TH64547B - เครื่องเอสพีอาร์แบบภาพและวิธีการวัด - Google Patents

เครื่องเอสพีอาร์แบบภาพและวิธีการวัด

Info

Publication number
TH64547B
TH64547B TH801004807A TH0801004807A TH64547B TH 64547 B TH64547 B TH 64547B TH 801004807 A TH801004807 A TH 801004807A TH 0801004807 A TH0801004807 A TH 0801004807A TH 64547 B TH64547 B TH 64547B
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
light
filter
wavelength
sensor chip
intensity
Prior art date
Application number
TH801004807A
Other languages
English (en)
Other versions
TH99374B (th
TH99374A (th
Inventor
ยอดมงคล นางสาวสิรสา
อาโมทย์สมบูรณ์แก้ว นาย
สุตะพันธ์ นายบุญส่ง
อัมฤทธิ์ นายรัฐศาสตร์
จันทน์หอม นายสถาพร
สมบูรณ์แก้ว นายอาโมทย์
Original Assignee
นางสาวอรกนก พรรณรักษา
นางสาวอรุณศรี ศรีธนะอิทธิพล
นางสาวอรุณศรี ศรีธนะอิทธิพล นายชาญชัย นีรพัฒนกุล นางสาวอรกนก พรรณรักษา
นายชาญชัย นีรพัฒนกุล
Filing date
Publication date
Application filed by นางสาวอรกนก พรรณรักษา, นางสาวอรุณศรี ศรีธนะอิทธิพล, นางสาวอรุณศรี ศรีธนะอิทธิพล นายชาญชัย นีรพัฒนกุล นางสาวอรกนก พรรณรักษา, นายชาญชัย นีรพัฒนกุล filed Critical นางสาวอรกนก พรรณรักษา
Publication of TH99374B publication Critical patent/TH99374B/th
Publication of TH99374A publication Critical patent/TH99374A/th
Publication of TH64547B publication Critical patent/TH64547B/th

Links

Abstract

DC60 (15/07/59) การประดิษฐ์นี้แสดงถึงเครื่องเอสพีอาร์แบบภาพชนิดที่สามารถกำหนดให้มุมตก กระทบของลำแสงตกกระทบมีค่าคงที่ได้ โดยใช้แหล่งกำเนิดแสงที่สามารถปรับเปลี่ยนความยาว คลื่นแสงได้อย่างละเอียด ครอบคลุมสเปกตรัมเอสพีอาร์ ด้วยการสแกนตำแหน่งฟิลเตอร์เชิงแสง แบบปรับเปลี่ยนความยาวคลื่นได้ (Variable interference optical filter) จึงทำให้สามารถสแกน ความยาวคลื่นแสงในช่วง 400-1,000 นาโนเมตรได้อย่างละเอียดและรวดเร็ว นอกจากนี้การ ประดิษฐ์นี้ ยังอาจเพิ่มเติมอุปกรณ์สำหรับเปลี่ยนความเข้มแสงของแต่ละความยาวคลื่นได้ เพื่อให้ สอดคล้องกับชนิดของกล้องรับภาพและชนิดของอุปกรณ์เชิงแสง ที่นำมาใช้ประกอบเป็นเครื่องเอส พีอาร์แบบภาพนี้ และเพื่อลดผลกระทบจากการสั่นของอุปกรณ์ขณะที่กำลังสแกนความยาวคลื่น แสง นอกจากนั้นการประดิษฐ์นี้ได้ใช้เส้นใยนำแสงมาช่วยแยกส่วนเซนเซอร์ชิพออกจากส่วนของ ชุดแหล่งกำเนิดแสง แก้ไข 15/7/2559 การประดิษฐ์นี้แสดงถึงเครื่องเอสพีอาร์แบบภาพชนิดที่สามารถกำหนดให้มุมตก กระทบของลำแสงตกกระทบมีค่าคงที่ได้ โดยใช้เแหล่งกำเนิดแสงที่สามารถปรับเปลี่ยนความยาว คลื่นแสงได้อย่างละเอียด ครอบคลุมสเปกตรัมเอสพีอาร์ ด้วยการสแกนตำแหน่งฟิลเตอร์เชิงแสง แบบปรับเปลี่ยนความยาวคลื่นได้ (Variable interfernce optical filter) จึงทำให้สามารถสแกน ความยาวคลื่นแสงในช่วง 400-1,000 นาโนเมตรได้อย่างละเอียดและรวมเร็ว นอกจากนี้การ ประดิษฐ์นี้ ยังอาจเพิ่มเติมอุปกรณ์สำหรับเปลี่ยนความเข้มแสงของแต่ละความยาวคลื่นได้ เพื่อให้ สอดคล้องกับชนิดของกล้องรับภาพและชนิดของอุปกรณ์เชิงแสง ที่นำมาใช้ประกอบเป็นเครื่องเอส พีอาร์แบบภพนี้ และเพื่อลดผลกระทบจากการสั่นของอุปกรณ์ขณะที่กำลังสแกนความยาวคลื่น แสง นอกจากนั้นการประดิษฐ์นี้ได้ใช้เส้นใยนำแสงมาช่วยแยกส่วนเซนเซอร์ชิพออกจากส่วนของ ชุดแหล่งกำเนิดแสง ------------------------------------------------------------------- การประดิษฐ์นี้แสดงถึงเครื่องเอสพีอาร์แบบภาพชนิดที่สามารถกำหนดให้มุมตก กระทบของลำแสงตกกระทบมีค่าคงที่ได้ โดยใช้เแหล่งกำเนิดแสงที่สามารถปรับเปลี่ยนความยาว คลื่นแสงได้อย่างละเอียด ครอบคลุมสเปกตรัมเอสพีอาร์ ด้วยการสแกนตำแหน่งฟิลเตอร์เชิงแสง แบบปรับเปลี่ยนความยาวคลื่นได้ (Variable interfernce optical filter) จึงทำให้สามารถสแกน ความยาวคลื่นแสงในช่วง 400-1,000 นาโนเมตรได้อย่างละเอียดและรวมเร็ว นอกจากนี้การ ประดิษฐ์นี้ ยังอาจเพิ่มเติมอุปกรณ์สำหรับเปลี่ยนความเข้มแสงของแต่ละความยาวคลื่นได้ เพื่อให้ สอดคล้องกับชนิดของกล้องรับภาพและชนิดของอุปกรณ์เชิงแสง ที่นำมาใช้ประกอบเป็นเครื่องเอส พีอาร์แบบภพนี้ และเพื่อลดผลกระทบจากการสั่นของอุปกรณ์ขณะที่กำลังสแกนความยาวคลื่น แสง นอกจากนั้นการประดิษฐ์นี้ได้ใช้เส้นใยนำแสงมาช่วยแยกส่วนเซนเซอร์ชิพออกจากส่วนของ ชุดแหล่งกำเนิดแสง

Claims (1)

ข้อถือสิทธฺ์ (ทั้งหมด) ซึ่งจะไม่ปรากฏบนหน้าประกาศโฆษณา :แก้ไข 15/7/2559 1. เครื่องเอสพีอาร์แบบภาพ ที่ประกอบด้วย แหล่งกำเนิดแสงแบบหลายความยาวคลื่น (1) โดยจัดแสงให้เป็นแสงที่มีลำขนาน และมี ขนาดลำแสงที่เหมาะสมขนาดหนึ่ง ลำแสงนี้จัดวางในแนวแกนกลาง (Optical axis) อันหนึ่ง โพลาไรเซอร์ (3) เป็นอุปกรณ์เลือกหรือคัดแยกทิศทางโพลาไลเซชั่นของแสงที่กล่าว ข้างต้น อุปกรณ์นี้ใช้ปรับให้ทิศทางโพลาไรเซชั่นของลำแสงดังกล่าว