TW201106436A - Management system and method for testing element with RFID tag - Google Patents

Description

201106436 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 一種切試元叙管理_，特別是指 方^、RFID^之献讀蝴針卡、針顺及職权管理系統及 【先前技術】 所吝^ ^導體產品的檢查是為了確認前段製糊後段製程中各製程 d) ，(Pr〇be

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尺寸、位置關係、抵抗值、雜質濃度等基本數據，而在「 圓的最終製財，則會測量基本的電力雛，關定^的良赛盘否

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Ttmu (L〇ad B〇ard) 片之卜硯〇標記標不是否有傷痕、髒污等）及其他各項雜（如晶 圓厚度接口之接續強度、鍍臈等），不同的檢測係替換不同之測試座 (滅⑷飾貞m ’其侧在針職上，若戦座欺W為不良品 則予以排除。 這些半導體產品檢查之檢測元件如探針卡、針測板及測試座皆價 格昂貴’動紐十萬新台幣，”是委託方借予代讀測，而每 -批產品職便需十、職元件，故魏f便相當重要， 遺失任何->U卩是巨大的敎。輪例，目前已有以舰〇管理 收納之探，卡’如第1A圖及第1B圖所示，收納櫃1G具有複數格抽 展收’每-抽屉1〇2可放置一片探針卡16，於抽屜1〇2前端或後端 有一圓形插孔104可插入一柱狀天線14，此柱狀天線14連接到一 讀取器（圖中未示）以讀取探針卡16上之好1〇標籤162。然而柱狀 天線14之感應範圍小，必須對準处1〇標籤162才能感應到，因此收 納探針卡16之後若無法感應到rpjd標籤162，還需旋轉探針卡16以 找到可感應之角度，若有晃動又會有無法感應之問題。 因此’本發明即提出一種具RFID標籤之測試元件之管理系統及 201106436 方法’以有效克服上叙該#問題，賤雜及其實施扣將詳述於 【發明内容】 本發明之主要目的在提供—種獅^賴之測試元件之管理系 統及方法’其係在晶圓測試裝置、推車及收納櫃等承栽裝置上設置環 形=線及咖讀取n，制試元件不論在測試、運送或㈣時皆可有 效管理，不致遺失。 本發明之另—目的在提供一種具刷爾鐵之測試元件之管理系

