TW200842339A - Mura detection method and system - Google Patents

Description

200842339 t 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 -本發明係為-種運用自動化影像(based Qn machine - visi〇n)檢測顯示器之斑痕缺陷的方法與系統，係透過先進 的圖像處理及辨識之技術’可執行顯示器斑痕缺陷的快速 檢測。 【先前技術】 顯示器的生產製程非常複雜，儘管大部分的製程均於無 塵至内完成’但仍難以避免出現-些視覺缺陷。液晶顯示器 為顯不的一種，亦不例外。 對於液晶顯示器而言，視覺缺陷的種類繁多，一般可依 據缺陷的面積與形狀分為三類，包括點缺陷、線缺陷及面缺 陷。面缺陷又可分為區塊缺陷和斑痕（英語中稱為mura， 該同來源於日語，表示髒污、斑痕之意，為最常見的一種面 • 缺陷）缺陷兩種。點缺陷、線缺陷和區塊缺陷主要係由於液 晶顯示器中的薄膜電晶體（TFT)陣列短路、斷路或晶體損 壞等電性原因所引起：斑痕缺陷一般係由於液晶分子材料的 分佈不均勻或背光板扭曲等非電性原因造成的。 液晶顯不器的所有視覺缺陷中，點缺陷、線缺陷及區塊 缺具有較面的對比度和規則的幾何形狀，因此相對較易檢 測。斑痕缺陷則因其對比度較低、面積大小不定、形狀不規 則、it緣模糊且位置亦不固定，因此是所有視覺缺陷中最難 6 200842339 檢測的一種。 此外，整體的液晶顯示器產業迄今對於斑痕缺陷，尚 " 無統一的定義及一致的檢測標準，這些都造成斑痕缺陷實 • 行自動化檢測的困難。所以，到目前為止，斑痕缺陷的檢 測工作仍由熟練的技術工人以肉眼完成。 【發明内容】 • 本發明之一目的係提供一種運用自動化影像檢測顯示 器之斑痕缺陷的方法與系統，透過先進的圖像處理與辨識之 技術，直接對顯示器之斑痕缺陷進行快遠的檢測。 本發明為一種運用自動化影像檢測顯示器之斑痕缺陷 的方法，該方法之步驟包括：產生一待測顯示器圖像；產生 近似通過參考點且能代表該些參考點之基本趨勢的一多 • 項式曲面背景模型；以及將待測顯示器圖像減去該多項式曲 面背景模型，將一辨識度誤差值超過一設定門檻值的圖像區 域作為斑痕缺陷的可能目標(candidate)，加以分離出來。 上述一種運用自動化影像檢測顯示器之斑痕缺陷的方 % | 、，可進一步包括一數學形態學(Mathematical morphology) 的處理步驟及一濾除圖像雜訊之步驟；其中數學形態學的處 理步騍為膨脹(dilation)運算或侵蝕(erosi〇n)運算或為二 項運算之組合。 200842339 在較佳實施例中，產生待測顯示器之圖像的步驟為：獲 取複數幅爾咖示器之圖像，進而產生複數幅待測顯示器 之圖像的平均值；其帽取複數幅待測顯示器之圖像的頻率 為大於10幅/秒，而其獲取之數量為50至7〇幅。 此外，待測顯示器之圖像可為待測顯示器之侧視圖像； 其侧視角度在30至60度之間為宜。在較佳實施例中，可採 用一雙線性敏法對上述之舰圖像進行幾何校正。