อยู่ในทิศที่เหมาะสมสำหรับ การกระตุ้นให้เกิดคลื่นผิวพลาสมอน เซนเซอร์ชิพ (5) ที่เหมาะสมกับกระตุ้นให้เกิดคลื่นผิวพลาสมอนและระกบอยู่บนปริซึ่ม รองรับ โดยเซนเซอร์ชิพดังกล่าวประกอบด้วยฟิล์มโลหะที่มีความหนาที่เหมาะสมสำหรับการเกิด คลื่นผิวพลาสมอน โดยฟิล์มนี้เคลือบอยู่ปริซึ่มรองรับที่มีความโปร่งแสง หรือเคลือบอยู่บนแผ่น เรียบที่มีค่าดัชนีหักเหเท่ากับปริซึ่มรองรับและประกบอยู่บนปริซึ่มรองรับ โดยการประกบอาจใช้ ของเหลวที่มีดัชนีหักเหเท่ากับปริซึ่ม เพื่อช่วยให้รอยต่อแนบสนิท ถัดจากชั้นฟิล์มโลหะจะเป็นชั้น ของสารไดอิเล็กทริก โดยที่สารไดอิเล็กทริกนี้อาจประกอบไปด้วยฟิล์มบางของโพลิเมอร์และหรือ ชั้นของโมเลกุลของโปรตีนหรือสารชีวภาพอื่นใด ที่เหมาะสมสำหรับการวัดหรือการใช้งานด้านใด ด้านหนึ่ง เซนเซอร์ชิพประกอบด้วยจุดวัดอย่างน้อยหนึ่งจุด โดยแต่ละจุดวัดอาจเคลือบด้วย สารชีวภาพที่เหมาะสม กล้องรับภาพ (8) และเลนส์หรือชุดของเลนส์รับภาพ สำหรับใช้วัดความเข้มแสงจาก เซนเซอร์ชิพดังกล่าว วางไว้ในตำแหน่งแนวแกนแสงและวางอยู่ห่างจากปริซึ่มในระยะที่เหมาะสม สำหรับอ่านค่าความเข้มแสงที่สะท้อนจากเซนเซอร์ชิพดังกล่าว และได้ภาพของเซนเซอร์ชิพ ดังกล่าวที่ชัดเจน โฟลว์เซลล์ อย่างน้อยหนึ่งช่อง ที่ประกบอยู่บนเซนเซอร์ชิพ(5)ดังกล่าว ทำหน้าที่นำสาร ตัวอย่างเข้าและออกจากเซนเซอร์ชิพดังกล่าว และมีระบบควบคุมการไหลของสารให้เข้าและออก อุปกรณ์ปรับเปลี่ยนความยาวคลื่นแสง สำหรับการเลือกความยาวคลื่นแสงจากแหล่งกำเนิด แสงแบบหลายความยาวคลื่นดังกล่าว ที่วางอยู่ในตำแหน่งแนวแกนแสงดังกล่าว โดยมีลักษณะเฉพาะคือ อุปกรณ์ปรับเปลี่ยนความยาวคลื่นแสงดังกล่าว จัดวางให้แยกส่วน กับเซนเซอร์ชิพ (5) ดังกล่าว ด้วยเส้นใยนำแสง เพื่อเป็นอุปกรณ์ลำเลียงแสงจากแหล่งกำเนิดแสง ดังกล่าวไปยังเซนเซอร์ชิพ (5) ดังกล่าว 2. เครื่องเอสพีอาร์แบบภาพตามข้อถือสิทธิ 1 ที่ซึ่ง ความยาวคลื่นของแสงที่ผ่านฟิลเตอร์เชิงแสงที่ เปลี่ยนความยาวคลื่นแสงได้ ดังกล่าวจะแปรผันกับตำแหน่งของแสงที่ตกกระทบบนฟิลเตอร์ ดัวกล่าว 3. เครื่องเอสพีอาร์แบบภาพตามข้อถือสิทธิ 1 ที่ยังประกอบเพิ่มเติมด้วย ฟิลเตอร์ปรับเปลี่ยนความ เข้มแสง (105) ที่วางอยู่ระหว่างแหล่งกำเนิดแสงแบบหลายความยาวคลื่น กับกล้องรับภาพดังกล่าว เพื่อปรับความเข้มแสงในแต่ละความยาวคลื่นให้เหมาะสมกับกล้องรับภาพ (8) 4. เครื่องเอสพีอาร์แบบภาพตามข้อถือสิทธิ 2 ที่ซึ่ง การปรับเปลี่ยนความยาวคลื่นแสงที่ผ่านฟิลเตอร์ ดังกล่าวทำได้โดยการติดตั้งฟิลเตอร์ดังกล่าวด้วยการควบคุมไว้กับมอเตอร์ไฟฟ้าแบบควบคุมได้ ด้วยสัญญาญไฟฟ้า (Motorized linear stage) หรือติดตั้งไว้กับอุปกรณ์ปรับตำแหน่งด้วยมือ 5. เครื่องเอสพีอาร์แบบภาพตามข้อถือสิทธิ 3 ที่ซึ่งอุปกรณ์ปรับเคลื่อนความเข้มแสงดังกล่าวเป็น ฟิลเตอร์กรองแสงแบบปรับความเข้มแสงแบบเชิงเส้น (Linear variable neutral density filter) (105) โดยการปรับความเข้มแสงของฟิลเตอร์ดังกล่าวต้องติดตั้งฟิลเตอร์ดังกล่าวไว้กับมอเตอร์ไฟฟ้าแบบ เชิงเส้นแบบความคุมได้ด้วยสัญญาณไฟฟ้า (Motorized linear stage) หรือติดตั้งไว้กับอุปกรณ์ปรับ ตำแหน่งด้วยมือ หรืออุปกรณ์อื่นใดที่สามารถใช้ปรับตำแหน่งของฟิลเตอร์ดังกล่าวได้ 6. เครื่องเอสพีอาร์แบบภาพตามข้อถือสิทธิ 3 ที่ซึ่งอุปกรณ์ปรับเปลี่ยนความเข้มแสงดังกล่าวเป็น ฟิลเตอร์ปรับเปลี่ยนความเข้มแสงแบบเชิงมุม (Circular variable neutral density filter) การปรับ ความเข้มแสงของฟิลเตอร์ดังกล่าวต้องติดตั้งฟิลเตอร์ดังกล่าวไว้กับมอเตอร์หมุนมุมแบบควมคุมได้ ด้วยสัญญาณไฟฟ้า (Motorized rotary stage) หรือติดตั้งไว้กับอุปกรณ์ปรับตำแหน่งด้วยมือ 7. เครื่องเอสพีอาร์แบบภาพตามข้อถือสิทธิ 3 ที่ซึ่งอุปกรณ์ปรับเปลี่ยนความเข้มแสงดังกล่าวเป็น ฟิลเตอร์ชนิดลิควิดคริสตัลแบบปรับความเข้มแสงได้ (Liquid-crystal density filter) การปรับความ เข้มแสงของฟิลเตอร์ดังกล่าวทำได้โดยการปรับสัญญาณไฟฟ้า 8. เครื่องเอสพีอาร์แบบภาพตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งก่อนหน้า ที่ซึ่งอุปกรณ์ปรับเปลี่ยนความ เข้มแสงดังกล่าวเป็นช่องรับแสงแบบปรับขนาดช่องรับแสง (Variable aperture) ได้ 9. เครื่องเอสพีอาร์แบบภาพตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งก่อนหน้า ที่ซึ่งอุปกรณ์ปรับเปลี่ยนความเข้ม แสงดังกล่าวโดยใช้การปรับกำลังไฟฟ้าที่ป้อนให้กับแหล่งกำเนิดแสงดังกล่าว เพื่อให้ได้ความเข้ม แสงเพิ่มขึ้นหรือลดลงตามความต้องการ 1 0. เครื่องเอสพีอาร์แบบภาพตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งก่อนหน้า ที่ซึ่งแหล่งกำเนิดแสงแบบ หลายความยาวคลื่นดังกล่าวเป็นหลอดทังสเตนฮาโลเจน หรือหลอดซีนอน หรือหลอดฟลูออเรส เซนต์ หรือไดโอดเปล่งแสงหนึ่งตัว หรือไดโอดเปล่งหลายตัวรวมกัน อย่างใดอย่างหนึ่ง -------------------------------------------------------------------------------------- 1. เครื่องเอสพีอาร์แบบภาพ ที่ประกอบด้วย แหล่งกำเนิดแสงแบบหลายความยาวคลื่น (1) โดยจัดแสงให้เป็นแสงที่มีลำขนาน และมี ขนาดลำแสงที่เหมาะสมขนาดหนึ่ง ลำแสงนี้จัดวางในแนวแกนกลาง (Optical axis) อันหนึ่ง โพลาไรเซอร์ (3) เป็นอุปกรณ์เลือกหรือคัดแยกทิศทางโพลาไลเซชั่นของแสงที่กล่าว ข้างต้น อุปกรณ์นี้ใช้ปรับให้ทิศทางโพลาไรเซชั่นของลำแสงดังกล่าว อยู่ในทิศที่เหมาะสมสำหรับ การกระตุ้นให้เกิดคลื่นผิวพลาสมอน เซนเซอร์ชิพ (5) ที่เหมาะสมกับกระตุ้นให้เกิดคลื่นผิวพลาสมอนและระกบอยู่บนปริซึ่ม รองรับ โดยเซนเซอร์ชิพดังกล่าวประกอบด้วยฟิล์มโลหะที่มีความหนาที่เหมาะสมสำหรับการเกิด คลื่นผิวพลาสมอน โดยฟิล์มนี้เคลือบอยู่ปริซึ่มรองรับที่มีความโปร่งแสง หรือเคลือบอยู่บนแผ่น เรียบที่มีค่าดัชนีหักเหเท่ากับปริซึ่มรองรับและประกบอยู่บนปริซึ่มรองรับ โดยการประกบอาจใช้ ของเหลวที่มีดัชนีหักเหเท่ากับปริซึ่ม เพื่อช่วยให้รอยต่อแนบสนิท ถัดจากชั้นฟิล์มโลหะจะเป็นชั้น ของสารไดอิเล็กทริก โดยที่สารไดอิเล็กทริกนี้อาจประกอบไปด้วยฟิล์มบางของโพลิเมอร์และหรือ ชั้นของโมเลกุลของโปรตีนหรือสารชีวภาพอื่นใด ที่เหมาะสมสำหรับการวัดหรือการใช้งานด้านใด ด้านหนึ่ง เซนเซอร์ชิพประกอบด้วยจุดวัดอย่างน้อยหนึ่งจุด โดยแต่ละจุดวัดอาจเคลือบด้วย สารชีวภาพที่เหมาะสม กล้องรับภาพ (8) และเลนส์หรือชุดของเลนส์รับภาพ สำหรับใช้วัดความเข้มแสงจาก เซนเซอร์ชิพดังกล่าว วางไว้ในตำแหน่งแนวแกนแสงและวางอยู่ห่างจากปริซึ่มในระยะที่เหมาะสม สำหรับอ่านค่าความเข้มแสงที่สะท้อนจากเซนเซอร์ชิพดังกล่าว และได้ภาพของเซนเซอร์ชิพ ดังกล่าวที่ชัดเจน โฟลว์เซลล์ อย่างน้อยหนึ่งช่อง ที่ประกบอยู่บนเซนเซอร์ชิพ(5)ดังกล่าว ทำหน้าที่นำสาร ตัวอย่างเข้าและออกจากเซนเซอร์ชิพดังกล่าว และมีระบบควบคุมการไหลของสารให้เข้าและออก อุปกรณ์ปรับเปลี่ยนความยาวคลื่นแสง สำหรับการเลือกความยาวคลื่นแสงจากแหล่งกำเนิด แสงแบบหลายความยาวคลื่นดังกล่าว ที่วางอยู่ในตำแหน่งแนวแกนแสงดังกล่าว และวางอยู่ระหว่าง แหล่งกำเนิดแสงแบบหลายความยาวคลื่นดังกล่าวกับกล้องรับภาพดังกล่าว โดยอุปกรณ์ดังกล่าวมีลักษณะเฉพาะคือ อุปกรณ์ปรับเปลี่ยนความยาวคลื่นแสงดังกล่าว ประกอบด้วย ฟิลเตอร์เชิงแสงที่เปลี่ยนความยาวคลื่นแสงได้ (104) ที่วางอยู่ระหว่างแหล่งกำเนิด แสงแบบหลายความยาวคลื่น กับกล้องรับภาพดังกล่าว โดยที่อุปกรณ์ปรับเปลี่ยนความยาวคลื่นแสง ดังกล่าวถูกควบคุม เพื่อเลือกความยาวคลื่นที่ส่งผ่านไปยังกล้องรับภาพดังกล่าว 