TH64547B - เครื่องเอสพีอาร์แบบภาพและวิธีการวัด - Google Patents
เครื่องเอสพีอาร์แบบภาพและวิธีการวัดInfo
- Publication number
- TH64547B TH64547B TH801004807A TH0801004807A TH64547B TH 64547 B TH64547 B TH 64547B TH 801004807 A TH801004807 A TH 801004807A TH 0801004807 A TH0801004807 A TH 0801004807A TH 64547 B TH64547 B TH 64547B
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- light
- filter
- wavelength
- sensor chip
- intensity
- Prior art date
Links
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 title 1
- 230000003287 optical Effects 0.000 claims abstract 20
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 claims abstract 12
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 claims abstract 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 8
- 210000002381 Plasma Anatomy 0.000 claims 6
- 239000010408 film Substances 0.000 claims 6
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 4
- 230000001264 neutralization Effects 0.000 claims 4
- 230000000051 modifying Effects 0.000 claims 3
- 210000001503 Joints Anatomy 0.000 claims 2
- 239000003124 biologic agent Substances 0.000 claims 2
- 210000004027 cells Anatomy 0.000 claims 2
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 claims 2
- 238000006011 modification reaction Methods 0.000 claims 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims 2
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 claims 2
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 claims 2
- 230000000638 stimulation Effects 0.000 claims 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims 2
- -1 tungsten halogen Chemical class 0.000 claims 2
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 claims 2
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon(0) Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract 3
- 238000001105 surface plasmon resonance spectrum Methods 0.000 abstract 3
Abstract
DC60 (15/07/59) การประดิษฐ์นี้แสดงถึงเครื่องเอสพีอาร์แบบภาพชนิดที่สามารถกำหนดให้มุมตก กระทบของลำแสงตกกระทบมีค่าคงที่ได้ โดยใช้แหล่งกำเนิดแสงที่สามารถปรับเปลี่ยนความยาว คลื่นแสงได้อย่างละเอียด ครอบคลุมสเปกตรัมเอสพีอาร์ ด้วยการสแกนตำแหน่งฟิลเตอร์เชิงแสง แบบปรับเปลี่ยนความยาวคลื่นได้ (Variable interference optical filter) จึงทำให้สามารถสแกน ความยาวคลื่นแสงในช่วง 400-1,000 นาโนเมตรได้อย่างละเอียดและรวดเร็ว นอกจากนี้การ ประดิษฐ์นี้ ยังอาจเพิ่มเติมอุปกรณ์สำหรับเปลี่ยนความเข้มแสงของแต่ละความยาวคลื่นได้ เพื่อให้ สอดคล้องกับชนิดของกล้องรับภาพและชนิดของอุปกรณ์เชิงแสง ที่นำมาใช้ประกอบเป็นเครื่องเอส พีอาร์แบบภาพนี้ และเพื่อลดผลกระทบจากการสั่นของอุปกรณ์ขณะที่กำลังสแกนความยาวคลื่น แสง นอกจากนั้นการประดิษฐ์นี้ได้ใช้เส้นใยนำแสงมาช่วยแยกส่วนเซนเซอร์ชิพออกจากส่วนของ ชุดแหล่งกำเนิดแสง แก้ไข 15/7/2559 การประดิษฐ์นี้แสดงถึงเครื่องเอสพีอาร์แบบภาพชนิดที่สามารถกำหนดให้มุมตก กระทบของลำแสงตกกระทบมีค่าคงที่ได้ โดยใช้เแหล่งกำเนิดแสงที่สามารถปรับเปลี่ยนความยาว คลื่นแสงได้อย่างละเอียด ครอบคลุมสเปกตรัมเอสพีอาร์ ด้วยการสแกนตำแหน่งฟิลเตอร์เชิงแสง แบบปรับเปลี่ยนความยาวคลื่นได้ (Variable interfernce optical filter) จึงทำให้สามารถสแกน