TW200900696A - Streptavidin surface-acoustic-wave immunosensor apparatus - Google Patents

Streptavidin surface-acoustic-wave immunosensor apparatus Download PDF

Info

Publication number
TW200900696A
TW200900696A TW096122833A TW96122833A TW200900696A TW 200900696 A TW200900696 A TW 200900696A TW 096122833 A TW096122833 A TW 096122833A TW 96122833 A TW96122833 A TW 96122833A TW 200900696 A TW200900696 A TW 200900696A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
signal
anhydrous
sensing
input
powder
Prior art date
Application number
TW096122833A
Other languages
English (en)
Inventor
Hsin-Chun Lu
Chung-Yi Wang
Chia-Yen Li
Chung-Wei Chang
Meng-Kai Huang
Hao-Yu Ting
Hsin-Chieh Yang
Yi-Ju Hsiao
Original Assignee
Univ Chang Gung
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Univ Chang Gung filed Critical Univ Chang Gung
Priority to TW096122833A priority Critical patent/TW200900696A/zh
Priority to US12/213,813 priority patent/US20090011521A1/en
Publication of TW200900696A publication Critical patent/TW200900696A/zh

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/48Biological material, e.g. blood, urine; Haemocytometers
    • G01N33/50Chemical analysis of biological material, e.g. blood, urine; Testing involving biospecific ligand binding methods; Immunological testing
    • G01N33/53Immunoassay; Biospecific binding assay; Materials therefor
    • G01N33/543Immunoassay; Biospecific binding assay; Materials therefor with an insoluble carrier for immobilising immunochemicals
    • G01N33/54366Apparatus specially adapted for solid-phase testing
    • G01N33/54373Apparatus specially adapted for solid-phase testing involving physiochemical end-point determination, e.g. wave-guides, FETS, gratings
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/48Biological material, e.g. blood, urine; Haemocytometers
    • G01N33/50Chemical analysis of biological material, e.g. blood, urine; Testing involving biospecific ligand binding methods; Immunological testing
    • G01N33/53Immunoassay; Biospecific binding assay; Materials therefor
    • G01N33/543Immunoassay; Biospecific binding assay; Materials therefor with an insoluble carrier for immobilising immunochemicals
    • G01N33/54366Apparatus specially adapted for solid-phase testing
    • G01N33/54373Apparatus specially adapted for solid-phase testing involving physiochemical end-point determination, e.g. wave-guides, FETS, gratings
    • G01N33/5438Electrodes
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/42Piezoelectric device making

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Hematology (AREA)
  • Urology & Nephrology (AREA)
  • Biotechnology (AREA)
  • Microbiology (AREA)
  • Cell Biology (AREA)
  • Food Science & Technology (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)