^ ’其中收納櫃的每-層抽屜皆設有—環形天線，控f每—抽屜所收 納之測心件，環形天線之錢範圍A，可輕㈣準戦錯上之 RFID標籤。 ^達上狀目的’本判提供—種具有咖^讀輔之管理系統， 厂係應用於半導體封裝製程中，包括至少—測試树及—承載裝置， =兀件用以檢測至少一晶圓之功能特性，於測試元件上具有一肌D 中儲存有測試元件之細f訊；承餘置上裝載測試元件， 少，彡天線及至少—咖）讀㈣，以感應 &麟發出之至少-無線射頻訊號並接收，讀取出職元件之相 關貧訊。測試元件可為晶圓檢測製程從前段到後段之探針卡（她 Γί (LG=d bGa⑷或測試座（SGeket)，承載裝置可為晶圓 ，2置、運送推車及收_，本發_試到㈣完整控管測試 之去向。 供—種具有麵讀取11之管理方法，包括下列步驟： 於承載裝置上裝設-_天狀-咖^讀取器，林至少一測試元 置籤’於廳標籤中儲存有測試元件之相關資訊； 件=於承載裝置上時，環形天線會感應到麵標籤所發 ^之^-無線射頻訊號，並利用咖讀取器讀取出歷標鐵之内 谷，，、中’當測試70件在複數承魏置之間轉換位置時，每一承 置於承_試it件的當Τ村錢並讀_試元叙肝仍標鐵内^ 201106436 相關資訊。 底下藉由具體實施例詳加說明， 術内容、特點及其所達成之功效。更办易瞭解本發明之目的、技 【實施方式】 本發服供—種具mD標籤之測試元件 tr置22 ’元件2G可為晶圓檢測製程從前段到 纽之探針卡、針難或戦座，承健置22可為 送推車及收賴等可裝伽m元件2G之裝置。’ #、置 元件Γ 至少，之魏特性’㈣所示，測試 r標鐵202，其中儲存有測試元件如之相關資訊， =.二4品編號、線數目、接缝目、接腳壽命、維修歷史 以、一m &餘置22上裝_試元件2G，於承餘置22上設有 至少一咖^讀取器224，環形天線222感應 1所發出之至少-無線射頻訊號並利用胞〇讀取器224 接收，以§買取出測試元件20之相關資訊。 因此，只要將測試元件2〇放置於承載裝置22上，環形天線222 便可感應RFID ‘籤2〇2所發出之無線射頻訊號，並利用肌D讀取器 似將測試元件20之相關資訊從RFID標籤202中讀取出來；此外， 測試兀件2〇在複數承餘置η之_換位置時，例如測試完成後， 將測试兀件20㈣試裝置上取下，㈣車運送、制試元件收回到收 納櫃中存放’在14過程巾，每—承餘置22於承細試元件2〇的當 下皆可感應並讀取測試元件2〇之咖^標藏2〇2狀相關資訊。 第3圖為本發明應驗_測試裝置之實施例示意圖 ，此實施例 中承載裝置為測試頭30，而測試元件2〇a為探針卡 ，於測試頭30上設 有連接ί哀32、一環形天線222a及即仍讀取器224a，而探針卡上則設 有一 RFID標籤2〇2’當測試頭3〇在測試晶圓的過程中，皆可透過处1〇 碩取器224獲得正在進行檢測之探針卡之相關資訊。 201106436 第4圖為本發明應用於運送過程之推車之實施例示意圖，推車4〇 上設有複數抽屜42’每一抽屜42底部有至少一環形天線222b及rfid 讀取器224b，當測試元件20放置於抽屜42内時，透過讀取測試元件 20上之RFID標籤202可獲知正在運送之測試元件20之相關資訊，例 如此為哪一批測試元件20，剛進行了何種測試等等。 第5A圖至第5C圖為本發明應用於將測試元件收入於一收納櫃之 實施例示意圖，在第5A圖中’收納櫃50上具有複數抽屜52，每一抽 屜52之底部設有一環形天線222c及RFID讀取器224c，並在抽屜52 底部及環形天線222c之間設置一磁性材料（rpid magnetic sheet) 54， # 其係用以隔離高頻段之磁場，避免這一層抽屜52之RFID讀取器224c °買到其匕層抽屜52之號’此環形天線222c之大小可與抽屜底部相 同，其所覆蓋之面積全可感應無線射頻訊號；第5B圖所示，在抽屜 52之底部設有一隔層56 ’將磁性材料54貼設於隔層56内之底部以隔 離每一層抽屜52之無線射頻訊號，而環形天線222c則設在隔層％内、 磁性材料54之上方，隔層56上方之抽屜空間用以放置測試元件；第 5C圖中將測試元件20放置到抽屜52中，再將抽屜幻置入收納櫃％ 裡’則透過RFID s買取器224c可輕易得知每個抽屜52 _所收納之測試 元件20編號、規格等資訊，便於尋找。 綜上所述，本發明所提供之具RFID標籤之測試元件之管理系統及 ^法，在晶圓職裝置、推車及收納櫃等可放置探針卡、檢測板、測 試座等測試元件之承餘置上設置·天線及即仍讀取器，當測試元 Ϊ放置於Ϊ上時便可感_，使職元件不論在測試、運送或收回時 =可，效貧理不致运失，且欲尋找測試元件時，透過舰〇讀取器回 傳之訊號也可快速找到該測試元件之位置。 發明實施之範圍。故 均等變化或修飾，均 故即凡依本發明中請範騎述之特徵及精神所為之 均應包括於本發明之申請專利範園内。 心ί1!上㈣者’料本發明之難實_而已，並賴來限定本 【圖式簡單說明】 201106436 第1圖為先射收崎針卡之收_之 第2圖為本發明具处仍標鐵 Μ闰狀/顺讀之管理系統之方塊圖。 弟3圖為本發明以測試機台 &口 圖

何口之涮5式碩為承載裝置實施例之 第4圖為本發明以推車為承餘置實施例之示意圖。 第5A圖至第5C圖為本發明以收納櫃為承餘置實施例之示意圖。 【主要元件符號說明】 10收納櫃 102抽屜 104圓形插孔 14柱狀天線 16探針卡 162 RFID標籤 20測試元件 202 RFID標籤 22承載裝置 222、222a、222b、222c 環形天線 • 224、224a、224b、224c RFID讀取器 30測試頭 32連接環 40推車 42抽屜 50收納櫃 52抽屜 54磁性材料 56隔層

Claims (1)

1. 201106436 七、申請專利範圍： 1. 種具RFID ^籤之測試元件之管理祕，其係細 製程中，該管理系統包括： & 至>、測4元件’用以檢測至少一晶圓之功能特性’於測試元件上具 有- RFID標籤，其中儲存有該測試元件之相關資訊；以及、 -承載裝置’其上裝載該測試元件，於該承載裝置上設有至少一環形 天線及至少- RFID讀取器，以感應該腦^標藏所發出之至少二 無線射頻峨並触’讀取丨_試元狀相關資訊。 2. 如申請專利範圍第丨項所述之具飄^標籤之測試元件之管理系 統，其中該測試元件為探針卡、檢測板或測試座。 〃 3. 如申請專·81第1顧述之具RFID標籤之測試元件之管理系 其中該餘置為—測試機台，於制試機台之—測試頭上裝 X λ RFID n買取器，在測試該晶圓時該測試頭可讀取該測試元件之 相關資訊。 ’ 4. 如申請專概圍第丨項所述之具腿^帛籤之戦元件之管理系 ，’其中該承魏置為-推車，該推車具有複數抽展，每一該歸 j部没有-麵槪線及該謂D讀取器，運送麵試元件時透過 3xRFID讀取器可讀取該RFID標籤。 5. 如申請專概圍第丨彻述之具腿^標籤之職元件之管理系 統L其中該承載裝置為一收納櫃，該收納櫃之每一格抽屜皆設有-U裒开/天線及4 RPID讀取器，將該測試元件收職收納櫃後，透 過該RFID讀取器讀取該娜標籤可對每一片測試元件進行控管。 申請補範圍第4項或第5項所述之具咖^標籤之測試元件之 =理糸統’其中每—該抽_設有—磁性材料（獅 c sheet)以隔離磁場。 4項或第5項所述之具咖)標籤之測試元件之 统’其巾該柚屜底部係設有—隔層，並將該環形天線及該 RFID項取器放置於該隔層内。 201106436 8·如申請專職圍第i項所述之具麵^標籤之戦元件之管 統’其中該RFID標籤中所儲存之相關資訊包括該測試元件之編 號、針腳數目、匝線數目、針腳壽命、維修歷史及擁有者等。 9. -種具RFID賴之職元件之f理方法，其係應胁半導體 製程中，該管理方法包括下列步驟： 、 於複數承餘置上分概設—獅天線及—咖3讀取器，及在至少 7,元件上設置-RFID標籤’且該馳標籤t儲存有該測ς 几件之相關資訊；以及

   將該測試元躲該承健置上，鋪形錢感應該標鐵所 發出之至少_無線侧訊號，該即①棘謎魏⑽測試 之相關資訊； 其中’該測試70件在複數該承餘置之間轉換位置時，每—該承载裳 置於承載制試元件的當皆可錢並讀取制 ^ 標籤内之相關資訊。 AD 10. 如申請補細第9酬狀具处仍標籤之戦元件之管理方 法，其中該測試元件為探針卡、檢測板或測試座。 11. 如申請專職圍第9項所狀具即①標敵戦元件之管理方 法其中該承載裝置為—測試機台時’於酬試機台之—測試頭上 裝設該RFID讀取器，在測試該晶圓時該測試頭可讀取該 之相關資訊。 t 12. 如申請專繼圍第9項崎之具腿^標籤之測試元件之管理方 法’其中該承載裝置為-具有複數抽屜之推車時，運送該測試元件 時透過該RFID讀取器可讀取該j^pjd標籤。 13.如申請專繼圍第9項所述之具腿）標籤之職元件之管理方 法’其中該承載裝置為-收納櫃時，該收納櫃之每—格抽履皆設有 一該環形天線及該咖D魏器，將_試元件如魏納櫃後， ，過該RFID讀取H讀取該即瓜標籤可對每―㈣試元件進行控 201106436 之管理方去第或弟13項所述之具肌〇標籤之測試元件 κ.去，更包括設置—磁性材料於該抽屜内以隔離磁場。 Κ如申請專·圍第9項所叙具刪^ _之峨元件之管理方 法，其中該RFID標籤中所儲存之相關資訊包括該測試元件之編 號、針腳數目、阻線數目、針腳壽命、維修歷史及擁有者等。