TW200416122A - Flexible mold and method of making same as well as method of manufacturing fine structures - Google Patents

Description

200416122 玖、發明說明： 【叙明所屬之技術領域】 本^明係關於模具科技，更特^ 士 乂 具及其勢、生士、 、疋&之則係關於可撓性模 、乂方法、以及製造細微 例而言，太狀, 文次被小化結構之方法。舉 本發明製造細微結構之方、本 女立丨m 於製造一泰將—σ 再之方去之一有利用途，係用 —a水顯不裔面板其背板上之阻隔肋條。 L先前技術】 f(CRT: ^者迅視科技之進步及發展，使用陰極射線 :之顯示器裝置已可透過經濟之方式大量生產。但近 _ : 1而輕之平板顯示器裝置已取代該種使狀RT之顯 不為’逐漸吸引眾人之目光 尤橛羔成為下一代之顯示器裝 置0 具有代表性之平板顯示器裝置係液晶顯示器（LCD)裝 置，其早已普遍用作筆記型個人電腦、行動電話、個人數 位助理(PDA)、或其他可攜式電子資訊設備中—輕巧之顯 裝置]另一方面，若論及厚度小、且具有大螢幕尺寸之 平=顯不器，則電漿顯示器面板（pDp)係其中一典型之顯示 裔裝置’ 1目前已開始作商業使用，近來亦用作-般家庭 中之懸壁式電視螢幕。 一PDP具有如圖丨所概示之構造。雖然在圖示實例中，為 求圖面簡潔，PDP 50僅包括一個顯示用放電格％，但pDp 5〇 通常均包括複數個小型顯示用放電格。更明確言之，各顯 不用放電格56均係由一對玻璃基板（亦即一前玻璃基板61 及一後玻璃基板5 1)及一細微結構包圍而成，其中該對玻璃

O:\88\88896.DOC -6- 200416122 ::Γ呆：：間距且彼此相對，該細微結構則由肋條5 4 (阻隔 且有日咖間隔壁或阻壁)所構成，其具有指定之形狀 等玻璃基板之間。前破璃基板。包括—透明顯示 二=(其係由婦描電極及維持電極所組成)、一透明電 包括二一 2後於其上之透明保護層料。後破璃基板51 :及^址電極Η及—覆於其上之電介制52。由掃描電 ^持電極所組成之顯示器電極63係與定址電極53相互 =放了分別以指定方式排列，並保持—間距。各顯 I用放4 56均具有—形成於其内壁上之螢光層Μ，且呈 有1封於格内之稀有氣體(例如氖—氣氣)，俾透 極間之電漿放電現象達到發光顯示之目的。 叙而s ’肋條54係由細微之陶瓷結構組成，且通 與，玻璃基板51上之定址電極53一同預製，以形成一pDp 之月板’如圖2之示意圖所示。由於肋條之形狀及尺寸精密 = PDP之效能有顯著影響’前人曾以多種方式改良用以 :德之模具及製造方法。例如曾提出—種製造阻隔肋 ^、之方法’其特徵在於使用金屬或玻璃作為模具材料，且 用以形成肋條（間隔壁）之液體塗料係置於一玻璃基板之表 面” U料之間，待液體塗料硬化後便可移除模具才; 料’使硬化之液體塗料轉移至基板上，然後供烤該基板（專 利文獻1)。亦有人提出一種製造PDP基板之方法，其包括下 列步驟：將-陶:是或玻璃粉末與一溶劑及—黏結劑係由 -有機添加物所虹成）之混合物填入_聚石夕氧樹脂模具 中，該模具具有可形成間隔壁之模穴；再令此混合物與—

O:\88\88896.DOC -7- 陶莞或玻璃製背板結合為—體(專 種製造間隔壁之方法，A )亦有人提出一 面上# # p, B /、匕括下列步驟：在一基板之一表 由上形成一間隔壁構件，誃 衣 狀則為一具有_預定厚 /、預定之柔軟度，其形 |y # n ^板，利用一沖壓模具之壓力模 衣该間隔壁構件，該沖 刀接 形狀· …〜、有一對應於待製間隔壁之 化狀’使该沖壓模具脫離 下，對模製完成之間隔壁構件^=牛，及在一預定溫度 麸 進仃…、處理（專利文獻3)。 r、、> ，上列專利公告及苴他f姐一 握呈如女# ，、文獻所揭示用以製造PDP之 杈/、仍有右干問題待解， 道從^ > 衣以日守所用之模具材料可 $致所有該等模具在「製 材科了 0W ^ ^ ^ ^ , 只除使用」之過程中因 /皿度或濕度改變（以此為主 等槿且…“ 口)而產生尺寸上之變化，致使該 寻桓具無法製造出吾人所需 、， π而之回精岔度肋條。為防止形狀 改交’亚避免降低尺寸 . 贯山度杈具需儲存在溫、渴彦 均党到嚴密控制之環境中 ”、、 力及投fM。 使用知亦然，此舉勢將增加人 在製造咖之背板時，肋條必須設在指定位置，且幾乎 不侍相對於定址電極而偏移。直 M f 1 /、原因在於，肋條愈能準確 叹置於指定位置且尺寸精一 月山度恩间，PDP所能達到之發光 效果愈佳。然而’當周圍之溫、濕度改變時，五人與 難透過對周圍溫、濕度之調整，達到控制模具尺寸之目的'， 汾=基板之尺寸改h將受到影響，用以形成肋條之液體 7之黏度將有所改變’而肋條模製機之精密度亦將產生 、交化，無一得以倖免。 【發明内容】