Description

200900696 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明為一種免疫感測器,特別是一種利用壓電表面聲波感 測70件進行檢測的免疫感測器。 【先前技術】 自二十世紀以來,生物感測器(Bi〇sens〇r)已廣泛應用在化 學、生化及醫學領域,藉其高特異性、高靈敏度、即時反應的能 力,在生物科技的領域中受到極大的重視,生物感測器更結合了 生物敏感性與微電子及電子材料等跨領域技術。 基本上’生物感測器結合了生物分子(Biological Materials) ’例如生物體組織、微生物、胞器、細胞受體、酵素、 抗體、與核酸等如生物的衍生物(Bi〇1〇gically Dedved Material)或生物模仿物(Bi〇mimic Intimately)等,藉由高感 度的化學或物理換能器(Transc[ucers),以光學、電化學、熱能、 ,電,,能等進行峨轉換,處理並放大峨能器轉化*來的訊 號與訊號輸出’將接受到的訊號經處理後,贿帛者肖於瞭解的 文字、圖形呈現所組成的分析裝置(Analytical Devices);; ,策夕的生物感測器中,其中以免疫感測器較一般的感測器 具更咼的靈敏性與特異性反應,而受到更大的矚目。 而壓電晶體更在近年來作為免疫感測!!__。最早 晶體的應用是作為微質量天平(Quartz Grystal心灿他職 QCM)。而早期的壓電晶财測器,僅用在測定空氣汙染物質測定 而使用在電極表Φ且具有躺功㈣包紐料,大乡為非生物性 物質(Abiotics)。而Guilbault〇983)首先發表使用甲醛去氫酵 (Formaldehyde Dehydrogenase)固定在晶體電極上,作為、、丨 氣中的甲醛成份裝置,引發了生化界的重視。 ‘、、“二 ,傳統的壓電型石英晶體,其結構如同三明治般地,其石 通常被兩片金屬電極(例如金、銀、鋁及鎳等金屬)夾在中^。 5 200900696 而電,用可沿晶片表面的垂直方向,進行導 (Oscillating Electric Field) 〇 二=#產生類似立波(Standing Wave)的機械振盪行為二石i 機械性振蘯得以—定額的頻率表現ί來:藉著 的振盛電路’藉以量測鎌頻率(Re_nt Freq_y)。 ίϋϋ =23電子兩種振駐聯所產生的諧振頻ί決 f,如厚度、密度,剪力係數,也包括盘 g彦液體接觸時晶體表碰度、黏度及晶片兩面間之壓力差^ 如前述之傳統免疫感測器於感測進行時,所受之影響因子甚 夕,造成所感測之準確度較低,而所產生之感測結果亦有較高誤 差,、需要較佳之免疫感測器,特別是在將新式壓電元件應 、 疫感測器領域’藉以提高感測靈敏度。 、經查詢中華民國相關專利,如公告編號00557139 (瑞典), 並不包括免疫感測器之技術領域。而有關「免疫感測写I哀南丨々 公告號包括00476640 (美國寶鹼)與00421587 ('美國°寶鹼^,僅 有相關生物免疫感測器之基本技術與内容。 又經查詢美國專利,有關「Biosensor」專利,「lmmunosensor」 專利以及「Streptavidin Immunosenso」等相關專利。目前最早 關於「Immunosensor」與「Streptavidin」的專利是1992年的美 國專利編號US5,156, 972號專利,但僅有基本免疫感測器之原始 基本設計;編號US5, 413, 939號專利為免疫感測器組合,其中一 部分零件以锆鈦酸鉛(PZT)製成部分儀器,不具聲波作用,編號 US6, 333, 200號專利為表面感應區中,能夠最小化排列的免疫感測 器;而編號US6, 670,115號專利為免疫感測器的電極感應改良。 