藉由間隙 126而被軸向地分裂，且亦可被錯列成使得相鄰齒丨14相對於彼此 垂直地偏置。在此一配置中，用於容納一電池122之各該狹槽122 皆包含一用於支撐電池102之單一齒114。此使得圍繞電池之流體 流量更為增強並使齒與電池間之接觸減少。 現在參照第13圖，其顯示根據本發明一實施例之一電池支撐體 106。如前所述，電池支撐體106係由一柱113界定柱具有 複數個相間之齒124, 一轴向間隙126延伸穿過相間之齒124。柱 113可具有一大體上圓开^之橫截面，該橫截面具有一相對平整部 128，在平整部128中，柱113接觸一電池1〇2。平整部128會減 小對電池102造成損壞之可能性，乃因其會消除柱113與電池 間之周向接觸點處之尖角。柱113亦可包含一空隙13〇，空隙GO 在平整部128處軸向地延伸穿過柱’進而界定一對凸起132，該對 凸起132接觸一電池102。空隙13〇具有至少二有益用途。第一， 其提供一容許蝕刻流體抵達電池之額外流體流動路徑。第二，其 會減小柱U3與電池1G2間之周向接觸面積。該第二優點會減: 因與柱接觸而對電池造成損壞之可能性。在第14圖及第Μ圖所 示之其他實施例中，柱113可包含—會減小與電池之周向接觸之 向外凸起U4’或可包含一連續的大體上平坦之接觸表面136。 201218408 可藉由人工或一自動化製程的方式利用製程承載器'100來處理 太陽能電池102。首先，藉由將電池穿過正面開口 120插入至狹槽 122後，將電池載入製程承載器100中。一旦已載入所期望數量之 太陽能電池，便可將承載器插入至製程浴中。在製程浴中浸至所 期望之時間段之後，可自該浴中移出製程承載器及太陽能電池。 參照第19a圖及第19b圖，圖中例示交錯之齒具有一中心肋以 及一在中心延伸之間隙。 參照第20a圖及第20b圖，圖中例示雙齒且在該等齒之間具有 一中心延伸轴線。 參照第21a圖及第21b圖，圖中例示一複雜且非對稱之長方形 齒。 參照第22a圖、第22b圖及第22c圖，圖中例示一複雜且非對 稱之長方形齒。 參照第23a圖至第25圖，圖中例示一承載器202中之一複雜且 非對稱之長方形齒200。該齒具有一對平整部206、208，平整部 206、208界定一圓形肋210，圓形肋210沿軌道之最靠近基板（例 如太陽能電池212)之部分延伸。該齒亦具有一基板喷合表面216。 顯而易見，該嚙合表面之大部分或實質上全部係位於由執道沿一 方向投影於基板上之一輪廓以外，該方向垂直於基板之邊緣220。 該輪廓係由虛線222及224表示。該齒亦具有一略微向内之曲率， 向内朝向基板。參照第24圖，嚙合表面216之此種偏置使得能夠 調整基板承載器上之支撐點。因用於操作太陽能電池基板之設備 201218408 已標準化，一般不可能移動執道來修改基板支撐點。在此種情形 中，據信，藉由將手指部230定位成使齒200之支撐表面216更 靠近基板之下邊緣234,便能在承載器202之底側238上之下部軌 道236上使用較小之結構或最小之齒結構。 尤其參照第25圖，齒200具有一頂點250，穿過頂點250與軌 道之中心252之一條線相對於垂直於電池之邊緣經軌道中心之一 條線258具有一角度256,較佳為30度至45度。在其他實施例中， 該角度相對於法線258成25度至50度。 儘管係參照一種用於將太陽能電池浸於一製程浴中之製程承載 器進行說明，然而須注意者，本文所述之支撐體亦可用於輸送承 載器中以及任何其他類型的用於支撐太陽能電池之容器中。類似 地，儘管係參照太陽能電池進行說明，然而本發明可用於任何其 他類型之基板，例如半導體晶圓。可藉由將模製管狀聚合物（例 如含氟聚合物）軌道部焊接於一起並焊接至端壁上且將一剛性嵌 件插入管道中來組裝本發明。關於適宜之構造細節，請參見美國 專利第4,872,554號。 在不脫離本發明之任一實質屬性之精神之條件下，本發明可實 施為其他具體形式。