TH66104A - Three-dimensional assembly method - Google Patents

Three-dimensional assembly method

Info

Publication number
TH66104A
TH66104A TH301004343A TH0301004343A TH66104A TH 66104 A TH66104 A TH 66104A TH 301004343 A TH301004343 A TH 301004343A TH 0301004343 A TH0301004343 A TH 0301004343A TH 66104 A TH66104 A TH 66104A
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
wafer
wafers
stud
opening
back surface
Prior art date
Application number
TH301004343A
Other languages
Thai (th)
Inventor
เบิร์นฮาร์ด พ็อกก์ นายเอช.
หยู นายรอย
Original Assignee
นายดำเนิน การเด่น
นายต่อพงศ์ โทณะวณิก
นายวิรัช ศรีเอนกราธา
นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์
Filing date
Publication date
Application filed by นายดำเนิน การเด่น, นายต่อพงศ์ โทณะวณิก, นายวิรัช ศรีเอนกราธา, นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์ filed Critical นายดำเนิน การเด่น
Publication of TH66104A publication Critical patent/TH66104A/en

Links

Abstract

DC60 (13/02/47) มีการบรรยายถึงวิธีการสำหรับการประกอบขึ้นรูปอุปกรณ์วงจรรวมสามมิติซึ่งประกอบด้วย กลุ่มของเวเฟอร์ที่เรียงซ้อนกันใน แนวดิ่งและเชื่อมโยงกัน เวเฟอร์ (1, 2, 3) ถูกเกาะยึดเข้า ด้วยกันโดย การใช้ชั้นเกาะยึด (26, 36) ที่เป็นวัสดุเทอร์โม พลาสติก เช่น โพลีอิไมด์ การเชื่อมโยงทางไฟฟ้าทำให้ เกิด ขึ้นโดยช่องทาง (12, 22) ในเวเฟอร์ที่เชื่อมต่อเข้ากับสตัด (27, 37) สตัดเชื่อมต่อเข้ากับช่องเปิด (13, 23) ที่มีมิติ ทางด้านข้างโตกว่ามิติทางด้านข้างของช่องทางที่พื้นผิวหน้า ของเวเฟอร์ นอกจากนี้ ช่องทาง ในแต่ละเวเฟอร์ไม่จำเป็นต้อง ยื่นขึ้นไปในแนวดิ่งจากพื้นผิวหน้าไปสู่พื้นผิวหลัง ของเวเฟอร์ ชิ้นตัวนำ (102) ซึ่งจัดไว้ให้ในเวเฟอร์ ใต้บริเวณอุปกรณ์และแผ่ยื่นออกไปในทางด้านข้าง อาจจะทำการ เชื่อม โยงช่องทางเข้ากับช่องเปิดเติมโลหะ (103) ในพื้นผิว หลัง ดังนั้น เส้นทางการนำผ่านเวเฟอร์อาจจะถูก นำทางผ่านใต้ อุปกรณ์ของมัน การเชื่อมโยงเพิ่มเติมอาจจะเกิดขึ้นระหว่าง ช่องเปิด (113) กับสตัด (127) เพื่อทำให้เกิดเป็นเส้นทาง การนำความร้อนในแนวดิ่งระหว่างเวเฟอร์ มีการบรรยายถึงวิธีการสำหรับการประกอบขึ้นรูปอุปกรณ์วงจรรวมสามมิติซึ่งประกอบด้วย กลุ่มของเวเฟอร์ที่เรียงซ้อนกันใน แนวดิ่งและเชื่อมโยงกัน เวเฟอร์ (1, 2, 3) ถูกเกาะยึดเข้า ด้วยกันโดย การใช้ชั้นเกาะยึด (26, 36) ที่เป็นวัสดุเทอร์โม พลาสติก เช่น โพลีอิไมด์ การเชื่อมโยงทางไฟฟ้าทำให้ เกิด ขึ้นโดยช่องทาง (12, 22) ในเวเฟอร์ที่เชื่อมต่อเข้ากับสตัด (27, 37) สตัดเชื่อมต่อเข้ากับช่องเปิด (13, 23) ที่มีมิติ ทางด้านข้างโตกว่ามิติทางด้านข้างของช่องทางที่พื้นผิวหน้า ของเวเฟอร์ นอกจากนี้ ช่องทาง ในแต่ละเวเฟอร์ไม่จำเป็นต้อง ยื่นขึ้นไปในแนวดิ่งจากพื้นผิวหน้าไปสู่พื้นผิวหลัง ของเวเฟอร์ ชิ้นตัวนำ (102) ซึ่งจัดไว้ให้ในเวเฟอร์ ใต้บริเวณอุปกรณ์และแผ่ยื่นออกไปในทางด้านข้าง อาจจะทำการ เชื่อม โยงช่องทางเข้ากับช่องเปิดเติมโลหะ (103) ในพื้นผิว หลัง ดังนั้น เส้นทางการนำผ่านเวเฟอร์อาจจะถูก นำทางผ่านใต้ อุปกรณ์ของมัน การเชื่อมโยงเพิ่มเติมอาจจะเกิดขึ้นระหว่าง ช่องเปิด (113) กับสตัด (127) เพื่อทำให้เกิดเป็นเส้นทาง การนำความร้อนในแนวดิ่งระหว่างเวเฟอร์ DC60 (13/02/47) describes a method for the assembly of 3D integrated circuit devices. Groups of wafers that are stacked in Vertical and coherent wafers (1, 2, 3) are bonded together by means of a binder layer (26, 36) that is a thermoplastic material, such as an electrically linked polyimide. This is done by a channel (12, 22) in a wafer connected to a stud (27, 37). The stud is connected to the opening (13, 23) with a larger lateral dimension than the lateral dimension. Of channels at the surface of the wafer.Furthermore, the channels in each wafer do not need Extends vertically from the face to the back surface of the wafer, the conductor (102) is provided in the wafer. Under the device area and extending to the side, the funnel may be linked to the metal filling opening (103) in the back surface, so the wafer pathway may be directed underneath its device. Additional links may arise between the opening (113) and the stud (127) to form a path. Thermal conductivity between wafers A method for fabricating 3D integrated circuit devices is described, including: Groups of wafers that are stacked in Vertical and coherent wafers (1, 2, 3) are bonded together by means of a binder layer (26, 36) that is a thermoplastic material, such as an electrically linked polyimide. This is done by a channel (12, 22) in a wafer connected to a stud (27, 37). The stud is connected to the opening (13, 23) with a larger lateral dimension than the lateral dimension. Of channels at the surface of the wafer.Furthermore, the channels in each wafer do not need Extends vertically from the face to the back surface of the wafer, the conductor (102) is provided in the wafer. Under the device area and extending to the side, the funnel may be linked to the metal filling opening (103) in the back surface, so the wafer pathway may be directed underneath its device. Additional links may arise between the opening (113) and the stud (127) to form a path. Thermal conductivity between wafers

