Claims (17)
1. สารประกอบซึ่งเข้ากันได้กับสูตร (I) M(R)2 (l) ที่ซึ่ง M เป็นตัวแทนของแคลเซียม, สทรอนเทียม และ แบเรียม และ R เป็นตัวแทนของสารประกอบ B-เคติมิเนต ที่ซึ่ง อะตอมของ ไนโตรเจนที่มีหมู่ฟังก์ชั่นไอมิน ถูกแทนที่โดย (CH2)m NR1 2 ที่ซึ่ง m คือ 2 ถึง 4 และ R1 คือ หมู่อัลคิล C1-C3 และที่ซึ่ง สายโซ่คาร์บอนของสาร ประกอบ - เคติมิเนตถูกแทนที่โดย R2O(CH2)n ที่ซึ่ง R2 คือ อัลคิล C1-C3 และ n คือ 2 ถึง 41. A compound that conforms to the formula (I) M(R)2 (l), where M represents calcium, strontium, and barium, and R represents the B-ketiminate compound, where the nitrogen atom with the imin functional group is replaced by (CH2)m NR1 2, where m is 2 to 4 and R1 is an alkyl group C1-C3, and where the carbon chain of the B-ketiminate compound is replaced by R2O(CH2)n, where R2 is an alkyl C1-C3 and n is 2 to 4.
2. สารประกอบตามข้อถือสิทธิที่ 1 ซึ่งเข้ากันได้กับสูตร (Ia) (สูตรเคมี) (Ia) ที่ซึ่ง M, n, R1 และ R2 มีความหมายซึ่งได้ให้เอาไว้ เบื้องต้น และ R3 ได้แสดงให้เห็นอัลคิล C1-C42. A compound according to claim 1 that is compatible with formula (Ia) (chemical formula) (Ia), where M, n, R1 and R2 have the meanings given initially and R3 is shown to be an alkyl C1-C4.
3. สารประกอบตามข้อถือสิทธิที่ 1 หรือ 2 ที่ซึ่ง R1 คือ เมธิล หรือ เอธิล3. Compounds under claim 1 or 2 where R1 is methyl or ethyl.
4. สารประกอบตามข้อถือสิทธิที่ 1 หรือ 2 ที่ซึ่ง R2 คือ เมธิล หรือ เอธิล4. Compounds under claim 1 or 2 where R2 is methyl or ethyl.
5. สารประกอบตามข้อถือสิทธิที่ 1 หรือ 2 ที่ซึ่ง R3 คือ t-บิวธิล5. Compounds according to claim 1 or 2 where R3 is t-butyl.
6. สารประกอบตามข้อถือสิทธิที่ 1 หรือ 2 ที่ซึ่ง n คือ 36. The compound according to claim 1 or 2, where n is 3.
7. กระบวนการสำหรับเตรียมสารประกอบซึ่งเข้ากันได้กับสูตร (I) โดยการทำปฏิกิริยากับ แคลเซียม, แบเรียม หรือ สทรอน เทียมโลหะ หรือ ไฮดรายด์ของพวกมันกับสารประกอบ เบต้า-เคติมีน R-H ที่ซึ่ง R มีความหมายซึ่งได้ให้เอาไว้เบื้องต้น หรือ โดยการทำปฏิกิริยากับเกลือของแคลเซียม, สทรอนเทียม หรือ แบเรียมกับเกลือซึ่งประกอบด้วยลิแกนด์เหมือนเป็นแอนไอออน7. A process for preparing a compound consistent with formula (I) by reacting with calcium, barium, or strontium metals or their hydrides with a beta-ketamine R-H compound where R has the meaning given precedingly, or by reacting with salts of calcium, strontium, or barium with a salt containing an anionic ligand.
8. กระบวนการตามข้อถือสิทธิที่ 7 สำหรับการเตรียมสาร ประกอบซึ่งเข้ากันได้กับสูตร (Ia) โดยการทำปฏิกิริยากับ แคลเซียม, สทรอนเทียม หรือ แบเรียมโลหะ กับสารประกอบ เบต้า-เคติ มีนของ สูตร (II) R2O(CH2)NC(NCH2CH2CH2NR12)CH2C(O)R3 ที่ซึ่ง R1,R2, R3 และ n มี ความหมายซึ่งได้ให้ เอาไว้เบื้องต้น8. The process under claim 7 for the preparation of a compound compatible with formula (Ia) by reaction with calcium, strontium or barium metal with a beta-ketamine compound of formula (II) R2O(CH2)NC(NCH2CH2CH2NR12)CH2C(O)R3 where R1, R2, R3 and n have the meanings given earlier.