2. เครื่องเอสพีอาร์แบบภาพตามข้อถือสิทธิ 1 ที่ซึ่ง ความยาวคลื่นของแสงที่ผ่านฟิลเตอร์เชิงแสงที่ เปลี่ยนความยาวคลื่นแสงได้ ดังกล่าวจะแปรผันกับตำแหน่งของแสงที่ตกกระทบบนฟิลเตอร์ ดัวกล่าว 3. เครื่องเอสพีอาร์แบบภาพตามข้อถือสิทธิ 1 ที่ยังประกอบเพิ่มเติมด้วย ฟิลเตอร์ปรับเปลี่ยนความ เข้มแสง (105) ที่วางอยู่ระหว่างแหล่งกำเนิดแสงแบบหลายความยาวคลื่น กับกล้องรับภาพดังกล่าว เพื่อปรับความเข้มแสงในแต่ละความยาวคลื่นให้เหมาะสมกับกล้องรับภาพ (8) 4. เครื่องเอสพีอาร์แบบภาพตามข้อถือสิทธิ 2 ที่ซึ่ง การปรับเปลี่ยนความยาวคลื่นแสงที่ผ่านฟิลเตอร์ ดังกล่าวทำได้โดยการติดตั้งฟิลเตอร์ดังกล่าวด้วยการควบคุมไว้กับมอเตอร์ไฟฟ้าแบบควบคุมได้ ด้วยสัญญาญไฟฟ้า (Motorized linear stage) หรือติดตั้งไว้กับอุปกรณ์ปรับตำแหน่งด้วยมือ 5. เครื่องเอสพีอาร์แบบภาพตามข้อถือสิทธิ 3 ที่ซึ่งอุปกรณ์ปรับเคลื่อนความเข้มแสงดังกล่าวเป็น ฟิลเตอร์กรองแสงแบบปรับความเข้มแสงแบบเชิงเส้น (Linear variable neutral density filter) (105) โดยการปรับความเข้มแสงของฟิลเตอร์ดังกล่าวต้องติดตั้งฟิลเตอร์ดังกล่าวไว้กับมอเตอร์ไฟฟ้าแบบ เชิงเส้นแบบความคุมได้ด้วยสัญญาณไฟฟ้า (Motorized linear stage) หรือติดตั้งไว้กับอุปกรณ์ปรับ ตำแหน่งด้วยมือ หรืออุปกรณ์อื่นใดที่สามารถใช้ปรับตำแหน่งของฟิลเตอร์ดังกล่าวได้ 6. เครื่องเอสพีอาร์แบบภาพตามข้อถือสิทธิ 3 ที่ซึ่งอุปกรณ์ปรับเปลี่ยนความเข้มแสงดังกล่าวเป็น ฟิลเตอร์ปรับเปลี่ยนความเข้มแสงแบบเชิงมุม (Circular variable neutral density filter) การปรับ ความเข้มแสงของฟิลเตอร์ดังกล่าวต้องติดตั้งฟิลเตอร์ดังกล่าวไว้กับมอเตอร์หมุนมุมแบบควมคุมได้ ด้วยสัญญาณไฟฟ้า (Motorized rotary stage) หรือติดตั้งไว้กับอุปกรณ์ปรับตำแหน่งด้วยมือ 7. เครื่องเอสพีอาร์แบบภาพตามข้อถือสิทธิ 3 ที่ซึ่งอุปกรณ์ปรับเปลี่ยนความเข้มแสงดังกล่าวเป็น ฟิลเตอร์ชนิดลิควิดคริสตัลแบบปรับความเข้มแสงได้ (Liquid-crystal density filter) การปรับความ เข้มแสงของฟิลเตอร์ดังกล่าวทำได้โดยการปรับสัญญาณไฟฟ้า 8. เครื่องเอสพีอาร์แบบภาพตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งก่อนหน้า ที่ซึ่งอุปกรณ์ปรับเปลี่ยนความ เข้มแสงดังกล่าวเป็นช่องรับแสงแบบปรับขนาดช่องรับแสง (Variable aperture) ได้ 9. เครื่องเอสพีอาร์แบบภาพตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งก่อนหน้า ที่ซึ่งอุปกรณ์ปรับเปลี่ยนความเข้ม