在較佳實施例中，產生近似通過參考點且能代表該些參 考點基本趨勢的多項式曲面f景模型之步驟包括：假設一圖 像t的每-像素之細值均為該像素二維_的函數，而所 有像素之灰階值與其二維座標構成了分佈於矩形格點上之 I間參考點的集合；以及採用一二元多項式對這些空間參考 點進行曲面擬合（surface fitting),求得近似通過參考 點且能代表檢測參考值基本趨勢的多項式曲面背景模型。 本發明一種運用自動化影像檢測顯示器之斑痕缺陷的 方法’更包括一斑痕缺陷之辨識模式步驟，該步驟包括：產 生複數個輸入變量；進行一模糊運算;以及輸出一輪出變量。 在較佳實施例中，輸入變量包括對比度、面積、邊緣參 數、位置參數、灰階均勻性和形狀參數；輸出變量則為斑痕 缺陷的等級。上述模糊運算係將前述輸入變量及輸出變量劃 分成一定數目的模糊子集，並為每一模糊子集建立一相應的 8 200842339 函數；該相應的函數可為三角函數或梯形函數。在較佳實施 ^ 财上述斑痕缺㉟的辨識模式步驟更包括設定輸入變量與 _ 輪出變量之步驟。 ^ 本發明的另-目的在於提供—種運用自動化影像檢測 顯示器之斑痕缺陷的系統。該檢測系統包括：-圖像產生裝 置，用於產生複數幅待測顯示器之圖像；一滤波裝置，用於 • 遽除前述之__訊；-曲面擬合裝置，用以產生一近似 通過參考點且能代表該些參考點基本趨勢的一多項式曲面 背景模型；以及—分轉置，肋將上述峨波去除雜訊的 圖像減去多項式曲面背景模型，並將一辨識度誤差值超過一 設定門檻值的圖像區域作為斑痕缺陷的可能目標分離出來。 在較佳實施例中，上述濾波裝置係位於圖像產生裝置盘 曲面擬合裝置之間；且於該分離裝置之後更包括一數學形態 子（Mathematical morphology)處理裝置。 在較佳實施例中，上述檢測系統更包括一判斷裝置，用 以將可能目標區域之對比度、面積、邊緣參數、位置參數、 灰階均勻性㈣狀參數之—歧合作為系_輸人變量；斑 痕缺陷的等級作為系統的輸出變量，將前述之輸入變量及輸 出變量劃分成-定數目的模糊子集並為每一模糊子集建立 一相應的函數。 在較佳實施例中，上述檢測系統更包括··一载物台用於 200842339 承f示11三軸定位平"於定位_產生裝置；以及 生裝置設置於 一遮光罩’將載物台、三轴定位平台及圖像產 遮光罩内。 本發明紐供-種基於多項_面擬合技術之斑痕圖 像分割方法，其步驟包括：假設―圖像中每__像素之灰階值 均為該像素二維座標的函數，而所有像麵灰階值與其二維

座標構成了分佈於矩形格點上的空間參考點的集合；以及採 用-二元多項式壯述之空間參考點進行曲面擬合，求得一 近似通過參考點且能代表該些參相基本趨勢的一多項式 曲面。 【實施方式】 本發明係-種自動化影像檢測顯示器之斑痕缺陷 的方法與純’ _絲_像處理和觸猶，直接對顯 不器之斑痕缺陷進行快速的檢測。 兹配合圖式將本發明之較佳實施例加以詳細說明如 下。第一圖為本發明一種運用自動化影像檢測顯示器之斑痕 缺陷的方法與系統之整體結構示意圖。該·自動化影像檢 測顯示器之斑痕缺陷的檢測系统包括：一三軸精密定位平台 卜一電荷麵合元件(charge coupled device，CCD)攝影機 2、一液晶顯示器驅動模組3、一載物台[一圖像採集卡5及 一電腦6。載物台4係固定連結於三軸精密定位平台1上，並 200842339 透過電纜線連接到專用的液晶顯示器驅動模組3的介面上。 待測之液晶顯示器7置放在可於垂直方向進行丨8〇度旋轉之 載物台4上。 CCD攝影機2可作為待測之液晶顯示器7之圖像採集設 備，並固定於三軸精密定位平台丨上，使其可以根據待測液 晶顯示器7的型號在電腦6的控制下移動到一相對應的位置 進行圖像採集。 在較佳實施例中，圖像採集卡5是標準類比或數位圖像 採集卡，例如USB介面之數位攝影機或是視訊卡。電腦6是一 具有標準計算功能的主控設備，其包含例如機殼本體、cpu、 主機板、硬碟及顯示器等裝置。CCD攝影機2連接到圖像採集 卡5的輸入端。在較佳實施例中，電腦6安裝有一執行自動檢 測任務的系統軟體，其可控制液晶顯示器驅動模組3及點亮 待測液晶顯示器7，並使待測液晶顯示器7顯示初始畫面。 檢測斑痕缺陷時，承載待測液晶顯示器7的載物台4可在 電腦6的㈣下_-定的歧，使⑧攝影機2的光轴與待 測液晶顯示之平面細度的錢。此時，GGD攝影機 2可以自待測液晶顯示器7的侧面獲得側視圖像，利用重複採 樣的方式採麟測液晶顯示||7之整體圖像訊息。 由於待測液晶顯示器7係由液晶顯示器驅動模組3所驅 動’因此其自身可以發光，I需任舰明設備。為防止外界 光線的干擾，三_蚊辦#卜α瞬賴2、载物台4 200842339 * 以及待測液晶顯示器7等均被放置於一個遮光罩8中。電腦^ 可控制液晶顯示器驅動模組3,使待測液晶顯示器7顯示之書 ’ 面為一灰階畫面。 第一圖為本發明一種運用自動化影像檢測顯示器之斑 痕缺陷的方法與系統之流程圖，透過上述系統可產生一待測 液晶顯示器上之像素點的電壓信號，執行一圖像採集步驟 801 ;在該步驟中，由於斑痕缺陷的對比度很低，為減小該 • 麟雜訊之影響、提升·像之品質，因此於®像採集步驟 801中採用對一幅待測晝面重複採#之方法。採樣的頻率一 般應大於10幅/秒，而重複採樣的次數一般為5〇次至7〇次。 完成採集圖像步驟801後，繼而進行一圖像渡波步驟 802 ;若發生於圖像上的雜訊如)不具相關性，則具有均值 為零之隨機雜訊，可以利用數幅於相同條件下i生之隨機圖 像之平均值表示原圖像。假設原圖像為加），發生之雜訊@ • 為㈣’則具有雜訊之圖像為咖)=細♦)，此時，°可 «=ι 來估計原圖像/(^)，其中从為圖像之數量。 顯然，此種估計值應不具偏差，因為 顺X，少)}=古|/('少)V('少）。 完成圖像滤波步驟802後，還需將待測液晶顯示器之部 分從圖像中分離，並且採關如雙插錄對糊像柄 12 200842339 幾何校正，從而將該圖像中由於CCD視角的原因而變為梯形 的待測液晶顯示器恢復為標準的矩形。 根據上述之雙線性插值法，校正圖像中像素點（〇取 传又P自值/(z，y’)可以由其周圍四個像素的灰階值計算出來。

