TH76162A

TH76162A - A complete set of equipment and procedures for treating substrate surfaces using activated reactive gas.

Info

Publication number: TH76162A
Application number: TH501004403A
Authority: TH
Inventors: ที่สาม; การ์จ นายไดวาการ์; อาร์โนลด์ ครูส นายสตีเวน; แอนโธนี่ย์ โรเบิร์ตสัน นายอีริค
Original assignee: นายธเนศ เปเรร่า; นายโรจน์วิทย์ เปเรร่า; นายโรจน์วิทย์ เปเรร่า นายธเนศ เปเรร่า
Filing date: 2005-09-20
Publication date: 2006-03-02

Abstract

DC60 (19/12/48) เนื้อหาในที่นี้เป็นการอธิบายเกี่ยวกับชุดอุปกรณ์และกรรมวิธีสำหรับปรับสภาพบริเวณอย่างน้อย ส่วนหนึ่งของพื้นผิวของฐานรอง ในลักษณะอย่างหนึ่งนั้น ชุดอุปกรณ์ดังกล่าวจะมี ห้องดำเนินกรรมวิธีซึ่งประกอบด้วยเนื้อที่ว่างภายใน, ฐานรองและท่อร่วมไอเสีย แหล่งจ่ายก๊าซทำปฏิกิริยาโดยที่ก๊าซสำหรับดำเนินกรรมวิธีซึ่งประกอบด้วยก๊าซทำปฏิกิริยา ตั้งแต่หนึ่งชนิดขึ้นไปและตัวเลือกที่ไม่บังคับคือก๊าซเติมแต่งจะถูกกระตุ้นให้ทำงาน โดยแหล่งพลังงาน ตั้งแต่หนึ่งแห่งขึ้นไปเพื่อให้ได้ก๊าซทำปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้นให้ทำงานและ ท่อแจกจ่ายซึ่งมีเส้นทางเชื่อมต่อของไหลเข้ากับและแหล่งจ่ายซึ่งประกอบด้วยช่องเปิดจำนวน มากกว่าหนึ่งช่องซึ่งส่งก๊าซทำปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้นให้ทำงานเข้าไปในเนื้อที่ว่างภายในโดยที่ก๊าซทำ ปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้นให้ทำงานจะมีสัมผัสกับพื้นผิวและทำให้มีก๊าซทำปฏิกิริยาที่ถูกระตุ้นให้ทำงานซึ่ง ผ่านการใช้งานและ/หรือผลิตผลที่ระเหยได้ซึ่งถูกดูดออกมาจากเนื้อที่ว่างภายในดังกล่าวโดยผ่านทางท่อ ร่วมไอเสีย เนื่อหาในที่นี้เป็นการอธิบายเกี่ยวกับชุดอุปกรณ์และกรรมวิธีสำหรับปรับสภาพบริเวณอย่างน้อย ส่วนหนึ่งของพื้นผิวของฐานรอง ในลักษณะอย่างหนึ่งนั้น ชุดอุปกรณ์ดังกล่าวจะมี ห้องดำเนินกรรมวิธีซึ่งประกอบด้วยเนื้อที่วางภายใน, ฐานรองและท่อร่วมไอเสีย แหล่งจ่ายก๊าซทำปฏิกิริยา โดยที่ก๊าซสำหรับดำเนินกรรมวิธีซึ่งประกอบด้วยก๊าซทำปฏิกิริยา ตั้งแต่หนึ่งชนิดขึ้นไปและตัวเลือกที่ไม่บังคับคือก๊าซเติมแต่งจะถูกกระตุ้นให้ทำงาน โดยแหล่งพลังงาน ตั้งแต่หนึ่งแห่งขึ้นไปเพื่อให้ได้ก๊าซทำปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้นให้ทำงานและ ท่อแจกจ่ายซึ่งมีเส้นทางเชื่อมต่อของไหลเข้ากับและแหล่งจ่ายซึ่งประกอบด้วยช่องเปิดจำนวน มากกว่าหนึ่งช่องซึ่งส่งก๊าซทำปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้นให้ทำงานเข้าไปในเนื้อที่ว่างภายในโดยที่ก๊าซทำ ปฏิกิริยาที่ถูกกระตุ้นให้ทำงานจะมีสัมผัสกับพื้นผิวและทำให้มีก๊าซทำปฏิกิริยาที่ถูกระตุ้นให้ทำงานซึ่ง ผ่านการใช้งานและ/หรือผลิตผลที่ระเหยได้ซึ่งถูกดูดออกมาจากเนื้อที่ว่างภายในดังกล่าว โดยผ่านทางท่อ ร่วมไอเสีย DC60 (19/12/48). Content here is at least a description of the equipment and procedures for area conditioning. Part of the substrate surface In one way The kit contains Processing chamber consisting of internal free space, foot pad and exhaust manifold The reactive gas supply is where the process gas consisting of the reactive gas is One or more types and optional, additive gas is activated. By power source In one or more places to obtain the reactive gas that is activated and Distribution pipes, which provide a path to connect the fluid to and to the supply, consisting of a number of openings. More than one chamber through which the reactive gas is activated into the internal space where the gas acts The triggered reaction has contact with the surface and causes a reaction gas to rub off. Through the use and / or volatile produce which is sucked out of the said internal space via the exhaust manifold, herein describes at least a set of equipment and procedures for area conditioning. Part of the substrate surface In one way The kit contains The processing chamber comprises of the internal laying area, the base plate and the exhaust manifold. Reactive gas supply Where the processing gas consisting of the reaction gas One or more types and optional, additive gas is activated. By power source In one or more places to obtain the reactive gas that is activated and Distribution pipes, which provide a path to connect the fluid to and to the supply, consisting of a number of openings. More than one chamber through which the reactive gas is activated into the internal space where the gas acts The triggered reaction has contact with the surface and causes a reaction gas to rub off. Through the use and / or volatile products that are sucked out of the free internal space. Through the exhaust pipe

Claims

1. A set of equipment for conditioning at least part of the wrong floor of the support base that is more than 2 feet long and more than 1 foot wide and / or 2 square feet or more surface area using. The reactive gas is activated where the kit consists of - a processing chamber with an internal space that has been optimized to enable Support at least part of the substrate surface and the exhaust manifold - the reactive gas supply, which is activated by the operating gas.