TW200909744A - Combustive destruction of noxious substances - Google Patents

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200909744 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明關於氣流中所含的有宝 物質（特別是全球瞎务# 體）之燃燒破壞，並在半導體或平 匕乳 卞板顯示器製造章中 處理工具所排放的氣體處理_獲得應用 /、 【先前技術】 全氟化（PFC)氣體，諸如CF4、C ρ χτ „ . 、NF3及SF6通常提供 至半導體及平板顯示器製造業中所 Γ 故果甲所用的處理室，例如， 於電介質層蚀刻及/或處理室清、.势。 銘® ~ '、在製造或清潔制程 後，處理室所排放的氣體中通常有 —_ ，殘餘數量的提供至處理 至的氣體。上述全氟化合物已知為、、ra 馮/皿至氣體，因此需要在 將該氣體排入大氣前將該等物質從廢氣中移除。 ΕΡ-Α-0 694 735述及用於處理教户 礼机以將有害物質從氣流 中移除之氣體減除裝置，其中燃料氣在透過一噴嘴注入一 燃燒區（其側面由圓柱形的内部點燃多减體燃燒器之出

L 口表面所環繞）之前與氣流預混合。將燃料氣與空氣同時 提供給環繞在多孔燃燒器的充氣室，以在出口表面實行無 焰燃燒，透過多孔燃燒器的空氣數量不但足以消耗提供至 燃燒器的燃料而且也足以消耗注入到燃燒區的混合物中的 所有可燃物。燃燒區的底部開口端與一冷卻塔（其具有一 用水流塗布的内表面）相連，以冷卻離開燃燒區的氣流。 隨後將氣流與冷卻水分離，並在被排放到大氣前通過一滌 氣器。 吾人發現在氣流進入燃燒區之前將氣流與燃料氣預混合 129932.doc 200909744 能提高裝置的PFC減除效率。雖然對於QF6、SFe及NF3獲 得了良好的結果’但此技術因燃燒區内部可到達的最高溫 度不適於減除CF4。

