TH98717B - How to create patterns on a base plate using trimming lithography techniques - Google Patents

How to create patterns on a base plate using trimming lithography techniques

Info

Publication number
TH98717B
TH98717B TH1101001717A TH1101001717A TH98717B TH 98717 B TH98717 B TH 98717B TH 1101001717 A TH1101001717 A TH 1101001717A TH 1101001717 A TH1101001717 A TH 1101001717A TH 98717 B TH98717 B TH 98717B
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
trimming
base plate
lithography techniques
pattern
create patterns
Prior art date
Application number
TH1101001717A
Other languages
Thai (th)
Other versions
TH118333A (en
Inventor
หรูอนันต์ นายชาญเดช
อัตถิ นายนิธิ
เจียมศักดิ์ศิริ นายวุฒินันท์
โพธิ์ใย นายอัมพร
มิสกะ นายหวัง เย กุ่ย นาย เย กุ่ยหวัง นาย มิสกะฮันนุกเซลา นายฮันนุกเซลา
Original Assignee
โนเกีย คอร์ปอเรชั่น โนเกีย คอร์ปอเรชั่น
สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
Filing date
Publication date
Application filed by โนเกีย คอร์ปอเรชั่น โนเกีย คอร์ปอเรชั่น, สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ filed Critical โนเกีย คอร์ปอเรชั่น โนเกีย คอร์ปอเรชั่น
Publication of TH118333A publication Critical patent/TH118333A/en
Publication of TH98717B publication Critical patent/TH98717B/en

Links

Abstract

OCR 18/01/2567 การประดิษฐ์นี้มุ่งเน้นที่การลดขนาดของลายวงจร เพิ่มความหนาแน่นของลายวงจร และเพิ่ม พื้นที่ผิวของลวดลายบนชั้นฟิล์มน้ำยาไวแสงด้วยกระบวนการทริมมิ่งลิโธรกราฟี ซึ่งเป็นเทคนิคที่ใช้การ ฉายแสงตั้งแต่ 2 ครั้ง ขึ้นไป โดยมีการปรับเปลี่ยนค่าพลังงานในการฉายแสงแต่ละครั้ง ให้สอดคล้องกับ ระยะการเลื่อนตำแหน่งของชิ้นงาน และระยะการเลื่อนตำแหน่งของชิ้นงานดังกล่าว ยังต้องมี ความสัมพันธ์กับขนาดลายวงจรที่ได้ออกแบบไว้ โดยเทคนิคดังกล่าวจะใช้การเคลือบชั้นฟิล์มน้ำยาไว แสง และล้างลายเพียงครั้งเดียวOCR 18/01/2024 This invention focuses on reducing the size of the circuit pattern, increasing the density of the circuit pattern, and increasing the surface area of the pattern on the photosensitive film layer by using the trimming lithography process, which is a technique that uses 2 or more exposures with the energy value of each exposure adjusted to be consistent with the distance of the workpiece displacement. And the distance of the workpiece displacement must also be related to the size of the designed circuit pattern. This technique uses the photosensitive film layer coating and the pattern washing only once.

Claims (1)

1. วิธีการสำหรับจัดให้มีกระแสสื่อที่เข้ารหัสซึ่งมีขั้นตอนดังต่อไปนี้ การเข้ารหัสลำดับภาพไปยังกระแสสื่อที่เข้ารหัสไว้แบบปรับขนาดได้ซึ่งประกอบด้วยชุดของชั้น และ การจัดให้มีสัญญาณรับส่งที่สอดคล้องกับชั้นหนึ่งจากชุดของชั้นดังกล่าว โดยที่สัญญาณรับส่ง ดังกล่าวมีส่วนที่เป็นสารสนเทศที่ระบุกระบวนการแปลงรหัสซึ่งเมื่อใช้กับชั้นดังกล่าวหลังจากเข้ารหัส แล้วจะทำให้เกิดกระแสสื่อที่แปลงรหัสแล้วตามต้องการ และคุณสมบัติการใส่รหัสซึ่งทำให้กระแสสื่อ ที่แปลงรหัสแล้วดังกล่าวมีลักษณะพิเศษ1. A method for providing an encrypted media stream, which includes the steps below. Encoding a sequence of images to a scalable encoded media stream consisting of a set of layers and providing a transmissions corresponding to one layer from that set of layers. Where the signal is transmitted It contains information sections that identify the transcoding process, which when applied to that layer after encoding. This will generate a stream of media that is transcoded as needed. And a coding feature that makes the media stream Such transcoded has a special effect.
TH1101001717A 2011-08-25 How to create patterns on a base plate using trimming lithography techniques TH98717B (en)

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TH118333A TH118333A (en) 2012-11-30
TH98717B true TH98717B (en) 2024-02-06

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
MY198993A (en) Photosensitive resin composition and method for forming circuit pattern
WO2018097692A3 (en) Method and apparatus for encoding/decoding image, and recording medium in which bit stream is stored
WO2014134224A3 (en) Methods and apparatus for three-dimensional printed composites
JP2009510807A5 (en)
JP2014534458A5 (en)
MY186932A (en) Photosensitive resin composition
KR102572426B9 (en) Photosensitive element resin composition for forming barrier layer method for forming resist pattern and method for producing printed wiring board
WO2006109117A8 (en) Method, device and system for effectively coding and decoding of video data
WO2014114582A3 (en) Security element having volume hologram and printed feature
MY199471A (en) Photosensitive resin composition
HRP20230996T1 (en) Video decoding apparatus and video encoding apparatus
JP2015019303A5 (en)
IL287442A (en) Actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition, resist film, pattern forming method, and method for manufacturing electronic device
WO2011020599A3 (en) Method and device for producing a three-dimensional object
JP2016527810A5 (en)
WO2010015384A3 (en) Method for the production of security elements having registered layers of designs
MY174577A (en) Photosensitive resin composition and photosensitive resin laminate
EP3257835A4 (en) Compound, resin, lithography underlayer film forming material, lithography underlayer film forming composition, lithography underlayer film, method for forming resist pattern, method for forming circuit pattern, and method for purifying compound or resin
EP3885378A4 (en) Actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition, resist film, pattern formation method, and production method for electronic device
WO2009053586A3 (en) Method of producing a relief image arrangement usable in particular in the field of flexography and arrangement produced according to this method.
EP3279179A4 (en) Compound, resin, and method for purifying same, underlayer film formation material for lithography, underlayer film forming composition, and underlayer film, and method for forming resist pattern and method for forming circuit pattern
IL278023A (en) Photosensitive composition for euv light, pattern forming method, and method for manufacturing electronic device
WO2009078207A1 (en) Method for pattern formation
JP2020505806A5 (en)
TWI563342B (en) Photosensitive resin compound, photosensitive element, method for forming resist pattern, method for producing print wiring board, and print wiring board