แสงดังกล่าวโดยใช้การปรับกำลังไฟฟ้าที่ป้อนให้กับแหล่งกำเนิดแสงดังกล่าว เพื่อให้ได้ความเข้ม แสงเพิ่มขึ้นหรือลดลงตามความต้องการ 1 0. เครื่องเอสพีอาร์แบบภาพตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งก่อนหน้า ที่ซึ่งแหล่งกำเนิดแสงแบบ หลายความยาวคลื่นดังกล่าวเป็นหลอดทังสเตนฮาโลเจน หรือหลอดซีนอน หรือหลอดฟลูออเรส เซนต์ หรือไดโอดเปล่งแสงหนึ่งตัว หรือไดโอดเปล่งหลายตัวรวมกัน อย่างใดอย่างหนึ่ง 1
1. เครื่องเอสพีอาร์แบบภาพตามข้อถือสิทธิ 1 ที่ใช้เส้นใยนำแสงในการนำแสงจากแหล่งกำเนิด แสงดังกล่าวมายังเซนเซอร์ชิพดังกล่าว เพื่อให้สามารถวางแหล่งกำเนิดแสงดังกล่าวไว้ห่างในระยะ ที่ไม่รบกวนการทำงานของเซนเซอร์ชิพดังกล่าว
TH801004807A 2008-09-19 เครื่องเอสพีอาร์แบบภาพและวิธีการวัด TH64547B (th)

Publications (3)

Publication Number Publication Date
TH99374B TH99374B (th) 2009-12-09
TH99374A TH99374A (th) 2009-12-09
TH64547B true TH64547B (th) 2018-08-31

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI714716B (zh) 用於超光譜成像計量之系統及方法
US7943908B2 (en) Sensor system with surface-plasmon-polariton (SPP) enhanced selective fluorescence excitation and method
JP2009500803A (ja) 対象を照明する照明装置
CN102288391B (zh) 一种用于光学传递函数测量的光谱目标发生器
US8130378B2 (en) Phase retardance inspection instrument
WO2009080210A3 (de) Mikroskop mit lichtblatt-beleuchtung
KR20040100882A (ko) 분광일립소미터
WO2014099081A2 (en) Holey optical device
CN102608098B (zh) 共焦拉曼光谱仪及其激光光路的处理方法
US7224446B2 (en) Apparatus, method, and computer program for wafer inspection
JP4100330B2 (ja) 薄膜測定方法及び薄膜測定装置
US9575303B2 (en) Microscope apparatus
WO2020235477A1 (ja) 目視支援装置
KR100873057B1 (ko) 반사광 및 투과광에 의한 시각검사용 조명장치
TH64547B (th) เครื่องเอสพีอาร์แบบภาพและวิธีการวัด
TH99374A (th) เครื่องเอสพีอาร์แบบภาพและวิธีการวัด
CN104880832B (zh) 一种用于调焦测量的光谱重构系统
JP7023703B2 (ja) 段差測定方法及び段差測定装置
KR102257311B1 (ko) 분광 측정 장치의 측정 헤드 정렬 장치
Uhl Arc lamps and monochromators for fluorescence microscopy
JPH1047926A (ja) 膜厚測定装置および膜厚測定方法
JP4595572B2 (ja) ラマン分光装置及びラマン分光測定方法
JP7101991B2 (ja) 少なくとも1つの溶液中の物質の吸光度を測定する方法及び測定装置
JP2009092481A (ja) 外観検査用照明装置及び外観検査装置
JP7136136B2 (ja) 光学センサの受光特性評価装置及び受光特性評価方法