在ΕΡ-Α-0 802 370中述及上述技術之改良，其中經預混 合的燃料與氣流透過一噴嘴（其與一在氧氣進入燃燒區前 將氧氣引入該混合物的吹管同心）被注入燃燒區。利用此 技術’對於所有PFC氣體包括CF4都取得了良好的結果。 在WO-A-2〇〇6/〇13355中述及了另一改良，其中該喷嘴亦 由一套筒環繞，以使燃料氣與氣流一起能被注入到燃燒 區，而不是將氣流與燃料預混合。藉由改變提供至吹管與 套筒的氣體性質，一系列有害物質可使用單一注入化學計 量法進行處理。此組態對於處理一含氟（Fa)氣流特別有 效’不產生燃燒副產物cf4。 上述裝置的擁有成本特別依賴於提供至該多孔氣體燃燒 n之燃料氣之數量。—用於減少燃料消耗的技術係減^ 孔燃燒器之長度，從而減小環繞燃燒器的充氣室並減少需 要提供至充氣室的燃料氣與空氣之數量以實行在燃燒器出 口表面的無焰燃燒。 多孔燃燒器的出口表面發射有助於保持燃燒區内部的言 :的紅外線轄射。然而’接近燃燒器底部溫度相對較二 =普遍出現’原因為㈣交換減弱。由於燃燒器的長产 辦力、，該等溫度相對較低的情況普遍存在的燃燒器之比二 從裝置中排放的氣流中的CO與未燃燒燃料氣 129932.doc 200909744 開始增加，裝置的減除效能開始下降。較差的效能歸因於 在相對低溫下工作的燃燒器的比例增加，有效地限制多孔 燃燒裔的縱橫比可被減小之程度。 &響氣體減除裝置擁有成本的另一因素係半導體與平板 處理室尺寸增大。上述器件之製造中，在越來越大的基板 上加工以實現規模經濟成為一個趨勢，在處理步驟完成後 將基板切割成小片以生產所需尺寸的複數個個體器件。因 此處理至尺寸與提供至處理室隨後又從其中排出的氣體 之流量亦增加了，以適應於較大的基板並產生可接受的處 理速度。 可藉由增加入口（透過其廢氣被注入燃燒區）數量與增加 燃燒區容量，以容納進入氣體減除裝置的氣體數量之增 加。由於上述原因，不能藉由僅僅增加多孔燃燒器的内徑 (為了適應廢氣流量增加所需的入口數量增加）實現燃燒區 谷罝之增大而不損害減除裝置之效能。因此，當燃燒器内 徑增大時，亦必須增大燃燒區長度、多孔燃燒器長度及環 繞於燃燒器之充氣室之容積，藉此增加裝置的燃料氣消耗 量。 【發明内容】 本發明之較佳實施例之目的係提供包括—多孔氣體燃燒 器氣體的減除裝置，其能夠處理具有相對高流量的氣流， 並僅具有相對低的燃料氣消耗量。 本發明提供用於有害物質之燃燒破壞的裝置，其包括一 個由内部點燃的多孔燃燒器的出口表面所環繞的燃=區， 129932.doc 200909744 該多孔燃燒器具有-開口端(燃燒產物透過其從燃燒區排 放），將含有至少一種有害物質的氣流注入燃燒區的構 件、將燃料氣體與氧化劑提供至多孔燃燒器中實行在出口 表面燃燒的構件，其特徵在於一用於加熱(至少)多孔燃燒 器開口端的第二燃燒器。 ' 提供用於加熱（至少）多孔燃燒器開口端的第二燃燒器 可顯者減；在使用期間多孔燃燒器開口端與燃燒器其餘部 分之間的溫差。其能將多孔燃燒器之縱橫比減小至一個小 於1的值’例如介於0.4與1，而不明顯降低該裝置的減除 效能。因此，可減少該裝置的燃料氣消耗量，而不損= 裝置的效能。此外，可增大該裝置的直徑以適應增加的入 :或，他上述裝置（透過其氣流被注入到燃燒室中）的數 置，精此增加該裝置的容量而不損害該裝置的效能。 第-燃燒ϋ可至少部分地由多孔燃燒器環繞，並可大體 上與多孔燃燒器同軸。在一較佳實施例中，第二燃燒器包 ϋ 括一=部點燃多孔燃燒器（由内部點燃多孔燃燒器與燃燒 s所環繞）’該裝置包括將燃料與氧化劑提供至外部點燃 多孔燃燒器的構件。 一=發明亦提供用於有害物質之燃燒破壞的裝置，其包括 一環形燃燒區（其被内部點燃多孔燃燒器之出面 並環繞外部點燃多孔燃燒器之出口表面)、將至二；： 種有害物質的氣流注入燃燒區的構件，及將燃料氣與氧化 劑提供至多孔燃燒器實行在出σ表面燃燒的構件。 將燃料氣與氧化劑提供至多孔燃燒器的構件可被安排用 I29932.doc 200909744 ;字料氣與氧化劑之相同混合物提供至兩個多孔燃蜱 器。或者，將燃料氣與氧化劑提供至多孔燃燒器的麟建= 被安排用於將燃料氣與氧化劑之第一混合物提供至外部的 内部點燃多孔燃燒器，並將燃料氣與氧化劑之第二混合物 (不同於第-混合物）提供至内部的外部點燃多孔燃燒器。 例如，如果以在内部燃燒器之出口表面的較低的表面燃燒 速率（以千克-卡/小時/平方㈣燃燒器表面計算）達到所需 ㈣除效能’則提供至内部燃燒器的混合物内部所含燃料 氣之比例可低於提供至外部燃燒器的混合物所含燃料氣之 比例’藉此降低成本。 忒等多孔燃燒器可各具有一陶瓷及/或金屬纖維的多孔 層。忒内部燃燒器可具有與該内部燃燒器不同之組合物， 或兩個燃燒器可具有相同的組合物。 藉由用於將氣流注入燃燒區的複數個喷嘴群組，可提供 用於將氣m燃燒區的構件。該㈣嘴群組可大體上環 繞縱軸等距間隔開，環形燃燒區環繞縱軸延伸。 各噴嘴群組可包括位於各自的軸（大體上與縱轴平行延 伸並與縱軸間隔開）周圍的複數個喷嘴，該等軸可大體上 與環形燃燒區等距隔開。 每-喷嘴群組可包括至少三個噴嘴。該等噴嘴可環繞縱 軸排列，以便噴嘴形成位於該軸第一徑向距離處的一第一 喷嘴子集及位於該軸第二徑向距離處的一第二噴嘴子集。 該裝置可具有至少四個喷嘴群組，最好至少六個噴嘴群 組。运能使裝置具有至少十八個噴嘴，該等喷嘴可使進入 129932.doc 200909744 裝置的氣流流量達到至少9 〇 〇升/分鐘。 各喷嘴具有向噴嘴内凸出的一各自吹管，用於將辦料氣 與氧化劑之—者提供至通過該噴嘴的氣流的部分“亥噴嘴 可環繞吹管延伸，最好大體上與該吹管同心。 各嘴嘴具有環繞噴嘴延伸的—各自套筒，用於將燃料氣 與氧化劑之一者提供至通過該噴嘴的氣流的部分。該套筒 可大體上與噴嘴同心’該喷嘴可在該套筒内部終止。

為每個噴嘴提供一吹管與一套筒兩者能使氣流内部所含 的特定有害物質在燃燒區内的燃燒條件達到最佳。例如， 該吹管可選擇性地將氧化劑注人氣流巾，該套筒可選擇性 將-燃料注入氣流中。因此，藉由簡單地接通與關閉流入 該吹管與該套筒的流體，可根據需要將燃料、氧化劑或燃 料與氧化劑兩者注入到氣流中。 可在燃燒區之下提供一冷卻塔（其與燃燒區通過液體相 通），並還提供用於維持水沿著冷卻塔内表面流動之裝置 及一與冷卻塔底部相連的氣_液分離器。其能使離開燃燒 區的燃燒產物氣流被冷卻，同時藉由塗布冷卻塔内表面的 水流能使氣流中所含的一些酸性氣體諸如HF與HC1被吸入 到溶液中’並能使固體顆粒被此水流捕獲。 本發明亦提供一種用於將有害物質之燃燒破壞的方法， 包括將含有至少一種有害物質的氣流注入一燃燒區（其由 具有一開口端的内部點燃多孔燃燒器之出口表面所環 繞）、將燃料氣與氧化劑提供至多孔燃燒器以實行在出口 表面的燃燒’及透過多孔燃燒器的開口端將燃燒產物釋放 129932.doc 11 200909744 至燃燒區’其特徵在於該多孔燃燒器的開 燒器予以加熱。 口端由一

本發明此外提供用於有害物質之燃燒破壞的方法， 將含有至少一種有害物質的氣流注入一環形燃燒區括 内部點燃多孔燃燒器之出口表面所環繞及環繞外部點燃= 孔燃燒器之出口表面），以及將燃料氣與氧化劑提供至T 孔燃燒器以實行出口表面上的燃燒。 與本發明之裝置態樣相關的如上所述的部件同樣可商 於方法態樣，反之亦然。 【實施方式】 首先參考圖1，該裝置包括複數個入口 1〇，在此實例為 六個入口 ’用於接收藉由抽真空系統從半導體或平板顯示 處理工具中抽出的氣流。氣流從各入口 1〇傳輸至各自的喷 嘴12之群組，其將氣流注入一燃燒區14。在此實例中，各 個喷嘴12之群組包括三個環繞各自的轴叫大體上平行於 燃燒區14之縱軸18延伸）配置的喷嘴。該等軸“最好與縱 軸18徑向距離相同’最好大體上繞軸18等角度間隔。各群 組之中’喷们2可㈣要求我其㈣軸咖置，但在一 如圖2所示的較佳配”，一個噴嘴位於距縱軸以第一徑 向距離r】’另兩個噴嘴位於距縱軸卿大的徑向距離 各嘴觜12位於各自的形成於陶瓷板的孔中，其限定了 燃燒室14的上表面（如圖所示）。為了能夠使氣流中所含的 有。物貝在燃燒至！ 4中的燃燒條件達到最佳，各喷嘴12環 繞吹管22(從氧化劑入口 24接收氧化劑例如空氣之供應）延 129932.doc 200909744 伸並大體上與吹管22同心β 化劑入口 24將氧化劑提供至 的各個吹管22。可方便地將 氧化劑源。 如圖1所示’可經由共用的氧 與單個進氣口 1 〇的喷嘴丨2相關 六個氧化劑入口 24連接到共用

