TH88135B

TH88135B - ชุดประกอบเพื่อการกดและวิธีการสำหรับการก่อขึ้นรูปรอยยุบภายในแผ่นยิบซั่มเปียกซึ่งกำลังเคลื่อนที่

Info

Publication number: TH88135B
Application number: TH1401003328A
Authority: TH
Inventors: ฌอง; หลุยส์ ฌอง; ไอดะ นายฮิโรยูกิ มาชิดะ นายคัตสึอากิ; มองร็อลล์; เรมี่
Original assignee: โชวะ เดนโกะ เคเค; แซ็งต์ กอแบ็ง ปลาโก เอสเอเอส
Filing date: 2012-12-13
Publication date: 2022-05-23

Abstract

DC60 (05/09/57) ชุดประกอบเพื่อการกดและวิธีการสำหรับการก่อขึ้นรูปรอยยุบภายในแผ่นยิบซั่มเปียกซึ่ง กำลังเคลื่อนที่ได้รับการเปิดเผย ชุดประกอบนี้ประกอบรวมด้วยหัวกดซึ่งประกอบรวมด้วยพื้นผิวซึ่ง ได้รับการจัดเรียงให้สัมผัสกับแผ่น, และชิ้นประกอบรองรับ, หัวกดซึ่งได้รับการจัดเรียงเพื่ออัดส่วน ของแผ่นระหว่างพื้นผิวกดและชิ้นประกอบรองรับเพื่อก่อรูปรอยยุบภายในแผ่น พื้นผิวกดนี้ ประกอบรวมด้วยส่วนพื้นผิวที่หนึ่งและที่สองซึ่งแยกจากกันโดยส่วนนูน ซึ่งได้รับการจัดเรียงเพื่อกด แผ่นเข้าหาหัวรองรับด้วยแรงอัดน้อยกว่าส่วนพื้นผิวที่หนึ่งและที่สอง ชุดประกอบนี้ประกอบรวม เพิ่มเติมด้วยแรงอัดที่น้อยกว่าส่วนพื้นผิวที่หนึ่งและที่สอง ชุดประกอบนี้ประกอบรวมเพิ่มเติมด้วย วิถีทางการขับสำหรับการเคลื่อนหัวกดและชิ้นประกอบรองรับนี้ในทิศทางที่หนึ่งซึ่งสมนัยอย่างเป็น สำคัญกับทิศทางของแผ่นซึ่งเคลื่อนที่, และทิศทางที่สองซึ่งตั้งฉากอย่างเป็นสำคัญกับระนาบของแผ่น ในขณะที่ความเร็วของชุดประกอบเพื่อการกดในทิศทางที่หนึ่งเข้าคู่อย่างเป็นสำคัญกับอัตราเร็วของ แผ่น

Claims

1. ซับสเตรทจานแม่เหล็ก ซึ่งในที่นี้ แอมปลิจูด Wa ของความเป็นลอนพื้นผิวซึ่งได้รับการวัดค่าโดยการใช้ อินเตอร์ฟีรอมิเตอร์สำหรับจานแบบอเนกประสงค์ ณ ความยาวคลื่นสำหรับการวัดค่าเท่ากับ 5.0 มิลลิเมตร มีค่าอยู่ภายในพิสัยเท่ากับ 0.1 นาโนเมตร ถึง 0.5 นาโนเมตร แอมปลิจูดเฉลี่ย Wb ของความเป็นลอนระดับไมโครที่เกิดขึ้นบนความเป็นลอนซึ่งวัดค่าได้ โดยการใช้กล้องจุลทรรศน์สำหรับการวิเคราะห์เชิงโครงสร้างพื้นผิวแบบสามมิติ ณ ความยาวคลื่น เพื่อการวัดค่าเท่ากับ 30 ไมโครเมตร ถึง 200 ไมโครเมตร มีค