因此，所示實施例應被視為在所有方面皆為 例示性的而非限制性的，應參照隨附申請專利範圍而非前述說明 來指示本發明之範圍。 【圖式簡單說明】 第la圖係為一先前技術基板製程承載器； 201218408 第ib圖係為第la圖之先前技術承載器之—執道基座部及一齒 之剖面圖； 第2圖係為—先前技術太陽能電池製程承載器之執道之剖面圖； 第3a圖係為一先前技術承載器之一軌道基座部及—齒之 圖； 第3b圖係為第3a圖之先前技術齒及軌道基座部之側視圖； 第4a圖係為一先前技術承載器之一軌道基座部及一齒之剖面 圖； 第4b圖係為第4a圖之先前技術齒及轨道基座部之側視圖； 第5a圖係為一先前技術承載器之一軌道基座部及一齒之剖面 圖； 第5b圖係為第5a圖之先前技術齒及轨道基座部之側視圖； 第6圖係為根據本發明一實施例之一太陽能電池製裎承載器於 垂直位置之立體圖； 第7圖係為根據本發明一實施例之一太陽能電池製程承載器於 水平位置之立體圖； 第 圖係為根據本發明一實施例之一太陽能電池製私承载器之 局部俯視圖； 第9圖係為根據本發明一實施例之用於一太陽能電池製程承栽 态之-晶圓支撐體之立體圖； 第1 〇圖係為第9圖之晶圓支撐體之局部側視圖， 201218408 第11圖係為根據本發明一實施例之用於一太陽能電池製程承載 器之一晶圓支偉體之立體圖； 第12圖係為第11圖之晶圓支撐體之局部側視圖； 第13圖係為根據本發明一實施例之用於一太陽能電池製程承載 器之-晶圓支撐體之俯視圖； 第14圖係為根據本發明一實施例之用於一太陽能電池製程承载 器之-晶圓切體之俯視圖； 第15圖係為根據本發明一實施例之用於一太陽能電池製程承載 器之一晶圓支撐體之俯視圖； 第16圖係為根據本發明一實施例之一太陽能電池製程承載器之 局部正視圖； 第17圖係為根據本發明一實施例之一用於一太陽能電池製程承 載器之端壁之立體圖； 第18圖係、為第17圖之端壁之正視圖； 第19a圖係為—軌道基座部及一齒之剖面圖； 第19b圖係為具有第19a圖之齒之執道之正視圖； 第20a圖係為一軌道基座部及一齒之剖面圖； 第20b圖係為具有第2〇a圖之齒之軌道之正視圖； 第21a圖係為—軌道基座部及一齒之剖面圖； 第21b圖係為具有第…圖之齒之轨道之正視圖； 12 201218408 第22a圖係為一軌道基座部及一齒之剖面圖； ' 第22b圖係為具有第22a圖之齒之軌道之正視圖； 第22c圖係為轨道之與第22b圖所示者相對之側之正視圖； 第23a圖係為一轨道基座部及一齒之剖面圖；以及 第23b圖係為具有第23a圖之齒之軌道之正視圖。 【主要元件符號說明】 20 :基板製程承載器 22 :端壁 24 :端壁 30 :管狀軌道 32 :整體式齒 34 :基板 36 :加強構件 38 :執道 40 :端壁 44 :軌道位置 46 :齒 50 :太陽能電池 100 :製程承載器 102 :太陽能電池 104 :端壁 106:軌道/晶圓支撐體/電池支撐體 108 :容置孔 110 :底部表面 112 :凸起墊 113 :柱 114 :相間之齒/分裂齒 118 :結構支撐體 120 :正面開口 121 :電池容置區 122 :狹槽 124 :彩色資訊插塞/相間之齒 126 :軸向間隙 128 :平整部 130 :空隙 132 :凸起 Π4 :向外凸起 136 :接觸表面 13 201218408 200 ： 206 ： 210 ： 216 ： 220 ： 224 ： 234 ： 250 256 齒 202 : 平整部 208 ： 圓形肋 212 ： 基板嗜合表面/支#表面 邊緣 222 ： 虛線 230 ： 下邊緣 236 ： 頂點 252 ： 角度 258 ： 承載器 平整部 太陽能電池 虛線 手指部 下部執道 中心 法線 14

Claims (1)

