TW201014652A - Membrane cleaning method and apparatus - Google Patents

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TW201014652A
TW201014652A TW097139307A TW97139307A TW201014652A TW 201014652 A TW201014652 A TW 201014652A TW 097139307 A TW097139307 A TW 097139307A TW 97139307 A TW97139307 A TW 97139307A TW 201014652 A TW201014652 A TW 201014652A
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Wang-Kuan Chang
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Description

201014652 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關於一種薄膜清洗方法與裝置,且特別是 一種加電清洗的薄膜清洗方法與裝置。 【先前技術】 薄膜淨水處理之應用日趨廣泛’為未來關鍵核心技 ❿ 術,且全球水處理應用之薄膜市場預計將於2010年超過 430億元。然而,薄膜堵塞仍為目前無法克服的技術瓶頸, 造成每年薄膜淘汰率約有20 %之不經濟情況,使得薄膜阻 塞(Membrane fouling)的問題造成市場限制與應用價值降 低。 薄膜積垢的發生使通量(Flux)衰減或透膜壓力 (Trans-Membrane Pressure, TMP)增加,此時薄膜則必須進 行清洗以利回復處理效能。然而,薄膜通量會隨著薄膜清 φ 洗次數增加而減少,或造成薄膜清洗時間啟動點之間距縮 小,此乃因薄膜不可回復濾阻之比例提高所致,亦即薄膜 清洗技術未能充分發揮,故導致薄膜壽命縮短、通量降低 等狀況發生,而增加了操作及維護成本。 圖1繪示薄膜通量與時間的關係圖,薄膜通量會隨著 使用時間而逐漸降低,而當薄膜通量降低至特定值時(圖中 以黑點表示),便要進行薄膜清洗以恢復薄膜通量。然而, 薄膜在經過清洗後,薄膜通量的最大值會逐次降低,使得 薄膜清洗的時間間距會逐次減少,薄膜效能與產能因而降 低。 201014652 薄膜阻塞的原因大致可分為三種,分別為膜孔封閉 (pore closure)、膜孔堵塞(p〇re _辟㈣與餅層堆積(此 formation) ’其中又以膜孔堵塞最難清除而成為薄膜通的最 大值逐次降低的主因。 目前薄膜清洗方法主要有水洗,化學藥洗與週期性超 音波震盪等等。在目前實務上,清水逆洗的方式是最為普 遍’但效果,差’且對去除膜孔堵塞之現象較不具效果。 φ 此外,化學藥洗的效果較佳,但會產生有毒或污染之廢水, 因為化學清洗劑可能包含驗、酸、清潔劑與氧化劑如次氯 酸,使得會衍生有毒或污染廢水問題,較不環保,且成本 咼。另外,超音波無法針對反應槽内所有薄膜進行清洗, 均勻性較差,且較無法有效恢復由孔洞阻塞所損失之通量。 【發明内容】 有鑑於此,本發明提供一種薄膜清洗裝置及薄膜清洗 方法’可使溥膜在清洗後能回復至更接近於初始狀態時之 通量’能有效消除薄膜結垢(Scalling)與生物性堵塞 (Bio-fouling) ’並可有效排除(p〇re piUgging)的問題,使薄 獏可有效使用以解決薄膜淘汰的不經濟現象。 本發明提出一種薄膜清洗裝置,可應用於板框式淨水 薄膜上’此薄膜清洗裝置包括二個電極板與過濾單元,苴 中過濾單元是配置於這些電極板之間。過濾單元包括支撐 板與薄膜’而薄膜是配置於支撐板上。 本發明另麵:出一種薄膜清洗裝置’可應用於中空纖維 式淨水薄膜上’此薄膜清洗裝置包括二個電極板與過遽單 6 201014652 元,其中過濾單元是配置於這些電極板之間。