各噴嘴叫可視需要）由-第二同心噴嘴或套筒％環繞， 各噴嘴位於各自形成於陶究板2〇的孔中。各套筒％環繞一 ，自的喷嘴12,因此噴嘴12之出口位於套筒％内部。燃料 «I入口 28將燃料氣提供至一在喷嘴匕的外表面與套筒％的 内表面之間限定的環形的氣體通路3〇,以使燃料氣例如甲 烧能被輸送至含有氣流與藉由吹管22注入到氣流中的任何 氧化劑的燃燒區14。如圖i所示，可藉由一共用燃料氣入 口 28供給燃料氣至與單個進氣口 1〇之噴嘴12相關的各套筒 %。可方便地將六個燃料氣人口28連接到共用燃料氣源。 可提供-控制器（未顯示）以控制提供至燃料氣入口 Μ與 氧化劑入口 24的燃料氣與氧化劑之相對數量，以使氣流/中 所含的有害物質之燃燒達到最佳。例如，冑了有機矽烷之 燃燒減除，將氧氣透過吹管22注入氣流中。作為另一實 例’為了氣流中所含^/NF3物質之燃燒減除，將燃料氣 透過氣體通路30注入氣流中以提供必要的還原物質。可視 需要，亦可將氧氣透過吹管22注入氣流以產生導致裝置中 低殘餘fe與低一氧化碳排放之燃燒條件。 回到圖1 ’在此實例中，燃燒區丨4為環形 内部點燃多孔燃燒器32(諸如在ΕΡ-Α-0 694 的）之出口表面環繞。外部燃燒器32具有一 129932.doc ，並由外部的 735中所述及 由沈積或附著 13 200909744 於一環形隔板36上的陶瓷及/或金屬纖維構成的多孔層 34 °充氣室容積38在燃燒器隔板36與筒形外殼4〇之間形 成。將一種燃料氣（諸如天然氣或一種烴）與空氣的混合物 經由一個或多個入口喷嘴（未顯示）引入充氣室容積38中， 以便在使用過程中燃料氣與空氣在外部燃燒器32之出口表 面燃燒時無可見焰。燃燒區14之下端（如圖所示）開放，以 允許燃燒產物從燃燒區丨4排放。