O:\88\88896.DOC 200416122 在某一方面，本發明提供一 ^ n 裡j氡性杈具，其包括一支 探件及一設於該支撐件上之捃目昆 、， 杈/、層，丽者係由對濕度有 反應之材料製成，後者則在 ^ ^ 判在其表面上具有—符合指定形狀 之槽狀圖型，’該模具之特徵為：使該槽狀圖型且有 ^形狀及尺寸之方式係在該模具從金屬模型脫模後， 以預疋之溫度及濕度調節該模具。 另-方面，本發明則提供一種製造一可撓性模具之方 ::以具具有—支撐件、及—設於該支撐件上之模具層， 该模具層在苴矣面卜且古 卜卜 、 刑.兮表面上具有一付合指定形狀及尺寸之槽狀圖 i，忒方法包括下列步驟·· 开？-層光固化材料，作法係將一光固化材料以一預定 之溥膜厚度塗於-模型上，該模型在其表面上具有一突起 物圖型’其形狀及尺寸均對應於該模具之槽狀圖型； ，將-透明支撐件疊合於該金屬模型上，藉以形成一包括 該金屬模型、該層光固化材料、及該支撐件之疊層，其中 -亥支撐件係由對濕度有反應之塑膠薄膜製成； 、光從η亥支撐件所在側照射該疊層，藉以固化該層光固 化材料； 使由該層光固化材料固化而成之模具層與該支撐件一同 脫離該金屬模型丨及 一在一具有預定溫度及濕度之條件下，調節所得之模具， 猎以調整該模具層上槽狀圖型之形狀及尺寸。 一另方面，本發明則提供一種在一底板表面上製造一細 从結構之方法，該結構具有一符合指定形狀及尺寸之突起

0-\88\88896.DOC 200416122 物圖型，该方法包括下列步驟·· 提供-可撓性模具，其包括—支撐件、及—設於 件上之模具層，前者係由_度有反應之材料製成 則在其表面上具有—槽狀_，其形狀及尺寸 ，起物圖型；其中該模具層上槽狀圖型之形狀及尺;= 凋正作法係在該模具從_金屬模型脫模I，以預定 度及濕度調節該模具； /皿 將可固化之模製材料置於該底板與該模具之模具層之 間，並將该模製材料填入該模具之槽狀圖型中； 使該模製材料固化，並形成一細微結構，該結構係由該 底板及與该底板連成一體之突起物圖型組成丨及 將該細微結構從該模具中移出。 【實施方式】 本發明之可撓性模具及其製造方法、以及製造一細微結 構之方法可分別在不同具體實例中以有利方式實施。下文 將以PDP之肋條作為細微結構之一典型實例，並參照該種 肋條之製造方法，詳細說明本發明之具體實例。應瞭解， 本發明絕不限於製造PDP之肋條。 一如W文參照圖2所作之說明，pDp之肋條54係設於後玻 螭基板51上以形成一PDP之背板。肋條54之間距C (格室間 距）可視全幕大小而變化，基本上係在約15〇至4〇〇微米之範 圍内。一般而言，肋條應滿足下列必要條件：應無諸如夾 藏乳泡、變形、及類似之缺點；及肋條之間距應具有高精 始度。針對間距之精密度，肋條必須設在指定位置，且幾

O:\88\88896.DOC 200416122 乎不得相對於定址電極而偏移，事實上甘/ 歡十锨未之範圍内。若位置 牡 ^ ^ ^ μ ,, 。、差超過數十微米，可見光之 l 7U木件將受到不利影響，因 效果。近來由於螢幕尺寸"：達到理想之發光顯示 之問題十分嚴重。 [日大，肋條間距精密度不足 門之距^54視為整體，則肋條54總間距R(兩端肋條54 ㈣；雖然該圖式中僅顯示5條肋條，但通常均設有約 3000條肋條）之必要 ^ /月萑度大致係在數十ppm之範圍 内，但可視基板大小或肋條形狀而略有差異。一般而言， 肋條最好係以-可撓性模具製成，其中該模具包括一支撐 件·、及一具有一槽㈣型且由該支撐件加以支樓之模具 s且β亥核具之總間距（兩端槽狀部分間之距離）亦須滿足與 肋條相同（數十ppm以下）之尺寸精確度。 在傳統可撓性模具中，支撐件係使用硬質塑膠薄膜，具 有槽狀圖型之模具層則由光固化樹脂模製而成。支擇件所 用之塑膠薄膜通常係—片狀塑膠原料，市售者係纏繞於-滾筒上。纏繞成捲之塑膠薄膜已在製程中脫去水份，故含 水里極低，屬於乾燥狀態。吾人若利用一金屬模型將乾燥 狀恶之塑膠薄膜製成模具，則該塑膠薄膜自滾筒展開後便 將開始吸收濕氣，導致薄膜膨脹，尺寸於是產生變化。尺 寸變化最明顯時係在模具剛從金屬模型脫模後，且薄膜之 尺寸變化幅度可達約3〇〇至5〇〇 ρριη。因此，若使用傳統模 製方法將無法達到一用以製造PDP之模具之必要尺寸精確 度（亦即在數十ppmi範圍内）。