過濾單元包 括電極線與薄膜’而薄膜是捲繞於電極線上。 本發明又提出一種薄膜清洗裝置,可應用於捲式淨水 薄膜上,包括第一電極片、第二電極片、第三電極片、第 一薄膜以及第二薄膜,其中第一薄膜是疊合於第一電極片 與第二電極片之間’而第二薄膜是疊合於第二電極片與第 三電極片之間,且第一電極片、第一薄膜、第二電極片、 第二薄膜與第三電極片是捲繞成筒狀。 本發明又提出一種薄膜清洗方法,包括下列步驟:提 供薄膜,並於薄膜之區域產生電場,以及對薄膜進行逆洗 程序。 綜上所述,在本發明之薄膜清洗裝置與薄膜清洗方法 中’藉由對薄膜所在的區域通入電場,可暫時改變薄膜的 狀態’甚至增大薄膜的孔隙,藉此大幅提升清水逆洗的效 果’以有效清除膜孔堵塞(pore plugging)等等積垢物,解決 生物性堵塞(Bio fouling)及薄膜結垢(Scalling)問題。 為讓本發明之特徵和特點能更明顯易懂,下文特舉較 佳實施例’並配合所附圖式,作詳細說明如下。 【實施方式】 圖2A與圖2B為依據本發明一實施利之薄膜清洗裝置 的剖面側視示意圏。請先參考圖2A,本發明之薄膜清洗裝 置f〇〇包括二個電極板212、214與過濾單元220,其中過 滤f元220是配置於這些電極板212、214之間。此外。過 /慮單220包括支撐板222與薄膜224,而薄膜224是配 7 201014652 置於支撐板222上,並用於過濾原水以產生淨水。 在本實施例中,薄膜224可為逆滲透(Reverese Osmosis, R〇)薄膜’不過本發明並不限定薄膜224的種類,舉例而 吕’薄膜224亦可為奈米過濾、(Nanofiltration,MF)薄膜、超 過濾(Ultrafiltration,UF)薄膜、微過濾(Microfiltration, MF) 薄膜或是其他合適種類的過濾薄膜。 承接上述,薄膜224是承靠於支撐板222的導水溝渠 ❾ 面222a上’而在薄膜224濾、水的過程中,原水52(圖中以 箭號表示)會通過薄膜224過濾而進入導水溝渠面222a。支 撐板222之導水溝渠面222a具有導水結構(未繪示),可將 通過薄膜224後的淨水54(圖中以箭號表示)收集,而從支 撐板222上方的集水孔222b排出。 請參考圖2B,當薄膜224過濾原水一段時間後,便需 進行清洗的程序。在本實施例中,首先是將電極板212、 214通入電源,以使電極板212具有第一電極性,並使電 ,❿,板214具有第二電極性,藉此於薄膜224的區域產生電 場。在本實施例中,第一電極性例如為負極性,而第二電 極性例如為正極性,不過本發明亦不限定第一電極性與第 二電極性何者為正極性或是負極性,且於操作上可為正負 極交替。 接著’將清水56自集水孔222b通入進行逆洗製程, 以將薄膜224上的積垢物洗出,而通過薄膜224後的水質 便疋帶著積垢物的濁水58。換句話說,本發明便是藉由改 變1膜224區域的電場而增加清水逆洗的效果’而本發明 加『電』之清水逆洗方式的效果優於傳統的清水逆洗、化 8 201014652 學藥洗或疋超音波震盪,且不會有任何化學物殘留。以下 將分段簡述加『電清洗』的特點。 (1)加電清洗』可隨水質與薄膜積垢物狀態,調控薄 .膜224表面的電斥力(Eleetr〇static repulsi〇n)或表面電位 (Surface potential),可使附著顆粒或積垢物離開膜面之機會 增加,此時以清水逆洗則可提高薄膜224表面之清洗效 果。此外,本發明更可輔以下方掃流氣泡對薄膜224表面 沖刷,以更進一步提升清洗的效果。 ® (2)胞夕卜 1 合物(Extracellular Polymeric Substances, EPS)為薄膜224造成有機性堵塞(Bi〇_fouHng)之原因,加 『電清洗』則可破壞胞外聚合物(Extracellular Polymeric Substances,EPS)與薄膜224表面的連結,使積垢物經由電 場環境作用下與薄獏224表面脫離,達到薄膜224清洗效 果。 (3) 微生物及細菌在電場環境下,會隨接觸時間增加而 去活性化,而具殺菌消毒效果。此外,若在清水中加入氣 ❹ 化鈉(鹽NaCl),則可電解產生次氯酸、氯氣,則更具薄膜 * 清洗殺菌功效。當然’儘管本發明木需於清水中加入任何 化學洗淨物便可達到優良的洗淨效過,不過本發明亦可於 清水中加入適當的化學洗淨物以進一步提升洗淨效果。 (4) 加『電清洗』可在電滲透效應下可增加薄膜通量, 亦即代表清洗通量增加’沖刷力提高而使清洗效能增加。 (5) 薄膜224膜孔結構受電場作用力導致變化,藉此可 解決最難處理的膜孔堵塞(pore plugging)問題,卡在膜孔的 顆粒因膜孔結構改變,而有較多的機會被洗出。 9 201014652 (6)清水逆洗無需加化學藥洗,屬於綠色環保技術,且 清洗效果均勻性佳。 在本實施例中,支撐板222的材質例如為壓克力或塑 膠,而電極板212、214的材質例如為石墨、複合金屬或不 錄鋼、鑽石電極等等導電材質,不過本發明並不限定支撐 板222與電極板212、214的材質。 圖3A為依據本發明另一實施例之薄膜清洗裝置的剖 ⑩ 面側視示意圖。請參考圖3A,本實施例之薄膜清洗襞置 3〇〇與前述之薄膜清洗裝置2〇〇(如圖2A所示)相似,其差 別在於過濾單元320之支撐板322的材質為導電材質,且 支樓板322的兩個導水溝渠面322a均可配置薄膜224。在 本實施例之清洗過程中,首先是將電極板212、214與支撐 板322通入電源,以使支撐板322具有第一電極性(負極 性)’並使電極板212、214具有第二電極性(正極性),藉此 •於薄膜224的區域產生電場。 鲁 接著’將清水56自集水孔322b通入進行逆洗製程, . 以將薄膜224上的積垢物洗出,而通過薄膜224後的水質 便是帶著積垢物的濁水58。熟悉此項技藝者當可輕易理 解,於此便不再贅述。 此外,以前述之實施例為基礎原型,更可延伸出多個 過濾、單元的薄膜清洗裝置’而如圖3B與圖3C所示。在圖 3B中’薄膜清洗裝置3〇〇a僅是在兩個電極板212、214之 間再配置多個過濾單元320,而在圖3C中之薄膜清洗裝置 3〇〇b則更進一步在過濾單元320之間再配置電極板316, 教將電極板316通入電源以使電極板316具有第二電極性 201014652 (正極性)。熟悉此項技藝者當可依據前述說明而稍加延伸 變化’惟其均仍屬本發明之範疇内。 在本實施例中’薄膜清洗裝置可依下列啟動時機進行 清洗,而其分別為: (1) 固定時間··每隔固定特定時間極自動執行薄膜清洗 (2) 透膜壓力(TMP)閥值:當透膜壓力(TMp)超出特二閥 值時’則自動執行薄膜清洗。 ❹*⑶通量閥值:當通量降低至狀閥值時,則自動執行 薄膜清洗。 (4) 水質閥值:水質不滿足設計需求時,自動執行薄膜 電清洗。 (5) 手動執行 當然’本發明亦不限定進行薄膜清洗的時機,而薄膜 清洗裝置更可包括透膜壓力(TMP)自動監控、通量自動監 控或自動數據紀錄器等等,以於適當的時機啟動薄膜清洗^ 圖4為依據本發明另一實施例之薄膜清洗裝置的剖面 側視示意圖。請參考圖4,本實施例之薄臈清洗裝置4〇〇 與前述之薄膜清洗裝置300(如圖3A所示)相似,其差別在 於過滤單元420更包括間隙膜(Spacer)426,以進一步提升 薄膜過濾的效果,其中間隙膜426是配置於支撐板322之 導水溝渠面322a與薄膜224之間,且間隙膜426之材質為 導電材質。 、_ 在本實施例之清洗過程中,首先是將電極板212、214 與間隙膜426通入電源,以使間隙膜426具有第— (員極性)’並使電極板212、214具有第二電極性(正極性), 11 201014652 藉此於薄膜224的區域產生雷 孔322b通入進行逆洗製程,^接著,將清水56自集 ' *,而通過薄膜224後的水質 著二:,物洗 - 值得注意的是,本發明教 者積后物的濁水58。 