在使用期間，外部燃燒器32的出口表面發射有助於保持 燃燒區1 4内部高溫的紅外線輻射。為了避免與外部燃燒器 32開口端處的輻射交換降低相關的問題，提供一第二燃燒 器以加熱（至少）外部燃燒器32之開口端。在此實例中，藉 由一内部的外部點燃多孔燃燒器42(由環形燃燒區14環繞 並大體上與其同心）提供一第二燃燒器。與外部燃燒器Μ 類似，内部燃燒器42具有陶瓷及/或金屬纖維的多孔層 44，其既可具有與外部燃燒器32的多孔層34相同的組合 物，又可具有與該多孔層不同的組合物。如圖丨所示，= 多孔層44具有由燃燒區14環繞的環形側壁扑與封閉内部燃 燒器42的末端的端壁48。該多孔層44沈積在限定内部燃燒 器42之圓柱形充氣室容積52的筒形隔板5()之上。將一種: 料氣（諸如天然氣或-種烴）與空氣的混合物經由入口則 入充氣室容積52中，以便在使用過程中燃料氣與空氣在内 部燃燒器44之出口表面燃燒時無可見焰。提供至圓柱形充 氣室52的燃料氣與空氣之混合物可與提供至外部燃燒器^ 之環形充氣室容積38的燃料氣與空氣之混合物相同或不 129932.doc 14 200909744 同。 使用時’將含有-種或多種有害物質的氣流(例如一種 Μ物Γ)提供至入口 1〇。在將氣體注入到環形燃燒區= 之則秸由吹#22與套筒26將燃料氣與氧化劑加人+ 的氣流中。燃燒器32、42的多孔纖維層排出的過量: 現燃燒區14内部的有害物質之燃燒破壞。 提供一引火燃燒器以用於點燃外部及内部燃燒器32、 42。引火燃燒器可為—習用型（具有用於點燃提供至另一 喷嘴31的燃料氣與氧化劑之混合物之火花塞），喷嘴η尺 寸與噴嘴12相似，並且也位於—個貫穿陶竞板的孔中。 如圖2所弓|火燃燒器位於接近於内部燃燒器u處，用 於點燃内部燃燒器42，其依次點燃外部燃燒器32。或者， 在接近外部燃燒器32處提供一第二引火燃燒器以用於點燃 此燃燒器。提供引火燃燒器僅為了點燃外部與内部燃燒器 32、42,因此一旦燃燒器32、42被點燃，即可將引；：燒 器媳滅。又如圖2所示，可在接近喷嘴31處提供觀察孔 3 1 a 〇 内部燃燒器42之長度（沿縱軸18測量）大體上與外部燃燒 器32之長度相同。在一實例中，燃燒器32、42長度各約為 6英寸，内部燃燒器42外徑約2·5英寸，外部燃燒二徑約 12央寸。其能使裝置具有用於將氣流注入環形燃燒區“的 至多18個喷嘴，其能使裝置接收至少9〇〇升/分鐘的氣體。 比較起來，在ΕΡ-Α-0 694 735中所述的實例中，該（單個） 内部點燃多孔燃燒器直徑3英寸’長度12英寸，因此容量 129932.doc 200909744 低得多。考慮到藉由内部燃燒器42加熱外部多孔燃燒器^ 之開口端’可取得具有低co與燃料氣排放之良好:除效 月b，燃料消耗在40至5〇升/分鐘範圍。 燃燒區14之開口端與圓柱形後燃燒室6〇相連，後燃燒室 2括-用於接收從燃燒區丨續出的燃燒產物氣流之水冷 部塔62。透過一管道（未顯示）將水提供至—環繞冷卻塔q 的衣形槽64申，水從槽64頂端溢出並從冷卻塔62之内表面 机下水用於冷卻該燃燒產物氣流並防止固體顆粒沈積在 々"P乙6 2表面上。此外，燃燒產物氣流中的任何酸性組分 可藉由水吸入溶液中。可選擇室6〇之長度以使裝置之減除 效能達到最佳。可將氣流與水透過室6〇的出口 66排放，並 將其輸送至一用於將含有固體顆粒與酸性物質的水與氣流 刀離的刀離器（未顯示）。在氣流被排放到大氣之前，可將 其輸送透過一濕式滌氣器以將殘留的酸性物質從氣流中移 除。 【圖式簡單說明】 月il參考隨附圖式而僅藉由實例描述本發明之較佳特性， 其中： 圖1說明了一透過用於有害物質之燃燒破壞之裝置的橫 剖面；及 圖2說明了用於將氣流注入如圖1之裝置的燃燒區的喷嘴 配置。 【主要元件符號說明】 129932.doc 16- 200909744 Ο ί 12 喷嘴 14 燃燒區 16 轴 18 縱軸 20 陶瓷板 22 吹管 24 氧化劑入口 26 套筒 28 燃料氣入口 30 氣體通路 31 喷嘴 3 1a 觀察孔 32 外部燃燒器 34 多孔層 36 環形隔板 38 充氣室容積 40 筒形外殼 42 外部點燃多孔燃燒器 44 多孔層 46 環形側壁 48 端壁 50 筒形隔板 52 圓柱形充氣室容積 54 入口 129932.doc -17- 200909744 60 後燃燒室 62 冷卻塔 64 環形槽 66 出σ

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Claims (1)

1. 200909744 十、申請專利範圍： 1· 一種用於有害物質之燃燒破壞的裝置，其包括：一由一 内部點燃多孔燃燒器的出口表面所環繞的燃燒區，該多 孔燃燒器具有_開口端，—燃燒產物透過該開口端從該 燃燒區排放；用於將一含有至少—種有害物質的氣流注 入到該燃燒區的構件；及用於將燃料氣與氧化劑提供至 忒多孔燃燒器實行在該出口表面處之燃燒的構件；其特