ความยาวคลื่นแสงในช่วง 400-1,000 นาโนเมตรได้อย่างละเอียดและรวมเร็ว นอกจากนี้การ ประดิษฐ์นี้ ยังอาจเพิ่มเติมอุปกรณ์สำหรับเปลี่ยนความเข้มแสงของแต่ละความยาวคลื่นได้ เพื่อให้ สอดคล้องกับชนิดของกล้องรับภาพและชนิดของอุปกรณ์เชิงแสง ที่นำมาใช้ประกอบเป็นเครื่องเอส พีอาร์แบบภพนี้ และเพื่อลดผลกระทบจากการสั่นของอุปกรณ์ขณะที่กำลังสแกนความยาวคลื่น แสง นอกจากนั้นการประดิษฐ์นี้ได้ใช้เส้นใยนำแสงมาช่วยแยกส่วนเซนเซอร์ชิพออกจากส่วนของ ชุดแหล่งกำเนิดแสง ------------------------------------------------------------------- การประดิษฐ์นี้แสดงถึงเครื่องเอสพีอาร์แบบภาพชนิดที่สามารถกำหนดให้มุมตก กระทบของลำแสงตกกระทบมีค่าคงที่ได้ โดยใช้เแหล่งกำเนิดแสงที่สามารถปรับเปลี่ยนความยาว คลื่นแสงได้อย่างละเอียด ครอบคลุมสเปกตรัมเอสพีอาร์ ด้วยการสแกนตำแหน่งฟิลเตอร์เชิงแสง แบบปรับเปลี่ยนความยาวคลื่นได้ (Variable interfernce optical filter) จึงทำให้สามารถสแกน ความยาวคลื่นแสงในช่วง 400-1,000 นาโนเมตรได้อย่างละเอียดและรวมเร็ว นอกจากนี้การ ประดิษฐ์นี้ ยังอาจเพิ่มเติมอุปกรณ์สำหรับเปลี่ยนความเข้มแสงของแต่ละความยาวคลื่นได้ เพื่อให้ สอดคล้องกับชนิดของกล้องรับภาพและชนิดของอุปกรณ์เชิงแสง ที่นำมาใช้ประกอบเป็นเครื่องเอส พีอาร์แบบภพนี้ และเพื่อลดผลกระทบจากการสั่นของอุปกรณ์ขณะที่กำลังสแกนความยาวคลื่น แสง นอกจากนั้นการประดิษฐ์นี้ได้ใช้เส้นใยนำแสงมาช่วยแยกส่วนเซนเซอร์ชิพออกจากส่วนของ ชุดแหล่งกำเนิดแสง
Claims (1)
1. เครื่องเอสพีอาร์แบบภาพตามข้อถือสิทธิ 1 ที่ใช้เส้นใยนำแสงในการนำแสงจากแหล่งกำเนิด แสงดังกล่าวมายังเซนเซอร์ชิพดังกล่าว เพื่อให้สามารถวางแหล่งกำเนิดแสงดังกล่าวไว้ห่างในระยะ ที่ไม่รบกวนการทำงานของเซนเซอร์ชิพดังกล่าว
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TH99374B TH99374B (th) | 2009-12-09 |
TH99374A TH99374A (th) | 2009-12-09 |
TH64547B true TH64547B (th) | 2018-08-31 |
Family
ID=
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI714716B (zh) | 用於超光譜成像計量之系統及方法 | |
US7943908B2 (en) | Sensor system with surface-plasmon-polariton (SPP) enhanced selective fluorescence excitation and method | |
JP2009500803A (ja) | 対象を照明する照明装置 | |
CN102288391B (zh) | 一种用于光学传递函数测量的光谱目标发生器 | |
US8130378B2 (en) | Phase retardance inspection instrument | |
WO2009080210A3 (de) | Mikroskop mit lichtblatt-beleuchtung | |
KR20040100882A (ko) | 분광일립소미터 | |
WO2014099081A2 (en) | Holey optical device | |
CN102608098B (zh) | 共焦拉曼光谱仪及其激光光路的处理方法 | |
US7224446B2 (en) | Apparatus, method, and computer program for wafer inspection | |
JP4100330B2 (ja) | 薄膜測定方法及び薄膜測定装置 | |
US9575303B2 (en) | Microscope apparatus | |
WO2020235477A1 (ja) | 目視支援装置 | |
KR100873057B1 (ko) | 반사광 및 투과광에 의한 시각검사용 조명장치 | |
TH64547B (th) | เครื่องเอสพีอาร์แบบภาพและวิธีการวัด | |
TH99374A (th) | เครื่องเอสพีอาร์แบบภาพและวิธีการวัด | |
CN104880832B (zh) | 一种用于调焦测量的光谱重构系统 | |
JP7023703B2 (ja) | 段差測定方法及び段差測定装置 | |
KR102257311B1 (ko) | 분광 측정 장치의 측정 헤드 정렬 장치 | |
Uhl | Arc lamps and monochromators for fluorescence microscopy | |
JPH1047926A (ja) | 膜厚測定装置および膜厚測定方法 | |
JP4595572B2 (ja) | ラマン分光装置及びラマン分光測定方法 | |
JP7101991B2 (ja) | 少なくとも1つの溶液中の物質の吸光度を測定する方法及び測定装置 | |
JP2009092481A (ja) | 外観検査用照明装置及び外観検査装置 | |
JP7136136B2 (ja) | 光学センサの受光特性評価装置及び受光特性評価方法 |