【發明内容】 本發明之基本實施例,乃在壓電晶體電極面上固定上一層生 物分子辨認薄膜,偵測相對應的化合物;如抗體-抗原,酵素-基 200900696 fm體等。由於本發明之壓電晶體偵測靈敏度可達 ^適用於一般生物分子階層的感測。 錯(pbf〇m=製備錐欽酸錯(ρζτ)前驅溶液。通常將醋酸 加入夢、鈦及^f)結晶顆粒磨成粉末,完成醋酸錯的除水,·, 粉末再以’讀—郝法製備做酸締末,並進行_錯鈦酸錯 洗,===成適當大小’利用清水與_清 理;_峨行熱處 電金製屬;聲可學首反士
Materipi ΓΤΑη a ^ 予汉應材枓(Chemical Interaction
Matenj,CIM)層,再於金電極表面接 ί ttim ^ ^,s;reptavidi;)* ® ^,i進㈣轉,除亦《工業域程方式 包括經;2ί;ΐ:表面聲波感測元件結構 號;計頻器,可接收由輸出轉與^入轉換器所輸入信 結鈦酸错層的感測器基板,係利虎;具有壓電性質之 而利用Sauerbre^^^^質進行聲波原理感測。 疫感測裝置的量測方式: 、行鏈霉菌卵白素表面聲波免 200900696 首先,連接感測器與探針。次而,掇 產生訊號。於輸入轉換器輸入操作頻率。再 ,虎。Μ之步驟’經計頻器將訊號轉換顯示輪 造成之聲祕,化,以了解❹指之綠度與里知失所 本發明可使用於免疫感測器,生物感測器,生醫感測器,生 物醫藥免疫感測器與生物環境感測器等醫療方面之用^。 本發明符合了免疫感測器的基本要求,包括了:高專一性 (Specificity)、高線性度(Linearity)、高訊號雜訊比(s/N ratio)、短反應時間(Response time)、高重現性(Repr〇(iucible) 等要求,相當符合產業需求。 200900696 【實施方式】 取半,製餘鈦酸㈣電膜,並採 感測元件 區,以檢P ldln)修飾元件感測 本並朗於其抗體之檢測。 ⑽首)===(= 磨成粉末,進行12小時的加溫除水,以 ^ 、、、os日顆粒 3 ’將三曰種溶液各別置於(TC冰塊中;#置i小時混合‘】 ς液j传到澄雜鈦酸錯溶液;利用減壓漠縮, ^以传_當濃度的無水前驅溶液;最後靜置—天以利進行^ 再如第第1圖中之標示1〇2所示,以、玄膜—、《^棚、+*, 锆鈦酸鉛粉末。即去除前驅溶液中’二到無水 到的粉末進行磨碎以及過筛,;獲道’再將所得 膠-凝膠法,即是將反應物等前“質,有:u溶 行水綱1合反應而成轉,經蒸魏轉變凝中進 :醇=彳二可 而球磨時間為15小時。為得觀小妹徑 磨, 的不同含量微粉,加入錯鈦酸錯液以及錯球(' 200_,球磨_ 15小時條件下,加在,速為 _崎⑽、嘱,即可得到分散均: 200900696 如第1圖中之標示104所示,進行 在鍍有電極之破晶片基板切成適當大小,^用板。本發明 分別除去石夕晶片基板上的微粒油潰^水與丙酮清洗’ 高溫爐以溫度達20(rc及時間5分鐘的條件y^吹$ ’放入 上的水氣,得到乾淨矽晶片基板。 ’、 去除矽晶片基板 如第1圖中之標示105所示,採取 在石夕晶片基板上製備無水絲_薄膜。(Splnc她ng)法, 程::第一階段為不=5=劑= 及細中之有機殘餘物,被熱分解與氧 土二 開始緻密化,並產生結晶(鍅鈦酸膜 所以燒結溫度需高於此溫度。 