式,以下將在另舉實施例並配八、,過濾單元的種類與型 圖5Α與圖5Β為依據本發:::說明。… 置的立體透視示意圖。請先參一實施例之薄膜清洗裳 洗裝置50〇包括電極板512、51 ’本實施例之薄犋清 β +這些職單元520是配置於個過滤單元520 --^ 、電極板 512、514 之 μ 早兀520包括電極線522與薄膜524,而薄膜52f。過據 於電極線522上,以使過遽單元52〇的外觀形狀是锩繞 此外,本發明並不限定過據單元52〇的數量。為圓管狀。 此外,薄膜清洗裝置5〇〇更可包括導水管 水管530是連接這些職單元52〇。在薄膜$ ^導 程中,原水52(圖中以箭號表示)會通過薄膜224 =的過 β入過遽單元520之圓管中央。接著,通過進 〇水(未繪示)會順著圓管令央流向導水管53〇而排丨。後的淨 請參考圖5Β,當薄膜524過滤原水一段時間後 進行清洗的程序。本實施例首先是將電極512、514邀便需 線522通入電源,以使電極線似具有第_電生、^極 性)(未標示),並使電極512、514具有第二電極性(正(負極 藉此於薄膜224的區域產生電場。接著,將清水性一), 自導水管530通入進行逆洗製程,以將薄膜524 ^^會示) =洗出,而通過薄臈524後的水質便是帶著積垢物的= 12 201014652 一圖6A為依據本發明另一實施例之薄膜清洗裝置 面不意圖,而圖6B為圖6A之薄膜清洗裝置的展開示二 圖。請同時參考圖圖6A與圖6B,本實施例之薄膜产= 置600包括第一電極片61〇、第二電極片62〇、第三電極^ 一笛㈣_以及第二薄膜㈣,其中第1膜630 疋疊合於弟一電極片610與第二電極片62〇之間而第二 薄膜650是疊合於第二電極片62〇與第三電極片伽: 間,且第一電極片610、第一薄膜640、第二電極片62〇、 第一薄膜650與第三電極片630是捲繞成筒狀。 此外,第一電極片610、第二電極片62〇、第三電極片 63=的表面具有導水結構,以利導引水流。在第—薄膜6仂 與第二薄膜650濾水的過程中,原水(未繪示)會由第二電 極片620的導水結構進入而通過兩側的第一薄膜與第 二薄膜650進行過濾,以進入第一電極片61〇與第三電極 片630的導水結構而被導出。 — 當第一薄膜640與第二薄膜650過濾原水一段時間 © 後,便需進行清洗的程序。本實施例首先是將第—電極片 . 610、第二電極片620與第三電極片630通入電源,以使第 二電極片620具有第一電極性(正極性)(未標示),並使第一 電極片610與第三電極片63〇具有第二電極性(負極性)(未 標示)’藉此於第一薄膜640與第二薄膜650的區域產生電 場。接著,將清水(未繪示)自第一電極片61〇與第三電極 片630之導水結構通入進行逆洗製程,以將第一薄膜64〇 與第二薄膜650上的積垢物洗出。 在刖述說明薄膜清洗裝置的過程中,均有一併說明薄 201014652 膜清洗方法。然為使熟悉此項技藝者能更加清楚前述之說 明,圖7另繪示出依據本發明之一實施例之薄膜清洗方法 的流程示意圖。請參考圖7,本發明之薄膜清洗方法主要 包括兩個步驟,首先如步驟S71所示,提供薄膜,並於薄 膜之區域產生電場;接著如步驟S72所示,對薄膜進行逆 洗程序。 前文已有詳述如何於薄膜之區域產生電場,例如以兩 個電極產生電場、電極與支撐板產生電場、電極與間隙膜 ® 產生電場,或是電極與電極線產生電場等等,熟悉此項技 藝者當可輕易理解,於此便不再贅述。 本發明之薄膜清洗方法可使顆粒較容易脫離薄膜表 面、破壞胞外聚合物與薄膜表面之黏附、並使微生物及細 菌產生去活性化現象等等。此外,在電滲透效應下通量增 加而清洗效能增加,且清洗過程不須加藥,而膜孔堵塞(pore plugging)問題亦會因膜孔結構改變,將會有較多的機會被 水洗出。 © 實驗測試:膜孔孔徑變化 ' 測試兩種微過濾薄膜(MF)材質,並以高嶺土溶液進行 測試,分別測試薄膜兩側之進料端與出水端之顆粒粒徑大 小,藉由量測通過薄膜顆粒大小來比較膜孔結構是否有所 變化。