經濾波之圖像於進行斑痕缺陷檢測時，由於液晶顯示器 本身的特點與CCD視角的關係，待測液晶顯示器的灰階於整 個顯示器的範圍内變化非常大，遠遠超過了斑痕缺陷本身的 灰I5白I化。因此，對於斑痕缺陷的檢測來說，斑痕圖像的分 離是最為重要同時也是最為困難的一個環節。運用傳統的圖 像分離方法，例如邊緣檢測等技術，根本難以完成斑痕圖像 的分離任務。因此，本發明提出了一種利用多項式曲面擬合 的斑痕圖像之分離方法。 參閱第二圖之步驟803，於該步驟中，首先假設一圖像 中每一像素之灰階值/(X，力均為該像素二維座標以，力的 函數，而所有像素之灰階值與其二維座標構成了分布於矩形 格點上的空間參考點的集合。接下來採用二元多項式對上述 之空間參考點進行曲面擬合，即求得一近似通過參考點且能 代表該些參考點趨勢的該多項式曲面··設已知矩形區域内 _個矩形格點（χμΧ^ο,ι，···，”，^，以)上的函數值 〜，假設待求的多項式為 13 200842339 /(^^) = ΣΣα^ν /=〇/·.〇 其中％(! = 0，1，"，/>-1)〇〇，1，，[1)是一待定參數，它使〜， /(x，j〇在矩形格點上的值的差之平方和於最小的二乘方下 達到最小，即 "ΣΣα(；χΙ/)2 = min

^=1/=1 /=〇 j=zQ 由上式所決定的待定參數〜，其對應的曲面稱為最小二乘 方多項式曲面。利用多元函數的極值理論，在上式中令 δΐ Λ/ 便付到關於{%}的pxg階的代數方程式： « ^ ρΛ ^-1 解這個pxg階的代數方程式，就可以得到％。 由於斑痕缺陷的面積很小，並不會改變圖像的基本變化 趨勢’因此可將多項式曲面視為—不含斑痕缺陷的背景模 型。相對於背景模型，制液a示^之圖像中没有缺陷的 區域辨識度之誤差值

p-1 qA ζ^ΣΣ^ν /=0 y's〇 很小’而斑痕缺陷所在的區域與背景模型的辨識度之誤差值 Ρ-ί Η ζ^ΣΣ^ν i=0 j=〇 則很大。 200842339 如第二圖之步驟804，利用該背景模型 +哭夕同將待/則液晶顯 二圖料魏背雜餅可將_度誤差值超過 设定的Η襤值之圖像區域作為斑痕缺_可能目標 模型中分離出來。