霉於435 c開始形成)’ 如第1圖中之標示1〇7所示’製作聲波感測元 ίίΐΐΐ賴壓電薄膜上紐上—層金(即導電金屬)電3 反應材料(―Interaction Material, CIM)層乍 ”電極表面接上感測物質以進行感測,量測因表面擾動;造 ,之,化、頻率變化以及聲波能量損失所造成之 ^ 化’猎以了解此感測器之靈敏度與可行性。 負交 圖中之標* 108戶斤示,進行聲波感測元件表面之鍵霉 =卵,素(Streptavidin)表面修飾與固定,目的係將檢測抗原固 疋在聲波感測元件,即無水鍅鈦酸鉛壓電薄膜表面,可利用化風 鍵結法或是物理吸附法,將生物體與壓電換能器結合,且: 生物探針性質。 有 ’在可具體運作之本實施例中,無水錯鈦酸鉛壓電薄膜的厚声 達到8#m,而金屬線寬僅達到2/ζιη。 ' 又 經上述過程後,所製成之感測器如第2圖之上視圖所示,本 200900696 白素表面聲 碱產生k,可以提供 仵j冓圖。如標號201所示為 可處理輪入信號;魏2〇2所示為輸入轉換器, =(lp_e),馳為探針 白素膜’可作為生物 可處理生物探針所送來 虎204所示為輪出轉換 所示為計頻器,可接入信號;標號m 為細紐,㈣06所示 行聲波原理感測。 、θ、感'、彳器基板,係利用壓電性質進 構圖第如3標=為發=菌= 為金屬電極,通常以全作為並f f 302為錯鈦酸鉛膜,·標號303 理,應用於實施例*,本=根據Sauerbrey方程式之原 振,量間,會量與晶體 At= '2.3 X l〇-6AMF2/A 其中F :晶體的原始震盡頻率(Hz) y ·· aBg體因物質披覆所產生的頻率變化(Hz) 晶體表輯披覆物質的質量(g) A,:晶體表面被物質所披覆的面積(cm2) 1先’如步驟40卜連接感測器基板206與探針203。 號。纟而,如步驟402’探針203接收由訊號產生器2〇1所產生訊 f,如步驟403,於輪入轉換器2〇2輸入操作頻率。 $而’如步驟404 ’輪出轉換器204輸出衰減訊號。 結果最後’如步驟4〇5所示’經計頻器205將訊號轉換顯示感硎 接著如第5圖,進行中心頻率的量測。電極所激發出之頻率 200900696 在向量網路分析儀上量測其頻率響應,應 面粗操度等問題,娜波在傳遞過程的 ^生㈣嫉’因此獲得應有的響應峰 j 592.29MHz,插人_失最低為18 2_。,、h料最间為 故經實驗檢測,本發明之懕雷曰辨 高,更可i隶ιη_12σ減體偵_靈敏度可大幅度提 經實眚Λ 一般生物分子階層的感測。且 的ΐ二ίίΪ=Γ輸入的共振頻率為6_ζ時,輸出 ,ί ΐ Ζ,故而共振頻率的輸出損失極低。 而本發明藉由表面聲波感測原理,使: 件作為表面聲波細元件,縣=鈦㈣壓電兀 探針,而成為下—代的新式==_白素作為生物感測的 以上所述僅林㈣之較佳實糊而已 日狀申請專利範圍;凡其它未脫離本發明所揭 之等效改魏修飾,均應包含在下述之巾請專概下所兀成 【圖式簡單說明】 ,1圖所示為本發明之實施方式流程圖 第2圖所示為本發明之元件結構圖 ^ 3圖所示為本發明之元件剖面結構圖 第4圖所示為本發明之感測方式 第5圖所料本料彻魄分觸之量測結果 【主要元件符號說明】 201訊號產生器 202輸入轉換器 203键霉菌印白素膜 204輸出轉換器 200900696 205計頻器 206具有锆鈦酸鉛層的感測器基板 301矽基板 302锆鈦酸鉛膜 303金屬電極 304鏈霉菌卵白素膜 305轉換器 13

