TH89201A - เครื่องดำเนินกรรมวิธีด้วยเลเซอร์ - Google Patents

Abstract

DC60 เครื่องดำเนินกรรมวิธีด้วยเลเซอร์ประกอบรวมด้วยเลนส์ตีบแสง 31 สำหรับการทำให้แสง เลเซอร์ดำเนินกรรมวิธี และแสงเลเซอร์หาพิสัย L2 ลู่รวมเข้าสู่แผ่นเวเฟอร์ 1 ตัวกระตุ้นสำหรับการ กระตุ้นเลนส์ 31 ระบบเชิงแสงทำรูปร่าง 49 สำหรับการเพิ่มความคลาดเอียงแก่แสงสะท้อน L3 ของ แสงเลเซอร์หาพิสัย ไดโอดเชิงแสงจตุภาค 42 สำหรับการรับแสงสะท้อน L3 และส่งออกค่าแรงดัน ไฟฟ้าซึ่งสอดคล้องกันกับปริมาณแสงของไดโอดเชิงแสงจตุภาค และตัวควบคุมสำหรับการคุมตัว กระตุ้น และจัดตำแหน่งของจุดลู่รวม P2 ของแสงเลเซอร์หาพิสัย L2 ไว้ระหว่างจุดโฟกัส P0 ของ เลนส์ และเลนส์ 31 เพื่อการทำให้เป็นไปได้ที่จะก่อรูปบริเวณดัดแปรขึ้นมา ณ ตำแหน่งที่ลึกลงไปมาก ขึ้นจากผิวหน้าด้านหน้า 3 ซึ่งเป็นการยับยั้งผลเสียเนื่องด้วยแสงสะท้อน L3 การควบคุมมีพื้นฐานอยู่ บนค่าคำนวณที่ผ่านการหารโดยผลรวมของค่าแรงดันไฟฟ้า ดังนั้น จึงกันไม่ให้ค่าคำนวณเปลี่ยน แปลงไปโดยปริมาณของแสงสะท้อน เครื่องดำเนินกรรมวิธีด้วยเลเเซอร์ประกอบรวมด้วยเลนส์ตีบแสง 31 สำหรับการทำให้แสง เลเซอร์ดำเนินกรรมวิธี และแสงเลเซอร์หาพิสัย L2 ลู่รวมเข้าสู่แผ่นเวเฟอร์ 1 ตัวกระตุ้นสำหรับการ กระตุ้นเลนส์ 31 ระบบเชิงแสงทำรูปร่าง 49 สำหรับการเพิ่มความคลาดเอียงแก่แสงสะท้อน L3 ของ แสงเลเซอร์หาพิสัย ไดโอดเชิงแสงจตุภาค 42 สำหรับการรับแสงสะท้อน L3 และส่งออกค่าแรงดัน ไฟฟ้าซึ่งสอดคล้องกันกับปริมาณแสงของไดโอดเชิงแสงจตุภาค และตัวควบคุมสำหรับการคุมตัว กระตุ้น และจัดตำแหน่งของจุดลู่รวม P2 ของแสงเลเซอร์หาพิสัย L2 ไว้ระหว่างจุดโฟกัส P0 ของ เลนส์ และเลนส์ 31 เพื่อการทำให้เป็นไปได้ที่จะก่อรูปบริเวณดัดแปรขึ้นมา ณ ตำแหน่งที่ลึกลงไปมาก ขึ้นจากผิวหน้าด้านหน้า 3 ซึ่งเป็นการยับยั้งผลเสียเนื่องด้วยแสงสะท้อน L3 การควบคุมมีพื้นฐานอยู่ บนค่าคำนวณที่ผ่านการหารโดยผลรวมของค่าแรงดันไฟฟ้า ดังนั้น จึงกันไม่ให้ค่าคำนวณเปลี่ยน แปลงไปโดยปริมาณของแสงสะท้อน

Claims (4)