9. กระบวนการสำหรับการตกตะกอนชั้นที่มีโลหะอัลคาไลเอิร์ต ซึ่งอยู่บนซับสเตรจซึ่งประกอบ ด้วยขั้นตอนของการให้สาร ประกอบของสูตร (I) M(R2) (I) ที่ซึ่ง M และ R มีความหมายซึ่งได้ให้เอาไว้เบื้องต้น และ การย่อยสลายสารประกอบของสูตร (I) ในการปรากฏของซับสเตรจดัง กล่าว9. The process for the precipitation of a layer containing alkali earth metals on a substrate consists of the steps of the formulation of compounds of formula (I) M(R2) (I), where M and R have the meanings given earlier, and the degradation of compounds of formula (I) in the presence of the substrate.
10. กระบวนการตามข้อถือสิทธิที่ 1 ซึ่งถูกทำให้มีลักษณะ โดยการให้สารประกอบของสูตร (Ia) (สูตรเคมี) (Ia) ที่ซึ่ง M, n R1 และ R2 มีความหมายซึ่งได้ให้เอาไว้ เบื้องต้น และ R3 ได้แสดงถึงอัลคิล C1 ถึง C410. The process according to claim 1 is characterized by the formulation of a compound of the formula (Ia) (chemical formula) (Ia), where M, n, R1 and R2 have the meanings given initially, and R3 represents the alkyls C1 through C4.
11. กระบวนการตามข้อถือสิทธิที่ 9 หรือ10 ซึ่งถูกทำให้มี ลักษณะซึ่งสารประกอบของสูตร (I) หรือ (Ia) ถูกทำให้ระเหย กลายเป็นไอ และ เมื่อนั้นถูกทำให้ย่อยสลาย11. The process under claim 9 or 10 is characterized in which the compound of formula (I) or (Ia) is vaporized and, when it is degraded,
12. กระบวนการตามข้อถือสิทธิที่ 9, 10 หรือ 11 ซึ่งถูกทำ ให้มีลักษณะในแง่ของอย่างน้อย สารประกอบหนึ่งที่มีอย่างน้อย โลหะหนึ่งเพิ่มเติม ถ้าจะให้ดี สารประกอบไตแตนถูกย่อยสลาย12. The process pursuant to claims 9, 10, or 11 is made to be characterized in terms of at least one compound containing at least one additional metal; ideally, the titan compound is degraded.
13. กระบวนการตามหนึ่งในข้อถือสิทธิที่ 9 ถึง 12 ซึ่งถูกทำให้มี ลักษณะในแง่ที่ซับเสตรจ คือ อุปกรณ์ DRAM13. The process pursuant to one of claims 9 through 12, which is characterized in terms of substage, is a DRAM device.
14. กระบวนการตามหนึ่งในข้อถือสิทธิที่ 9 ถึง 13 ซึ่งถูกทำให้มี ลักษณะในแง่ของ ขั้นแบเรียมสทรอนเทียมไททาเนตถูกก่อรูป14. The process stipulated in one of claims 9 through 13, characterized in terms of a barium strontium titanate phase, is formed.
15. สารประกอบอินเตอร์มิเดียตของสูตร RH ที่ซึ่ง R เป็นตัวแทนของสารประกอบ เบต้า-เคติมิเนต ที่ซึ่ง อะตอมของ ไนโตรเจนที่มีหมู่ฟังก์ชั่นไอมิน ถูกแทนที่โดย (CH2)m NR1 2 ที่ซึ่ง m คือ 2 ถึง 4 และ R1 คือ หมู่อัลคิล C1-C3 และที่ซึ่ง สายโซ่คาร์บอนของสาร ประกอบ -เคติมิเนตถูกแทนที่โดย R2O (CH2)n ที่ซึ่ง R2 คือ อัลคิล C1-C3 และ N คือ 2 - 415. An intermediate compound of the formula RH where R represents a beta-ketiminate compound, where the nitrogen atom with the imin functional group is replaced by (CH2)m NR1 2, where m is 2 to 4 and R1 is an alkyl group C1-C3, and where the carbon chain of the beta-ketiminate compound is replaced by R2O (CH2)n, where R2 is an alkyl C1-C3 and N is 2 to 4.
16. สารประกอบตามข้อถือสิทธิที่ 15 ของสูตร (II) R2O(CH2)nC(NCH2CH2CH2NR12)CH2C(O)R3 (II) ที่ซึ่ง R1, R2, R3 และ n มีความหมายซึ่งได้ให้เอาไว้ เบื้องต้น16. The compound according to claim 15 of the formula (II) R2O(CH2)nC(NCH2CH2CH2NR12)CH2C(O)R3 (II), where R1, R2, R3 and n have the meanings given initially.
17. วิธีการใช้ของสารประกอบที่มีสูตร RH ถ้าจะให้ดีที่มี สูตร (II) สำหรับการเตรียมของ สารประกอบคลีเลตโลหะ17. Methods of use of compounds with the formula RH, if better, with the formula (II) for the preparation of metal chelate compounds.