Claims (1)

  1. 200900696 十、申請專利範圍: 1· 一種製造鏈霉菌卵白素表面聲波免疫感測裝置的方法,至少 包含: 製備一無水錯鈦酸船(ρζτ)前驅溶液並成為一無水錯鈦酸 錯粉末,並球磨該無水錄鈦酸鉛粉末; 以該無水锆鈦酸鉛粉末在一矽晶片基板上製備一無水鍅鈦 酸錯膜並進行第一次與第二次熱處理該無水鍅鈦酸鉛膜與該石夕晶 片基板; 製作一聲波感測元件裝置於該無水鍅鈦酸錯膜上;以及 飾與固定一鏈霉菌卵白素表面於該聲波感測感測元件裝 置上,藉以形成鏈霉菌卵白素表面聲波免疫感測裳置。 2_ ^申請專利範圍第1項所述,其中製備該無水锆鈦酸鉛前驅 溶液成為該無水鍅鈦酸鉛粉末,係以溶膠一凝膠法製備。 3. 請專利範圍第1項所述,其中球磨該無水錯鈦酸錯粉末 係為濕式球磨法。 4·= 青專,第!項所述,其中製備該鍅鈦酸錯 鍍(Spin Coating)法製成。 5. 第1項所述’其中該第-次熱處理溫度約於 6. 4如35申(f專利範圍第1項所述’其中該第二次熱處理溫度大於 7. 8. 如申明專利範圍第1項所述’其中 之;她_表面修飾與固定係件表面 如申請專利範圍第1項所述,其中進法。 製備一無水錯鈦_cKPZT)前驅溶液; 14 9. 200900696 溶液成為-無繼一 清潔一石夕晶片基板; 酸錯^該無秘鈦祕粉末在該衫片基板上製備—無水餘鈦 ί :ΐίί理該無水#鈦_膜與該發晶片基板; 製作-聲波感測元件裝置於該財 u 係為^=^9項_ ’該無水錯欽酸錯粉末 其中製備該一係以旋 常第9項所述’其中該第一次熱處理溫度約於 專繼圍第9項所述,其情第二次熱處理溫度大於 15.如申請專利範圍第9項所述,1 ㈣素表面修飾_定=元件表面 二白素;面聲波免疫感測包含. 訊旎產生器,以提供一外部訊號; 夕匕3 · 一輸入轉換器,處理輸入信號; 一鏈霉菌㈣素膜,作為生物探針; -輸出轉換器,處理生物探針所送—信號與輪入轉換器之一 200900696 輸入信號成為一輪出信號; -计頻器’接收由該如 -具有壓電性質之锆鈦酸鉛層的以及 質進行聲波棘_,姻壓電性 卵白素免疫感測器的裝置。&电名波几件製造鏈霉菌 18. 一種鍵每函自Ρ白素表面獻、士洛成#、 包含: i表面聲波免疫感测裝置的量测方式,至少 連接一感測器與一探針; 接收由一訊號產生琴戶斤吝4 . 收 所產生—频理訊號,係藉該探針接 輸入操作鮮’係藉—輪人轉換器輸入; 輸出-訊號’係藉由一輸出轉換器輪出;以及 轉員示一感測結果’係藉一計 免疫感測裝置的量測方式,至少包含: 、表面聲波 連接一感測器與一探針; 收 接收由-訊號產生器所產生—待處理訊號,係藉該探針接 輸入操作頻率,係藉一輸入轉換器輸入; 輸出一訊號,係藉由一輪出轉換器輪出;以及 機該訊號以顯示-感測結果,係藉—計頻器轉換 16
TW096122833A 2007-06-25 2007-06-25 Streptavidin surface-acoustic-wave immunosensor apparatus TW200900696A (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW096122833A TW200900696A (en) 2007-06-25 2007-06-25 Streptavidin surface-acoustic-wave immunosensor apparatus
US12/213,813 US20090011521A1 (en) 2007-06-25 2008-06-25 Streptavidin surface acoustic wave immunosensor apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW096122833A TW200900696A (en) 2007-06-25 2007-06-25 Streptavidin surface-acoustic-wave immunosensor apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TW200900696A true TW200900696A (en) 2009-01-01

Family

ID=40221773

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW096122833A TW200900696A (en) 2007-06-25 2007-06-25 Streptavidin surface-acoustic-wave immunosensor apparatus

Country Status (2)

Country Link
US (1) US20090011521A1 (zh)
TW (1) TW200900696A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI825603B (zh) * 2021-06-15 2023-12-11 嘉碩生醫電子股份有限公司 用於在生物液體中估計不同分子的含量的感測系統及方法