第三Α圖為一 CCD聽之原始圖像經過上述之多圖像平 均法及圖像校正處理步驟後的結果，圖中有五處斑痕缺陷。 紅B圖係為對第三網進行該多項式曲面擬合方法所獲得 之不含斑痕缺陷的背景模型。第三c圖係為第三a圖減去第三 B圖所示之背景模型後所獲得的處理結果。 經由上述之圖像處理後，利用數學形態學 (Mathematical morphology)的運算處理步驟進行圖像形狀 和架構的分析及處理。利用膨脹(dUati〇n)運算及侵蝕 (_ion)運算及二者的組合可執行上述之圖像形狀和架構 的分析及處理。 設集合a為輸入圖像，集合5為結構元素，若集合 z被集合β侵敍(erosi〇n)，就表示為： ΑΘΒ = {χ：Β^χςζ A} 祕之作用係域、賴像巾的—些獨立_訊點和毛 刺（burr)〇 膨脹(dilation)運算為侵钱(er〇si〇n)運算的逆運算， 可以透過餘集的觀念來定義。 J被集合s膨脹表示為，其定義為： 15 200842339 j ㊉ β = [^4cq(—B)]c 其中，#表示J的餘集於 膨服係為填充圖像中比架構元素小的孔洞和圖像邊緣 處的小凹陷部分。 第三D圖為對第三C圖進行數學形態學處理後之結果。 、如第二圖之步驟805，係將目標區域的對比度、面積、 邊=參數、位置參數、灰階均句性與形狀參數等六個參數之 或、逍合作為斑痕缺陷等級評價的依據。 其中’對比度參數之定義為：

Const ： 式中和邱，Λ分别為可能目標區域及背景模型於 ψ 1 4 L Μ處之灰階值；U為目標區域内所有像素點的集 合，#為目標區域内像素點的個數。 面積參數之定義為·· Z j

UyjhU 其中1 4目標區域内所有像素點的集合。 位置參數之定義為目標輯巾㈣與待職晶顯示。。 螢幕中心點的距離，gp 裔 L〇ca_ 二 其中 ' ^。分別為待測液晶顯示器之幾何中心點 座標與縱座辨· - $ - “、的横 、’軚，x和^ y刀别為可能目標區域幾何中心點的 16 200842339 横座標與縱座標，且有.

,ΝάυiJ Η!， (u)像素點的横座 式中6和&分别為可能目標區域中 標及縱座標。 邊緣參數咖職料娜狀義：

一/0+v) -/(/为、-_ 式中"為目標區域的所有邊界點的集合。 形狀參數之疋義為：如=maxRc}式中，及為目^ 區域的圓形度，描述了物體邊界的複雜程度，可以用目標^ 域的面積與周長的關係來表示。圓形度的數學表達式為· RS … 式中*5為目標區域的面積，p為目標區域的周長。 C為目標區域的矩形度，用目標區域之面積與其最小 的外接矩形面積之比來描述，即： C =—-c

^MER 其中，S為目標區域的面積，Smer為目標區域最小外 接矩形的面積。 灰階均勻性係以目標區域之灰階標準差加以描述·· 17 200842339 助伽_ …+ Σ(/(υ)-//)2 2 气中 、 L (，，⑽ ($/(J)為目標區域内所有像素點的灰階平均值。 - 於辨識模式步驟805中’本發明提出-種利用模糊集合 理論和^糊邏輯之斑痕缺陷的一模糊辨識方法。、 在以該模_識方法時，首先須定義出歸統之輸入 變1及輸峻里。根縣發明之較佳實施例，係將可能目標 • 區域之對時、吟邊緣參數、位置參數、灰階均勻性和 綠參數等6個參數之一或組合作為輸入變量；斑痕缺陷的 等級作為輸出變量；其中斑痕缺陷的等級-般劃分為不合格 (N級)、合格(P級)、良(V級)，實際應用可依工廠之實 際情況適當的加以調整。 、 接下來，根據專業技術人員的經驗將上述之輸入變量與 輸出變篁劃分成一定數目的模糊子集並為每一模糊子集建 • 立一相應的函數；為簡化運算、提升系統的營運速度，一般 均選取形狀較簡單之三角形和梯形的函數。 例如對於系統之六項輸入變量，將其作以下之劃分： 將對比度分成五級，即極低⑽、低(L)、中_、高⑻ 和極高⑽；面積分成小⑻、中（M)和大⑻三級；邊緣參 數分成低(L)、中⑻、高⑻；位置參數分成靠邊⑷、一 般(N)和居中(〇三級；灰階均勻性分成低⑴、中等⑻和高 ⑻三級；形狀參數分成不規則⑽和規則（R)兩級。系統之 18 200842339 t 輸出變量即_缺陷等級劃分為輕微咖ra缺陷⑺、一般 mura缺陷(N)和嚴重mura缺陷(V)三級。在較佳實施例中， * 輸人變量及輸出所對應之相應的函數均以三角函數和 ^ 梯形函數來表示，請參閱第四圖。 模糊if-then規則的制定是模糊辨識方法的核心問 題。根據本發a月之較佳實施例’模糊規則係根據專 家經驗制定。 φ 例如，一 if-then規則如下：