O:\88\88896.DOC -11 - 200416122 本餐月人^疋上述支撐件薄膜之尺寸變化係可撓性模具 尺寸’交化之一主因，且發現，若欲製造一具有高精密度形 狀及尺寸之可撓性模具，可利用一已知對濕度有反應之材 料形成該支擇件，並在一簡易之後製加工作業中調節模具 之成口口。料想不到的是，可撓性模具從金屬模型脫模後， 右在一具有預定溫度及濕度之條件（亦即可適當補償支撐 件薄膜尺寸變化之必要溫、濕度條件）下接受調節，使支撐 件薄膜因而收縮或膨脹，將可產生一具有高精密度形狀及 尺寸之槽狀圖型。 :撓性模具之調節方式十分容易。通常一塑膠薄膜之含 水里及膨脹度約與溫度及濕度成比例變化。吾人若將 有關薄膜變化之已知特n 以、 特斂納入考置，即可輕易訂定調節薄 所需之條件。以市售 π昏《承酉日潯艇（Tetron τΜ)為例，含 之下降約與溫度之上升成比例，含水量 里 度之上升成比例。因b 、〜、目對濕 , 如圖3所不，該聚酯薄膜之膨脹度 (。)相溫度及相對濕度成比例 性模且所用之* pm π 換。之，本發明可撓 且吾人已知或可輕易證實今材料對1反應之材料製成， 田、▲ κ °亥材科對濕度之反應特徵。 用以调節可撓性模且借 i高者々士# 、/、 備亚無特別限制。舉例而t， 田调郎設備包括一恆溫恆渴哭。 ° 性Μ 1 -Γ、么 σσ 在某些情況下，可參4

度換具可進行-吸濕作業了I 水中或溫水中、通過十…：贺水或复灑蒸汽、浸入 值濕器中接受上述處理。 ")而非在一恆溫 之材料最好具有足 除了對濕度有反應之性質外，支撐件

°·'\88\88896.DOC -12- 200416122 夠之可撓性及適當之硬度，以確保模具之可撓性。 就支撐件材料之硬度而言，為將可撓性模具中溝槽間距 之尺寸準確度控制在數十PPm之範圍内，切件所選用材料 之硬度最好明顯大於用以形成模具層且負責形成槽狀部分 之模製材料（最好係-光固化材料，例如光固化樹脂）之硬 度。-般而言，光固化樹脂在硬化時之收縮度約為數個百 ^點。因此，若將-軟質塑勝薄制於支撐件，當光固化 樹脂因硬化而收縮時，有可能使支撐件本身之尺寸產生變 化’因而無法將槽狀部分之間距準確度控制在數十ppm之範 圍心相反的’若塑膠薄膜具有足夠之硬度’即使光固化 樹脂在硬化時收縮，支撐件本身仍可維持其尺寸精密度， 使溝槽間距保持高水準之尺寸精密度。此外，使用硬質塑 勝溥膜亦可麼低肋條製造過程中之間距變化量，進而有助 於模製作業及尺寸精確度。下文將列出適用於施作本發明 之硬質塑膠薄膜實例。 /使用硬貝塑膠薄膜’則模具槽狀部分之間距精密度將 完全取決於該塑膠薄膜之尺寸變化。因此，若欲穩定提供 具有所需間距精密度之模具，僅需執行一後製加工作業， 使塑膠溥膜達到預期之尺寸而不改變已製成之模具即可。 、牛例* °，{撐件材料之硬度可卩「對抗拉力之剛性」 或以抗拉強度表示。支撐件所用材料之抗拉強度基本上至 二為斤7平方公厘，最好至少為10公斤/平方公厘。若支 撐件材料之抗拉強度小於5公斤/平方公厘，將降低模具製 成後從金屬模型脫模時之可加工性、或PDP肋條從模具移

O:\88\88896.DOC -13- 200416122 出日守之可加工性，甚至導致斷裂或破裂。 因此，若以容易調節及極佳之可加工性為前提，—用以 %本鲞明之較佳支撐件係一對濕度有反應之硬質塑膠材 料薄膜。適當之塑膠材料實例包括但不限於聚對苯二甲酸 SI(PET)、聚萘二f酸二乙醋（pEN)、經拉伸之聚丙稀、 來石=酉夂酉日、二聚醋酸醋、及其類似物。其中ρΕτ薄膜適用於 支撐件，聚酉旨薄膜_DTetr〇nTMf膜）若用於支撐件亦有其 優點。該等塑膠薄膜可單獨使用，成為單—薄膜；亦可併 用兩種以上之薄膜’形成一複合薄膜或疊層薄膜。 上述之塑膠薄膜或其他支撐件可採用多種不同厚产，需 視模具及PDP之構造而定。但厚度基本上係在約⑽又至Μ 公厘之乾圍内，最好係在狀UG 4公厘之範圍内。支樓件 =厚度若在上述範圍外，便有可能降低可加工性或類似性 貝。就強度而言，支撐件之厚度愈大愈有利。 本發明之可撓性模具除 <又锊仟外，尚包括一設於該 克撐件上之模具層。兮 开m斗 在其表面上具有—符合指定 4卜 槽狀圖型，該指定形狀及尺寸係對應於· ^，之肋條、或由該模具所製成之其他細微結構之突起 伸若右中亜+ 通承^吴具層係製成單一層體， 有…亦可製成-多層結構，且包含兩種以上且右 不同性質之材料。若明確二3兩種以上具有 支撐侔盘握且a π 考慮使用-先固化模製材料，則 支撐件舁杈具層表好均呈透明狀。 =將—更詳細描述可撓性模具之構造及其製造方法。 圖4係一局部立體圖式，顯一 、、、〃、根據本發明一較佳具體實