Claims (1)

1. วิธีการสำหรับประกอบขึ้นรูปอุปกรณ์วงจรรวมสามมิติซึ่งประกอบด้วยกลุ่มของ เวเฟอร์ที่เรียงซ้อนในแนวดิ่งและเชื่อม โยงถึงกัน วิธีดังกล่าวประกอบด้วยขั้นตอนของ: การจัดให้มีเวเฟอร์ที่หนึ่ง (1) ที่มีพื้นผิวหน้า 1a และ พื้นผิวหลัง (1b) เวเฟอร์ที่หนึ่งมีอุปกรณ์ ทำไว้ในบริเวณ (1d) ที่ติดกับพื้นผิวหน้าของมัน; การสร้างช่องทาง (12) ในเวเฟอร์ที่หนึ่งซึ่งยื่นออกไปจาก พื้นผิวหน้า ช่องทางมีลักษณะสำคัญ ที่มิติด้านข้าง (121) ที่พื้นผิวหน้า; การกำจัดวัสดุจากเวเฟอร์ที่หนึ่งที่แท็ก :1. A method for forming a three-dimensional integrated circuit device consisting of a group of Vertically stacked and interconnected wafers. The method consists of the steps of: providing a first (1) wafer with a 1a face and a 1b back surface. Made in the area (1d) adjacent to the surface of its face; Creating a funnel (12) in one wafer extending from the funnel surface is important. At the lateral dimensions (121) at the anterior surface; Material removal from first wafer tagged:
TH301004343A 2003-11-18 Three-dimensional assembly method TH66104A (en)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TH66104A true TH66104A (en) 2005-01-04

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1573799A4 (en) METHOD FOR MANUFACTURING A THREE DIMENSIONAL DEVICE
JP6249548B2 (en) Multilayer microelectronic package having sidewall conductor and method of manufacturing the same
US9257415B2 (en) Stacked microelectronic packages having sidewall conductors and methods for the fabrication thereof
US9029928B2 (en) Semiconductor device comprising a passive component of capacitors and process for fabrication
CN202816934U (en) Stacked package
KR101844393B1 (en) Thermoelectric conversion element sheet, method for manufacturing same, and method for manufacturing thermoelectric conversion device
EP2728617B1 (en) Semiconductor power converter and method of manufacturing the same
US9167686B2 (en) 3D stacked package structure and method of manufacturing the same
KR20090010858A (en) Leadframe panel
TWI546927B (en) Reconstitution techniques for semiconductor packages
JP2011155203A (en) Semiconductor device
TWI426569B (en) Integrated circuit package system including a die having a release active region
ITMI20130473A1 (en) METHOD FOR MANUFACTURING ELECTRONIC DEVICES
US20150061103A1 (en) Embedded die package
TW200805590A (en) Semiconductor package and fabrication method thereof
TH66104A (en) Three-dimensional assembly method
JP2014027014A (en) Semiconductor device
CN112736065A (en) Panel-shaped metal wall grid array for integrated circuit package and manufacturing method thereof
CN106158787B (en) Packaging device and method of making the same
CN205050827U (en) Semiconductor device packaging part
WO2022206748A1 (en) Semiconductor encapsulation method and semiconductor encapsulation structure
JP2004047600A5 (en)
CN112802822A (en) Integrated circuit packaging structure, integrated circuit packaging unit and related manufacturing method
JP2013211474A (en) Substrate and semiconductor device
CN112701089A (en) Integrated circuit package structure, integrated circuit package unit and related manufacturing method