If (Const is H) and (Area is M) and (Edge is H) then (mura level is V) 採用模糊識別方法，系統可模仿人的辯識方式並充分利 用專家的經驗和知識，完成對液晶顯示器之斑痕缺陷進行自 動識別。 上述實施例雖以液晶顯示器為例進行說明，但並非限定 參 本發明於液晶顯示器之檢測，利用其它顯示技術之顯示器的 缺陷檢測亦可以應用本發明。 以上所述僅為本發明之較佳實施例，其並非用來限定本 發明之範圍。針對本發明所做的均等變化與修飾，皆為本發 明專利範圍所涵蓋。 200842339 【圖式簡單說明】 第-圖係為本發明一種運用自動化影像檢測顯示器 之斑痕缺陷的系統之整體架構示意圖 第二圖係、為-種運用自動化影像檢測顯示器之斑痕 缺陷的方法之流程圖 第二A圖係為CCD採集之原始圖像經過多圖像平均法及 圖像校正處理後之結果 第^圖係為對第二A圖進行多項式曲面擬合法後所產 生之不含斑痕缺陷的背景模型 第三C圖係為第三A圖減去第三請所示之背景模型所 得之處理結果 第三1)圖係為對第三(：圖進行數學形態學之處理結果 第四圖係為本發明提出的模糊辨識系統輸入變量及 輸出變量所對應之函數實例 【主要元件符號說明】 j 三軸精密定位平台 2 CCD攝影機 3 液晶顯示器驅動模組 a 載物台 20 200842339 5 圖像採集卡 6 電腦 7 待測之液晶顯不器 8 遮光罩 21

Claims (1)

1. 200842339 十、申請專利範圍： 1· 一種财自動储像檢義示器之轉缺_方法，該 方法包括下列步驟： 產生一待測顯示器之圖像，該待測顯示器之圖像包括複數 個像素； 產生近似通過參考點且能代表該些參考點的基本趨勢 之一多項式曲面背景模型；以及

   將該待測顯示器之圖像減去該多項式曲面背景模型，將一 辨識度誤差值超過-設定Η赌之圖像區域，作為斑痕 缺陷的可能目標，並分離出來。 2. 如”專利範圍第丨項所述之方法，其中更包括一數學 形態學(Mathematical morphology)之處理步驟。 3. 如申請專利範圍第2項所述之方法，其中該數學形態學 (M她efflatical morphology)之處理步驟為膨服(di邮⑹ 運算、侵姓(erosion)運算或膨脹與侵钱組合之運算。 4. 如申請專利顧第丨項所述之方法，其中更包括有_滤 除圖像的雜訊之步驟。 5·如申請專利範圍第丨項所述之方法，其中產生該待測顯 示器之圖像的步驟為獲取複數幅該待測顯示器之圖像。 6.如申請專利範圍第4項所述之方法，其中顧除圖像的 雜訊之步驟係產生-平均值’該平均值為該複數幅待測顯 示器之圖像的平均值。 22 200842339 7. 如申料纖圍第5項所述之方法，其巾獲取該複數幅 待測顯示器之圖像的頻率為大於1〇幅/秒。 8. 如申請專纖㈣5項所述之方法，其中該複數幅待測 顯示器之圖像的數量為50至70幅。 9. 如申請專利範圍第i至8項中任_項所述之方法，其中 該待測顯示器之圖像係為該待測顯示器之側視圖像。八