O:\88\88896.DOC - 14- 200416122 例之可撓性模具。圖5則為沿圖4中V—V剖面線之剖面圖。 吾人可從該等圖式中看出，此可撓性模具1〇之設計並非用 於製造一採用筆直肋條圖型（其中複數條肋條54係相互平 行，如圖2所示）之背板所使用之玻璃基板51。該可撓性模 具10之設計係用於製造一具有格狀肋條圖型（其中複數條 肋條係大致平行，且以固定之間距彼此相交）之背板（未圖示） 所使用之玻璃基板。 如該等圖式所示，可撓性模具10在其表面上具有一符合 預定形狀及尺寸之槽狀圖型。該槽狀圖型係一格狀圖型，· 其中複數條肋條部分4係大致平行，且以固定之間距彼此相 又。由於可撓性模具1〇在其表面上設有格狀之開口式槽狀 部分二因A，最好係用於模製具有格狀突起物之pDp肋條（舉 J σ )仁亦可用於製造其他細微結構。雖然可挽性模具 :〇:視需要而包括其他層體，吾人亦可以任-方式對構i "亥杈^之不同層體進行處理或加工，但該模具基本上係由 一支撐件卜及—設有槽狀部分4之模具層11所構成，如圖4赢 模具層11最好係由-可固化材料之固化產品製成。該可 :化材料係一熱固性材料或-光固化材料。光固化材料具 特別之優點’因為在製造模具層時，不需使用大尺寸之 加熱爐’且可在較短時間内硬化。光固化材料最好係 固化單體或寡聚物，若 、先 灶^ 為一先固化丙烯單體或寡聚物則更 4土。5亥可固化材料 適當之添加劑包括：必要之添加劑。舉例而言， 括一聚合反應起始劑（例如一光起始劑）、一

O:\88\88896.DOC -15- 200416122 抗靜電劑· · ·等。 適用於形成模具層之丙烯酸系單體包括但不限於丙烯酸 :基：酸醋、編烯酸醋、丙烯醯胺、丙烯腈、丙烯酸、 聚丙埽酸I旨、及其類似物。適用於形成模具層之丙稀酸系 =物包括但不限於丙烯酸胺基甲酸酿募聚物、環氧丙烯 酉“、及其類似物。詳言之，丙烯酸胺基甲酸酯及其寡聚 物旦硬化後，可提供一堅固之可換性固化產品，再者， 其硬化速度在所有丙烯酸酯中亦屬非常快之一種，因此亦 有料改良製造模具時之生產力。吾人可利用該等丙稀酸 系單體及募聚物製造出一光學透明之模具層。因此，若用 以製造PDP肋條或其他細微結構之可撓性模具具有該種模 具層，吾人便可使用—錢化模製材料。吾人可單獨使用 該等丙㈣系單體及募聚物、或使用其中兩種以上之任一 組合。 前文曾經詳述，用以支撐模具層u之支撐件丨最好係一塑 膠薄膜，其厚度基本上係在約0.05至1〇公厘之範圍内。該 支樓件最好光學透明。若該支揮件係光學透明，為硬化所 發之光便可穿過此支樓件，使吾人可利用光固化模製材料 形成该模具層。别文已說明典型透明支撐件之實例。 本發明之可挽性模具可以多種不同技術製成。舉例而 言，用以製造圖2所示PDP基板（背板）之可撓性模具最好依 下列步驟製成，該等步驟依序圖示於圖6及7。 首先，如圖6A所示，需預備一金屬模型5，其形狀及尺寸 均對應於-待製之PDP基板；-支撑件i (以下稱支撐件薄 O:\88\88896.DOC -16- 200416122 膜)，其係由一透明塑膠薄臈製成；及一疊合滾筒23。全屬 模型5在其表面上具有間隔壁14，其圖型及形狀均與咖背 板上之肋條相同。因此，由相鄰間隔壁14所構成之空間（凹 穴）15將成為清中之顯示用放電格。間隔㈣之上端部八 可漸縮以免夾帶氣泡。藉由提供一形狀與最終肋條相同： 金屬模型，吾人便不需在肋條製成後再對其末端部分加 工’以免末端部分接受加工時所產生之碎屑造成缺點。在 此製程中，用以製造肋條之所有模製材料均將硬化，且殘 留在金屬模型上之模製材料極少，以方便吾人再次使料 模型。疊合滾筒23係由-橡谬滾筒組成，且係用於將支撐 Γ膜1壓於金屬模型5上。若有需要，該疊合滾筒可改為 /、他爾知或傳統之疊合装置。支撐件薄膜i 一如前述係 由聚酯薄膜或其他透明塑膠薄膜所組成。 、然後再利用一眾所熟知或傳統之塗佈裝置(例如一刀狀 塗佈器或桿狀塗佈器）將一定量之光固化模製材料U塗於 t屬模型5之末端表面上。若支撐件薄膜1係使用-兼且可 =及彈性之材料’即使光固化模製材料U產生收縮了只 要支撐件薄膜1本身不變D，本 +身不欠开广先固化模製材料！！與支撐件薄 、曰田之緊錢觸仍可防止1Qppm以上之尺寸變化。 ^疊合作業前，最好先於製造環境中進行老化處理，以 牛薄膜之尺寸因濕度而變化。若未經老化處理，所 «之尺寸有可能產生吾人無法接受之變化 ppm之變化）。 之後便可令疊合滾筒23在金屬模型5上依箭頭方向滑

O:\88\88896.DOC -17- 200416122 動。此疊合作業可使模製材料 模製材料π填入間隔壁14之間 11以預定之厚度分布 隙中。 並將 二成此疊合作業後’支揮件薄膜1已疊合於金屬模型5上 (如圖6B所示）。此時便可 、 制封料μ Λ ( ^透過支撐件薄…照射模 衣材仙’如前頭所示。若切件薄膜！不含_光散射元 件（如氣泡），且係由透明材料均 ^ 、 合f減， _ —衣成，則所射光線幾乎不 曰哀減且可均句到達模製材料11，使模製材料有效硬化， 形成一黏著於支撐件薄膜i之均勻模具層u。如此—來 撐件薄膜1與模具層11便結為-體，形成-可撓性模具。在 此衣知中可使用波長介於350至45()奈米之紫外光，其優點 為：不需使用諸如融合燈（fusionlamp，其為一高產轨之光 ㈤之高壓水銀燈。由於支擇件薄膜及模具層受光照而硬化 時亚不會因熱而變形’故仍可保持高精密度之間距 另一優點。 馬 而後，可撓性模具10便可從金屬模型5脫模而不損及該模 具之完整性，如圖0C所示。 、 然後再將可撓性模具10放入一恆溫恆濕器15中，俾依— 預疋私序進仃一調節作業，如圖7所示。調節作業所用之條 依模/、所品之尺寸調整幅度而修改。舉例而言，若此 作業導致恆溫恆濕器15内之相對濕度下降，模具10之整體 尺寸將因而縮小，導致總間距Μ縮小，如圖8之示意圖所 不。相反的，若相對濕度增高，模具1〇之整體尺寸將因而 增大，導致總間距Μ增大。 本♦月之可撓性模具不論大小及尺寸，只要運用眾所周