1. 201218408 七、申請專利範圍： h 一種用於將太陽能電池浸於製程流體中之太陽能電池製程承 載器’該承載器包含-對端壁，複數個執道延伸於該對端壁 之間’該等轨道界定—太陽能電池容置區，各該軌道具有一 基座部及複數個齒，該等齒係沿該基座部軸向地依序排列並 自該基座部延伸出，各該盘上具有—電池接觸區域，且各該 軌道更具有—用於增強各該電池接觸區域處之流體流量之構 件’用於增_等接駭域處之流航量之該構件包含 至少其中之一： -取非处驭位於該太陽能電池容置區之位 該軌道基座部之外表面軸向地延伸； /σ )凹槽，在最靠近轻於該太陽能電池容置區之 沿該軌道基座部之表面軸向地延伸；或者 c) 一肋，在最靠近位於該太陽能電池容置區之位置沿該 軌道基座部之該外表面轴向地延伸沿該執道依序延伸之該 等齒在該肋之每—側上交錯，料交錯之齒界定—間隙，: 間隙延伸過其令存在有該等齒的該軌道之長度。 ’ 2， 種用於將太陽能電池浸於製寂、、a β 載器1承截㈠人 太陽能電池製程承 ° W對端壁，《個軌道延伸於該對端壁 二二，^_電池容置區’該等軌道至少其 地依序排數個齒，該等齒係沿該基座部軸向 “ 自料座部延伸出，該等軌道之駐少1中之 一之各該齒上具有一電池接觸區域，且該電池接觸區域係 J5 201218408 貫質上或完全地移出由該抵道投射於該晶圓上之—輪廊以 外’該輪廓沿-方向延伸，該方向垂直於位於該軌道處之咳 電池之邊緣，該輪廓具有—寬度，該寬料於餘道在該齒 處之直徑’财徑係在《處沿—平行於輯池之該邊緣之 方向量測。 3· -種太電池製程承_ ’具有複數純道，該等軌道上 具有複數個齒以界定—狹槽，該狹槽㈣在其中容__ 太陽能電池，該等齒沿—方向延伸，該方向係相對於-法線 成30度至45度，該法線係經過該軌道之一中心並垂直於安 放於该齒處之一電池之該邊緣。 絲座。卩之δ錄道輪，卩在各該#處沿—相對於該電池之該邊 緣垂直之方向向内投射，該齒具有一電池嗔合表面，當該電 池安放於該齒上時，該電㈣合表面接觸該電池，該齒被定 向成使該電池嗤合表面㈣上位於㈣投射之純道輪廟之 一^用於將太陽能電池浸於製程流體中之太陽能電池製程承 載盗’ mil包含—對端壁，複數個軌道延伸於該對端壁 之間’该等軌道界定—太陽能電池容置區，各該執道具有_ 基座部及複數個齒，該㈣係沿該基座部軸向地依序排列並 自該基座部延伸出，料齒上具有-電池接駭域，且各該 軌道更具有-肋，該肋在該位置處沿該軌道基^部之外表面 軸，地延伸’以喷合安放於該齒上之—電池，該肋具有一開 品或該開口區域在該肋處，並位於該肋正上方，且沿該 16 201218408 執道線性地延伸過該電池容置區之長度。 6. 一種用於將太陽能電池浸於製程流體中之太陽能電池製程承 載器，該承載器包含一對端壁，複數個軌道延伸於該對端壁 之間，該等軌道界定一太陽能電池容置區，各該執道具有一 基座部及複數個齒，該等齒係沿該基座部轴向地依序排列並 自該基座部延伸出，各該齒上具有一電池接觸區域，且各該 轨道更具有一凹槽，該凹槽在該位置處沿該軌道基座部之外 表面軸向地延伸，以嚙合安放於該齒上之一電池，該肋具有 一開口區域，該開口區域在該肋處，並位於該肋正上方，且 沿該轨道線性地延伸過該電池容置區之長度。 7. 一種用於將太陽能電池浸於製程流體中之太陽能電池製程承 載器，該承載器包含一對端壁，複數個軌道延伸於該對端壁 之間，該等軌道界定一太陽能電池容置區，各該軌道具有一 基座部及複數個齒，該等齒係沿該基座部軸向地依序排列並 自該基座部延伸出，各該齒上具有一電池接觸區域，且各該 軌道更具有一肋，該肋在該位置處沿該軌道基座部之外表面 軸向地延伸，以嚙合安放於該齒上之一電池，該肋具有一開 口區域，該開口區域在該肋處，並位於該肋正上方，且沿該 軌道線性地延伸過該電池容置區之長度，依序沿該執道延伸 之該等齒在該肋之每一側上交錯，該等交錯之齒界定一間 隙，該間隙線性地延伸過其中存在該等齒的該軌道之長度。 17