   H).如申請專概圍第9項所述之方法，其中雜測顯示器 之侧視圖像的角度為30至60度。 11.如申請專利細第9項所述之枝，更包括制一雙線 性插值法對該待測顯示器之侧視圖像進行幾何校正。 •如申賴咖第1項所述之方法，其中產㈣近似通 過參考點且能代表該些參考點之基本趨勢的該多項式曲 面背景模型之步驟包括： 假設-圖像中每-像素之灰階值均為該像素二維座標的 函數’而财像素之灰階值與其二維麟構成了分佈於 矩形格點上之空間參考點的集合；以及 採用-二元多項式對上述之空間參考點進行曲面擬合，求 得該近似通過參考點且能代表該些參考點之基本趨勢 的該多項式曲面背景模型。 ，其中更包括一斑痕 13·如申請專利範圍第1項所述之方法 缺陷的模糊辨識步驟。 14·如申請專利範圍第13項所, 貝所迹之方法，其中該斑痕缺陷 23 200842339 * 的模糊辨識步驟包括： 產生複數個輸入變量； 進行一模糊運算;以及 輸出一輸出變量。 15·如申請專利範圍第u項 入傲曰^ <夂万去，其中該複數個輪 入變1係包括對比度、面積、邊 緣參數、位置參數、灰階 均勻性和形狀參數。 16·如申請專利範圍第14項所 .^ 义之方去，其中該輸出變量 為斑痕缺陷的等級。 π如申請專利範圍第14項所述之方法，其中該模糊運算 =上奴輸人變量與輸峻量劃分成—定數目的模糊 子木，並為每-模糊子集建立一相對應的函數。 18. 如申請專利範圍第17 ^ ^ 万去，其中該函數為三 角函數或梯形函數。 19. 如申請專利範圍第13項所述之方法，其中該斑痕缺陷 的換糊辨識步驟更包括設定該複數個輸入變量及該輸出 變量。 20. -種運用自動化影像檢測顯示器之斑痕缺_系統，可 針對-待測顯不||進行斑痕缺陷的檢測，. 一圖像獲取裝置，用於產生複數___^像， 该複數幅待峨示||之圖像包括複數個像素； -濾波裝置’用於齡上聊像的雜訊； 24 200842339 -曲面擬合裝置，用以產生-近似通過參考點且能代表該 些參考點之基本趨勢的一多項式曲面背景模型；以及 一分離裝置，用以將上述經濾波去除雜訊之圖像減去上述 之多項_ i識度誤差值超過一設 定門檻值的圖像區域，作為斑痕缺陷的可能目標分離出 來。 21·如申請專利範圍第20項所述之系統，其中該濾波裝置 係用於濾除該複數幅待測顯示器之圖像的雜訊。 22. 如申請專利範圍第20項所述之系統，其中該渡波裝置 $ 又置於該圖像產生裝置及該曲面擬合裝置之門。 23. 如申請專利範圍第20項所述之系統，另包含—數學形 態學(Mathematical morphology)處理裴置，其中該分離 裝置連接該數學形態學處理裝置。 24. 如申請專利細第20項所述之系統，更包含一判斷装 置’用以將可能目標區域之對比度、面積、邊緣參數、位 置參數、灰階均勻性及形狀參數之一或組合作為該系統之 輸入變量，其中斑痕缺陷的等級作為該系統之輸出變量， 將該輸入與雜自變量齡成—缝目魄糊子集，並為 每一模糊子集建立一相對應的函數。 25. 如申請專利範圍第2〇項所述之系統，更包括—載物 台’用於承載該待測顯示器。 26·如申請專利範圍第2〇項所述之系統，更包括一三轴定 25 200842339 ， ψ 位平台，用於定位該圖像產生裝置。 ι 27·如申請專利範圍第2〇項所述之系統，更包括一遮光 ，罩，該載物台、該三軸定位平台及該圖像產生裝置係設置 於該遮光罩内。 28· —種基於多項式曲面擬合技術之斑痕圖像分離方法，該 方法包括下列步驟： 假设一圖像中的每一像素之灰階值均為該像素二維座標 ㈣數’而所有騎之雄值與其二_標構成了分佈 於矩形格點上之空間參考點的集合；以及 採用-二元多項式對上述之空間參考點進行曲面擬合，求 得-近似通過參相錢代表轉參考點之基本趨勢 的一多項式曲面。

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