TH85401A

TH85401A - Equipment and methods for coating substrates

Info

Publication number: TH85401A
Application number: TH601002433A
Authority: TH
Inventors: อัลฟอนซูส ฟรานซิสคุส มาเรีย เชด แวน เวสทรัม นายโจฮันเนส; คริสตอฟ เบอร์นาร์ด บัพทิสต์ นายลอเรนท์; ไกลจ์ม์ นายเกอราร์ดัส
Original assignee: นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์; นางสาวปรับโยชน์ ศรีกิจจาภรณ์; นายรุทร นพคุณ
Filing date: 2006-05-29
Publication date: 2007-07-05

Abstract

DC60 (24/08/49) การประดิษฐ์นี้เกี่ยวข้องกับอุปกรณ์สำหรับการเคลือบซับสเตรตโดยใช้การเกาะจับไอทาง กายภาพ ซึ่งประกอบด้วยช่องสุญญากาศซึ่งขดลวดได้รับการใส่ไว้สำหรับการคงวัสดุนำไฟฟ้า ปริมาณหนึ่งไว้ในการลอยและสำหรับทำความร้อนและทำให้วัสดุนั้นกลายเป็นไอ โดยใช้กระแส ไฟ ฟ้าแปรผันในขดลวด และซึ่งวิถีทางได้รับการใส่ไว้ในขดลวดเพื่อกั้นแยกขดลวดจากวัสดุลอย ดัง กล่าว ตามการประดิษฐ์นี้ อุปกรณ์มีลักษณะเฉพาะซึ่งวิถีทางการกั้นแยกเป็นส่วนหนึ่งของ ภาชนะ บรรจุที่ทำมาจากวัสดุไม่นำไฟฟ้า ภาชนะบรรจุมีช่องเปิดหนึ่งหรือหลายช่องสำหรับการนำ วัสดุนำ ไฟฟ้าที่กลายเป็นไอแล้วไปยังซับสเตรตที่จะได้รับการเคลือบ การประดิษฐ์นี้ยังเกี่ยวข้อง กับวิธีการ สำหรับการเคลือบซับสเตรตโดยใช้การเกาะจับไอทางกายภาพอีกด้วย การประดิษฐ์นี้เกี่ยวข้องกับอุปกรณ์สำหรับการเคลือบซับสเตรตโดยใช้การเกาะจับไอทาง กายภาพ ซึ่งประกอบด้วยช่องสุญญากาศซึ่งขดลวดได้รับการใส่ไว้สำหรับการคงวัสดุนำไฟฟ้า ปริมาณหนึ่งไว้ในการลอยและสำหรับทำความร้อนและทำให้วัสดุนั้นกลายเป็นไอ โดยใช้กระแส ไฟฟ้าแปรผันในขดลวด และซึ่งวิถีทางได้รับการใส่ไว้ในขดลวดเพื่อกั้นแยกขดลวดจากวัสดุลอย ดังกล่าว ตามการประดิษฐ์นี้ อุปกรณ์มีลักษณะเฉพาะซึ่งวิถีทางการกั้นแยกเป็นส่วนหนึ่งของภาชนะ บรรจุที่ทำมาจากวัสดุไม่นำไฟฟ้า ภาชนะบรรจุมีช่องเปิดหนึ่งหรือหลายช่องสำหรับการนำวัสดุนำ ไฟฟ้าที่กลายเป็นไอแล้วไปยังซับสเตรตที่จะได้รับการเคลือบ การประดิษฐ์นี้ยังเกี่ยวข้องกับวิธีการ สำหรับการเคลือบซับสเตรตโดยใช้การเกาะจับไอทางกายภาพอีกด้วย DC60 (24/08/49) This invention involves a device for the substrate coating using a physical vapor binding consisting of a vacuum chamber through which a coil is inserted for the preservation of the conductive material. A certain quantity is placed in the float and for heating and vaporizing the material using a variable electric current in the coil. And a path has been placed in the coil to separate the coil from the floating material. The device is unique in that the barrier path forms part of the container made of non-conductive material. The container has one or more openings for the conduction of the vaporized conductive material to the substrate to be coated. The invention also involves a method for coating the substrate using physical vapor binding. The invention involved a device for coating the substrate using a physical vapor deposition consisting of a vacuum cavity in which a coil was inserted for the preservation of the conductive material. A certain amount is placed in the float and for heating and vaporizing the material using a variable electric current in the coil. And a path has been placed in the coil to separate the coil from the floating material. The device is unique in that the barrier path forms part of the container. Containers made from non-conductive materials Containers have one or more openings for conducting waterways. The vaporized electricity goes to the substrate to be coated. This invention also involves a method. Also for coating the substrate using physical vapor binding.

Claims

: DC60 (24/08/49) This invention involves a device for coating the substrate using a physical vapor deposition consisting of a vacuum cavity through which a coil is inserted for the preservation of the conductive material. A certain quantity is placed in the float and for heating and vaporizing the material using a variable electric current in the coil. And a path has been placed in the coil to separate the coil from the floating material. The device is unique in that the barrier path forms part of the container made of non-conductive material. The container has one or more openings for the conduction of the vaporized conductive material to the substrate to be coated. The invention also involves a method for coating the substrate using physical vapor binding. The invention involved a device for coating the substrate using a physical vapor deposition consisting of a vacuum cavity in which a coil was inserted for the preservation of the conductive material. A certain amount is placed in the float and for heating and vaporizing the material using a variable electric current in the coil. And a path has been placed in the coil to separate the coil from the floating material. The device is unique in that the barrier path forms part of the container. Containers made from non-conductive materials Containers have one or more openings for conducting waterways. The vaporized electricity goes to the substrate to be coated. This invention also involves a method. Also for the substrate coating using physical vapor binding. (Item one) which will appear on the advertisement page:

1. A device for coating the substrate using a physical vapor deposition consisting of a vacuum chamber where a coil (1) is inserted for stabilizing the conductive material content. Floating and for heating and evaporating the material Where a variable current is applied in the coil (1) where the path is inserted in the coil to separate the coil (1) from the floating material and where the trajectory: