TH71181A - เครื่องดำเนินกรรมวิธีด้วยเลเซอร์ - Google Patents

Abstract

DC60 เพื่อจัดให้มีเครื่องดำเนินกรรมวิธีด้วยเลเซอร์ซึ่งสามารถทำให้ลำแสงเลเซอร์สำหรับดำเนิน กรรมวิธีต่อวัตถุที่จะดำเนินกรรมวิธี ลู่รวมที่ตำแหน่งซึ่งใกล้กับตำแหน่งที่กำหนดไว้ล่วงหน้าได้มาก ที่สุดเท่าที่จะเป็นไปได้ เครื่องดำเนินกรรมวิธีด้วยเลเซอร์เป็นเครื่องสำหรับการฉายวัตถุที่ จะดำเนินกรรมวิธีด้วย ลำแสงเลเซอร์ดำเนินกรรมวิธี ในขณะที่ทำให้จุดลู่รวมมีตำแหน่งภายในวัตถุเพื่อการก่อรูปบริเวณ ดัดแปรที่เกิด ขึ้นมาโดยการดูดกลืนแบบหลายโฟตอนขึ้นมาภายในวัตถุตามแนวของแนว ที่ควรทำการ ตัดวัตถุในวัตถุ และประกอบรวมด้วย ชุดเลนส์วัตถุ 5 ที่ประกอบด้วยเลนส์วัตถุดำเนินกรรมวิธี 42 ซึ่ง ทำให้ลำแสงเลเซอร์ดำเ นินกรรมวิธี และลำแสงเลเซอร์หาพิสัยสำหรับการวัดการกระจัดของพื้ นผิว หลักของวัตถุลู่รวมบนแกนเดียวกัน, ส่วนรับแสง 45 ซึ่งรับลำแสงสะ ท้อนของลำแสงเลเซอร์หาพิสัย บนพื้นผิวหลัก และตัวกระตุ้น 43 ซึ่งต รึงเลนส์วัตถุดำเนินกรรมวิธี 42 ไว้โดยสอดคล้องตามลำแสง สะท้อนที่ รับมาในลักษณะที่ให้เลนส์ 42 สามารถเคลื่อนไปหน้าและถอยกลับได้อย่ างอิสระโดยเทียบ กับพื้นผิวหลัก; และตัวเรือน 21 ซึ่งได้ยึดชุดเลเ ซอร์สำหรับการปล่อยลำแสงเลเซอร์ดำเนินกรรมวิธี ติดเข้าไป ชุดเลนส์วัตถุ 5 ได้รับการยึดติดอย่างถอดออกได้กับตัวเรือน 21 เพื่อจัดให้มีเครื่องดำเนินกรรมวิธีด้วยเลเซอร์ซึ่งสามารถทำให้ลำแสงเลเซอร์สำหรับดำเนิน กรรมวิธีต่อวัตถุที่จะดำเนินกรรมวิธี ลู่รวมที่ตำแหน่งซึ่งใกล้กับตำแหน่งที่กำหนดไว้ล่วงหน้าได้มาก ที่สุดเท่าที่จะเป ็นไปได้ เครื่องดำเนินกรรมวิธีด้วยเลเซอร์เป็นเครื่องสำหรับการฉายวัตถุที่ จะดำเนินกรรมวิธีด้วย ลำแสงเลเซอร์ดำเนินกรมวิธี ในขณะที่ทำให้จ ุดลู่รวมมีตำแหน่งภายในวัตถุเพื่อการก่อรูปบริเวณ ดัดแปรที่เกิด ขึ้นมาโดยการดูดกลืนแบบหลายโฟตอนขึ้นมาภายในวัตถุตามแนวของแนว ที่ควรทำการ ตัดวัตถุในวัตถุ และประกอบรวมด้วย ชุดเลนส์วัตถุ 5 ที่ประกอบด้วยเลนส์วัตถุดำเนินกรรวิธี 42 ซึ่ง ทำให้ลำแสงเลเซอร์ดำเ นินกรรมวิธี และลำแสงเลเซอร์หาพิสัยสำหรับการวัดการกระจัดของพื้ นผิว หลักของวัตถุลู่รวมบนแกนเดียวกัน, ส่วนรับแสง 45 ซึ่งลำแสงสะ ท้อนของลำแสงเลเซอร์หาพิสัย บนพื้นผิวหลัก และตัวกระตุ้น 43 ซึ่งต รึงเลนส์วัตถุดำเนินกรรมวิธี 42 ไว้โดยสอดคล้องตามลำแสง สะท้อนที่ รับมาในลักษณะที่ให้เลนส์ 42 สามารถเคลื่อนไปหน้าและถอยกลับได้อย่ างอิสระโดยเทียบ กับพื้นผิวหลัก; และตัวเรือน 21 ซึ่งได้ยึดชุดเลเ ซอร์สำหรับการปล่อยลำแสงเลเซอร์ดำเนินกรรมวิธี ติดเข้าไป ชุดเลนส์วัตถุ 5 ได้รับการยึดติดอย่างถอดออกได้กับตัวเรือน 21