1. เครื่องดำเนินกรรมวิธีด้วยเลเซอร์สำหรับการก่อรูปบริเวณดัดแปรที่จะเป็นจุดเริ่มต้นการตัด ขึ้นมาภายในวัตถุแบนราบรับการดำเนินกรรมวิธีโดยการฉายที่วัตถุด้วยแสงเลเซอร์ที่หนึ่ง ในขณะที่ จัดให้จุดลู่รวมอยู่ภายในวัตถุ เครื่องประกอบด้วย เลนส์ตีบแสงสำหรับทำให้แสงเลเซอร์ที่หนึ่ง และแสงเลเซอร์ที่สองซึ่งสะท้อนมาโดยพื้น ผิวรับการฉายแสงเลเซอร์ที่ได้ฉายด้วยแสงเลเซอร์ที่หนึ่งในวัตถุลู่รวมเข้าสู่วัตถุ วิธีทางขับสำหรับการกระตุ้นให้เลนส์ตีบแสงเคลื่อนที่ไปตามแนวของทิศทางของแกนเชิง แสงของเลนส์ตีบแสง วิถีทางเพิ่มความคลาดเอียงสำหรับการเพิ่มความคลาดเอียงแก่แสงสะท้อนของแสงเลเซอร์ที่ สองที่สะท้อนมาโดยพื้นผิวรับการฉายแสงเลเซอร์ อุปกรณ์ตัวตรวจรู้แสงสำหรับการรับแสงสะท้อนผ่านการเพิ่มความคลาดเอียงของแสง เลเซอร์ที่สองที่สะท้อนมาโดยพื้นผิวรับการฉายแสงเลเซอร์ในลักษณะแยก และการส่งออกค่าส่งออก แต่ละค่าที่สอดคล้องกันกับปริมาณแสงของส่วนประกอบแสงสะท้อนของแสงเลเซอร์ที่สองที่ได้รับ มาในลักษณะแยก และ วิถีทางควบคุมสำหรับการคุมวิถีทางขับในลักษณะที่ให้มีการจัดตำแหน่งจุดลู่รวมของแสง เลเซอร์ที่หนึ่งไว้ที่ระยะที่กำหนดไว้ล่วงหน้าจากพื้นผิวรับการฉายแสงเลเซอร์ ที่ซึ่งแสงเลเซอร์ที่สองได้รับการทำให้ลู่รวมเข้าสู่วัตถุโดยเลนส์โดยเลนส์ตีบแสงในลักษณะที่ให้มีจุดลู่ รวมอยู่ระหว่างจุดโฟกัสของเลนส์ตีบแสง และเลนส์ตีบแสง และ ที่ซึ่งวิถีทางควบคุมจะคุมวิถีทางขับโดยสอดคล้องตามค่าคำนวณที่ได้มาโดยการนำค่าส่งออก ที่ส่งออกมาจากอุปกรณ์ตัวตรวจรู้แสงไปผ่านการหารโดยผลรวมของค่าส่งออก และการทำการ คำนวณที่กำหนดไว้ล่วงหน้า

2. เครื่องดำเนินกรรมวิธีด้วยเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งวิถีทางควบคุมจะคุมวิถีทางขับใน ลักษณะที่ให้ค่าคำนวณนั้นคงที่

3. เครื่องดำเนินกรรมวิธีด้วยเลเซอร์สำหรับการก่อรูปบริเวณดัดแปรที่จะเป็นจุดเริ่มต้นการตัด ขึ้นมาภายในวัตถุแบนราบรับการดำเนินกรรมวิธีตามแนวของแนวทำการตัดวัตถุโดยการฉายวัตถุด้วย แสงเลเซอร์ที่หนึ่ง ในขณะที่จัดให้จุดลู่รวมอยู่ภายในวัตถุด้วยเลนส์ตีบแสง โดยที่พร้อมไปกับการเคลื่อนเลนส์ตีบแสงไปตามแนวของแนวทำการตัดอย่างสัมพัทธ์กับ วัตถุ ในขณะที่ทำให้เลนส์ตีบแสงนั้นทำให้แสงเลเซอร์ที่หนึ่งลู่รวมภายในวัตถุ เครื่องทำให้เลนส์ตีบแสงนั้นทำให้แสงเลเซอร์ที่หนึ่งลู่รวมภายในวัตถุ เลเซอร์ที่ผ่านการฉายด้วยแสงเลเซอร์ที่หนึ่งในวัตถุลู่รวมเข้าสู่วัตถุในลักษณะที่ทำให้มีการจัด ตำแหน่งจุดลู่รวมของแสงเลเซอร์ที่สองไว้ระหว่างจุดโฟกัสของเลนส์ตีบแสง และเลนส์ตีบแสง การเพิ่มความคลาดเอียงแก่แสงสะท้อนของแสงเลเซอร์ที่สองที่สะท้อนโดยพื้นผิวรับการฉาย แสงเลเซอร์ การรับแสงสะท้อนผ่านการเพิ่มความคลาดเอียงของแสงของแสงเลเซอร์ที่สองที่สะท้อนมาโดยพื้นผิว รับการฉายแสงเลเซอร์ในลักษณะแยก และการส่งออกค่าส่งออกแต่ละค่าซึ่งสอดคล้องกันกับปริมาณ แสงของส่วนประกอบของแสงสะท้อนของแสงเลเซอร์ที่สองที่รับมาในลักษณะแยก และ การกระตุ้นให้เลนส์ตีบแสงเคลื่อนที่ตามแนวของทิศทางของแกนเชิงแสงของเลนส์ตีบแสง ในลักษณะที่ทำให้มีการจัดตำแหน่งของจุดลู่รวมของแสงเลเซอร์ที่หนึ่งไว้ระยะที่กำหนดไว้ล่วงหน้า จากพื้นผิวรับการฉายแสงเลเซอร์โดยสอดคล้องตามค่าคำนวณที่ได้มาโดยการนำค่าที่ส่งออกไปผ่าน การหารโดยผลรวมของค่าส่งออก และการทำการคำนวณที่กำหนดไว้ล่วงหน้า

