TH80377B - " อุปกรณ์และวิธีการสร้างลำอาร์กของอิเล็กตรอน " - Google Patents

" อุปกรณ์และวิธีการสร้างลำอาร์กของอิเล็กตรอน "

Info

Publication number
TH80377B
TH80377B TH501004820A TH0501004820A TH80377B TH 80377 B TH80377 B TH 80377B TH 501004820 A TH501004820 A TH 501004820A TH 0501004820 A TH0501004820 A TH 0501004820A TH 80377 B TH80377 B TH 80377B
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
electrodes
electrode
room
electron beam
potential difference
Prior art date
Application number
TH501004820A
Other languages
English (en)
Other versions
TH80377A (th
Inventor
นายโนบูอากิ ทาคาฮาชิ นายโยโซ โอกะ
Original Assignee
โกลบอล เอ็นไวรอนเมนทอล คอนเซ็ปท์สแอลแอลซี
Filing date
Publication date
Application filed by โกลบอล เอ็นไวรอนเมนทอล คอนเซ็ปท์สแอลแอลซี filed Critical โกลบอล เอ็นไวรอนเมนทอล คอนเซ็ปท์สแอลแอลซี
Publication of TH80377B publication Critical patent/TH80377B/th
Publication of TH80377A publication Critical patent/TH80377A/th

Links

Abstract

อุปกรณ์สร้างลำอาร์กอิเล็กตรอนและวิธีการสำหรับลดมลพิษในแก๊ส อุปกรณ์ประกอบด้วย ขั้วไฟฟ้าที่หนึ่งและขั้วไฟฟ้าที่สองและห้องที่อยู่ระหว่างขั้วไฟฟ้าทั้งสองนั้น ทำให้เกิดความต่างศักย์ไฟฟ้าที่ ความถี่หนึ่งคร่อมระหว่างขั้วไฟฟ้าทั้งสองนั้น ซึ่งทำให้เกิดลำอาร์กอิเล็กตรอนหลายลำระหว่างขั้วไฟฟ้า ขั้วไฟฟ้ามีพื้นผิวที่มีลักษณะเป็นขั้นที่ทำให้บริเวณส่วนที่หนึ่งที่อยู่ตอนกลางของขั้วไฟฟ้าจะอยู่ใกล้ชิดกัน มากกว่าบริเวณส่วนที่สองที่อยู่ด้านนอก การจัดรูปแบบเป็นขั้น ๆ นี้ทำให้เกิดลำอาร์กอิเล็กตรอนขึ้นอย่าง สม่ำเสมอตลอดทั้งตัวขั้วไฟฟ้า ซึ่งเป็นลำที่พาดขวางห้องนั้นอยู่ ดังนั้นจึงมีประสิทธิภาพในการบำบัด โมเลกุลที่อยู่ในห้องนั้น

Claims (1)

1. อุปกรณ์สำหรับสร้างลำอาร์กอิเล็กตรอนเพื่อการบำบัดแก๊ส โดยอุปกรณ์ดังกล่าวประกอบด้วย ขั้วไฟฟ้าขั้วที่หนึ่ง ขั้วไฟฟ้าขั้วที่สองที่วางอยู่ห่างจากขั้วไฟฟ้าขั้วที่หนึ่งที่ได้กล่าวมาเป็นระยะทางหนึ่ง และทำให้เกิด ปริมาตรที่ว่างระหว่างขั้วไฟฟ้าที่หนึ่งและขั้วไฟฟ้าที่สองที่ได้กล่าวมา แหล่งจ่ายความต่างศักย์ไฟฟ้าสำหรับสร้างความต่างศักย์ไฟฟ้าระหว่างขั้วไฟฟ้าที่หนึ่งและขั้วไฟฟ้า ที่สองที่ได้กล่าวมา และ มีลำอาร์กอิเล็กตรอนเกิดขึ้นหลายลำระหว่างขั้วไฟฟ้าที่หนึ่งและ
TH501004820A 2005-10-14 อุปกรณ์และวิธีการสร้างลำอาร์กของอิเล็กตรอน TH80377A (th)

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TH80377B true TH80377B (th) 2006-10-12
TH80377A TH80377A (th) 2006-10-12

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW200501215A (en) Plasma processor, manufacturing method of plasma reactor, and processing method of plasma
KR102094056B1 (ko) 플라즈마 발생 장치
TW200719983A (en) Lithographic apparatus comprising an electrical discharge generator and method for cleaning an element of a lithographic apparatus
HK1094501A1 (en) Method and device for producing extreme ultraviolet radiation or soft x-ray radiation
WO2005025280A3 (en) Method and apparatus for producing extreme ultraviolett radiation or soft x-ray radiation
WO2005104168A3 (en) Improved source for energetic electrons
JP7076186B2 (ja) プラズマ発生装置およびプラズマ発生用電極体
WO2006077582A3 (en) System and method for treating biological tissue with a plasma gas discharge
DE602007010169D1 (de) Euv plasmaentladungslampe mit förderbandelektroden
SE0501603L (sv) Plasmaalstrande anordning, plasmakirurgisk anordning och användning av en plasmakirurgisk anordning
MX2011006865A (es) Ensamblado ionizador de electrodos de aire.
NL1033983A1 (nl) Inrichting voor het opwekken van extreem ultraviolette straling door middel van elektrische ontlading aan regenereerbare elektroden.
WO2002075747A3 (en) Electron beam irradiation apparatus
DE602004031843D1 (de) Plasmaerzeugungselektrode, plasmaerzeugungseinrichtun und abgasreinigungsvorrichtung
ATE533175T1 (de) Korona-entladungslampen
CN100527550C (zh) 离子发生装置
TW200701348A (en) Nonuniform ion implantation apparatus and method using a wide beam
TH80377B (th) " อุปกรณ์และวิธีการสร้างลำอาร์กของอิเล็กตรอน "
JP6871038B2 (ja) 放電ランプ、オゾン生成装置およびオゾン生成方法
TH80377A (th) อุปกรณ์และวิธีการสร้างลำอาร์กของอิเล็กตรอน
JP3580294B2 (ja) 沿面放電電極およびこれを用いたガス処理装置、ガス処理方法
JP6157764B1 (ja) 水処理装置および水処理方法
AU2002217016A1 (en) Method and device for generating microconvections
ATE420457T1 (de) Vorrichtung und verfahren zur plasmabehandlung von objekten
WO2006134123A3 (de) Verfahren und vorrichtung zur erzeugung grossflächiger atmosphärendruck-plasmen