Claims (4)

1. เครื่องดำเนินกรรมวิธีด้วยเลเซอร์สำหรับการฉายวัสถุที่จะดำเนินกรรมวิธีด้วยลำแสงเลเซอร์ ที่หนึ่งเพื่อการดำเนินกรรมวิธีต่อวัตถุ ซึ่งเครื่องประกอบรวมด้วย ส่วนตัวเรือนที่ประกอบด้วยชุดเลเซอร์สำหรับการปล่อยลำแสงเลเซอร์ที่หนึ่งออกมา และ ชุดดำเนินกรรมวิธีที่ประกอบด้วยแหล่งแสงเลเซ อร์ที่สองซึ่งปล่อยลำแสงเลเซอร์ที่สอง ออกมาสำหรับการวัดการกระจัดของพื้นผิวหลักของวัตถุ เลนส์สำหรับการทำให้ลำแสงเลเซอร์ที่หนึ่ง และที่สองลู่รวมสู่วัตถุ กระจกเงาไดโครอิกสำหรับการเปลี่ยนเส้นทางแสงของลำแสงเลเซอร์ที่หนึ่ง และที่สองอย่างน้อยที่สุดหนึ่งเส้นทาง เพื่อให้ลำแสงเลเซอร์ที่หนึ่งและที่สองเข้าสู่เลนส์ในสภาพที่ทั้ง สองลำแสงอยู่บนแกนเชิงแสงเดียวกัน วิถีทางรับแสงสำหรับการรับลำแสงสะท้อนบนพื้นผิวหลัก ของวัตถุ และตัวกระตุ้นสำหรับการตรึงเลนส์ไว้โดยสอดคล้องตามลำแสงสะท้อนที่รับมาในลักษณะ ที่ให้เลนส์นั้นสามารถเคลื่อนไปหน้า และถอยหลับได้อย่างอิสระโดยเทียบกับพื้นผิวหลัก ที่ซึ่งตัวกระตุ้นได้รับการยึดกับตัวเรือนของชุดดำเนินกรรมวิธีสำหรับการบรรจุรับแหล่งแสง เลเซอร์ที่สอง กระจกเงาไดโครอิก และวิถีทางรับแสง ไว้ในนั้น และ ที่ซึ่งชุดดำเนินกรรมวิธีได้รับการยึดติดอย่างถอดออกได้กับส่วนตัวเรือน

2. เครื่องดำเนินกรรมวิธีด้วยเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่ง ส ่วนตัวเรือนประกอบด้วยระบบ เชิงแสงการสังเกต โดยระบบเชิงแสงการสังเ กตได้รับการสร้างให้เหมาะสมสำหรับการปล่อยรังสี มองเห็นได้ก ารสังเกตไปสู่วัตถุบนแกน และสังเกตลำแสงสะท้อนที่สะท้อนที่สะท้อนม าโดยพื้นผิวหลัก ของวัตถุโดยตอบสนองต่อการปล่อยนั่น

3. เครื่องดำเนินกรรมวิธีด้วยเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิข้อ 1 หรือ 2 ที่ซึ่ง ส่วนตัวเรือนประกอบด้วย แผงการยึดติดที่ยื่นไปตามแนวของแกน โดยชุดดำเนินกรรมวิธีได้รับการยึดติดอย่างถอดออกได้กับ พื้นผิวหลักของแผงการยึดติด แผงการยึดติด และชุดดำเนินกรรมวิธีได้รับการจัดตำแหน่งไว้โดย เทียบซึ่งกันและกันโดยการสอดส่วนยื่นที่ยื่นออกมาจากชิ้นหนึ่งของแผงการยึดติด และชุดดำเนิน กรรมวิธีเข้าในรูที่ก่อรูปขึ้นมาในอีกชิ้นหนึ่ง

4. เครื่องดำเนินกรรมวิธีด้วยเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่ง ส่วนตัวเรือนได้รับการก่อรูป ขึ้นมาให้มีส่วนส่งผ่านเลเซอร์ที่หนึ่งสำหรับการส่งผ่านลำแสงเลเซอร์ที่หนึ่ง ณ ตำแหน่งที่สัมผัสกับ ชุดดำเนินกรรมวิธีตามแนวของแกน และ ที่ซึ่ง ตัวเรือนของชุดดำเนินกรรมวิธีได้รับการก่อรูปขึ้นมาให้มีส่วนส่งผ่านเลเซอร์ที่สอง สำหรับการส่งผ่านลำแสงเลเซอร์ที่หนึ่ง ณ ตำแหน่งที่สัมผัสกับส่วนตัวเรือนตามแนวของแกน และ ส่วนส่งผ่านเลเซอร์ที่สามสำหรับการส่งผ่านลำแสงเลเซอร์ที่หนึ่ง และที่สอง ณ ตำแหน่งที่ตรงกันข้าม กันกับเลนส์ตามแนวของแกน