O:\88\88896.DOC •18- 知或傳統之適當疊合 方式製成。因此，又门 布衣置，均可以十分簡單之 機…等）之傳統製造法，本於明;又傷（如真空遷合模製 寸之可撓性模id㈣可以㈣方式製造出—大尺 候具而燕任何限制。 此外’本發明之可撓性模制 例如本發明之可娃k 用於衣4夕種細微結構。 月之了撓性模具可用於模f且 格狀肋條圖型之PDW …、㈣直肋條圖型或 槿且幻 之肋條。因此，若使㈣種可繞性 丰g ± 豐5滾筒取代真空設備及/或複雜之方 可此t此 大赏眷尺寸2PDP，且其肋條結構 " 务外光從顯示用之放電格中漏出。 本毛月亦針對一種利用本發明之可撓性模具製造細微結 ^之製造方法。該細微結構可具有不同結構，一典型實例 係一在玻璃板上設有肋條之PDP基板（底板）。以下將參照圖 9:說明如圖2所示PDp基板之製造方法。實施此方法時， 最好使用曰本未審查專利公開案第2〇〇1_191345號中圖1至 3所示之製造設備（舉例而言）。 首先，在一玻璃板上以固定之間距設置平行排列之電 極，再將该玻璃板置於一面板上。然後將本發明之可撓性 杈具10放在玻璃板31上之指定位置，並使玻璃板31與模具1〇 彼此對正，如圖9A所示。由於模具10係光學透明，吾人可輕 易對準玻璃板3 1上之電極。更明確言之，吾人可以目視方 式或利用一感測器（例如電荷耦合裝置攝影機）進行對準，使 模具10之槽狀部分平行於玻璃板3 1上之電極。若有需要， 可調整溫、濕度，使該等槽狀部分與玻璃板3 1上相鄰電極

O:\88\88896.DOC -19- 200416122 之間隔區重合。由於模具1 〇及玻璃板3 1隨溫、濕度變化而 脹、縮之程度不同，此一調整確有必要。因此，在完成玻 璃板31與模具1〇之對準作業後，溫、濕度便需控制在固定 值。此控制法在製造大面積之PDP基板時特別有效。 然後再將一疊合滾筒23置於模具1〇之一末端部分上。疊 合滾筒23最好係一橡膠滾筒。此時，模具1〇之此一末端部 分最好係固定在玻璃板3丨上，以免原已對準之模具1〇相對 於玻璃板3 1而位移。 然後利用一固持器（未圖示）將模具10之另 甶端部分 抬至疊合滾筒23上方，使玻璃板31外露。此時模具1〇不應 承受拉力，一方面係為防止模具1〇產生皺紋，一方面則可 保持模具H)與玻璃板31之對準關係。只要可保持此對準關 係’村使用其他裝置或方法。在此製造方法中，模具1〇 "士單眭口此，依圖式所示方式抬起之模具10在疊合作 業日T仍可準確回到初始之對準位置。 然後再將形成肋條時所雲 — 至玻璃板M。舉例而言，:人I之肋條前驅體33供應 嘴之、展 口可利用一具有貧狀物專用噴 /属斗t、應該肋條前驅體。 、 在本文中，「肋條前驅體 製物、並以此料其料—種可形成肋條模 形成肋條模製物，並無特殊料’且只要可 固性、或可以光固化。詳\二亥肋條前驅體可具有熱 前述之透明可撓性模 光®化肋條前驅體若與 撓性模具幾乎不人y將料有效。-如前述，該可 手不含氣泡或諸如變形等缺點，且可抑制光之