結果顯示,PE膜(Kubota)於無電場及有電場情況下, 顆粒平均粒徑從40〜50nm擴大到80〜90nm,而不織布膜 於無電場及有電場情況下,顆粒平均粒徑從20〜30nm擴 大到180〜200nm。由此可知,電場對膜孔孔徑變化有所影 響,並視材質不同則變化度有所不同。膜孔結構改變可解 14 201014652 決隶難處理的膜孔堵塞(pore plugging)問題,而卡在膜孔的 顆粒叮口膜孔結構改變,會有較多的機會被清水洗出。 實驗測試:通量與透膜壓力變化 圖8顯示電場環境下之薄膜通量與透膜壓力的實驗 圖此實驗疋以活性污泥為測試水體,反應槽運作電流為 6mA/cm以間歇式進行操作,結果顯示,薄膜於電場環 ❹丨 兄作用下會發生電渗透效應,通量增加、透膜壓力降低。 實驗測試:微生物活性測試 進行電%環境下之微生物活性測試,持續以27 7 v/mL 之操作電壓下電解水樣v並定期取樣進行菌及相關光 度值(Relative Luminosity Units, RLU)分析,以證明降低生 物活性而達到·降低生物性積垢之功效。生物活性電解實驗 測試條件及結果如圖9所示。 根據實驗結果顯示,電解後3分鐘,RLU值降低至〇。 ❹ 另外,進行菌落數分析,實驗結果顯示趨勢亦相同,於實 驗中0〜5 min’菌液CFU/ml過多無法計算,但反應1〇 min 後,菌液CFU/ml降至為〇,故證明微生物及細菌在電場環 境下,會隨接觸時間增加而去活性化,而減少薄膜產生生 物積垢現象,對逆洗將有所助益。 綜上所述’本發明之薄膜清洗裝置與薄膜清洗方法至 少具有下列特點·· 一、藉由對薄膜所在的區域通入電場,可提升清水逆 洗的效果’以有效/月除膜孔堵塞(pore plugging)等等積垢 15 201014652 物。 二、電場亦可有效清除微生物與細菌,以解決薄膜生 物性積垢問題。 雖然本發明已以較佳實施例揭露如上,然其並非用以 限定本發明,任何熟習此技藝者,在不脫離本發明之精神 和範圍内,當可作些許之更動與潤飾,因此本發明之保護 範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。 ® 【圖式簡單說明】 圖1繪示薄膜通量與時間的關係圖。 圖2A與圖2B為依據本發明一實施利之薄膜清洗裝置 的剖面側視示意圖。 圖3A〜3C為依據本發明另一實施例之薄膜清洗裝置 的剖面侧視示意圖。 ' 圖4為依據本發明另一實施例之薄膜清洗裝置的剖面 側視示意圖。 © 圖5A與圖5B為依據本發明另一實施例之薄膜清洗裝 • 置的立體透視示意圖。 圖6A為依據本發明另一實施例之薄膜清洗裝置的剖 面示意圖。 圖6B為圖6A之薄膜清洗裝置的展開示意圖。 圖7為依據本發明之一實施例之薄膜清洗方法的流程 示意圖。 圖8為電場環境下之薄膜通量與透膜壓力的實驗圖。 圖9為電場環境下之相關光度值的實驗圖。 16 201014652 【主要元件符號說明】 52 :原水 54 :淨水 56 :清水 58 :濁水 200、300、400、500、600 :薄膜清洗裝置 212、214、316、512、514 :電極板 ❹ 220、320、420、520 :過濾單元 222、322 :支撐板 222a、322a :導水溝渠面 222b、322b :集水孔 224、524 :薄膜 426 :間隙膜 ' 522 :電極線 530 :導水管 ® 610 :第一電極片 ' 620 :第二電極片 630 :第三電極片 640 :第一薄膜 650 :第二薄膜 S71〜S72 :步驟 17

Claims (1)