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB0809237D0 (en) * 2008-05-21 2008-06-25 Vivacta Ltd A sensor
US20180003677A1 (en) * 2016-06-30 2018-01-04 Intel Corporation Piezoelectric package-integrated chemical species-sensitive resonant devices
CN114113313B (zh) * 2021-10-27 2024-03-22 山东师范大学 用于检测大肠杆菌的悬臂梁式声表面波传感器及工作方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4735906A (en) * 1984-11-28 1988-04-05 Texas A&M University Sensor having piezoelectric crystal for microgravimetric immunoassays
US5306644A (en) * 1988-09-29 1994-04-26 Hewlett-Packard Company Mass sensor method for measuring analytes in a sample
US5648274A (en) * 1991-05-29 1997-07-15 Smithkline Diagnostics, Inc. Competitive immunoassay device
US7078548B2 (en) * 2002-03-06 2006-07-18 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Hyperbranched chemoselective silicon-based polymers for chemical sensor applications
US20040209294A1 (en) * 2002-09-02 2004-10-21 National Food Research Institute Method to produce a receptor chip using biotinylated protein
WO2005001424A2 (en) * 2003-06-05 2005-01-06 Bionttech, Inc. Systems and methods for molecular recognition
US7451649B2 (en) * 2005-03-25 2008-11-18 P.J. Edmonson Ltd. Differentiation and identification of analogous chemical or biological substances with biosensors
US8143681B2 (en) * 2006-04-20 2012-03-27 The George Washington University Saw devices, processes for making them, and methods of use

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI825603B (zh) * 2021-06-15 2023-12-11 嘉碩生醫電子股份有限公司 用於在生物液體中估計不同分子的含量的感測系統及方法
TWI838305B (zh) * 2021-06-15 2024-04-01 嘉碩生醫電子股份有限公司 用於在生物液體中估計不同分子的含量的感測系統及方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20090011521A1 (en) 2009-01-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Narita et al. A review of piezoelectric and magnetostrictive biosensor materials for detection of COVID‐19 and other viruses
Su et al. Detection of cancer biomarkers by piezoelectric biosensor using PZT ceramic resonator as the transducer
Huang et al. Development of a FPW allergy biosensor for human IgE detection by MEMS and cystamine-based SAM technologies
US7500379B2 (en) Acoustic wave array chemical and biological sensor
CN1119628C (zh) 质量传感器和质量检测方法
Chen et al. Biosensor for human IgE detection using shear-mode FBAR devices
JP4933956B2 (ja) 弾性表面波センサ及び弾性表面波センサを備えた生体分子測定装置。
US20160313316A1 (en) Surface acoustic wave sensor for influenza detection
WO2019192125A1 (zh) 一种基于声表面波模式的生物传感器及其检测方法
Mastromatteo et al. High sensitivity acoustic wave AlN/Si mass detectors arrays for artificial olfactory and biosensing applications: A review
CN100547396C (zh) 一种应用于生物微质量检测的硅基压电薄膜传感器及制作方法
TW200900696A (en) Streptavidin surface-acoustic-wave immunosensor apparatus
Wang et al. A high-throughput cantilever array sensor for multiple liver cancer biomarkers detection
Choi et al. Increase in detection sensitivity of surface acoustic wave biosensor using triple transit echo wave
US20130045474A1 (en) Devices and methods for detecting and monitoring hiv and other infections and diseases
WO2004111626A1 (en) A mass amplified piezoelectric biochip
CN102520062A (zh) 基于声消逝场耦合的回音壁式传感器
Tukkiniemi et al. Fully integrated FBAR sensor matrix for mass detection
Pang et al. Selective detection of CO 2 and H 2 O dual analytes through decoupling surface density and shear modulus based on single SAW resonator
Wang et al. Highly sensitive biosensor based on a microcantilever and alternating current electrothermal technology
Jupe et al. Development of a piezoelectric flexural plate-wave (FPW) biomems-sensor for rapid point-of-care diagnostics
Ogi Ultrasensitive wireless quartz crystal microbalance bio/gas sensors
Kalisz et al. Influence of biofunctionalization process on properties of silicon oxynitride substrate layer
CN104406881B (zh) 一种基于微纳结构的压电声波生物传感器
Wang et al. Biosensors based on flexural mode piezo-diaphragm