O:\88\88896.DOC -20- 200416122 不均勻散射。因此，該模製材料將可均句硬化，形成具有 固疋及良好品質之肋條。 -適用於肋條前驅體之組合物實例係一基本上包括下列 α頁之、、且口物.（1) 一用以形成肋條形狀之陶竟組份，例如 氧化：；(2)—用以填充陶竞組份間之間隙及增加肋條密度 之玻¥組h ’例如錯玻璃或鱗酸玻璃；及⑺—用以包含、 固定、及黏結陶£組份之黏結劑及其硬化劑、或聚合反應 起始劑。黏結劑組份之硬化最好以光照方式達成，而非藉 由加熱或加溫’因為在此情況下已不需考慮玻璃板之熱變 形。為降低移除黏結劑組份時之溫度，必要時可在該組合 物中添加一氧化觸媒，其係由鉻（Cr)、錳（Μη)、鐵（Fe)、2 (Co)、鎳（Ni)、銅（Cu)、鋅（Zn)、銦（In)或錫（Sn)、釕（如）、 铑（Rh)、鈀（Pd)、銀（Ag)、銥（Ir)、鉑（pt)、金（Au)、或鈽（^) 之氧化物、鹽、或錯合物組成。 在實施圖示之製造方法時，肋條前驅體33並非均勻供應 至整塊玻璃板31。如圖9A所示，吾人僅需將肋條前驅體％ 供應至玻璃板31上靠近疊合滾筒23之部分，因為在後述步 驟中，疊合滾筒23將在模具10上移動，因而將肋條前驅體 33均勻塗佈在整塊玻璃板3丨上。在此情況下，肋條前驅體 33之黏度基本上宜約為2〇,〇〇〇CpS以下，最好約為5,〇⑻cps 以下。肋條前驅體之黏度若高於約20,000 cps，疊合滾筒便 難以將肋條前驅體充分攤開，如此一來，模具之槽狀部分 便有可能夾帶空氣，使肋條產生缺點。事實上，若肋條前 驅體之黏度約為20,000 cps以下，疊合滾筒僅需從破璃板之 O:\88\88896.DOC -21 - 丄zz 一端移至另_ ☆山 板與模呈之;;而—次’即可將肋條前驅體均句塗佈於破蹲 供靡貼欠 且均勻填滿所有槽狀部分而不夾藏氣泡。 供應肋條前驅# "[體之方法並不限於上述方法。舉例而言，五 可將肋條‘驅體塗敷於玻璃 - 狀況下，条數田 個表面(未圖不)。在此 丄乏 用之肋條前驅體具有與前述相同之黏度。詳 I:若欲形成採格狀圖型之肋條，肋條前驅體 本上約為从_响以下，最好為5，_cps以下。 然後便可驅動—旋轉馬達（未圖 具10上移動，如闰0Λ 使且口 /袞同23在杈 ,^ 圖9Α之前頭所示。當疊合滾筒23依此方式 果’、1〇亡動日夺’疊合滾筒23之自重將對模具10施加壓 八一系攸权具1〇之-末端部分循序施加至另-末端部 y精以將肋條前驅體33塗佈於玻璃板3ι與模具ι〇之間， 亚將其填人模具1G之槽狀部分。肋條前驅體即以此-方式 逐漸取代㈣部分内之空氣，並填人槽狀部分巾。吾人可 適當控制肋條前驅體之黏度、及疊合滾筒之直徑、重量、 與移動速度，使肋條前驅體之塗佈厚度係在數微米之範圍 内。 友若使用圖示之製造方法，模具之槽狀部分亦可發揮一空 氣渠道之作用’·即使槽㈣有空氣，肖空氣亦可在吾人依 ^述方式施壓時，從模具内經此渠心有效排放至周圍環 境中。因& ’即使肋條前驅體係在大氣壓力下進行填充， 本製造方法仍可防止其夾藏殘餘之氣泡。換言之，在填充 肋條前驅體時並不需降低壓力。應瞭解，吾人可降低廢力， 使氣泡更谷易移除。

O:\88\88896.DOC -22- 200416122 之後便可硬化肋條前驅體。若塗佈於玻璃板以上之肋條 前驅體33可以光固化，由玻璃板31及模具ι〇組成之疊層便 可放入-照射裝置（未圖示）中，使光（例如紫外光（uv》透過 玻璃板31照射至肋條前驅體33，如圖9b所示。硬化後便產 生肋條前驅體之一模製產品，亦即肋條本身。 最後’所得之肋條34既已黏著於玻璃板31，吾人便可將 玻璃板31及模具1G從該照射裝置中移出，並將模具_ 除，如圖9C所示。由於本發明之模具職易操控，吾人若 使用-低黏著性材料作為模具之塗層，務微施力即可輕易 將模具1〇拆除，而不損及黏著於玻璃板31上之肋條34。讀 者應可察知，拆除模具時不需使用大型裝置。 [實例] 下列實例將為本發明提供更明確之說明。熟習此項技藝 者應不難瞭解，本發明絕不限於該等實例。 可撓性模具之製造 為製造PDP之背板，吾人先預傷_矩形金屬模型，w 有採用筆直圖型之肋條（間隔壁）。更明確言之，該金屬模型 之肋條係以固定間距排列，且沿肋條縱向上之橫剖面為等 腰梯形。相鄰肋條所構成之”（凹穴）係對應於清之一顯 示用放電格。各肋條均為135微米高，頂面寬度晴米，底 4見度120微米。間距（相鄰肋條中點間之距離）為綱微米， 肋條數為3 0 〇 〇。她部花/ a山以/分 …間距（兩鈿肋條中點間之距離）為900.221 微米。 用以形成模具中 之模具層之光固化樹脂係由99重量 %

O:\88\88896.DOC -23- 200416122 之脂肪族丙烯酸胺基曱酸酯寡聚物（由Daicel-UCB，Co.製 造）與1重量％之2-羥基-2-甲基-1_苯基-丙烷-1-酮（商品名稱 為 Darocure 1173，由 Chiba Speciality Chemical，Co.製造） 混合而成。 吾人另提供一寬1300公厘、厚1.88微米、且纏繞於一滾 筒上之PET薄膜（商品名稱為ΗΡΕ 188，由Teijin Co·製造）以 用作模具之支撐件。 然後便可將上述之光固化樹脂以線狀塗於吾人所預備之 金屬模型之上游端。然後再將上述PET薄膜疊合於該金屬模 型之表面以覆盍之。在以一疊合滾筒小心滾壓該pET薄膜 後，該光固化樹脂便已填入該金屬模型之凹穴中。 吾人即在此狀態下，利用一螢光燈（由Mitsubishi_〇sram