  1. 201014652 十、申請專利範圍: 1. 一種薄膜清洗裝置,包括: 二電極板; 一過濾單元,配置於該些電極板之間,而該過濾單元 包括: 一支撐板;以及 一薄膜,配置於該支撐板上。 2. 如申請專利範圍第1項所述之薄膜清洗裝置,其中 該些電極板是分別具有一第一電極性與一第二電極性。 3. 如申請專利範圍第1項所述之薄膜清洗裝置,其中 該支撐板之材質為導電材質。 4. 如申請專利範圍第3項所述之薄膜清洗裝置,其中 該支撐板具有一第一電極性,而該些電極板是具有一第二 電極性。 5. 如申請專利範圍第4項所述之薄膜清洗裝置,其中 該第一電極性為負極性,而該第二電極性為正極性。 6. 如申請專利範圍第1項所述之薄膜清洗裝置,其中 該過濾單元更包括一間隙膜,而該間隙膜是配置於該支撐 板與該薄膜之間,且該間隙膜之材質為導電材質。 7. 如申請專利範圍第6項所述之薄膜清洗裝置,其中 該間隙膜具有一第一電極性,而該些電極板是具有一第二 電極性。 8. 如申請專利範圍第7項所述之薄膜清洗裝置,其中 該第一電極性為負極性,而該第二電極性為正極性。 9. 一種薄膜清洗裝置,包括: 18 201014652 二電極板; 包括 了過遽單元,配置於該些電極板之間,而該㈣單元 電極線;以及 一薄膜,捲繞於該電極線上。 10. 如申請專利範圍第9項所述之薄膜清洗裝置 括一導水管,而該導水管是連接該過濾單元。 11. 如申請專利範㈣9項所述之薄膜清洗裝置, 該電極線具有一第一電極性,而該些電極是具有一 極性。 一电 12. 如申料職㈣U項所述之薄料洗裝置,发 中該第-電極性為正極性,而該第二電極性為負極性/、 13·—種薄膜清洗裝置,包括: 一第一電極片; 一第二電極片; ❹ 一第三電極片; 間 一第一薄膜,疊合於該第一電極片與該第二電極片 以及 間 一第二薄膜,疊合於該第二電極片與該第三電極片之 第 其中該第一電極片、該第一薄膜、該第二電極 薄膜與該第三電極片捲繞成筒狀。 ^ 中兮L4.如申請專利範圍第13項所述之薄膜清洗I置,1 一第—電極片具有一第一電極性,而 ,、 第三電極片是具有-第二電極性。 $極片與該 19 201014652 15. 如申請專利範圍第14項所述之薄膜清洗裝置,其 中該第一電極性為正極性,而該第二電極性為負極性。 16. 一種薄臈清洗方法,包括: 提供—薄膜,並於該薄膜之區域產生—電場;以及 對該薄膜進行逆洗程序。 17·+如申請專利範圍第16項所述之薄膜清洗方法,其 中於該薄臈之區域產生該電場之步驟包括:
    、提供二電極板,而該薄膜是配置於該些電極板之間; 以及 對該些電極板通入電源,以使該些電極板是分別具有 一第一電極性與一第二電極性。 ,其 且該 “·如申請專利範圍第16項所述之薄膜清洗方: 於該薄膜之區域產生該電場之步驟包括: 提供一支撐板,而該薄膜是配置於該支撐板上 支撐板之材質為金屬;
    提供二電極板, 以及 而該支撐板是位於該些電極板之間; 對忒些電極板與該支撐板通入電源,以使該支 有—第―電極性,而該些電極板是具有-第二電極性/、 中誃19·如申請專利範圍第18項所述之薄膜清洗方法,其 ° 電極性為負極性,而該第二電極性為正極性。、 20·如申請專利範圍第丨6項所述之薄膜清洗方法, ;,薄膜之區域產生該電場之步驟包括: 、 ,供—支擇板,而該薄膜是配置於該支撐板上; 提供—間隙膜,而該間隙膜是配置於該薄膜與該支撐 20 201014652 板之間,且該間隙膜之材質為導電材質; 提供二電極板,而該支撐板是位於該些電極板之間; 以及 對該些電極板與該間隙膜通入電源,以使該間隙膜具 有一第一電極性,而該些電極板是具有一第二電極性。 21. 如申請專利範圍第20項所述之薄膜清洗方法,其 中該第一電極性為負極性,而該第二電極性為正極性。 22. 如申請專利範圍第16項所述之薄膜清洗方法,其 中於該薄膜之區域產生該電場之步驟包括: 提供一電極線,而將該薄膜捲繞於該電極線上; 提供二電極板,而該電極線是位於該些電極板之間; 以及 對該些電極板與該支撐板通入電源,以使該電極線具 有一第一電極性,而該些電極板是具有一第二電極性。 23. 如申請專利範圍第22項所述之薄膜清洗方法,其 中該第一電極性為負極性,而該第二電極性為正極性。 21
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