   徵在於一第二燃燒器，該第二燃燒器係用於加埶'多 燃燒器之至少該開口端。 —夕孔 2..如請求们之裝置，其中該第二燃燒器至少部分地由該 多孔燃燒器環繞。 3·如請求項_之裝置，其中該第二燃燒器大體上盥該多 孔燃燒器同軸。 4.如明求項1之裝置’其中該第二燃燒器包括一由該内部 點燃多孔燃燒器與該燃燒區所環繞之外部點燃多;:燃燒 器，該裝置含有將燃料氣與氧化聽供至該外部點燃^ 孔燃燒器的構件。 5. 6. 一種用於有害物質之燃燒破壞的裝置其包括：一由一 内部點燃多孔燃燒器之—出σ表面所環繞並環繞一外部 點燃多孔燃燒器之一出口表面的環形燃燒區；用於將含 有至 > 一有害物質的一氣流注入該燃燒區之構件；以及 用於將燃料氣與氧化劑提供至該等多孔職器 ill . 貝 4 丁 5¾ 寻出口表面處的燃燒之構件。 如清求項1或5之裝置，苴 j且八T这用於挺供燃枓氣與氧化劑 129932.doc 200909744 U 至該等多孔燃燒器的構件被配置成將相同的燃料氣與氧 化劑之混合物提供至兩個多孔燃燒器。 7·如請求们或5之裝置，其中該用於將燃料氣與氧化劑提 t、^該等多孔燃燒器的構件被配置成將燃料氣與氧化劑 之-第-混合物提供至該内部點燃多孔燃燒器 料氣與氧化劑之-第二混合物提供至該外部點揪 燒益，該第二混合物不同於該第-混合物。 8.如請求項1或5之裝置，其中兮笙夕？丨& & 及/或金屬纖維的一多孔Γ孔燃燒^各具有㈣ I =Γ8之裝置’其中該内部點燃多孔燃燒器與該外 ，· “，、夕孔燃燒器具有不同的組合物。 10·如請求項U 5之裝置，其 X用於將一氧流注入該揪燔 £的構件包括用於將該氣流注 ，.，丄 群組。 八逐燃的複數個嘴嘴 11.如請求項1 〇之裝置， 伸，其中該等噴嘴群燒區環繞一縱轴延 12 , ^ . 、、、大體上環繞該縱軸等距間隔。 12·如-求項U之裝置，其中各 ^ 數個噴嘴，該軸大體上平行於細3有繞各自轴的複 隔開。 、4縱軸延伸並與該縱軸間 '、中各噴嘴群組包括至少 13.如請求項12之裝置嘴。 14_如請求項13之裝置 15.如請求項〗4之裝置 個噴 々 ώ — 汽垮且 吹管，用於將燃料氣與氣化劑 包括至少四個噴嘴群組。^ Γ各嘴嘴具有向喷嘴内凸出的一 者提供至通過胃 之 129932.doc 200909744 喷嘴的該氣流的部分。 16·如請求項15之裝置，其 】7.如請求項〗6之裝置，並由：喷嘴繞該吹管延伸。 18.如請求項！ 7之，:4噴嘴大體上與該吹管同心。 各自套筒，用 〃 +各喷嘴具有環繞喷嘴延伸的- 嘴的該氣流的部分。 b沁之—如供至通過該噴 19. 如請求項18之裝置，苴中 20. 如請求項19之掌 "套《大體上與該喷嘴同心。 21·如請求項】或5之 該套滴内。 橫比小於卜、置’其令該内部點燃多孔燃燒器之縱 22.如請求項丨或5之裝置， 燒區液髀i s 匕括一在該燃燒區之下並與該燃 卻塔；用於維持-水流沿該冷卻塔之 離器。 與冷部塔之底部相連的氣液分 種用於有害物質之燃燒破壞之方法，其包括：將含有 種有。物質的-氣流注入一燃燒區，該燃燒區由 具有-開口端的-内部點燃多孔燃燒器之出口表面所環 繞；將燃料氣與氧化劑提供至該多孔燃燒器以實行在該 出口表面處的燃燒；以及透過該多孔燃燒器之該開口端 將一燃燒產物從該燃燒區排放；其特徵在於：該多孔燃 燒益之該開口端係由一第二燃燒器予以加熱。 24.如明求項23之方法，其中該多孔燃燒器之該開口端係藉 由由該内部點燃多孔燃燒器所環繞的一外部點燃多孔燃 燒器而被加熱，燃料氣與氧化劑係被提供至該外部點燃 129932.doc 200909744 夕孔燃燒器以實行在一出口表面處的燃燒。 25, 一種用於有害物質之燃燒破壞之方法，其包括：將含有 至少—有害物質之一氣流注入一環形燃燒區，該環形燃 燒區係由一内部點燃多孔燃燒器之出口表面所環繞並環 繞一外部點燃多孔燃燒器之出口表面；以及將燃料氣與 氧化劑提供至該等多孔燃燒器以實行在該等出口表面處 的燃燒。 26·如請求項24或25之方法，其中將相同的燃料氣與氧化劑 之混合物提供至該等多孔燃燒器兩者。 27_如請求項24或25之方法’其中將不同的燃料氣與氧化劑 之混合物提供至該等多孔燃燒器。 28.如請求項23或25之方法，其中在注入到該燃燒區内之 前，將燃料氣與氧化劑之一者提供至該氣流中。 29·如請求項23或25之方法，其中該氣流透過該燃燒區的— 個開放底端排放至一具有一保持一水流的内表面的炫。

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