Co·製造）以波長3〇〇至4〇〇奈米之光透過該pE丁薄膜照射該 光固化樹脂30秒。該光固化樹脂硬化後便產生一模具層。 在將該PET薄膜連同模具層從該金屬模型中移出後，即形成 一具有複數個槽狀部分之可撓性模具，且該等槽狀部分之 形狀及尺寸均對應於該金屬模型上之肋條。然後再將該模 具置於一溫度為22QC、相對濕度（RH)為4〇%、5〇%、55〇/〇、 或60%之恆溫恆濕器中調節12小時。 調節後即量測模且之綸、，订π 心間距，亚取得如圖10中白色圓圈 Μ所示之量測結果。 PDP背板之製造 在以上述方式製成該可撓性模具後，便將該模具對準 PDP之玻璃基板。該楹目彡 极，、係以槽狀圖型面向該玻璃基板

O:\88\88896.DOC -24- 200416122 之後再將感光陶瓷糊狀物填入該模具與該玻璃基板之間。 所用之陶瓷糊狀物具有下列組合物。 光固化寡聚物：雙酚-A-二縮水甘油醚之二甲基丙烯酸酯 (由 Kyoeisya Chemical Co.製造） 21.0 克 光固化單體：三甘醇二甲酸酯（由Wak〇 pUI*e Chemicals Industries，Co.製造） 9.0克 稀釋劑· 1，3-丁二醇（由 Wako Pure Chemicals Industries, Co.製造） 30.0 克 光起始劑：雙（2,4,6-三甲基苯甲醯基）-苯膦氧化物（商品 名稱為 Irgacure ’ 由 Chiba Speciality Chemicals，Co.製造） 〇·3克 表面/舌f生；=j彳·辦酸丙氧基烧基多元醇（phosphate propoxyalkyl polyol) 3.0克 無機微粒：錯玻璃燒結物與陶瓷微粒之混合粉末（由 Asahi Glass，Co.製造） 180.0 克 在將該陶变糊狀物填入後，便可將該模具疊合於該玻璃 基板之表面以覆蓋之。在以疊合滾筒小心滾壓該模具，使 其緊貼该基板後’該陶瓷糊狀物便已完全填入模具之槽狀 部分中。

O:\88\88896.DOC -25- 200416122 吾人即在此狀態下，利用一螢光燈（由Philips c〇·製造）， 以波長400至450奈米之光，透過該模具及該玻璃基板，從 該陶瓷糊狀物之兩面照射該糊狀物3〇秒。該陶瓷糊狀物硬 化後即形成肋條。然後將該玻璃基板連同肋條從該模具中 移出，即形成吾人所欲製造之PDP背板，其係由具有肋條 之玻璃基板組成，該等肋條即形成於該玻璃基板上。各背 板從模具脫模後，吾人便立即量測肋條之總間距，並取得 如圖1 〇中黑色圓圈R所示之量測結果。圖丨〇之曲線〗顯示肋 條總間距之變化傾向。 吾人可從圖10所示之量測結果得知，若以22^&5〇%rh 之條件（舉例而言）進行調節，所得之PDP肋條總間距為 900.221公厘（七點之平均值）；在將^^從5〇%提高1〇% (亦即 到達60% RH)後，所得之pdp肋條總間距為900.291公厘（七 點之平均值）。因此，若與相對濕度為5〇%時之數值相比， k南RH可使PDP肋條之總間距增加μ ppm。換言之，總間 距可以7.8 ppm/RI^f加％之比率增加。 當模具之調節條件從22°C及50% RH改為22°C及40% rh 後’所得之PDP肋條總間距為9〇〇173公厘（七點之平均 值）。因此，若與條件為22°C及60% RH時相比，將RH降低 20%可使總間距減少131 ppm。換言之，總間距可以 ppm/RHp低％之比率增加。 一如前述，本發明可提供一可撓性模具，其可用於製造 PDP之肋條或其他細微結構，並在工人不需具備高超技術 之情況下，使諸如肋條之突起物可輕易而準確地形成於指 O:\88\88896.DOC -26- 200416122 定位置且具有高水準之尺寸精密度。 本發明可提供一可撓性模具，其可製造出具有高精密度 之PDP肋條或其他細微結構而不產生氣泡、圖型變形、或 其他缺點。 此外’根據本發明，吾人不需高超之技術即可製造出一 用以製造PDP肋條或其他細微結構之高精密度可撓性模 此外，根據本發明，PDP之肋條（舉例而言）或其他細微陶 瓷結構均可利用本發明之可撓性模具輕易地在短時間内以 低成本、高精密度之方式製成。 【圖式簡單說明】 圖1係一剖面示意圖，顯示一 一可應用本發明之傳統PDP實 圖2係一立體圖式，顯示圖j中pDp所用之

性模具。 圖5係圖4中之模具沿v— V剖面線之剖面圖

之尺寸變化。 發明一製造PDP O:\88\88896.DOC -27- 200416122 背板之方法。 圖10係PDP肋條總間距之尺寸變化圖。 【圖式代表符號說明】 1 支撐件（支撐件薄膜） 4 肋條部分 5 金屬模型 10 可撓性模具 11 模具層 14 間隔壁 15 凹穴 15 恆溫恆濕器 23 疊合滾筒 31 玻璃板 33 胁條前驅體 34 肋條 50 電漿顯示器面板（PDP) 51 後玻璃基板 52 電介質層 53 定址電極 54 肋條 55 螢光層 56 放電格 61 前玻璃基板 62 透明電介質層 O:\88\88896.DOC -28- 200416122

63 64 C Μ R 透明顯示器電極 透明保護層 間距 總間距 肋條總間距 O:\88\88896.DOC -29

Claims (1)