4. เครื่องดำเนินกรรมวิธีด้วยเลเซอร์สำหรับการก่อรูปบริเวณดัดแปรที่จะเป็นจุดเริ่มต้นการตัด ขึ้นมาภายในวัตถุแบนราบรับการดำเนินกรรมวิธีตามแนวของแนวทำการตัดวัตถุโดยการฉายวัตถุด้วย แสงเลเซอร์ที่หนึ่ง ในขณะที่จัดให้จุดลู่รวมอยู่ภายในวัตถุด้วยเลนส์ตีบแสง โดยที่พร้อมไปกับการเคลื่อนเลนส์ตีบแสงไปตามแนวของแนวทำการตัดอย่างสัมพัทธ์กับ วัตถุ ในขณะที่ทำให้เลนส์ตีบแสงนั้นทำให้แสงเลเซอร์ที่สองที่สะท้อนมาโดยพื้นผิวรับการฉายแสง เลเซอร์ที่ผ่านฉายด้วยเลเซอร์ที่หนึ่งในวัตถุลู่รวมในลักษณะที่ทำให้มีการจัดตำแหน่งจุดลู่รวม ของแสงเลเซอร์ที่สองไว้ระหว่างจุดโฟกัสของเลนส์ตีบแสง และเลนส์ตีบแสง เครื่องทำการเพิ่มความคลาดเอียงแก่แสงสะท้อนของแสงเลเซอร์ที่สองที่สะท้อนโดยพื้นผิว รับการฉายแสงเลเซอร์ การรับแสงสะท้อนผ่านการเพิ่มความคลาดเอียงของแสงเลเซอร์ที่สองที่สะท้อนมาโดยพื้นผิว รับการฉายแสงเลเซอร์ในลักษณะแยก และการส่งออกค่าส่งออกแต่ละค่าซึ่งสอดคล้องกันกับปริมาณ แสงของส่วนประกอบของแสงสะท้อนของแสงเลเซอร์ที่สองที่รับมาในลักษณะแยก การกระตุ้นให้เลนส์ตีบแสงเคลื่อนที่ตามแนวของทิศทางของแกนเชิงแสงของเลนส์ตีบแสง ในลักษณะที่ทำให้มีการจัดตำแหน่งของจุดลู่รวมของแสงเลเซอร์ที่หนึ่งไว้ที่ระยะที่กำหนดไว้ล่วงหน้า จากพื้นผิวรับการฉายแสงเลเซอร์โดยสอดคล้องตามค่าคำนวณที่ได้มาโดยการนำค่าที่ส่งออกไปผ่าน การหารโดยผลรวมของค่าส่งออก และการทำการคำนวณที่กำหนดไว้ล่วงหน้า และการทำให้ได้มาซึ่ง สารสนเทศการกระตุ้นที่เกี่ยวข้องกับการกระตุ้นเลนส์ตีบแสง และ จากนั้น โดยพร้อมไปกับการเคลื่อนเลนส์ตีบแสงไปตามแนวของแนวทำการตัดอย่างสัมพัทธ์ กับวัตถุ ในขณะที่ทำให้แสงเลเซอร์ที่หนึ่งลู่รวมภายในวัตถุด้วยเลนส์ตีบแสง การกระตุ้นเลนส์ตีบแสงให้เคลื่อนที่ตามแนวของทิศทางของแกนเชิงแสงของเลนส์ตีบแสง ในลักษณะที่ทำให้มีการจัดตำแหน่งของจุดลู่รวมของแสงเลเซอร์ที่หนึ่งไว้ระยะที่กำหนดไว้ล่วงหน้า จากพื้นผิวรับฉายแสงเลเซอร์โยสอดคล้องตามค่าคำนวณที่ได้มาโดยการนำค่าที่ส่งออกไปผ่าน การหารโดยผลรวมของค่าส่งออก และการทำการคำนวณที่กำหนดไว้ล่วงหน้า และการทำให้ได้มาซึ่ง สารสนเทศการกระตุ้นที่เกี่ยวข้องกับการกระตุ้นเลนส์ตีบแสง และ จากนั้น โดยพร้อมไปกับการเคลื่อนเลนส์ตีบแสงไปตามแนวของแนวทำการตัดอย่างสัมพัทธ์ กับวัตถุ ในขณะที่ทำให้แสงเลเซอร์ที่หนึ่งลู่รวมภายในวัตถุด้วยเลนส์ตีบแสง การกระตุ้นเลนส์ตีบแสงให้เคลื่อนที่ไปโดนสอดคล้องกันกับสารสนเทศการกระตุ้นที่มีการ ทำให้ได้มาก่อนหน้านั้น