1. 200416122 拾、申請專利範圍： 1. 一種可撓性模具，包括： 之材料製成；及 ’且其表面上具有一 一支撐件，其係由對濕度有反應 模具層’其係設於該支揮件上 付口扣疋形狀及尺寸之槽狀圖型； 定形狀及尺寸之方 在一預定之溫、濕 其中該支撐件及該 其特徵為：使該槽狀圖型具有該指 式係在該模具從一金屬模型脫模後， 度條件下調節該模具。 2. 3. 4. 如申請專利範圍第1項之可撓性模具， 模具層呈透明狀。 如申請專利範圍第丨或2項之可撓 y 」規r生杈具，其中該支撐件 係一由對濕度有反應之塑膠材料製成之薄膜。 如申請專利範圍第3項之可撓性槿 仇1王犋具，其中該塑膠材料係 由下列各物組成之群中所選 、 r T吓k 之至少一種塑膠材料··聚 對苯二甲酸乙二酯、聚苯二- γ t丄 τ 0文一乙酉曰、經拉伸之聚丙 烯、聚碳酸酯、及三聚醋酸酯。 5. 如申請專利範圍第⑴項中任一項之可换性模具，其中 該支撐件之一厚度係在〇.〇5至1〇公厘之範圍内。” 6. 如申請專利範圍第⑴項中任一項之可挽性模具，其中 該模具層係由一可固化材料之固化產品製成。 ^ 7. 如申請專利範圍第6項之可撓性模具，其中該可固化材 係一光固化單體及/或寡聚物。 π 8·如申請專利範圍第7項之可撓性模具，其中該光固化單體 及/或寡聚物係丙烯酸系單體及/或寡聚物。 — O:\88\88896.DOC 200416122 9. 如申請專利範圍第8項之可撓性模具，其中該丙稀酸系單 體及/或寡聚物係由下列各物組成之群中選出：丙稀酸胺 基甲3文i曰、聚丙稀酸酯、及聚峻丙浠酸醋。 10. 如申請專利範圍第丨至9項中彳壬―項之可撓性模具，其中 該模具層之槽狀圖型係一筆直圖型，其包括複數個彼此 大致平行且保持一固定間距之槽狀部分。 11. 如:請專利範圍第⑴項中任—項之可撓性模具，其中 该权具層之槽狀圖型係—格狀圖型’其包括複數個大致 平仃、且以一固定間距彼此相交之槽狀部分。 12•一種製造一可撓性模具之方法，該模具具有—支撐件、 及-j於錢撐件上之模具層，該模具層在其表面上具 有一符合指定形狀及尺寸之槽狀圖型；該方 步驟： J 〜形層光固化材料’作法係將—光固化材料以一預 定之薄膜厚度塗於一金屬模型上，該模型在其表面上具 Φ 有一突起物圖型，其形狀及尺寸均 ;;2 /、 圖型； J訂應於该枳具之槽狀 將一透明支撐件疊合於該金屬模型上，藉以形成 括该金屬模型、該層光固化材料、及該支擇件之疊声， 其中该支#件係由對濕度有反應之塑膠薄膜製成，S 以光從該支撐件所在側照射該疊層， 固化材料； ❹固化該層光 使由該層光固化材料固化而成之模具層鱼 同脫離該金屬模型；及 、/支撐件一 O:\88\88896.DOC -2- 200416122 在預疋之溫、濕度條件下調節所得之模具，藉以調 整該模具層上槽狀圖型之形狀及尺寸。 13·如申請專利範圍第12項之製造一可撓性模具之方法，其 中該支撐件之塑膠材料係由下列各物組成之群中所選出 之至少一種塑膠材料：聚對苯二甲酸乙二酯、聚莕二甲 酸二乙酯、經拉伸之聚丙烯、聚碳酸酯、及三聚醋酸酯。 •汝申明專利範圍第13項之製造一可撓性模具之方法，其 中該光固化材料係一光固化單體及/或寡聚物。 士申明專利範圍第14項之製造一可撓性模具之方法，其 中。亥光固化單體及/或募聚物係丙烯酸系單體及/或寡聚 物。 16·如申請專利範圍第15項之製造一可撓性模具之方法，其 =忒丙烯酸系單體及/或寡聚物係由下列各物組成之群中 k出·丙烯酸胺基甲酸酯、聚丙烯酸酯、及聚_丙稀酸 酯° 鲁 17. -種在-基板之表面上製造—細微結構之方法，該結構 具有-付合指定形狀及尺寸之突起物圖型；該方法包括 下列步驟： 提供-可撓性模具，其包括_支撐件、及—設於該支 撐件上之模具層，前者係由對濕度有反應之材料製成， 後者則在其表面上具有_槽狀圖型，其形狀及尺寸均對 應於該突起物圖型；其中該模具層上槽狀圖型之形狀及 尺寸可以调整，作法係在該模具從—金屬模型脫模後， 在一具有預定溫度及濕度之條件下調節該模具； O:\88\88896.DOC 將可固化之模製材料置於 n 、，# 忒基板與該模具之模且屑$ 間，亚將該模製材料填入該模I ^層之 二 /供具之槽狀圖型中； 使5亥模製材料固化，並一 成 、、、田彳政結構，該纟士错 該基板及與該基板連成一體筹 _構係由 殿之犬起物圖型組成，·及 18. 19. 20. 21. 將該細微結構從該模具甲移出。 如申請專利範圍第1 7項之方、、参甘+ 、<►乃决，其中該模且俜 枳 請專利範圍第12至16項中任15 係以拫據申 貝甲任—項之方法製成。 如申請專利範圍第17或18項 # f材料在丄 貝之方法，其中該可固化之模 表材#係一光固化材料。 如申請專利範圍第17至19項 /tl)L 7 貝T任—項之方法，其中該細 σ構係-電漿顯示器面板之—背板。 如申請專利範圍第2〇 g 罘貝之方法，尚包括下列步驟：在該 基板之表面上，Π < — m «ο 口疋間距設置一組大致平行且彼此 獨立之定址電極。 O:\88\88896.DOC -4-